KR20230151273A - Oled metal mask multi-step vertical coating method - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판용 OLED 메탈 마스크에 대한 산화막 코팅 방법에 있어서, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하기 전에 원자재 분할 시트의 접합면과 틈새시트와 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 대한 코팅을 별도의 1차 또는 2차의 사전 코팅을 수행하고, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합한 상태에서 전체 영역에 대한 메인 코팅을 수행하여 코팅의 신뢰성을 높일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the method of coating an oxide film on an OLED metal mask for a large-area 8th generation full-size glass substrate created by bonding a plurality of split sheets of raw materials in the OLED manufacturing process, the plurality of split sheets of raw materials are bonded. Before joining the split ledger pattern sheet created by doing so to the mask frame, a separate first or second pre-coating is performed on the joint surface of the raw material split sheet and the joint surface of the gap sheet and the split ledger pattern sheet, and then split. The reliability of coating can be increased by performing main coating on the entire area while the original pattern sheet is bonded to the mask frame.
Description
본 발명은 박막 공정용 마스크에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 제조 공정에서 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판용 OLED 메탈 마스크에 대한 산화막 코팅 방법에 있어서, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하기 전에 원자재 분할 시트의 접합면과 틈새시트와 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 대한 코팅을 별도의 1차 또는 2차의 사전 코팅을 수행하고, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합한 상태에서 전체 영역에 대한 메인 코팅을 수행하여 코팅의 신뢰성을 높이며, 또한, 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 배치시킨 상태에서 진공 챔버의 양쪽면에 설치된 타겟을 통해 시트 양면에 대한 동시 코팅을 수행시켜 공정 수율을 높이고, 메인 코팅을 수행하는 챔버에서는 타겟이 일정 각도로 틸트되도록 설치하여 시트의 개구부상 테이퍼면에 대해서도 보다 신뢰성 높은 코팅이 이루어지도록 하는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mask for a thin film process, and more specifically, to a method of coating an oxide film on an OLED metal mask for a large-area 8th generation full-size glass substrate created by joining a plurality of split sheets of raw materials in the OLED manufacturing process. Before joining the split ledger pattern sheet created by joining the raw material split sheets to the mask frame, the joint surface of the raw material split sheet and the joint surface of the gap sheet and split ledger pattern sheet must be coated in a separate primary or secondary pre-coating process. Coating is performed, and the main coating is performed on the entire area while the split ledger pattern sheet is bonded to the mask frame to increase the reliability of the coating. Additionally, the split ledger pattern sheet is placed vertically using a ledger jig. Simultaneous coating on both sides of the sheet is performed through targets installed on both sides of the vacuum chamber to increase process yield, and in the chamber where the main coating is performed, the target is installed to be tilted at a certain angle, resulting in greater reliability for the tapered surface of the opening of the sheet. This relates to a multi-step vertical coating method for OLED metal masks that achieves high-quality coating.
일반적으로, OLED 제조 공정에서는 오픈 마스크와 FMM 마스크 등을 이용하여 유리기판내 각 셀에 OLED 디스플레이 동작을 위한 각종 유기물을 증착시킨 이후에는 각 셀을 인캡슐레이션하고 커팅하여 하나의 OLED 디스플레이 소자로 활용될 수 있도록 하고 있다.Generally, in the OLED manufacturing process, various organic materials for OLED display operation are deposited on each cell in the glass substrate using an open mask and FMM mask, and then each cell is encapsulated and cut to be used as a single OLED display device. We are making it possible.
위와 같은 인캡?㎎뮌抉퓽? 재질은 금속, 유리, 얇은 막 또는 막질 등이 사용될 수 있으며, 최근 들어서는 얇은 막 또는 막질을 이용한 인캡슐레이션 방식이 크게 증가하고 있다.Encap like above? Materials such as metal, glass, thin films or materials can be used, and recently, encapsulation methods using thin films or materials have been increasing significantly.
또한, 이러한 얇은 막 또는 막질을 이용한 인캡슐레이션 공정에서는 CVD용 마스크를 유리기판 인캡슐레이션이 필요한 영역에 정렬시킨 후, 인캡슐레이션에 사용될 물질을 CVD를 통해 유리기판상 얇은 막 또는 막질 형태로 증착시켜 인캡슐레이션을 형성하고 있다.In addition, in the encapsulation process using such a thin film or film material, the CVD mask is aligned to the area requiring encapsulation of the glass substrate, and then the material to be used for encapsulation is deposited in the form of a thin film or film material on the glass substrate through CVD. This forms an encapsulation.
이때, 위와 같이 CVD를 사용하는 인캡슐레이션 공정에서는 인캡슐레이션 공정전에 오픈 마스크, FMM 마스크 등의 패턴 시트와 마스크 프레임에 대한 산화막 코팅 공정이 이루어지게 되며, 일반적으로 진공 챔버에 산화알루미늄 등의 타겟을 설치하고 스퍼터링 공정을 통해 배출되는 타겟 재료의 원자를 패턴 시트와 마스크 프레임 등에 산화막 코팅을 수행하고 있다. At this time, in the encapsulation process using CVD as described above, an oxide film coating process is performed on pattern sheets such as open masks and FMM masks and mask frames before the encapsulation process, and targets such as aluminum oxide are generally placed in a vacuum chamber. is installed and the atoms of the target material discharged through the sputtering process are coated with an oxide film on pattern sheets and mask frames.
이러한 산화막 코팅 공정은 OLED 제조 공정에서 중요한 공정 중 하나로서, 패턴 시트와 마스크 프레임에 대한 산화막 코팅이 제대로 이루어지지 않는 경우 CVD 공정 중에 아킹이 발생하는 등 심각한 문제가 발생할 수 있기 때문이다. This oxide coating process is one of the important processes in the OLED manufacturing process, and if the oxide coating on the pattern sheet and mask frame is not performed properly, serious problems such as arcing may occur during the CVD process.
한편, OLED 박막 증착 공정을 위한 오픈 마스크 또는 FMM 등의 패턴 시트를 제작하는데 사용되는 원자재인 인바는 제조상 한계로 인해 최대폭이 1020~1040mm 범위로 제한되어 있다. Meanwhile, Invar, a raw material used to produce pattern sheets such as open masks or FMM for the OLED thin film deposition process, has a maximum width limited to the range of 1020 to 1040 mm due to manufacturing limitations.
그러나, 최근 들어 유리기판의 면적이 점차로 커지면서 현재는 8세대 풀사이즈까지 유리기판의 크기가 커짐에 따라 OLED 박막 공정용 오픈 마스크 등을 분할된 복수의 원자재를 접합하여 대면적 원장 마스크를 제작하는 방식이 제안되고 있으며, 이에 따라 CVD 공정전에 수행되는 OLED 메탈 마스크와 마스크 프레임에 대한 산화막 코팅 공정 또한 원자재 분할 방식으로 새로이 제작되는 대면적 오픈 마스크 등에 적용시키기 위한 새로운 방법이 필요하다.However, as the area of the glass substrate has gradually increased in recent years, currently up to the 8th generation full size, a large-area raw mask is manufactured by joining a plurality of divided raw materials such as an open mask for the OLED thin film process. is being proposed, and accordingly, a new method is needed to apply the oxide coating process on the OLED metal mask and mask frame, which is performed before the CVD process, to large-area open masks that are newly manufactured by splitting raw materials.
따라서, 본 발명의 목적은 OLED 제조 공정에서 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판용 OLED 메탈 마스크에 대한 산화막 코팅 방법에 있어서, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하기 전에 원자재 분할 시트의 접합면과 틈새시트와 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 대한 코팅을 별도의 1차 또는 2차의 사전 코팅을 수행하고, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합한 상태에서 전체 영역에 대한 메인 코팅을 수행하여 코팅의 신뢰성을 높이며, 또한, 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 배치시킨 상태에서 진공 챔버의 양쪽면에 설치된 타겟을 통해 시트 양면에 대한 동시 코팅을 수행시켜 공정 수율을 높이고, 메인 코팅을 수행하는 챔버에서는 타겟이 일정 각도로 틸트되도록 설치하여 시트의 개구부상 테이퍼면에 대해서도 보다 신뢰성 높은 코팅이 이루어지도록 하는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법을 제공하는 것이다.Therefore, the object of the present invention is a method of coating an oxide film on an OLED metal mask for a large-area 8th generation full-size glass substrate produced by joining a plurality of split sheets of raw materials in the OLED manufacturing process. Before joining one split ledger pattern sheet to the mask frame, a separate first or second pre-coating is performed on the joint surface of the raw material split sheet and the joint surface of the gap sheet and the split ledger pattern sheet, and the split ledger pattern sheet is The reliability of the coating is increased by performing main coating on the entire area while the sheet is bonded to the mask frame. In addition, targets installed on both sides of the vacuum chamber with the split ledger pattern sheet placed vertically using a ledger jig. OLED metal improves process yield by performing simultaneous coating on both sides of the sheet, and in the chamber where the main coating is performed, the target is installed to be tilted at a certain angle to enable more reliable coating even on the tapered surface of the sheet opening. The aim is to provide a multi-step vertical mask coating method.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다. The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention that are not mentioned can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Additionally, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention can be realized by the means and combinations thereof indicated in the patent claims.
본 발명에 따른 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법은, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 하나의 대면적 분할 원장 패턴 시트를 제작하는 단계와, 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 진공 상태의 제1 챔버내에서 상기 분할 원장 패턴 시트상 각 원자재 분할 시트의 접합면이 포함되는 제1 타겟 영역에 대해 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 1차 산화막 코팅을 수행하는 단계와, 상기 1차 산화막 코팅이 수행된 분할 원장 패턴 시트를 상기 제1 챔버에서 꺼낸 후, 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 틈새시트를 접합하는 단계와, 상기 틈새시트 접합된 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 상기 제1 챔버내에서 틈새시트가 포함되는 제2 타겟 영역에 대해 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 2차 산화막 코팅을 수행하는 단계와, 상기 2차 산화막 코팅이 수행된 분할 원장 패턴 시트를 상기 제1 챔버에서 꺼낸 후, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하는 단계와, 상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후 진공 상태의 제2 챔버내에서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임 전체 영역에 대해 틸트 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 3차 산화막 코팅을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 틸트 타겟은, 제1 서브 틸트 타겟과 제2 서브 틸트 타겟으로 구성되며, 2개의 서브 틸트 타겟이 분할 원장 패턴 시트와 각각 제1 틸트 각도와 제2 틸트 각도를 가지면서 일측이 서로 맞닿은 형상으로 제작되어 제2 챔버내 양측 벽면에 각각 설치되며, 틸트 타겟에 대한 스퍼터링 공정에서 틸트 타겟으로부터 발생되는 타겟 재료 원자가, 제2 챔버의 양측 벽면에서 틸트 각도를 가지면서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임에 증착되어 3차 산화막 코팅이 수행될 수 있다.The OLED metal mask multi-step vertical coating method according to the present invention includes the steps of fabricating one large-area divided ledger pattern sheet by joining a plurality of split sheets of raw materials, and vertically supporting the divided ledger pattern sheet using a ledger jig. Then, performing a primary oxide coating on the first target area including the bonding surface of each raw material split sheet on the split ledger pattern sheet in a first chamber in a vacuum state through a sputtering process using a linear target; After removing the split ledger pattern sheet on which the primary oxide film coating was performed from the first chamber, bonding a gap sheet to the joint surface of the split ledger pattern sheet, and bonding the split ledger pattern sheet to the gap sheet using a ledger jig. After supporting it vertically, performing a secondary oxide film coating on a second target area including a gap sheet in the first chamber through a sputtering process using a linear target, and performing the secondary oxide film coating. After taking out the split ledger pattern sheet from the first chamber, bonding the split ledger pattern sheet to a mask frame, vertically supporting the mask frame to which the split ledger pattern sheet is bonded using a frame jig, and then placing the split ledger pattern sheet in a vacuum state. A step of performing a tertiary oxide coating on the entire area of the divided ledger pattern sheet and the mask frame in the second chamber of the , through a sputtering process using a tilt target, wherein the tilt target includes a first sub-tilt target and a second sub-tilt target. It consists of a sub-tilt target, and two sub-tilt targets are manufactured in a shape in which one side is in contact with the split ledger pattern sheet and each side has a first tilt angle and a second tilt angle, and are installed on both walls in the second chamber, respectively. In the sputtering process for the tilt target, target material atoms generated from the tilt target are deposited on the split ledger pattern sheet and the mask frame at a tilt angle on both walls of the second chamber, thereby performing tertiary oxide coating.
또한, 상기 분할 원장 패턴 시트는, 시트 내부의 셀영역에 격자로 배열된 복수의 개구부가 형성될 수 있다.Additionally, the divided ledger pattern sheet may have a plurality of openings arranged in a grid in a cell area inside the sheet.
또한, 상기 제1 서브 틸트 타겟의 제1 틸트 각도는, 상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제1 테이퍼면의 제1 각도 값으로 설정되고, 상기 제2 서브 틸트 타겟의 제2 틸트 각도는, 상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제2 테이퍼면의 제2 각도 값으로 설정될 수 있다.Additionally, the first tilt angle of the first sub-tilt target is set to the first angle value of the first tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet, and the second tilt angle of the second sub-tilt target is set to the first angle value of the first tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet. It may be set to the second angle value of the second tapered surface on the opening in the split ledger pattern sheet.
또한, 상기 1차 산화막 코팅 단계와 상기 2차 산화막 코팅 단계에서는, 상기 분할 원장 패턴 시트가 원장 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서 진행되며, 상기 3차 산화막 코팅 단계에서는, 상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임이 프레임 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서, 프레임 지그의 이동에 따라 이동되며 진행될 수 있다.In addition, in the first oxide film coating step and the secondary oxide film coating step, the split ledger pattern sheet is performed while being fixed in the vertical direction by a ledger jig, and in the third oxide film coating step, the split ledger pattern sheet is While the temporarily bonded mask frame is fixed in the vertical direction by the frame jig, it can be moved and progressed according to the movement of the frame jig.
또한, 상기 선형 타겟은, 고순도 알루미늄일 수 있다.Additionally, the linear target may be high-purity aluminum.
또한, 상기 각 원자재 분할 시트간 접합과 틈새시트의 접합은, 레이저 스폿 용접을 통해 이루어질 수 있다.Additionally, the bonding between the respective raw material split sheets and the bonding of the gap sheets can be accomplished through laser spot welding.
또한, 본 발명에 따른 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법은, 장변 스틱과 단변 스틱을 격자로 배열한 보조 마스크 시트를 제작하는 단계와, 보조 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합하는 단계와, 상기 보조 마스크 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 진공 상태의 제1 챔버내에서 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 1차 산화막 코팅을 수행하는 단계와, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 하나의 대면적 분할 원장 패턴 시트를 제작하는 단계와, 상기 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하는 단계와, 상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 진공 상태의 제2 챔버내에서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임 전체 영역에 대해 틸트 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 2차 산화막 코팅을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 틸트 타겟은, 제1 서브 틸트 타겟과 제2 서브 틸트 타겟으로 구성되며, 2개의 서브 틸트 타겟이 분할 원장 패턴 시트와 각각 제1 틸트 각도와 제2 틸트 각도를 가지면서 일측이 서로 맞닿은 형상으로 제작되어 제2 챔버내 양측 벽면에 각각 설치되며, 틸트 타겟에 대한 스퍼터링 공정에서 틸트 타겟으로부터 발생되는 타겟 재료 원자가, 제2 챔버의 양측 벽면에서 틸트 각도를 가지면서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임에 증착되어 3차 산화막 코팅이 수행될 수 있다.In addition, the OLED metal mask multi-step vertical coating method according to the present invention includes the steps of manufacturing an auxiliary mask sheet in which long-side sticks and short-side sticks are arranged in a grid, bonding the auxiliary mask sheet to a mask frame, and forming the auxiliary mask. Supporting the mask frame to which the sheets are bonded vertically using a frame jig, performing primary oxide coating through a sputtering process using a linear target in a first chamber in a vacuum state, and forming a plurality of split sheets of raw materials. manufacturing a single large-area divided ledger pattern sheet by bonding, bonding the divided ledger pattern sheet to a mask frame, and vertically supporting the mask frame to which the divided ledger pattern sheets are bonded using a frame jig. Then, performing a secondary oxide coating on the entire area of the divided ledger pattern sheet and mask frame in a second chamber in a vacuum state through a sputtering process using a tilt target, wherein the tilt target is a first sub-tilt It consists of a target and a second sub-tilt target, and the two sub-tilt targets are manufactured in a shape in which one side is in contact with the split ledger pattern sheet and each has a first and second tilt angle, and are placed on both walls in the second chamber. Each is installed, and target material atoms generated from the tilt target in the sputtering process for the tilt target are deposited on the split ledger pattern sheet and the mask frame at a tilt angle on both walls of the second chamber, so that tertiary oxide film coating can be performed. there is.
또한, 상기 제1 서브 틸트 타겟의 제1 틸트 각도는, 상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제1 테이퍼면의 제1 각도 값으로 설정되고, 상기 제2 서브 틸트 타겟의 제2 틸트 각도는, 상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제2 테이퍼면의 제2 각도 값으로 설정될 수 있다.Additionally, the first tilt angle of the first sub-tilt target is set to the first angle value of the first tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet, and the second tilt angle of the second sub-tilt target is set to the first angle value of the first tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet. It may be set to the second angle value of the second tapered surface on the opening in the split ledger pattern sheet.
또한, 상기 1차 산화막 코팅 단계와 상기 2차 산화막 코팅 단계에서는, 상기 분할 원장 패턴 시트가 원장 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서 진행되며, 상기 2차 산화막 코팅 단계에서는, 상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임이 프레임 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서, 프레임 지그의 이동에 따라 이동되며 진행될 수 있다.In addition, in the primary oxide film coating step and the secondary oxide film coating step, the split ledger pattern sheet is performed while being fixed in the vertical direction by a ledger jig, and in the secondary oxide film coating step, the split ledger pattern sheet is While the temporarily bonded mask frame is fixed in the vertical direction by the frame jig, it can be moved and progressed according to the movement of the frame jig.
또한, 상기 보조 마스크 시트를 제작하는 단계에서, 상기 장변 스틱과 상기 단변 스틱은 스틱상 겹치는 영역이 각각 하프 식각되어 보조 마스크 시트가 평탄화되도록 제작될 수 있다.Additionally, in the step of manufacturing the auxiliary mask sheet, the long side stick and the short side stick may be manufactured so that overlapping areas on the stick are each half-etched to flatten the auxiliary mask sheet.
본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판용 OLED 메탈 마스크에 대한 산화막 코팅 방법에 있어서, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하기 전에 원자재 분할 시트의 접합면과 틈새시트와 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 대한 코팅을 별도의 1차 또는 2차의 사전 코팅을 수행하고, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합한 상태에서 전체 영역에 대한 메인 코팅을 수행하여 코팅의 신뢰성을 높일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the method of coating an oxide film on an OLED metal mask for a large-area 8th generation full-size glass substrate created by bonding a plurality of split sheets of raw materials in the OLED manufacturing process, the plurality of split sheets of raw materials are bonded. Before joining the split ledger pattern sheet created by doing so to the mask frame, a separate first or second pre-coating is performed on the joint surface of the raw material split sheet and the joint surface of the gap sheet and the split ledger pattern sheet, and then split. The reliability of coating can be increased by performing main coating on the entire area while the original pattern sheet is bonded to the mask frame.
또한, 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 배치시킨 상태에서 진공 챔버의 양쪽면에 설치된 타겟을 통해 시트 양면에 대한 동시 코팅을 수행시켜 공정 수율을 높이고, 메인 코팅을 수행하는 챔버에서는 타겟이 일정 각도로 틸트되도록 설치하여 시트의 개구부상 테이퍼면에 대해서도 보다 신뢰성 높은 코팅을 수행할 수 있다.In addition, while the split ledger pattern sheet is placed vertically using a ledger jig, simultaneous coating is performed on both sides of the sheet through targets installed on both sides of the vacuum chamber to increase process yield, and in the chamber where the main coating is performed, the target By installing it to be tilted at a certain angle, more reliable coating can be performed on the tapered surface of the opening of the sheet.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다. In addition to the above-described effects, specific effects of the present invention are described below while explaining specific details for carrying out the invention.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 8세대 풀사이즈 유리기판에 대응되는 분할 원장 패턴 시트의 산화막 코팅 방법 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 시트간 용접부분 산화막 증착 예시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 선형 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트에 틈새 시트를 용접한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 용접한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 틸트 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 틸트 타겟을 이용한 타겟 재료 원자의 틸트 각도 발생 예시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 선형 타겟과 틸트 타겟을 혼합하여 생성된 산화막 증착 예시도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트의 개구부의 테이퍼면 예시도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 산화막 증착을 위한 진공 챔버 구성 개념도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 8세대 풀사이즈 유리기판에 대응되는 분할 원장 패턴 시트의 산화막 코팅 방법 흐름도이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 보조 마스크 시트 제작 개념도이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 보조 마스크 시트가 용접된 마스크 프레임 평면도이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 선형 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 시트가 용접된 마스크 프레임 평면도이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 틸트 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.Figure 1 is a flowchart of an oxide film coating method for a split ledger pattern sheet corresponding to an 8th generation full-size glass substrate according to the first embodiment of the present invention.
Figure 2 is a plan view of a split ledger pattern sheet according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is an exemplary diagram of oxide film deposition at a welded portion between sheets according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a linear target according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a plan view of a gap sheet welded to a split ledger pattern sheet according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a plan view of a split ledger pattern sheet welded to a mask frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a tilt target according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is an exemplary diagram showing the generation of a tilt angle of a target material atom using a tilt target according to an embodiment of the present invention.
Figure 9 is an exemplary diagram of oxide film deposition produced by mixing a linear target and a tilt target according to an embodiment of the present invention.
Figure 10 is an illustration of the tapered surface of the opening of the split ledger pattern sheet according to an embodiment of the present invention.
11 is a conceptual diagram of a vacuum chamber configuration for oxide film deposition according to an embodiment of the present invention.
Figure 12 is a flowchart of an oxide film coating method for a split ledger pattern sheet corresponding to an 8th generation full-size glass substrate according to a second embodiment of the present invention.
Figure 13 is a conceptual diagram of manufacturing an auxiliary mask sheet according to an embodiment of the present invention.
Figure 14 is a plan view of a mask frame to which an auxiliary mask sheet is welded according to an embodiment of the present invention.
Figure 15 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a linear target according to an embodiment of the present invention.
Figure 16 is a plan view of a mask frame in which split ledger sheets are welded according to an embodiment of the present invention.
Figure 17 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a tilt target according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 동작 원리를 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the operating principle of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In the following description of the present invention, if a detailed description of a known function or configuration is judged to unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. The terms described below are defined in consideration of the functions in the present invention, and may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 8세대 풀사이즈 유리기판에 대응되는 분할 원장 패턴 시트의 산화막 코팅 방법 흐름도이다.Figure 1 is a flowchart of an oxide film coating method for a split ledger pattern sheet corresponding to an 8th generation full-size glass substrate according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트 평면도이다.Figure 2 is a plan view of a split ledger pattern sheet according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 시트간 용접부분 산화막 증착 예시도이다.Figure 3 is an exemplary diagram of oxide film deposition at a welded portion between sheets according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 선형 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.Figure 4 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a linear target according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트에 틈새 시트를 용접한 평면도이다.Figure 5 is a plan view of a gap sheet welded to a split ledger pattern sheet according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 용접한 평면도이다.Figure 6 is a plan view of a split ledger pattern sheet welded to a mask frame according to an embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 틸트 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.Figure 7 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a tilt target according to an embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 틸트 타겟을 이용한 타겟 재료 원자의 틸트 각도 발생 예시도이다.Figure 8 is an exemplary diagram showing the generation of a tilt angle of a target material atom using a tilt target according to an embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 선형 타겟과 틸트 타겟을 혼합하여 생성된 산화막 증착 예시도이다.Figure 9 is an exemplary diagram of oxide film deposition produced by mixing a linear target and a tilt target according to an embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트의 개구부의 테이퍼면 예시도이다.Figure 10 is an illustration of the tapered surface of the opening of the split ledger pattern sheet according to an embodiment of the present invention.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 산화막 증착을 위한 진공 챔버 구성 개념도이다.11 is a conceptual diagram of a vacuum chamber configuration for oxide film deposition according to an embodiment of the present invention.
이하, 도 1 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트의 산화막 코팅 방법을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of coating an oxide film on a split ledger pattern sheet according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 11.
먼저, 원자재인 인바를 일정 규격으로 재단하여 대면적 분할 원장 패턴 시트를 위한 원자재 분할 시트를 제작한다.First, the raw material, Invar, is cut to a certain standard to produce a raw material split sheet for a large-area split ledger pattern sheet.
이어, 이러한 원자재 분할 시트(140)를 도 2에서 보여지는 바와 같이 맞대기 용접을 통해 서로 접합시켜 원장 형태로 만드는 것을 통해 분할 원장 패턴 시트(130)를 제작한다. Next, the split ledger pattern sheet 130 is manufactured by joining these raw material split sheets 140 together through butt welding to form a ledger shape, as shown in FIG. 2 .
이때, 위와 같이 8세대 풀사이즈에서는 원자재 분할 시트를 맞대기 용접하여 원장 시트를 제작함에 따라 기존 6세대에서 원장으로 제작되는 시트와 달리 분할 원장 패턴 시트(130)에서는 원자재 분할 시트(140)의 접합면(177)에 미세한 공간이 발생할 수 있고, 용접 너겟 등이 발생하여 종래와 같이 한번만 코팅을 수행하는 경우 원자재 분할 시트의 접합면이나 용접 너겟 등에 산화막 코팅이 완벽하게 이루어지지 않는 문제점이 있다.At this time, as shown above, in the 8th generation full size, the ledger sheet is produced by butt welding the raw material split sheets, so unlike the sheet produced as a ledger in the existing 6th generation, the split ledger pattern sheet 130 has a joint surface of the raw material split sheet 140. (177) A small space may be created and a welding nugget may be generated, so if coating is performed only once as in the past, there is a problem in that the oxide film coating is not completely achieved on the joint surface of the raw material split sheet or the welding nugget.
이에 따라, 본 발명에서는 분할 원장 패턴 시트를 제작한 후, 분할 원장 시트를 마스크 프레임에 용접하기 전에 분할 원장 패턴 시트 상태에서 1차로 산화막 코팅을 수행한다.Accordingly, in the present invention, after producing a split ledger pattern sheet, an oxide film coating is first performed on the split ledger pattern sheet before welding the split ledger sheet to the mask frame.
위와 같은 1차 산화막 코팅 수행에 있어서는 예를 들어 분할 원장 패턴 시트(130)를 원장 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 도 11에서 보여지는 바와 같이 진공 상태의 제1 챔버(950)내에서 상기 분할 원장 패턴 시트상 각 원자재 분할 시트의 접합면이 포함되는 제1 타겟 영역에 대해 선형 타겟(375)을 이용한 스퍼터링(sputtering) 공정을 통해 1차 산화막 코팅을 수행할 수 있다.In performing the primary oxide coating as described above, for example, the split ledger pattern sheet 130 is vertically supported using a ledger jig, and then, as shown in FIG. 11, it is placed in the first chamber 950 in a vacuum state. A primary oxide film coating may be performed on the first target area including the bonding surface of each raw material split sheet on the split ledger pattern sheet through a sputtering process using a linear target 375.
이에 따라, 도 3에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 패턴 시트상 원자재 분할 시트의 접합면(177)과 용접 너겟이 존재하는 제1 타겟 영역이 산화막으로 사전 코팅될 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 3, the joint surface 177 of the raw material split sheet on the split ledger pattern sheet and the first target area where the welding nugget is present may be pre-coated with an oxide film.
이때, 위와 같은 1차 산화막 코팅 공정에서는, 예를 들어 도 4에서 보여지는 바와 같이 제1 챔버(950)의 내부 양측벽에 선형 타겟(375)이 분할 원장 패턴 시트(130)와 수평하게 설치된 상태에서 스퍼터링 공정을 통해 선형 타겟으로부터 발생된 타겟 재료 원자(443)가 원자재 분할 시트의 접합면과 용접 너겟에 증착되어 산화막 코팅이 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.At this time, in the primary oxide coating process as above, for example, as shown in FIG. 4, linear targets 375 are installed horizontally with the split ledger pattern sheet 130 on both inner walls of the first chamber 950. Target material atoms 443 generated from a linear target through a sputtering process may be deposited on the joint surface of the raw material split sheet and the welding nugget to form an oxide film coating, but the present invention is not limited to this.
이어, 위와 같이 1차 산화막 코팅이 완료되는 경우, 1차 산화막 코팅이 완료된 분할 원장 패턴 시트를 제1 챔버에서 꺼낸 후, 도 5에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 틈새시트(553)를 용접한다. 이러한 용접은 레이저 스폿 용접일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Next, when the primary oxide film coating is completed as above, the split ledger pattern sheet on which the primary oxide film coating has been completed is taken out of the first chamber, and then a gap sheet 553 is placed on the joint surface of the split ledger pattern sheet as shown in FIG. 5. ) is welded. This welding may be laser spot welding, but is not limited thereto.
그런 후, 틈새시트 접합된 분할 원장 패턴 시트(130)를 마스크 프레임에 용접하기 전에 다시 한번 2차로 산화막 코팅을 수행한다.Then, before welding the split ledger pattern sheet 130 joined to the gap sheet to the mask frame, a second oxide film coating is performed once again.
위와 같은 2차 산화막 코팅 수행에 있어서는, 예를 들어 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 도 11에서 보여지는 바와 같이 진공 상태의 제1 챔버(950)로 다시 진입시킨 후, 상기 제1 챔버내에서 틈새시트가 포함되는 제2 타겟 영역에 대해 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 2차 산화막 코팅을 수행한다. 이때, 1차 산화막 코팅과 2차 산화막 코팅 수행에 있어서는, 분할 원장 패턴 시트가 원장 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서 진행될 수 있다.In performing the secondary oxide coating as above, for example, the split ledger pattern sheet is supported vertically using a ledger jig, and then re-entered into the first chamber 950 in a vacuum state as shown in FIG. 11. , secondary oxide coating is performed on the second target area including the gap sheet within the first chamber through a sputtering process using a linear target. At this time, when performing primary oxide film coating and secondary oxide film coating, the split ledger pattern sheet may be performed while being fixed in the vertical direction by a ledger jig.
이어, 2차 산화막 코팅이 수행된 분할 원장 패턴 시트를 제1 챔버에서 꺼낸 후, 도 6에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 패턴 시트(130)를 마스크 프레임에 용접한다.Next, the split ledger pattern sheet on which the secondary oxide coating was performed is taken out of the first chamber, and then the split ledger pattern sheet 130 is welded to the mask frame as shown in FIG. 6.
그런 후, 분할 원장 패턴 시트가 용접된 마스크 프레임 전체에 대해 3차로 산화막 코팅을 수행한다.Then, a third layer of oxide coating is performed on the entire mask frame to which the split ledger pattern sheets are welded.
위와 같은 3차 산화막 코팅 수행에 있어서는, 예를 들어 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그(785)를 이용하여 수직으로 지지한 후 도 11에서 보여지는 바와 같이 진공 상태의 제2 챔버(960)내에서 분할 원장 패턴 시트(130)와 마스크 프레임(633) 전체 영역에 대해 틸트 타겟(tilt target)(753)을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 3차 산화막 코팅을 수행할 수 있다. 이때, 3차 산화막 코팅 수행에 있어서는, 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임이 프레임 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서, 프레임 지그의 이동에 따라 이동되며 진행될 수 있다. In performing the above tertiary oxide coating, for example, the mask frame to which the split ledger pattern sheets are bonded is vertically supported using the frame jig 785, and then, as shown in FIG. 11, a second chamber in a vacuum state ( In 960, a tertiary oxide film coating may be performed on the entire area of the split ledger pattern sheet 130 and the mask frame 633 through a sputtering process using a tilt target 753. At this time, in performing the tertiary oxide film coating, the mask frame to which the split ledger pattern sheets are bonded may be moved in accordance with the movement of the frame jig while being fixed in the vertical direction by the frame jig.
이에 따라, 도 7과 도 9에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임 전체 영역이 산화막으로 코팅될 수 있다.Accordingly, as shown in FIGS. 7 and 9, the entire area of the split ledger pattern sheet and mask frame can be coated with an oxide film.
이때, 위와 같은 3차 산화막 코팅 공정에서는, 예를 들어 도 8에서 보여지는 바와 같이 제2 챔버(960)의 내부 양측벽에 틸트 타겟(753)이 분할 원장 패턴 시트가 용접된 마스크 프레임과 일정 각도를 가지도록 설치된 상태에서 스퍼터링 공정을 통해 틸트 타겟으로부터 발생된 타겟 재료 원자(433)가 분할 원장 패턴 시트가 용접된 마스크 프레임의 전체 표면에 증착되어 산화막 코팅이 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.At this time, in the above tertiary oxide coating process, for example, as shown in FIG. 8, the tilt target 753 is formed on both inner walls of the second chamber 960 at a certain angle with the mask frame to which the split ledger pattern sheet is welded. In a state installed to have, target material atoms 433 generated from the tilt target through a sputtering process may be deposited on the entire surface of the mask frame to which the split ledger pattern sheet is welded to form an oxide film coating, but the present invention is not limited to this.
또한, 이러한, 틸트 타겟(753)은 제1 서브 틸트 타겟(731)과 제2 서브 틸트 타겟(732)으로 구성되며, 2개의 서브 틸트 타겟이 분할 원장 패턴 시트와 각각 제1 틸트 각도와 제2 틸트 각도를 가지면서 일측이 서로 맞닿은 형상으로 제작될 수 있다.In addition, the tilt target 753 is composed of a first sub-tilt target 731 and a second sub-tilt target 732, and the two sub-tilt targets are divided into a ledger pattern sheet and have a first tilt angle and a second tilt angle, respectively. It can be manufactured in a shape where one side is in contact with each other while having a tilt angle.
또한, 틸트 타겟(753)이 위와 같이 제1 서브 틸트 타겟과 제2 서브 틸트 타겟으로 구성된 상태에서 틸트 타겟에 대한 스퍼터링 공정에서 제1 서브 틸트 타겟(731)으로부터 발생되는 타겟 재료 원자가 제1 틸트 각도로 진행하여 분할 원장 패턴 시트(130)와 마스크 프레임(633)의 전체 표면에 증착되며, 제2 서브 틸트 타겟으로부터 발생되는 타겟 재료 원자가 제2 틸트 각도로 진행하여 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임의 전체 표면에 증착되어 3차 산화막 코팅이 수행되는 것이다.In addition, when the tilt target 753 is composed of a first sub-tilt target and a second sub-tilt target as above, target material atoms generated from the first sub-tilt target 731 in the sputtering process for the tilt target are tilted at the first tilt angle. proceeds to be deposited on the entire surface of the divided ledger pattern sheet 130 and the mask frame 633, and the target material atoms generated from the second sub-tilt target proceed at the second tilt angle to be deposited on the entire surface of the divided ledger pattern sheet 130 and the mask frame 633. It is deposited on the surface to perform a tertiary oxide coating.
이때, 분할 원장 패턴 시트내 개구부(170)는 도 10에서 보여지는 바와 같이 테이퍼면(1100, 1120)을 가지도록 식각되는데, 본 발명에서는 위와 같이 틸트 타겟을 통해 타겟 재료 원자의 진행방향에 일정 각도를 형성시킴으로써, 이러한 테이펴면에 대해서도 보다 스텝커버리지가 높은 코팅이 수행될 수 있게 된다.At this time, the opening 170 in the divided ledger pattern sheet is etched to have tapered surfaces 1100 and 1120 as shown in FIG. 10. In the present invention, the opening 170 is etched at a certain angle in the direction of progress of the target material atoms through a tilt target as described above. By forming, coating with a higher step coverage can be performed on this tapered surface.
이때, 제1 서브 틸트 타겟(731)의 제1 틸트 각도는 분할 원장 패턴 시트내 개구부(170)상 제1 테이퍼면(1100)의 제1 각도값(θ1)으로 설정되고, 제2 서브 틸트 타겟(732)의 제2 틸트 각도는 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제2 테이퍼면(1120)의 제2 각도값(θ2)으로 설정될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.At this time, the first tilt angle of the first sub-tilt target 731 is set to the first angle value θ1 of the first tapered surface 1100 on the opening 170 in the split ledger pattern sheet, and the second sub-tilt target The second tilt angle of 732 may be set to the second angle value θ2 of the second tapered surface 1120 on the opening in the divided ledger pattern sheet, but is not limited to this.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 8세대 풀사이즈 유리기판에 대응되는 분할 원장 패턴 시트의 산화막 코팅 방법 흐름도이다.Figure 12 is a flowchart of an oxide film coating method for a split ledger pattern sheet corresponding to an 8th generation full-size glass substrate according to a second embodiment of the present invention.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 보조 마스크 시트 제작 개념도이다.Figure 13 is a conceptual diagram of manufacturing an auxiliary mask sheet according to an embodiment of the present invention.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 보조 마스크 시트가 용접된 마스크 프레임 평면도이다.Figure 14 is a plan view of a mask frame to which an auxiliary mask sheet is welded according to an embodiment of the present invention.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 선형 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.Figure 15 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a linear target according to an embodiment of the present invention.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 시트가 용접된 마스크 프레임 평면도이다.Figure 16 is a plan view of a mask frame in which split ledger sheets are welded according to an embodiment of the present invention.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 틸트 타겟을 이용한 산화막 증착 예시도이다.Figure 17 is an exemplary diagram of oxide film deposition using a tilt target according to an embodiment of the present invention.
이하, 도 12 내지 도 17을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 분할 원장 패턴 시트의 산화막 코팅 방법을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of coating an oxide film on a split ledger pattern sheet according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 12 to 17.
먼저, 도 13에서 보여지는 바와 같이 장변 스틱(1310)과 단변 스틱(1320)을 격자로 배열한 # 모양의 보조 마스크 시트(1350)를 제작한다.First, as shown in FIG. 13, a #-shaped auxiliary mask sheet 1350 is manufactured in which the long-side sticks 1310 and short-side sticks 1320 are arranged in a grid.
이어, 이러한 보조 마스크 시트(1350)를 도 14에서 보여지는 바와 같이 보조 마스크 시트(1350)를 마스크 프레임(633)에 용접한다.Next, the auxiliary mask sheet 1350 is welded to the mask frame 633, as shown in FIG. 14.
그런 후, 보조 마스크 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 도 15에서 보여지는 바와 같이 진공 상태의 제1 챔버(950)내에서 선형 타겟(375)을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 1차 산화막 코팅을 수행한다.Then, the mask frame to which the auxiliary mask sheet is bonded is vertically supported using a frame jig, and then a sputtering process is performed using a linear target 375 in the first chamber 950 in a vacuum state as shown in FIG. 15. Primary oxide coating is performed through.
이어, 복수의 원자재 분할 시트()를 접합하여 하나의 대면적 분할 원장 패턴 시트(130)를 제작하고, 도 16에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임(633)에 용접한다.Next, one large-area divided ledger pattern sheet 130 is manufactured by joining a plurality of raw material divided sheets, and the divided ledger pattern sheet is welded to the mask frame 633 as shown in FIG. 16.
이어, 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 도 17에서 보여지는 바와 같이 진공 상태의 제2 챔버(960)내에서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임 전체 영역에 대해 틸트 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 2차 산화막 코팅을 수행한다.Next, the mask frame to which the divided ledger pattern sheets are bonded is supported vertically using a frame jig, and then the entire area of the divided ledger pattern sheets and the mask frame is placed in the second chamber 960 in a vacuum state as shown in FIG. 17. Secondary oxide coating is performed through a sputtering process using a tilt target.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 대한 설명에서 틸트 타겟을 이용한 2차 산화막 코팅 수행 동작은 앞서서 설명한 제1 실시예에서와 동작과 동일하게 적용될 수 있으므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.Meanwhile, in the description of the second embodiment of the present invention, the operation of performing secondary oxide coating using a tilt target can be applied in the same manner as the operation of the first embodiment described above, so detailed description will be omitted.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판용 OLED 메탈 마스크에 대한 산화막 코팅 방법에 있어서, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 생성한 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하기 전에 원자재 분할 시트의 접합면과 틈새시트와 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 대한 코팅을 별도의 1차 또는 2차의 사전 코팅을 수행하고, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합한 상태에서 전체 영역에 대한 메인 코팅을 수행하여 코팅의 신뢰성을 높일 수 있다.As described above, according to an embodiment of the present invention, in the oxide film coating method for an OLED metal mask for a large-area 8th generation full-size glass substrate created by joining a plurality of raw material split sheets in the OLED manufacturing process, a plurality of Before joining the split ledger pattern sheet created by joining the raw material split sheets to the mask frame, separate first or second pre-coating on the joint surface of the raw material split sheet and the joint surface of the gap sheet and split ledger pattern sheet. The reliability of the coating can be increased by performing main coating on the entire area while the split ledger pattern sheet is bonded to the mask frame.
또한, 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 배치시킨 상태에서 진공 챔버의 양쪽면에 설치된 타겟을 통해 시트 양면에 대한 동시 코팅을 수행시켜 공정 수율을 높이고, 메인 코팅을 수행하는 챔버에서는 타겟이 일정 각도로 틸트되도록 설치하여 시트의 개구부상 테이퍼면에 대해서도 보다 신뢰성 높은 코팅을 수행할 수 있다.In addition, while the split ledger pattern sheet is placed vertically using a ledger jig, simultaneous coating is performed on both sides of the sheet through targets installed on both sides of the vacuum chamber to increase process yield, and in the chamber where the main coating is performed, the target By installing it to be tilted at a certain angle, more reliable coating can be performed on the tapered surface of the opening of the sheet.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrative drawings, but the present invention is not limited to the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that transformation can occur. In addition, although the operational effects according to the configuration of the present invention were not explicitly described and explained while explaining the embodiments of the present invention above, it is natural that the predictable effects due to the configuration should also be recognized.
130 : 분할 원장 패턴 시트 140 : 원자재분할시트
170 : 개구부 177 : 접합면
375 : 선형타겟 443 : 타겟 재료 원자
553 : 틈새시트 633 : 마스크 프레임
753 : 틸트타겟 130: Split ledger pattern sheet 140: Raw material split sheet
170: opening 177: joint surface
375: Linear target 443: Target material atom
553: gap sheet 633: mask frame
753: Tilt target
Claims (10)
복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 하나의 대면적 분할 원장 패턴 시트를 제작하는 단계와,
분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 진공 상태의 제1 챔버내에서 상기 분할 원장 패턴 시트상 각 원자재 분할 시트의 접합면이 포함되는 제1 타겟 영역에 대해 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 1차 산화막 코팅을 수행하는 단계와,
상기 1차 산화막 코팅이 수행된 분할 원장 패턴 시트를 상기 제1 챔버에서 꺼낸 후, 분할 원장 패턴 시트의 접합면에 틈새시트를 접합하는 단계와,
상기 틈새시트 접합된 분할 원장 패턴 시트를 원장 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 상기 제1 챔버내에서 틈새시트가 포함되는 제2 타겟 영역에 대해 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 2차 산화막 코팅을 수행하는 단계와,
상기 2차 산화막 코팅이 수행된 분할 원장 패턴 시트를 상기 제1 챔버에서 꺼낸 후, 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하는 단계와,
상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후 진공 상태의 제2 챔버내에서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임 전체 영역에 대해 틸트 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 3차 산화막 코팅을 수행하는 단계를 포함하되,
상기 틸트 타겟은,
제1 서브 틸트 타겟과 제2 서브 틸트 타겟으로 구성되며, 2개의 서브 틸트 타겟이 분할 원장 패턴 시트와 각각 제1 틸트 각도와 제2 틸트 각도를 가지면서 일측이 서로 맞닿은 형상으로 제작되어 제2 챔버내 양측 벽면에 각각 설치되며,
틸트 타겟에 대한 스퍼터링 공정에서 틸트 타겟으로부터 발생되는 타겟 재료 원자가, 제2 챔버의 양측 벽면에서 틸트 각도를 가지면서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임에 증착되어 3차 산화막 코팅이 수행되는
OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. An OLED metal mask multi-step vertical coating method,
A step of joining a plurality of raw material split sheets to produce one large-area split ledger pattern sheet;
After supporting the split ledger pattern sheet vertically using a ledger jig, a linear target is used on the first target area including the bonding surface of each raw material split sheet on the split ledger pattern sheet in a first chamber in a vacuum state. performing a primary oxide film coating through a sputtering process;
Removing the divided ledger pattern sheet on which the primary oxide coating was performed from the first chamber and bonding a gap sheet to the joint surface of the divided ledger pattern sheet;
After vertically supporting the split ledger pattern sheet to which the gap sheet is bonded using a ledger jig, a secondary oxide film is coated on the second target area containing the gap sheet within the first chamber through a sputtering process using a linear target. Steps to perform,
Removing the split ledger pattern sheet on which the secondary oxide coating was performed from the first chamber and bonding the split ledger pattern sheet to a mask frame;
The mask frame to which the divided ledger pattern sheets are bonded is supported vertically using a frame jig, and then the entire area of the divided ledger pattern sheets and the mask frame is subjected to a third sputtering process using a tilt target in a second chamber under vacuum. Including performing an oxide film coating,
The tilt target is,
It consists of a first sub-tilt target and a second sub-tilt target, and the two sub-tilt targets are manufactured in a shape in which one side is in contact with the split ledger pattern sheet and each has a first tilt angle and a second tilt angle, forming a second chamber. It is installed on each wall on both sides of the room,
In the sputtering process for the tilt target, target material atoms generated from the tilt target are deposited on the split ledger pattern sheet and the mask frame at a tilt angle on both walls of the second chamber to perform tertiary oxide coating.
OLED metal mask multi-step vertical coating method.
상기 분할 원장 패턴 시트는,
시트 내부의 셀영역에 격자로 배열된 복수의 개구부가 형성된 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 1,
The split ledger pattern sheet is,
A multi-step vertical coating method for an OLED metal mask in which a plurality of openings arranged in a grid are formed in the cell area inside the sheet.
상기 제1 서브 틸트 타겟의 제1 틸트 각도는,
상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제1 테이퍼면의 제1 각도 값으로 설정되고,
상기 제2 서브 틸트 타겟의 제2 틸트 각도는,
상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제2 테이퍼면의 제2 각도 값으로 설정되는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 1,
The first tilt angle of the first sub-tilt target is,
is set to the first angle value of the first tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet,
The second tilt angle of the second sub-tilt target is,
An OLED metal mask multi-step vertical coating method set to a second angle value of a second tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet.
상기 1차 산화막 코팅 단계와 상기 2차 산화막 코팅 단계에서는,
상기 분할 원장 패턴 시트가 원장 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서 진행되며,
상기 3차 산화막 코팅 단계에서는,
상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임이 프레임 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서, 프레임 지그의 이동에 따라 이동되며 진행되는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 3,
In the primary oxide film coating step and the secondary oxide film coating step,
The process is performed with the divided ledger pattern sheet being fixed in the vertical direction by a ledger jig,
In the tertiary oxide film coating step,
A multi-step vertical coating method for an OLED metal mask in which the mask frame to which the divided ledger pattern sheets are joined is fixed in the vertical direction by a frame jig, and is moved according to the movement of the frame jig.
상기 선형 타겟은,
고순도 산화알루미늄인 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 4,
The linear target is,
High-purity aluminum oxide OLED metal mask multi-step vertical coating method.
상기 각 원자재 분할 시트간 접합과 틈새시트의 접합은,
레이저 스폿 용접을 통해 이루어지는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 1,
The bonding between the split sheets of each raw material and the bonding of the gap sheets are,
OLED metal mask multi-step vertical coating method achieved through laser spot welding.
장변 스틱과 단변 스틱을 격자로 배열한 보조 마스크 시트를 제작하는 단계와,
보조 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합하는 단계와,
상기 보조 마스크 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 진공 상태의 제1 챔버내에서 선형 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 1차 산화막 코팅을 수행하는 단계와,
복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 하나의 대면적 분할 원장 패턴 시트를 제작하는 단계와,
상기 분할 원장 패턴 시트를 마스크 프레임에 접합하는 단계와,
상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임을 프레임 지그를 이용하여 수직으로 지지한 후, 진공 상태의 제2 챔버내에서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임 전체 영역에 대해 틸트 타겟을 이용한 스퍼터링 공정을 통해 2차 산화막 코팅을 수행하는 단계를 포함하되,
상기 틸트 타겟은,
제1 서브 틸트 타겟과 제2 서브 틸트 타겟으로 구성되며, 2개의 서브 틸트 타겟이 분할 원장 패턴 시트와 각각 제1 틸트 각도와 제2 틸트 각도를 가지면서 일측이 서로 맞닿은 형상으로 제작되어 제2 챔버내 양측 벽면에 각각 설치되며,
틸트 타겟에 대한 스퍼터링 공정에서 틸트 타겟으로부터 발생되는 타겟 재료 원자가, 제2 챔버의 양측 벽면에서 틸트 각도를 가지면서 분할 원장 패턴 시트와 마스크 프레임에 증착되어 3차 산화막 코팅이 수행되는
OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. An OLED metal mask multi-step vertical coating method,
A step of manufacturing an auxiliary mask sheet in which long-side sticks and short-side sticks are arranged in a grid;
bonding the auxiliary mask sheet to the mask frame;
Supporting the mask frame to which the auxiliary mask sheet is bonded vertically using a frame jig, performing primary oxide coating through a sputtering process using a linear target in a first chamber in a vacuum state;
A step of joining a plurality of raw material split sheets to produce one large-area split ledger pattern sheet;
bonding the divided ledger pattern sheet to a mask frame;
After vertically supporting the mask frame to which the divided ledger pattern sheets are bonded using a frame jig, a sputtering process using a tilt target is performed on the entire area of the divided ledger pattern sheets and the mask frame in a second chamber under vacuum. Including performing secondary oxide coating,
The tilt target is,
It consists of a first sub-tilt target and a second sub-tilt target, and the two sub-tilt targets are manufactured in a shape in which one side is in contact with the split ledger pattern sheet and each has a first tilt angle and a second tilt angle, forming a second chamber. It is installed on each wall on both sides of the room,
In the sputtering process for the tilt target, target material atoms generated from the tilt target are deposited on the split ledger pattern sheet and the mask frame at a tilt angle on both walls of the second chamber to perform tertiary oxide coating.
OLED metal mask multi-step vertical coating method.
상기 제1 서브 틸트 타겟의 제1 틸트 각도는,
상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제1 테이퍼면의 제1 각도 값으로 설정되고,
상기 제2 서브 틸트 타겟의 제2 틸트 각도는,
상기 분할 원장 패턴 시트내 개구부상 제2 테이퍼면의 제2 각도 값으로 설정되는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 7,
The first tilt angle of the first sub-tilt target is,
is set to the first angle value of the first tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet,
The second tilt angle of the second sub-tilt target is,
An OLED metal mask multi-step vertical coating method set to a second angle value of a second tapered surface on the opening in the divided ledger pattern sheet.
상기 1차 산화막 코팅 단계와 상기 2차 산화막 코팅 단계에서는,
상기 분할 원장 패턴 시트가 원장 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서 진행되며,
상기 2차 산화막 코팅 단계에서는,
상기 분할 원장 패턴 시트가 접합된 마스크 프레임이 프레임 지그에 의해 수직방향으로 고정된 상태에서, 프레임 지그의 이동에 따라 이동되며 진행되는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 8,
In the primary oxide film coating step and the secondary oxide film coating step,
The process is performed with the divided ledger pattern sheet being fixed in the vertical direction by a ledger jig,
In the secondary oxide coating step,
A multi-step vertical coating method for an OLED metal mask in which the mask frame to which the divided ledger pattern sheets are joined is fixed in the vertical direction by a frame jig, and is moved according to the movement of the frame jig.
상기 보조 마스크 시트를 제작하는 단계에서,
상기 장변 스틱과 상기 단변 스틱은 스틱상 겹치는 영역이 각각 하프 식각되어 보조 마스크 시트가 평탄화되도록 제작되는 OLED 메탈 마스크 다단계 수직형 코팅 방법. According to claim 7,
In the step of manufacturing the auxiliary mask sheet,
An OLED metal mask multi-step vertical coating method in which the long-side stick and the short-side stick are manufactured so that overlapping areas on the stick are each half-etched to flatten the auxiliary mask sheet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220050739A KR20230151273A (en) | 2022-04-25 | 2022-04-25 | Oled metal mask multi-step vertical coating method |
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| KR1020220050739A KR20230151273A (en) | 2022-04-25 | 2022-04-25 | Oled metal mask multi-step vertical coating method |
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|---|---|
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Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR20150071321A (en) | 2013-12-18 | 2015-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | Open mask assembly |
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2022
- 2022-04-25 KR KR1020220050739A patent/KR20230151273A/en unknown
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