KR20150071321A - Open mask assembly - Google Patents

Open mask assembly Download PDF

Info

Publication number
KR20150071321A
KR20150071321A KR1020130158200A KR20130158200A KR20150071321A KR 20150071321 A KR20150071321 A KR 20150071321A KR 1020130158200 A KR1020130158200 A KR 1020130158200A KR 20130158200 A KR20130158200 A KR 20130158200A KR 20150071321 A KR20150071321 A KR 20150071321A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conveying
mask
linear
members
mask frame
Prior art date
Application number
KR1020130158200A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102177784B1 (en
Inventor
김명규
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020130158200A priority Critical patent/KR102177784B1/en
Publication of KR20150071321A publication Critical patent/KR20150071321A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102177784B1 publication Critical patent/KR102177784B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Abstract

According to an embodiment of the present invention, an open mask assembly comprises: a mask frame having an opening; a plurality of transfer members installed on the mask frame to be moved along the mask frame; and a plurality of linear sheets connected to the plurality of transfer members. The plurality of linear sheets can partition the opening into a plurality of deposition openings.

Description

오픈 마스크 조립체{OPEN MASK ASSEMBLY}[0001] OPEN MASK ASSEMBLY [0002]

본 발명은 오픈 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 박막 증착용 오픈 마스크 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to an open mask assembly, and more particularly to an open mask assembly for thin film deposition.

평판 표시 장치로서 액정 표시 장치(LCD)와 유기 발광 표시 장치(OLED)가 알려져 있다. 평판 표시 장치는 특정 패턴의 금속층, 특정 패턴의 유기 발광층 또는 절연막 등을 포함한다. 이러한 금속층, 유기 발광층 또는 절연막 등을 형성하기 위해 마스크 조립체를 이용한 증착법이 사용되고 있다. As a flat panel display device, a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting display (OLED) are known. The flat panel display device includes a metal layer of a specific pattern, an organic light emitting layer of a specific pattern, an insulating film, or the like. A deposition method using a mask assembly is used to form such a metal layer, an organic light emitting layer, or an insulating film.

마스크 조립체는 증착하고자 하는 금속층 또는 유기 발광층과 동일한 형상의 패턴 개구부가 형성된 패턴 마스크 조립체와, 패턴없이 절연막의 증착 면적과 동일한 면적의 증착 개구부가 형성된 오픈 마스크 조립체로 나눌 수 있다. The mask assembly can be divided into a pattern mask assembly having a pattern opening having the same shape as a metal layer or an organic light emitting layer to be deposited, and an open mask assembly having a deposition opening having the same area as that of the insulating film.

이 중 오픈 마스크 조립체는 증착하고자 하는 절연막의 증착 면적에 맞추어 복수개의 마스크 프레임을 개별적으로 제조하거나, 오픈 마스크 조립체를 절연막의 증착 면적에 맞추어 외부 업체에서 별도로 수리하여 사용한다. The open mask assembly may be manufactured by separately manufacturing a plurality of mask frames according to the deposition area of the insulating film to be deposited, or repairing the open mask assembly separately from the outside companies by adjusting the deposition area of the insulating film.

그러나, 절연막의 증착 면적에 맞추어 복수개의 마스크 프레임을 개별적으로 제조하는 경우에는 사용할 마스크 프레임의 수량이 증가하므로, 오픈 마스크 조립체의 제조 비용 또는 보관 비용 등이 증가한다. 또한, 절연막의 증착 면적에 맞추어 외부 업체에서 별도로 마스크 프레임을 수선할 경우, 수선 기간 및 운반 비용도 증가한다.However, when a plurality of mask frames are individually manufactured in accordance with the deposition area of the insulating film, the number of mask frames to be used increases, and thus the manufacturing cost or storage cost of the open mask assembly increases. Also, when repairing the mask frame separately from the outside company according to the deposition area of the insulating film, the repair period and transportation cost also increase.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증착 면적을 조절하여 비용을 절감할 수 있는 오픈 마스크 조립체를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems and it is an object of the present invention to provide an open mask assembly capable of reducing the cost by adjusting the deposition area.

본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부를 가지는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치되어 있는 복수개의 이송 부재, 상기 복수개의 이송 부재에 연결되는 복수개의 선형 시트를 포함하고, 상기 복수개의 선형 시트는 상기 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할할 수 있다.An open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a mask frame having an opening portion, a plurality of transfer members installed on the mask frame and movable along the mask frame, a plurality of transfer members connected to the plurality of transfer members, And the plurality of linear sheets may divide the opening into a plurality of deposition openings.

상기 복수개의 이송 부재 중 서로 마주보는 한 쌍의 이송 부재는 상기 선형시트의 양단부와 연결되어 있을 수 있다.A pair of conveying members facing each other among the plurality of conveying members may be connected to both ends of the linear sheet.

상기 이송 부재를 이동시켜 상기 선형 시트를 이송시킴으로써 상기 복수개의 증착 개구부의 증착 면적을 변경시킬 수 있다.The deposition area of the plurality of deposition openings can be changed by transferring the linear sheet by moving the transfer member.

상기 마스크 프레임은 상기 복수개의 이송 부재가 설치되는 지지 프레임부, 상기 지지 프레임부에서 상기 개구부로 돌출되는 돌출 프레임부를 포함할 수 있다.The mask frame may include a support frame part on which the plurality of conveying members are installed, and a protruding frame part protruding from the support frame part to the opening part.

상기 이송 부재는 상기 지지 프레임부 위에 탑재되는 이송 블록, 상기 이송 블록 내부에 설치되며 상기 선형 시트에 연결되어 상기 선형 시트의 인장력을 조절하는 인장력 조절 부재를 포함할 수 있다.The conveying member may include a conveying block mounted on the supporting frame portion, and a tension adjusting member installed inside the conveying block and connected to the linear sheet to adjust the tension of the linear sheet.

상기 인장력 조절 부재에 설치되어 상기 인장력 조절 부재를 회전시키는 회전 부재를 더 포함하고, 상기 회전 부재는 상기 인장력 조절 부재에 감겨진 상기 선형 시트의 인장력을 조절할 수 있다.And a rotating member installed on the tension adjusting member to rotate the tension adjusting member, wherein the rotating member can adjust the tension of the linear sheet wound on the tension adjusting member.

상기 이송 부재는 상기 이송 블록의 하부에 설치되어 있으며, 상기 지지 프레임부에 형성되는 이송홈에 결합되는 이송 가이드를 더 포함할 수 있다.The conveying member may further include a conveying guide installed at a lower portion of the conveying block and coupled to a conveying groove formed in the supporting frame portion.

상기 돌출 프레임부의 상부면의 높이는 상기 선형 시트의 높이보다 낮을 수있다.The height of the upper surface of the protruding frame portion may be lower than the height of the linear sheet.

상기 마스크 프레임은 서로 연결된 4개의 변 마스크 프레임을 포함하고, 상기 변 마스크 프레임에 적어도 하나 이상의 상기 이송 부재가 설치될 수 있다.The mask frame includes four side mask frames connected to each other, and at least one of the transfer members may be installed in the side mask frame.

상기 4개의 변 마스크 프레임 중 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치될 수 있다.A different number of transfer members may be provided in neighboring side mask frames of the four side mask frames.

본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 이송 부재에 연결되며 마스크 프레임의 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할하는 선형 시트를 복수개의 이송 부재에 연결하고, 이송 부재를 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치함으로써, 복수개의 증착 개구부의 증착 면적을 용이하게 조절할 수 있다.An open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a linear sheet connected to a conveying member and dividing an opening of a mask frame into a plurality of deposition openings to a plurality of conveying members, The deposition area of the plurality of deposition openings can be easily adjusted.

따라서, 불필요한 마스크 프레임의 수량 및 종류를 최소화 할 수 있으므로,자재 비용, 인건 비용 등의 비용 절감이 가능하고, 선형 시트의 파손 시에는 현장에서 신속하게 교체할 수 있어 제조 비용 및 제조 시간을 줄일 수 있다.Therefore, it is possible to minimize the number and kinds of unnecessary mask frames, thereby reducing costs such as material costs and labor costs, and can be quickly replaced at the site when the linear sheet is damaged, thereby reducing manufacturing cost and manufacturing time have.

또한, 이송 부재의 인장력 조절 부재를 이용하여 선형 시트가 처지는 것을 방지할 수 있다. Further, it is possible to prevent the linear sheet from sagging by using the tension adjusting member of the conveying member.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 II-II선을 따라 자른 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 이송 부재를 이동시켜 증착 개구부의 증착 면적을 변경한 상태의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이다.1 is a perspective view of an open mask assembly in accordance with an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line II-II of an open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 3 to 5 are perspective views illustrating a state in which the deposition area of the deposition opening is changed by moving the transfer member of the open mask assembly according to an embodiment of the present invention. FIG.
6 is a perspective view of an open mask assembly in accordance with another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 또는 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, "~ 상에" 또는 "~ 위에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.Whenever a component is referred to as "including" an element throughout the specification, it is to be understood that the component may include other elements as long as there is no particular contrary description. It is also to be understood that when an element such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" or "over" another element in the specification, . Also, "on" or "above" means located above or below the object portion and does not necessarily mean that the object is located on the upper side with respect to the gravitational direction.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 II-II선을 따라 자른 단면도이다. FIG. 1 is a perspective view of an open mask assembly according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of an open mask assembly according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부(A)를 가지는 마스크 프레임(100), 마스크 프레임(100)에 설치되어 있는 복수개의 이송 부재(200), 복수개의 이송 부재(200)에 연결되는 복수개의 선형 시트(300)를 포함한다. 1 and 2, an open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a mask frame 100 having an opening A, a plurality of transfer members 200 And a plurality of linear sheets 300 connected to the plurality of conveying members 200.

마스크 프레임(100)은 서로 직각으로 연결된 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)을 포함한다. 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)은 서로 연결되어 액자 형성을 이룬다. The mask frame 100 includes four side mask frames 101, 102, 103 and 104 connected at right angles to each other. The four side mask frames 101, 102, 103, and 104 are connected to each other to form a frame.

마스크 프레임(100)은 복수개의 이송 부재(200)가 설치되는 지지 프레임부(110), 지지 프레임부(110)에서 개구부로(A) 돌출되는 돌출 프레임부(120)를 포함한다. 돌출 프레임부(120)의 상부면의 높이(h1)은 선형 시트(300)의 높이(h2)보다 낮으므로, 선형 시트(300)의 인장력이 작아져 처지는 경우에도 돌출 프레임부(120)가 선형 시트(300)를 지지하여 선형 시트(300)가 처지는 것을 방지할 수 있다.The mask frame 100 includes a support frame part 110 on which a plurality of conveying members 200 are installed and a protruding frame part 120 protruding from the support frame part 110 to the opening A. [ The height h1 of the upper surface of the protruding frame portion 120 is lower than the height h2 of the linear sheet 300 so that even when the tension of the linear sheet 300 is reduced, It is possible to support the sheet 300 and prevent the linear sheet 300 from sagging.

복수개의 이송 부재(200)는 마스크 프레임(100)을 따라 이동가능하게 설치되어 있으며, 적어도 하나 이상의 이송 부재(200)가 각각의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)에 설치되어 있다. 복수개의 이송 부재(200) 중 서로 마주보는 한 쌍의 이송 부재(200)는 선형 시트(300)의 양단부와 연결되어 있다. The plurality of conveying members 200 are installed to be movable along the mask frame 100 and at least one conveying member 200 is provided in each of the side mask frames 101, 102, 103 and 104. A pair of conveying members (200) facing each other among the plurality of conveying members (200) are connected to both ends of the linear sheet (300).

이송 부재(200)는 지지 프레임부(110) 위에 탑재되며 내부 공간을 가지는 이송 블록(210), 이송 블록(210)의 내부 공간에 설치되는 인장력 조절 부재(220)를 포함한다. 인장력 조절 부재(220)는 선형 시트(300)에 연결되어 선형 시트(300)의 인장력을 조절한다.The conveying member 200 includes a conveying block 210 mounted on the supporting frame 110 and having an inner space and a tension adjusting member 220 installed in an inner space of the conveying block 210. The tension adjusting member 220 is connected to the linear sheet 300 to adjust the tension of the linear sheet 300.

인장력 조절 부재(220)의 회전 중심축선 상에는 인장력 조절 부재(220)를 회전시키는 회전 부재(230)가 설치되어 있다. 이러한 회전 부재(230)는 인장력 조절 부재(220)를 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 인장력 조절 부재(220)에 감겨진 선형 시트(300)의 인장력을 조절할 수 있다.On the rotation center axis of the tension adjusting member 220, a rotation member 230 for rotating the tension adjusting member 220 is provided. The rotating member 230 may rotate the tension adjusting member 220 in the forward or reverse direction to adjust the tension of the linear sheet 300 wound around the tension adjusting member 220.

이송 블록(210)의 하부에는 이송 가이드(240)가 설치되어 있으며, 이송 가이드(240)는 지지 프레임부(110)에 형성되는 이송홈(110a)에 결합되어 이송 부재(200)가 이송홈(110a)을 따라 이동할 수 있도록 한다. A conveying guide 240 is provided below the conveying block 210. The conveying guide 240 is coupled to a conveying groove 110a formed in the support frame part 110, 110a.

복수개의 선형 시트(300)는 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 가로지르고 있으므로, 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 9개의 증착 개구부(A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7, A8, A9)로 분할한다.Since the plurality of linear sheets 300 traverse the opening A of the mask frame 100, the opening A of the mask frame 100 is divided into nine deposition openings A1, A2, A3, A4, A5, A6 , A7, A8, A9).

따라서, 이송 부재(200)를 이동시켜 이송 부재(200)에 연결된 선형 시트(300)를 이송시킴으로써 이러한 9개의 증착 개구부(A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7, A8, A9)의 증착 면적을 변경시킬 수 있다.A9, A5, A6, A7, A8, and A9) by transferring the linear sheet (300) connected to the transfer member (200) by moving the transfer member (200) The deposition area can be changed.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 이송 부재를 이동시켜 증착 개구부의 증착 면적을 변경한 상태의 사시도이다.FIGS. 3 to 5 are perspective views illustrating a state in which the deposition area of the deposition opening is changed by moving the transfer member of the open mask assembly according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 3에 도시한 바와 같이, 이송 부재(200)를 이동시켜 가운데에 위치한 증착 개구부(A5)의 증착 면적만을 증가시킬 수 있고, 도 4에 도시한 바와 같이, 이송 부재(200)를 이동시켜 두 개의 증착 개구부(A2, A8)의 증착 면적만을 증가시킬 수도 있으며, 도 5에 도시한 바와 같이, 3개의 증착 개구부(A2, A3, A4)의 증착 면적만을 증가시킬 수도 있다. As shown in FIG. 3, only the deposition area of the deposition opening A5 positioned at the center can be increased by moving the transfer member 200, and as shown in FIG. 4, the transfer member 200 is moved Only the deposition areas of the two deposition openings A2 and A8 may be increased and only the deposition areas of the three deposition openings A2, A3 and A4 may be increased as shown in Fig.

한편, 상기 일 실시예에서는 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)에 동일한 수의 이송 부재가 설치되어 있으나, 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104) 중 서로 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치되는 다른 실시예도 가능하다. Although the same number of conveying members are provided in the four side mask frames 101, 102, 103 and 104 in the above embodiment, it is also possible to arrange the four side mask frames 101, 102, 103, Other embodiments in which different number of transfer members are provided in the side mask frame are also possible.

이하에서 도 6을 참조하여 다른 실시예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, another embodiment will be described in detail with reference to FIG.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이다.6 is a perspective view of an open mask assembly in accordance with another embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 다른 실시예는 도 1 내지 도 5에 도시된 일 실시예와 비교하여 서로 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치되는 것만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.The other embodiment shown in Fig. 6 is similar to the embodiment shown in Figs. 1 to 5 except that a different number of conveying members are provided in neighboring side mask frames, Is omitted.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부(A)를 가지는 마스크 프레임(100), 마스크 프레임(100)에 설치되어 있는 복수개의 이송 부재(200), 복수개의 이송 부재(200)에 연결되는 복수개의 선형 시트(300)를 포함한다. 6, the open mask assembly according to another embodiment of the present invention includes a mask frame 100 having an opening A, a plurality of transfer members 200 provided on the mask frame 100, And a plurality of linear sheets 300 connected to the plurality of conveying members 200.

복수개의 이송 부재(200)는 마스크 프레임(100)을 따라 이동가능하게 설치되어 있으며, 적어도 하나 이상의 이송 부재(200)가 각각의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)에 설치되어 있다. 이 때, 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104) 중 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재(200)가 설치되어 있다. 즉, 제1 변 마스크 프레임(101)에는 하나의 이송 부재(200)가 설치되어 있고, 제1 변 마스크 프레임(101)과 이웃하는 제2 변 마스크 프레임(102)에는 2개의 이송 부재(200)가 설치되어 있다. 또한, 제3 변 마스크 프레임(103)에는 하나의 이송 부재(200)가 설치되어 있고, 제3 변 마스크 프레임(103)과 이웃하는 제4 변 마스크 프레임(104)에는 2개의 이송 부재(200)가 설치되어 있다. The plurality of conveying members 200 are installed to be movable along the mask frame 100 and at least one conveying member 200 is provided in each of the side mask frames 101, 102, 103 and 104. At this time, a different number of transfer members 200 are provided in neighboring side mask frames of the four side mask frames 101, 102, 103, and 104. In other words, one conveying member 200 is provided in the first side mask frame 101, and two conveying members 200 are provided in the second side mask frame 102 adjacent to the first side mask frame 101, Respectively. One transfer member 200 is provided in the third side mask frame 103 and two transfer members 200 are provided in the fourth side mask frame 104 adjacent to the third side mask frame 103. [ Respectively.

이러한 복수개의 이송 부재(200)에 연결된 복수개의 선형 시트(300)는 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 가로지르고 있으므로, 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 6개의 증착 개구부(B1, B2, B3, B4, B5, B6)로 분할한다.Since the plurality of linear sheets 300 connected to the plurality of conveying members 200 cross the opening A of the mask frame 100, the opening A of the mask frame 100 is divided into six deposition openings B1 , B2, B3, B4, B5, B6).

그리고, 이송 부재(200)를 이동시켜 이송 부재(200)에 연결된 선형 시트(300)를 이송시킴으로써 이러한 6개의 증착 개구부(B1, B2, B3, B4, B5, B6)의 증착 면적을 변경시킬 수 있다.The deposition area of these six deposition openings B1, B2, B3, B4, B5, B6 can be changed by moving the transfer member 200 and transferring the linear sheet 300 connected to the transfer member 200 have.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course.

100: 마스크 프레임 200: 이송 부재
300: 선형 시트100: mask frame 200: conveying member
300: linear sheet

Claims (10)

개구부를 가지는 마스크 프레임,
상기 마스크 프레임에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치되어 있는 복수개의 이송 부재,
상기 복수개의 이송 부재에 연결되는 복수개의 선형 시트
를 포함하고,
상기 복수개의 선형 시트는 상기 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할하는 오픈 마스크 조립체.A mask frame having an opening,
A plurality of transfer members installed in the mask frame and movably installed along the mask frame,
A plurality of linear sheets connected to the plurality of conveying members,
Lt; / RTI >
Wherein the plurality of linear sheets divides the opening into a plurality of deposition openings. 제1항에 있어서,
상기 복수개의 이송 부재 중 서로 마주보는 한 쌍의 이송 부재는 상기 선형시트의 양단부와 연결되어 있는 오픈 마스크 조립체.The method according to claim 1,
And a pair of conveying members facing each other among the plurality of conveying members are connected to both ends of the linear sheet. 제2항에 있어서,
상기 이송 부재를 이동시켜 상기 선형 시트를 이송시킴으로써 상기 복수개의 증착 개구부의 증착 면적을 변경시키는 오픈 마스크 조립체.3. The method of claim 2,
And moving the transfer member to transfer the linear sheet to change the deposition area of the plurality of deposition openings. 제1항에 있어서,
상기 마스크 프레임은
상기 복수개의 이송 부재가 설치되는 지지 프레임부,
상기 지지 프레임부에서 상기 개구부로 돌출되는 돌출 프레임부
를 포함하는 오픈 마스크 조립체.The method according to claim 1,
The mask frame
A support frame portion on which the plurality of conveying members are installed,
A protruding frame portion protruding from the support frame portion to the opening portion;
≪ / RTI > 제4항에 있어서,
상기 이송 부재는
상기 지지 프레임부 위에 탑재되는 이송 블록,
상기 이송 블록 내부에 설치되며 상기 선형 시트에 연결되어 상기 선형 시트의 인장력을 조절하는 인장력 조절 부재
를 포함하는 오픈 마스크 조립체.5. The method of claim 4,
The conveying member
A transport block mounted on the support frame portion,
A tension adjusting member installed inside the conveying block and connected to the linear sheet to adjust the tension of the linear sheet,
≪ / RTI > 제5항에 있어서,
상기 인장력 조절 부재에 설치되어 상기 인장력 조절 부재를 회전시키는 회전 부재를 더 포함하고,
상기 회전 부재는 상기 인장력 조절 부재에 감겨진 상기 선형 시트의 인장력을 조절하는 오픈 마스크 조립체.6. The method of claim 5,
And a rotating member installed on the tension adjusting member for rotating the tension adjusting member,
Wherein the rotating member adjusts the tension of the linear sheet wound on the tension adjusting member. 제6항에 있어서,
상기 이송 부재는
상기 이송 블록의 하부에 설치되어 있으며, 상기 지지 프레임부에 형성되는 이송홈에 결합되는 이송 가이드를 더 포함하는 오픈 마스크 조립체.The method according to claim 6,
The conveying member
And a conveyance guide installed at a lower portion of the conveyance block and coupled to a conveyance groove formed in the support frame portion. 제7항에 있어서,
상기 돌출 프레임부의 상부면의 높이는 상기 선형 시트의 높이보다 낮은 오픈 마스크 조립체.8. The method of claim 7,
Wherein a height of an upper surface of the protruding frame portion is lower than a height of the linear sheet. 제1항에 있어서,
상기 마스크 프레임은 서로 연결된 4개의 변 마스크 프레임을 포함하고, 상기 변 마스크 프레임에 적어도 하나 이상의 상기 이송 부재가 설치되는 오픈 마스크 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the mask frame includes four side mask frames connected to each other, and at least one of the transfer members is installed in the side mask frame. 제9항에 있어서,
상기 4개의 변 마스크 프레임 중 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치되는 오픈 마스크 조립체.10. The method of claim 9,
Wherein a different number of transfer members are provided in neighboring side mask frames of the four side mask frames.
KR1020130158200A 2013-12-18 2013-12-18 Open mask assembly KR102177784B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130158200A KR102177784B1 (en) 2013-12-18 2013-12-18 Open mask assembly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130158200A KR102177784B1 (en) 2013-12-18 2013-12-18 Open mask assembly

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150071321A true KR20150071321A (en) 2015-06-26
KR102177784B1 KR102177784B1 (en) 2020-11-12

Family

ID=53517631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130158200A KR102177784B1 (en) 2013-12-18 2013-12-18 Open mask assembly

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102177784B1 (en)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101579907B1 (en) 2015-09-01 2015-12-23 김대삼 Manufacturing method of mask assembly for thin film deposition, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
KR101579910B1 (en) 2015-09-01 2015-12-23 김대삼 Manufacturing method of mask assembly, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
KR101659960B1 (en) 2016-07-25 2016-09-29 주식회사 엠더블유와이 Grid open mask sheet for thin film deposition, manufacturing apparatus of open mask assembly, and open mask assembly therefrom
KR101659961B1 (en) 2016-07-25 2016-09-29 주식회사 엠더블유와이 Grid pattern sheet for thin film deposition, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
KR101659948B1 (en) 2016-07-25 2016-10-10 주식회사 엠더블유와이 Grid open mask sheet for thin film deposition, manufacturing apparatus of open mask assembly, and open mask assembly therefrom
CN110184565A (en) * 2019-05-27 2019-08-30 江苏壹光科技有限公司 OLED Vapor deposition mask plate
US10879326B2 (en) 2018-07-27 2020-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and, apparatus and method of manufacturing the same
US11545626B2 (en) 2017-01-12 2023-01-03 Samsung Display Co., Ltd. Deposition mask assembly for display devices
KR102543978B1 (en) 2022-04-25 2023-06-20 위폼스 주식회사 Variable raw material division open mask assembly with multi-clamp applied
KR102591352B1 (en) 2022-05-20 2023-10-20 위폼스 주식회사 Oled fine mask auxiliary mask that can be processed after pre-patterning with free pattern position change and its assembly
KR20230151268A (en) 2022-04-25 2023-11-01 위폼스 주식회사 Method for fabricating oled mask frame
KR20230151273A (en) 2022-04-25 2023-11-01 위폼스 주식회사 Oled metal mask multi-step vertical coating method
KR20240003904A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Raw material split cvd mask assembly for thin film process
KR20240003908A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Mask assembly for thin flim processing for large-area integrated mask with multi division sheet and method thereof
KR20240003907A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Variable raw material division open mask assembly for thin flim processing and method thereof
KR20240003890A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Raw material division open mask assembly capable of modulating position of interstitial sheet
US11939657B2 (en) 2018-09-12 2024-03-26 Samsung Display Co., Ltd. Hybrid mask stick and mask frame assembly employing the same
US11970763B2 (en) 2018-10-18 2024-04-30 Samsung Display Co., Ltd. Hybrid-type mask stick and mask frame assembly adopting the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002235165A (en) * 2001-02-08 2002-08-23 Sony Corp Mask
KR20090124356A (en) * 2008-05-29 2009-12-03 엘지디스플레이 주식회사 Mask for depositing thin film in flat panel display device
JP2010185121A (en) * 2009-02-13 2010-08-26 Ulvac Japan Ltd Vacuum deposition system and vacuum deposition method
KR20130043538A (en) * 2011-10-20 2013-04-30 엘지디스플레이 주식회사 Mask, method for manufacturing the same and stretcher for manufacturing the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002235165A (en) * 2001-02-08 2002-08-23 Sony Corp Mask
KR20090124356A (en) * 2008-05-29 2009-12-03 엘지디스플레이 주식회사 Mask for depositing thin film in flat panel display device
JP2010185121A (en) * 2009-02-13 2010-08-26 Ulvac Japan Ltd Vacuum deposition system and vacuum deposition method
KR20130043538A (en) * 2011-10-20 2013-04-30 엘지디스플레이 주식회사 Mask, method for manufacturing the same and stretcher for manufacturing the same

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101579910B1 (en) 2015-09-01 2015-12-23 김대삼 Manufacturing method of mask assembly, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
KR101579907B1 (en) 2015-09-01 2015-12-23 김대삼 Manufacturing method of mask assembly for thin film deposition, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
KR101659960B1 (en) 2016-07-25 2016-09-29 주식회사 엠더블유와이 Grid open mask sheet for thin film deposition, manufacturing apparatus of open mask assembly, and open mask assembly therefrom
KR101659961B1 (en) 2016-07-25 2016-09-29 주식회사 엠더블유와이 Grid pattern sheet for thin film deposition, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
KR101659948B1 (en) 2016-07-25 2016-10-10 주식회사 엠더블유와이 Grid open mask sheet for thin film deposition, manufacturing apparatus of open mask assembly, and open mask assembly therefrom
US11545626B2 (en) 2017-01-12 2023-01-03 Samsung Display Co., Ltd. Deposition mask assembly for display devices
US11631723B2 (en) 2018-07-27 2023-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and, apparatus and method of manufacturing the same
US10879326B2 (en) 2018-07-27 2020-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus and, apparatus and method of manufacturing the same
US11939657B2 (en) 2018-09-12 2024-03-26 Samsung Display Co., Ltd. Hybrid mask stick and mask frame assembly employing the same
US11970763B2 (en) 2018-10-18 2024-04-30 Samsung Display Co., Ltd. Hybrid-type mask stick and mask frame assembly adopting the same
CN110184565A (en) * 2019-05-27 2019-08-30 江苏壹光科技有限公司 OLED Vapor deposition mask plate
KR102543978B1 (en) 2022-04-25 2023-06-20 위폼스 주식회사 Variable raw material division open mask assembly with multi-clamp applied
KR20230151268A (en) 2022-04-25 2023-11-01 위폼스 주식회사 Method for fabricating oled mask frame
KR20230151273A (en) 2022-04-25 2023-11-01 위폼스 주식회사 Oled metal mask multi-step vertical coating method
KR102591352B1 (en) 2022-05-20 2023-10-20 위폼스 주식회사 Oled fine mask auxiliary mask that can be processed after pre-patterning with free pattern position change and its assembly
KR20240003904A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Raw material split cvd mask assembly for thin film process
KR20240003908A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Mask assembly for thin flim processing for large-area integrated mask with multi division sheet and method thereof
KR20240003907A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Variable raw material division open mask assembly for thin flim processing and method thereof
KR20240003890A (en) 2022-07-04 2024-01-11 위폼스 주식회사 Raw material division open mask assembly capable of modulating position of interstitial sheet

Also Published As

Publication number Publication date
KR102177784B1 (en) 2020-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20150071321A (en) Open mask assembly
JP7328203B2 (en) mask
KR102281845B1 (en) Apparatus for supporting display panel
CN104428439B (en) Mask unit and evaporation coating device
KR102000718B1 (en) Mask assembly for thin film vapor deposition and manufacturing method thereof
RU2597033C1 (en) Device with turntable sections
TWI628300B (en) Deposition device and mask assembly applied thereto
US20150114297A1 (en) Vapor deposition device
EP3594377B1 (en) Mask assembly, deposition apparatus having the same, and method of fabricating display device using the same
US20140158044A1 (en) Mask assembly for thin film vapor deposition and manufacturing method thereof
CN105586568B (en) A kind of mask plate framework module, evaporation coating method, array base palte
CN101946314A (en) Method and device for conveying and rotating impact-sensitive panels in ultra clean rooms
KR20110046272A (en) Organic EL device manufacturing apparatus and manufacturing method thereof, film forming apparatus and film forming method
TW201420785A (en) Mask strips and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
CN207159336U (en) A kind of mask plate
KR20170127597A (en) Display device
KR102126515B1 (en) Manufacturing apparatus and method of mask assembly
KR20140124997A (en) Apparatus for depositing organic film on substrate
KR101025517B1 (en) In-line deposition apparatus using speed buffer chamber
US9564590B2 (en) Variable mask
KR100661299B1 (en) System for manufacturing multi-layered thin film
US20180151851A1 (en) Roll-to-roll substrate deposition apparatus
CN109449315B (en) Display mother board, preparation method thereof and display substrate
CN110656305B (en) Deposition apparatus
KR20090108498A (en) Apparatus for preventing substrate from bending

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant