KR20130015546A - Wire saw machine for slicing ingot - Google Patents

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KR20130015546A
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박종인
김준기
이종찬
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비아이 이엠티 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A wire saw apparatus for cutting an ingot is provided to change an entry position for supplying a wire which rotates along the outer circumference surface of a cutting roller, thereby not only cutting the entire ingot, but selectively cutting the ingot in order to control the number of wafers to be produced. CONSTITUTION: A wire saw apparatus for cutting an ingot includes a work plate(10), a cutting roller(20), a supplying bobbin(31), a recovering bobbin(41), and a roller part(32). The work plate, to which an ingot(1) is attached, is installed to be liftable up and down. A pair of cutting rollers is installed to be downwardly separated from the work plate. A wire wounded on the outer circumference surface of the cutting rollers is rotated in order to cut the ingot. The supplying bobbin and the recovering bobbin are respectively installed at one side and the other side of the cutting rollers, and supply and recover the wire. The roller part is equipped with a guide roller(33), an entry roller(34), and a correction roller(35). The guide roller guides the wire from the supplying bobbin to a heading direction. The entry roller(34) changes an entry position for supplying wire from the cutting rollers. The correction roller(35) corrects the path for supplying the wire from the guide roller to the entry roller.

Description

잉곳 절단용 와이어 쏘 장치{Wire saw machine for slicing ingot} Wire saw machine for cutting ingots {Wire saw machine for slicing ingot}

본 발명은 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상하 승강 가능하게 설치되고 잉곳이 부착되는 워크플레이트;와, 상기 워크플레이트의 하방에 이격 설치되고, 외주면에 와이어가 권선되어 회전함으로써 잉곳을 절단하는 한 쌍의 절단롤러;와, 상기 절단롤러의 일측과 타측에 회전 가능하게 각각 설치되어 와이어를 공급하고 회수하는 공급보빈 및 회수보빈;과, 상기 공급보빈으로부터 와이어를 공급받아 진행방향을 안내하는 가이드롤러와, 상기 절단롤러에 공급되는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급하도록 설치되는 진입롤러와, 상기 가이드롤러로부터 상기 진입롤러로 공급되는 와이어의 경로를 보정하는 보정롤러가 구비된 롤러부;를 포함하여 잉곳 전체를 절단할 수 있을 뿐만 아니라 잉곳을 선택적으로 절단하여 생산되는 웨이퍼의 생산 개수 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wire saw device for cutting ingots, and more particularly, a work plate which is installed to be capable of lifting up and down and is attached to the ingot; and is spaced apart below the work plate, and the wire is wound around and rotated on an outer circumferential surface thereof. A pair of cutting rollers for cutting the ingot; and a supply bobbin and a recovery bobbin rotatably installed on one side and the other side of the cutting roller, respectively, for supplying and recovering the wire; and the wire receiving direction from the supply bobbin. A guide roller for guiding the roller, an entry roller installed to change the entry position of the wire supplied to the cutting roller, and a correction roller for correcting the path of the wire supplied from the guide roller to the entry roller Not only can cut the entire ingot including a part; Of the wafer, which is directed to a wire saw device for cutting an ingot according to the characterized in that the number of production adjustment.

일반적으로 잉곳의 성장(growth) 공정이 완료된 후 웨이퍼로 제조하기 위해 잉곳을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정이 진행된다.Generally, after the growth process of the ingot is completed, a slicing process of cutting the ingot into sheets to manufacture a wafer is performed.

이러한 슬라이싱 공정은 여러 가지 방식이 있는데, 그 대표적인 것은 챔버 내에서 피아노 와이어 또는 고장력 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리(slurry) 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어(Wire Saw) 방식이다.This slicing process has a variety of methods, the typical one of which is to reciprocate the piano wire or high tension wire in the chamber at high speed while spraying a slurry solution thereon, which is cut by friction between the slurry and the single crystal ingot attached to the wire. It is a wire saw method.

와이어 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있다.The wire method is widely used because the ingot can be cut into several wafers at the same time, thereby improving the yield per unit time.

한국공개특허공보 제2010-0090518호에는 와이어에 의한 잉곳의 절단장치가 개시되어 있다. 여기서, 회전 가능하게 설치되는 공급보빈과, 공급보빈과 이격되어 회전 가능하게 설치되는 회수보빈과, 일단부는 공급보빈에 감기고 타단부는 회수보빈에 감기며, 공급보빈 및 회수보빈의 회전에 연동되어 공급보빈으로부터 회수보빈으로 이동되는 와이어와, 가공대상물이 결합되며, 가공 대상물이 와이어에 접촉되어 커팅되도록 와이어에 대해 상대이동 가능하게 설치되는 플레이트가 장착되는 와이어 쏘 장치가 개시되어 있다.Korean Unexamined Patent Publication No. 2010-0090518 discloses an apparatus for cutting an ingot by a wire. Here, the supply bobbin is rotatably installed, the recovery bobbin is spaced apart from the supply bobbin and rotatably installed, one end is wound on the supply bobbin and the other end is wound on the recovery bobbin, interlocked with the rotation of the supply bobbin and recovery bobbin A wire saw device is disclosed in which a wire moved from a supply bobbin to a recovery bobbin is coupled to a workpiece, and a plate is mounted to be movable relative to the wire such that the workpiece is cut in contact with the wire.

종래의 와이어 쏘 장치를 도시한 도 1을 참고하여 설명하면, 잉곳(1)이 고정되어 상하로 이송하는 워크플레이트(110)와, 워크플레이트(110)의 하방에 설치되고 외주면에 와이어가 권선되어 잉곳(1)을 절단하는 한 쌍의 절단롤러(120)와, 절단롤러(120)의 일측에 설치되어 공급보빈(131)으로부터 와이어를 절단롤러(120)에 공급하는 공급롤러(132)와, 절단롤러(120)의 타측에 설치되어 절단롤러(120)로부터 와이어를 회수보빈(141)에 회수하는 회수롤러(142)가 설치되어 워크플레이트(110)에 고정된 잉곳(1) 전체를 절단함으로써 웨이퍼를 생산한다.Referring to Figure 1 showing a conventional wire saw device, the ingot 1 is fixed to the work plate 110 is transported up and down, and installed below the work plate 110 and the wire is wound around the outer peripheral surface A pair of cutting rollers 120 for cutting the ingot 1, a supply roller 132 installed at one side of the cutting roller 120 to supply wires from the supply bobbin 131 to the cutting rollers 120, The recovery roller 142 is installed on the other side of the cutting roller 120 to recover the wire from the cutting roller 120 to the recovery bobbin 141, thereby cutting the entire ingot 1 fixed to the work plate 110. Produce wafers.

위와 같이, 종래의 잉곳 절단 장치는 와이어가 절단롤러(120)에 공급되고 회수되는 위치가 고정되어 있어 잉곳(1)의 절단하는 와이어의 위치가 정해져 있다.As described above, in the conventional ingot cutting device, the position at which the wire is supplied to and recovered by the cutting roller 120 is fixed, and the position of the wire to be cut in the ingot 1 is determined.

따라서, 종래의 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치는 잉곳 전체를 절단하기 때문에 양산에만 적용되며, 품질 평가를 위한 샘플을 얻기 위해서는 잉곳 전체를 절단하여야하므로 샘플링 웨이퍼의 개수를 선택적으로 절단할 수 없어 품질 평가를 위한 웨이퍼 생산시 잉곳 전체를 절단하므로 잉곳이 낭비되는 문제점이 있다.
Therefore, the conventional wire saw device for cutting ingots is applied only to mass production because it cuts the whole ingot, and in order to obtain a sample for quality evaluation, the entire ingot has to be cut, so that the number of sampling wafers cannot be selectively cut, thereby evaluating quality evaluation. There is a problem that the ingot is wasted because the entire ingot is cut during wafer production.

한국공개특허공보 제2010-0090518호 (주식회사 엘지실트론) 2010.08.16Korean Unexamined Patent Publication No. 2010-0090518 (LG Siltron Corporation) 2010.08.16

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 절단롤러의 외주면을 따라 회전하는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급함으로써 잉곳 전체를 절단할 수 있을 뿐만 아니라 잉곳을 선택적으로 절단하여 생산되는 웨이퍼의 개수를 조절할 수 있는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치를 제공함에 있다.
Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, it is possible to cut the entire ingot as well as to selectively cut the ingot by supplying by changing the entry position of the wire rotating along the outer peripheral surface of the cutting roller An object of the present invention is to provide an ingot cutting wire saw device capable of controlling the number of wafers produced.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 상하 승강 가능하게 설치되고 잉곳이 부착되는 워크플레이트;와, 상기 워크플레이트의 하방에 이격 설치되고, 외주면에 와이어가 권선되어 회전함으로써 잉곳을 절단하는 한 쌍의 절단롤러;와, 상기 절단롤러의 일측과 타측에 회전 가능하게 각각 설치되어 와이어를 공급하고 회수하는 공급보빈 및 회수보빈;과, 상기 공급보빈으로부터 와이어를 공급받아 진행방향을 안내하는 가이드롤러와, 상기 절단롤러에 공급되는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급하도록 설치되는 진입롤러와, 상기 가이드롤러로부터 상기 진입롤러로 공급되는 와이어의 경로를 보정하는 보정롤러가 구비된 롤러부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치에 의해 달성된다.The above object is, according to the present invention, the work plate is installed so as to move up and down and is attached to the ingot; and a pair of cutting to cut the ingot by being spaced apart below the work plate, the wire is wound around the outer peripheral surface and rotated A roller; and a supply bobbin and a recovery bobbin rotatably installed at one side and the other side of the cutting roller, respectively, to supply and recover the wire; and a guide roller receiving the wire from the supply bobbin and guiding a traveling direction; And a roller unit having an entry roller installed to change the entry position of the wire supplied to the cutting roller, and a correction roller for correcting the path of the wire supplied from the guide roller to the entry roller. Is achieved by a wire saw device for cutting ingots.

또한, 상기 롤러부는 일측면에 상기 가이드롤러와 상기 진입롤러 및 보정롤러가 설치되는 설치대를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the roller unit further comprises a mounting table on which the guide roller, the entry roller and the correction roller is installed on one side.

또한, 상기 공급보빈 및 상기 회수보빈과 각각 이격 설치되어, 외주면에 권선되는 와이어에 장력을 제공하는 텐션롤러를 포함하는 것이 바람직하다.
In addition, the supply bobbin and the recovery bobbin are each spaced apart, it is preferable to include a tension roller for providing a tension to the wire wound on the outer peripheral surface.

본 발명에 따르면, 절단롤러의 외주면을 따라 회전하는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급함으로써 잉곳 전체를 절단할 수 있을 뿐만 아니라 잉곳을 선택적으로 절단하여 생산되는 웨이퍼의 개수를 조절할 수 있는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치가 제공된다.
According to the present invention, the ingot cutting wire which can not only cut the entire ingot but also selectively cut the ingot, by controlling the supply position of the wire rotating along the outer circumferential surface of the cutting roller to control the number of wafers produced. A saw device is provided.

도 1은 종래의 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치의 사시도이고,
도 2는 본 발명 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치의 사시도이고,
도 3은 본 발명 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치의 정면도 및 측면도이다.1 is a perspective view of a wire saw device for cutting conventional ingots,
Figure 2 is a perspective view of the wire saw device for cutting the ingot of the present invention,
3 is a front view and a side view of the wire saw device for cutting the ingot of the present invention.

설명에 앞서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 일실시예에서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration will be described in a representative embodiment using the same reference numerals.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, an ingot cutting wire saw device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치의 정면도 및 측면도이다.2 is a perspective view of the wire saw device for cutting the ingot of the present invention, Figure 3 is a front view and a side view of the wire saw device for cutting ingot.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치는 잉곳(1)을 공급받아 고정하는 워크플레이트(10)와, 외주면에 와이어가 권취되어 회전하는 한 쌍의 절단롤러(20)와, 와이어를 공급하는 공급부(30)와, 와이어를 회수하는 회수부(40)를 포함하여 구성된다.Referring to Figure 2, the ingot cutting wire saw device according to the present invention is a work plate 10 for receiving and fixing the ingot 1, a pair of cutting roller 20 is wound around the wire wound on the outer peripheral surface and And a supply unit 30 for supplying a wire and a recovery unit 40 for recovering the wire.

여기서 워크플레이트(10)는 잉곳(1)이 하면에 부착되는 장치로써 상하 방향으로 일정속도로 승강 가능하게 설치된다.Here, the work plate 10 is a device attached to the lower surface of the ingot 1 is installed to be able to lift at a constant speed in the vertical direction.

절단롤러(20)는 워크플레이트(10)의 하부에 이격되어 배치되고, 한 쌍의 롤러가 대향하여 설치되어 외주면에는 하방으로 이동되는 잉곳(1)을 일정한 크기의 웨이퍼로 절단하도록 소정의 와이어가 권선되어 회전한다.The cutting roller 20 is spaced apart from the lower portion of the work plate 10, and a pair of rollers are disposed to face each other so that a predetermined wire is cut so that the ingot 1, which is moved downward on the outer circumferential surface, is cut into a predetermined size wafer. Winding turns

또한, 한 쌍의 절단롤러(20)의 외주면에는 와이어의 이탈을 방지하고 진행방향을 안내하는 가이드홈이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the outer circumferential surface of the pair of cutting roller 20 is preferably formed with a guide groove for preventing the separation of the wire and to guide the traveling direction.

공급부(30)는 와이어가 권취되어 있는 공급보빈(31)과, 절단롤러(20)에 공급되는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급하는 롤러부(32)로 구성된다.The supply part 30 is comprised from the supply bobbin 31 by which the wire is wound, and the roller part 32 which changes and supplies the entrance position of the wire supplied to the cutting roller 20, and supplies it.

공급보빈(31)은 본 실시예에서 절단롤러(20)의 우측 상방에 설치되어 와이어를 공급하고, 공급보빈(31)의 하부에 두 개의 텐션롤러(T)가 설치되어 와이어에 장력을 인가하고 와이어의 진행을 안내한다.The supply bobbin 31 is installed in the upper right side of the cutting roller 20 in this embodiment to supply the wire, two tension rollers (T) are installed in the lower portion of the supply bobbin 31 to apply tension to the wire Guide the progress of the wire.

한편, 공급보빈(31)의 위치는 상술한 위치에 제한되는 것은 아니며, 장력을 조절하는 롤러를 추가 설치하여 다른 위치에도 설치가 가능하다.On the other hand, the position of the supply bobbin 31 is not limited to the above-described position, it can be installed in other positions by additionally installing a roller for adjusting the tension.

도 2 및 도 3을 참조하면, 롤러부(32)는 절단롤러(20)에 공급되는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급하는 장치로써, 가이드롤러(33)와, 진입롤러(34)와, 보정롤러(35) 및 설치대(36)로 구성된다.2 and 3, the roller unit 32 is a device for supplying by changing the entry position of the wire supplied to the cutting roller 20, the guide roller 33, the entry roller 34, and correction It consists of the roller 35 and the mounting base 36.

가이드롤러(33)는 절단롤러(20)의 종방향 축에 대하여 롤러의 축이 수직방향으로 설치되어 회전하며, 공급보빈(31)의 하부에 설치된 한 쌍의 텐션롤러(T) 중 도면상 왼쪽에 설치된 텐션롤러(T)의 수직 하방에 설치되어 와이어를 공급받아 진행방향을 안내한다.The guide roller 33 is rotated by the axis of the roller installed in the vertical direction with respect to the longitudinal axis of the cutting roller 20, the left of the pair of tension rollers (T) installed on the lower portion of the supply bobbin 31 It is installed on the vertical lower side of the tension roller (T) installed on the wire to guide the direction of travel.

진입롤러(34)는 절단롤러(20)의 종방향 축에 대하여 롤러의 축이 수평방향으로 설치되어 가이드롤러(33)의 하방에 배치되고, 절단롤러(20)의 종방향 축과 평행한 방향으로 설치 위치 변경이 가능하여 상기 절단롤러(20)에 공급되는 와이어의 진입 위치를 변경할 수 있다.The access roller 34 is disposed below the guide roller 33 with the axis of the roller horizontally installed with respect to the longitudinal axis of the cutting roller 20, and is parallel to the longitudinal axis of the cutting roller 20. It is possible to change the installation position to change the entry position of the wire supplied to the cutting roller 20.

보정롤러(35)는 진입롤러(34)가 설치되는 위치 변경에 따라 가이드롤러(33)로부터 공급되는 와이어를 진입롤러(34)의 외주면에 수직으로 공급하기 위한 롤러로써, 본 실시예에서 도면상 가이드롤러(33)의 우측 상단에 설치되었으나 이에 제한되는 것은 아니고, 진입롤러(34)의 설치 위치에 따라 보정롤러(35)의 위치를 변경하는 것이 바람직하다.The correction roller 35 is a roller for vertically supplying the wire supplied from the guide roller 33 to the outer circumferential surface of the entry roller 34 according to a change in the position where the entry roller 34 is installed. Although installed on the upper right side of the guide roller 33 is not limited thereto, it is preferable to change the position of the correction roller 35 in accordance with the installation position of the entry roller 34.

설치대(36)는 일면에 상기 가이드롤러(33)와, 상기 진입롤러(34) 및 보정롤러(35)가 설치되고, 타면은 와이어 쏘 장치의 벽면에 탈착 가능하도록 체결된다.The mounting table 36 is provided with the guide roller 33, the entry roller 34 and the correction roller 35 on one surface, the other side is fastened to be detachable to the wall surface of the wire saw device.

따라서, 잉곳(1)의 일부만 절단할 시에는 롤러부(32)가 설치된 설치대(36)를 장착하여 절단하고, 잉곳(1) 전체를 절단할 시에는 롤러부(32)가 설치된 설치대(36)를 제거하고, 와이어를 공급하는 롤러를 설치함으로써 잉곳(1) 전체를 절단할 수 있다. Therefore, when only a part of the ingot 1 is to be cut, the mounting table 36 on which the roller part 32 is installed is cut and the cutting stand 36 is installed on the roller part 32 when the entire ingot 1 is cut. The whole ingot 1 can be cut | disconnected by removing the and supplying the roller which supplies a wire.

한편, 롤러부(32)를 포함하는 설치대(36)의 설치 위치는 상술한 바에 의하여 제한되는 것은 아니며, 도면상 절단롤러(20)의 좌측에 설치되어 회수되는 와이어의 회수 위치를 변경하여 잉곳(1)을 선택적으로 절단하는 것도 가능하며, 또한, 절단롤러(20)의 양측 모두에 설치되어 와이어의 진입 및 회수 위치를 모두 변경하는 것 또한 가능하다.On the other hand, the installation position of the mounting table 36 including the roller portion 32 is not limited by the above-described bar, the ingot (by changing the recovery position of the wire is installed and recovered on the left side of the cutting roller 20 in the drawing) It is also possible to selectively cut 1), and it is also possible to change both the entry and withdrawal positions of the wires provided at both sides of the cutting roller 20.

회수부(40)는 와이어를 회수하여 권취하는 회수보빈(41)과, 절단롤러(20)로부터 회수되는 와이어를 회수보빈(41)에 제공하는 회수롤러(42)와, 회수보빈(41)과 회수롤러(42) 사이에 설치되어 와이어에 장력을 인가하고 진행 방향을 안내하는 텐션롤러(T)를 포함하여 구성된다.The recovery section 40 includes a recovery bobbin 41 for recovering and winding the wire, a recovery roller 42 for providing the recovery bobbin 41 with the wires recovered from the cutting roller 20, and a recovery bobbin 41. It is configured to include a tension roller (T) is provided between the recovery roller 42 to apply a tension to the wire and guide the direction of travel.

회수보빈(41)은 본 실시예에서 절단롤러(20)의 좌측 상방에 설치되어 와이어를 공급하나, 이에 제한되는 것은 아니며 장력을 조절하는 롤러를 추가 설치하여 다양한 위치에 설치가 가능하다. 또한, 회수보빈(41)의 하방에는 텐션롤러(T)가 설치되어 장력을 인가한다.The recovery bobbin 41 is installed on the left upper side of the cutting roller 20 in this embodiment to supply a wire, but is not limited thereto, and may be installed at various positions by additionally installing a roller to adjust tension. Further, a tension roller T is provided below the recovery bobbin 41 to apply tension.

도 2 및 도 3을 참조하면, 회수롤러(42)는 절단롤러(20)의 회전축인 종방향 축과 평행한 롤러축에 의해 회전하도록 설치되며 절단롤러(20)의 좌측, 회수보빈(41)의 하방에 이격되어 설치되어, 절단롤러(20)의 외주면을 따라 회수되는 와이어를 회수한다.
2 and 3, the recovery roller 42 is installed to rotate by a roller axis parallel to the longitudinal axis, which is the rotation axis of the cutting roller 20, the left side of the cutting roller 20, recovery bobbin 41 Installed below the space of the, and collect | recovered the wire collect | recovered along the outer peripheral surface of the cutting roller 20.

지금부터는 상술한 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치의 일실시예의 작동에 대하여 설명한다.The operation of one embodiment of the above-described ingot cutting wire saw device will now be described.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따라 원하는 개수의 웨이퍼를 절단하기 위하여 절단롤러(20)에 진입되는 와이어의 진입 위치를 결정하여 설치대(36)에 진입롤러(34)를 설치한 후, 진입롤러(34)에 와이어가 수직으로 공급되도록 보정롤러(35)를 설치대(36)에 설치한다. .Referring to Figure 2, in order to cut the desired number of wafers in accordance with the present invention after determining the entry position of the wire entering the cutting roller 20 to install the entry roller 34 on the mounting table 36, the entry roller The correction roller 35 is installed on the mounting table 36 so that the wire 34 is vertically supplied. .

그 후, 공급보빈(31)에 권취된 와이어를 텐션롤러(T), 롤러부(32), 절단롤러(20), 회수롤러(42) 및 회수보빈(41)의 외주면에 감아 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치를 작동시킨다.After that, the wire wound around the supply bobbin 31 is wound around the tension roller T, the roller portion 32, the cutting roller 20, the recovery roller 42, and the recovery bobbin 41 and the outer circumferential surfaces thereof. Activate the saw device.

이때, 와이어는 공급보빈(31)에서 회수보빈(41) 방향으로 진행하며 권취되고, 마주보는 한 쌍의 절단롤러(20)의 외주면을 왕복 회전하면서 회수롤러(42)로 회수된다. At this time, the wire is wound in a direction of recovery bobbin 41 from the supply bobbin 31, and is recovered to the recovery roller 42 while reciprocating the outer circumferential surface of the pair of cutting rollers 20 facing each other.

동시에 잉곳(1)이 장착된 워크플레이트(10)가 하방으로 이동되고, 전체 잉곳(1) 중 절단하고자 하는 부분만 왕복 회전하는 와이어에 접촉하므로 원하는 개수의 웨이퍼만 절단하게 된다. 또한, 절단된 웨이퍼는 하방에 마련된 회수장치(미도시)에 의해 회수된다.At the same time, the work plate 10 on which the ingot 1 is mounted is moved downward, and only a portion of the entire ingot 1 is to be contacted with the wire reciprocally rotating, thereby cutting only the desired number of wafers. In addition, the cut wafer is recovered by a recovery device (not shown) provided below.

한편, 롤러부(32)를 제거하고 절단롤러(20)의 종방향 축에 대하여 수직으로 와이어를 공급하는 롤러를 설치함으로써, 잉곳(1)의 전체를 절단할 수 있다.On the other hand, the whole of the ingot 1 can be cut | disconnected by removing the roller part 32 and providing the roller which supplies a wire perpendicularly | vertically with respect to the longitudinal axis of the cutting roller 20. As shown in FIG.

상술한 바와 같이, 진입롤러(34)와 보정롤러(33)의 위치를 변경하여 잉곳(1)을 절단함으로써 사용자가 원하는 개수만큼만 잉곳(1)을 절단할 수 있어, 품질 검사시 불필요한 낭비를 막을 수 있다.As described above, by changing the positions of the entry roller 34 and the correction roller 33 to cut the ingot 1, the user can cut the ingot 1 as many times as desired by the user, thereby preventing unnecessary waste during quality inspection. Can be.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments but may be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended patents. Without departing from the gist of the invention as claimed in the patent scope, those skilled in the art to which the invention pertains are considered to be within the scope of the claims described in the present invention to various extents that can be modified.

1: 잉곳 10: 워크플레이트
20: 절단롤러 30: 공급부
31: 공급보빈 32: 롤러부
33: 가이드롤러 34: 진입롤러
35: 보정롤러 36: 설치대
40: 회수부 41: 회수보빈
42: 회수롤러 T: 텐션롤러1: ingot 10: work plate
20: cutting roller 30: supply part
31: supply bobbin 32: roller
33: guide roller 34: entry roller
35: calibration roller 36: mounting table
40: recovery part 41: recovery bobbin
42: recovery roller T: tension roller

Claims (3)

상하 승강 가능하게 설치되고 잉곳이 부착되는 워크플레이트;
상기 워크플레이트의 하방에 이격 설치되고, 외주면에 와이어가 권선되어 회전함으로써 잉곳을 절단하는 한 쌍의 절단롤러;
상기 절단롤러의 일측과 타측에 회전 가능하게 각각 설치되어 와이어를 공급하고 회수하는 공급보빈 및 회수보빈;
상기 공급보빈으로부터 와이어를 공급받아 진행방향을 안내하는 가이드롤러와, 상기 절단롤러에 공급되는 와이어의 진입 위치를 변경하여 공급하도록 설치되는 진입롤러와, 상기 가이드롤러로부터 상기 진입롤러로 공급되는 와이어의 경로를 보정하는 보정롤러가 구비된 롤러부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치.
A work plate which is installed to be movable up and down and is attached with an ingot;
A pair of cutting rollers spaced apart below the work plate and cutting ingots by winding and rotating wires on an outer circumferential surface thereof;
A supply bobbin and a recovery bobbin rotatably installed at one side and the other side of the cutting roller to supply and recover wires;
A guide roller that receives the wire from the supply bobbin to guide the traveling direction, an entry roller installed to change the entry position of the wire supplied to the cutting roller, and a wire supplied from the guide roller to the entry roller Ingot cutting wire saw device comprising a; roller portion having a correction roller for correcting the path.
제1항에 있어서,
상기 롤러부는 일측면에 상기 가이드롤러와 상기 진입롤러 및 보정롤러가 설치되는 설치대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치.The method of claim 1,
The roller unit ingot cutting wire saw device, characterized in that further comprising a mounting table on which the guide roller, the entry roller and the correction roller is installed on one side. 제2항에 있어서,
상기 공급보빈 및 상기 회수보빈과 각각 이격 설치되어, 외주면에 권선되는 와이어에 장력을 제공하는 텐션롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어 쏘 장치.




The method of claim 2,
Ingot cutting wire saw device characterized in that it comprises a tension roller which is provided spaced apart from the supply bobbin and the recovery bobbin, respectively, to provide tension to the wire wound on the outer circumferential surface.




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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104511824B (en) * 2013-09-26 2017-05-24 日特机械工程株式会社 Wire saw and method for cutting a workpiece with a steel wire
WO2022085956A1 (en) * 2020-10-22 2022-04-28 주식회사 원광에스앤티 Solar panel processing device
CN114523156A (en) * 2022-04-21 2022-05-24 南通宏耀锅炉辅机有限公司 Thermocouple sleeve cutting machine for boiler temperature measurement
KR20220114865A (en) * 2021-02-09 2022-08-17 영남대학교 산학협력단 Ingot cutting apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3106415B2 (en) * 1996-05-31 2000-11-06 株式会社東京精密 Wire saw
JPH11245159A (en) * 1998-03-03 1999-09-14 Tokyo Seimitsu Co Ltd Traverse device for wire saw

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104511824B (en) * 2013-09-26 2017-05-24 日特机械工程株式会社 Wire saw and method for cutting a workpiece with a steel wire
WO2022085956A1 (en) * 2020-10-22 2022-04-28 주식회사 원광에스앤티 Solar panel processing device
KR20220114865A (en) * 2021-02-09 2022-08-17 영남대학교 산학협력단 Ingot cutting apparatus
CN114523156A (en) * 2022-04-21 2022-05-24 南通宏耀锅炉辅机有限公司 Thermocouple sleeve cutting machine for boiler temperature measurement
CN114523156B (en) * 2022-04-21 2022-07-22 南通宏耀锅炉辅机有限公司 Thermocouple sleeve cutting machine for boiler temperature measurement

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