KR20150078599A - 포토레지스트 용기 관리 장치 및 포토레지스트 용기 관리 방법 - Google Patents

포토레지스트 용기 관리 장치 및 포토레지스트 용기 관리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 포토레지스트 용기를 식별하기 위한 식별부, 용기를 밀폐하도록 상기 용기와 결합하는 커버, 커버의 움직임을 감지하는 센서 및 센서에 의해 움직임이 감지된 커버가 상기 용기에 담긴 포토레지스트에 사용되는 커버인지 확인하는 제어부를 포함하는 포토레지스트 용기 관리 장치에 관한 것이다.

Description

포토레지스트 용기 관리 장치 및 포토레지스트 용기 관리 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANAGING PHOTO RESIST}
본 발명은 포토레지스트 용기 관리 장치 및 포토레지스트 용기 관리 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 단계에서부터 반도체 조립 단계까지 수많은 제조 공정을 거쳐 제조된다. 즉, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 박막 형성 공정, 웨이퍼에 불순물 이온을 주입하는 이온 주입 공정, 웨이퍼 상에 형성된 박막을 패터닝하기 위한 사진 식각 공정 등을 거치게 된다. 이러한 제조 공정 중에서 사진 식각 공정에서는 패턴 형성을 위해 포토레지스트가 사용된다.
제조 공정에서 포토레지스트 용기가 교체될 때, 종래에는 RF 13.56Mhz의 주파수를 이용하여 포토레지스트 용기와 커버의 정보를 확인하였으나, 포토레지스트 용기와 커버가 밀집되어 있어 포토레지스트 용기와 커버의 정보가 이중으로 읽혀지는 문제점이 있었고, 포토레지스트 용기와 커버를 읽기 위한 안테나의 설치 조건이 제한적이었으며, 주파수 간 간섭이 발생하여 포토레지스트 용기와 커버의 정보를 읽어 오는데 많은 오류가 발생하였다.
본 발명의 목적은 반도체 및 LCD 제조 공정 중 사용되는 용액이 담긴 수용 용기의 식별 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 장치는 포토레지스트 용기를 식별하기 위한 식별부, 상기 용기를 밀폐하도록 상기 용기와 결합하는 커버, 상기 커버의 움직임을 감지하는 센서 및 상기 센서에 의해 움직임이 감지된 커버가 상기 용기에 담긴 포토레지스트에 사용되는 커버인지 확인하는 제어부를 포함할 수 있다.
실시예에 따르면, 사용자에게 알람을 제공하는 알람부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 커버가 상기 용기에 담긴 포토레지스트에 사용되는 커버가 아닌 경우에 사용자에게 알람을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면 반도체 및 LCD 제조 공정 중 사용되는 용액이 담긴 수용 용기의 식별 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 수용 용기를 식별하여 제조 공정 중 발생할 수 있는 사고를 방지할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 포토레지스트 용기를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 공급 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 장치를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.
한편, 본 명세서 전체에서 사용되는 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미할 수 있다. 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등이 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 더 분리될 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 포토레지스트 용기를 설명하기 위한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 용기는 커버(A), 몸체(B) 및 불활성가스 공급라인(C) 및 포토레지스트 공급라인(D)를 포함한다.
상기 커버(A)는 포토레지스트 공급 장치에 연결되고, 상기 몸체(B)와 결합하여 포토레지스트 용기의 상부를 밀폐할 수 있다.
상기 몸체(B)에는 포토레지스트가 채워져 있고, 상기 커버(A)와 연결된 채로 이동할 수 있다.
상기 불활성가스 공급라인(C)과 상기 포토레지스트 공급라인(D)은 상기 커버(A)를 관통하여 형성될 수 있다.
상기 불활성가스 공급라인(C)을 통해 밀폐된 포토레지스트 용기 내부를 불활성기체의 분위기로 만들 수 있다. 불활성가스로는 헬륨 가스(He) 또는 질소 가스(N2)가 사용될 수 있다.
상기 포토레지스트 공급라인(D)을 통해 포토레지스트 용기에 채워진 포토레지스트를 트랩 탱크(미도시)로 공급할 수 있다. 상기 불활성가스 공급라인(C)을 통해 불활성가스가 공급되면, 상대적인 압력으로 용기 내부의 포토레지스트를 밀어내게 되어 포토레지스트 공급라인(D)을 통해 포토레지스트가 트랩 탱크(미도시)로 공급된다.
상술한 것처럼, 상기 커버(A)는 포토레지스트 공급 장치에 연결되어 있는데, 제조 공정에서 포토레지스트 용기를 교체해야 할 경우 몸체(B)를 교체하게 된다. 포토레지스트 공급라인(D)에는 포토레지스트 잔액이 남아있기 때문에 현재 연결된 커버(A)에 맞는 포토레지스트가 채워진 몸체(B)를 연결하지 않으면 제조 공정에서 사고가 발생할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 용기 관리 장치는 식별부(100), 커버(200), 센서(300), 알람부(미도시) 및 제어부(400)를 포함할 수 있다.
상기 식별부(100)는 포토레지스트 용기를 식별하여, 포토레지스트 용기 내에 담겨진 포토레지스트의 종류를 식별할 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 식별부(100)는 RF 신호 리더기를 포함할 수 있다. 포토레지스트 용기는 포토레지스트 용기 내에 담겨진 포토레지스트에 대한 정보를 RF 신호로 제공하고, 상기 식별부(100)는 RF 신호를 수신함으로써 포토레지스트 용기 내에 담겨진 포토레지스트의 종류를 식별할 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 식별부(100)는 바코드 리더기를 포함할 수 있다. 포토레지스트 용기 겉면에는 포토레지스트 용기 내에 담겨진 포토레지스트에 대한 정보를 포함하는 바코드가 부착될 수 있다. 상기 식별부(100)는 부착된 바코드를 읽어 포토레지스트 용기 내에 담겨진 포토레지스트의 종류를 식별할 수 있다.
상기 RF 신호 리더기 및 바코드 리더기는 예시적인 것으로 이에 한정되는 것은 아니며 포토레지스트 용기에 담겨진 용액의 정보를 식별할 수 있는 다른 장비들이 사용될 수 있다.
상기 커버(200)는 포토레지스트 용기와 결합하여 포토레지스트 용기를 밀폐할 수 있다.
상기 센서(300)는 상기 커버(200)의 움직임을 감지할 수 있다. 실시예에 따르면, 상기 센서(300)는 상기 커버(200)의 상부에 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 상기 센서(300)는 자이로 센서를 포함할 수 있다. 상기 커버(200)의 상부에 제공된 자이로 센서는 상기 커버(200)의 이동 방향, 이동 속도 등과 같은 움직임을 감지할 수 있다.
알람부는 상기 커버(200)에 적합하지 않은 포토레지스트 용기가 결합되는 경우 사용자에게 알람을 제공할 수 있다.
상기 제어부(400)는 상기 식별부(100), 상기 센서(300) 및 알람부를 제어할 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 공급 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 용기의 몸체는 커버(200)와 연결될 수 있다. 상술한 것처럼, 상기 커버(200)는 상기 포토레지스트 용기를 밀폐할 수 있고, 밀폐된 상태에서 불활성가스 공급라인을 통해 불활성가스가 공급되면, 용기 내부의 압력이 증가하고 증가된 압력에 의해 포토레지스트 공급라인으로 포토레지스트가 공급된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 용기는 상기 커버(200)와 결합되어 포토레지스트 용기 몸체의 일부가 상기 식별부(100)에 삽입될 수 있다. 상기 포토레지스트 용기 몸체의 일부가 상기 식별부(100)에 삽입됨으로써, 상기 식별부(100)는 삽입된 용기의 정보를 정확하게 읽을 수 있어서 다른 포토레지스트 용기 정보를 읽거나 주파수 간섭에 의한 오식별을 방지할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 용기는 상기 커버(200)와 결합된 채로 이동하기 때문에, 상기 제어부(400)는 상기 센서(300)에 의해 상기 커버(200)의 움직임을 감지할 수 있다. 실시예에 따르면, 상기 커버(200)에 제공된 자이로 센서는 상기 커버(200)가 포토레지스트 용기를 상기 식별부(100)에 삽입하기 위해 이동하는 경우, 상기 커버(200)의 이동 방향과 이동 속도를 감지할 수 있고, 감지한 이동 방향 및 이동 속도를 상기 제어부(400)로 제공할 수 있다.
상기 제어부(400)는 상기 센서(300)가 감지하는 커버(200)에 적합한 포토레지스트에 대한 정보를 저장하여, 상기 커버(200)에 결합된 포토레지스트 용기가 적합한 것인지 확인할 수 있다. 제어부(400)는 상기 커버(200)에 결합된 포토레지스트 용기가 적합하지 않은 경우 알람을 제공할 수 있다. 확인 과정은 다음과 같이 수행될 수 있다.
예를 들어, 제1센서는 제1커버의 움직임을 감지하고, 제1커버가 제1포토레지스트에 사용되는 경우, 제어부(400)는 제1커버가 제1식별부 방향으로 이동하는 것이 감지되면 제1식별부로 하여금 포토레지스트 용기를 식별하도록 할 수 있다. 포토레지스트 용기가 제1식별부로 삽입되었는지는 제1커버에 제공된 자이로 센서의 감지 결과에 기초하여 확인할 수 있다. 즉, 제1커버가 일방향으로 이동하다가 정지하는 경우 제1식별부에 삽입된 것으로 확인할 수 있다. 제어부(400)는 제1식별부가 식별한 포토레지스트 용기에 담겨진 포토레지스트가 제1포토레지스트가 아닌 경우, 알람부로 하여금 사용자에게 현재 커버에 결합된 포토레지스트가 적합하지 않음을 경고하는 알람을 제공하도록 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 장치를 나타낸 것이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상술한 식별부, 커버 및 센서는 제조 공정에 필요한 포토레지스트의 종류의 수에 맞게 복수 개 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 각각의 커버는 적합한 포토레지스트가 미리 지정되어 있다. 제어부는 복수 개의 식별부, 커버 및 센서를 제어함으로써, 각각의 식별부가 식별한 포토레지스트 용기와 센서에 의해 움직임이 감지된 커버가 서로 적합한 것인지를 확인할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 방법은 포토레지스트 용기와 결합된 커버의 움직임을 감지하는 단계(S10), 포토레지스트 용기를 식별하여 용기에 담겨진 포토레지스트를 식별하는 단계(S20), 움직임이 감지된 커버가 식별된 포토레지스트에 사용되는 커버인지 확인하는 단계(S30, S40) 및 커버가 식별된 포토레지스트에 사용되는 커버가 아닌 경우 사용자에게 알람을 제공하는 단계(S50)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 포토레지스트 용기 관리 방법은 상술한 포토레지스트 용기 관리 장치에 의해 수행될 수 있다. 구체적으로, 상기 포토레지스트 용기와 결합된 커버의 움직임을 감지하는 단계(S10) 센서에 의해 수행될 수 있고, 포토레지스트 용기를 식별하여 용기에 담겨진 포토레지스트를 식별하는 단계(S20)는 식별부에 의해 수행될 수 있으며, 움직임이 감지된 커버가 식별된 포토레지스트에 사용되는 커버인지 확인하는 단계(S30, S40)는 제어부에 의해, 커버가 식별된 포토레지스트에 사용되는 커버가 아닌 경우 사용자에게 알람을 제공하는 단계(S50)는 알람부에 의해 수행될 수 있다.
이상의 실시예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시예들도 본 발명의 범위에 속할 수 있음을 이해하여야 한다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 도시된 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 반대로 여러 개로 분산된 구성 요소들은 결합되어 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명에 대하여까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.
100: 식별부
200: 커버
300: 센서
400: 제어부

Claims (2)

  1. 포토레지스트 용기를 식별하기 위한 식별부;
    상기 용기를 밀폐하도록 상기 용기와 결합하는 커버;
    상기 커버의 움직임을 감지하는 센서; 및
    상기 센서에 의해 움직임이 감지된 커버가 상기 용기에 담긴 포토레지스트에 사용되는 커버인지 확인하는 제어부;
    를 포함하는 포토레지스트 용기 관리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    사용자에게 알람을 제공하는 알람부; 를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 커버가 상기 용기에 담긴 포토레지스트에 사용되는 커버가 아닌 경우에 사용자에게 알람을 제공하는 포토레지스트 용기 관리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102603034B1 (ko) * 2023-07-03 2023-11-20 (주)에스티글로벌 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템

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