KR102044919B1 - Multi-wire cutting device for controlling wire tension by adjusting Roller's position - Google Patents

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Abstract

본 발명은 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치에 관한 것이다. 이러한 멀티 와이어 절단장치는, 복수의 제1 결합공이 형성된 제1 블럭; 복수의 제2 결합공이 형성된 제2 블럭; 상기 제1 결합공에 회전 및 착탈 가능하게 체결되는 적어도 하나 이상의 제1 메인롤러; 상기 제2 결합공에 회전 및 착탈 가능하게 체결되는 적어도 하나 이상의 제2 메인롤러; 상기 제1,2 메인롤러에 감기는 절단와이어; 상기 제1 메인롤러 또는 제2 메인롤러를 회전시키는 구동모터;를 포함하며, 상기 구동모터에 의해 상기 제1 메인롤러와 상기 제2 메인롤러가 회전할 때 상기 절단와이어가 이송되면서 피절단물을 절삭하되, 상기 제1 메인롤러와 상기 제2 메인롤러의 이격 거리가 가변될 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a multi-wire cutting device to enable tension adjustment using a position adjustable roller. The multi-wire cutting device includes: a first block in which a plurality of first coupling holes are formed; A second block having a plurality of second coupling holes formed therein; At least one first main roller which is rotatably and detachably fastened to the first coupling hole; At least one second main roller which is rotatably and detachably fastened to the second coupling hole; A cutting wire wound around the first and second main rollers; And a driving motor for rotating the first main roller or the second main roller, wherein the cutting wire is transferred when the first main roller and the second main roller rotate by the driving motor. Cutting, but the separation distance of the first main roller and the second main roller is characterized in that it is variable.

Figure R1020180030364
Figure R1020180030364

Description

위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치{Multi-wire cutting device for controlling wire tension by adjusting Roller's position}Multi-wire cutting device for controlling wire tension by adjusting Roller's position}

본 발명은 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치에 관한 것으로, 특히 절단와이어가 결합된 롤러 간의 거리를 조절하여 피절단물의 크기에 따라 절단와이어의 적정한 텐션을 조절할 수 있도록 한 멀티 와이어 절단 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a multi-wire cutting device that allows the tension adjustment by using a position-adjustable roller, and in particular, it is possible to adjust the appropriate tension of the cutting wire according to the size of the cutting object by adjusting the distance between the rollers to which the cutting wire is coupled. To one multi-wire cutting device.

반도체 공정에서 사용되는 실리콘 기판, 사파이어 기판, 쿼츠 기판, 실리콘 파트 등은 크기가 큰 시편으로부터 멀티 와이어를 이용하여 절단하여 사용되는 것이 일반적이다. Silicon substrates, sapphire substrates, quartz substrates, silicon parts and the like used in the semiconductor process are generally used by cutting using large wires from large specimens.

예를 들어 실리콘 기판의 경우에는 직경을 최대한 키운 잉곳을 절단하여 개별 웨이퍼를 만들고 그 웨이퍼 상에서 집적 회로 소자들을 양산하게 되는데, 잉곳을 웨이퍼 형태로 절단하는 주요 방법으로는 멀티 와이어를 사용하는 방법이 있다. 절단 와이어는 고탄소강 와이어에 약 10㎛ 내지 120㎛의 매우 작은 다이아몬드가 균일하게 코팅된 형태일 수 있다. For example, in the case of a silicon substrate, ingots with the largest diameters are cut to make individual wafers, and integrated circuit devices are mass produced on the wafers. The main method of cutting ingots into wafer forms is a multi-wire method. . The cutting wire may be in the form of a uniform coating of very small diamond of about 10 μm to 120 μm on the high carbon steel wire.

도1은 종래의 멀티 와이어를 사용한 절단 장치의 일례를 도시한다. 도1에 도시된 장치는, 다결정 실리콘 또는 단결정 실리콘 등의 잉곳을 얇게 절단하기 위한 장치이다. 이러한 종래 절단 장치는, 한 쌍의 롤러(110a, 110b), 와이어(120), 상기 와이어가 감겨진 한 쌍의 롤러(110a,110b)를 회전시키기 위한 구동부(130) 및 잉곳(100)을 이송하는 잉곳 이송부(140)를 포함한다. 1 shows an example of a cutting device using a conventional multi-wire. The apparatus shown in Fig. 1 is a device for thinly cutting ingots such as polycrystalline silicon or single crystal silicon. This conventional cutting device, the pair of rollers (110a, 110b), the wire 120, the drive unit 130 and the ingot 100 for rotating the pair of rollers (110a, 110b) wound the wire transfer Ingot transfer unit 140 to be included.

도1의 종래 절단 장치는 상기 와이어(120)가 감기는 한 쌍의 롤러(110a, 110b)의 거리가 일정하게 유지된다. 종래 절단 장치는 도2a에 도시된 바와 같은 직경을 갖는 잉곳(100)을 절단하기 위해서 와이어(120)의 텐션이 적정하게 셋팅된다. 그런데, 동일한 절단 장치를 이용하여, 예컨대 직경이 도2a보다 작은 잉곳(100)을 절단하는 경우(도2b 참조), 잉곳(100)이 하강하여 와이어(120)와 접촉할 때 와이어(120)의 처짐이 발행될 수 있다. 이는 와이어(120)의 텐션이 작은 직경의 잉곳(100)을 절단하기 위해서 적정하게 셋팅되지 않았기 때문이며, 이러한 경우 제품품질을 저해하는 요소가 된다. In the conventional cutting device of FIG. 1, the distance of the pair of rollers 110a and 110b to which the wire 120 is wound is kept constant. In the conventional cutting device, the tension of the wire 120 is appropriately set to cut the ingot 100 having the diameter as shown in FIG. 2A. However, using the same cutting device, for example, when cutting the ingot 100 having a diameter smaller than that of FIG. 2A (see FIG. 2B), when the ingot 100 descends and contacts the wire 120, Deflection may be issued. This is because the tension of the wire 120 is not properly set in order to cut the small diameter ingot 100, in which case it is a factor that hinders product quality.

공개특허공보 제10-2005-0012938호(공개번호)Publication No. 10-2005-0012938 (Publication Number)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 절단와이어가 결합된 롤러 간의 거리를 조절하여 피절단물의 크기에 따라 절단와이어의 적정한 텐션을 조절할 수 있도록 한 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치를 제공함을 그 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above-described problems, by adjusting the distance between the rollers to which the cutting wire is coupled to adjust the tension using a position adjustable roller to adjust the appropriate tension of the cutting wire according to the size of the cutting object It is an object of the present invention to provide a multi-wire cutting device that enables this.

본 발명에 따른 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치는, 복수의 제1 결합공이 형성된 제1 블럭; 복수의 제2 결합공이 형성된 제2 블럭; 상기 제1 결합공에 회전 및 착탈 가능하게 체결되는 적어도 하나 이상의 제1 메인롤러; 상기 제2 결합공에 회전 및 착탈 가능하게 체결되는 적어도 하나 이상의 제2 메인롤러; 상기 제1,2 메인롤러에 감기는 절단와이어; 상기 제1 메인롤러 또는 제2 메인롤러를 회전시키는 구동모터;를 포함하며, 상기 구동모터에 의해 상기 제1 메인롤러와 상기 제2 메인롤러가 회전할 때 상기 절단와이어가 이송되면서 피절단물을 절삭하되, 상기 제1 메인롤러와 상기 제2 메인롤러의 이격 거리가 가변될 수 있도록 된 것을 특징으로 한다. Multi-wire cutting device to enable tension adjustment using a position adjustable roller according to the present invention, the first block formed with a plurality of first coupling holes; A second block having a plurality of second coupling holes formed therein; At least one first main roller which is rotatably and detachably fastened to the first coupling hole; At least one second main roller which is rotatably and detachably fastened to the second coupling hole; A cutting wire wound around the first and second main rollers; And a driving motor for rotating the first main roller or the second main roller, wherein the cutting wire is transferred when the first main roller and the second main roller rotate by the driving motor. Cutting, but the separation distance of the first main roller and the second main roller is characterized in that it is variable.

또한, 상기 제1 블럭은, 상기 제1 결합공이 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 하부행과, 상기 하부행의 상측에 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 상부행을 포함하고, 상기 제2 블럭은, 상기 제2 결합공이 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 하부행과, 상기 하부행의 상측에 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 상부행을 포함하는 것이 바람직하다. The first block may include a lower row in which at least two first coupling holes are horizontally spaced apart from each other, and an upper row in which at least two are formed horizontally spaced apart from each other above the lower row. The block may include a lower row in which at least two second coupling holes are horizontally spaced apart from each other, and an upper row in which at least two are formed horizontally spaced apart from each other above the lower row.

또한, 상기 제1 블럭과 상기 제2 블럭의 사이에 상기 제1 블럭과 상기 제2 블럭의 이격거리를 설정할 수 있는 이격거리설정블럭이 배치되는 것이 바람직하다. In addition, the separation distance setting block for setting the separation distance of the first block and the second block is preferably disposed between the first block and the second block.

또한, 상기 절단와이어가 감기는 상기 제1,2 메인롤러의 권선부에는 상기 절단와이어가 지나가는 가이드홈이 형성된 우레탄 소재의 커버가 결합되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the cover of the urethane material having a guide groove through which the cutting wire passes is coupled to the winding portion of the first and second main rollers to which the cutting wire is wound.

또한, 상기 절단와이어는 제1 보빈에서 인출되어 상기 제1 메인롤러 및 상기 제2 메인롤러의 길이 방향으로 소정 간격으로 연속적으로 복수 회 감긴 후에 제2 보빈에 감기는 것이 바람직하다. In addition, the cutting wire is preferably drawn out of the first bobbin and wound in the longitudinal direction of the first main roller and the second main roller a plurality of times continuously at predetermined intervals and then wound on the second bobbin.

또한, 상기 제1 블럭 상부행의 제1 결합공에 결합되는 제1 롤러; 상기 제1 블럭 하부행의 제1 결합공에 각각 결합되는 제2 롤러 및 제3 롤러; 상기 제2 블럭 상부행의 제2 결합공에 결합되는 제5 롤러; 상기 제2 블럭 하부행의 제2 결합공에 결합되는 제4롤러 및 제6롤러;를 포함하고, 상기 절단와이어는, 상기 제1 롤러 내지 상기 제5 롤러를 순차적으로 경유하는 제1 방향권선과, 제6 롤러를 거친 후 제4 롤러, 제3 롤러, 제1 롤러를 순차적으로 경유하는 제2 방향권선이 반복되어 권선되며, 상기 절단와이어는 상기 제3 롤러 및 상기 제4 롤러의 저면을 지나는 것이 바람직하다.In addition, a first roller coupled to the first coupling hole of the first row of the first block; A second roller and a third roller respectively coupled to the first coupling holes of the first row of the first block; A fifth roller coupled to a second coupling hole of the second row of upper rows; And a fourth roller and a sixth roller coupled to the second coupling hole in the lower row of the second block, wherein the cutting wire comprises: a first direction winding winding sequentially passing through the first roller to the fifth roller; After the sixth roller passes through the fourth roller, the third roller, and the second direction winding sequentially passing through the first roller is repeatedly wound, the cutting wire is passed through the bottom surface of the third roller and the fourth roller It is preferable.

본 발명에 따른 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치는, 절단와이어가 결합된 롤러 간의 거리를 조절하여 피절단물의 크기에 따라 절단와이어의 적정한 텐션을 조절할 수 있다. 따라서 하나의 장비를 이용하여 다양한 사이즈의 피절단물을 절단할 수 있는 효과를 제공한다. The multi-wire cutting device which enables tension adjustment using the position adjustable roller according to the present invention can adjust the appropriate tension of the cutting wire according to the size of the cutting object by adjusting the distance between the rollers to which the cutting wire is coupled. Therefore, it provides an effect that can be used to cut the cutting material of various sizes using a single equipment.

도1은 종래 와이어를 이용한 절단 장치의 일례를 도시한 도면,
도2는 도1의 장치에 사이즈가 다른 피절단물이 접근하는 모습을 개략적으로 보인 도면,
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치를 도시한 도면,
도4 내지 도6은 제1,2 메인롤러의 거리가 가변되는 모습을 도식적으로 도시한 도면,
도7은 도3에 따른 멀티 와이어 절단 장치에 있어서 절단와이어가 권선되는 모습을 도시한 도면,
도8은 도7의 요부를 발췌하여 도시한 도면,
도9는 도3의 요부를 발췌하여 분리 도시한 도면,
도10 내지 도11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치를 도시한 도면이다. 1 is a view showing an example of a cutting device using a conventional wire,
FIG. 2 is a view schematically showing the approach of the cut objects of different sizes to the apparatus of FIG. 1; FIG.
3 is a view showing a multi-wire cutting device according to an embodiment of the present invention,
4 to 6 schematically show how the distance between the first and second main rollers is variable;
FIG. 7 is a view illustrating a cutting wire being wound in the multi-wire cutting device of FIG. 3; FIG.
8 is a view showing an extract of the main part of FIG.
9 is an exploded view showing the main portion of FIG. 3;
10 to 11 is a view showing a multi-wire cutting device according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의된다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined by the scope of the claims.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치를 도시한 도면이고, 도4 내지 도6은 제1,2 메인롤러의 거리가 가변되는 모습을 도식적으로 도시한 도면이다. 도7은 도3에 따른 멀티 와이어 절단 장치에 있어서 절단와이어가 권선되는 모습을 도시한 도면이고, 도8은 도7의 요부를 발췌하여 도시한 도면이며, 도9는 도3의 요부를 발췌하여 분리 도시한 도면이다.Figure 3 is a view showing a multi-wire cutting device according to an embodiment of the present invention, Figures 4 to 6 is a diagram showing a state in which the distance of the first and second main roller is variable. FIG. 7 is a view illustrating a cutting wire being wound in the multi-wire cutting device of FIG. 3, and FIG. 8 is an illustration showing the main portion of FIG. 7, and FIG. 9 is an extract of the main portion of FIG. 3. The figure shows separation.

도3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치는, 제1 블럭(10), 제2 블럭(20), 제1 메인롤러(30), 제2 메인롤러(40), 절단와이어(50), 및 구동모터를 포함한다. Referring to FIG. 3, the multi-wire cutting apparatus for adjusting tension using a position adjustable roller according to an embodiment of the present invention includes a first block 10, a second block 20, and a first main. The roller 30, the second main roller 40, the cutting wire 50, and a drive motor.

상기 제1 블럭(10)은 제1 메인롤러(30)를 결합하기 위해서 마련된 것으로, 복수의 제1 결합공(11)이 형성된다. 도4 및 도5는 상기 제1 블럭(10)에 6개의 제1 결합공(11)이 형성된 예를 도시한다. 물론, 도6과 같이, 상기 제1 블럭(10)에는 9개의 제1 결합공(11)이 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 결합공(11)의 개수는 공정 조건을 고려하여 다양하게 선택될 수 있다. The first block 10 is provided to couple the first main roller 30, and a plurality of first coupling holes 11 are formed. 4 and 5 show an example in which six first coupling holes 11 are formed in the first block 10. Of course, as shown in FIG. 6, nine first coupling holes 11 may be formed in the first block 10. That is, the number of the first coupling holes 11 may be variously selected in consideration of process conditions.

상기 제1 블럭(10)은, 상기 제1 결합공(11)이 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 하부행(R1)과, 상기 하부행(R1)의 상측에 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 상부행(R2)을 포함한다. The first block 10 includes at least two lower rows R1 having the first coupling holes 11 horizontally spaced apart from each other, and horizontally spaced apart from each other above the lower rows R1. A dog-shaped upper row R2.

도4를 참조하면, 상기 제1 블럭(10)은 제1 결합공(11)이 수평으로 2개 형성된 하부행(R1)과, 상기 하부행(R1)의 상측에 제1 결합공(11)이 수평으로 2 개 형성된 상부행(R2)을 구비하며, 상기 상부행(R2)의 상측으로 제1 결합공(11)이 수평으로 2개 형성된 또 다른 행을 구비한다. 즉, 상기 제1 블럭(10)은 수평 방향으로 2개의 제1 결합공(11)을 갖는 행을 3개 구비하고, 총 6개의 제1 결합공(11)이 형성된다. Referring to FIG. 4, the first block 10 includes a lower row R1 in which two first coupling holes 11 are horizontally formed, and a first coupling hole 11 above the lower row R1. The upper row R2 is formed in two horizontally, and another row in which two first coupling holes 11 are horizontally formed is provided above the upper row R2. That is, the first block 10 has three rows having two first coupling holes 11 in the horizontal direction, and six first coupling holes 11 are formed in total.

도6을 참조하면, 상기 제1 블럭(10)은 제1 결합공(11)이 수평으로 3개 형성된 하부행(R1)과, 상기 하부행(R1)의 상측에 제1 결합공(11)이 수평으로 3 개 형성된 상부행(R2)을 구비하며, 상기 상부행(R2)의 상측으로 제1 결합공(11)이 수평으로 3개 형성된 또 다른 행을 구비한다. 즉, 상기 제1 블럭(10)은 수평 방향으로 3개의 제1 결합공(11)을 갖는 행을 3개 구비하고, 총 9개의 제1 결합공(11)이 형성된다. Referring to FIG. 6, the first block 10 includes a lower row R1 having three first coupling holes 11 horizontally, and a first coupling hole 11 above the lower row R1. The upper row R2 is formed in three horizontally, and another row in which three first coupling holes 11 are horizontally formed is provided above the upper row R2. That is, the first block 10 includes three rows having three first coupling holes 11 in a horizontal direction, and a total of nine first coupling holes 11 are formed.

상기 제2 블럭(20)은, 상기 제1 블럭(10)과 마찬가지로, 제2 메인롤러(40)를 결합하기 위해서 마련된 것으로, 복수의 제2 결합공(21)이 형성된다. 도4 및 도5는 상기 제2 블럭(20)에 6개의 제2 결합공(21)이 형성된 예를 도시한다. 물론, 도6과 같이, 상기 제2 블럭(20)에는 9개의 제2 결합공(21)이 형성될 수 있다. 즉, 상기 제2 결합공(21)의 개수는 공정 조건을 고려하여 다양하게 선택될 수 있다. Like the first block 10, the second block 20 is provided to couple the second main roller 40, and a plurality of second coupling holes 21 are formed. 4 and 5 show an example in which six second coupling holes 21 are formed in the second block 20. Of course, as shown in FIG. 6, nine second coupling holes 21 may be formed in the second block 20. That is, the number of the second coupling holes 21 may be variously selected in consideration of process conditions.

또한, 상기 제2 블럭(20)은, 상기 제2 결합공(21)이 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 하부행(R1)과, 상기 하부행(R1)의 상측에 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 상부행(R2)을 포함한다. 상기 제2 블럭(20)의 구조는 상술한 제1 블럭(10)의 구조와 동일하므로, 그 구체적인 설명은 생략한다. 즉, 도4 및 도6에 도시된 바와 같이, 상기 제2 블럭(20)은 상기 제1 블럭(10)과 동일하게 형성될 수 있다. In addition, the second block 20 is spaced apart from each other horizontally above the lower row (R1) and the lower row (R1) formed with at least two second coupling holes 21 are horizontally spaced from each other. It includes at least two upper row (R2) formed. Since the structure of the second block 20 is the same as that of the first block 10 described above, a detailed description thereof will be omitted. That is, as shown in FIGS. 4 and 6, the second block 20 may be formed in the same manner as the first block 10.

상기 제1 메인롤러(30)는 상기 제1 결합공(11)에 회전 및 착탈 가능하게 체결된다. 본 실시예에 따르면, 상기 제1 메인롤러(30)는 적어도 하나 이상 구비된다. 상기 제1 메인롤러(30)는 상기 제1 결합공(11)에 삽입되어 체결된다. The first main roller 30 is rotatably coupled to the first coupling hole 11. According to the present embodiment, at least one first main roller 30 is provided. The first main roller 30 is inserted into the first coupling hole 11 and fastened.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 메인롤러(30)의 권선부에는 절단와이어(50)가 권선된다. 상기 권선부에는 상기 절단와이어(50)가 지나가는 가이드홈(70)이 형성된 커버(80)가 결합된다. 상기 가이드홈(70)은 커버(80)의 길이방향을 따라 복수 개가 형성된다. 상기 커버(80)는 우레탄 소재로 이루어지며, 상기 권선부에 착탈 가능하게 결합된다. 상기 커버(80)는 절단와이어(50)에 의해 제1 메인롤러(30)가 마모되는 것을 방지하고, 절단와이어(50)에 의해 마모된 커버(80)는 교체할 수 있도록 하여, 제1 메인롤러(30)를 교체하는 것에 비하여 현저한 비용 감소 효과를 제공한다. According to this embodiment, the cutting wire 50 is wound around the winding portion of the first main roller 30. A cover 80 having a guide groove 70 through which the cutting wire 50 passes is coupled to the winding part. The guide grooves 70 are formed in plural along the longitudinal direction of the cover 80. The cover 80 is made of a urethane material, it is detachably coupled to the winding portion. The cover 80 prevents the first main roller 30 from being worn by the cutting wire 50, and the cover 80 worn by the cutting wire 50 can be replaced, thereby allowing the first main to be replaced. Compared to replacing the roller 30 provides a significant cost reduction effect.

상기 제2 메인롤러(40)는, 상기 제1 메인롤러(30)와 마찬가지로, 상기 제2 결합공(21)에 회전 및 착탈 가능하게 체결된다. 본 실시예에 따르면, 상기 제2 메인롤러(40)는 적어도 하나 이상 구비된다. 상기 제2 메인롤러(40)는 상기 제1 결합공(11)에 삽입되어 체결된다. Like the first main roller 30, the second main roller 40 is rotatably fastened to the second coupling hole 21 in a detachable manner. According to this embodiment, the second main roller 40 is provided with at least one. The second main roller 40 is inserted into the first coupling hole 11 and fastened.

본 실시예에 따르면, 상기 제2 메인롤러(40)의 권선부에는 절단와이어(50)가 권선된다. 도9에 도시된 바와 같이, 상기 권선부에는 상기 절단와이어(50)가 지나가는 가이드홈(70)이 형성된 커버(80)가 결합된다. 상기 가이드홈(70)은 커버(80)의 길이방향을 따라 복수 개가 형성된다. 상기 커버(80)는 우레탄 소재로 이루어지며, 상기 권선부에 착탈 가능하게 결합된다. 상기 제2 메인롤러(40)에 결합되는 커버(80)도 제1 메인롤러(30)에 결합되는 커버(80)와 동일한 기능 및 효과를 제공한다. According to the present embodiment, the cutting wire 50 is wound around the winding part of the second main roller 40. As shown in FIG. 9, a cover 80 having a guide groove 70 through which the cutting wire 50 passes is coupled to the winding part. The guide grooves 70 are formed in plural along the longitudinal direction of the cover 80. The cover 80 is made of a urethane material, it is detachably coupled to the winding portion. The cover 80 coupled to the second main roller 40 also provides the same function and effect as the cover 80 coupled to the first main roller 30.

상기 절단와이어(50)는 상기 제1,2 메인롤러(30,40)에 감겨서 피절단물을 절단하기 위해서 마련된다. 상기 피절단물은 반도체 공정에서 절단되어 사용되는 잉곳일 수 있다. The cutting wire 50 is wound around the first and second main rollers 30 and 40 to cut the cutting object. The cut object may be an ingot that is cut and used in a semiconductor process.

상기 절단와이어(50)는 제1 보빈에서 인출되어 상기 제1 메인롤러(30) 및 상기 제2 메인롤러(40)에 연속적으로 복수회 감긴 후 제2 보빈에 감긴다. 상기 절단와이어(50)가 상기 제1,2 메인롤러(30,40)에 감길 때, 상기 절단와이어(50)는 상기 제1,2 메인롤러(30,40)의 길이 방향으로 소정 간격으로 이격되어 연속적으로 감긴다. 상기 절단와이어(50)가 제1,2 메인롤러(30,40)에 감기는 방법에 관하여는 도7을 참조하여 후술한다. The cutting wire 50 is drawn out of the first bobbin and wound around the first main roller 30 and the second main roller 40 in a plurality of times and then wound on the second bobbin. When the cutting wire 50 is wound around the first and second main rollers 30 and 40, the cutting wire 50 is spaced apart at predetermined intervals in the longitudinal direction of the first and second main rollers 30 and 40. It is wound continuously. A method of winding the cutting wire 50 on the first and second main rollers 30 and 40 will be described later with reference to FIG. 7.

상기 구동모터는 상기 제1 메인롤러(30) 또는 상기 제2 메인롤러(40)를 회전시키기 위해 마련된다. 상기 구동모터는 상기 제1 메인롤러(30) 또는 상기 제2 메인롤러(40) 중 어느 하나에 동력을 전달하도록 구현되고, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)는 벨트에 의해 서로 구속되어 함께 회전하도록 구현될 수 있다. 물론, 상기 구동모터는 상기 제1,2 메인롤러(30,40)에 동시에 동력을 전달하도록 구현될 수 있다. 구동모터가 상기 제1,2 메인롤러(30,40)에 동력을 전달하는 방식은 공지된 방법에 의하므로, 그 구체적인 설명은 생략한다. The driving motor is provided to rotate the first main roller 30 or the second main roller 40. The drive motor is implemented to transmit power to any one of the first main roller 30 or the second main roller 40, the first and second main rollers (30, 40) are restrained from each other by a belt Can be implemented to rotate together. Of course, the drive motor may be implemented to simultaneously transmit power to the first and second main rollers (30, 40). Since the driving motor transmits power to the first and second main rollers 30 and 40 by a known method, a detailed description thereof will be omitted.

이러한 구성에 의해, 상기 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)는 상기 구동모터에 의해 회전하고, 이때 상기 절단와이어(50)가 이송되면서 피절단물을 절삭한다. 특히, 본 발명은 상기 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)의 이격 거리가 가변될 수 있다. 이하, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)의 이격 거리가 가변되는 점에 관하여 구체적으로 설명한다. With this configuration, the first main roller 30 and the second main roller 40 are rotated by the drive motor, and the cutting wire 50 is transported to cut the cutting object. In particular, the present invention may vary the separation distance of the first main roller 30 and the second main roller 40. Hereinafter, the separation distance of the first and second main rollers 30 and 40 will be described in detail.

도4를 참조하면, 제1 블럭(10)과 제2 블럭(20)은 소정의 거리(L1)로 이격되어 있다. 상기 거리(L1)는 피절단물의 사이즈를 고려하여 가까워지거나 멀어질 수 있다. 제1 블럭(10)과 상기 제2 블럭(20)의 위치를 서로 근접하거나 이격시킴으로써, 상기 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)의 이격 거리는 가변될 수 있다. Referring to FIG. 4, the first block 10 and the second block 20 are spaced apart by a predetermined distance L1. The distance L1 may be closer or further in consideration of the size of the cutting object. The distance between the first main roller 30 and the second main roller 40 may be varied by allowing the positions of the first block 10 and the second block 20 to be adjacent to or spaced apart from each other.

도3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 블럭(10)과 제2 블럭(20)의 사이에는 상기 제1 블럭(10)과 제2 블럭(20)의 이격 거리를 설정할 수 있는 이격거리설정블럭(60)이 마련될 수 있다. 상기 이격거리설정블럭(60)의 폭은 절단 공정의 환경을 고려하여 다양하게 제작될 수 있다. 소정의 폭을 갖는 이격거리설정블럭(60)을 상기 제1 블럭(10)과 제2 블럭(20)에 배치하여, 상기 제1 블럭(10)과 상기 제2 블럭(20)의 거리가 용이하게 설정될 수 있다.As shown in FIG. 3, a separation distance setting block for setting a separation distance between the first block 10 and the second block 20 between the first block 10 and the second block 20. 60 may be provided. The width of the separation distance setting block 60 may be variously manufactured in consideration of the environment of the cutting process. A separation distance setting block 60 having a predetermined width is disposed in the first block 10 and the second block 20 so that the distance between the first block 10 and the second block 20 can be easily achieved. Can be set.

도5는, 도4에 도시된 제1,2 블럭(10,20)의 자세가 변경된 상태의 모습을 도시한 것이다. 도5에 도시된 제1,2 블럭(10,20)은, 도4에 도시된 제1,2 블럭(10,20)과 동일하다. 다만, 도4의 제1,2 블럭(10,20)의 세로변이 도5에서는 가로변으로 위치하도록 위치를 변경한 것이다. FIG. 5 shows a state where the postures of the first and second blocks 10 and 20 shown in FIG. 4 are changed. The first and second blocks 10 and 20 shown in FIG. 5 are the same as the first and second blocks 10 and 20 shown in FIG. However, the positions of the vertical sides of the first and second blocks 10 and 20 of FIG. 4 are changed to the horizontal sides of FIG. 5.

도5에 도시된 바와 같이, 상기 제1,2 블럭(10,20)의 마주하는 면은 도4의 이격거리(L1)와 동일한 간격으로 이격되어 있다. 다만, 피절단물이 절단될 수 있는 제1 메인롤러(30)와 제2 메인롤러(40)의 사이의 거리는, 상기 L1 보다 큰 L2로 멀어진다. 따라서, 제1,2 블럭(10,20)의 자세를 변경하여 제1,2 메인롤러(30,40)의 이격 거리를 조절하는 것이 가능하다. As shown in FIG. 5, the facing surfaces of the first and second blocks 10 and 20 are spaced at the same interval as the separation distance L1 of FIG. 4. However, the distance between the first main roller 30 and the second main roller 40, which can be cut, is farther away from L2 than L1. Therefore, it is possible to adjust the separation distance of the first and second main rollers 30 and 40 by changing the posture of the first and second blocks 10 and 20.

도6은, 도4의 제1,2 블럭(10,20)과 달리, 제1,2 블럭(10,20)에 제1,2 결합공(11,21)이 9개 형성된 것을 도시한다. 도6a와 도6b는 상기 제1,2 블럭(10,20)의 마주하는 면이 L1만큼 이격된 상태에서, 상기 제1,2 블럭(10,20)에 대한 상기 제1,2 메인롤러(30,40)의 결합 위치가 변경된 상태를 도시한 것이다. 6 illustrates that nine first and second coupling holes 11 and 21 are formed in the first and second blocks 10 and 20, unlike the first and second blocks 10 and 20 of FIG. 4. 6A and 6B illustrate the first and second main rollers with respect to the first and second blocks 10 and 20 in a state in which facing surfaces of the first and second blocks 10 and 20 are spaced apart by L1. 30 and 40 show the changed state of the coupling position.

제1 블럭(10) 또는 제2 블럭(20)에 형성되는 제1 결합공(11) 또는 제2 결합공(21)의 개수를 증가시키면, 상기 제1 메인롤러(30) 또는 상기 제2 메인롤러(40)가 결합되는 위치의 다양성이 확보된다. When the number of the first coupling holes 11 or the second coupling holes 21 formed in the first block 10 or the second block 20 is increased, the first main roller 30 or the second main hole 21 is increased. The variety of positions at which the rollers 40 are engaged is ensured.

도6a는 도6b에 비하여, 피절단물의 사이즈가 작은 경우에 적합하다. 반대로, 도6b는 도6a보다 피절절물의 사이즈가 큰 경우에 더 적합하다. 즉, 제1 블럭(10) 또는 제2 블럭(20)에 결합되는 제1 메인롤러(30) 또는 제3 메인롤러(40)의 위치를 변경함으로써, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)의 위치는 가변될 수 있다. 상기 제1 메인롤러(30)와 제2 메인롤러(40)의 이격 위치가 조절되어, 피절단물의 사이즈 크기 맞게 절단와이어(50)의 텐션이 용이하게 조절될 수 있다. 6A is suitable for the case where the size of the cut object is smaller than that of FIG. 6B. In contrast, Fig. 6B is more suitable for the case where the size of the cut object is larger than that of Fig. 6A. That is, by changing the position of the first main roller 30 or the third main roller 40 coupled to the first block 10 or the second block 20, the first and second main rollers 30 and 40. ) May vary. The separation position of the first main roller 30 and the second main roller 40 is adjusted, the tension of the cutting wire 50 can be easily adjusted to fit the size of the cutting object.

도7은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 와이어 절단장치에서 절단와이어가 제1,2 메인롤러(30,40)에 권선되는 방법에 관하여 도시한다. 도7은 도3의 실시예에 있어서, 상기 절단와이어(50)가 권선되는 방법을 도시한 것이다. 물론, 도4 내지 도6에 있어서도, 상기 절단와이어(50)는 도7과 같은 방식으로 권선된다. FIG. 7 illustrates a method in which the cutting wire is wound around the first and second main rollers 30 and 40 in the multi-wire cutting device according to the exemplary embodiment of the present invention. FIG. 7 illustrates how the cutting wire 50 is wound in the embodiment of FIG. 3. 4 to 6, the cutting wire 50 is wound in the same manner as in FIG.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 블럭(10)에 제1,2,3 롤러(31,32,33)가 결합되고, 상기 제2 블럭(20)에 제4,5,6 롤러(44,45,46)가 결합된다. 구체적으로, 상기 제1 롤러(31)는 상기 제1 블럭(10) 상부행의 제1 결합공(11)에 결합된다. 상기 제2 롤러(32) 및 제3 롤러(33)는 상기 제1 블럭(10) 하부행의 제1 결합공(11)에 각각 결합된다. 상기 제5 롤러(45)는 상기 제2 블럭(20) 상부행의 제2 결합공(21)에 결합된다. 상기 제4 롤러(44) 및 제6 롤러(46)는 상기 제2 블럭(20) 하부행의 제2 결합공(21)에 결합된다. According to the present embodiment, the first, second, and third rollers 31, 32, and 33 are coupled to the first block 10, and the fourth, fifth, and sixth rollers 44, are attached to the second block 20. 45,46) are combined. Specifically, the first roller 31 is coupled to the first coupling hole 11 in the upper row of the first block 10. The second roller 32 and the third roller 33 are respectively coupled to the first coupling hole 11 in the lower row of the first block 10. The fifth roller 45 is coupled to the second coupling hole 21 in the upper row of the second block 20. The fourth roller 44 and the sixth roller 46 are coupled to the second coupling hole 21 in the lower row of the second block 20.

상기 절단와이어(50)는, 상기 제1 롤러 내지 상기 제5 롤러(31,32,33, 44,45)를 순차적으로 경유하는 제1 방향 권선과, 제6 롤러(46)를 거친 후 제4 롤러(44), 제3 롤러(33), 제1 롤러(31)를 순차적으로 경유하는 제2 방향 권선이 반복되어 권선된다. 이때, 상기 절단와이어(50)는 상기 제3 롤러(33) 및 상기 제4 롤러(44)의 저면을 지난다. The cutting wire 50 has a first direction winding through the first rollers to the fifth rollers 31, 32, 33, 44 and 45, and a fourth roller 46 after passing through the sixth roller 46. The second direction winding, which sequentially passes through the roller 44, the third roller 33, and the first roller 31, is repeatedly wound. In this case, the cutting wire 50 passes through the bottom surfaces of the third roller 33 and the fourth roller 44.

상기 제1 롤러 내지 제6 롤러(31,32,33,44,45,46)에는 커버(80)가 결합되고, 상기 커버(80)에 형성된 가이드홈(70)을 따라서 상기 절단와이어(50)가 권선된다. 상기 절단와이어(50)는 상기 제1 롤러 내지 제6 롤러(31,32,33,44,45,46)의 길이 방향으로 소정 간격으로 이격되어 연속적으로 권선된다. The cover 80 is coupled to the first to sixth rollers 31, 32, 33, 44, 45, and 46, and the cutting wire 50 is formed along the guide groove 70 formed in the cover 80. Is wound. The cutting wires 50 are continuously spaced apart at predetermined intervals in the length direction of the first to sixth rollers 31, 32, 33, 44, 45, and 46.

도8을 참조하면, 상기 제3 롤러(33) 및 제4 롤러(44)는 제1 깊이를 갖는 제1 홈(71)과, 상기 제1 깊이보다 더 얕게 형성된 제2 깊이를 갖는 제2 홈(72)이 교대로 연속적으로 배치된다. 상기 제1 홈(71)과 제2 홈(72)의 간격은 소정의 제1 간격으로 연속적으로 형성된다. Referring to FIG. 8, the third roller 33 and the fourth roller 44 each include a first groove 71 having a first depth and a second groove having a second depth formed shallower than the first depth. 72 are alternately arranged in succession. The gap between the first groove 71 and the second groove 72 is continuously formed at a predetermined first interval.

반면에, 상기 제1 롤러(31), 제2 롤러(32), 제5 롤러(45), 및 제6 롤러(46)에는 상기 제2 깊이를 갖는 제2 홈(72)이 상기 롤러들의 길이 방향을 따라서 복수 개가 상기 제1 간격으로 연속적으로 형성된다. On the other hand, in the first roller 31, the second roller 32, the fifth roller 45, and the sixth roller 46, a second groove 72 having the second depth has a length of the rollers. A plurality along the direction is formed continuously at the first intervals.

도7에 있어서, 각 롤러 내부에 도시되는 화살표는 각 롤러의 회전 방향을 나타내고, 절단와이어(50)에 표시된 화살표는 절단와이어(50)가 감기는 방향을 나타낸다. 그리고, L은 절단와이어(50)가 제1 깊이를 갖는 제1 홈(71)을 지날 때를 나타낸다. H는 절단와이어가(50)가 제2 깊이를 갖는 제2 홈(72)을 지날 때를 나타낸다.In Fig. 7, an arrow shown inside each roller indicates a rotation direction of each roller, and an arrow indicated on the cutting wire 50 indicates a direction in which the cutting wire 50 is wound. L represents the time when the cutting wire 50 passes the first groove 71 having the first depth. H indicates when the cutting wire 50 passes through the second groove 72 having a second depth.

도7을 참조하면, n 번째(n은 자연수)로 권선되는 절단와이어(50)는 제1 롤러(31)로부터 제2,3,4 롤러(32,33, 44)의 저면을 지난 후, 제2 블럭(20)의 상부행(R2)에 배치된 제5 롤러(45)에 감긴다(제1 방향 권선). 이어서 상기 절단와이어(50)는 상기 제6 롤러(46)를 지나도록 권선된다. 도8에 도시된 바와 같이, n 번째 권선되는 절단와이어(50)는 상기 제3 롤러(33)를 지날 때는 깊이가 깊은 제1 홈(71)을 지나고, 제4 롤러(44)를 지날 때는 깊이가 낮은 제2 홈(72)을 지난다. Referring to FIG. 7, the cutting wire 50 wound to the nth (n is a natural number) passes through the bottom of the second, third, and fourth rollers 32, 33, 44 from the first roller 31, and then It is wound on the fifth roller 45 arranged in the upper row R2 of the two blocks 20 (first direction winding). Subsequently, the cutting wire 50 is wound to pass through the sixth roller 46. As shown in FIG. 8, the n-th winding wire 50 passes through the first groove 71 having a deep depth when passing through the third roller 33, and has a depth when passing through the fourth roller 44. Passes through the lower second groove 72.

n+1 번째로 권선되는 절단와이어(50)는 제6 롤러(46)를 거친 후, 제4 롤러(44), 제3 롤러(33)를 거치고, 다시 제1 롤러(31)에 권선된다(제2 방향 권선). 이때, 상기 절단와이어(50)는 상기 제4 롤러(44) 및 제3 롤러(33)의 저면을 지난다. 도8에 도시된 바와 같이, n+1 번째로 권선되는 절단와이어(50)는 상기 제4 롤러(44)를 지날 때는 깊이가 깊은 제1 홈(71)을 지나고, 제3 롤러(33)를 지날 때는 깊이가 낮은 제2 홈(72)를 지난다. The cutting wire 50 wound nth first passes through the sixth roller 46, passes through the fourth roller 44, the third roller 33, and is wound on the first roller 31 again. Second direction winding). In this case, the cutting wire 50 passes through the bottom surfaces of the fourth roller 44 and the third roller 33. As shown in FIG. 8, the n + 1 winding wire 50 passes through the first groove 71 which is deep when passing through the fourth roller 44, and passes through the third roller 33. As it passes, it passes through the second groove 72 having a low depth.

이어서, n+2 번째로 권선되는 절단와이어(50)은 n 번째로 권선되는 방식과 같은 방식으로 권선되고, n+3 번째로 권선되는 절단와이어(50)는 n+1 번째로 권선되는 방식과 같은 방식으로 권선된다. Subsequently, the n + 2 th cut wire 50 is wound in the same manner as the n th winding, and the n + 3 th cut wire 50 is wound the n + 1 th and It is wound in the same way.

이와 같은 방식으로 절단와이어(50)가 권선되면, 제1 롤러(31), 제2 롤러(32), 및 제4 롤러(44)는 반시계 방향으로 회전하고, 제3 롤러(33), 제5 롤러(45), 및 제6 롤러(46)는 시계 방향으로 회전한다. 제3 롤러(33)와 제4 롤러(44)가 반대로 회전하는 이유는, 절단와이어(50)가 제1 방향으로 권선될 때는 제3 롤러(33)에 깊게 형성된 제1 홈(71)을 지나고 제4 롤러(44)에 얕게 형성된 제2 홈(72)를 지나며, 제2 방향으로 권선될 때는 제4 롤러(44)에 깊게 형성된 제1 홈(71)을 지나고 제3 롤러(33)에 얕게 형성된 제2 홈(72)을 지나기 때문이다. When the cutting wire 50 is wound in this manner, the first roller 31, the second roller 32, and the fourth roller 44 rotate in the counterclockwise direction, and the third roller 33, the third roller 33. The fifth roller 45 and the sixth roller 46 rotate clockwise. The reason why the third roller 33 and the fourth roller 44 rotate in opposite directions is that when the cutting wire 50 is wound in the first direction, it passes through the first groove 71 deeply formed in the third roller 33. Passes the second groove 72 shallowly formed in the fourth roller 44, passes through the first groove 71 formed deep in the fourth roller 44 and is shallow in the third roller 33 when winding in the second direction This is because the second groove 72 is formed.

도7과 같이 절단와이어(50)가 권선되는 경우, 제1 메인롤러(30)와 제2 메인롤러(40)의 이격 위치를 조절하여 피절단물의 사이즈 크기 맞게 절단와이어(50)의 텐션이 조절될 수 있는 작용 내지 효과를 기대할 수 있을 뿐만 아니라, 피절단물의 높이(또는 직경)에 의해 절단 환경이 제약되는 것을 방지할 수 있다. When the cutting wire 50 is wound as shown in FIG. 7, the tension of the cutting wire 50 is adjusted to match the size of the cutting object by adjusting the separation position of the first main roller 30 and the second main roller 40. Not only can the expected action or effect be expected, but the cutting environment can be prevented from being restricted by the height (or diameter) of the cutting object.

구체적으로, 종래 도1을 참조하면, 절단와이어(120)는 한 쌍의 롤러(110a,110b)의 상면 및 저면을 지나므로, 상면 및 저면을 지나는 와이어 중 어느 하나에서 절단이 이루어지면, 피절단물의 직경은 상면 및 저면의 거리보다 작아야 한다. 예를 들어, 상기 상면에 배치된 절단와이어에 의해 절단이 이루어지는 경우, 피절단물이 하강하여 하면에 배치된 절단와이어에 닿기 전에 절단이 완료되어야 하기 때문에, 절단 가능한 피절단물의 크기에 제약이 따른다. 그러나, 도7과 같이 절단와이어(50)가 권선되는 경우, 피절단물의 높이에 제약받지 않고 피절단물을 절단할 수 있다. Specifically, referring to FIG. 1, since the cutting wire 120 passes through the top and bottom surfaces of the pair of rollers 110a and 110b, when the cutting wire 120 is cut on any one of the wires passing through the top and bottom surfaces, the cutting wire 120 is cut. The diameter of the water should be smaller than the distance between the top and bottom surfaces. For example, when the cutting is performed by the cutting wire disposed on the upper surface, since the cutting needs to be completed before the cutting object descends to reach the cutting wire disposed on the lower surface, the size of the cutable cutting object is limited. . However, when the cutting wire 50 is wound as shown in FIG. 7, the cutting object can be cut without being limited by the height of the cutting object.

한편, 도10 및 도11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치를 도시한 도면이다. 도10 및 도11에 있어서, 상술한 실시예와 동일한 작용 및 기능을 수행하는 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하고, 그 구체적인 설명은 생략한다.10 and 11 illustrate a multi-wire cutting apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention. 10 and 11, the same reference numerals are assigned to components that perform the same functions and functions as the above-described embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

도10을 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치는, 도3의 실시예와 비교하여 제1 메인롤러(30) 및 제2 메인롤러(40)의 배치가 상이하다. Referring to FIG. 10, the arrangement of the first main roller 30 and the second main roller 40 is different from that of the embodiment of FIG. 3.

상기 제1 메인롤러(30)는 제1 블럭(10)의 가장 아래에 형성된 하부행(R1)과 상기 하부행(R1)의 상측에 배치되는 상부행(R2)에 각각 하나씩 결합된다. 상기 제2 메인롤러(40)는, 제1 메인롤러(30)와 마찬가지로, 제2 블럭(20)의 가장 아래에 형성된 하부행(R1)과 상기 하부행(R1)의 상측에 배치되는 상부행(R2)에 각각 하나씩 결합된다. 상기 4 개의 롤러는 사각형의 꼭지점에 각각 결합된 형태를 갖는다. The first main roller 30 is coupled to each of the lower row R1 formed at the bottom of the first block 10 and the upper row R2 disposed above the lower row R1. The second main roller 40, like the first main roller 30, has a lower row R1 formed at the bottom of the second block 20 and an upper row disposed above the lower row R1. One each to (R2). The four rollers each have a shape coupled to a vertex of a rectangle.

본 실시예에서, 상기 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)에는 소정의 깊이를 갖는 가이드홈(70)이 형성된 커버(80)가 결합된다. 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)에 형성된 가이드홈(70)의 깊이는 동일하고, 일정 간격으로 상기 제1,2 메인롤러(30,40)의 길이 방향으로 연속적으로 형성된다. 또한, 상기 절단와이어(50)는 상기 제1,2 메인롤러(30,40)에 연속적으로 권선된다. In the present exemplary embodiment, the cover 80 having the guide groove 70 having a predetermined depth is coupled to the first main roller 30 and the second main roller 40. The depths of the guide grooves 70 formed in the first main roller 30 and the second main roller 40 are the same, and continuously in the longitudinal direction of the first and second main rollers 30 and 40 at regular intervals. Is formed. In addition, the cutting wire 50 is continuously wound on the first and second main rollers (30, 40).

예컨대, 상기 절단와이어(50)는 제1 블럭(10)의 상부행(R2)에 결합된 제1 메인롤러(30), 제2 블럭(20)의 상부행(R2)에 결합된 제2 메인롤러(40), 제2 블럭(20)의 하부행(R1)에 결합된 제2 메인롤러(40), 그리고 제1 블럭(10)의 하부행(R1)에 결합된 제1 메인롤러(30)를 순차적으로 지나도록 권선될 수 있다. 이러한 경우, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)은 모두 시계 방향으로 회전한다. For example, the cutting wire 50 may include a first main roller 30 coupled to the upper row R2 of the first block 10 and a second main couple coupled to the upper row R2 of the second block 20. The first main roller 30 coupled to the roller 40, the second main roller 40 coupled to the bottom row R1 of the second block 20, and the bottom row R1 of the first block 10. ) May be wound sequentially. In this case, all of the first and second main rollers 30 and 40 rotate clockwise.

또한, 상기 절단와이어(50)는, 도10과 같이 배치되는 제1,2 메인롤러(30,40)에 대하여 복수의 가닥이 연속적으로 배치된 형태로 권선될 수 있다. 즉, 제1 가닥은 제1 블럭(10)의 상부행(R2)에 결합된 제1 메인롤러(30), 제2 블럭(20)의 상부행(R2)에 결합된 제2 메인롤러(40), 제2 블럭(20)의 하부행(R1)에 결합된 제2 메인롤러(40), 그리고 제1 블럭(10)의 하부행(R1)에 결합된 제1 메인롤러(30)를 순차적으로 지나도록 권선되고, 상기 제1 가닥과 분리된 제2 가닥은, 상기 제1 가닥에 인접하여 상기 제1 가닥이 상기 롤러들에 감기는 것과 같은 방식으로 권선될 수 있다. 이와 같은 방식으로 복수 가닥이 인접하여 배치될 수 있다.In addition, the cutting wire 50 may be wound in a form in which a plurality of strands are continuously arranged with respect to the first and second main rollers 30 and 40 arranged as shown in FIG. 10. That is, the first strand is the first main roller 30 coupled to the upper row R2 of the first block 10, the second main roller 40 coupled to the upper row R2 of the second block 20. ), The second main roller 40 coupled to the lower row R1 of the second block 20, and the first main roller 30 coupled to the lower row R1 of the first block 10. The second strand, which is wound to pass through and separated from the first strand, may be wound in such a manner that the first strand is wound around the rollers adjacent to the first strand. In this manner a plurality of strands can be arranged adjacently.

도10의 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치는, 제1 메인롤러(30)와 제2 메인롤러(40)의 이격 위치를 조절하여 피절단물의 사이즈 크기 맞게 절단와이어(50)의 텐션이 조절될 수 있다. 구체적으로, 본 실시예 있어서, 제1,2 블럭(10,20)의 거리를 조절하여 제1,2 메인롤러(30,40)의 거리를 가변할 수 있다. 제1,2 블럭(10,20) 사이에 이격거리설정블럭(60)을 삽입하여 제1,2 블럭(10,20)의 거리를 조절할 수도 있다. 또한, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)가 제1,2 블럭(10,20)에 결합되는 위치를 변경하여 제1,2 메인롤러(30,40)의 거리를 가변시킬 수 있다. In the multi-wire cutting device according to the exemplary embodiment of FIG. 10, the tension of the cutting wire 50 may be adjusted to match the size of the cutting object by adjusting the separation position of the first main roller 30 and the second main roller 40. Can be. Specifically, in the present embodiment, the distance of the first and second main rollers 30 and 40 may be varied by adjusting the distance of the first and second blocks 10 and 20. The distance between the first and second blocks 10 and 20 may be adjusted by inserting the separation distance setting block 60 between the first and second blocks 10 and 20. In addition, the distance between the first and second main rollers 30 and 40 may be varied by changing the position at which the first and second main rollers 30 and 40 are coupled to the first and second blocks 10 and 20. .

따라서, 도10의 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치는 제1,2 메인롤러(30,40) 사이의 거리가 용이하게 조절되고, 권선되는 절단와이어(50)의 텐션을 용이하게 조절할 수 있다. Accordingly, in the multi-wire cutting device according to the embodiment of FIG. 10, the distance between the first and second main rollers 30 and 40 may be easily adjusted, and the tension of the cutting wire 50 may be easily adjusted.

도11을 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치는, 도3의 실시예와 비교하여 제1 메인롤러(30) 및 제2 메인롤러(40)의 배치가 상이하다. Referring to FIG. 11, the arrangement of the first main roller 30 and the second main roller 40 is different from that of the embodiment of FIG. 3.

상기 제1 메인롤러(30)는 제1 블럭(10)의 중간에 위치한 제1 결합공(11)에 하나가 마련되고, 상기 제2 메인롤러(40)는 제2 블럭(20)의 중간에 위치한 제2 결합공(21)에 하나가 마련된다. The first main roller 30 is provided in the first coupling hole 11 located in the middle of the first block 10, the second main roller 40 is in the middle of the second block (20) One is provided in the second coupling hole 21 located.

본 실시예에서, 상기 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)에는 소정의 깊이를 갖는 가이드홈(70)이 형성된 커버(80)가 결합된다. 제1 메인롤러(30)와 상기 제2 메인롤러(40)에 형성된 가이드홈(70)의 깊이는 동일하고, 일정 간격으로 상기 제1,2 메인롤러(30,40)의 길이 방향으로 연속적으로 형성된다. 또한, 상기 절단와이어(50)는 상기 제1,2 메인롤러(30,40)에 연속적으로 권선된다. In the present exemplary embodiment, the cover 80 having the guide groove 70 having a predetermined depth is coupled to the first main roller 30 and the second main roller 40. The depths of the guide grooves 70 formed in the first main roller 30 and the second main roller 40 are the same, and continuously in the longitudinal direction of the first and second main rollers 30 and 40 at regular intervals. Is formed. In addition, the cutting wire 50 is continuously wound on the first and second main rollers (30, 40).

예컨대, 상기 절단와이어(50)는 제1 메인롤러(30)의 상면으로부터 제2 메인롤러(40)의 상면을 경유하고, 이어서 상기 제2 메인롤러(40)의 하면과 상기 제1 메인롤러(30)의 하면을 순차적으로 지나는 방식으로 반복적으로 권선될 수 있다. 이러한 경우, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)은 모두 시계 방향으로 회전한다. For example, the cutting wire 50 passes from the upper surface of the first main roller 30 to the upper surface of the second main roller 40, and then the lower surface of the second main roller 40 and the first main roller ( 30) may be repeatedly wound in such a manner as to sequentially pass through the bottom surface. In this case, all of the first and second main rollers 30 and 40 rotate clockwise.

또한, 상기 절단와이어(50)는, 도11과 같이 배치되는 제1,2 메인롤러(30,40)에 대하여 복수의 가닥이 연속적으로 배치된 형태로 권선될 수 있다. 즉, 제1 가닥은 제1 메인롤러(30)의 상면으로부터 제2 메인롤러(40)의 상면을 경유하고 이어서 상기 제2 메인롤러(40)의 하면과 상기 제1 메인롤러(30)의 하면을 지나는 방식으로 권선되고, 상기 제1 가닥과 분리된 제2 가닥은, 상기 제1 가닥에 인접하여 상기 제1 가닥이 상기 롤러들에 감기는 것과 같은 방식으로 권선될 수 있다. In addition, the cutting wire 50 may be wound in a form in which a plurality of strands are continuously arranged with respect to the first and second main rollers 30 and 40 arranged as shown in FIG. 11. That is, the first strand passes through the top surface of the second main roller 40 from the top surface of the first main roller 30, and then the bottom surface of the second main roller 40 and the bottom surface of the first main roller 30. The second strand, which is wound in a manner passing through and separated from the first strand, may be wound in such a manner that the first strand is wound around the rollers adjacent to the first strand.

도11의 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치는, 제1 메인롤러(30)와 제2 메인롤러(40)의 이격 위치를 조절하여 피절단물의 사이즈 크기 맞게 절단와이어(50)의 텐션이 조절될 수 있다. 즉, 본 실시예 있어서, 제1,2 블럭(10,20)의 거리를 조절하여 제1,2 메인롤러(30,40)의 거리를 가변할 수 있다. 도11에 의하면, 상기 제1,2 블럭(10,20)이 접하고 있으나, 상기 제1,2 블럭(10,20)이 소정의 거리를 유지하도록 이격시킬 수 있으며, 이때 제1,2 블럭(10,20) 사이에 이격거리설정블럭(60)을 삽입하여 제1,2 블럭(10,20)의 거리를 조절할 수도 있다. 또한, 상기 제1,2 메인롤러(30,40)가 제1,2 블럭(10,20)에 결합되는 위치를 변경하여 제1,2 메인롤러(30,40)의 거리를 가변시킬 수 있다. In the multi-wire cutting device according to the exemplary embodiment of FIG. 11, the tension of the cutting wire 50 may be adjusted to match the size of the cutting object by adjusting the separation position of the first main roller 30 and the second main roller 40. Can be. That is, in the present embodiment, the distance between the first and second main rollers 30 and 40 may be varied by adjusting the distance between the first and second blocks 10 and 20. Referring to FIG. 11, although the first and second blocks 10 and 20 are in contact with each other, the first and second blocks 10 and 20 may be spaced apart from each other to maintain a predetermined distance. The distance of the first and second blocks 10 and 20 may be adjusted by inserting the separation distance setting block 60 between the 10 and 20. In addition, the distance between the first and second main rollers 30 and 40 may be varied by changing the position at which the first and second main rollers 30 and 40 are coupled to the first and second blocks 10 and 20. .

따라서, 도11의 실시예에 따른 멀티 와이어 절단 장치는 제1,2 메인롤러(30,40) 사이의 거리가 용이하게 조절되고, 권선되는 절단와이어(50)의 텐션을 용이하게 조절할 수 있다. Therefore, in the multi-wire cutting apparatus according to the embodiment of FIG. 11, the distance between the first and second main rollers 30 and 40 may be easily adjusted, and the tension of the cutting wire 50 may be easily adjusted.

이처럼, 본 발명 실시예들에 따른 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치, 절단와이어가 결합된 롤러 간의 거리를 조절하여 피절단물의 크기에 따라 절단와이어의 적정한 텐션을 유지하는 효과를 제공하여, 하나의 장비를 이용하여 다양한 사이즈의 피절단물을 절단할 수 있는 효과를 제공한다. As such, by using the position-adjustable roller according to the embodiments of the present invention, the multi-wire cutting device for adjusting the tension and adjusting the distance between the rollers to which the cutting wires are coupled to adjust the tension of the cutting wire according to the size of the cutting object. By providing a retaining effect, it provides an effect that can be used to cut the cutting material of various sizes using a single equipment.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 많은 변형이 제공될 수 있다.In the above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and many other modifications may be provided without departing from the scope of the present invention.

10... 제1 블럭 11... 제1 결합공
20... 제2 블럭 21... 제2 결합공
30... 제1 메인롤러 31,32,33... 제1,2,3 롤러
40... 제2 메인롤러 44,45,46... 제4,5,6 롤러
50... 절단와이어 60... 이격거리설정블럭
70... 가이드홈 71... 제1 홈
72... 제2 홈 80... 커버10 ... first block 11 ... first coupling hole
20 ... 2nd block 21 ... 2nd engagement hole
30 ... 1st main roller 31,32,33 ... 1st, 2nd, 3rd roller
40 ... 2nd main roller 44,45,46 ... 4,5,6 roller
50 ... cutting wire 60 ... separation distance setting block
70 ... guide groove 71 ... first groove
72 ... 2nd groove 80 ... Cover

Claims (6)

복수의 제1 결합공이 형성된 제1 블럭;
복수의 제2 결합공이 형성된 제2 블럭;
상기 제1 결합공에 회전 및 착탈 가능하게 체결되는 적어도 하나 이상의 제1 메인롤러;
상기 제2 결합공에 회전 및 착탈 가능하게 체결되는 적어도 하나 이상의 제2 메인롤러;
상기 제1,2 메인롤러에 감기는 절단와이어;
상기 제1 메인롤러 또는 제2 메인롤러를 회전시키는 구동모터;를 포함하며,
상기 구동모터에 의해 상기 제1 메인롤러와 상기 제2 메인롤러가 회전할 때 상기 절단와이어가 이송되면서 피절단물을 절삭하되, 상기 제1 메인롤러와 상기 제2 메인롤러의 이격 거리가 가변될 수 있으며,
상기 제1 블럭은, 상기 제1 결합공이 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 하부행과, 상기 하부행의 상측에 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 상부행을 포함하고,
상기 제2 블럭은, 상기 제2 결합공이 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 하부행과, 상기 하부행의 상측에 서로 수평으로 이격되어 적어도 2개가 형성된 상부행을 포함하며,
상기 제1 블럭 상부행의 제1 결합공에 결합되는 제1 롤러;
상기 제1 블럭 하부행의 제1 결합공에 각각 결합되는 제2 롤러 및 제3 롤러;
상기 제2 블럭 상부행의 제2 결합공에 결합되는 제5 롤러;
상기 제2 블럭 하부행의 제2 결합공에 결합되는 제4롤러 및 제6롤러;를 포함하고,
상기 절단와이어는, 상기 제1 롤러 내지 상기 제5 롤러를 순차적으로 경유하는 제1 방향권선과, 제6 롤러를 거친 후 제4 롤러, 제3 롤러, 제1 롤러를 순차적으로 경유하는 제2 방향권선이 반복되어 권선되며, 상기 절단와이어는 상기 제3 롤러 및 상기 제4 롤러의 저면을 지나는 것을 특징으로 하는 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치. A first block having a plurality of first coupling holes formed therein;
A second block having a plurality of second coupling holes formed therein;
At least one first main roller which is rotatably and detachably fastened to the first coupling hole;
At least one second main roller which is rotatably and detachably fastened to the second coupling hole;
A cutting wire wound around the first and second main rollers;
And a drive motor for rotating the first main roller or the second main roller.
When the first main roller and the second main roller are rotated by the driving motor, the cutting wire is transported to cut the cutting object, and the separation distance between the first main roller and the second main roller is variable. Can and
The first block includes a lower row in which at least two first coupling holes are horizontally spaced apart from each other, and an upper row in which at least two are formed horizontally spaced apart from each other above the lower row.
The second block includes a lower row in which the second coupling hole is horizontally spaced apart from each other, and at least two are formed, and an upper row in which at least two are formed horizontally spaced apart from each other above the lower row.
A first roller coupled to the first coupling hole of the first row of the first block;
A second roller and a third roller respectively coupled to the first coupling holes of the first row of the first block;
A fifth roller coupled to a second coupling hole of the second row of upper rows;
And a fourth roller and a sixth roller coupled to the second coupling hole of the second row of rows.
The cutting wire has a first direction winding sequentially passing through the first to fifth rollers, and a second direction passing sequentially through a fourth roller, a third roller, and a first roller after passing through the sixth roller. The winding is repeatedly wound, and the cutting wire is a multi-wire cutting device to enable the tension adjustment using a position adjustable roller, characterized in that passing through the bottom surface of the third roller and the fourth roller. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 블럭과 상기 제2 블럭의 사이에 상기 제1 블럭과 상기 제2 블럭의 이격거리를 설정할 수 있는 이격거리설정블럭이 배치되는 것을 특징으로 하는 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치. The method of claim 1,
Tension adjustment is possible using a position adjustable roller, characterized in that the separation distance setting block for setting the separation distance between the first block and the second block is disposed between the first block and the second block. Multi wire cutting device. 제1항에 있어서,
상기 절단와이어가 감기는 상기 제1,2 메인롤러의 권선부에는 상기 절단와이어가 지나가는 가이드홈이 형성된 우레탄 소재의 커버가 결합되는 것을 특징으로 하는 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치.The method of claim 1,
The tension of the first and second main rollers to which the cutting wire is wound is coupled to a cover of a urethane material having a guide groove through which the cutting wire passes. Multi wire cutting device. 제1항에 있어서,
상기 절단와이어는 제1 보빈에서 인출되어 상기 제1 메인롤러 및 상기 제2 메인롤러의 길이 방향으로 소정 간격으로 연속적으로 복수 회 감긴 후에 제2 보빈에 감기는 것을 특징으로 하는 위치 조절가능한 롤러를 이용하여 텐션 조절이 가능하도록 한 멀티 와이어 절단장치. The method of claim 1,
The cutting wire is drawn out from the first bobbin and wound around the second bobbin after being wound a plurality of times continuously at predetermined intervals in the longitudinal direction of the first main roller and the second main roller. Multi-wire cutting device to allow tension adjustment. 삭제delete
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