KR20230151268A - Method for fabricating oled mask frame - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 마스크 프레임 제조에 있어서, 사각의 마스크 프레임을 이루는 4개의 금속바와 4개 금속바가 사각형의 틀 모양이 되도록 각 모서리에서 연결되는 금속바를 지지하는 보조블럭을 제작하고, 금속바상 서로 다른 금속바가 접촉되는 접촉면으로부터 일정 영역의 접촉부에 경사진 절삭면을 형성하며, 보조블럭을 이용하여 4개의 금속바가 절삭면이 서로 연결되면서 사각형 틀을 이루도록 예비 프레임를 형성한 후, 진공 챔버에서 접촉부상 접촉라인과 절삭면을 전자빔 용접하여 4개의 금속바를 사각형 형태가 되도록 상호 접합시킴으로서, 내구성 높은 마스크 프레임을 형성하고 마스크 프레임을 제작하는데 낭비되는 재료를 최소화시킬 수 있도록 한다.According to one embodiment of the present invention, in manufacturing an OLED mask frame, four metal bars forming a square mask frame and an auxiliary block are manufactured to support the metal bars connected at each corner so that the four metal bars form a square frame shape. , An inclined cutting surface is formed in a certain area from the contact surface where different metal bars are in contact with each other. Using an auxiliary block, a preliminary frame is formed so that the cutting surfaces of four metal bars are connected to each other to form a square frame, and then vacuum. By electron beam welding the contact line and cutting surface of the contact area in the chamber to bond the four metal bars to each other in a square shape, a highly durable mask frame can be formed and the material wasted in manufacturing the mask frame can be minimized.

Description

OLED 마스크 프레임 제조 방법{METHOD FOR FABRICATING OLED MASK FRAME}OLED mask frame manufacturing method {METHOD FOR FABRICATING OLED MASK FRAME}

본 발명은 OLED 메탈마스크 제작시 사용되는 대면적 프레임 제작에 관한 것으로, 보다 상세하게는 사각의 마스크 프레임을 이루는 4개의 금속바와 4개 금속바가 사각형의 틀 모양이 되도록 각 모서리에서 연결되는 금속바를 지지하는 보조블럭을 제작하고, 금속바상 서로 다른 금속바가 접촉되는 접촉면으로부터 일정 영역의 접촉부에 경사진 절삭면을 형성하며, 보조블럭을 이용하여 4개의 금속바가 절삭면이 서로 연결되면서 사각형 틀을 이루도록 예비 프레임를 형성한 후, 진공 챔버에서 접촉부상 접촉라인과 절삭면을 전자빔 용접하여 4개의 금속바를 사각형 형태가 되도록 상호 접합시킴으로서 내구성 높은 마스크 프레임을 형성하고 마스크 프레임을 제작하는데 낭비되는 재료를 최소화시킬 수 있도록 하는 OLED 마스크 프레임 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to the production of a large-area frame used in the production of an OLED metal mask. More specifically, the four metal bars that form a square mask frame and the four metal bars support the metal bars connected at each corner to form a square frame. An auxiliary block is manufactured, and an inclined cutting surface is formed at a certain area from the contact surface where different metal bars are in contact. Using the auxiliary block, four metal bars are prepared so that the cutting surfaces are connected to each other to form a square frame. After forming the frame, the contact lines and cutting surfaces on the contact parts are electron beam welded in a vacuum chamber to bond four metal bars to each other in a square shape to form a highly durable mask frame and minimize wasted materials in manufacturing the mask frame. This relates to a method of manufacturing an OLED mask frame.

일반적으로, 유기 발광 표시 장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는, 텔레비젼, 모니터, 태 블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치 및 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. In general, organic light-emitting displays (OLEDs, Organic Light-Emitting Diodes) are widely used as display devices installed in televisions, monitors, tablet PCs, smartphones, smartwatches, and vehicle dashboards.

또한, OLED는 제조시 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 다수의 박막층을 적층하고 패터닝하는 박막 공정이 필요하고, 박막 공정은 각각 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하게 되며, 예컨대 화학적 기상증착(CVD, chemical vapor deposition), 스퍼터링 (sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 진공 증착(evaporation) 등이 포함된다.In addition, when manufacturing OLED, a thin film process is required to stack and pattern multiple thin film layers such as electrode layers, organic light emitting layers, and insulating films, and the thin film process uses a mask assembly each equipped with a corresponding pattern, such as chemical vapor deposition (chemical vapor deposition). Includes CVD (chemical vapor deposition), sputtering, ion plating, vacuum deposition, etc.

이러한 박막 공정에서 사용되는 마스크 조립체는, 통상적으로 상대적으로 튼튼한 구조의 금속 재질의 마스크 프레임상에 상대적으로 얇은 박막의 금속 마스크 시트를 접합한 구조를 가진다. 마스크 프레임의 경우 약 5 ~ 80 mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 전체적인 모양을 안정적으로 유지시키기 위한 지지체 기능을 한다. 마스크 시트는 약 0.01 ~ 5.00 mm 정도의 두께를 가지는 박막의 금속 시트이며, 증착시 이용될 마스크 패턴을 구비한다. 이러한 박막 공정용 마스크 조립체를 구성하는 마스크 시트 및 마스크 프레임은 예컨대 SUS420과 같은 스테인레스 또는 티타늄(Ti) 재질의 금속이나 인바합금(Invar-36 Alloy)과 같이 온도 변화에 따른 열팽창계수가 매우 작은 특수 금속을 이용하여 제조되고 있다.The mask assembly used in this thin film process typically has a structure in which a relatively thin metal mask sheet is bonded to a relatively strong metal mask frame. The mask frame is a frame structure in the form of a window or door frame with a thickness of approximately 5 to 80 mm and functions as a support to maintain the overall shape of the mask assembly stably. The mask sheet is a thin metal sheet with a thickness of approximately 0.01 to 5.00 mm and includes a mask pattern to be used during deposition. The mask sheet and mask frame that make up the mask assembly for this thin film process are, for example, stainless steel or titanium (Ti) metal such as SUS420, or special metal with a very small coefficient of thermal expansion according to temperature changes, such as Invar-36 Alloy. It is manufactured using .

또한 마스크 조립체에 요구되는 높은 정밀도 때문에, 마스크 조립체를 구성하는 부품들의 구조적 안정성은 필수 요건이며, 이를 위해 일반적으로 금속시트 뿐만 아니라 베이스 프레임도 전체 형상을 일체화된 형태로 제작하는 방식이 채용되고 있다. 다시 말해서, 먼저 원하는 베이스 프레임의 두께와 전체 크기를 가지는 평판 형태의 금속판을 하나 준비하고, 준비된 금속판의 내측을 절개하여 사각형의 폐루프 형상을 가지는 예비 프레임을 제작한다. In addition, because of the high precision required for the mask assembly, structural stability of the parts constituting the mask assembly is an essential requirement, and for this purpose, a method of manufacturing not only the metal sheet but also the base frame in an integrated form is generally adopted. In other words, first prepare a flat metal plate having the desired thickness and overall size of the base frame, then cut the inside of the prepared metal plate to produce a preliminary frame having a square closed loop shape.

그런 다음 예비 프레임의 표면을 다듬고, 장착홈 등의 필요한 구조물을 위한 패턴을 가공함으로써, 최종 마스크 프레임을 제작한다. The final mask frame is then manufactured by smoothing the surface of the preliminary frame and processing patterns for necessary structures such as mounting grooves.

그러나, 마스크 프레임을 제작하기 위한 재료는 매우 고가이기 때문에 종래 위와 같이 일체화된 형태로 제작되는 마스크 프레임의 경우, 제작 과정에서 금속판 전체 면적 중 남겨지는 사각형 틀 형상의 면적보다 상대적으로 매우 큰 면적에 해당하는 내측 영역이 절개되어 버려지게 되므로, 전체적으로 마스크 프레임 제조 비용이 매우 높게되는 문제점이 있었다.However, since the materials for manufacturing the mask frame are very expensive, the mask frame conventionally manufactured in an integrated form as above corresponds to an area that is relatively much larger than the area of the square frame shape left out of the total area of the metal plate during the manufacturing process. Since the inner area is cut and discarded, there is a problem that the overall cost of manufacturing the mask frame is very high.

대한민국 공개특허번호 제10-2015-0071321호(공개일자 2015년 06월 26일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2015-0071321 (publication date: June 26, 2015)

따라서, 본 발명의 목적은 OLED 마스크 프레임 제조에 있어서, 사각의 마스크 프레임을 이루는 4개의 금속바와 4개 금속바가 사각형의 틀 모양이 되도록 각 모서리에서 연결되는 금속바를 지지하는 보조블럭을 제작하고, 금속바상 서로 다른 금속바가 접촉되는 접촉면으로부터 일정 영역의 접촉부에 경사진 절삭면을 형성하며, 보조블럭을 이용하여 4개의 금속바가 절삭면이 서로 연결되면서 사각형 틀을 이루도록 예비 프레임를 형성한 후, 진공 챔버에서 접촉부상 접촉라인과 절삭면을 전자빔 용접하여 4개의 금속바를 사각형 형태가 되도록 상호 접합시킴으로서 내구성 높은 마스크 프레임을 형성하고 마스크 프레임을 제작하는데 낭비되는 재료를 최소화시킬 수 있도록 하는 OLED 마스크 프레임 제조 방법을 제공하는 것이다.Therefore, the purpose of the present invention is to manufacture an OLED mask frame, to manufacture four metal bars forming a square mask frame and an auxiliary block to support the metal bars connected at each corner so that the four metal bars form a square frame, and to manufacture the metal bar. An inclined cutting surface is formed at a certain area from the contact surface where different metal bars are in contact. Using an auxiliary block, a preliminary frame is formed so that the cutting surfaces of four metal bars are connected to each other to form a square frame, and then the cutting surfaces are formed in a vacuum chamber. Provides an OLED mask frame manufacturing method that forms a highly durable mask frame and minimizes the material wasted in manufacturing the mask frame by bonding four metal bars to each other in a square shape by electron beam welding the contact line and cutting surface of the contact area. It is done.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다. The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention that are not mentioned can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Additionally, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention can be realized by the means and combinations thereof indicated in the patent claims.

본 발명에 따른 OLED 마스크 프레임 제조 방법은, 제1폭과 제1길이와 제1두께를 가지는 일자형의 제1금속바와 제2금속바를 제작하는 단계와, 제2폭과 제2길이와 제2두께를 가지는 일차형의 제3금속바와 제4금속바를 제작하는 단계와, 내부의 각도가 90도이며 제1두께보다 얇은 제3두께를 가지는 꺽쇠 형태의 4개의 모서리 정렬블록을 제작하는 단계와, 모서리 정렬블록을 마스크 프레임을 이루는 사각형의 4군데 모서리에 배치하고 각 금속바를 사각형 형태로 배치하여 예비 프레임을 형성하는 단계와, 예비 프레임을 형성한 각 금속바가 접촉된 접촉면의 접촉라인 일부를 가접하는 단계와, 가접된 예비 프레임상 각 금속바의 접촉라인 전체를 진공 챔버에서 전자빔 용접을 수행하여 마스크 프레임을 제작하는 단계를 포함할 수 있다.The OLED mask frame manufacturing method according to the present invention includes the steps of manufacturing a straight first metal bar and a second metal bar having a first width, a first length, and a first thickness, and the second width, the second length, and the second thickness. A step of manufacturing a primary-type third metal bar and a fourth metal bar having a step of manufacturing a four-corner alignment block in the shape of a bracket having an internal angle of 90 degrees and a third thickness thinner than the first thickness, and a corner Forming a preliminary frame by placing alignment blocks at the four corners of the square forming the mask frame and arranging each metal bar in a square shape, and tack welding a portion of the contact line of the contact surface where each metal bar forming the preliminary frame is in contact. It may include manufacturing a mask frame by performing electron beam welding on the entire contact line of each metal bar on the tack-welded preliminary frame in a vacuum chamber.

또한, 상기 예비 프레임을 형성하는 단계는, 모서리 정렬블록의 위치 조절이 가능한 평판의 베이스판넬 상에서 상기 마스크 프레임의 모양에 대응되게 각 모서리 정렬블록의 위치를 조절하는 단계와, 상기 위치 조절된 모서리 정렬블록의 내부공간상 사각형 틀의 각 변에 각 금속바를 위치시켜 모서리 정렬블록에 의해 각 모서리가 지지되는 사각형 틀의 예비 프레임을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, forming the preliminary frame includes adjusting the position of each corner alignment block to correspond to the shape of the mask frame on a base panel of a flat plate capable of adjusting the position of the corner alignment block, and aligning the adjusted edge. It may include the step of forming a preliminary frame of a square frame in which each corner is supported by a corner alignment block by placing each metal bar on each side of the square frame in the internal space of the block.

또한, 각 금속바는, 예비 프레임상 접촉되는 다른 금속바와 접촉되는 접촉면으로부터 정의되는 일정 영역의 접촉부상 특정 경사각을 가지는 절삭면이 상부와 하부에 각각 형성되며, 전자비 용접시 두 개의 절삭면이 이루는 절삭홈이 채워지도록 용접될 수 있다.In addition, each metal bar has a cutting surface with a specific inclination angle formed on the upper and lower parts of the contact area in a certain area defined from the contact surface in contact with another metal bar in contact with the preliminary frame, and two cutting surfaces are formed during electronic non-welding. It can be welded so that the cutting groove forming it is filled.

또한, 각 모서리 정렬블록의 제3두께는, 접촉라인 중 각 금속바의 측면에 형성된 측면 접촉라인상 절삭면이 만나는 제1 위치보다 낮게 위치되는 두께로 결정되며, 상기 가접하는 단계에서, 상기 측면 접촉라인상 제1 위치와 모서리 보조 블록이 위치한 제2 위치 사이에서 아크 용접에 의해 두 개의 접촉된 금속바를 가접시킬 수 있다.In addition, the third thickness of each corner alignment block is determined as a thickness located lower than the first position where the cutting surfaces meet on the side contact line formed on the side of each metal bar among the contact lines, and in the tack welding step, the side contact line Two contact metal bars can be tack-welded by arc welding between a first position on the contact line and a second position where the corner auxiliary block is located.

또한, 상기 제조 방법은, 상기 마스크 프레임을 제작하는 단계이 후, 상기 마스크 프레임에 대해 표면가공과 두께가공을 수행하는 후가공 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the manufacturing method may further include a post-processing step of performing surface processing and thickness processing on the mask frame after manufacturing the mask frame.

본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 마스크 프레임 제조에 있어서, 사각의 마스크 프레임을 이루는 4개의 금속바와 4개 금속바가 사각형의 틀 모양이 되도록 각 모서리에서 연결되는 금속바를 지지하는 보조블럭을 제작하고, 금속바상 서로 다른 금속바가 접촉되는 접촉면으로부터 일정 영역의 접촉부에 경사진 절삭면을 형성하며, 보조블럭을 이용하여 4개의 금속바가 절삭면이 서로 연결되면서 사각형 틀을 이루도록 예비 프레임를 형성한 후, 진공 챔버에서 접촉부상 접촉라인과 절삭면을 전자빔 용접하여 4개의 금속바를 사각형 형태가 되도록 상호 접합시킴으로서, 내구성 높은 마스크 프레임을 형성하고 마스크 프레임을 제작하는데 낭비되는 재료를 최소화시킬 수 있도록 한다.According to one embodiment of the present invention, in manufacturing an OLED mask frame, four metal bars forming a square mask frame and an auxiliary block are manufactured to support the metal bars connected at each corner so that the four metal bars form a square frame shape. , An inclined cutting surface is formed in a certain area from the contact surface where different metal bars are in contact with each other. Using an auxiliary block, a preliminary frame is formed so that the cutting surfaces of four metal bars are connected to each other to form a square frame, and then vacuum. By electron beam welding the contact line and cutting surface of the contact area in the chamber to bond the four metal bars to each other in a square shape, a highly durable mask frame can be formed and the material wasted in manufacturing the mask frame can be minimized.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다. In addition to the above-described effects, specific effects of the present invention are described below while explaining specific details for carrying out the invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 흐름도이다.
도 2 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 가접단계를 설명하는 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 가접된 예비 프레임의 접합라인의 구성을 보여주는 부분 확대도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 접합된 금속바의 단면 예시도이도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 모서리 정렬블록을 이용한 예비 프레임 형성을 설명하는 개략도이다.
1 is a flowchart of a mask frame manufacturing process for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic diagram illustrating a tack welding step during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a partial enlarged view showing the configuration of a joint line of a preliminary frame tack-welded during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view of a metal bar bonded during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a schematic diagram illustrating the formation of a preliminary frame using corner alignment blocks during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 동작 원리를 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the operating principle of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In the following description of the present invention, if a detailed description of a known function or configuration is judged to unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. The terms described below are defined in consideration of the functions in the present invention, and may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 흐름도이다.1 is a flowchart of a mask frame manufacturing process for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.

도 2 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 가접단계를 설명하는 개략도이다.Figure 2 is a schematic diagram illustrating a tack welding step during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 가접된 예비 프레임의 접합라인의 구성을 보여주는 부분 확대도이다.Figure 3 is a partial enlarged view showing the configuration of a joint line of a preliminary frame tack-welded during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 접합된 금속바의 단면 예시도이도.Figure 4 is a cross-sectional view of a metal bar bonded during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정 중 모서리 정렬블록을 이용한 예비 프레임 형성을 설명하는 개략도이다.Figure 5 is a schematic diagram illustrating the formation of a preliminary frame using corner alignment blocks during the manufacturing process of a mask frame for a mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention.

이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 박막 공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임 제조 과정을 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the mask frame manufacturing process for the mask assembly for thin film processing according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 5.

먼저, 마스크 프레임을 제작할 4개의 일자형 금속바(210, 212, 230, 232)를 제작한다(S110).First, four straight metal bars (210, 212, 230, 232) to create a mask frame are manufactured (S110).

이러한 금속바 중 마스크 프레임(330)의 장변을 이루는 제1 금속바(210)와 제2 금속바(212), 그리고, 마스크 프레임(330)의 단변을 이루는 제3 금속바(230)와 제4 금속바(232)를 포함할 수 있다. 이때, 각 금속바(210, 212, 230, 232)는 스테인레스, 티타늄계 또는 니켈계 합금과 같이 저열 팽창성 금속 재질인 것이 바람직하며, 예컨대 종래에 일체형 마스크 프레임을 제작할 때 사용되고 있었던 금속판을 일자형으로 절단하는 것으로 쉽게 제작될 수 있다. Among these metal bars, the first metal bar 210 and the second metal bar 212 form the long side of the mask frame 330, and the third metal bar 230 and the fourth metal bar form the short side of the mask frame 330. It may include a metal bar 232. At this time, each metal bar 210, 212, 230, 232 is preferably made of a low thermal expansion metal such as stainless steel, titanium-based, or nickel-based alloy. For example, the metal plate conventionally used to manufacture an integrated mask frame is cut straight. It can be easily manufactured by doing this.

또한, 예를 들어 제1 금속바와 제2 금속바는 제1폭과 제1길이와 제1두께를 가지며, 제3금속바와 제4금속바는 제2폭과 제2길이와 제2두께를 가질 수 있으며, 제1폭과 제2폭은 동일하고, 제1두깨와 제2두께도 동일하게 제작될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 금속바의 폭, 길이, 두께는 마스크 프레임의 크기나 사용처에 따라 다양한 치수를 가질 수 있다.Also, for example, the first metal bar and the second metal bar have a first width, a first length, and a first thickness, and the third metal bar and the fourth metal bar have a second width, a second length, and a second thickness. The first width and the second width can be manufactured to be the same, and the first thickness and the second thickness can also be manufactured to be the same, but are not limited to this. Additionally, the width, length, and thickness of each metal bar may have various dimensions depending on the size of the mask frame or its intended use.

또한, 예를 들어 마스크 조립체용 마스크 프레임의 사각형 틀 형상을 4개의 금속바를 결합하여 제조할 때, 각 금속바의 치수는 예컨대 두께 20 ~ 70mm, 폭 90 ~ 500mm, 길이 500 ~ 4,000mm의 범위일 수 있다. 이러한 금속바 4개를 결합하여 제조한 마스크 프레임의 두께는 금속바의 두께와 마찬가지로 20 ~ 70mm가 될 수 있으며, 마스크 프레임의 폭과 길이는 금속바의 길이에 대응하여 각각 500 ~ 4,000mm일 수 있다. 여기서, 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면, 이들 금속바를 결합하여 제조하는 마스크 프레임의 크기가 크면 클수록, 마스크 프레임 내에 형성되는 개구부의 크기도 마찬가지로 커지게 되므로, 종래 마스크 프레임을 일체형으로 제작하는 경우와 비교하여 마스크 프레임 제작 시 재료 절감 효과가 더 커질 수 있음이 자명할 것이다.In addition, for example, when manufacturing the square frame shape of a mask frame for a mask assembly by combining four metal bars, the dimensions of each metal bar range from, for example, 20 to 70 mm in thickness, 90 to 500 mm in width, and 500 to 4,000 mm in length. You can. The thickness of the mask frame manufactured by combining four such metal bars can be 20 to 70 mm, similar to the thickness of the metal bars, and the width and length of the mask frame can be 500 to 4,000 mm, respectively, corresponding to the length of the metal bars. there is. Here, those skilled in the art will know that the larger the size of the mask frame manufactured by combining these metal bars, the larger the size of the opening formed in the mask frame is, so the conventional mask frame is manufactured as an integrated piece. It will be obvious that the material saving effect can be greater when manufacturing a mask frame compared to the case of making a mask frame.

또한, 각 금속바는 도 3, 도 4에서 보여지는 바와 같이 예비 프레임상 접촉되는 다른 금속바와 접촉되는 접촉면으로부터 정의되는 일정 영역의 접촉부(450)상 특정 경사각을 가지는 절삭면(462)이 상부와 하부에 각각 형성되며, 전자빔 용접시 두 개의 절삭면이 이루는 절삭홈이 채워지도록 용접되도록 하여 금속바간 접합 내구성을 보다 높일 수 있도록 한다. In addition, as shown in FIGS. 3 and 4, each metal bar has a cutting surface 462 with a specific inclination angle on the contact portion 450 of a certain area defined from the contact surface in contact with another metal bar in contact with the preliminary frame. They are each formed at the bottom, and are welded so that the cutting grooves formed by the two cutting surfaces are filled during electron beam welding, thereby improving the durability of the joint between metal bars.

이러한 전자빔 용접 후 접촉부상 용접부(482)가 금속바의 상하부 표면과 동일 평면을 이루도록 연마될 수 있다.After such electron beam welding, the welded portion 482 on the contact portion may be polished to form the same plane as the upper and lower surfaces of the metal bar.

또한, 접촉부(450)는 도 4에서 보여지는 바와 같이 제1 금속바(210)와 제2 금속바(212)의 경우 하부가 하프식각(half etching)되고, 제3 금속바(230)와 제4 금속바(232)의 경우 상부가 하프 식각되어 금속바간 예비 프레임 정렬이 보다 용이하도록 할 수 있으며, 전자빈 용접 후 금속바간 접촉면에서의 결합력을 보다 높일 수 있도록 할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4, the contact portion 450 is half-etched at the bottom of the first metal bar 210 and the second metal bar 212, and the bottom of the contact portion 450 is half-etched for the third metal bar 230 and the second metal bar 212. 4 In the case of the metal bar 232, the upper part is half-etched to facilitate alignment of the preliminary frame between the metal bars, and the bonding force at the contact surface between the metal bars can be further increased after electron blank welding.

다음으로, 4개의 일자형 금속바를 접합하는 과정에서 보조로 사용되는 모서리 정렬블록(254)을 제작한다(S112). Next, a corner alignment block 254, which is used as an aid in the process of joining four straight metal bars, is manufactured (S112).

이러한 모서리 정렬블록(254)은 도 2에서 보여지는 바와 같이 내부의 각도가 90도이며 제1두께보다 얇은 제3두께를 가지는 꺽쇠 형상으로 제작될 수 있으며, 금속바(210, 212, 230, 232)와 동일한 재질의 금속으로 구성되는 것이 바람직 하다. As shown in FIG. 2, this corner alignment block 254 can be manufactured in a bracket shape with an internal angle of 90 degrees and a third thickness thinner than the first thickness, and the metal bars 210, 212, 230, and 232 ) is preferably made of the same metal as that of the

또한, 모서리 정렬블록은 각 금속바를 사각형 틀 모양으로 정렬하여 예비 프레임을 형성할 때 각 금속바의 모서리에 배치되어 각 금속바를 이용한 사각형 틀 모양의 정렬이 용이하도록 할 수 있다.In addition, the corner alignment block can be placed at the corner of each metal bar when forming a preliminary frame by aligning each metal bar into a square frame shape to facilitate alignment of the square frame shape using each metal bar.

또한, 모서리 정렬블록은 금속바의 제1두께, 제2두께보다 얇은 제3두께로 제작될 수 있다. 이에 따라 금속바를 모서리 정렬블록을 이용하여 예비 프레임을 생성한 후 예비 프레임상 각 금속바가 접촉된 접촉면의 접촉라인(452)상 측면 일부를 가접하는 경우 모서리 정렬블록에 의해 접촉라인의 측면이 모두 가려지는 것을 방지시키며, 가접시 모서리 정렬블록(452)이 금속바와 함께 가접되지 않음으로써 모서리 정렬블록을 재활용하여 사용하는 것이 가능하다. Additionally, the corner alignment block may be manufactured with a third thickness that is thinner than the first and second thicknesses of the metal bar. Accordingly, when a preliminary frame is created using a corner alignment block of a metal bar and then a part of the side of the contact line 452 of the contact surface where each metal bar is in contact on the preliminary frame is tack-welded, all sides of the contact line are covered by the corner alignment block. This prevents damage, and since the corner alignment block 452 is not tack-welded with the metal bar during tack welding, it is possible to recycle and use the corner alignment block.

또한 모서리 정렬블록(254)은, 금속바와 유사하게, 예를 들어 종래에 일체형 마스크 프레임을 제작할 때 사용되고 있었던 금속판을 절단하여 제작하거나, 또는 금속판을 절단하여 금속바를 제작하는 과정에서 발생하는 자투리 부분을 이용하여 제작될 수 있다.In addition, the corner alignment block 254, similar to a metal bar, is manufactured by cutting a metal plate that has been conventionally used to manufacture an integrated mask frame, for example, or by cutting off scraps generated in the process of manufacturing a metal bar by cutting a metal plate. It can be produced using

이어, 모서리 정렬블록(254)을 마스크 프레임(330)을 이루는 사각형의 4군데 모서리에 배치하고 각 금속바를 사각형 형태로 배치하여 예비 프레임을 형성하고(S114), 예비 프레임을 형성한 각 금속바가 접촉된 접촉면의 접촉라인 일부를 가접한다(S116).Next, the corner alignment blocks 254 are placed at the four corners of the square forming the mask frame 330, and each metal bar is arranged in a square shape to form a preliminary frame (S114), and each metal bar forming the preliminary frame is in contact. Tack weld part of the contact line of the contact surface (S116).

이때, 도 3에서 보여지는 바와 같이 예비 프레임상 각 금속바를 가접하는 단계에서 접촉라인상 모서리 정렬블록의 상부에 위치한 측면 일부를 가접하게 된다.At this time, as shown in FIG. 3, in the step of tack welding each metal bar on the preliminary frame, a portion of the side surface located on the upper part of the corner alignment block on the contact line is tack welded.

이러한 가접단계에서는 예를 들어 평평한 지그상에서 4개의 금속바 각각의 양단에서 상호 접촉시켜 접합라인(452)을 형성하고, 사각형 틀 모양의 예비 프레임상 각 모서리에 모서리 정렬블록을 배치하여 접합라인이 이탈되지 않도록 지지한 상태에서 가접이 수행될 수 있다. In this tack welding step, for example, a joint line 452 is formed by contacting each other at both ends of four metal bars on a flat jig, and corner alignment blocks are placed at each corner of a rectangular preliminary frame to prevent the joint line from deviating. Tack welding can be performed in a state where it is supported to prevent damage.

이러한 가접(372)은 접합라인 양측의 금속바 2개를 아크용접하는 방식으로 수행될 수 있다. 가접 강도는, 추후 예비 프레임을 진공 챔버로 이송한 후, 진공챔버내에서 전자빔 용접을 수행하여 마스크 프레임으로 제작하게 될 때, 예비프레임의 형상을 유지시키는 정도일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.This tack welding 372 can be performed by arc welding two metal bars on both sides of the joint line. The tack strength may be sufficient to maintain the shape of the preliminary frame when the preliminary frame is later transferred to a vacuum chamber and then manufactured into a mask frame by performing electron beam welding within the vacuum chamber, but is not limited to this.

또한, 예비 프레임을 형성하는 단계에서는 도 5에서 보여지는 바와 같이 예를 들어 모서리 정렬블록(254)의 위치 조절이 가능한 평판의 베이스 판넬(520) 상에서 마스크 프레임의 모양에 대응되게 각 모서리 정렬블럭의 위치를 조절한 후, 위치 조절된 모서리 정렬블럭의 내부공간(555)상 사각형 틀의 각 변에 각 금속바를 위치시켜 모서리 정렬블록에 의해 각 모서리가 지지되는 사각형 틀의 예비 프레임을 형성할 수도 있다. In addition, in the step of forming a preliminary frame, as shown in FIG. 5, for example, each corner alignment block is aligned to correspond to the shape of the mask frame on a flat base panel 520 where the position of the corner alignment block 254 can be adjusted. After adjusting the position, each metal bar can be placed on each side of the square frame in the inner space 555 of the position-adjusted corner alignment block to form a preliminary frame of the square frame with each corner supported by the corner alignment block. .

다음으로, 가접된 예비 프레임상 각 금속바의 접촉라인(452) 전체를 진공 챔버에서 전자빔 용접을 수행한다(S118).Next, electron beam welding is performed on the entire contact line 452 of each metal bar on the tack-welded preliminary frame in a vacuum chamber (S118).

이때, 전자빔 용접 단계(103)는, 가접된 예비프레임을 진공챔버로 이송하여 전자빔 용접을 실시함으로써 4개의 금속바(1)가 4개의 접합라인에서 상호 접합되도록 하는 단계이다.At this time, the electron beam welding step 103 is a step in which the tack-welded preliminary frame is transferred to a vacuum chamber and electron beam welding is performed so that the four metal bars 1 are joined to each other at four joining lines.

일반적으로 전자빔 용접(Electron Beam Welding, EBW)은 이빔용점(E-beam welding)이라고도 하며, 전자빔 발생 기에서 방출된 높은 운동에너지를 가지는 전자빔을 용접 작업물에 충돌시킴으로써 용접 작업물이 용융되어 서로 접합되도록 하는 기술이다. 이러한 전자빔 용접은 대단히 높은 에너지 밀도와 용접효율을 가지며, 모재에 발행 하는 변형도 매우 적다는 장점을 가지지만, 제작비용이 고가이고 진공챔버 등 작업환경이 제한적이라는 한계가 있다. 그러나 본 발명의 적용 분야인 증착공정용 마스크 조립체를 위한 마스크 프레임의 제조 분야는 고가의 금 속 재료를 사용하고 있기 때문에, 전자빔 용접을 도입함에 의해 절감되는 금속 재료의 비용을 고려할 때, 전자 빔 용접 방식을 이용하는 것이 오히려 전체적으로 마스크 프레임의 제조 비용을 절감시킬 수 있게된다.In general, Electron Beam Welding (EBW) is also called E-beam welding. Electron beams with high kinetic energy emitted from an electron beam generator collide with the welded workpiece to melt and join the workpiece. It is a technology that makes it possible. This type of electron beam welding has the advantage of having extremely high energy density and welding efficiency and very little deformation of the base material, but it has limitations such as high manufacturing cost and limited working environments such as vacuum chambers. However, since the manufacturing field of the mask frame for the mask assembly for the deposition process, which is the field of application of the present invention, uses expensive metal materials, considering the cost of metal materials reduced by introducing electron beam welding, electron beam welding is preferred. Using this method can actually reduce the overall manufacturing cost of the mask frame.

전자빔 용접이 완료되면, 용접된 예비프레임에 대해 표면가공 및 두께가공 등의 후가공을 수행한다(S120). 표면가공에서는 용접된 예비 프레임에서 용접부(482) 부분을 다른 표면 부분과 맞추어 평평하게 되도록 깍아내고, 또한 전체 표면을 설계 치수까지 깍아내어 다듬어서 매끈하고 일정한 두께를 가지는 사각형 틀 모양의 마스크 프레임(330)을 제작할 수 있다.When electron beam welding is completed, post-processing such as surface processing and thickness processing is performed on the welded preliminary frame (S120). In surface processing, the welded portion 482 of the welded preliminary frame is shaved off to be flat to match other surface portions, and the entire surface is chipped and trimmed to the design size to create a square-shaped mask frame 330 with a smooth and constant thickness. can be produced.

또한, 두께가공은 표면가공된 예비프레임에 장착홈(도시하지 않음)과 같은 구조물을 제작하기 위해 두께 작업하는 가공을 의미할 수 있다.In addition, thickness processing may refer to processing to produce a structure such as a mounting groove (not shown) on a surface-processed preliminary frame.

위와 같은 후가공을 통해 최종 완성된 마스크 프레임은, 비록 모서리 부분이 전자빔 용접에 의해 접합되어 제조된 것이지만, 종래에 일체형으로 만들어지는 경우에 비하여 품질의 차이가 전혀 없고, 전체 구조에서 매우 균일한 금속학적 물성을 가질 수 있다. Although the mask frame finally completed through the above post-processing was manufactured by joining the edges by electron beam welding, there was no difference in quality compared to the case where it was made as a single piece in the past, and the metallurgy was very uniform throughout the entire structure. It can have physical properties.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 마스크 프레임 제조에 있어서, 사각의 마스크 프레임을 이루는 4개의 금속바와 4개 금속바가 사각형의 틀 모양이 되도록 각 모서리에서 연결되는 금속바를 지지하는 보조블럭을 제작하고, 금속바상 서로 다른 금속바가 접촉되는 접촉면으로부터 일정 영역의 접촉부에 경사진 절삭면을 형성하며, 보조블럭을 이용하여 4개의 금속바가 절삭면이 서로 연결되면서 사각형 틀을 이루도록 예비 프레임를 형성한 후, 진공 챔버에서 접촉부상 접촉라인과 절삭면을 전자빔 용접하여 4개의 금속바를 사각형 형태가 되도록 상호 접합시킴으로서, 내구성 높은 마스크 프레임을 형성하고 마스크 프레임을 제작하는데 낭비되는 재료를 최소화시킬 수 있도록 한다.As described above, according to one embodiment of the present invention, in manufacturing an OLED mask frame, four metal bars forming a square mask frame and supporting metal bars connected at each corner so that the four metal bars form a square frame shape An auxiliary block is manufactured, and an inclined cutting surface is formed in a certain area from the contact surface where different metal bars are in contact. Using the auxiliary block, a preliminary frame is made so that the cutting surfaces of the four metal bars are connected to each other to form a square frame. After forming, the contact line and cutting surface of the contact part are electron beam welded in a vacuum chamber to bond the four metal bars to each other in a square shape to form a highly durable mask frame and minimize the material wasted in manufacturing the mask frame. do.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrative drawings, but the present invention is not limited to the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that transformation can occur. In addition, although the operational effects according to the configuration of the present invention were not explicitly described and explained while explaining the embodiments of the present invention above, it is natural that the predictable effects due to the configuration should also be recognized.

210 : 제1금속바 212 : 제2금속바
230 : 제3금속바 232 : 제4금속바
254 : 모서리 정렬블록 330 : 마스크 프레임
450 : 접촉부 452 : 접촉라인
482 : 용접부
210: first metal bar 212: second metal bar
230: Third metal bar 232: Fourth metal bar
254: Corner alignment block 330: Mask frame
450: contact part 452: contact line
482: welding part

Claims (5)

OLED 마스크 프레임 제조 방법으로서,
제1폭과 제1길이와 제1두께를 가지는 일자형의 제1금속바와 제2금속바를 제작하는 단계와,
제2폭과 제2길이와 제2두께를 가지는 일차형의 제3금속바와 제4금속바를 제작하는 단계와,
내부의 각도가 90도이며 제1두께보다 얇은 제3두께를 가지는 꺽쇠 형태의 4개의 모서리 정렬블록을 제작하는 단계와,
모서리 정렬블록을 마스크 프레임을 이루는 사각형의 4군데 모서리에 배치하고 각 금속바를 사각형 형태로 배치하여 예비 프레임을 형성하는 단계와,
예비 프레임을 형성한 각 금속바가 접촉된 접촉면의 접촉라인 일부를 가접하는 단계와,
가접된 예비 프레임상 각 금속바의 접촉라인 전체를 진공 챔버에서 전자빔 용접을 수행하여 마스크 프레임을 제작하는 단계
를 포함하는 OLED 마스크 프레임 제조방법.
As a method of manufacturing an OLED mask frame,
Manufacturing a straight first metal bar and a second metal bar having a first width, a first length, and a first thickness;
Manufacturing a third metal bar and a fourth metal bar of a primary type having a second width, a second length, and a second thickness;
Manufacturing four corner-shaped alignment blocks with an internal angle of 90 degrees and a third thickness that is thinner than the first thickness;
Forming a preliminary frame by placing corner alignment blocks at the four corners of the square forming the mask frame and arranging each metal bar in a square shape;
A step of tack welding a portion of the contact line of the contact surface where each metal bar forming the preliminary frame is in contact;
A step of manufacturing a mask frame by performing electron beam welding on the entire contact line of each metal bar on the tack-welded preliminary frame in a vacuum chamber.
OLED mask frame manufacturing method comprising.
제 1 항에 있어서,
상기 예비 프레임을 형성하는 단계는,
모서리 정렬블록의 위치 조절이 가능한 평판의 베이스판넬 상에서 상기 마스크 프레임의 모양에 대응되게 각 모서리 정렬블록의 위치를 조절하는 단계와,
상기 위치 조절된 모서리 정렬블록의 내부공간상 사각형 틀의 각 변에 각 금속바를 위치시켜 모서리 정렬블록에 의해 각 모서리가 지지되는 사각형 틀의 예비 프레임을 형성하는 단계를 포함하는 OLED 마스크 프레임 제조방법.
According to claim 1,
The step of forming the preliminary frame is,
Adjusting the position of each corner alignment block to correspond to the shape of the mask frame on a flat base panel capable of adjusting the position of the corner alignment block;
An OLED mask frame manufacturing method comprising forming a preliminary frame of a rectangular frame in which each corner is supported by the corner alignment blocks by positioning each metal bar on each side of the rectangular frame in the internal space of the position-adjusted corner alignment block.
제 2 항에 있어서,
각 금속바는,
예비 프레임상 접촉되는 다른 금속바와 접촉되는 접촉면으로부터 정의되는 일정 영역의 접촉부상 특정 경사각을 가지는 절삭면이 상부와 하부에 각각 형성되며, 전자비 용접시 두 개의 절삭면이 이루는 절삭홈이 채워지도록 용접되는 OLED 마스크 프레임 제조방법.
According to claim 2,
Each metal bar,
Cutting surfaces with a specific inclination angle are formed on the upper and lower parts of the contact area in a certain area defined from the contact surface in contact with another metal bar in contact with the preliminary frame, and welded so that the cutting groove formed by the two cutting surfaces is filled during electronic ratio welding. OLED mask frame manufacturing method.
제 3 항에 있어서,
각 모서리 정렬블록의 제3두께는,
접촉라인 중 각 금속바의 측면에 형성된 측면 접촉라인상 절삭면이 만나는 제1 위치보다 낮게 위치되는 두께로 결정되며,
상기 가접하는 단계에서,
상기 측면 접촉라인상 제1 위치와 모서리 보조 블록이 위치한 제2 위치 사이에서 아크 용접에 의해 두 개의 접촉된 금속바를 가접시키는 단계인 OLED 마스크 프레임 제조방법.
According to claim 3,
The third thickness of each corner alignment block is,
It is determined by the thickness located lower than the first position where the cutting surfaces meet on the side contact line formed on the side of each metal bar among the contact lines,
In the tack welding step,
A method of manufacturing an OLED mask frame, which is a step of tack welding two contact metal bars by arc welding between a first position on the side contact line and a second position where the corner auxiliary block is located.
제 1 항에 있어서,
상기 제조 방법은,
상기 마스크 프레임을 제작하는 단계이 후,
상기 마스크 프레임에 대해 표면가공과 두께가공을 수행하는 후가공 단계를 더 포함하는 OLED 마스크 프레임 제조방법.
According to claim 1,
The manufacturing method is,
After the step of manufacturing the mask frame,
An OLED mask frame manufacturing method further comprising a post-processing step of performing surface processing and thickness processing on the mask frame.
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