KR101292898B1

KR101292898B1 - 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템

Info

Publication number: KR101292898B1
Application number: KR1020110138335A
Authority: KR
Inventors: 김주성; 김시홍
Original assignee: 지이에스(주); 주식회사 지기
Priority date: 2011-12-20
Filing date: 2011-12-20
Publication date: 2013-08-02
Also published as: KR20130071037A

Abstract

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기가 교체될 때, 다른 용액이 담긴 수용 용기로 교체될 때, 이를 식별하여 경고하도록 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액이 담긴 수용 용기의 식별 시스템을 제공하는 데 있다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로써, 본 발명은 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기를 식별하는 시스템에 있어서, 상기 수용 용기에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하는 제1 안테나; 상기 제1 안테나로부터 전달받은 무선 신호를 통해 상기 수용 용기에 들어있는 용액에 대한 정보를 추출하는 리더기; 및 상기 리더기와 통신하여, 상기 리더기를 제어하는 제어부; 를 포함하되, 상기 제1 안테나는, 단면이 상기 수용 용기를 둘러싼 폐곡선인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.
본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 수용 용기를 식별하여, 수용 용기의 교체시 다른 수용 용기로 교체할때 교체에 오류가 있는 경우 이를 인식하여 경고하는 효과가 있다.

Description

반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템{SYSTEM FOR INDENTIFYING A CONTAINMENT VESSEL WHICH HOLDS A SOLUTION USED IN THE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS}

본 발명은 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 포토 레지스트 용액과 같은 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기를 교체하는 경우, 수용 용기를 식별하여 다른 용액이 들어있는 수용 용기로 잘못 교체할 수 있는 문제를 미연에 방지할 수 있는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조 공정 중 대표적인 포토 리소그라피 공정은 반도체의 표면에 사진 인쇄 기술을 써서 집적 회로, 부품, 박막 회로, 프린트 배선 패턴 등을 만들어 넣는 기법으로써, 실리콘 기판의 깨끗한 표면에 포토 레지스트 액을 도포하고, 마스크를 통해서 빛을 선택적으로 조사(照射)하는 과정을 포함한다.

포토 리소그라피 공정 중 대표적으로 사용되는 포토 레지스트 용액은 레진(Resin)과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제로서의 인히비터(Inhibitor)와 액상의 용제를 포함하며, 포토 레지스트 용액을 담는 수용 용기는 포토 레지스트를 밖으로 공급하기 위한 노즐을 포함한다.

도 1은 포토 레지스트 용액을 담는 수용 용기의 단면도를 간략하게 도시한 도면이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 일반적으로 포토 레지스트 용액은 유리병으로 된 수용 용기(2)에 담기고, 포토 레지스트 용액은 수용 용기(2)에 담긴 상태에서 캡(1)을 관통하여 결합하는 용액 공급 노즐(4)을 통해 밖으로 공급된다. 이와 같은 캡(1)에는 가스 주입 노즐(3)을 더 포함하고, 상기 가스 주입 노즐(3)을 통해 질소(

) 등과 같은 가스가 수용 용기(2) 내부에 주입됨으로써, 포토 레지스트 용액을 포함하는 수용 용기(2) 내부에 압력이 상승하여, 상승한 압력에 의하여 용액 공급 노즐(4)을 통해 포토 레지스트 용액이 수용 용기(2) 밖으로 공급되게 된다.

이와 같은 과정을 거쳐 수용 용기(2) 내부에 담긴 포토 레지스트 용액이 밖으로 공급되고, 내부의 포토 레지스트 용액을 다 쓰고 빈 수용 용기(2)는 교체되어야 하나, 이때, 캡(1)은 수용 용기(2)와 함께 교체되지 않고, 수용 용기(2)와 다르게 긴 교체 주기를 갖음으로써, 동일한 캡(1)은 교체된 다른 수용 용기(2)에도 사용되는 것이 일반적이다.

이때, 수용 용기(2)를 교체할 때, 포토 레지스트 용액이 담긴 수용 용기(2)가 아니거나, 유효기간이 경과한 포토 레지스트 용액이 담긴 수용 용기(2)인 경우 등의 반도체 제조 공정상에 문제를 야기할 수 있는 조건이 다른 것이 담긴 수용 용기(2)가 동일한 캡(1)에 결합되는 경우에는 반도체 제조 공정에 큰 문제가 발생하게 된다.

따라서 이러한 문제를 예방하기 위하여 종래에는 바코드를 수용 용기(2)에만 부착하여 상기와 같은 문제를 해결하고자 하였으나, 여전히 다른 수용 용기가 결합될 수 있는 문제가 남고, 이러한 바코드를 이용한 수용 용기(2)를 식별하는 과정은 바코드 리더기를 이용하여 사람이 일일이 수작업으로 바코드를 읽히도록 하는 수고로움이 따르며, 사람의 수작업에 의해 실수가 발생할 여지가 있고, 바코드는 수용 용기(2)의 이동과정 중 훼손될 수 있는 여지가 있는 문제가 있다.

다만, 공개특허 제10-2005-0112564호에서는 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것은 아니나, 포토 레지스트 용기에 대한 물류 관리를 위해 포토 레지스트 수용 용기에 무선 주파수 식별 태그를 부착하고, 이러한 무선 주파수 식별 태그로부터 포토 레지스트의 식별 정보를 수신하는 안테나를 포함하는 무선 주파수 리더기가 개시되어 있다.

상기의 공개특허에서는 종래 물류 관리를 위해 바코드가 부착된 수용 용기를 대신하여 무선 주파수 식별 태그가 부착된 수용 용기를 이용한 구성을 개시하고 있으나, 수용 용기(2)의 교체시 반도체 제조 공정상 발생되는 문제를 예상하지 못하고 있으며, 수용 용기(2)에 부착된 무선 주파수 식별 태그의 위치 및 리더기가 포함하고 있는 안테나의 형태 등에 대한 기술에 대해서는 개시되어 있지 않다.

따라서, 포토 레지스트 수용 용기(2)를 교체할 때, 발생할 수 있는 오류를 해결하기 위한 기술이 요구되고 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기가 교체될 때, 다른 용액이 담긴 수용 용기로 교체될 때, 이를 식별하여 경고하도록 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액이 담긴 수용 용기의 식별 시스템을 제공하는 데 있다.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로써, 본 발명은 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기를 식별하는 시스템에 있어서, 상기 수용 용기에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 송수신하는 제1 안테나; 상기 제1 안테나로부터 전달받은 무선 신호를 통해 상기 수용 용기에 들어있는 용액에 대한 정보를 추출하는 리더기; 및 상기 리더기와 통신하여, 상기 리더기를 제어하는 제어부; 를 포함하되, 상기 제1 안테나는, 단면이 상기 수용 용기를 둘러싼 폐곡선인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명에서 상기 제1 안테나는, 상기 수용 용기의 외경보다 큰 직경을 갖는 원형의 띠 형태인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명에서 상기 리더기는, 상기 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 수신한 상기 수용 용기에 대한 정보가 상기 리더기에 설정된 정보와 일치하는지 판단하거나, 상기 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 수신한 상기 수용 용기에 대한 정보를 상기 제어부로 전송하고, 상기 제어부가 상기 제어부에 설정된 상기 수용 용기에 대한 정보와 일치하는지 판단한 결과를 수신하여, 일치하지 않는 경우 상기 리더기가 경고하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 수용 용기에 결합하는 캡에 부착된 제2 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하는 제2 안테나; 를 더 포함하되, 상기 리더기는, 상기 제2 안테나로부터 수신한 무선 신호로부터 상기 캡에 형성된 용액 공급 노즐을 통해 공급될 용액에 대한 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명에서 상기 제1 안테나는, 상기 수용 용기에 부착된 상기 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하도록 상기 제1 안테나 내주면에 위치하여 일정한 도체 패턴을 갖는 안테나 패턴; 상기 제1 안테나 바깥쪽으로 방사되는 전파를 차단하기 위해, 상기 제1 안테나 외주면에 위치한 금속판; 및 상기 안테나 패턴 및 상기 금속판 사이에 위치하여, 상기 안테나 패턴에서 방사된 전파 및 상기 금속판에서 산란된 전파를 흡수하는 전파 흡수체; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명에서 상기 제1 안테나는, 상기 제1 안테나의 일부 구간에 삽입되어 상기 제1 안테나의 길이를 늘이거나 줄일 수 있는 크기 조절 수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 제1 안테나 안쪽에 상기 수용 용기가 삽입되는 경우, 상기 제1 안테나가 상기 제1 무선 주파수 식별 태그를 정상 인식하도록 상기 수용 용기가 일정한 높이를 유지하기 위해 상기 제1 안테나에 결합하여 상기 수용 용기를 지탱하는 받침대; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명은 하나의 상기 제어부가 복수 개의 상기 리더기를 동시에 제어할 수 있도록, 하나의 상기 제어부와 연결된 통신 자원을 복수 개의 상기 리더기에 각각 분배하는 게이트웨이; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명에서 상기 제2 무선 주파수 식별 태그는 상기 캡의 측면에 외주면을 따라 하나 이상 부착되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 제공한다.

본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 수용 용기를 식별하여, 수용 용기의 교체시 다른 수용 용기로 교체할때 교체에 오류가 있는 경우 이를 인식하여 경고하는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 캡과 수용 용기가 일치하지 않는 경우에는 수작업 없이 무선 주파수를 이용하여 자동으로 이를 알려주는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 캡 또는 수용 용기의 방향에 무관하게 무선 주파수 식별 태그로부터 안테나를 통해 정보를 획득할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 주변에 다수의 안테나가 있더라도 주변의 다른 무선 주파수 식별 태그로부터 정보를 취득함으로써 발생하는 충돌을 회피할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 수용 용기를 둘러싼 안테나의 크기를 조절할 수 있어, 수용 용기의 크기가 다양한 경우에도 수용 용기를 인식할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 받침대가 안테나에 결합 됨으로써, 받침대에 수용 용기를 삽입하는 경우 수용 용기에 부착된 무선 주파수 식별 태그는 이를 인식하기 위한 안테나가 정상적인 무선 통신이 가능한 위치에 자동으로 위치하게 된다.

도 1은 일반적인 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 단면도를 간략하게 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템의 전체 구성도를 간략하게 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기와 무선 주파수 식별 태그로부터 정보를 수신하는 리더기에 대한 구성도를 간략하게 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 안테나의 방사 패턴을 가시적으로 간략하게 도시한 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 안테나의 방사 패턴을 가시적으로 간략하게 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 원형의 띠 형태의 제1 안테나에 크기 조절 수단이 부가된 도면을 간략하게 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 원형의 띠 형태의 제1 안테나와 받침대가 결합한 구성도의 단면도를 간략하게 도시한 도면이다.

아래에는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구성될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙여 설명하기로 한다.

이하, 본 발명에서 실시하고자 하는 구체적인 기술내용에 대해 첨부도면을 참조하여 상세하고도 명확하게 설명하기로 한다.

제1 실시예

도 2ab는 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템의 전체 구성도를 간략하게 도시한 도면이다.

도 2a에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 제1 안테나(10), 리더기(30) 및 제어부(50)를 포함한다.

제1 안테나(10)는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신한다.

제1 무선 주파수 식별 태그(미도시)는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액이 담긴 수용 용기에 부착된 것으로써, 제1 안테나(10)와 무선 통신을 하게 된다.

제1 무선 주파수 식별 태그와 제1 안테나(10) 사이의 무선 통신은 근거리 무선 통신인 지그비 또는 RFID 등이 적용될 수 있으며, 이때, 제1 무선 주파수 식별 태그가 별도의 전원을 구비하지 않고, 제1 안테나(10)를 통해 전달되는 전파에 의해 동작 전력이 공급되는 수동형인 것이 바람직하다.

제1 안테나(10)는 수용 용기(2)에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 수용 용기(2)에 담긴 용액에 대한 정보를 정상적으로 수신하기 위해, 제1 무선 주파수 식별 태그는 제1 안테나(10)의 전파 방사각 내에 위치하여야 한다.

따라서, 본 발명의 경우 제1 안테나(10)는 다이폴 안테나 방식이 아닌 패치 안테나 방식의 안테나를 사용하면서, 수용 용기(2)에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그의 위치와 무관하게 제1 무선 주파수 식별 태그가 저장하고 있는 수용 용기(2)에 담긴 용액에 대한 정보를 정상적으로 수신하기 위해, 제1 안테나(10)는 수용 용기(2)의 외주면을 두를 수 있는 단면이 폐곡선인 것을 특징으로 한다.

이때, 제1 안테나(10)는 일반적인 수용용기(2)의 형상에 따라 원형의 띠 형태로 형성된 것이 바람직하다. 상기 제1 안테나(10)의 길이를 크기 조절 수단(16)을 늘어거나 줄임으로써, 혹은 제1 안테나(10)의 높이를 조절함으로써, 제1 안테나(10)는 수용 용기(2)의 어느 곳에 제1 무선 주파수 식별 태그가 위치하더라도, 제1 안테나(10)와 제1 무선 주파수 식별 태그는 서로 통신이 가능하며, 제1 무선 주파수 식별 태그가 수용 용기(2)의 특정 높이 어느 위치에 부착되어 있더라도 무선 송수신이 가능하다.

제1 안테나(10) 단면에 형성된 폐곡선의 크기는 수용 용기(2)의 단면에 형성된 폐곡선의 크기보다 큰 것이 바람직하며, 그 폐곡선이 원형인 경우에는 제1 안테나(10)의 직경은 수용 용기(2)의 외경보다 큰 직경을 갖도록 하여 원형의 띠 형태의 제1 안테나(10)에 수용 용기(2)가 삽입될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 제1 안테나(10)는 주위에 수용 용기(2)가 다수 설치되는 환경에서, 주위의 다른 수용 용기에 부착된 무선 주파수 식별 태그로부터 정보를 수신하지 않도록 하기 위해, 안테나 패턴(13) 이외에도 금속판(11) 및 전파 흡수체(12)를 포함할 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 원형의 띠 형태의 제1 안테나와 받침대가 결합한 구성도의 단면도를 간략하게 도시한 도면이다.

도 7에 도시한 바와 같이, 제1 안테나(10)를 위에서 아래로 자른 단면을 나타내었다. 제1 안테나(10)는 수용 용기가 삽입되는 안쪽에서부터 주위의 다른 수용 용기가 위치할 수 있는 바깥쪽까지 안테나 패턴(13), 전파 흡수체(12) 및 금속판(11) 순서로 형성될 수 있다.

안테나 패턴(13)은 일정한 도체 패턴을 갖는 것으로써, 수용 용기(2)에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하도록 제1 안테나(10) 내주면에 위치한다.

이때, 안테나 패턴(13)은 수용 용기(2)에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그와 정상적인 무선 통신이 가능한 패턴인 것이면 족하며, 일반적인 루프형 패턴에서부터 다양한 형태의 패턴이 가능하다.

금속판(11)은 제1 안테나(10) 외주면에 위치하여 안테나 패턴(13)으로부터 방사되는 전파가 제1 안테나(10)의 바깥쪽에 위치한 인접한 수용 용기에 부착된 다른 무선 주파수 식별 태그를 인식하는 오류를 방지하기 위한 것으로, 안테나 패턴(13)에서 제1 안테나(10)의 바깥쪽으로 방사되는 전파를 차단하는 역할을 수행한다.

금속판(11)의 차폐 재료로는 Ni, Au, Fe 등의 금속 재료가 사용될 수 있으나, 가격면, 무게면, 가공성 면에서 아연도금 강판을 사용하는 것이 바람직하다.

전파 흡수체(12)는 금속판(11)만으로도 인접하여 위치한 타 수용 용기에 부착된 다른 무선 주파수 식별 태그를 인식하지 않도록 차폐하는 역할을 수행할 수 있으나, 전파 흡수체(12)를 더 둠으로써, 전파의 차폐 효과를 향상시킬 수 있고, 금속판(11)만을 두는 경우에는 전파가 금속판(11)에 부딪혀 반사 또는 산란이 일어나 제1 안테나(10)와 제1 무선 주파수 식별 태그와의 통신에 영향을 줄 수 있어, 제1 안테나(10)와 금속판(11) 사이에 위치시킴으로써 전파를 흡수시키도록 하는 것이 바람직하다.

이때, 전파 흡수체(12)는 카본(Carbon) 또는 그래파이트(Graphite) 등의 전파를 흡수할 수 있는 소재를 포함할 수 있으나, 얇은 두께로 전파 흡수 효율이 뛰어난 단층의 페라이트(Ferrite) 시트인 것이 바람직하다.

또한, 상기와 같이, 전파 흡수체(12)를 두지않고, 상기 금속판(11)의 적어도 일 면에 표면에 전파 흡수체 도료를 도포할 수도 있다.

제1 안테나(10)는, 안테나 패턴(13)을 포함한 제1 안테나(10)는 외부의 충격 및 외부의 용액으로부터 보호하기 위하여, 케이스(14)는 안테나 패턴(13), 전파 흡수체(12) 및 금속판(11)을 둘러싼 케이스(14)를 더 포함할 수 있다.

이때, 케이스(14)는 도 7에 도시한 바와 같이, 하면에 받침대(18)가 결합되기 위해, 받침대(18)가 삽입될 수 있는 크기의 요홈이 형성될 수 있다.

즉, 제1 안테나(10)와 받침대(18)가 서로 결합하기 위한, 다양한 방법이 적용될 수 있으나, 일 예로써, 케이스(14) 하면의 중앙부분이 오목하게 들어간 요홈을 형성하고, 형성된 요홈에 바구니와 같은 받침대(18)가 삽입된 후 고정 핀(15)과 같은 체결 수단에 의해 고정될 수 있다.

받침대(18)는 수용 용기(2)가 담길 수 있는 공간을 형성하고, 그 공간에 수용 용기를 담음으로써 수용 용기(2)의 위치가 고정되도록 한다. 또한, 상술한 바와 같이 받침대(18)가 제1 안테나(10)와 결합하는 경우에는, 받침대(18)에 담긴 수용 용기(2)에서 수용 용기(2)에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그의 높이와 제1 안테나(10)의 높이는 고정됨으로써, 제1 안테나(10)와 제1 무선 주파수 식별 태그 사이에 원활한 무선 통신이 이루어질 수 있게 된다.

아울러, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 안테나(10)는 크기가 조절 가능한 크기 조절 수단(16)을 적어도 하나 이상 구비할 수 있고, 크기 조절 수단(16)을 구비함으로써, 수용 용기(2)의 크기 또는 제1 안테나(10)의 설치 위치에 따라 수용 용기(2)가 삽입될 제1 안테나(10)의 길이를 늘이거나 줄일 수 있게 된다.

크기 조절 수단(16)은 제1 안테나(10)의 직경을 변경시킬 수 있는 다양한 수단이 제시될 수 있다. 다만, 본 실시예에서는 그 일 예로써, 안테나 패턴(13)이 포함된 제1 안테나(10)를 이용하여 단면이 폐곡선을 이루도록 형성할 때, 폐곡선의 일부 구간을 끊어 공간을 형성함으로써, 완전한 폐곡선이 이루어지지 않도록 한 후에, 양 측면에 구멍이 형성된 크기 조절 수단(16)을 준비하고, 상기 크기 조절 수단(16)의 양 측면에 형성된 구멍에 케이스(14)를 삽입하고, 슬라이딩 가능하도록 결합하고, 케이스(14)를 슬라이딩시킴으로써 전체 폐곡선 전체의 크기를 변경시킬 수 있게 된다.

이때, 케이스(14)와 안테나 패턴(13)은 서로 고정되지 않도록 함으로써, 케이스(14)는 크기 조절 수단(16)에 삽입된 채로 슬라이딩 되어 케이스(14)는 전체적으로 폐곡선을 이루고, 케이스(14) 내부에 형성된 안테나 패턴(13)은 그 크기가 고정된 채, 일부 구간이 연결되지 않은 불완전한 폐곡선으로 형성된다. 이로써, 수용 용기(2)에 표면이 맞닿는 케이스(14)는 크기 조절 수단(16)에 삽입된 채로 슬라이딩 됨으로써 전체적인 제1 안테나(10)의 직경이 변경될 수 있고, 제1 안테나(10) 내부의 안테나 패턴(13)은 불완전한 폐곡선으로써 벌어지거나, 오므라들게 된다.

아울러, 크기 조절 수단(16)에는 도 6에 도시한 바와 같이, 안테나 패턴(13)과 전기적으로 연결하기 위한 케이블이 통과할 수 있는 케이블 연결구(17)를 더 포함할 수 있다.

이와 같은 일 실시예에 따른 크기 조절 수단의 경우, 안테나 패턴(13)이 완전한 폐곡선을 이루지 않기 때문에, 도 4에 도시한 바와 같이 일부 구간에 전파가 방사되지 않는 구간이 형성된다. 따라서, 전파가 방사되지 않는 구간에 의해 무선 주파수 식별 태그가 인식되지 않을 우려가 있을 수 있으나, 전파가 방사되지 않는 구간은 크지 않고(도 4의 경우 식별의 용이성을 위해 확대 해석하여 도시), 전파의 방사 각도는 0도가 아니며, 제1 무선 주파수 식별 태그 면의 약 1/3 이상 제1 안테나의 전파 방사 각에 마주보게 된다면 정상적인 인식이 가능하므로, 상기와 같은 우려는 해소된다.

앞서 설명한 바와 같이 안테나 패턴(13) 및 크기 조절 수단(16)은 제1 안테나의 직경을 변경함과 동시에, 제1 무선 주파수 식별 태그가 인식될 수 있는 다양한 방법이 제시될 수 있음은 물론이며, 본 발명의 권리범위를 상기와 같은 실시예에 한정하는 것은 아니다.

리더기(30)는 제1 안테나(10)로부터 전달받은 무선 신호를 통해 수용 용기에 들어있는 용액에 대한 정보를 추출한다.

이때, 리더기(30)에 미리 수용 용기(2)에 의해 반도체 공정에 공급될 용액에 대한 정보를 설정해 놓을 수 있다. 리더기(30)는 이렇게 설정된 정보와 제1 안테나(10)를 통해 수신한 제1 무선 주파수 식별 태그에 저장된 정보를 비교 판단하며, 일치하지 않는 경우에는 리더기(30)에 부착 또는 연결된 램프(Lamp)를 통해 시각적으로 작업자에게 경고하거나, 버저(Buzzer)를 통해 청각적으로 작업자에게 경고하도록 구성될 수 있다.

또한, 리더기(30)는 제어부(50)와 통신하여, 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 수신한 상기 수용 용기에 대한 정보를 제어부(50)로 전송하고, 제어부(50)가 제어부(50)에 기 설정된 상기 수용 용기에 대한 정보와 일치하는지 판단하고, 그 판단한 결과를 리더기(30)가 수신함으로써, 리더기(30)가 일치하지 않다는 결과를 수신한 경우 리더기(30)는 램프 또는 버저 등을 통해 작업자에게 경고하도록 구성될 수 있다.

제어부(50)는 리더기(30)와 통신하여, 리더기(30)로부터 정보를 전송받고, 리더기(30)에 대한 상태를 수신하여 점검함으로써, 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템을 전반적으로 모니터링한다.

이 경우, 제어부(50)에서 다수의 리더기(30)를 제어하기 위해서는, 게이트웨이(40)를 더 포함할 수 있다.

게이트웨이(40)는 하나의 제어부(50)가 복수 개의 리더기(30)를 동시에 제어할 수 있도록, 스위치 모듈을 이용하여 하나의 제어부(50)와 연결된 통신 자원을 복수 개의 리더기(30)에 각각 분배한다.

이와 같이, 하나의 제어부(50)가 게이트웨이(40)를 통해 복수 개의 리더기(30)로부터 수신한 데이터를 모두 전송받고, 복수 개의 리더기(30)에 대한 모니터링을 실시할 수 있게 되는 것 이외에도, 게이트웨이(40)는 램프(Lamp)나 부저(Buzzer)와 같은 알림 장치와 연결되거나, 연결 장치를 내부에 포함함으로써, 리더기(30) 및 제어부(50)와의 통신상태를 모니터링하여, 리더기(30)와의 통신상에 문제가 발생하거나, 제어부(50)와의 통신상에 문제가 발생하는 경우에 이를 작업자에게 시각적 또는 청각적으로 알려주게 된다.

본 실시예에 따르는 경우, 단면을 폐곡선으로 가진 제1 안테나(10)를 구비하고, 그 안쪽에 수용 용기(2) 삽입되는 경우, 이를 무선 통신 기술을 이용하여, 반도체 제조공정에 있어서, 수용 용기(2)의 교체시, 동일한 형상의 수용 용기(2)에 들어있는 용액이 다른 경우에는 이를 작업자에게 시각적 또는 청각적으로 경고함으로써, 종래 수작업에 의해 자칫 큰 손해가 발생할 수 있는 반도체 제조 공정에서 발생할 수 있는 오류를 줄일 수 있는 효과가 있다.

제2 실시예

캡(1)은 수용 용기(2)와 달리 긴 교체주기를 갖음으로써 수용 용기(2)만 교체되는 것이 일반적이다. 앞선 실시예에서는 수용 용기(2)가 교체될 때 발생될 수 있는 문제를 해결하기 위한 것이나, 본 실시예에서는 반도체 제조 공정상 공급될 용액이 통과하는 공급 노즐을 포함한 캡(1)이 교체시 바뀌거나 동일한 용액이 아닌 다른 용액이 담긴 수용 용기(2)를 잘못 교체함으로써, 캡(1)과 수용 용기(2)가 잘못 교체되거나, 캡(1)과 수용 용기(2)가 일치하지 않는 문제를 해결하기 위한 수단을 제시한다.

도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템의 전체 구성도를 간략하게 도시한 도면이다.

도 2b에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 제2 안테나(20)를 더 포함할 수 있다.

제2 안테나(20)는 리더기(30)와 연결되어, 수용 용기(2)에 결합하는 캡(1)에 부착된 제2 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하여, 리더기(30)에 전송한다.

본 실시예에서 역시 리더기(30)는 제2 안테나(20)로부터 전달받은 무선 신호로부터 캡(1)에 형성된 용액 공급 노즐을 통해 공급될 용액에 대한 정보를 추출하는 것을 특징으로 한다.

이때, 제2 안테나(20)는 캡(1)의 외주면에 하나 이상 부착되는 제2 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 통신에 의해 정보를 수신하게 된다.

제2 안테나(20)는 제1 안테나(10)와 같이 캡(1)의 외주면을 둘러싸는 단면이 폐곡선으로 이루어진 형태일 수도 있으나, 캡(1)과 수용 용기(2)의 결합의 용이성을 고려할 때, 도 2b에 도시한 바와 같이, 패치 안테나 형태인 것이 바람직하다.

제2 안테나(20)가 패치 안테나 형태인 경우, 그에 대한 방사 패턴을 도 5a 및 도 5b에 가시적으로 간략하게 도시하였다.

다만, 이와 같은 경우 캡(1)의 측면에 외주면을 따라 부착된 제2 무선 주파수 식별 태그가 제2 안테나(20)와 마주보고 있는 경우에 정상적인 무선 통신을 할 수 있으나, 캡(1)과 수용 용기(2)를 결합하는 과정에서 캡(1)의 회전에 의해 캡(1)에 부착된 제2 무선 주파수 식별 태그가 제2 안테나를 향하지 않는 경우에는 정상적인 무선 통신이 어렵게 된다.

따라서, 이와 같은 경우에 이를 해소하기 위해, 캡(1)의 측면에 외주면을 따라 동일한 제2 무선 주파수 식별 태그를 다수 개 부착시킴으로써, 상기와 같은 문제를 해결할 수 있다.

실험결과 제2 무선 주파수 식별 태그 면의 약 1/3 이상이 제2 안테나(20)의 전파 방사 각에 마주보게 된다면 정상적인 인식이 가능하여, 캡(1)의 외주면 즉, 원주를 따라 세 개의 영역으로 나누어 제2 무선 주파수 식별 태그를 3개 부착하는 것이 바람직하고, 이 경우 캡(1)의 회전 위치와 무관하게 제2 무선 주파수 식별 태그와 제2 안테나(20) 간에 정상적인 무선 통신이 가능할 수 있었다.

제2 안테나(20)의 특성에 따라 캡(1)에 부착된 상기 제2 무선 주파수 식별 태그의 개수는 달라질 수 있으며, 본 발명의 권리범위 역시 이에 한정하지 않는다.

본 실시예에 따른, 구성도는 도 3에 구체적으로 도시하였다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 용액을 담는 수용 용기와 무선 주파수 식별 태그로부터 정보를 수신하는 리더기에 대한 구성도를 간략하게 도시한 도면이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 캡(1) 및 캡(10)과 결합된 수용 용기(2)에 대하여, 본 실시예에 따른 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템은 제1 안테나(10) 및 제1 안테나(10)와 제1 안테나 케이블(31)을 통해 연결된 리더기(30)를 기본 구성으로 하여, 리더기(30)와 제2 안테나 케이블(32)을 통해 연결된 제2 안테나(20)를 포함할 수 있다. 이때, 캡(1)과 캡(1)에 결합된 수용 용기(2)를 담는 받침대(15)는 제1 안테나(10)에 결합되어, 식별 시스템은 받침대(15)를 더 포함할 수 있고, 제1 안테나(10)를 고정시키는 브라켓(15)을 더 포함할 수 있다.

브라켓(15)은 제1 안테나(10)가 위치를 고수할 수 있도록 제1 안테나(10)에 지지력을 제공하며, 식별 시스템에서 제2 안테나(20)를 더 포함하는 경우, 브라켓(15)에 제2 안테나(20) 역시 그 위치를 고수할 수 있도록 제2 안테나(20)와 결합하여, 제2 안테나(20)에 지지력을 제공할 수 있다.

이때, 브라켓(15)은 지면에 대해 일정한 각도로 기울어지도록 설치하여 수용 용기(2)의 교체시 수용 용기(2)의 삽입이 용이하도록 할 수 있다.

본 실시예에 따르는 경우, 제1 안테나(10) 이외에도 제2 안테나(20)를 더 구비함으로써, 반도체 제조 공정 중 수용 용기(2) 또는 캡(1)이 바뀌어 반도체 제조 공정에 있어서 발생하는 문제를 미연에 예방할 수 있는 효과가 있다.

이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예들은 기술적 과제를 해결하기 위해 개시된 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자(당업자)라면 본 발명의 사상 및 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

1: 캡 2: 수용 용기
3: 가스 주입 노즐 4: 용액 공급 노즐
10: 제1 안테나 11: 금속판
12: 전파 흡수체 13: 안테나 패턴
14: 케이스 15: 고정핀
16: 크기 조절 수단 17: 케이블 연결구
18: 받침대 20: 제2 안테나
30: 리더기 35: 브라켓
40: 게이트웨이 50: 제어부

Claims

반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기를 식별하는 시스템에 있어서,
상기 수용 용기에 부착된 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 송수신하는 제1 안테나; 상기 제1 안테나로부터 전달받은 무선 신호를 통해 상기 수용 용기에 들어있는 용액에 대한 정보를 추출하는 리더기; 및 상기 리더기와 통신하여, 상기 리더기를 제어하는 제어부; 를 포함하되,
상기 제1 안테나는, 단면이 상기 수용 용기를 둘러싼 폐곡선이고,
상기 리더기는, 상기 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 수신한 상기 수용 용기에 대한 정보가 상기 리더기에 설정된 정보와 일치하는지 판단하거나, 상기 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 수신한 상기 수용 용기에 대한 정보를 상기 제어부로 전송하고, 상기 제어부가 상기 제어부에 설정된 상기 수용 용기에 대한 정보와 일치하는지 판단한 결과를 수신하여, 일치하지 않는 경우 상기 리더기는 경고하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 안테나는,
상기 수용 용기의 외경보다 큰 직경을 갖는 원형의 띠 형태인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 수용 용기에 결합하는 캡에 부착된 제2 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하는 제2 안테나;
를 더 포함하되,
상기 리더기는, 상기 제2 안테나로부터 수신한 무선 신호로부터 상기 캡에 형성된 용액 공급 노즐을 통해 공급될 용액에 대한 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 안테나는,
상기 수용 용기에 부착된 상기 제1 무선 주파수 식별 태그로부터 무선 신호를 수신하도록 상기 제1 안테나 내주면에 위치하여 일정한 도체 패턴을 갖는 안테나 패턴;
상기 제1 안테나 바깥쪽으로 방사되는 전파를 차단하기 위해, 상기 제1 안테나 외주면에 위치한 금속판; 및
상기 안테나 패턴 및 상기 금속판 사이에 위치하여, 상기 안테나 패턴에서 방사된 전파 및 상기 금속판에서 산란된 전파를 흡수하는 전파 흡수체;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 안테나는,
상기 제1 안테나의 일부 구간에 삽입되어 상기 제1 안테나의 길이를 늘이거나 줄일 수 있는 크기 조절 수단;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 안테나 안쪽에 상기 수용 용기가 삽입되는 경우, 상기 제1 안테나가 상기 제1 무선 주파수 식별 태그를 정상 인식하도록 상기 수용 용기가 일정한 높이를 유지하기 위해 상기 제1 안테나에 결합하여 상기 수용 용기를 지탱하는 받침대;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
제 1 항에 있어서,
하나의 상기 제어부가 복수 개의 상기 리더기를 동시에 제어할 수 있도록, 하나의 상기 제어부와 연결된 통신 자원을 복수 개의 상기 리더기에 각각 분배하는 게이트웨이;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.
제 4 항에 있어서,
상기 제2 무선 주파수 식별 태그는 상기 캡의 측면에 외주면을 따라 하나 이상 부착되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 중 사용되는 용액을 담는 수용 용기의 식별 시스템.