KR20150104932A - 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법 - Google Patents

메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법 Download PDF

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KR20150104932A KR1020140026930A KR20140026930A KR20150104932A KR 20150104932 A KR20150104932 A KR 20150104932A KR 1020140026930 A KR1020140026930 A KR 1020140026930A KR 20140026930 A KR20140026930 A KR 20140026930A KR 20150104932 A KR20150104932 A KR 20150104932A
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Abstract

본 발명은 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 제1 방향으로 회전하여 진행되는 다양한 종류의 터치 판넬용 필름 중에서 특히, 메탈 필름(Metal Film)을 메탈 필름의 진행 방향과 수직 방향으로 회전하는 롤 형상의 제막 포를 통해 수직 방향으로 1차, 2차, 3차 등 복수 번 순차적으로 에칭(Eching)함으로써 메탈 필름의 제막 효과, 효율성 및 정밀도를 획기적으로 높일 수 있고, 또한 제막 포 및 제막 필름의 형태를 메탈 필름을 회전시키는 롤러의 형태에 따라 변형되도록 함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화함으로써 메탈 필름의 제막 공정에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법에 관한 것이다.

Description

메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법{apparatus, system and method for forming the metal film}
본 발명은 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 제1 방향으로 회전하여 진행되는 다양한 종류의 터치 판넬용 필름 중에서 특히, 메탈 필름(Metal Film)을 메탈 필름의 진행 방향과 수직 방향으로 회전하는 롤 형상의 제막 포를 통해 수직 방향으로 1차, 2차, 3차 등 복수 번 순차적으로 에칭(Eching)함으로써 메탈 필름의 제막 효과, 효율성 및 정밀도를 획기적으로 높일 수 있고, 또한 제막 포 및 제막 필름의 형태를 메탈 필름을 회전시키는 롤러의 형태에 따라 변형되도록 함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화함으로써 메탈 필름의 제막 공정에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법에 관한 것이다.
최근 전자 제품에 다양한 전자 재료 패턴이 사용되고 있다. 예컨데, 디스플레이의 경우, 컬러 필터 기판, 트랜지스터 기판, 전극 기판 등에 다양한 기능을 갖는 전자 재료 패턴이 사용되고 있으며, 이러한 전자 재료 패턴을 형성시키기 위해서 포토리소그라피법, 도금법, 인쇄법 등의 방법이 사용되고 있다.
한편, 터치스크린 판넬에 사용되는 다양한 종류의 필름 중에서 패턴 메탈 필름(Pattern Metal Film; PMF) 즉, 메탈 필름(Metal Film)을 제조하는 공정에 있어서, 메탈 필름을 제조하기 위해서는 에칭(Eching)의 역할을 하는 물리적인 제막 장치가 반드시 필요한 실정이다.
일반적으로, 메탈 필름의 제막 공정은 일정한 방향으로 회전하여 진행되는 메탈 필름과 수평으로 위치되는 제막 포를 통해 메탈 필름을 에칭하게 되는데, 이때 제막 포는 메탈 필름의 진행 방향과 정 반대 방향으로 회전하여 진행하기 때문에 메탈 필름의 진행 속도와 제막 포의 진행 속도가 맞지 않을 경우 제막 효과 및 정밀도가 떨어진다는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 제막 포는 회전 롤러의 측면에 제공되기 때문에 메탈 필름과의 접촉 면이 직선 형태에 해당하여 접촉 면적이 넓지 않아 제막 효과가 떨어진다는 문제점이 있었다.
그에 따라, 이러한 종래의 제막 장치가 가지는 문제점을 해결하고 제막 효과, 정밀도 및 효율성을 높이기 위한 공정, 설비 또는 방법에 대한 개발이 요구되고 있는 실정이다.
이에, 본 발명자는 상술된 제막 장치 및 제막 방법이 가지는 문제점을 해결하기 위해, 메탈 필름을 메탈 필름의 진행 방향과 수직 방향으로 회전하는 롤 형상의 제막 포를 통해 수직 방향으로 1차, 2차, 3차 등 복수 번 순차적으로 에칭함으로써 메탈 필름의 제막 효과, 효율성 및 정밀도를 획기적으로 높일 수 있고, 또한 제막 포 및 제막 필름의 형태를 메탈 필름을 회전시키는 롤러의 형태에 따라 변형되도록 함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화함으로써 메탈 필름의 제막 공정에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 발명하기에 이르렀다.
본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 제1 방향으로 회전하여 진행되는 다양한 종류의 터치 판넬용 필름 중에서 특히, 메탈 필름을 메탈 필름의 진행 방향과 수직 방향으로 회전하는 롤 형상의 제막 포를 통해 수직 방향으로 1차, 2차, 3차 등 복수 번 순차적으로 에칭함으로써 메탈 필름의 제막 효과, 효율성 및 정밀도를 획기적으로 높일 수 있고, 또한 제막 포 및 제막 필름의 형태를 메탈 필름을 회전시키는 롤러의 형태에 따라 변형되도록 함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화함으로써 메탈 필름의 제막 공정에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
보다 구체적으로, 본 발명은 복수의 제막 서포팅 롤러에 의해 상측 방향으로 회전하여 진행되는 메탈 필름을 제막 포를 통해 메탈 필름과 수직 방향으로 에칭함으로써 메탈 필름의 접촉 면적을 넓힐 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 제막 서포팅 롤러와 메탈 필름을 사이에 두고 제막 벨트 및 제막 포의 형태가 제막 서포팅 롤러의 외형에 따라 변형되도록 하여 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 넓힐 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 제막 포가 제막 벨트로부터 탈부착 가능하게 구성함으로써, 제막 포의 내구도가 떨어지더라도 간편하고 신속하게 제막 포를 새 제막 포로 교체할 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 제막 벨트를 내측 방향에서 외측 방향으로 압력을 통해 푸시(push)할 수 있도록 구성함으로써, 제막 포와 메탈 필름 간의 밀착성을 증대하고 그에 따른 메탈 필름의 제막 효과를 상승시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 공기를 분사함으로써, 제막 벨트의 외측에 제공되는 제막 포를 메탈 필름과 좀더 밀착되게 할 수 있고, 그에 따른 메탈 필름의 제막 효과를 상승시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 반달 형태의 밀착 부재를 통해 제막 벨트를 내측에서 외측 방향으로 푸시함으로써 메탈 필름을 회전시키는 롤러와 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화할 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 평평한 판상 형태의 밀착 부재 및 서포팅 밀착 부재를 통해 제막 벨트 및 메탈 필름을 내측에서 외측 방향으로 푸시함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화할 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 밀착 부재의 푸싱 압력을 조정함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 밀착력을 자유롭게 조절할 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 제막 포를 소제(cleaning)함으로써 항상 제막 포를 청결한 상태로 유지하여 메탈 필름과 제막 포 간에 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 메탈 필름의 수직부, 수평부 및 경사부 등에 하나 이상 위치되는 제막 장치를 통해 메탈 필름을 1차, 2차, 3차 등으로 복수 번 순차적으로 에칭함으로써 메탈 필름의 제막 효과를 극대화시킬 수 있는 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예에 따른 메탈 필름 제막 장치는, 복수의 제막 서포팅 롤러에 의해 제1 방향으로 진행되는 메탈 필름(Metal film)의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공되는 제막 벨트; 상기 제막 벨트를 제2 방향으로 진행시킬 수 있도록 구성되는 복수의 벨트 회전 롤러; 및 상기 제막 벨트의 외측에 제공되는 제막 포(gauze);를 포함한다.
바람직하게는, 상기 메탈 필름과 접한 상기 제막 포는 상기 복수의 벨트 회전 롤러에 의해 진행하면서 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭(Etching)할 수 있다.
바람직하게는, 상기 제막 벨트 및 제막 포는 상기 제막 서포팅 롤러와 상기 메탈 필름을 사이에 두고 접하면서 상기 제막 서포팅 롤러의 형상에 따라 외형이 변형될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제막 벨트 및 제막 포 사이에는 소정의 면적을 가지는 벨크로(Velcro) 접착포;가 제공될 수 있으며, 상기 벨크로 접착포에 의해 상기 제막 포가 상기 제막 벨트의 일측면으로부터 탈부착될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제막 포의 일측면에는 상기 메탈 필름의 일측면을 에칭할 수 있는 연마물질;이 도포될 수 있다.
바람직하게는, 메탈 필름 제막 장치는 상기 제막 벨트의 내측에 제공되는 밀착 부재; 상기 밀착 부재를 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 푸시(Push)할 수 있도록 구성되는 푸싱(pushing) 챔버; 및 상기 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 압력 조정 장치;를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 밀착 부재의 일측면은 상기 제막 서포팅 롤러의 측면과 대응되도록 내부로 함몰되어 형성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 밀착 부재는 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 공기를 분사할 수 있도록 구성될 수 있다.
바람직하게는, 메탈 필름 제막 장치는 상기 메탈 필름의 내측에 제공되며, 상기 밀착 부재와 대응되는 형태로 형성되는 서포팅 밀착 부재; 상기 서포팅 밀착 부재를 상기 메탈 필름의 내측에서 외측 방향으로 푸시할 수 있도록 구성되는 서포팅 푸싱 챔버; 및 상기 서포팅 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 서포팅 압력 조정 장치;를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 서포팅 밀착 부재는 평평한 플레이트(plate) 형태로 형성될 수 있다.
바람직하게는, 메탈 필름 제막 장치는 상기 제막 포를 소제(cleaning)할 수 있도록 구성되며, 롤러 형태 또는 브러쉬 형태로 형성되는 하나 이상의 클리닝 부재;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 메탈 필름 제막 시스템은 메탈 필름 제막 장치를 복수 개 포함하되, 상기 메탈 필름은 상기 복수 개의 메탈 필름 제막 장치에 의해 복수 번 순차적으로 에칭될 수 있다.
바람직하게는, 상기 복수 개의 메탈 필름 제막 장치는 상기 메탈 필름의 수직부, 수평부 및 경사부 중 어느 하나 이상에 위치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 메탈 필름 제막 방법은 복수의 제막 제막 서포팅 롤러를 통해 메탈 필름(Metal film)을 제1 방향으로 진행시키는 단계; 제막 벨트의 외측에 제막 포(gauze)를 제공하고, 상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계; 및 복수의 벨트 회전 롤러를 통해 상기 제막 벨트를 제2 방향으로 진행시켜 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭(Eching)하는 단계;를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계는 상기 제막 서포팅 롤러와 상기 메탈 필름을 사이에 두고 접하면서 상기 제막 서포팅 롤러의 형상에 따라 외형이 변형되는 단계;를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계는 소정의 면적을 가지는 벨크로(Velcro) 접착포를 제공하여 상기 벨크로 접착포를 통해 상기 제막 포를 상기 제막 벨트의 일측면으로부터 탈부착 시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계는 상기 제막 포의 일측면에 상기 메탈 필름의 일측면을 에칭할 수 있는 연마물질을 도포하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭하는 단계는 상기 제막 벨트의 내측에 밀착 부재를 제공하는 단계; 푸싱(pushing) 챔버를 통해 상기 밀착 부재를 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 푸시하는 단계; 및 압력 조정 장치를 통해 상기 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정하는 단계;를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭하는 단계는 상기 밀착 부재를 통해 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 공기를 분사하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭하는 단계는 상기 메탈 필름의 내측에 상기 밀착 부재와 대응되는 형태로 형성되는 서포팅 밀착 부재를 제공하는 단계; 서포팅 푸싱 챔버를 통해 상기 서포팅 밀착 부재를 상기 메탈 필름의 내측에서 외측 방향으로 푸시하는 단계; 및 서포팅 압력 조정 장치를 통해 상기 서포팅 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 메탈 필름 제막 방법은 롤러 형태 또는 브러쉬 형태로 형성되는 하나 이상의 클리닝 부재를 통해 상기 제막 포를 소제(cleaning)하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 메탈 필름 제막 장치, 시스템 및 방법은 복수의 제막 서포팅 롤러에 의해 상측 방향으로 회전하여 진행되는 메탈 필름을 제막 포를 통해 메탈 필름과 수직 방향으로 에칭함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 넓힐 수 있기 때문에, 메탈 필름을 제막하는데 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 제막 서포팅 롤러와 메탈 필름을 사이에 두고 제막 벨트 및 제막 포의 형태가 제막 서포팅 롤러의 외형에 따라 변형되도록 하여 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 넓힐 수 있기 때문에, 메탈 필름을 제막하는데 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 제막의 정밀도를 높일 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 본 발명은 벨크로를 통해 제막 포가 제막 벨트로부터 탈부착 가능하게 구성함으로써, 제막 포의 내구도가 떨어지더라도 간편하고 신속하게 제막 포를 새 제막 포로 교체할 수 있기 때문에, 제막 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 제막 벨트를 내측 방향에서 외측 방향으로 밀착 부재를 통해 푸시(push)할 수 있도록 구성함으로써, 제막 포와 메탈 필름 간의 밀착성을 증대하고 그에 따른 메탈 필름의 제막 효과를 상승시킬 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 공기를 분사함으로써, 제막 벨트의 외측에 제공되는 제막 포를 메탈 필름과 좀더 밀착되게 할 수 있고, 그에 따른 메탈 필름의 제막 효율을 보다 효과적으로 상승시킬 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 반달 형태의 밀착 부재를 통해 제막 벨트를 내측에서 외측 방향으로 푸시함으로써 메탈 필름을 회전시키는 롤러와 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화함으로써, 제막 서포팅 롤러의 외측면 형태에 구애 받지 않는다는 장점을 가진다.
또한, 본 발명은 평평한 판상 형태의 밀착 부재 및 서포팅 밀착 부재를 통해 제막 벨트 및 메탈 필름을 내측에서 외측 방향으로 푸시함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 접촉 면적을 최대화하여 메탈 필름을 제막하는 데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 에칭이 소정의 면적을 가지는 직선 형태로 되기 때문에 제막의 정밀도가 획기적으로 높아진다는 장점을 가진다.
또한, 본 발명은 밀착 부재의 푸싱 압력을 조정함으로써 메탈 필름과 제막 포 간의 밀착력을 자유롭게 조절할 수 있고, 또한 제막 장치의 전진 후진 및 제막 벨트의 세기를 조절할 수 있으며, 밀착 부재의 푸싱 압력을 조정함으로써 제막 필름과 제막 포 간의 이격거리(Gap)를 조절할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 클리닝 부재를 통해 제막 포를 소제(cleaning)함으로써 항상 제막 포를 청결한 상태로 유지하여 메탈 필름과 제막 포 간에 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제막되는 메탈 필름의 품질을 높일 수 있고 제막 효과가 극대화된다는 장점을 가진다.
또한, 본 발명은 메탈 필름을 1회 에칭하는 것이 아니라 메탈 필름의 수직부, 수평부 및 경사부 등에 하나 이상 위치됨으로써 메탈 필름을 1차, 2차, 3차 등으로 복수번 순차적으로 에칭할 수 있고, 그에 따라 메탈 필름의 제막 공정에 소요되는 시간이 획기적으로 줄어든다는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하나 이상의 메탈 필름 제막 장치(100)의 동작 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 제막 벨트(110), 벨트 회전 롤러(120) 및 제막 포(130)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 제막 서포팅 롤러(10), 제막 벨트(110), 벨트 회전 롤러(120) 및 제막 포(130)의 접촉 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀착 부재(140)를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 밀착 부재(140) 중 제1 밀착 부재(141)를 도 3에 적용시킨 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 4에 도시된 밀착 부재(140) 중 제2 밀착 부재(142)를 도 4에 적용시킨 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능, 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하나 이상의 메탈 필름 제막 장치(100)의 동작 상태를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 제막 벨트(110), 벨트 회전 롤러(120) 및 제막 포(130)를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 3은 도 1에 도시된 제막 서포팅 롤러(10), 제막 벨트(110), 벨트 회전 롤러(120) 및 제막 포(130)의 접촉 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 메탈 필름 제막 장치(100)는 제막 벨트(110), 복수의 벨트 회전 롤러(120) 및 제막 포(130)를 포함한다.
먼저 도 2를 살펴보면, 제막 벨트(110)는 복수의 제막 서포팅 롤러(10)에 의해 제1 방향으로 진행되는 메탈 필름(Metal film, 11)의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공되는 일종의 컨베어 벨트를 의미할 수 있다.
여기에서, 제막 서포팅 롤러(10)는 일반적인 컨베어 롤러를 의미할 수 있으며, 제막 서포팅 롤러(10)가 회전함에 따라 메탈 필름(11)이 제1 방향으로 진행되면서 공급될 수 있다.
이때, 제1 방향이라 함은 도 1에서 상측 방향 또는 하측 방향이 될 수 있으며, 후술되는 제2 방향과 수직 방향을 의미할 수 있다.
이러한 복수의 제막 서포팅 롤러(10)를 통해 제1 방향으로 진행되는 메탈 필름(11)은 제막 후 감겨지거나 혹은 제막 후에도 계속해서 제막 서포팅 롤러(10)를 따라 진행되면서 공급될 수 있다.
한편, 도 3을 살펴보면 제막 벨트(110)는 후술되는 벨트 회전 롤러(120)에 의하여 제2 방향(상술한 제1 방향과 수직 방향)으로 진행되면서 공급될 수 있고, 외력에 의해 형태가 용이하게 변형되는 재질(예를 들어, 스판덱스(spandex 등))로 형성될 수 있다.
여기에서, 제막 벨트(110)의 형태가 용이하게 변형된다는 의미는 제막 벨트(110)가 특정한 모양을 가진도록 변형된다는 의미가 아닌, 외력이 작용하는 반대 방향으로 늘어난다는 의미로 해석됨이 바람직하다.
이렇게 제막 벨트(110)의 형태가 용이하게 변형되는 재질로 형성하는 이유는 제막 서포팅 롤러(10)를 통해 제1 방향으로 진행되는 메탈 필름(11)과 제막 벨트(110)가 수직으로 접하는 경우 제막 서포팅 롤러(10)가 제막 벨트(110)의 내측 방향으로 일부 들어갈 수 있도록 하기 위함이다. 이런 경우, 메탈 필름(11)이 제막 벨트(110)의 내측 방향으로 들어간 상태가 되기 때문에 제막 벨트(110)가 메탈 필름(11)을 마치 감싸는 듯한 형태가 되고, 그에 따라 메탈 필름(11)과 제막 벨트(110)의 외측에 제공되는 제막 포(130)의 접촉면적이 최대가 될 수 있다.
이는, 후술되는 제막 포(130)에서 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
또한, 제막 벨트(110)와 후술되는 제막 포(130) 사이에는 소정의 면적을 가지는 벨크로(velcro) 접착포(미도시)가 제공될 수 있으며, 벨크로 접착포에 의해 후술되는 제막 포(130)가 제막 벨트(110)에 탈부착 될 수 있다.
따라서, 제막 포(130)의 내구도가 떨어지거나 제막 포(130)가 낡은 경우, 언제든지 제막 포(130)를 제막 벨트(110)로부터 분리시킬 수 있다.
일 실시예에서, 제막 벨트(110)와 제막 포(130) 사이에는 상술한 벨크로 접착포가 아닌 접착물질이 도포될 수 있으며, 접착물질에 의해 제막 포(130)가 제막 벨트(110)에 접착될 수 있다.
이때, 접착물질은 접착 및 분리가 복수 번 가능한 물질로 형성될 수 있기 때문에, 한번 접착된 제막 포(130)를 제막 벨트(110)로부터 언제든지 탈부착 할 수 있다.
한편, 이러한 제막 벨트(110)의 재질은 앞에서 예를 든 스판덱스에 국한되는 것이 아니며, 제막 벨트(110)가 후술되는 제막 포(130)를 제2 방향으로 진행되도록 하는 역할을 수행하고 또한 제막 서포팅 롤러(10)의 형태에 상응하도록 내측으로 형태가 변형되는 한, 제막 벨트(110)의 재질은 제한되지 않음을 유의한다.
다음으로, 복수의 벨트 회전 롤러(120)는 상술한 제막 벨트(110)를 제2 방향(상술한 제1 방향과 수직되는 방향)으로 진행시키는 역할을 수행할 수 있다.
이러한 역할을 수행하는 벨트 회전 롤러(120)는 상술한 제막 서포팅 롤러(10)와 상응하는 형태(예를 들어, 일반적인 컨베어 롤러 등)로 형성될 수 있지만, 벨트 회전 롤러(120)는 제막 서포팅 롤러(10)와 수직 상태에 해당할 수 있다.
다시 말해서, 도 1에서 제막 서포팅 롤러(10)의 양측 말단부가 수평 방향을 향해 눕혀진 상태에 해당한다면, 벨트 회전 롤러(120)의 양측 말단부는 수직 방향으로 향해 세워진 상태에 해당할 수 있다. 그에 따라, 제막 서포팅 롤러(10)에 감긴 메탈 필름(11)과 벨트 회전 롤러(120)에 감긴 제막 필름(110) 및 후술되는 제막 포(130)는 각각 수직 상태로 접하게 된다.
일 실시에에서, 벨트 회전 롤러(120)는 회전 속도, 회전 방향 등이 조절될 수 있으며, 그에 따라 메탈 필름(11)의 제막 상태가 달라질 수 있다.
한편, 벨트 회전 롤러(120)는 기존의 공지된 기술을 사용하기 때문에 상세한 설명은 생략하기로 한다.
다음으로, 제막 포(130)는 상술한 제막 벨트(110)의 외측에 제공될 수 있으며, 메탈 필름(11)을 에칭하는 역할을 수행할 수 있다.
이러한 제막 포(130)는 자체적으로 사포(gauze)에 해당하거나 혹은 제막 포(130)의 일측에 메탈 필름(11)을 에칭할 수 있는 연마물질(미도시)이 도포된 형태에 해당할 수 있다.
제막 포(130)는 상술한 제막 벨트(110)의 형태와 상응하는 형태에 해당할 수 있기 때문에 제막 벨트(110)의 외측을 덮을 수 있다.
이때, 제막 포(130)의 내측면에는 상술한 바와 같이 벨크로 접착포 혹은 접착물질이 제공될 수 있기 때문에, 제막 포(130)가 제막 벨트(110)로부터 분리되지 않고 고정될 수 있다.
또한, 제막 포(130)는 제막 벨트(110)와 마찬가지로 외력에 의해 형태가 용이하게 변형되는 재질(예를 들어, 스판덱스 등)로 형성될 수 있기 때문에, 메탈 필름(11)과 제막 벨트(110)가 수직으로 접하는 경우 제막 서포팅 롤러(10)가 제막 벨트(110)의 내측 방향으로 일부 들어가게 되고, 제막 포(130) 또한 제막 벨트(110)의 내부로 들어가면서 메탈 필름(11)을 감싸게 된다.
그에 따라, 제막 포(130)와 메탈 필름(11)의 접촉면적이 최대가 될 수 있다.
도 3(c)를 살펴보면, 도 3(c)는 도 3(b)를 상측에서 바라본 도면이며, 제막 서포팅 롤러(10) 및 메탈 필름(11)이 제막 포(130) 및 제막 필름(110)을 밀고 제막 필름(110)의 내측으로 일부 들어간 것을 확인할 수 있다.
도 3(c)의 현 상태(제막 포(130)가 메탈 필름(11)을 감싼 상태)에서 메탈 필름(11)은 상측 방향으로 진행하게 되고 제막 포(130)는 우측 방향으로 이동하면서 제막 포(13)가 메탈 필름(11)을 수직 방향으로 에칭하게 된다.
본 발명에 따른 메탈 필름 제막 장치(100)는 메탈 필름(11)과 제막 포(130) 간의 접촉 면적을 보다 넓히기 위한 밀착 부재(140)를 더 포함할 수 있는데, 이는 도 4 내지 도 6을 통해 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀착 부재(140)를 도시한 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 밀착 부재(140) 중 제1 밀착 부재(141)를 도 3에 적용시킨 상태를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 6은 도 4에 도시된 밀착 부재(140) 중 제2 밀착 부재(142)를 도 4에 적용시킨 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 6을 참조보면, 밀착 부재(140)는 제막 벨트(110)의 내측에 제공되며, 일측이 반달 형태로 내측으로 함몰된 제1 밀착 부재(141) 및 평평한 플레이트(plate) 형태로 형성된 제2 밀착 부재(142)로 제공될 수 있다.
먼저, 제1 밀착 부재(141)는 일측이 반달 형태로 형성될 수 있는데 이는 상술한 제막 서포팅 롤러(10)의 측면과 상응하는 형태에 해당할 수 있다.
이러한 형태에 의해 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)는 제1 밀착 부재(141)의 내측으로 휘어진 상태로 진행될 수 있다.
이런 경우, 제막 서포팅 롤러(10)에 감긴 메탈 필름(11)과 제막 포(130) 간의 접촉 면적이 반원 형태로 넓어질 수 있기 때문에 보다 넓은 면적이 에칭될 수 있다.
일 실시예에서, 제1 밀착 부재(141)의 일측에는 제1 밀착 부재(141)의 내부를 관통하는 하나 이상의 관통홀(141a), 상기 하나 이상의 관통홀(141a)에 공기를 주입할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 공기 주입 부재(141b) 및 주입되는 공기를 배출하기 위한 하나 이상의 공기 배출 홀(141c)이 제공될 수 있다.
즉, 하나 이상의 관통홀(141a)을 통해 주입된 공기는 하나 이상의 공기 배출 홀(141c)을 통해 배출되는데, 이때 하나 이상의 배출 홀(141c)은 제1 밀착 부재(141)에서 함몰된 부분에 위치될 수 있다. 제1 밀착 부재(141)의 함몰된 부분은 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)가 제2 방향(메탈 필름(11)의 제1 방향과 수직 방향)으로 진행되는 방향이기 때문에, 하나 이상의 공기 배출 홀(141c)를 통해 배출되는 공기에 의하여 제막 포(130)가 제막 벨트(110)의 외측 방향으로 이격될 수 있다. 그에 따라, 제막 포(130)와 메탈 필름(11) 간의 거리는 더욱 좁혀지게 되고, 결과적으로 제막 포(130)와 메탈 필름(11)은 보다 용이하게 밀착될 수 있다.
다음으로, 제2 밀착 부재(142)는 외측이 모두 평평한 플레이트 형태로 형성될 수 있는데, 이는 후술되는 서포팅 밀착 부재(150)의 측면과 상응하는 형태에 해당할 수 있다.
이러한 형태에 의해 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)는 평평한 평면 상태로 진행될 수 있다.
한편, 상술한 제2 밀착 부재(142)는 복수의 제막 서포팅 롤러(10) 사이에 제공되는 서포팅 밀착 부재(150)와 함께 메탈 필름(11) 및 제막 포(130)를 밀착시킬 수 있다.
서포팅 밀착 부재(150)는 제2 밀착 부재(142)와 상응하는 형태로 형성되며, 복수의 제막 서포팅 롤러(10) 사이에 위치될 수 있으며, 복수의 제막 서포팅 롤러(10)를 따라 진행하는 메탈 필름(11)과 복수의 벨트 회전 롤러(120)를 따라 진행하는 제막 포(130)가 평평한 평면 형태로 접할 수 있도록 밀착시키는 역할을 수행할 수 있다.
이러한 서포팅 밀착 부재(150)에 대해서는 도 6에서 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.
일 실시예에서, 제2 밀착 부재(142)의 일측에는 제1 밀착 부재(141)와 마찬가지로 제2 밀착 부재(142)의 내부를 관통하는 하나 이상의 관통홀(142a), 상기 하나 이상의 관통홀(142a)에 공기를 주입할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 공기 주입 부재(142b) 및 주입되는 공기를 배출하기 위한 하나 이상의 공기 배출 홀(142c)이 제공될 수 있다.
즉, 하나 이상의 관통홀(142a)을 통해 주입된 공기는 하나 이상의 공기 배출 홀(142c)을 통해 배출되는데, 이때 하나 이상의 배출 홀(142c)은 제2 밀착 부재(142)의 일측면에 위치될 수 있다. 제2 밀착 부재(142)의 일측면은 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)가 제2 방향(메탈 필름(11)의 제1 방향과 수직 방향)으로 진행되는 방향이기 때문에, 하나 이상의 공기 배출 홀(142c)를 통해 배출되는 공기에 의하여 제막 포(130)가 제막 벨트(110)의 외측 방향으로 이격될 수 있다. 그에 따라, 제막 포(130)와 메탈 필름(11) 간의 거리는 더욱 좁혀지게 되고, 결과적으로 제막 포(130)와 메탈 필름(11)은 보다 용이하게 밀착될 수 있다.
한편, 상술한 밀착 부재(140) 및 서포팅 밀착 부재(150)는 테프론, 나일론(MC) 등의 재질로 형성될 수 있으며, 밀착 부재(140) 및 서포팅 밀착 부재(150)가 상술한 역할을 수행하는 한 밀착 부재(140) 및 서포팅 밀착 부재(150)의 재질은 제한되지 않음을 유의한다.
도 5(a)를 살펴보면, 제1 밀착 부재(141)의 일측에는 제1 밀착 부재(141)를 제막 벨트(110)의 내측에서 외측 방향으로 푸시(push)할 수 있도록 구성되는 제1 푸싱 챔버(161)가 제공될 수 있다.
제1 푸싱 챔버(161)는 유압 또는 공기압을 이용하여 제1 밀착 부재(141)를 제막 벨트(110)의 내측에서 외측 방향으로 푸시할 수 있다.
여기에서, 제1 밀착 부재(141)를 푸시한다는 의미는, 제1 밀착 부재(141)를 제막 서포팅 롤러(10) 방향으로 밀어준다는 의미로 해석됨이 바람직하며 제1 밀착 부재(141)를 밀어주는 이유는 메탈 필름(11)과 제막 포(130) 간의 접촉 면적을 넓히기 위함이다.
일 실시예에서, 제1 푸싱 챔버(161)의 일측에는 제1 푸싱 챔버(161)의 푸싱 압력을 조정할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 압력 조정 장치(162)가 제공될 수 있다.
하나 이상의 압력 조정 장치(162)는 복수 번에 걸쳐 제1 푸싱 챔버(161)의 푸싱 압력을 조정할 수 있는데, 우선 1차적으로 푸싱 압력을 개략적으로 조정한 후 조정된 푸싱 압력을 2차적으로 미세 조정하게 되며, 그에 따라 제1 푸싱 챔버(161)가 제1 밀착 부재(141)를 푸시하는 압력이 미세하게 조정될 수 있다.
일 실시예에서, 상술한 하나 이상의 압력 조정 장치(162)는 제1 밀착 부재(141)의 내부에 공기를 주입하는 공기 주입 부재(141b)의 공기압을 조정하는 역할을 수행할 수 있다.
이때도, 하나 이상의 압력 조정 장치(162)는 복수 번에 걸쳐 공기 주입 부재(141b)의 공기압을 조정할 수 있는데, 우선 1차적으로 공기 주입 부재(141b)에 공급되는 공기 압력을 개략적으로 조정한 후 조정된 공기 압력을 2차적으로 미세 조정하게 되며, 미세 조정된 공기를 공기 주입 부재(141b)에 공급할 수 있게 된다.
도 5(b)를 살펴보면, 도 5(b)는 도 5(a)를 측면에서 바라본 도면이며, 제막 서포팅 롤러(10)를 따라 메탈 필름(10)이 제1 방향(상측 방향)으로 진행되고 있다. 그리고 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)는 제2 방향(도 5(b)에서 도면을 뚫고 들어가는 방향)으로 진행되고 있다.
이때, 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)는 제막 서포팅 롤러(10)의 형태에 따라 외형이 변형될 수 있기 때문에 내측으로 들어간 형태가 된다. 그리고 제막 벨트(110)의 내측에는 제1 밀착 부재(141)가 제막 벨트(110)의 내측을 밀어주기 때문에, 결과적으로 메탈 필름(11)과 제막 포(130)가 반원형으로 완전 밀착되어 에칭될 수 있다.
도 6(a)를 살펴보면, 제2 밀착 부재(142)의 일측에는 제2 밀착 부재(142)를 제막 벨트(110)의 내측에서 외측 방향으로 푸시(push)할 수 있도록 구성되는 제2 푸싱 챔버(163)가 제공될 수 있다.
제2 푸싱 챔버(163)는 유압 또는 공기압을 이용하여 제2 밀착 부재(142)를 제막 벨트(110)의 내측에서 외측 방향으로 푸시할 수 있다.
여기에서, 제2 밀착 부재(142)를 푸시한다는 의미는, 제1 밀착 부재(141)를 푸시한다는 의미와 동일한 의미에 해당하기 때문에 상세한 설명은 생략하기로 한다.
일 실시예에서, 제2 푸싱 챔버(163)의 일측에는 제2 푸싱 챔버(163)의 푸싱 압력을 조정할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 압력 조정 장치(164)가 제공될 수 있다.
하나 이상의 압력 조정 장치(164)는 복수 번에 걸쳐 제2 푸싱 챔버(163)의 푸싱 압력을 조정할 수 있는데, 우선 1차적으로 푸싱 압력을 개략적으로 조정한 후 조정된 푸싱 압력을 2차적으로 미세 조정하게 되며, 그에 따라 제2 푸싱 챔버(163)가 제2 밀착 부재(142)를 푸시하는 압력이 미세하게 조정될 수 있다.
일 실시예에서, 상술한 하나 이상의 압력 조정 장치(164)는 제2 밀착 부재(142)의 내부에 공기를 주입하는 공기 주입 부재(142b)의 공기압을 조정하는 역할을 수행할 수 있다.
이때도, 하나 이상의 압력 조정 장치는 복수 번에 걸쳐 공기 주입 부재(142b)의 공기압을 조정할 수 있는데, 우선 1차적으로 공기 주입 부재(142b)에 공급되는 공기 압력을 개략적으로 조정한 후 조정된 공기 압력을 2차적으로 미세 조정하게 되며, 미세 조정된 공기를 공기 주입 부재(142b)에 공급할 수 있게 된다.
도 6(b)는 도 6(a)를 배면에서 바라본 도면이고, 도 6(c)는 도 6(a)를 측면에서 바라본 도면이다.
도 6(b) 및 도 6(c)를 살펴보면, 제막 서포팅 롤러(10)를 따라 메탈 필름(10)이 제1 방향(상측 방향)으로 진행되고 있다. 그리고 제막 벨트(110) 및 제막 포(130)는 제2 방향(도 6(c)에서 도면을 뚫고 들어가는 방향)으로 진행되고 있다.
이때, 제2 밀착 부재(142)와 서포팅 밀착 부재(150)는 메탈 필름(11) 및 제막 포(130), 제막 벨트(110)를 사이에 두고 접하여 있기 때문에, 메탈 필름(11) 및 제막 포(130)는 평평한 평면 형태가 된다.
그리고 제막 벨트(110)의 내측에서 제2 밀착 부재(142)가 제막 벨트(110)의 내측을 밀어주기 때문에, 결과적으로 메탈 필름(11)과 제막 포(130)가 평면 형태로 완전 밀착되어 에칭될 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명에 따른 메탈 필름 제막 장치(100)는 제막 포(130)를 소제(cleaning)할 수 있는 하나 이상의 클리닝부재(170)를 포함할 수 있다.
클리닝부재(170)는 제막 포(130)의 외측에 제공될 수 있으며, 제2 방향으로 진행하는 제막 포(130)와 접하여 제막 포(130)에 묻어있는 이물질을 제거하는 역할을 수행할 수 있다.
이러한 역할을 수행하는 클리닝부재(170)는 상술한 벨트 회전 롤러(120)와 상응한 형태로 형성되는 롤러 형태 혹은 브러쉬 형태 등으로 다양하게 형성될 수 있으며, 클리닝부재(170)가 제막 포(130)에 묻어있는 이물질을 제거함으로써 메탈 필름(11)가 보다 완벽하고 깨끗하게 제막될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 메탈 필름 제막 장치(100)는 하나 이상 형성될 수 있기 때문에 메탈 필름(11)을 복수 번 순차적으로 에칭할 수 있다.
예를 들어, 본 발명에 따른 메탈 필름 제막 장치(100)는 제막 서포팅 롤러(10)를 따라 진행하는 메탈 필름(11)의 수직부, 수평부 및 경사부 중 어느 하나 이상에 위치될 수 있으며, 메탈 필름(11)을 1차, 2차, 3차 등으로 순차적으로 에칭할 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 메탈 필름 제막 장치(100)는 상술한 3개에 국한되는 것이 아니라, 제막 서포팅 롤러(10)의 개수 및 메탈 필름(11)의 길이에 따라, 혹은 에칭해야 하는 메탈 필름(11)의 에칭횟수 등에 따라 얼마든지 개수가 4개, 5개 등 다수개로 변경될 수 있으며, 그에 따라 메탈 필름(11)을 4차, 5차 등 다수의 차순으로 순차적으로 에칭할 수 있다.
이상 본 발명의 특정 실시예를 도시하고 설명하였으나, 본 발명의 기술사상은 첨부된 도면과 상기한 설명내용에 한정하지 않으며 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 변형이 가능함은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이며, 이러한 형태의 변형은, 본 발명의 정신에 위배되지 않는 범위 내에서 본 발명의 특허청구범위에 속한다고 볼 것이다.
10 : 제막 서포팅 롤러
11 : 메탈 필름
100 : 메탈 필름 제막 장치
110 : 제막 벨트
120 : 벨트 회전 롤러
130 : 제막 포
140 : 밀착 부재
141 : 제1 밀착 부재
141a : 관통홀
141b : 공기 주입 부재
141c : 공기 배출 홀
142 : 제2 밀착 부재
142a : 관통홀
142b : 공기 주입 부재
142c : 공기 배출 홀
150 : 서포팅 밀착 부재
161 : 제1 푸싱 챔버
162, 164 : 압력 조정 장치
163 : 제2 푸싱 챔버
170 : 클리닝부재

Claims (20)

  1. 복수의 제막 서포팅 롤러에 의해 제1 방향으로 진행되는 메탈 필름(Metal film)의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공되는 제막 벨트;
    상기 제막 벨트를 제2 방향으로 진행시킬 수 있도록 구성되는 복수의 벨트 회전 롤러; 및
    상기 제막 벨트의 외측에 제공되는 제막 포(gauze);를 포함하고,
    상기 메탈 필름과 접한 상기 제막 포는 상기 복수의 벨트 회전 롤러에 의해 진행하면서 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭(Etching)하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제막 벨트 및 제막 포는,
    상기 제막 서포팅 롤러와 상기 메탈 필름을 사이에 두고 접하면서 상기 제막 서포팅 롤러의 형상에 따라 외형이 변형되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제막 벨트 및 제막 포 사이에는,
    소정의 면적을 가지는 벨크로(Velcro) 접착포;가 제공되며,
    상기 벨크로 접착포에 의해 상기 제막 포가 상기 제막 벨트의 일측면으로부터 탈부착 되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제막 포의 일측면에는,
    상기 메탈 필름의 일측면을 에칭할 수 있는 연마물질;이 도포되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제막 벨트의 내측에 제공되는 밀착 부재;
    상기 밀착 부재를 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 푸시(Push)할 수 있도록 구성되는 푸싱(pushing) 챔버; 및
    상기 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 압력 조정 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 밀착 부재의 일측면은,
    상기 제막 서포팅 롤러의 측면과 대응되도록 내부로 함몰되어 형성되는 것을 특징으로 하는,
  7. 제5항에 있어서,
    상기 밀착 부재는,
    상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 공기를 분사할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 메탈 필름의 내측에 제공되며, 상기 밀착 부재와 대응되는 형태로 형성되는 서포팅 밀착 부재;
    상기 서포팅 밀착 부재를 상기 메탈 필름의 내측에서 외측 방향으로 푸시할 수 있도록 구성되는 서포팅 푸싱 챔버; 및
    상기 서포팅 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정할 수 있도록 구성되는 하나 이상의 서포팅 압력 조정 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 서포팅 밀착 부재는,
    평평한 플레이트(plate) 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제막 포를 소제(cleaning)할 수 있도록 구성되며, 롤러 형태 또는 브러쉬 형태로 형성되는 하나 이상의 클리닝 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 메탈 필름 제막 장치를 복수 개 포함하되,
    상기 메탈 필름은 상기 복수 개의 메탈 필름 제막 장치에 의해 복수 번 순차적으로 에칭되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 복수 개의 메탈 필름 제막 장치는,
    상기 메탈 필름의 수직부, 수평부 및 경사부 중 어느 하나 이상에 위치되는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 시스템.
  13. 복수의 제막 제막 서포팅 롤러를 통해 메탈 필름(Metal film)을 제1 방향으로 진행시키는 단계;
    제막 벨트의 외측에 제막 포(gauze)를 제공하고, 상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계; 및
    복수의 벨트 회전 롤러를 통해 상기 제막 벨트를 제2 방향으로 진행시켜 상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭(Eching)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계는,
    상기 제막 서포팅 롤러와 상기 메탈 필름을 사이에 두고 접하면서 상기 제막 서포팅 롤러의 형상에 따라 외형이 변형되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계는,
    소정의 면적을 가지는 벨크로(Velcro) 접착포를 제공하여 상기 벨크로 접착포를 통해 상기 제막 포를 상기 제막 벨트의 일측면으로부터 탈부착 시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 제막 벨트를 상기 메탈필름의 진행 방향과 수직 방향으로 밀착될 수 있도록 제공하는 단계는,
    상기 제막 포의 일측면에 상기 메탈 필름의 일측면을 에칭할 수 있는 연마물질을 도포하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭하는 단계는,
    상기 제막 벨트의 내측에 밀착 부재를 제공하는 단계;
    푸싱(pushing) 챔버를 통해 상기 밀착 부재를 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 푸시하는 단계; 및
    압력 조정 장치를 통해 상기 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭하는 단계는,
    상기 밀착 부재를 통해 상기 제막 벨트의 내측에서 외측 방향으로 공기를 분사하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 메탈 필름을 수직 방향으로 에칭하는 단계는,
    상기 메탈 필름의 내측에 상기 밀착 부재와 대응되는 형태로 형성되는 서포팅 밀착 부재를 제공하는 단계;
    서포팅 푸싱 챔버를 통해 상기 서포팅 밀착 부재를 상기 메탈 필름의 내측에서 외측 방향으로 푸시하는 단계; 및
    서포팅 압력 조정 장치를 통해 상기 서포팅 푸싱 챔버의 푸싱 압력을 조정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
  20. 제13항에 있어서,
    롤러 형태 또는 브러쉬 형태로 형성되는 하나 이상의 클리닝 부재를 통해 상기 제막 포를 소제(cleaning)하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    메탈 필름 제막 방법.
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