KR20150095548A - X 선 분석용 샘플 홀더 및 샘플 설치용 지그 - Google Patents

X 선 분석용 샘플 홀더 및 샘플 설치용 지그

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KR20150095548A
KR20150095548A KR1020140160665A KR20140160665A KR20150095548A KR 20150095548 A KR20150095548 A KR 20150095548A KR 1020140160665 A KR1020140160665 A KR 1020140160665A KR 20140160665 A KR20140160665 A KR 20140160665A KR 20150095548 A KR20150095548 A KR 20150095548A
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도시타다 다케우치
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가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스
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Abstract

과제
샘플의 어긋남을 없앰과 함께, 샘플과 X 선관의 거리를 일정하게 할 수 있고, 또한, 여러 가지 형상의 샘플에 대응 가능한 X 선 분석용 샘플 홀더 및 이 홀더에 샘플을 세트할 때에 사용하는 샘플 설치용 지그를 제공하는 것.
해결 수단
제 1 환상 부재 (3) 와, 제 1 환상 부재와의 사이에 제 1 필름 (F1) 을 둔 상태에서 제 1 환상 부재 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 제 1 필름이 장착 형성되는 제 2 환상 부재 (4) 와, 제 2 환상 부재와의 사이에 제 2 필름 (F2) 을 둔 상태에서 제 2 환상 부재 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 제 2 필름이 장착 형성되는 제 3 환상 부재 (5) 를 구비하고, 제 2 환상 부재와 제 3 환상 부재 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 제 1 필름과 제 2 필름으로 X 선 분석용 샘플 (S) 을 협지한다.

Description

X 선 분석용 샘플 홀더 및 샘플 설치용 지그{SAMPLE HOLDER FOR X-RAY ANALYSIS AND TOOL FOR INSTALLING SAMPLE}
본 발명은 X 선 분석 장치로 샘플 (시료) 을 X 선 분석할 때에, 샘플을 유지하여 X 선 분석 장치에 세트하기 위한 X 선 분석용 샘플 홀더 및 이 홀더에 샘플을 세트하기 위해서 사용하는 샘플 설치용 지그에 관한 것이다.
일반적으로, 형광 X 선 분석 장치 등의 X 선 분석 장치로 샘플을 X 선 분석할 때에는, 샘플을 유지하는 홀더를 이용하여, 이 홀더를 X 선 분석 장치에 세트하여 분석을 실시하고 있다. 예를 들어, 종래, 미소한 샘플을 분석·측정하기 위해서, 홀더로서 필름이 부착된 용기가 이용되고 있다. 즉, 용기 내에 붙인 얇은 필름 위에 샘플을 두고 측정을 실시하고 있다.
이와 같이 필름 위의 샘플을 측정할 때, 샘플이 미소하고 경량이기 때문에, 장치의 문의 개폐나 샘플의 교환시의 기계 진동 등에 의해 당해 샘플 상의 X 선을 조사하는 목표 위치와 실제의 조사 위치가 일치하지 않게 되는 샘플의 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 이 샘플의 어긋남을 개선시키기 위해서 완충재를 이용하여 샘플을 유지시키는 방법도 제안되어 있다. 그러나, 완충재의 재질이 X 선 측정 결과에 영향을 미치는 경우가 있다는 문제가 있었다.
이 때문에, 전용의 측정 용기를 사용하는 것이 제안되어 있다. 예를 들어, 특허문헌 1 에는, 바닥이 있는 통 형상의 본체와, 그 본체의 바닥벽에 세워서 형성되고, 선단면으로 시료를 지지하는 1 개 이상의 봉상의 지지 부재와, 본체의 개구부를 덮고, 시료를 지지 부재와의 사이에서 지지하는 필름을 구비한 X 선 분석용 시료 홀더가 제안되어 있다. 이 X 선 분석용 시료 홀더는, 전용 용기인 용기 뚜껑의 내부 상면에 삽입구를 형성하고, 그 삽입구로부터 샘플을 삽입 혹은 끝부분에 샘플을 장착한 봉을 삽입하여 사용하는 것이다.
일본 공개특허공보 2000-230912호
상기 종래의 기술에는, 이하의 과제가 남아 있다.
즉, X 선 강도는 샘플과 X 선관의 거리에 의존하는데, 종래의 시료 홀더에서는, 용기 내에 샘플을 삽입하여 세트할 필요가 있고, 최적인 거리에 샘플을 항상 유지하는 것이 어려워, 측정 결과에 영향을 미쳐 버린다는 문제가 있었다. 또, 삽입하는 시료의 크기에 제한이 있어, 삽입구로부터 삽입 가능한 크기나 형상으로 시료를 가공하지 않으면 안 되어, 시료의 제작에 시간이 걸리고 번잡하다는 문제도 있었다.
본 발명은 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 샘플의 어긋남을 없앰과 함께, 샘플과 X 선관의 거리를 일정하게 할 수 있고, 또한, 여러 가지 형상의 샘플에 대응 가능한 X 선 분석용 샘플 홀더 및 이 홀더에 샘플을 세트할 때에 사용하는 샘플 설치용 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이하의 구성을 채용하였다. 즉, 제 1 발명에 관련된 X 선 분석용 샘플 홀더는, 제 1 환상 부재와, 상기 제 1 환상 부재와의 사이에 제 1 필름을 둔 상태에서 상기 제 1 환상 부재 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 상기 제 1 필름이 장착 형성되는 제 2 환상 부재와, 상기 제 2 환상 부재와의 사이에 제 2 필름을 둔 상태에서 상기 제 2 환상 부재 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 상기 제 2 필름이 장착 형성되는 제 3 환상 부재를 구비하고, 상기 제 2 환상 부재와 상기 제 3 환상 부재 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 상기 제 1 필름과 상기 제 2 필름에 의해 X 선 분석용 샘플을 협지하는 것을 특징으로 한다.
이 X 선 분석용 샘플 홀더에서는, 제 2 환상 부재와 제 3 환상 부재 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 제 1 필름과 제 2 필름으로 X 선 분석용 샘플을 협지하므로, 샘플이 1 쌍의 필름 사이에 끼워져 어긋나는 경우가 없음과 함께, 필름이 얇기 때문에 X 선 측정에 영향을 미치기 어려워, 정확한 측정이 가능해진다. 또, 제 1 필름의 위치를 샘플과 X 선관의 거리의 최적 위치에 세트함으로써, 항상 샘플과 X 선관의 거리를 일정하게 할 수 있다. 또한, 1 쌍의 필름 사이에 샘플을 두기 때문에, 샘플의 크기나 형상에 제한이 적어, 다양한 샘플을 세트하는 것이 가능해진다.
제 2 발명에 관련된 X 선 분석용 샘플 홀더는, 제 1 발명에 있어서, 상기 제 3 환상 부재가, 상기 제 2 환상 부재보다 높게 형성되고, 상기 제 2 환상 부재의 상방 또한 상기 제 3 환상 부재의 외주면에 상기 제 2 필름의 외주 가장자리 부분을 사이에 둔 상태에서 장착되고, 상기 제 2 필름을 고정시키는 탄성체링을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 X 선 분석용 샘플 홀더에서는, 제 2 환상 부재의 상방 또한 제 3 환상 부재의 외주면에 제 2 필름의 외주 가장자리 부분을 사이에 둔 상태에서 장착되고, 제 2 필름을 고정시키는 탄성체링을 구비하고 있기 때문에, 탄성체링으로 제 2 필름의 장력 정도를 조절할 수 있다. 예를 들어, 탄성체링에 의해 제 2 필름의 장력을 제 1 필름보다 약하게 하여 고정시킴으로써, 제 1 필름을 평탄하게 장착 형성한 채로, 제 3 환상 부재 내에 제 2 필름이 볼록해지도록 샘플을 사이에 끼울 수 있다. 이로써, 제 1 필름을 휘지 않게 하면서 샘플을 유지할 수 있고, 샘플과 X 선관의 거리를 정하는 기준면이 되는 제 1 필름의 위치를 유지할 수 있다.
제 3 발명에 관련된 X 선 분석용 샘플 홀더는, 제 1 또는 제 2 발명에 있어서, 상기 제 1 환상 부재의 하부 외주에 절결상의 단부 (段部) 가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 X 선 분석용 샘플 홀더에서는, 제 1 환상 부재의 하부 외주에 절결상의 단부가 형성되어 있기 때문에, X 선 분석 장치의 홀더 장착부에, 단부를 걸리게 하여 제 1 환상 부재의 하부를 끼워넣을 수 있는 단부상의 오목부를 형성해 둠으로써, X 선 조사구와의 위치 결정을 할 수 있고, 샘플을 목표 위치에 맞추는 것이 용이해져, 재차 동일한 위치에 샘플을 배치하는 것도 가능해진다.
제 4 발명에 관련된 샘플 설치용 지그는, 제 1 내지 제 3 발명 중 어느 하나의 X 선 분석용 샘플 홀더에 X 선 분석용 샘플을 설치할 때에 사용하는 지그로서, 적어도 상기 제 1 환상 부재의 하부를 끼워넣을 수 있는 설치공을 가진 판상의 지그 본체와, 상기 설치공의 하부 개구부를 덮어 형성된 투명판부를 구비하고, 상기 투명판부에 상기 설치공의 중심을 나타내는 마크가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 샘플 설치용 지그에서는, 투명판부에 설치공의 중심을 나타내는 마크가 형성되어 있기 때문에, 제 1 필름을 장착 형성한 제 1 환상 부재 및 제 2 환상 부재를 설치공에 끼워넣은 상태에서, 제 1 필름을 통해 육안으로 볼 수 있는 투명판부의 마크를 표적으로, 제 1 필름 위에 샘플을 재치 (載置) 할 수 있다. 따라서, 이 샘플 설치용 지그를 사용함으로써, X 선 분석 장치의 기외에서 X 선빔의 중심에 대응한 측정 위치에 샘플을 세트하는 것이 용이해진다.
본 발명에 의하면, 이하의 효과를 발휘한다.
즉, 본 발명에 관련된 X 선 분석용 샘플 홀더에 의하면, 제 2 환상 부재와 제 3 환상 부재 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 제 1 필름과 제 2 필름으로 X 선 분석용 샘플을 협지하므로, 샘플이 어긋나는 경우가 없음과 함께, 필름이 얇기 때문에 X 선 측정에 영향을 미치기 어려워, 정확한 측정이 가능해진다. 또, 항상 샘플과 X 선관의 거리를 일정하게 할 수 있음과 함께, 샘플의 크기나 형상에 제한이 적어, 다양한 샘플을 세트하는 것이 가능해진다.
또, 본 발명에 관련된 샘플 설치용 지그에 의하면, 투명판부에 설치공의 중심을 나타내는 마크가 형성되어 있기 때문에, 투명판부의 마크를 표적으로, 제 1 필름 위에 샘플을 재치할 수 있고, X 선 분석 장치의 기외에서 X 선빔의 중심에 대응한 측정 위치에 샘플을 세트하는 것이 용이해진다.
따라서, 본 발명에 의하면, 기내 또는 기외에 있어서 다양한 형상의 샘플을 X 선을 조사하고자 하는 위치에 정확하게 배치할 수 있고, 유지된 샘플이 진동 등에 의해 이동해 버리는 것을 방지할 수 있다.
도 1 은, 본 발명에 관련된 X 선 분석용 샘플 홀더의 일 실시형태에 있어서, X 선 분석 장치의 홀더 장착부에 재치한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2 는, 본 실시형태에 있어서, 절반으로 파단했을 때의 X 선 분석용 샘플 홀더 (필름을 제외함) 를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 본 실시형태에 있어서, X 선 분석용 샘플 홀더 (필름을 제외함) 를 나타내는 정면도이다.
도 4 는, 본 실시형태에 있어서, X 선 분석용 샘플 홀더 (필름 및 탄성체링을 제외함) 를 나타내는 하방에서 본 사시도이다.
도 5 는, 본 발명에 관련된 샘플 설치용 지그의 일 실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 6 은, 본 실시형태에 있어서, 샘플 설치용 지그를 이용하여 X 선 분석용 샘플 홀더에 샘플을 세트하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7 은, 본 실시형태에 있어서, X 선 분석 장치의 샘플 체인저를 나타내는 평면도이다.
이하, 본 발명에 관련된 X 선 분석용 샘플 홀더 및 샘플 설치용 지그의 일 실시형태를, 도 1 내지 도 7 을 참조하면서 설명한다.
본 실시형태의 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 는, 형광 X 선 분석 장치 등의 X 선 분석 장치의 샘플을 유지하는 홀더로서, 도 1 내지 도 4 에 나타내는 바와 같이, 샘플 베이스인 홀더 장착부 (2) 에 설치되고, 제 1 환상 부재 (3) 와, 제 1 환상 부재 (3) 와의 사이에 제 1 필름 (F1) 을 둔 상태에서 제 1 환상 부재 (3) 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 제 1 필름 (F1) 이 장착 형성되는 제 2 환상 부재 (4) 와, 제 2 환상 부재 (4) 와의 사이에 제 2 필름 (F2) 을 둔 상태에서 제 2 환상 부재 (4) 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 제 2 필름 (F2) 이 장착 형성되는 제 3 환상 부재 (5) 를 구비하고 있다.
즉, 제 1 필름 (F1) 은, 제 1 환상 부재 (3) 의 내주면 (3a) 과 제 2 환상 부재 (4) 의 외주면 사이에 협지되어 하부 개구부에 장착 형성되고, 제 2 필름 (F2) 은, 제 2 환상 부재 (4) 의 내주면 (4a) 과 제 3 환상 부재 (5) 의 외주면 사이에 협지되어 하부 개구부에 장착 형성되어 있다.
따라서, 이 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 는, 제 2 환상 부재 (4) 와 제 3 환상 부재 (5) 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 제 1 필름 (F1) 과 제 2 필름 (F2) 으로 X 선 분석용 샘플 (S) 을 협지한다.
상기 제 1 환상 부재 (3), 제 2 환상 부재 (4) 및 제 3 환상 부재 (5) 는, 각각 수지 등으로 형성된 높이가 상이한 원통상 부재이다.
제 2 환상 부재 (4) 는, 제 1 환상 부재 (3) 보다 높게 형성되고, 상기 제 3 환상 부재 (5) 는, 제 2 환상 부재 (4) 보다 높게 형성되어 있다.
제 1 환상 부재 (3) 는, 하부에 반경 방향 내방으로 돌출되어 하부 개구부 전체 둘레에 걸쳐서 형성된 바닥부 지지부 (3c) 가 형성되어 있다. 이 바닥부 지지부 (3c) 의 상면에 제 2 환상 부재 (4) 의 하단이 제 1 필름 (F1) 을 사이에 둔 상태에서 지지되어 있다.
또, 이 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 는, 제 2 환상 부재 (4) 의 상방 또한 제 3 환상 부재 (5) 의 외주면에 제 2 필름 (F2) 의 외주 가장자리 부분을 사이에 둔 상태에서 장착되고, 제 2 필름 (F2) 을 고정시키는 탄성체링 (6) 을 구비하고 있다.
이 탄성체링 (6) 은, 예를 들어 고무 밴드이다.
또, 제 1 필름 (F1) 및 제 2 필름 (F2) 은, 예를 들어 마일러 (상표 등록) 필름이라는 폴리에스테르 필름 등의 수지 필름을 채용할 수 있고, 투명하고 불순물이 나오지 않는 두께 수 ㎛ 의 얇은 필름이 바람직하다.
제 1 환상 부재 (3) 의 하부 외주에 절결상의 단부 (3b) 가 형성되어 있다.
제 2 환상 부재 (4) 는, 상부에 반경 방향 외방으로 돌출되어 확경된 제 1 플랜지부 (4b) 가 형성되고, 제 3 환상 부재 (5) 에도, 상부에 반경 방향 외방으로 돌출되어 확경된 제 2 플랜지부 (5b) 가 형성되어 있다. 즉, 탄성체링 (6) 은, 제 1 플랜지부 (4b) 와 제 2 플랜지부 (5b) 사이에 형성된다.
샘플 설치용 지그 (10) 는, X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 에 X 선 분석용 샘플 (S) 을 설치할 때에 사용하는 지그로서, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 적어도 제 1 환상 부재 (3) 의 하부를 끼워넣을 수 있는 설치공 (11a) 을 가진 판상의 지그 본체 (11) 와, 설치공 (11a) 의 하부 개구부를 덮어 형성된 투명판부 (12) 를 구비하고 있다.
상기 투명판부 (12) 는, 투명한 유리판 또는 플라스틱판으로, 표면에 설치공 (11a) 의 중심을 나타내는 마크 (M) 가 형성되어 있다. 이 마크 (M) 는, 예를 들어 투명판부 (12) 의 표면에 그려진 십자선의 교점 등이다.
또한, 상기 설치공 (11a) 은, 제 1 환상 부재 (3) 의 단부 (3b) 의 직경에 대응하여 내경이 되고, 바닥부 지지부 (3c) 를 끼워넣을 수 있는 원형으로 설정되어 있다.
다음으로, 샘플 설치용 지그 (10) 를 이용하여 샘플 (S) 을 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 에 세트하는 방법에 대하여, 도 6 을 참조하여 설명한다.
먼저, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 샘플 설치용 지그 (10) 의 설치공 (11a) 에 제 1 환상 부재 (3) 의 하부 (바닥부 지지부 (3c)) 를 끼워넣는다. 이 때, 하부의 단부 (3b) 가 설치공 (11a) 의 상부 외주 끝에 걸림과 함께 바닥부 지지부 (3c) 가 설치공 (11a) 내에 삽입된 상태가 되어, 제 1 환상 부재 (3) 가 위치 결정된다.
다음으로, 제 1 환상 부재 (3) 상에 제 1 필름 (F1) 을 덮고, 또한, 제 1 필름 (F1) 위에서부터 제 2 환상 부재 (4) 를 제 1 환상 부재 (3) 내로 밀어넣음과 함께 제 1 필름 (F1) 을 제 1 환상 부재 (3) 의 내측으로 밀어넣는다. 이로써, 제 2 환상 부재 (4) 의 하부 개구부를 덮어 제 1 필름 (F1) 이 장착 형성된다. 이 때, 제 2 환상 부재 (4) 의 하단은, 제 1 환상 부재 (3) 의 바닥부 지지부 (3c) 에 맞닿아 지지된다.
이 상태에서, 샘플 (S) 을, 제 2 환상 부재 (4) 의 하부 개구부에 장착 형성된 제 1 필름 (F1) 상에 재치한다. 이 때, 제 1 필름 (F1) 을 개재하여 투명판부 (12) 의 마크 (M) 를 시인할 수 있으므로, 마크 (M) 를 표적으로 하여 샘플 (S) 을 설치공 (11a) 의 중앙에 둔다.
한편, 제 3 환상 부재 (5) 의 하부 개구부에 제 2 필름 (F2) 을 덮고, 제 3 환상 부재 (5) 의 외주면에서 제 2 필름 (F2) 의 둘레 가장자리 부분을 탄성체링 (6) 으로 고정시켜 둔다. 이 때, 장착 형성된 제 1 필름 (F1) 보다 느슨한 장력으로 제 2 필름 (F2) 을 고정시켜 둔다.
다음으로, 샘플 (S) 을 재치한 후, 제 2 필름 (F2) 을 고정시킨 제 3 환상 부재 (5) 를, 제 2 환상 부재 (4) 내로 위에서부터 밀어넣는다. 이 때, 제 1 필름 (F1) 과 제 2 필름 (F2) 사이에 샘플 (S) 을 두고 위치를 고정시킴으로써, 샘플 (S) 이 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 에 세트된다.
또한, 탄성체링 (6) 에 의해 제 2 필름 (F2) 의 장력을 제 1 필름 (F1) 보다 약하게 하여 고정시키고 있기 때문에, 제 1 필름 (F1) 을 평탄하게 장착 형성한 채로, 제 3 환상 부재 (5) 내에 제 2 필름 (F2) 이 볼록해지도록 샘플 (S) 을 사이에 둘 수 있다. 이로써, 제 1 필름 (F1) 을 휘지 않게 하면서 샘플 (S) 을 유지할 수 있고, 샘플 (S) 과 X 선관의 거리를 정하는 기준면이 되는 제 1 필름 (F1) 의 위치를 유지할 수 있다.
이와 같이 하여 샘플 (S) 을 세트한 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 를, X 선 분석 장치에 장착할 때에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 샘플 베이스인 홀더 장착부 (2) 에 형성된 홀더용 구멍 (2a) 에 장착하여, 홀더 장착부 (2) 와 함께 X 선 분석 장치 내에 넣는다. 또한, 홀더 장착부 (2) 의 홀더용 구멍 (2a) 의 상부 외측 가장자리에는, 단부 (3b) 를 걸리게 하여 제 1 환상 부재 (3) 의 하부를 끼워넣을 수 있는 단부상의 오목부 (2b) 가 형성되어 있고, 홀더용 구멍 (2a) 에 설치하는 것만으로 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 가 위치 결정된다.
이와 같이 X 선 분석 장치에 세트된 샘플 (S) 에는, X 선 분석시에, 홀더용 구멍 (2a) 의 하방으로부터 제 1 필름 (F1) 을 통해 1 차 X 선 (X) 이 조사된다.
또한, 복수의 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 를 분석, 측정하는 경우, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 복수의 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 를 장착할 수 있는 샘플 체인저 (홀더 장착부) (100) 를 사용한다. 즉, 샘플 체인저 (100) 에 형성된 복수의 홀더용 구멍 (2a) 에, 각 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 를 장착한다.
이와 같이 본 실시형태의 X 선 분석용 샘플 홀더 (1) 에서는, 제 2 환상 부재 (4) 와 제 3 환상 부재 (5) 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 제 1 필름 (F1) 과 제 2 필름 (F2) 으로 X 선 분석용 샘플 (S) 을 협지하므로, 샘플 (S) 이 1 쌍의 필름 사이에 끼워져 어긋나지 않음과 함께, 필름이 얇기 때문에 X 선 측정에 영향을 미치기 어려워, 정확한 측정이 가능해진다. 또, 제 1 필름 (F1) 의 위치를 샘플 (S) 과 X 선관의 거리의 최적 위치에 세트함으로써, 항상 샘플 (S) 과 X 선관의 거리를 일정하게 할 수 있다. 또한, 1 쌍의 필름 사이에 샘플 (S) 을 두기 때문에, 샘플 (S) 의 크기나 형상에 제한이 적어, 다양한 샘플 (S) 을 세트하는 것이 가능해진다.
또, 제 2 환상 부재 (4) 의 상방 또한 제 3 환상 부재 (5) 의 외주면에 제 2 필름 (F2) 의 외주 가장자리 부분을 사이에 둔 상태에서 장착되고, 제 2 필름 (F2) 을 고정시키는 탄성체링 (6) 을 구비하고 있기 때문에, 탄성체링 (6) 에 의해 제 2 필름 (F2) 의 장력 정도를 조절할 수 있다.
또한, 제 1 환상 부재 (3) 의 하부 외주에 절결상의 단부 (3b) 가 형성되어 있기 때문에, X 선 분석 장치의 홀더 장착부 (2) 에, 단부 (3b) 를 걸리게 하여 제 1 환상 부재 (3) 의 하부를 끼워넣을 수 있는 단부상의 오목부 (2b) 를 형성해 둠으로써, X 선 조사구와의 위치를 결정할 수 있어, 샘플 (S) 을 목표 위치에 맞추는 것이 용이해지고, 재차 동일한 위치에 샘플 (S) 을 배치하는 것도 가능해진다.
이 샘플 설치용 지그 (10) 에서는, 투명판부 (12) 에 설치공 (11a) 의 중심을 나타내는 마크 (M) 가 형성되어 있기 때문에, 제 1 필름 (F1) 을 장착 형성한 제 1 환상 부재 (3) 및 제 2 환상 부재 (4) 를 설치공 (11a) 에 끼워넣은 상태에서, 제 1 필름 (F1) 을 통해 육안으로 볼 수 있는 투명판부 (12) 의 마크 (M) 를 표적으로, 제 1 필름 (F1) 상에 샘플 (S) 을 재치할 수 있다. 따라서, 이 샘플 설치용 지그 (10) 를 사용함으로써, X 선 분석 장치의 기외에서 X 선빔의 중심에 대응한 측정 위치에 샘플 (S) 을 세트하는 것이 용이해진다.
또한, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지의 변경을 가하는 것이 가능하다.
예를 들어, 상기 실시형태에서는, 제 1 ∼ 제 3 환상 부재를 원통상 부재로 했지만, 타원 통상이나 각 통상 등의 통상 부재여도 상관없다.
상기 실시형태에서는, 투명판부에 형성한 마크를 십자선으로 했지만, 샘플의 목표 설치 위치를 시인할 수 있으면 다른 마크여도 상관없다. 예를 들어, 작은 원 형상의 마크 등이어도 상관없다.
1 : X 선 분석용 샘플 홀더
2 : 홀더 장착부
3 : 제 1 환상 부재
3b : 단부
4 : 제 2 환상 부재
5 : 제 3 환상 부재
6 : 탄성체링
10 : 샘플 설치용 지그
11 : 지그 본체
11a : 설치공
12 : 투명판부
100 : 샘플 체인저
F1 : 제 1 필름
F2 : 제 2 필름
M : 마크
S : 샘플

Claims (4)

  1. 제 1 환상 부재와,
    상기 제 1 환상 부재와의 사이에 제 1 필름을 둔 상태에서 상기 제 1 환상 부재 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 상기 제 1 필름이 장착 형성되는 제 2 환상 부재와,
    상기 제 2 환상 부재와의 사이에 제 2 필름을 둔 상태에서 상기 제 2 환상 부재 내에 끼워넣어져 삽입되고, 하부 개구부를 덮어 상기 제 2 필름이 장착 형성되는 제 3 환상 부재를 구비하고,
    상기 제 2 환상 부재와 상기 제 3 환상 부재 각각의 하부 개구부에 장착 형성된 상기 제 1 필름과 상기 제 2 필름에 의해 X 선 분석용 샘플을 협지하는 것을 특징으로 하는 X 선 분석용 샘플 홀더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 환상 부재가, 상기 제 2 환상 부재보다 높게 형성되고,
    상기 제 2 환상 부재의 상방 또한 상기 제 3 환상 부재의 외주면에 상기 제 2 필름의 외주 가장자리 부분을 사이에 둔 상태에서 장착되고, 상기 제 2 필름을 고정시키는 탄성체링을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 X 선 분석용 샘플 홀더.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 환상 부재의 하부 외주에 절결상의 단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X 선 분석용 샘플 홀더.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 X 선 분석용 샘플 홀더에 X 선 분석용 샘플을 설치할 때에 사용하는 지그로서,
    적어도 상기 제 1 환상 부재의 하부를 끼워넣을 수 있는 설치공을 가진 판상의 지그 본체와,
    상기 설치공의 하부 개구부를 덮어 형성된 투명판부를 구비하고,
    상기 투명판부에 상기 설치공의 중심을 나타내는 마크가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 샘플 설치용 지그.
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