KR20150099656A - A adjusting apparatus for guide roller - Google Patents

A adjusting apparatus for guide roller Download PDF

Info

Publication number
KR20150099656A
KR20150099656A KR1020140020588A KR20140020588A KR20150099656A KR 20150099656 A KR20150099656 A KR 20150099656A KR 1020140020588 A KR1020140020588 A KR 1020140020588A KR 20140020588 A KR20140020588 A KR 20140020588A KR 20150099656 A KR20150099656 A KR 20150099656A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide roller
main body
adjusting
wire saw
parallelism
Prior art date
Application number
KR1020140020588A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김용덕
한영식
이영준
이승주
정재훈
최효일
정승구
Original Assignee
웅진에너지 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 웅진에너지 주식회사 filed Critical 웅진에너지 주식회사
Priority to KR1020140020588A priority Critical patent/KR20150099656A/en
Priority to PCT/KR2014/003811 priority patent/WO2015126003A1/en
Publication of KR20150099656A publication Critical patent/KR20150099656A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
    • B23D57/0023—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires with a plurality of saw wires or saw wires having plural cutting zones
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/10—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with provision for measuring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
    • B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/08—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with saw-blades of endless cutter-type, e.g. chain saws, i.e. saw chains, strap saws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B28D7/04—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

The present invention relates to a device for controlling parallel alignment of guide rollers used in a wire saw apparatus, and more specifically, to a device for controlling alignment of guide rollers used in a wire saw apparatus, capable of easily controlling parallel alignment of the guide rollers by pressing a guide roller in one direction using a control member, which is moved linearly. The present invention, wherein a plurality of wires are wound in a longitudinal direction, is provided to a wire saw apparatus for cutting an ingot and comprises: The device for controlling parallel alignment of guide rollers, which are provided to a wire saw apparatus for cutting an ingot to enable a plurality of wires to be wound in a longitudinal direction, comprises: a ring-shaped main body coupled to surround the guide roller to at least one side among both end parts of the guide roller; at least one adjustment member disposed on an inner surface of the main body to enable one surface of the adjustment member to surface-contact the guide roller; and an adjustment screw of which one end part is screwed to the main body to protrude toward the outside of the main body and the other end part is coupled to the adjustment member to be screw-moved toward the inside of the main body during operation of a user in order to press the adjustment member inward.

Description

와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치{A adjusting apparatus for guide roller}[0001] The present invention relates to an adjusting apparatus for guide rollers for a wire saw apparatus,

본 발명은 가이드 롤러의 평행도를 조정하기 위한 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 직선이동되는 조정부재를 통해 가이드롤러를 일방향으로 가압함으로써 가이드 롤러의 평행도를 손쉽게 조정할 수 있는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for adjusting the degree of parallelism of a guide roller, and more particularly, to a device for adjusting the degree of parallelism of a guide roller for a wire saw, which can easily adjust the parallelism of a guide roller by pressing the guide roller in one direction through a linearly- And an adjustment device.

일반적으로, 잉곳의 성장공정이 완료된 후 웨이퍼로 제조하기 위해서는 잉곳을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정이 진행된다.Generally, in order to manufacture the wafer after the ingot growth process is completed, a slicing process for cutting the ingot into pieces is performed.

이러한 슬라이싱 공정은 여러가지 방식이 있는데, 대표적인 방법으로는 챔버 내에서 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리 용액을 분사시키거나 쿨런트(Coolant)를 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리 또는 쿨런트와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어 쏘 방식과 다이아몬드 와이어 쏘 방식이다.Such a slicing process may be performed in various ways. As a representative method, a slurry or coolant is sprayed on a wire by spraying a slurry solution or spraying a coolant onto the wire while reciprocating the wire at a high speed in a chamber, And a diamond wire sawing method.

이러한 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있다.This method is now widely used because ingot can be cut into several wafers at the same time and the production yield per unit time can be improved.

한국등록특허 제0887494호에서는 잉곳을 절단하는 와이어 쏘 시스템이 개시되어 있다. 상기 특허의 와이어 쏘 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이 메인롤러에 와이어가 수백에서 수천회 권취되어 있고, 메인롤러의 회전으로 인해 와이어가 고속으로 주행한다. 그리고 잉곳을 고정하는 고정유닛이 하강하면서 고속 주행하는 와이어에 의해 잉곳을 절단하게 된다.Korean Patent No. 0887494 discloses a wire saw system for cutting an ingot. In the wire saw system of the patent, as shown in Fig. 1, wires are wound on the main roller several hundreds to thousands times, and the wire runs at a high speed due to the rotation of the main roller. Then, the ingot is cut by the wire moving at a high speed while the fixed unit for fixing the ingot descends.

이러한 메인롤러의 안정된 회전을 유지하기 위해서는 메인롤러의 회전에 따라 메인롤러의 무게 균형을 회전축의 중심으로 조정해야 한다.In order to maintain the stable rotation of the main roller, the weight balance of the main roller must be adjusted to the center of the rotation shaft according to the rotation of the main roller.

만약, 메인 롤러의 평행도 및 직진도가 정확하게 이루어지지 않는 경우 와이어의 안착상태가 불량해짐에 따라 얇은 두께로 절단되는 웨이퍼의 두께가 달라지고, 와이어의 떨림으로 웨이퍼의 표면상태가 악화되는 등 제품의 품질이 떨어질 뿐만 아니라 와이어의 단선이 발생되는 문제점이 있었다.If the parallelism and the straightness of the main roller are not precisely adjusted, the thickness of the wafer cut to a thin thickness is changed as the wire seated condition becomes poor, and the surface condition of the wafer is deteriorated due to the shaking of the wire. There is a problem that the quality is deteriorated and the wire is broken.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 직선이동되는 조정부재를 통해 가이드롤러를 일방향으로 가압하여 가이드 롤러의 평행도를 손쉽게 조정함으로써 제품의 수율 및 품질을 높일 수 있는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치를 제공하는 데 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a method for adjusting a guide roller parallelism adjustment for a wire saw, which can increase the yield and quality of a product by easily adjusting the parallelism of the guide roller by pressing the guide roller in one direction through the linearly- Device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 잉곳을 절단하기 위한 와이어 쏘 장치에 구비되어 복수 개의 와이어가 길이방향을 따라 권취되는 가이드 롤러의 평행도를 조정하기 위한 장치에 있어서, 상기 가이드 롤러의 양 단부 중 적어도 일측에 가이드 롤러를 감싸도록 결합되는 링 형상의 본체; 일면이 상기 가이드 롤러와 면접되도록 상기 본체의 내부면에 배치되는 적어도 하나의 조정부재; 및 일단부가 상기 본체의 외측으로 돌출되도록 상기 본체에 나사결합되고 타단부가 상기 조정부재에 결합되어 사용자의 조작시 상기 본체의 내측으로 나사이동됨으로써 상기 조정부재를 내측으로 가압하는 조정나사;를 포함하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치를 제공한다.In order to accomplish the above object, the present invention provides an apparatus for adjusting the parallelism of a guide roller provided in a wire saw for cutting an ingot and wound around a plurality of wires in a longitudinal direction, A ring-shaped body coupled to at least one side of the guide roller so as to surround the guide roller; At least one adjusting member disposed on an inner surface of the main body so that one surface thereof is in contact with the guide roller; And an adjusting screw which is screwed to the main body so that one end thereof protrudes to the outside of the main body and the other end is engaged with the adjusting member and is screwed to the inside of the main body when the user operates the main body, And a guide roller parallelism adjusting device for a wire saw.

바람직하게는, 상기 본체의 내주면에는 반경방향으로 일정깊이 절개형성되는 장착홈이 구비되어 상기 장착홈에 상기 조정부재가 배치될 수 있다.Preferably, the inner circumferential surface of the main body is provided with a mounting groove formed at a predetermined depth in the radial direction, and the adjusting member may be disposed in the mounting groove.

바람직하게는, 상기 장착홈은 본체의 내주면을 따라 간격을 두고 복수 개로 구비되고 상기 본체의 중심점을 기준으로 등각도를 이루도록 배치되며 상기 복수 개의 장착홈에 상기 조정부재가 각각 배치될 수 있다.Preferably, the mounting grooves are provided at a plurality of intervals along the inner circumferential surface of the main body, and are arranged so as to have an isometric angle with respect to the central point of the main body, and the adjusting members may be respectively disposed in the plurality of mounting grooves.

바람직하게는, 상기 조정부재는 상기 가이드 롤러와 면접되는 면이 상기 가이드 롤러의 외주면과 동일한 곡률을 갖는 곡면으로 구비될 수 있다.Preferably, the adjustment member is provided with a curved surface having a curvature that is the same as the outer circumferential surface of the guide roller, the surface being in contact with the guide roller.

바람직하게는, 상기 본체는 상기 가이드 롤러가 장착되는 와이어 쏘 장치의 바디에 일면이 고정될 수 있다.Preferably, the main body is fixed to the body of the wire saw apparatus to which the guide roller is mounted.

바람직하게는, 상기 조정나사의 길이중간에는 상기 본체의 외부면과 면접하도록 너트부재가 체결될 수 있다.Preferably, a nut member may be fastened to the middle of the adjusting screw so as to be in contact with the outer surface of the main body.

바람직하게는, 서로 이웃하는 한 쌍의 가이드 롤러는 간격유지부재를 매개로 연결되어 이격간격이 유지될 수 있다.Preferably, the pair of guide rollers adjacent to each other are connected to each other through the gap holding member so that the spacing distance can be maintained.

바람직하게는, 상기 간격유지부재는 상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 어느 하나의 외주면을 감싸는 링형상의 제1몸체와 나머지 가이드 롤러의 외주면을 감싸는 링형상의 제2몸체 및 상기 제1몸체와 제2몸체를 연결하는 연결부재를 포함할 수 있다.Preferably, the gap holding member includes a ring-shaped first body surrounding one of the pair of guide rollers and a ring-shaped second body surrounding the outer circumferential surface of the other guide roller, And a connecting member for connecting the body.

바람직하게는, 상기 제1몸체 및 제2몸체는 반호 형상의 제1부재 및 제2부재로 구비되고, 상기 제1부재 및 제2부재는 양 단부가 고정볼트를 매개로 체결될 수 있다.Preferably, the first body and the second body are composed of a first member and a second member having a half-shape, and both ends of the first member and the second member can be fastened through the fixing bolts.

바람직하게는, 상기 간격유지부재는 상기 가이드 롤러가 장착되는 와이어 쏘 장치의 바디에서 내측에 고정되고 상기 본체는 상기 바디의 외측에 고정될 수 있다.Preferably, the spacing member is fixed inwardly in the body of the wire saw apparatus to which the guide roller is mounted, and the body can be fixed to the outside of the body.

본 발명에 의하면, 직선이동되는 조정부재를 통해 가이드롤러를 일방향으로 가압하여 가이드 롤러의 평행도를 손쉽게 조정함으로써 제품의 수율 및 품질을 높일 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, there is an advantage that the product yield and quality can be improved by easily adjusting the parallelism of the guide roller by pressing the guide roller in one direction through the linearly moving adjusting member.

도 1은 종래의 와이어 쏘 시스템을 나타낸 개략도
도 2는 본 발명에 따른 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치를 나타낸 사시도.
도 3은 도 2가 가이드 롤러에 장착된 상태를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 간격유지부재를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치 및 간격유지부재가 와이어 쏘 시스템의 바디에 장착된 상태를 나타낸 도면.1 is a schematic diagram illustrating a conventional wire saw system;
2 is a perspective view showing a guide roller parallelism adjusting device for a wire saw apparatus according to the present invention.
Fig. 3 is a view showing a state in which Fig. 2 is mounted on a guide roller. Fig.
4 is a perspective view showing a gap holding member according to the present invention.
5 is a view showing a state in which a guide roller parallelism adjusting device and a gap maintaining member for a wire saw apparatus according to the present invention are mounted on a body of a wire saw system.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.In order to facilitate understanding of the present invention, the same reference numerals will be used to denote the same constituent elements even if they are shown in different drawings.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치(100)는 조정나사(130)의 조작시 직선이동되는 조정부재(120)를 통해 가이드 롤러(20)를 일방향으로 가압함으로써 가이드 롤러(20)의 평행도를 손쉽고 정밀하게 조정할 수 있는 데 기술적 특징이 있다.The guide roller parallelism adjusting apparatus 100 for a wire saw apparatus according to the preferred embodiment of the present invention presses the guide roller 20 in one direction through the adjusting member 120 which is linearly moved when the adjusting screw 130 is operated, There is a technical feature that the parallelism of the roller 20 can be adjusted easily and precisely.

이와 같은 본 발명에 따른 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치(100)는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본체(110), 조정부재(120) 및 조정나사(130)를 포함한다.The guide roller parallelism adjusting apparatus 100 for a wire saw apparatus according to the present invention includes a main body 110, an adjusting member 120, and an adjusting screw 130, as shown in FIGS.

상기 와이어 쏘 장치는 바디(10)에 적어도 두 개의 가이드 롤러(20)가 일정간격 이격되도록 배치되고, 가이드 롤러(20)의 양 단부측에는 아이들러(21) 및 스핀들(22)이 각각 결합됨으로써 상기 바디(10)에 회전가능하게 구비된다. 이러한 가이드 롤러(20)는 둘레에 다수 개의 홈(미도시)이 각각 형성되어 복수 개의 와이어(23)가 복수 개의 가이드 롤러(20)에 동시에 감기도록 배치된다. 이에 따라, 상기 가이드 롤러(20)의 회전시 와이어(23)가 잉곳의 길이방향과 교차하는 방향으로 왕복이동됨으로써 다수의 슬라이싱 된 실리콘 웨이퍼를 생산하게 된다. 이러한 와이어 쏘 장치 및 가이드 롤러(20)는 통상적인 구성이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.At least two guide rollers 20 are disposed on the body 10 so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance and an idler 21 and a spindle 22 are coupled to both ends of the guide roller 20, (Not shown). A plurality of grooves (not shown) are formed around the guide roller 20 so that the plurality of wires 23 are wound on the plurality of guide rollers 20 at the same time. Accordingly, when the guide roller 20 rotates, the wire 23 reciprocates in a direction crossing the longitudinal direction of the ingot, thereby producing a plurality of sliced silicon wafers. Since the wire saw apparatus and the guide roller 20 have a conventional structure, a detailed description thereof will be omitted.

상기 본체(110)는 상기 와이어 쏘 장치에 회전가능하게 구비되어 복수 개의 와이어(23)가 권취되는 가이드 롤러(20)의 양 단부 중 적어도 일측에 가이드 롤러(20) - 더욱 자세하게는, 상기 아이들러(21) 및/또는 스핀들(22)을 감싸도록 결합된다. 즉, 상기 본체(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 링 형상으로 구비되어 상기 아이들러(21) 또는 스핀들(22)을 감싸도록 배치된다. 이러한 본체(110)는 둘레를 따라 볼트부재(미도시)가 결합되는 다수 개의 결합공(112)이 관통형성된다. 이에 따라, 상기 본체(110)는 일면이 상기 바디(10)에 접하도록 배치된 후 상기 볼트부재를 통해 바디(10)의 일측에 고정된다.The main body 110 includes a guide roller 20 rotatably provided on the wire saw apparatus and at least one end of a guide roller 20 on which a plurality of wires 23 are wound, 21 and / or the spindle 22. That is, the main body 110 is disposed in a ring shape as shown in FIG. 2 and is disposed so as to surround the idler 21 or the spindle 22. The main body 110 has a plurality of engagement holes 112 through which bolt members (not shown) are coupled. Accordingly, the main body 110 is disposed on one side of the body 10 so as to be in contact with the body 10, and then fixed to one side of the body 10 through the bolt member.

이때, 상기 본체(110)의 내주면에는 반경반향으로 일정깊이 절개형성되는 복수 개의 장착홈(114)이 구비된다. 그리고, 상기 복수 개의 장착홈(114)은 링형상으로 구비되는 본체(110)의 중심점을 기준으로 등각도를 이루도록 배치될 수 있다.At this time, a plurality of mounting grooves 114 are formed in the inner circumferential surface of the main body 110, the mounting grooves 114 having a predetermined depth in the radial direction. The plurality of mounting grooves 114 may be arranged to have a uniform angle with respect to a center point of the ring-shaped main body 110.

상기 장착홈(114)에는 일정면적을 갖는 상부면(121)을 갖는 조정부재(120)가 배치되고, 상기 상부면(121)이 아이들러(21) 및 스핀들(22)의 외부면과 면접하도록 배치된다.An adjustment member 120 having an upper surface 121 having a predetermined area is disposed in the mounting groove 114 and the upper surface 121 is disposed so as to face the outer surface of the idler 21 and the spindle 22 do.

바람직하게는, 상기 조정부재(120)는 상기 아이들러(21) 및 스핀들(22)과 면접되는 상부면(121)이 상기 아이들러(21) 및 스핀들(22)의 외주면과 동일한 곡률을 갖는 곡면으로 구비된다. 이에 따라, 상기 조정부재(120)는 곡면으로 형성된 상부면(121)이 상기 아이들러(21) 및 스핀들(22)의 외부면과 밀착된 상태로 면접된다. 이로 인해, 조정나사(130)의 조작시 상기 조정부재(120)는 상기 아이들러(21) 및 스핀들(22)을 본체(110)의 중심측으로 원활하게 가압할 수 있게 된다.The adjustment member 120 may have a curved surface having the same curvature as the outer circumferential surface of the idler 21 and the spindle 22 so that the upper surface 121 of the adjustment member 120 is in contact with the idler 21 and the spindle 22. [ do. Accordingly, the adjustment member 120 is interposed in a state where the upper surface 121 formed in a curved surface is in close contact with the outer surface of the idler 21 and the spindle 22. The adjusting member 120 can smoothly press the idler 21 and the spindle 22 toward the center of the main body 110 when the adjusting screw 130 is operated.

여기서, 상기 장착홈(114)에는 상기 조정나사(130)가 나사결합되는 적어도 하나의 나사공(116)이 관통형성되며, 상기 조정부재(120)에는 상기 조정나사(130)의 단부측이 결합되는 결합홈(122)이 구비된다. 이때, 상기 결합홈(122)은 상기 조정나사(130)의 단부측이 용이하게 결합될 수 있도록 공지의 스냅링으로 구비될 수 있다.At least one screw hole 116 through which the adjusting screw 130 is screwed is formed in the mounting groove 114 so that the end of the adjusting screw 130 is coupled to the adjusting member 120, (Not shown). At this time, the coupling groove 122 may be provided as a known snap ring so that the end side of the adjusting screw 130 can be easily coupled.

이에 따라, 상기 장착홈(114)에 조정부재(120)가 배치된 상태에서 상기 조정나사(130)가 나사공(116) 및 결합홈(122)을 통하여 상기 조정부재(120)와 결합됨으로써 상기 조정부재(120)가 장착홈(114) 내에 배치된 상태를 유지할 수 있게 된다.The adjusting screw 130 is engaged with the adjusting member 120 through the screw hole 116 and the engaging groove 122 in a state where the adjusting member 120 is disposed in the mounting groove 114, The adjustment member 120 can be maintained in a state in which it is disposed in the mounting groove 114. [

상기 조정나사(130)는 일정길이를 갖추고 외주면에 나사부(132)가 구비되어 상기 장착홈(114)의 나사공(116)에 상기 나사부(132)를 통하여 나사결합된다. 이러한 조정나사(130)는 머리부(131)가 상기 본체(110)의 외측으로 일정길이 돌출되도록 본체(110)에 결합되며, 상기 머리부(131)의 반대단부가 상기 조정부재(120)의 결합홈(122)에 결합된다.The adjustment screw 130 has a predetermined length and is provided with a screw portion 132 on the outer circumferential surface thereof and is screwed to the screw hole 116 of the mounting groove 114 through the screw portion 132. The adjusting screw 130 is coupled to the main body 110 such that the head 131 protrudes outside of the main body 110 by a predetermined length and the opposite end of the head 131 is connected to the main body 110 And is coupled to the coupling groove 122.

이에 따라, 상기 조정나사(130)를 일방향으로 회전하게 되면, 상기 나사부(132) 및 나사공(116)의 나사결합에 의해 상기 조정나사(130)는 본체(110)의 내측 또는 외측으로 일정거리 나사이동된다. 이러한 조정나사(130)의 나사이동을 통해 상기 조정나사(130)의 단부에 결합된 조정부재(120) 역시 일정거리 이동하게 된다. 이로 인해, 상기 조정나사(130)의 조정을 통해 조정부재의 상부면(121)과 면접된 아이들러(21) 및 스핀들(22)을 일방향으로 가압하거나 해제함으로써 상기 가이드 롤러(20)에 대한 아이들러(21) 및 스핀들(22)의 위치를 미세조정함으로써 직진도(아이들러, 가이드 롤러 및 스핀들의 일직선도) 및 평행도(서로 이격배치되는 한 쌍의 가이드 롤러 간의 길이방향에 대한 이격편차)를 간편하게 조정할 수 있게 된다.Accordingly, when the adjusting screw 130 is rotated in one direction, the adjusting screw 130 is screwed into the screw portion 132 and the screw hole 116 to move the adjusting screw 130 toward the inside or outside of the main body 110 at a predetermined distance Screw is moved. The adjusting member 120 coupled to the end of the adjusting screw 130 also moves a certain distance through the screw movement of the adjusting screw 130. The idler 21 and the spindle 22 which are in contact with the upper surface 121 of the adjusting member through the adjustment of the adjusting screw 130 are pressed or released in one direction, 21) and the position of the spindle 22 can be finely adjusted to easily adjust the straightness (linearity of the idler, the guide roller and the spindle) and the parallelism (the gap between the pair of guide rollers spaced apart from each other in the longitudinal direction) .

그리고, 상기 조정나사(130)의 길이중간에는 너트부재(134)가 추가로 구비될 수 있다. 이러한, 너트부재(134)는 일면이 상기 본체(110)의 외부면과 접하도록 상기 조정나사(130)의 길이중간에 배치되며, 조정나사(130)의 조작을 통해 직진도 및 평행도의 미세 조정이 끝난 상태에서 조정나사(130)가 회전되는 것을 미연에 방지함으로써 조정나사(130)가 작업자에 의해 조정된 상태로 유지될 수 있도록 한다.Further, a nut member 134 may be additionally provided in the middle of the length of the adjusting screw 130. The nut member 134 is disposed in the middle of the length of the adjusting screw 130 so that one surface of the nut member 134 contacts the outer surface of the main body 110. The nut member 134 can be finely adjusted The adjusting screw 130 is prevented from being rotated before the adjusting screw 130 is rotated so that the adjusting screw 130 can be maintained in the adjusted state by the operator.

한편, 본 발명에 따른 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치(100)는 고정기능을 강화하고 조정나사(130)를 통한 정밀한 조정상태가 더욱 효과적으로 유지될 수 있도록 간격유지부재(140)가 추가적으로 구비될 수 있다. 이러한 간격유지부재(140)는 서로 이웃하는 한 쌍의 가이드 롤러(20)에 양 단부가 각각 연결되어 길이방향에 대한 이격거리를 동일한 간격으로 유지할 수 있도록 한다.Meanwhile, the guide roller parallelism adjusting apparatus 100 for a wire saw according to the present invention may further include a gap holding member 140 for enhancing the fixing function and maintaining a more precise adjustment state through the adjusting screw 130 . The gap holding member 140 is connected to a pair of adjacent guide rollers 20 so that the gap between the gap holding member 140 and the guide roller 20 can be maintained at the same interval.

즉, 상기 간격유지부재(140)는 서로 이웃하여 배치되는 한 쌍의 가이드 롤러(20) 중 어느 하나의 외주면을 감싸는 링형상의 제1몸체(141)와 나머지 가이드 롤러의 외주면을 감싸는 링형상의 제2몸체(142)로 구비되며, 상기 제1몸체(141) 및 제2몸체(142)가 연결부재(143)를 매개로 상호 연결된다.That is, the gap holding member 140 includes a ring-shaped first body 141 that surrounds one of the pair of guide rollers 20 disposed adjacent to each other, and a ring-shaped first body 141 surrounding the outer circumferential surface of the remaining guide roller. And the first body 141 and the second body 142 are connected to each other via a connection member 143. The first body 141 and the second body 142 are connected to each other via a connection member 143. [

이때, 상기 제1몸체(141) 및 제2몸체(142)는 반호 형상의 제1부재(141a,142a) 및 제2부재(141b,142b)로 구비되고 상기 제1부재(141a,142a) 및 제2부재(141b,142b)는 양 단부가 고정볼트(미도시)를 매개로 체결된다. 이에 따라, 상기 제1몸체(141) 및 제2몸체(142)는 서로 이웃하는 한 쌍의 가이드 롤러(20)에 각각 체결된 후 상기 고정볼트(미도시)를 통해 가이드 롤러(20)의 외주면에 단단히 고정된다. 이러한 간격유지부재(140)는 상기 제1몸체(141) 및 제2몸체(142)가 상기 가이드 롤러(20)가 장착되는 와이어 쏘 장치의 바디(10) 내측에 볼트와 같은 고정부재를 통해 완전히 고정된다. 이로 인해, 상기 본체(110)를 통해 아이들러(21), 스핀들(22) 및 가이드 롤러(20)의 평행도 및 직진도가 정밀하게 조정된 상태에서 상기 간격유지부재(140)를 와이어 쏘 장차의 바디(10) 내측에 고정하게 되면, 아이들러(21), 스핀들(22) 및 가이드 롤러(20)의 평행도 및 직진도가 정밀하게 조정된 상태로 유지될 수 있게 된다.
The first body 141 and the second body 142 may include first and second members 141a and 142a and first and second members 141b and 142b and first and second members 141a and 142a, Both ends of the second members 141b and 142b are fastened through fixing bolts (not shown). The first body 141 and the second body 142 are coupled to a pair of neighboring guide rollers 20 and then are fixed to the outer circumferential surface of the guide roller 20 through the fixing bolts As shown in Fig. The first and second bodies 141 and 142 are spaced apart from each other by a fixing member such as a bolt in the body 10 of the wire saw apparatus to which the guide roller 20 is mounted. . The spacing member 140 is connected to the body of the wire saw 20 in a state in which the parallelism and the straightness of the idler 21, the spindle 22 and the guide roller 20 are precisely adjusted through the main body 110, The parallelism and the straightness of the idler 21, the spindle 22, and the guide roller 20 can be maintained in a precisely adjusted state.

본 발명에 의하면, 직선이동되는 조정부재를 통해 가이드롤러를 일방향으로 가압하여 가이드 롤러의 평행도를 손쉽게 조정함으로써 제품의 수율 및 품질을 높일 수 있는 장점이 있다.
According to the present invention, there is an advantage that the product yield and quality can be improved by easily adjusting the parallelism of the guide roller by pressing the guide roller in one direction through the linearly moving adjusting member.

한편, 상기에서 본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 조정장치가 와이어 쏘 장치에 장착되는 가이드 롤러의 평행도를 조정하는 것으로 설명하였지만, 이에 한정하는 것은 아니며 수직방향과 수평방향에 대하여 미세한 조정이 요구되는 장비에 모두 적용될 수 있음을 밝혀둔다.
Although the guide roller parallelism adjusting device according to the present invention has been described as adjusting the parallelism of the guide rollers mounted on the wire saw, the present invention is not limited to this, but may be applied to equipment requiring fine adjustment in the vertical and horizontal directions It can be applied to all of them.

상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정 구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나, 이러한 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.
While the foregoing is a more detailed description with reference to the drawings in connection with specific embodiments of the invention, the invention is not limited to such specific structures. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is to be expressly understood, however, that equivalents, modifications and substitutions through such simple design variations or modifications are expressly included within the scope of the present invention.

10 : 바디 20 : 가이드 롤러
21 : 아이들러 22 : 스핀들
23 : 와이어
100 : 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치
110 : 본체 112 : 결합공
114 : 장착홈 116 : 나사공
120 : 조정부재 121 : 상부면
122 : 결합홈 130 : 조정나사
131 : 머리부 132 : 나사부
134 : 너트부재 140 : 간격유지부재
141 : 제1몸체 141a : 제1부재
141b : 제2부재 142 : 제2몸체
142a : 제1부재 142b : 제2부재
143 : 연결부재10: Body 20: Guide roller
21: idler 22: spindle
23: Wire
100: Guide roller parallelism adjusting device for wire saw apparatus
110: main body 112: engaging hole
114: mounting groove 116:
120: adjusting member 121: upper surface
122: coupling groove 130: adjusting screw
131: head part 132:
134: nut member 140: spacing member
141: first body 141a: first member
141b: second member 142: second body
142a: first member 142b: second member
143:

Claims (10)

잉곳을 절단하기 위한 와이어 쏘 장치에 구비되어 복수 개의 와이어가 길이방향을 따라 권취되는 가이드 롤러의 평행도를 조정하기 위한 장치에 있어서,
상기 가이드 롤러의 양 단부 중 적어도 일측에 가이드 롤러를 감싸도록 결합되는 링 형상의 본체;
일면이 상기 가이드 롤러와 면접되도록 상기 본체의 내부면에 배치되는 적어도 하나의 조정부재; 및
일단부가 상기 본체의 외측으로 돌출되도록 상기 본체에 나사결합되고 타단부가 상기 조정부재에 결합되어 사용자의 조작시 상기 본체의 내측으로 나사이동됨으로써 상기 조정부재를 내측으로 가압하는 조정나사;를 포함하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.An apparatus for adjusting the parallelism of a guide roller provided in a wire saw apparatus for cutting an ingot and wound around a plurality of wires in a longitudinal direction,
A ring-shaped main body coupled to at least one of both ends of the guide roller so as to surround the guide roller;
At least one adjusting member disposed on an inner surface of the main body so that one surface thereof is in contact with the guide roller; And
And an adjusting screw which is screwed to the main body so that one end thereof protrudes to the outside of the main body and the other end is engaged with the adjusting member and is screwed to the inside of the main body when the user operates, Guide roller parallelism adjusting device for wire saw apparatus. 제 1항에 있어서,
상기 본체의 내주면에는 반경방향으로 일정깊이 절개형성되는 장착홈이 구비되어 상기 장착홈에 상기 조정부재가 배치되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.The method according to claim 1,
Wherein the inner circumferential surface of the main body is provided with a mounting groove formed at a predetermined depth in the radial direction so that the adjusting member is disposed in the mounting groove. 제 2항에 있어서,
상기 장착홈은 본체의 내주면을 따라 간격을 두고 복수 개로 구비되고 상기 본체의 중심점을 기준으로 등각도를 이루도록 배치되며 상기 복수 개의 장착홈에 상기 조정부재가 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.3. The method of claim 2,
Wherein the mounting grooves are provided at a plurality of intervals along an inner circumferential surface of the main body and are arranged so as to have an isometric angle with respect to a center point of the main body, and the adjusting members are respectively disposed in the plurality of mounting grooves Guide roller parallelism adjusting device. 제 1항에 있어서,
상기 조정부재는 상기 가이드 롤러와 면접되는 면이 상기 가이드 롤러의 외주면과 동일한 곡률을 갖는 곡면으로 구비되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.The method according to claim 1,
Wherein the adjusting member is provided with a curved surface having a curvature equal to that of the outer circumferential surface of the guide roller, the surface being in contact with the guide roller. 제 1항에 있어서,
상기 본체는 상기 가이드 롤러가 장착되는 와이어 쏘 장치의 바디에 일면이 고정되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.The method according to claim 1,
Wherein the main body is fixed to one side of the body of the wire saw apparatus to which the guide roller is mounted. 제 1항에 있어서,
상기 조정나사의 길이중간에는 상기 본체의 외부면과 면접하도록 너트부재가 체결되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.The method according to claim 1,
And a nut member is fastened to the middle of the length of the adjusting screw so as to be in contact with the outer surface of the main body. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
서로 이웃하는 한 쌍의 가이드 롤러는 간격유지부재를 매개로 연결되어 이격간격이 유지되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
And a pair of adjacent guide rollers are connected to each other via a gap holding member so that a spacing distance is maintained. 제 7항에 있어서,
상기 간격유지부재는 상기 한 쌍의 가이드 롤러 중 어느 하나의 외주면을 감싸는 링형상의 제1몸체와 나머지 가이드 롤러의 외주면을 감싸는 링형상의 제2몸체 및 상기 제1몸체와 제2몸체를 연결하는 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.8. The method of claim 7,
The gap holding member may include a ring-shaped first body surrounding one of the pair of guide rollers, a ring-shaped second body surrounding the outer circumferential surface of the other guide roller, and a second body connecting the first body and the second body And a connecting member for guiding the parallelism of the guide rollers. 제 8항에 있어서,
상기 제1몸체 및 제2몸체는 반호 형상의 제1부재 및 제2부재로 구비되고, 상기 제1부재 및 제2부재는 양 단부가 고정볼트를 매개로 체결되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.9. The method of claim 8,
Wherein the first body and the second body are composed of a first member and a second member having a half-shape, and both end portions of the first member and the second member are fastened through fixing bolts Guide roller parallelism adjusting device. 제 7항에 있어서,
상기 간격유지부재는 상기 가이드 롤러가 장착되는 와이어 쏘 장치의 바디에서 내측에 고정되고 상기 본체는 상기 바디의 외측에 고정되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치.8. The method of claim 7,
Wherein the gap holding member is fixed to the inside of the body of the wire saw apparatus to which the guide roller is mounted, and the body is fixed to the outside of the body.
KR1020140020588A 2014-02-21 2014-02-21 A adjusting apparatus for guide roller KR20150099656A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140020588A KR20150099656A (en) 2014-02-21 2014-02-21 A adjusting apparatus for guide roller
PCT/KR2014/003811 WO2015126003A1 (en) 2014-02-21 2014-04-29 Device for controlling parallel alignment of guide rollers in wire saw apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140020588A KR20150099656A (en) 2014-02-21 2014-02-21 A adjusting apparatus for guide roller

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150099656A true KR20150099656A (en) 2015-09-01

Family

ID=53878494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140020588A KR20150099656A (en) 2014-02-21 2014-02-21 A adjusting apparatus for guide roller

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR20150099656A (en)
WO (1) WO2015126003A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6753390B2 (en) 2017-12-25 2020-09-09 信越半導体株式会社 Wire saw equipment and wafer manufacturing method
IT201900022743A1 (en) * 2019-12-02 2021-06-02 Pedrini Spa Ad Unico Socio MULTI-WIRE MACHINE FOR CUTTING STONE BLOCKS WITH WIRES DISTANCE CONTROL.

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH691037A5 (en) * 1996-02-06 2001-04-12 Hct Shaping Systems Sa Wire sawing device.
JP3236527B2 (en) * 1996-12-26 2001-12-10 株式会社日平トヤマ Wire saw
JPH1158208A (en) * 1997-08-25 1999-03-02 Mitsubishi Materials Shilicon Corp Bobbin for wire saw
JPH11129152A (en) * 1997-10-28 1999-05-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd Endless wire saw with fixed abrasive
KR101064875B1 (en) * 2011-02-08 2011-09-16 오성엘에스티(주) Winding roller for wire-saw system

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015126003A1 (en) 2015-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5810643A (en) Wire saw cutting method synchronizing workpiece feed speed with wire speed
US6283111B1 (en) Wire saw cutting method and apparatus therefor
EP2783780B1 (en) Wire saw
KR102253809B1 (en) Workpiece cutting method and workpiece holding tool
US20140318522A1 (en) Method for slicing workpiece
KR20150099656A (en) A adjusting apparatus for guide roller
EP2954965A1 (en) Method and system for sawing an ingot
KR100831747B1 (en) Wire saw machine and work machining method using thereof
US3032026A (en) Device for slicing semiconductor crystals and the like
CN108161735A (en) A kind of variable-diameter formula thin rounded flakes clamp structure and method
KR20130015546A (en) Wire saw machine for slicing ingot
KR101581812B1 (en) A auxiliary roller for wire saw apparatus and wire saw apparatus using thereof
CN204566417U (en) Novel numerical control diamond wire sapphire slices machine
JPH1058438A (en) Guide roller of wire saw
JPH09216223A (en) Fretsaw pulling device
JPH1142548A (en) Fixed abrasive grain wire saw
CN211103316U (en) Linear position adjusting mechanism of multi-wire cutting machine
KR20090098233A (en) Cutting apparatus using the endless diamond wire
JP2002307283A (en) Wire saw
KR102044919B1 (en) Multi-wire cutting device for controlling wire tension by adjusting Roller's position
JP2015202546A (en) Method for groove processing by wire saw and wire saw for groove processing
WO2024140681A2 (en) Cutting component, method for controlling wire saw, and wire saw
JP6424509B2 (en) Substrate processing equipment
KR101530254B1 (en) Wire Guide and Ingot Slicing Apparatus Including The Same
KR101467691B1 (en) Apparatus for Measuring Ingot Orientation

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right