KR102603034B1 - 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템은, 반도체 공정에 사용되는 약액이 수용되는 약액저장용기에 수용된 약액을 반도체 공정이 수행되는 영역으로 공급하며, 상기 약액저장용기에 관련된 복수의 정보를 생성하는 약액공급 어셈블리 및 상기 약액공급 어셈블리에서 생성된 복수의 정보를 전송받아 상기 약액공급 어셈블리의 운용 상황을 판단하는 모니터링관리부를 포함하며, 상기 약액공급 어셈블리는, 상기 약액저장용기에 탈착 가능하게 마련되며, 해당 약액저장용기의 노즐관련정보가 저장된 노즐식별태그를 포함하는 노즐장착유닛, 상기 약액저장용기를 내측에 안착시킬 수 있도록 마련되어, 상기 약액저장용기의 안착 여부를 나타내는 용기안착정보와, 상기 약액저장용기에 미리 장착된 용기식별태그로부터 근거리 무선 통신을 통해 용기관련정보를 취득하는 용기안착유닛 및 근거리 무선 통신을 통해 상기 노즐식별태그로부터 상기 노즐관련정보를 취득하여 상기 용기안착유닛 측으로 전송하는 노즐정보취득유닛을 포함한다.
Description
본 발명은 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 근거리 무선 통신을 활용하여 반도체 공정용 약액저장용기를 보다 효과적으로 관리 및 모니터링할 수 있는 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 포토리소그라피공정은 일련의 반도체 제조공정이 선행된 웨이퍼를 코팅장치의 스핀척(Spin Chuck) 상에 위치시켜 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)하는 공정을 포함한다.
여기서, 포토레지스트는 레진(Resin)과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제로서의 인히비터(Inhibitor)와 액상(Liquid state)의 용제(Solvent)를 포함하여 이루어진다.
그리고 포토레지스트는 유리병으로 제작된 용기에 수용된 상태에서 용기 캡에 결합되는 포토레지스트 공급관(테프론 튜브)을 통해 포토레지스트 공급라인으로 공급되며, 포토레지스트 공급라인으로 공급된 포토레지스트는 다수의 밸브와 중간탱크를 경유하여 코팅장치에 공급될 수 있다.
또한 포토리소그라피공정에서는 정확한 양의 포토레지스트를 용기에 충진하기 위해 포토레지스트의 농도, 오염 및 기타 품질 요건을 확인하게 되며, 용기 내에 포토레지스트를 충진한 이후에는 포토레지스트가 수용된 용기를 반도체 제조장비 내에 구비되는 약액공급장치에 연결하게 된다.
다만, 이와 같이 용기를 설치하는 과정에서, 작업자의 실수로 인해 캡을 혼용하여 다른 용기에 잘못 장착하거나, 용기가 올바른 위치에 정확히 안착되지 않는 경우가 발생하기도 한다.
이 경우 해당 설비에서 진행되는 전체 공정이 중단됨에 따라 매우 큰 로스가 발생하게 되는 것은 물론, 적절하지 못한 약액의 공급으로 인해 기 제조된 제품을 폐기해야 하는 경우도 있었다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 반도체 공정에서 사용되는 약액이 저장되는 약액저장용기의 이동경로를 파악하고, 노즐의 혼용을 방지하는 한편 약액저장용기의 유통기한, 폐기 여부를 자동으로 판단함에 따라 효과적인 반도체 공정 관리를 수행할 수 있도록 하기 위한 목적을 가진다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템은, 반도체 공정에 사용되는 약액이 수용되는 약액저장용기에 수용된 약액을 반도체 공정이 수행되는 영역으로 공급하며, 상기 약액저장용기에 관련된 복수의 정보를 생성하는 약액공급 어셈블리 및 상기 약액공급 어셈블리에서 생성된 복수의 정보를 전송받아 상기 약액공급 어셈블리의 운용 상황을 판단하는 모니터링관리부를 포함하며, 상기 약액공급 어셈블리는, 상기 약액저장용기에 탈착 가능하게 마련되며, 해당 약액저장용기의 노즐관련정보가 저장된 노즐식별태그를 포함하는 노즐장착유닛, 상기 약액저장용기를 내측에 안착시킬 수 있도록 마련되어, 상기 약액저장용기의 안착 여부를 나타내는 용기안착정보와, 상기 약액저장용기에 미리 장착된 용기식별태그로부터 근거리 무선 통신을 통해 용기관련정보를 취득하는 용기안착유닛 및 근거리 무선 통신을 통해 상기 노즐식별태그로부터 상기 노즐관련정보를 취득하여 상기 용기안착유닛 측으로 전송하는 노즐정보취득유닛을 포함한다.
이때 상기 노즐장착유닛은, 상기 약액저장용기의 적어도 일부 둘레를 감싸며, 상기 노즐식별태그가 구비되는 제1노즐장착파트 및 상기 약액저장용기의 나머지 둘레를 감싸는 형태로 상기 제1노즐장착파트에 결합되는 제2노즐장착파트를 포함한다.
그리고 상기 용기안착유닛은, 내부에 상기 약액저장용기가 안착되는 안착공간이 형성된 용기 홀더 및 상기 용기 홀더에 구비되어 상기 안착공간 내에 상기 약액저장용기가 위치되어 있는지를 인식함에 따라 용기안착정보를 생성하고, 상기 용기관련정보 및 상기 노즐관련정보를 취득하여 상기 모니터링 관리부에 전송하는 통신보드를 포함할 수 있다.
또한 상기 노즐정보취득유닛은, 상기 노즐식별태그를 식별하여 상기 노즐관련정보를 취득하고, 상기 노즐관련정보를 상기 용기안착유닛 측으로 전송하는 식별안테나 및 상기 식별안테나를 고정시키는 고정브래킷을 포함할 수 있다.
한편 상기 약액공급 어셈블리는 마운트 프레임을 더 포함하고, 상기 마운트 프레임에는 복수 개의 상기 노즐정보취득유닛 및 상기 용기안착유닛이 서로 1:1 매칭되도록 구비되어, 상기 약액공급 어셈블리는 복수 개의 약액저장용기를 도입시킬 수 있도록 형성될 수 있다.
더불어 본 발명은 상기 복수 개의 노즐정보취득유닛 및 상기 복수 개의 용기안착유닛으로부터 취득한 상기 용기안착정보, 상기 용기관련정보 및 상기 노즐관련정보를 구분하여 상기 모니터링관리부에 개별 전송하고, 상기 모니터링관리부에 의해 생성된 무선통신 호스트 프로토콜 정보를 구분하여 상기 복수 개의 노즐정보취득유닛 및 상기 복수 개의 용기안착유닛에 개별 전송하는 게이트웨이를 더 포함할 수 있다.
이와 함께 본 발명은 상기 용기안착정보를 수신하여, 상기 약액저장용기가 상기 용기안착유닛에 로딩/언로딩되는 과정에 대한 현황 및 오류 발생 상황을 모니터링하는 프리체커 단말기를 더 포함할 수 있다.
이때 상기 프리체커 단말기는, 상기 용기안착정보를 수신하여, 상기 약액저장용기가 상기 용기안착유닛에 로딩/언로딩되는 과정에서 알람을 발생시키는 알람부를 포함할 수 있다.
더불어 본 발명은 상기 모니터링관리부가 상기 약액공급 어셈블리에 대해 기 설정된 에러 상황이 발생한 것으로 판단된 경우, 상기 모니터링관리부의 제어 명령에 의해 소리를 재생하여 알람을 수행하는 사운드 생성장치를 더 포함할 수 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템은, 약액저장용기에 장착되는 노즐장착유닛 및 약액저장용기가 안착되는 용기안착유닛으로부터 각각 생성되어 근거리 무선 통신에 의해 취합된 노즐관련정보, 용기안착정보 및 용기관련정보를 모니터링관리부가 전송받아 활용함에 따라 효과적인 반도체 공정 관리를 수행할 수 있다는 장점을 가진다.
특히 본 발명은 모니터링관리부가 약액저장용기의 이동경로를 파악하고, 노즐 캡의 혼용을 방지하는 한편 약액저장용기의 유통기한, 폐기 여부를 자동으로 판단하고, 공정 실패 원인을 원천적으로 제거함에 따라 공정 운용 과정에서의 전체 비용을 크게 절감하고, 생산성을 제고할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템이 적용된 웨이퍼 가공장치의 모습을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리의 모습을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리에 약액저장용기가 안착되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐장착유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐정보취득유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 용기안착유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템의 전체 구성요소 및 이들 간의 데이터 흐름을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐정보취득유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리에 약액저장용기를 안착시키는 과정을 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 용기선회유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리의 모습을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리에 약액저장용기가 안착되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐장착유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐정보취득유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 용기안착유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템의 전체 구성요소 및 이들 간의 데이터 흐름을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐정보취득유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리에 약액저장용기를 안착시키는 과정을 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 용기선회유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템이 적용된 웨이퍼 가공장치(1)의 모습을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같은 웨이퍼 가공장치(100)는 웨이퍼를 가공하기 위한 다양한 구성요소를 포함할 수 있다.
예컨대, 웨이퍼 가공장치(1)는 웨이퍼의 절단, 연마, 식각, 코팅 등을 포함한 다양한 가공 공정이 이루어지는 복수의 공정영역을 포함할 수 있다.
이 중에서도 본 실시예에서 웨이퍼 가공장치(1)는 웨이퍼 상에 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)하는 공정영역을 포함할 수 있으며, 이에 따라 웨이퍼에 포토레지스트와 같은 약액을 공급하기 위한 하나 이상의 약액공급 어셈블리(100)가 웨이퍼 가공장치(1) 내에 구비될 수 있다.
그리고 웨이퍼 가공장치(1)에는 약액공급 어셈블리(100)와 함께, 약액공급 어셈블리(100)의 운용 상황을 판단하는 모니터링관리부(200)가 구비될 수 있으며, 약액공급 어셈블리(100) 및 모니터링관리부(200)는 함께 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템을 구성하게 된다.
이하에서는, 본 발명에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 대해 자세히 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리(100)의 모습을 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리(100)에 약액저장용기(10)가 안착되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 약액공급 어셈블리(100)는 약액저장용기(10)에 수용된 약액을 반도체 공정이 수행되는 영역으로 공급하는 역할을 수행하며, 세부적으로 노즐장착유닛(120), 용기안착유닛(130), 노즐정보취득유닛(140) 및 마운트 프레임(110)을 포함한다.
본 실시예에서 약액저장용기(10)는 약액이 수용되는 약액저장바디(11)와, 이와 같은 약액수용바디(11)의 상부에 탈착 가능하게 구비되어 약액저장바디(11)에 수용된 약액을 공정영역으로 공급하는 역할을 수행하는 노즐 캡(12)을 포함하는 형태를 가진다.
노즐장착유닛(120)은 약액저장용기(10)에 탈착 가능하게 마련되며, 해당 약액저장용기(10)의 노즐관련정보가 저장된 노즐식별태그를 포함한다.
그리고 본 실시예에서 노즐장착유닛(120)은 약액저장용기(10)의 노즐 캡(12)에 인접하게 장착되는 것으로 하였으나, 이는 본 실시예로 제한되는 것은 아니다.
용기안착유닛(130)은 약액저장용기(10)를 내측에 안착시킬 수 있도록 마련되어, 약액저장용기(10)의 안착 여부를 나타내는 용기안착정보와, 약액저장용기(10)에 미리 장착된 용기식별태그(13)로부터 근거리 무선 통신을 통해 용기관련정보를 취득한다.
본 실시예의 경우 용기식별태그(13)는 약액저장용기(10)의 약액저장바디(11) 부분에 구비되는 것으로 하였으며, 용기안착유닛(130)은 내측에 안착된 약액저장용기(10)의 용기식별태그(13)를 식별하게 된다.
이때 용기안착유닛(130) 및 용기식별태그(13) 사이에 적용되는 무선 통신 방식은 RFID(Radio Frequency Identification)일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 블루투스(Bluetooth), 지그비(Zigbee), 와이파이(WiFi), UWB(Ultra-Wideband) 등과 같이 다양한 무선 통신 방식이 적용될 수 있음은 물론이다.
노즐정보취득유닛(140)은 근거리 무선 통신을 통해 노즐장착유닛(120)의 노즐식별태그로부터 노즐관련정보를 취득하고, 이를 용기안착유닛(130) 측으로 전송하는 역할을 수행한다.
본 실시예에서 노즐정보취득유닛(140) 및 노즐식별태그 사이에 적용되는 무선 통신 방식은 마찬가지로 RFID일 수 있으며, 더불어 위에 나열한 다양한 무선 통신 방식이 적용될 수 있음은 물론이다.
또한 노즐정보취득유닛(140)과 용기안착유닛(130) 간의 데이터 전송 과정 역시 위에 나열된 무선 통신 방식 중 어느 하나일 수 있으며, 또는 유선 통신 방식일 수도 있다.
마운트 프레임(110)은 용기안착유닛(130) 및 노즐정보취득유닛(140)을 설치하기 위한 기본적인 뼈대 구조를 제공한다.
본 실시예에서 마운트 프레임(110)에는 복수 개의 노즐정보취득유닛(140) 및 용기안착유닛(130)이 서로 1:1 매칭되도록 구비되어, 약액공급 어셈블리(100)는 복수 개의 약액저장용기(10)를 도입시킬 수 있도록 형성될 수 있다.
그리고 마운트 프레임(110)은 복수 개의 용기안착유닛(130)이 설치될 수 있도록 서로 구획된 복수의 용기설치영역이 형성된 하부프레임(114)과, 이와 같은 하부프레임(114)에 연결되고, 복수 개의 노즐정보취득유닛(140)을 설치할 수 있도록 마련된 상부프레임(111)을 포함하는 형태로 형성된다.
특히 본 실시예에서 하부프레임(114)은 상부프레임(111)을 중심으로 복수 개의 용기설치영역이 서로 대칭되는 형태로 배치되며, 상부프레임(111)에는 복수 노즐정보취득유닛(140)이 서로 대칭되는 형태로 배치된다.
다만, 마운트 프레임(110)의 형태 역시 본 실시예 외의 형태로 다양하게 설계 변경될 수 있음은 물론이다.
이하에서는, 노즐장착유닛(120), 용기안착유닛(130), 노즐정보취득유닛(140)의 상세 구조에 대해 보다 자세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐장착유닛(120)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 노즐장착유닛(120)은 제1노즐장착파트(120a) 및 제2노즐장착파트(120b)를 포함한다.
제1노즐장착파트(120a)는 약액저장용기(10)의 적어도 일부 둘레를 감싸며, 노즐식별태그(122)가 구비된다. 이때 노즐식별태그(122)는 해당 약액저장용기(10)의 노즐 캡(12)에 관련된 정보인 노즐관련정보를 저장하고 있다.
그리고 제2노즐장착파트(120b)는 약액저장용기)10)의 나머지 둘레를 감싸는 형태로 제1노즐장착파트(120a)에 결합되는 형태를 가진다.
즉 노즐장착유닛(120)은 제1노즐장착파트(120a) 및 제2노즐장착파트(120b)가 약액저장용기(10)에 서로 탈착 가능하게 결합될 수 있다.
또한 본 실시예의 경우 제1노즐장착파트(120a) 및 제2노즐장착파트(120b)는 약액저장용기(10)의 노즐 캡(12)에 인접하게 장착된다.
그리고 본 실시예에서 제1노즐장착파트(120a)은 세부적으로 노즐식별태그(122)가 구비되는 태그장착부(121)와, 이와 같은 태그장착부(121)의 양측으로 분지되고, 제2노즐장착파트(120b)와 결합 가능하게 형성되는 제1결합부(123)를 포함한다.
이때 약액저장용기(10)의 노즐 캡(12) 측에는 함몰된 안착홈(12a)이 형성될 수 있으며, 제1노즐장착파트(120a)의 제1결합부(123)에는 안착홈(12a)에 삽입되어 고정력을 높이는 안착턱(124)이 형성될 수 있다.
제2노즐장착파트(120b)는 세부적으로 제1노즐장착파트(120a)의 반대 측에서 약액저장용기)10)의 나머지 둘레를 감싸는 용기밀착부(125)와, 이와 같은 용기밀착부(125)의 양측에 마련되어 제1노즐장착파트(120a)와 결합 가능하게 형성되는 제2결합부(126)를 포함한다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐정보취득유닛(140)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 노즐정보취득유닛(140)은 식별안테나(141) 및 고정브래킷(142)을 포함한다.
식별안테나(141)는 상술한 노즐장착유닛(120)의 노즐식별태그(121)를 식별하여 노즐관련정보를 취득하고, 노즐관련정보를 용기안착유닛(130) 측으로 전송하도록 구비된다.
그리고 고정브래킷(142)은 이와 같은 식별안테나(141)를 마운트 프레임(110)에 고정시키는 역할을 수행한다.
본 실시예에서 고정브래킷(142)은 식별안테나(141)의 후면을 감싸는 후면고정부(143)와, 후면고정부(143)의 양측에서 전방으로 연장되어 그 사이에 노즐장착유닛(120)의 제1노즐장착파트(120a)가 위치되는 한 쌍의 가이드부(144)와, 하면고정부(143)의 하단에서 후방으로 꺾인 형태로 연장되어 마운트 프레임(110) 측에 체결되는 프레임체결부(145)를 포함하는 형태를 가진다.
이때 한 쌍의 가이드부(144)는 약액저장용기(10)를 용기안착유닛(130)에 안착시키는 과정에서 노즐장착유닛(120)의 제1노즐장착파트(120a)에 마련된 노즐식별태그(121)가 식별안테나(141)에 대향될 수 있도록 가이드하는 역할을 수행한다.
더불어 한 쌍의 가이드부(144) 중 적어도 어느 하나는 식별안테나(141)의 전면 일부를 감싸는 형태로 후면고정부(143)로부터 절곡되어, 식별안테나(141)를 안정적으로 고정시킬 수 있다.
또한 식별안테나(141)는 평판 형태로 형성되어, 고정브래킷(142)의 상부 측에서 결합하거나 분리 가능하게 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 용기안착유닛(130)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 용기안착유닛(130)은 용기 홀더(131) 및 통신보드(133)를 포함한다.
용기 홀더(131)는 그 내부에 약액저장용기(10)가 안착되는 안착공간(132)이 형성된다. 본 실시예에서 용기 홀더(131)는 전체적으로 약액저장용기(10)의 하부 측에서 약액저장바디(11)의 둘레를 감싸는 형태로 형성된 형태를 가진다.
통신보드(133)는 이와 같은 용기 홀더(131)에 구비되어 안착공간(132) 내에 약액저장용기(10)가 위치되어 있는지를 인식함에 따라 용기안착정보를 생성하고, 이와 더불어 용기관련정보 및 노즐관련정보를 취득하여 후술할 모니터링 관리부(200, 도 7 참조)에 전송하는 역할을 수행한다.
이때 통신보드(133)는 안착공간(132) 내에 약액저장용기(10)가 위치되어 있는지를 감지하기 위해 안착공간(132) 측으로 노출된 용기감지센서(134)를 포함할 수 있다. 용기감지센서(134)로는 전방의 사물을 감지하기 위한 공지의 센서 중 어느 하나가 적용될 수 있다.
또한 통신보드(133)는 약액저장용기(10)에 미리 장착된 용기식별태그(13, 도 3 참조)로부터 근거리 무선 통신을 통해 용기관련정보를 취득하기 위해 안착공간(132) 측으로 노출된 식별프로브(135)를 포함할 수 있다.
이와 함께 통신보드(133)는 상술한 식별안테나(141)에서 취득한 노즐관련정보를 전송받을 수 있다.
즉 통신보드(133)는 용기안착정보, 용기관련정보 및 노즐관련정보를 취합하고, 이를 후술할 모니터링 관리부(200)에 전송하게 된다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템의 전체 구성요소 및 이들 간의 데이터 흐름을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 약액공급 어셈블리(100)의 용기안착유닛(130)은 약액저장용기(10)로부터 용기안착정보, 용기관련정보를 생성하며, 또한 노즐정보취득유닛(140)이 노즐장착유닛(120)에서 식별한 노즐관련정보를 취합하며, 이와 같은 각각의 정보들은 모니터링 관리부(200) 측으로 전송된다.
본 실시예에서 약액공급 어셈블리(100)에는 약액저장용기(10)가 복수 개 구비되므로, 각각의 약액저장용기(10)마다 대응되는 용기안착정보, 용기관련정보 및 노즐관련정보가 생성되어 모니터링 관리부(200) 측으로 전송될 수 있다.
그리고 모니터링 관리부(200)는 용기안착정보, 용기관련정보 및 노즐관련정보를 전송받아 약액공급 어셈블리(100)의 운용 상황을 판단하게 되며, 모니터링 관리부(200) 측에서 처리되는 모든 데이터는 운용서버(600) 측에 저장될 수 있다.
더불어 본 실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템은 게이트웨이(400), 프리체커 단말기(300), 사운드 생성장치(500)를 더 포함할 수 있다.
게이트웨이(400)는 용기안착유닛(130)으로부터 모니터링 관리부(200) 측으로 데이터가 전송되는 과정에서 복수 개의 용기안착정보, 용기관련정보 및 노즐관련정보를 구분하여 모니터링관리부(200)에 개별 전송하고, 또한 모니터링관리부(200)에 의해 생성된 무선통신 호스트 프로토콜 정보를 구분하여 복수 개의 노즐정보취득유닛(140) 및 복수 개의 용기안착유닛(130)에 개별 전송하는 역할을 수행한다.
프리체커 단말기(300)는 용기안착정보를 수신하여, 약액저장용기(10)가 용기안착유닛(130)에 로딩/언로딩되는 과정에 대한 현황 및 오류 발생 상황을 모니터링하도록 구비된다.
이때 프리체커 단말기(300)는 용기안착정보를 수신하여, 약액저장용기(10)가 용기안착유닛에 로딩/언로딩되는 과정에서 소리 또는 빛을 통한 알람을 발생시키는 알람부를 포함할 수 있다.
사운드 생성장치(500)는 모니터링관리부(200)가 약액공급 어셈블리(100)에 대해 기 설정된 에러 상황이 발생한 것으로 판단된 경우, 모니터링관리부(100)의 제어 명령에 의해 소리를 재생하여 알람을 수행하는 역할을 수행한다.
이를 위해 본 실시예의 사운드 생성장치(500)는, 소리 신호를 증폭시키는 앰프(510)와, 소리를 재생하는 스피커(520)를 포함할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템은 약액저장용기(10)에 장착되는 노즐장착유닛(120) 및 약액저장용기(10)가 안착되는 용기안착유닛(130)으로부터 각각 생성되어 근거리 무선 통신에 의해 취합된 노즐관련정보, 용기안착정보 및 용기관련정보를 모니터링관리부(200)가 전송받아 활용함에 따라, 효과적인 반도체 공정 관리를 수행할 수 있다.
특히 본 발명은 모니터링관리부(200)가 약액저장용기(10)의 이동경로를 파악하고, 노즐 캡(12)의 혼용을 방지하는 한편 약액저장용기(10)의 유통기한, 폐기 여부를 자동으로 판단하고, 공정 실패 원인을 원천적으로 제거함에 따라 공정 운용 과정에서의 전체 비용을 크게 절감하고, 생산성을 제고할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시예들에 대해 설명하도록 한다. 이때 이하 설명될 각 실시예에 있어서, 전술한 제1실시예와 동일하게 구비되는 구성요소에 대한 중복되는 설명은 생략하도록 한다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 노즐정보취득유닛(140)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9에 도시된 본 발명의 제2실시예에서, 노즐정보취득유닛(140)은 전술한 제1실시예와 같이 식별안테나(141) 및 고정브래킷(142)을 포함하며, 또한 고정브래킷(142)은 후면고정부(143), 한 쌍의 가이드부(144) 및 프레임체결부(145)를 포함한다.
그리고 본 실시예의 노즐정보취득유닛(140)은 추가적으로, 고정브래킷(142)을 소정 범위에서 수평 이동시키기 위한 슬라이드모듈(146)을 더 포함한다는 특징을 가진다.
구체적으로 본 실시예에서 고정브래킷(142)의 프레임체결부(145)는 마운트 프레임(110)의 상부프레임(111)에 마련된 마운트부(112)의 상부 측에 고정되며, 이때 마운트부(112)에는 횡 방향으로 길게 관통 형성된 연결슬릿(113)이 형성될 수 있다.
이때 슬라이드모듈(146)은 마운트부(112)의 하부 측에 구비되어, 연결슬릿(113)을 통해 고정브래킷(142)에 연결된 형태를 가진다.
그리고 본 실시예에서 슬라이드모듈(146)은, 슬라이드부재(147), 탄성부재(149) 및 고정부재(148)를 포함할 수 있다.
슬라이드부재(147)는 적어도 일부가 연결슬릿(113)을 관통하여, 마운트부(112)의 상부 측에 위치된 고정브래킷(142)의 프레임체결부(145)에 연결된다. 이에 따라 슬라이드부재(147) 및 고정브래킷(142)은 연결슬릿(113)의 길이 방향을 따라 횡 방향으로 수평 이동 가능하게 형성될 수 있다.
또한 탄성부재(149)는 한 쌍이 이와 같은 슬라이드부재(147)를 중심으로 양측에 각각 배치된다.
그리고 고정부재(148) 역시 한 쌍이 마련되어 고정브래킷(142)의 프레임체결부(145) 양측 하부에 각각 구비되며, 이에 따라 한 쌍의 고정부재(148)는 각각 대응되는 방향에 위치된 탄성부재(149)의 외측을 고정시킬 수 있다.
한편 도 9에 나타난 바와 같이, 본 실시예에서 고정브래킷(142)의 한 쌍의 가이드부(144)는 상부 일부가 경사진 형태로 형성되어, 하부에서 상부로 갈수록 점차 외측으로 벌어지는 형태로 형성된다.
이와 같은 본 실시예의 노즐정보취득유닛(140)의 형태에 따라, 약액공급 어셈블리(100)에 약액저장용기(10)를 안착시키는 과정은 다음과 같이 진행될 수 있다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 약액공급 어셈블리(100)에 약액저장용기(10)를 안착시키는 과정을 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 약액공급 어셈블리(100)에 약액저장용기(10)를 안착시키는 과정에서는, 작업자의 실수 또는 장비의 오차/오류로 인해 약액저장용기(10)가 다소 회전된 상태로 도입될 수 있다. 이와 같은 경우 노즐장착유닛(120)에 구비된 노즐식별태그(122)가 노즐정보취득유닛(140) 방향을 정면으로 바라보지 않고 비틀어진 상태로 구비되어, 인식률이 저하되거나 인식이 불가능한 상태로 유지될 가능성이 있다.
다만, 전술한 바와 같이 본 실시예의 노즐정보취득유닛(140)은 한 쌍의 가이드부(144)의 상부 일부가 경사진 형태로 형성되어, 하부에서 상부로 갈수록 점차 외측으로 벌어지는 형태로 형성되므로, 약액저장용기(10)가 다소 회전된 상태로 도입될 경우 태그장착부(121)가 가이드부(144)의 경사면에 접촉될 수 있다.
이에 따라 도 11의 (a)에 나타난 바와 같이, 노즐정보취득유닛(140)의 고정브래킷(142)은 태그장착부(121)가 접촉된 가이드부(144)가 위치된 방향 측으로 수평 이동하게 된다.
이 과정에서 슬라이드모듈(146)에 마련된 한 쌍의 탄성부재(149) 중 고정브래킷(142)의 수평 이동된 방향 측에 위치된 탄성부재(149)는 슬라이드부재(147)의 이동에 의해 압축되며, 반대 측에 위치된 탄성부재(149)는 인장된다.
이후 도 11의 (b)에 나타난 바와 같이, 약액저장용기(10)이 약액공급 어셈블리(100)에 완전히 도입된 상태에서는 한 쌍의 탄성부재(149)의 복원력에 의해 고정브래킷(142)이 최초의 위치로 다시 이동하게 된다.
그리고 이 과정에서 일측 가이드부(144)는 노즐장착유닛(120)의 태그장착부(121)를 밀어내게 되고, 이에 따라 약액저장용기(10)는 전체적으로 회전되어 노즐장착유닛(120)에 구비된 노즐식별태그(122)는 노즐정보취득유닛(140) 방향을 정면으로 바라보도록 위치가 보정될 수 있다.
이때 한 쌍의 슬라이드모듈(146)에 마련된 한 쌍의 탄성부재(149)는 슬라이드부재(147)가 중앙에 위치된 상태에서 인장력과 압축력이 평형을 이루는 상태로 구비될 수 있다.
따라서 슬라이드부재(147)가 어느 한 방향으로 수평 이동하였을 경우, 슬라이드부재(147)는 한 쌍의 탄성부재(149) 모두로부터 복원력을 제공받아 노즐장착유닛(120)에 보다 강한 가압력을 인가할 수 있다.
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템에 있어서, 용기선회유닛(150)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 12에 도시된 본 실시예의 제3실시예는, 전술한 제2실시예와 전체적으로 동일한 구성요소를 가지는 것이 전제되며, 약액공급 어셈블리(100)는 추가적으로 용기선회유닛(150)을 더 포함한다는 특징을 가진다.
용기선회유닛(150)은 용기안착유닛(130)의 하부에 위치되어 약액저장용기(10)의 하부를 지지하는 역할을 수행한다.
구체적으로 본 실시예에서 용기선회유닛(150)은 고정된 상태로 구비되는 베이스부(151)와, 이와 같은 베이스부(151)에 대해 중심점을 기준으로 로테이팅 가능하게 형성되며, 약액저장용기(10)를 지지하는 로테이팅부(152)를 포함한다.
이때 로테이팅부(152)의 회전축(R)은 약액저장용기(10)의 중심축과 일치하도록 형성되며, 이에 따라 전술한 노즐식별태그(122)의 위치 보정 과정에서 약액저장용기(10)에 인가되는 마찰력을 최소화하여 원활하게 회전되도록 할 수 있다.
특히 본 실시예에서 약액저장용기(10)는 약액의 원활한 공급을 위해 중심축이 지면으로부터 다소 기울어진 상태로 약액공급 어셈블리(100)에 고정될 수 있으며, 이에 따라 로테이팅부(152)의 회전축(R) 역시 수평선(H)에 대해 동일한 각도(θ)로 기울어진 상태를 가질 수 있다.
그리고 이를 위해, 베이스부(151)의 하면은 수평선(H)과 평행하게 형성되어 지면에 접촉될 수 있으며, 상면은 로테이팅부(152)의 회전축(R)에 대해 수직하도록 경사지게 형성되어 로테이팅부(152)가 원활하게 회전되도록 할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 약액저장용기
11: 약액수용바디
12: 노즐 캡
12a: 안착홈
13: 용기식별태그
100: 약액공급 어셈블리
110: 마운트 프레임
111: 상부프레임
112: 마운트부
113: 연결슬릿
114: 하부프레임
120: 노즐장착유닛
120a: 제1노즐장착파트
120b: 제2노즐장착파트
121: 태그장착부
122: 노즐식별태그
123: 제1결합부
124: 안착턱
125: 용기밀착부
126: 제2결합부
130: 용기안착유닛
131: 용기 홀더
132: 안착공간
133: 통신보드
134: 용기감지센서
135: 식별프로브
140: 노즐정보취득유닛
141: 식별안테나
142: 고정브래킷
143: 후면고정부
144: 가이드부
145: 프레임체결부
146: 슬라이드모듈
147: 슬라이드부재
148: 고정부재
149: 탄성부재
150: 용기선회융닛
151: 베이스부
152: 로테이팅부
200: 모니터링관리부
300: 프리체커 단말기
400: 게이트웨이
500: 사운드 생성장치
510: 앰프
520: 스피커
600: 운영서버
11: 약액수용바디
12: 노즐 캡
12a: 안착홈
13: 용기식별태그
100: 약액공급 어셈블리
110: 마운트 프레임
111: 상부프레임
112: 마운트부
113: 연결슬릿
114: 하부프레임
120: 노즐장착유닛
120a: 제1노즐장착파트
120b: 제2노즐장착파트
121: 태그장착부
122: 노즐식별태그
123: 제1결합부
124: 안착턱
125: 용기밀착부
126: 제2결합부
130: 용기안착유닛
131: 용기 홀더
132: 안착공간
133: 통신보드
134: 용기감지센서
135: 식별프로브
140: 노즐정보취득유닛
141: 식별안테나
142: 고정브래킷
143: 후면고정부
144: 가이드부
145: 프레임체결부
146: 슬라이드모듈
147: 슬라이드부재
148: 고정부재
149: 탄성부재
150: 용기선회융닛
151: 베이스부
152: 로테이팅부
200: 모니터링관리부
300: 프리체커 단말기
400: 게이트웨이
500: 사운드 생성장치
510: 앰프
520: 스피커
600: 운영서버
Claims (9)
- 반도체 공정에 사용되는 약액이 수용되는 약액저장용기에 수용된 약액을 반도체 공정이 수행되는 영역으로 공급하며, 상기 약액저장용기에 관련된 복수의 정보를 생성하는 약액공급 어셈블리; 및
상기 약액공급 어셈블리에서 생성된 복수의 정보를 전송받아 상기 약액공급 어셈블리의 운용 상황을 판단하는 모니터링관리부;
를 포함하며,
상기 약액공급 어셈블리는,
상기 약액저장용기에 탈착 가능하게 마련되며, 해당 약액저장용기의 노즐관련정보가 저장된 노즐식별태그를 포함하는 노즐장착유닛;
상기 약액저장용기를 내측에 안착시킬 수 있도록 마련되어, 상기 약액저장용기의 안착 여부를 나타내는 용기안착정보와, 상기 약액저장용기에 미리 장착된 용기식별태그로부터 근거리 무선 통신을 통해 용기관련정보를 취득하는 용기안착유닛; 및
근거리 무선 통신을 통해 상기 노즐식별태그로부터 상기 노즐관련정보를 취득하여 상기 용기안착유닛 측으로 전송하는 노즐정보취득유닛;
을 포함하며,
상기 약액공급 어셈블리는 마운트 프레임을 더 포함하고,
상기 마운트 프레임에는 복수 개의 상기 노즐정보취득유닛 및 상기 용기안착유닛이 서로 1:1 매칭되도록 구비되어, 상기 약액공급 어셈블리는 복수 개의 약액저장용기를 도입시킬 수 있도록 형성되며,
상기 마운트 프레임은,
복수 개의 상기 용기안착유닛이 설치될 수 있도록 서로 구획된 복수의 용기설치영역이 형성된 하부프레임; 및
복수 개의 상기 노즐정보취득유닛을 상기 용기안착유닛에 대해 상측에 이격되어 있는 지점에 설치할 수 있도록 마련되는 상부프레임;
을 포함하되,
상기 하부프레임은 상기 상부프레임을 중심으로 복수 개의 상기 용기설치영역이 서로 양측으로 대칭되는 형태로 배치되며, 상기 상부프레임에는 복수의 상기 노즐정보취득유닛이 서로 양측으로 대칭되는 형태로 배치되고,
상기 노즐정보취득유닛은,
상기 노즐식별태그를 식별하여 상기 노즐관련정보를 취득하고, 상기 노즐관련정보를 상기 용기안착유닛 측으로 전송하는 식별안테나; 및
상기 식별안테나를 고정시키는 고정브래킷;
을 포함하고,
상기 노즐식별태그는 상기 약액저장용기의 노즐 캡에 인접한 위치에서 반지름 외측 방향을 향하도록 배치되며,
상기 고정브래킷은,
상기 식별안테나의 후면을 감싸는 후면고정부; 및
상기 후면고정부의 양측에서 전방으로 연장되어, 그 사이에 상기 노즐장착유닛의 상기 노즐식별태그가 상기 식별안테나에 대향되는 위치로 가이드되도록 하는 한 쌍의 가이드부;
를 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템. - 제1항에 있어서,
상기 노즐장착유닛은,
상기 약액저장용기의 적어도 일부 둘레를 감싸며, 상기 노즐식별태그가 구비되는 제1노즐장착파트; 및
상기 약액저장용기의 나머지 둘레를 감싸는 형태로 상기 제1노즐장착파트에 결합되는 제2노즐장착파트;
를 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템. - 제1항에 있어서,
상기 용기안착유닛은,
내부에 상기 약액저장용기가 안착되는 안착공간이 형성된 용기 홀더; 및
상기 용기 홀더에 구비되어 상기 안착공간 내에 상기 약액저장용기가 위치되어 있는지를 인식함에 따라 용기안착정보를 생성하고, 상기 용기관련정보 및 상기 노즐관련정보를 취득하여 상기 모니터링 관리부에 전송하는 통신보드;
를 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템. - 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 복수 개의 노즐정보취득유닛 및 상기 복수 개의 용기안착유닛으로부터 취득한 상기 용기안착정보, 상기 용기관련정보 및 상기 노즐관련정보를 구분하여 상기 모니터링관리부에 개별 전송하고,
상기 모니터링관리부에 의해 생성된 무선통신 호스트 프로토콜 정보를 구분하여 상기 복수 개의 노즐정보취득유닛 및 상기 복수 개의 용기안착유닛에 개별 전송하는 게이트웨이를 더 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템. - 제1항에 있어서,
상기 용기안착정보를 수신하여, 상기 약액저장용기가 상기 용기안착유닛에 로딩/언로딩되는 과정에 대한 현황 및 오류 발생 상황을 모니터링하는 프리체커 단말기를 더 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템. - 제7항에 있어서,
상기 프리체커 단말기는,
상기 용기안착정보를 수신하여, 상기 약액저장용기가 상기 용기안착유닛에 로딩/언로딩되는 과정에서 알람을 발생시키는 알람부를 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템. - 제1항에 있어서,
상기 모니터링관리부가 상기 약액공급 어셈블리에 대해 기 설정된 에러 상황이 발생한 것으로 판단된 경우, 상기 모니터링관리부의 제어 명령에 의해 소리를 재생하여 알람을 수행하는 사운드 생성장치를 더 포함하는,
반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230085808A KR102603034B1 (ko) | 2023-07-03 | 2023-07-03 | 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230085808A KR102603034B1 (ko) | 2023-07-03 | 2023-07-03 | 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102603034B1 true KR102603034B1 (ko) | 2023-11-20 |
Family
ID=88974084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230085808A KR102603034B1 (ko) | 2023-07-03 | 2023-07-03 | 근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102603034B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114099028A (zh) * | 2021-02-03 | 2022-03-01 | 上海飞象健康科技有限公司 | 参数识别与控制方法、装置、冲牙器、冲牙系统和介质 |
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2023
- 2023-07-03 KR KR1020230085808A patent/KR102603034B1/ko active IP Right Grant
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