KR20150080735A - Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate - Google Patents

Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20150080735A
KR20150080735A KR1020140000173A KR20140000173A KR20150080735A KR 20150080735 A KR20150080735 A KR 20150080735A KR 1020140000173 A KR1020140000173 A KR 1020140000173A KR 20140000173 A KR20140000173 A KR 20140000173A KR 20150080735 A KR20150080735 A KR 20150080735A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
lifting frame
cover
arm
transfer arm
Prior art date
Application number
KR1020140000173A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101587336B1 (en
Inventor
윤대규
김상현
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020140000173A priority Critical patent/KR101587336B1/en
Priority to CN201580011368.0A priority patent/CN106062944B/en
Priority to PCT/KR2015/000005 priority patent/WO2015102420A1/en
Publication of KR20150080735A publication Critical patent/KR20150080735A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101587336B1 publication Critical patent/KR101587336B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The present invention relates to a lifting device for a substrate transfer apparatus and a substrate transfer apparatus comprising the same. The lifting device comprises: a lifting frame where a transfer arm supporting a substrate is coupled to be lifted; a driving unit coupled to the lifting frame to provide a driving force to lift the transfer arm; a cover preventing foreign substances generated from the driving unit since the transfer arm is lifted from being scattered; and a cover support unit protruding from the lifting frame to support the cover. The cover support unit and the lifting frame are integrally formed. According to the present invention, movement of the foreign substances scattered from the driving unit is blocked in order to prevent the substrate and the surroundings from being polluted so as to prevent degradation of the quality of the substrate.

Description

기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{GOING UP AND DOWN APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an elevating apparatus for a substrate conveying apparatus,

본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as "electronic components") are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process.

기판 이송장치는 상기 카세트와 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.The substrate transfer apparatus is for transferring the substrate between the cassette and the process chambers.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing a conventional substrate transfer apparatus.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 상기 승강부(20)를 회전시키기 위한 선회부(30), 및 상기 선회부(30)를 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다.1, a substrate transfer apparatus 1 according to the related art includes a transfer arm 10 for supporting a substrate, a lift unit 20 for lifting and lowering the transfer arm 10, And a traveling unit 40 for moving the pivot unit 30. The traveling unit 40 includes a traveling unit 30 for rotating the traveling unit 30,

상기 이송암(10)은 상기 기판을 이송하기 위해 이동한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 이동시키기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다.The transfer arm 10 moves to transfer the substrate. The transfer arm 10 includes a support hand 11 for supporting the substrate, a arm unit 12 for moving the support hand 11, and an arm unit 12 coupled to one side, And an arm base (13) to which the unit (20) is coupled.

상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(13)에 결합된 상기 암유닛(12) 및 상기 암유닛(12)에 결합된 상기 지지핸드(11)를 승강시킨다. 도시되지 않았지만, 상기 승강부(20)는 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 구동부(미도시)를 포함한다.The lift unit 20 moves the transfer arm 10 in the vertical direction. The lifting and lowering unit 20 lifts the arm base 12 and the support hand 11 coupled to the arm base 12 by moving the arm base 13 up and down . Although not shown, the elevating unit 20 includes a driving unit (not shown) for moving the transfer arm 10 up and down.

상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)을 회전시킨다.The swivel part (30) rotates the lifting part (20). The swivel part (30) is rotatably coupled to the traveling part (40). The pivoting portion 30 rotates the transfer arm 10 by rotating the elevating portion 20 about the rotation axis.

상기 주행부(40)는 주행방향으로 상기 선회부(30)를 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 승강부(20) 및 상기 이송암(10)을 상기 주행방향으로 이동시킨다.The traveling unit (40) moves the swivel unit (30) in the traveling direction. The traveling unit 40 moves the elevation unit 20 and the feed arm 10 in the traveling direction by moving the pivot unit 30 in the traveling direction.

여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 승강부(20)가 상기 이송암(10)을 승강시키는 과정에서 상기 구동부로부터 윤활유 등의 이물질이 비산된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 비산되는 이물질에 의해 상기 기판 및 주변환경이 오염됨으로써, 기판에 대한 품질을 저하시키는 문제가 있다.In the substrate transfer apparatus 1 according to the related art, foreign substances such as lubricating oil are scattered from the driving unit during the lifting and lowering of the transfer arm 10 by the lifting unit 20. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the related art has a problem in that the substrate and the surrounding environment are contaminated by the scattered foreign substance, thereby deteriorating the quality of the substrate.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 구동부로부터 비산되는 이물질에 의해 기판 및 주변환경이 오염되는 것을 방지하기 위한 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus for a substrate transfer apparatus and a substrate transfer apparatus including the same, for preventing contamination of a substrate and a surrounding environment by foreign substances scattered from a driving unit.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임 상기 이송암을 승강시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 구동부 상기 이송암이 승강됨에 따라 상기 구동부로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버 및 상기 커버를 지지하기 위해 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 커버지지부를 포함하고, 상기 커버지지부 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.The lift device for a substrate transfer apparatus according to the present invention is characterized in that a lift frame for lifting and lowering a transfer arm for supporting a substrate is mounted on a lifting frame to provide a driving force for lifting and lowering the transfer arm. And a cover supporting portion formed to protrude from the lifting frame to support the cover, wherein the cover supporting portion and the lifting frame are formed integrally with each other .

본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 구동부는 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 및 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어를 포함하고, 상기 커버지지부는 상기 랙기어와 상기 피니언기어가 설치되는 설치홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to the elevating apparatus for a substrate conveying apparatus according to the present invention, the driving unit includes a rack gear coupled to the lifting frame in a lifting / lowering direction in which the transferring arm ascends and descends, and a pinion gear engaged with the rack gear, And a mounting groove on which the rack gear and the pinion gear are mounted.

본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고, 상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하고 상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.The elevation device for a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a guide installation part for guiding the elevation path of the transfer arm, and the guide installation part includes a guide part for projecting from the elevation frame at one side of the drive part And a second guide mounting member protruding from the lifting frame so as to be positioned on the other side of the driving unit, wherein the first guide mounting member, the second guide mounting member, and the lifting frame are integrally formed .

본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치는 상기 커버가 상기 승강프레임으로부터 이격되게 위치되도록 일측이 상기 승강프레임에 결합되고 타측이 상기 커버에 결합되는 이격부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The lift device for a substrate transfer apparatus according to the present invention is characterized in that the cover includes a spacing member, one side of which is coupled to the lifting frame and the other side of which is coupled to the cover so that the cover is spaced apart from the lifting frame.

본 발명에 따른 기판 이송장치용 승강장치에 따르면 상기 승강프레임에는 상기 커버지지부가 복수 개 형성되고, 상기 커버지지부들은 상기 이송암이 승강하는 승강방향을 따라 서로 이격되게 상기 승강프레임에 형성되는 것을 특징으로 한다.According to the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, a plurality of the cover supporting portions are formed on the lifting frame, and the cover supporting portions are formed on the lifting frame so as to be spaced apart from each other along the lifting / .

본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 지지하기 위한 이송암 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항 내지 제5항 중에서 어느 하나의 승강장치 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부 및 상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer apparatus according to the present invention is a transfer arm for supporting a substrate. The elevating apparatus according to any one of claims 1 to 5, for elevating and lowering the transfer arm such that a height at which the transfer arm is positioned is changed. And a traveling part for moving the pivoting part in the traveling direction.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 구동부로부터 비산되는 이물질의 이동을 차단함으로써, 이물질에 의해 상기 기판 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent contamination of the substrate and the surrounding environment by foreign substances by blocking the movement of foreign matter scattered from the driving unit, thereby preventing deterioration of the quality of the substrate.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 블록도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고,
도 3은 도 2의 기판 이송장치에서 승강장치를 나타내는 사시도이고,
도 4는 도 3의 승강장치를 나타내는 단면도이다.1 is a block diagram showing a conventional substrate transfer apparatus,
2 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention,
3 is a perspective view showing a lift device in the substrate transfer device of FIG. 2,
4 is a cross-sectional view showing the landing gear of Fig.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. It should be noted that, in the specification of the present invention, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements, but they are numbered as much as possible even if they are shown in different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. Meanwhile, the meaning of the terms described in the present specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 승강장치는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the lift apparatus according to the present invention is included in the substrate transfer apparatus according to the present invention, a preferred embodiment of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described below.

도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 기판 이송장치에서 승강장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 승강장치를 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view showing a lift table in the substrate transfer apparatus of FIG. 2, and FIG. 4 is a sectional view showing the lift table in FIG.

본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(110)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(110)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(110)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(110)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(110)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(110)을 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(110)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(110)을 이송할 수도 있다.The substrate transfer apparatus 100 according to the present invention is for transferring the substrate 110. [ The substrate 110 is for manufacturing electronic components such as a display device, a solar cell, and a semiconductor device. For example, the substrate 110 may be a glass substrate for manufacturing the electronic component. The substrate 110 may be a metal substrate, a polyimide substrate, a plastic substrate, or the like. When the electronic component is a display device, the substrate 110 may be a bonded substrate having two or more substrates bonded together. The substrate transfer apparatus 100 according to the present invention may transfer the substrate 110 between process chambers performing a manufacturing process such as a deposition process and an etching process for the substrate 110. In addition, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention may transfer the substrate 110 between the process chambers and a cassette in which the substrate 110 is stored.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 승강장치(200), 상기 승강장치(200)를 회전시키기 위한 선회부(130), 및 상기 선회부(130)를 이동시키기 위한 주행부(140)를 포함한다.2 to 4, a substrate transfer apparatus 100 according to the present invention includes a transfer arm 120 for transferring the substrate 110, a lifting device 200 for lifting and lowering the transfer arm 120, A turning unit 130 for rotating the elevating apparatus 200, and a traveling unit 140 for moving the turning unit 130.

상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(210), 상기 승강프레임(210)에 결합되는 구동부(220), 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버(230), 및 상기 커버를 지지하기 위한 커버지지부(240)를 포함한다.The lifting and lowering apparatus 200 includes a lifting frame 210 to which the transfer arm 120 can be lifted and lowered, a driving unit 220 coupled to the lifting frame 210, a cover 230 for blocking foreign matter from scattering, And a cover support 240 for supporting the cover.

상기 이송암(120)은 상기 구동부(220)에 의해 상기 승강프레임(210)에 결합된 상태에서 승강된다. 이 경우, 상기 커버(230)는 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단한다.The transfer arm 120 is moved up and down in a state of being coupled to the lifting frame 210 by the driving unit 220. In this case, the cover 230 blocks scattering of foreign matter generated from the driving unit 220.

이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이물질이 비산되는 것을 차단함으로써, 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent foreign matter generated from the driving unit 220 from being scattered. Therefore, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent foreign substances from being scattered, thereby preventing contamination of the substrate 110 and the surrounding environment, thereby preventing degradation of the quality of the substrate.

이하에서는 상기 이송암(120), 상기 승강장치(200), 상기 선회부(130), 및 상기 주행부(140)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the transfer arm 120, the elevating device 200, the pivoting part 130, and the traveling part 140 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

상기 이송암(120)은 상기 기판(110)을 이송한다. 상기 이송암(120)은 상기 승강장치(200)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)은 상기 승강장치(200)가 상기 선회부(140)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(120)은 암베이스(121), 암바디(122), 암유닛(123) 및 지지핸드(124)를 포함할 수 있다.The transfer arm 120 transfers the substrate 110. The transfer arm 120 is coupled to the elevating device 200. Accordingly, the conveying arm 120 can be rotated together with the elevating device 200 as the elevating device 200 is rotated by the turning unit 140. The transfer arm 120 may include an arm base 121, an arm body 122, an arm unit 123, and a support hand 124.

상기 암베이스(121)는 상기 승강장치(200)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(121)는 상기 승강장치(200)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.The arm base 121 is vertically coupled to the elevating device 200. The arm base 121 is lifted and lowered by the lifting device 200. Accordingly, the height at which the transfer arm 120 is positioned can be changed.

상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)에 결합된다. 상기 암베이스(121)의 일측이 상기 승강장치(200)에 결합되는 경우, 상기 암바디(122)는 상기 암베이스(121)의 타측에 결합될 수 있다.The arm body 122 is coupled to the arm base 121. When one side of the arm base 121 is coupled to the elevating device 200, the arm body 122 may be coupled to the other side of the arm base 121.

상기 암유닛(123)은 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(124)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(123)은 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(123)은 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(123)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(123)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(123)는 제 1 암기구(123a), 및 제 2 암기구(123b)를 포함할 수 있다. The arm unit 123 is movably coupled to the arm body 122. As the arm unit 123 moves, the supporting hand 124 can move together. The arm unit 123 can move the supporting hand 123 in a straight line. In this case, the arm unit 123 moves in a straight line, thereby moving the supporting hand 123 in a straight line. Although not shown, the arm unit 123 can be rotated to move the supporting hand 123 in a straight line. The arm unit 123 may include a first arm mechanism 123a and a second arm mechanism 123b.

상기 제 1 암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제 1 암기구(123a)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(123a)는 상기 암바디(122)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The first arm mechanism 123a is movably coupled to the arm body 122. [ The first arm mechanism 123a can move in a ball screw manner using a motor and a ball screw. The first arm mechanism 123a includes a gear mechanism using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt mechanism using a motor, a pulley and a belt, a linear motor using a coil and a permanent magnet, (Linear Motor) method. When the arm unit 123 is linearly moved, the first arm mechanism 123a may be movably coupled to the arm body 122 in a straight line. When the arm unit 123 is rotationally moved, the first arm mechanism 123a may be rotatably coupled to the arm body 122.

상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(123a)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(123)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(123)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(123b)는 상기 제1암기구(123a)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(123b) 및 상기 제1암기구(123a)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(124)를 직선으로 이동시킬 수 있다.The second arm mechanism 123b is movably coupled to the first arm mechanism 123a. The first arm mechanism 123a can be moved in a belt manner using a motor, a pulley, and a belt. The first arm mechanism 123a may be moved by a ball screw system using a motor and a ball screw, a gear system using a motor, a rack gear, and a pinion gear, or a linear motor system using a coil and a permanent magnet. When the arm unit 123 is configured to move linearly, the second arm mechanism 123b may be movably coupled to the first arm mechanism 123a. When the arm unit 123 is rotationally moved, the second arm mechanism 123b may be rotatably coupled to the first arm mechanism 123a. The second arm mechanism 123b and the first arm mechanism 123a rotate in opposite directions to move the support hand 124 in a straight line.

상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)에 결합된다. 상기 지지핸드(124)는 상기 암유닛(123)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(110)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(124)는 상기 제2암기구(123b)에 결합될 수 있다.The supporting hand 124 is coupled to the arm unit 123. The supporting hand 124 can move in a straight line as the arm unit 123 moves, thereby transferring the substrate 110. The support hand 124 may be coupled to the second arm mechanism 123b.

상기 이송암(120)은 복수 개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 복수 개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(120)이 2개의 상기 기판(110)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(120)은 상기 제 2 암기구(123b) 및 상기 지지핸드(124)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제 2 암기구(123b)들은 각각 상기 제 1 암기구(123a)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제 1 암기구(123a)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(124)들은 각각 상기 승강장치(200)가 상기 이송암(120)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제 2 암기구(123b)들에 결합될 수 있다.The transfer arm 120 may be configured to transfer a plurality of the substrates 110. In this case, the transfer arm 120 may include a plurality of the second arm mechanisms 123b and the support hands 124, respectively. For example, when the transfer arm 120 is configured to transfer two substrates 110, the transfer arm 120 can transfer the second arm mechanism 123b and the support hand 124 to two . The second arm mechanisms 123b may be coupled to the first arm mechanism 123a so as to be positioned opposite to each other with respect to the first arm mechanism 123a. The supporting hands 124 may be coupled to the second arm mechanisms 123b such that the elevating apparatus 200 is positioned at a different height with respect to a direction in which the transfer arm 120 is moved up and down.

상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경할 수 있다. 상기 승강장치(200)는 상기 승강프레임(210), 상기 구동부(220), 상기 커버(230), 및 상기 커버지지부(240)를 포함한다.The elevating device 200 moves the transfer arm 120 up and down. Accordingly, the elevation device 200 can change the height at which the transfer arm 120 is positioned. The lifting device 200 includes the lifting frame 210, the driving unit 220, the cover 230, and the cover supporting unit 240.

상기 승강프레임(210)은 상기 선회부(130)에 결합된다. 상기 승강프레임(210)에는 상기 이송암(120)이 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라 상기 승강장치(200)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이를 변경할 수 있다.The lifting frame 210 is coupled to the swivel part 130. The transfer arm 120 is coupled to the lifting frame 210 so as to be able to move up and down. Accordingly, the elevation device 200 can change the height at which the transfer arm 120 is positioned.

상기 구동부(220)는 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 상기 구동부(220)는 상기 이송암(120)을 승강시키기 위한 구동력을 제공한다. 상기 구동부(220)는 랙기어(221), 및 피니언기어(222)를 포함한다.The driving unit 220 is coupled to the lifting frame 210. The driving unit 220 provides driving force for moving the transfer arm 120 up and down. The driving unit 220 includes a rack gear 221 and a pinion gear 222.

상기 랙기어(221)는 상기 이송암(120)이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 상기 랙기어(221)의 일면에는 나사산이 형성된다. 상기 랙기어(221)는 나사산에 의해 상기 피니언기어(222)와 치함된다. 상기 랙기어(221)는 상기 피니언기어(222)가 이동하는 경로를 제공한다.The rack gear 221 is coupled to the lifting frame 210 in a lifting / lowering direction in which the lifting / lowering arm 120 moves up and down. On one side of the rack gear 221, a thread is formed. The rack gear 221 is meshed with the pinion gear 222 by a thread. The rack gear 221 provides a path through which the pinion gear 222 moves.

상기 피니언기어(222)는 상기 이송암(120)에 결합된다. 상기 피니언기어(222)의 외면에는 나사산이 형성된다. 상기 피니언기어(222)는 나사산에 의해 상기 랙기어(222)와 치합된다. 이에 따라, 상기 피니언기어(222)와 상기 랙기어(221)가 치합된 상태에서, 상기 피니언기어(222)가 모터(미도시)에 의해 회전됨으로써, 상기 이송암(120)이 승강될 수 있다.The pinion gear 222 is coupled to the transfer arm 120. A thread is formed on the outer surface of the pinion gear 222. The pinion gear 222 meshes with the rack gear 222 by a thread. The pinion gear 222 is rotated by a motor (not shown) in a state where the pinion gear 222 and the rack gear 221 are engaged with each other so that the transfer arm 120 can be moved up and down .

상기 커버(230)는 상기 이송암(120)이 승강됨에 따라 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단한다. 상기 커버(230)는 상기 커버지지부(240) 사이에 위치되게 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(220)로부터 발생하는 이물질이 상기 커버(230) 외부로 비산되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이물질이 상기 커버(230) 외부로 비산되는 것을 차단함으로써, 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.The cover 230 blocks scattering of foreign matter generated from the driving unit 220 as the transfer arm 120 is lifted and lowered. The cover 230 is coupled to the lifting frame 210 so as to be positioned between the cover supporting portions 240. Accordingly, the substrate transferring apparatus 100 according to the present invention can prevent foreign substances generated from the driving unit 220 from being scattered to the outside of the cover 230. Therefore, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent the substrate 110 and the surrounding environment from being contaminated by preventing foreign matter from being scattered to the outside of the cover 230, Can be prevented from deteriorating.

상기 커버지지부(240)는 상기 커버(230)를 지지하기 위해 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되게 형성된다. 상기 커버지지부(240)는 상기 이송암(120)의 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)과 일체로 형성된다. 이 경우, 상기 커버지지부(240)는 상기 승강프레임(210)의 강도를보강할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버지지부(240)가 상기 커버(230)를 지지함으로써, 상기 커버(230)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버(230)가 흔들림에 따라 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 이물질에 의해 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)의 품질이 저하되는 것을 더 방지할 수 있다. The cover supporting portion 240 is formed to protrude from the lifting frame 210 to support the cover 230. The cover supporting part 240 is integrally formed with the lifting frame 210 along the lifting and lowering direction of the transfer arm 120. In this case, the cover supporting portion 240 can reinforce the strength of the lifting frame 210. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent the cover 230 from shaking by supporting the cover 230 by the cover supporting unit 240. Therefore, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent foreign substances from being generated as the cover 230 is shaken. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent the substrate 110 and the surrounding environment from being contaminated by foreign substances, and thus the quality of the substrate 110 can be further prevented from being degraded .

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버지지부(240)와 상기 승강프레임(210)이 일체로 형성됨으로써, 상기 승강프레임(210)의 강도를 보강할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 과정에서 상기 승강프레임(210)이 휘어지는 등의 변형이 발생하는 것을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 승강프레임(210)이 변형됨에 따라 상기 승강프레임(210)을 유지보수하는데 소요되는 시간 및 비용을 줄일 수 있고, 더 나아가 상기 이송암(120)의 승강경로가 변형되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. In the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention, the cover supporting portion 240 and the lifting frame 210 are integrally formed, so that the strength of the lifting frame 210 can be reinforced. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can reduce the occurrence of deformation such as bending of the lift frame 210 during the transfer of the substrate 110. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can reduce the time and cost required for maintenance and maintenance of the lifting frame 210 as the lifting frame 210 is deformed, and further, Can be prevented from being deformed, so that the reliability of the operation of transferring the substrate 110 can be improved.

상기 커버지지부(240)는 상기 구동부(220)가 설치되는 설치홈(241)을 포함한다. 상기 설치홈(241)은 상기 커버지지부(240)로부터 상기 승강프레임(210)을 향하는 방향으로 함몰되도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동부(220)가 상기 설치홈(241)에 설치됨으로써, 상기 구동부(220)가 상기 승강장치(200)로부터 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판 이송장치(100)를 소형화하는데 기여할 수 있다.The cover supporting part 240 includes an installation groove 241 in which the driving part 220 is installed. The mounting groove 241 may be formed to be recessed from the cover supporting portion 240 toward the lifting frame 210. Accordingly, the substrate transfer device 100 according to the present invention can prevent the driving unit 220 from protruding from the elevating device 200 by installing the driving unit 220 in the mounting groove 241 . Therefore, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can contribute to miniaturization of the substrate transfer apparatus 100. [

본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 가이드부(250)가 설치되는 가이드설치부(260), 및 이격부재(270)를 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus 100 according to the present invention may include a guide mounting portion 260 where the guide portion 250 is installed and a spacer member 270.

상기 가이드설치부(260)는 상기 이송암(120)의 승강경로를 가이드 하기 위한 가이드부(250)를 지지한다. 상기 가이드설치부(260)는 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되게 형성된다. 상기 가이드설치부(260)는 제 1 가이드설치부재(261), 및 제 2 가이드설치부재(262)를 포함한다.The guide mounting part 260 supports a guide part 250 for guiding the elevating path of the transfer arm 120. The guide mounting portion 260 protrudes from the lifting frame 210. The guide mounting portion 260 includes a first guide mounting member 261 and a second guide mounting member 262.

상기 제 1 가이드설치부재(261)는 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되도록 형성된다. 상기 제 1 가이드설치부재(261)는 상기 구동부(220)의 일측에 위치되게 형성된다. 상기 제 1 가이드설치부재(261)는 상기 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)과 일체로 형성된다.상기 제 2 가이드설치부재(262)는 상기 승강프레임(210)으로부터 돌출되도록 형성된다. 상기 제 2 가이드설치부재(262)는 상기 구동부(220)의 일측에 위치되게 형성된다. 상기 제 2 가이드설치부재(262)는 상기 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)과 일체로 형성된다. The first guide mounting member 261 is formed to protrude from the lifting frame 210. The first guide mounting member 261 is formed on one side of the driving unit 220. The first guide mounting member 261 is integrally formed with the lifting frame 210 along the lifting direction. The second guide mounting member 262 is formed to protrude from the lifting frame 210. The second guide mounting member 262 is formed on one side of the driving unit 220. The second guide mounting member 262 is integrally formed with the lifting frame 210 along the lifting direction.

이에 따라, 본 발명에따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드설치부(260)와 상기 승강프레임(210)이 일체로형성됨으로써, 상기 승강프레임(210)의 강도를보강할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 과정에서 상기 승강프레임(210)이 휘어지는 등의 변형이 발생하는 것을 더 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에따른 기판 이송장치(100)는 상기 승강프레임(210)이 변형됨에 따라 상기 승강프레임(210)을 유지보수하는데 소요되는 시간 및 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라 상기 이송암(120)의 승강경로가 변형되는 것을 더 방지할 수 있으므로, 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 신뢰성을 더 향상시킬 수 있다. Accordingly, in the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention, the guide mounting portion 260 and the lifting frame 210 are integrally formed to reinforce the strength of the lifting frame 210. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can further reduce the occurrence of deformation such as bending of the lift frame 210 during the transfer of the substrate 110. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can further reduce the time and cost required for maintenance and maintenance of the lifting frame 210 as the lifting frame 210 is deformed, Can be further prevented from being deformed, so that the reliability of the operation of transferring the substrate 110 can be further improved.

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드설치부(260)에 상기 가이드부(250)를 설치함으로써, 상기 가이드부(250)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 이송암(120)이 상기 가이드부(250)를 따라 이동함에 있어서, 상기 승강경로가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)을 이송하는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.The substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent the guide unit 250 from being shaken by providing the guide unit 250 on the guide mounting unit 260. Therefore, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent the up / down path from being shaken when the transfer arm 120 moves along the guide unit 250. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can improve the accuracy of transferring the substrate 110.

상기 이격부재(270)는 상기 구동부(220)에 전원을 공급하기 위한 케이블 베어(미도시)를 설치하기 위한 공간에 위치된 상기 커버(230)를 지지한다. 이를 위해, 상기 이격부재(270)는 일측이 상기 승강프레임(210)에 결합되고, 타측이 상기 커버(230)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 승강프레임(210)과 상기 커버(230)를 지지함으로써, 상기 케이블 베어를 설치하기 위한 공간의 상기 커버(230)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 커버(230)가 흔들림에 따라 상기 기판(110) 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 상기 커버(230)의 강성을 보강하는데 기여할 수 있다.The spacing member 270 supports the cover 230 located in a space for installing a cable bear (not shown) for supplying power to the driving unit 220. To this end, the spacing member 270 is coupled to the lifting frame 210 at one side and to the cover 230 at the other side. Accordingly, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can support the lifting frame 210 and the cover 230 to prevent the cover 230 in the space for installing the cable bear from being shaken have. Therefore, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can prevent the substrate 110 and the surrounding environment from being contaminated as the cover 230 is shaken, and contributes to reinforcement of the rigidity of the cover 230 .

상기 선회부(130)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(200)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(130)는 상기 주행부(140)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(130)는 상기 주행ㅂ부(140)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(120)를 회전시킬 수 있다.The swivel part (130) rotates the elevation part (120). Accordingly, the swivel part 130 can change the direction in which the transfer arm 200 is oriented. The swivel part 130 is rotatably coupled to the driving part 140. [ The swivel part 130 rotates about the rotation axis in a state where it is coupled to the traveling boss 140, thereby rotating the elevation part 120.

상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(200)에 기기된 기판(110)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(140)는 주행베이스(141) 및 주행가이드부(142)를 포함한다. The travel unit 140 moves the swivel unit 130 along the traveling direction. Accordingly, the travel unit 140 can move the substrate 110 mounted on the transfer arm 200 in the traveling direction. The traveling unit 140 includes a traveling base 141 and a traveling guide unit 142.

상기 주행베이스(141)는 상기 주행가이드부(142) 따라 주행방향으로 이동한다. 상기 주행베이스(141)는 구동부(미도시)로부터 제공되는 구동력에 의해 주행방향으로 이동한다. 예컨대, 상기 주행베이스(141)가 주행방향을 따라 이동함으로써, 상기 기판(110)이 주행방향을 따라 이송될 수 있다. 상기 주행베이스(141)에는 상기 선회부(130)가 결합된다.The travel base 141 moves along the travel guide portion 142 in the traveling direction. The running base 141 moves in the running direction by a driving force provided from a driving unit (not shown). For example, as the traveling base 141 moves along the traveling direction, the substrate 110 can be transported along the traveling direction. The swivel unit 130 is coupled to the travel base 141.

상기 주행가이드부(142)는 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행가이드부(142)는 상기 주행베이스(141)가 이동되는 경로를 제공한다. 상기 주행가이드부(142)에는 상기 주행베이스(141)가 결합된다.The travel guide portion 142 is installed along the running direction. The travel guide unit 142 provides a path through which the travel base 141 is moved. The travel guide 141 is coupled to the travel guide unit 142.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

100: 기판 이송장치 110: 기판
120: 이송암 121: 암베이스
122: 암바디 123: 암유닛
123a: 제 1 암기구 123b: 제 2 암기구
124: 지지핸드 130: 선회부
140: 주행부 141: 주행베이스
142: 주행가이드부 200: 승강장치
210: 승강프레임 220: 구동부
221: 랙기어 222: 피니언기어
230: 커버 240: 커버지지부
241: 설치홈 250: 가이드부
260: 가이드설치부 261: 제 1 가이드설치부재
262: 제 2 가이드설치부재 270: 이격부재100: substrate transfer device 110: substrate
120: transfer arm 121: arm base
122: arm body 123: arm unit
123a: first arm mechanism 123b: second arm mechanism
124: support hand 130:
140: running section 141: running base
142: traveling guide unit 200: elevating device
210: lift frame 220:
221: rack gear 222: pinion gear
230: Cover 240: Cover support
241: Installation groove 250: Guide section
260: guide mounting portion 261: first guide mounting member
262: second guide mounting member 270: spacing member

Claims (5)

기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임
상기 이송암을 승강시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 구동부
상기 이송암이 승강됨에 따라 상기 구동부로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버 및
상기 커버를 지지하기 위해 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 커버지지부를 포함하고,
상기 커버지지부 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.A lifting frame for lifting and lowering a transfer arm for supporting a substrate
And a drive unit coupled to the lifting frame to provide a driving force for lifting and lowering the transfer arm,
A cover for blocking scattering of foreign matter generated from the driving unit when the transfer arm is lifted and lowered,
And a cover support portion formed to protrude from the lift frame to support the cover,
Wherein the cover supporting portion and the lifting frame are integrally formed. 제1항에 있어서,
상기 구동부는 상기 이송암이 승강하는 승강방향으로 상기 승강프레임에 결합되는 랙기어, 및 상기 랙기어에 치합되는 피니언기어를 포함하고,
상기 커버지지부는 상기 랙기어와 상기 피니언기어가 설치되는 설치홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.The method according to claim 1,
Wherein the driving unit includes a rack gear coupled to the lifting frame in a lifting / lowering direction in which the transfer arm ascends and descends, and a pinion gear engaged with the rack gear,
Wherein the cover supporting portion includes an installation groove in which the rack gear and the pinion gear are installed. 제1항에 있어서,
상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고,
상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하고
상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.The method according to claim 1,
And a guide mounting portion provided with a guide portion for guiding the ascending / descending path of the transfer arm,
The guide mounting part includes a first guide mounting member protruding from the lifting frame positioned at one side of the driving unit and a second guide mounting member protruding from the lifting frame at the other side of the driving unit
Wherein the first guide mounting member, the second guide mounting member, and the lift frame are integrally formed. 제1항에 있어서,
상기 커버가 상기 승강프레임으로부터 이격되게 위치되도록 일측이 상기 승강프레임에 결합되고 타측이 상기 커버에 결합되는 이격부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치.The method according to claim 1,
And a spacing member having one side coupled to the lifting frame and the other side coupled to the cover so that the cover is spaced apart from the lifting frame. 기판을 지지하기 위한 이송암
상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 제1항 내지 제4항 중에서 어느 하나의 승강장치
상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부 및
상기 선회부를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The transfer arm for supporting the substrate
The elevating and lowering apparatus according to any one of claims 1 to 4,
A swivel portion for rotating the elevating portion so that a direction in which the transfer arm is directed is changed;
And a traveling portion for moving the pivot portion in the traveling direction.
KR1020140000173A 2014-01-02 2014-01-02 Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate KR101587336B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140000173A KR101587336B1 (en) 2014-01-02 2014-01-02 Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate
CN201580011368.0A CN106062944B (en) 2014-01-02 2015-01-02 Base plate transfer device lifting device and base plate transfer device
PCT/KR2015/000005 WO2015102420A1 (en) 2014-01-02 2015-01-02 Lifting device for substrate transfer apparatus and substrate transfer apparatus comprising same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140000173A KR101587336B1 (en) 2014-01-02 2014-01-02 Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150080735A true KR20150080735A (en) 2015-07-10
KR101587336B1 KR101587336B1 (en) 2016-02-02

Family

ID=53792563

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140000173A KR101587336B1 (en) 2014-01-02 2014-01-02 Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101587336B1 (en)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4826898B2 (en) * 2006-03-28 2011-11-30 株式会社ダイフク Transport device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101587336B1 (en) 2016-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160007946A (en) Carriage for stocker conveyor
US20140314539A1 (en) Non-contact substrate transfer turner
KR101587337B1 (en) Lifting apparatus and apparatus for transferring substrate comprising the same
KR20150008297A (en) Going up and down apparatus and apparatus for transferring substrate
KR102279408B1 (en) Transfer robot with multi arm
KR101587336B1 (en) Going up and down apparatus for transferring substrate and apparatus for transferring substrate
KR20150008301A (en) Going up and down device and apparatus for transferring substrate having the same
KR101500158B1 (en) Running device and transferring apparatus for substrate comprising the same
KR101133438B1 (en) Robot
KR200463079Y1 (en) Apparatus for Transferring Substrate
JP2009206315A (en) Substrate mounting device to table
KR100743031B1 (en) Liquid dispensing system
KR101488091B1 (en) Apparatus for Blocking Foreign Substance and Transferring Apparatus having the same for Substrate
KR20110056029A (en) Apparatus for conveying substrate
KR20120079982A (en) Apparatus for transferring the substarate vertically
KR20150009195A (en) Lifting Apparatus and Apparatus for Transferring Substrate
KR100730459B1 (en) Glass cell automatic loading device of liquid crystal display
KR20150009189A (en) Apparatus for driving and apparatus for transferring substrate
JP2005223204A (en) Conveying robot
KR101614201B1 (en) Transfer arm and apparatus for transferring substrate
KR20150008318A (en) Laser stage apparatus, laser processing apparatus having it and control method of laser stage apparatus
KR20150008302A (en) Cover Fastening Apparatus and Transferring Apparatus having the same for Substrate
KR101479944B1 (en) Centering apparatus of glass and organic material depositing system including the same
KR101488604B1 (en) Transfer arm and apparatus for transferring substrate
KR101580390B1 (en) Rotating apparatus and apparatus for transferring substrate comprising the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191226

Year of fee payment: 5