KR20230082548A - Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof - Google Patents

Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof Download PDF

Info

Publication number
KR20230082548A
KR20230082548A KR1020220093134A KR20220093134A KR20230082548A KR 20230082548 A KR20230082548 A KR 20230082548A KR 1020220093134 A KR1020220093134 A KR 1020220093134A KR 20220093134 A KR20220093134 A KR 20220093134A KR 20230082548 A KR20230082548 A KR 20230082548A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hole
mask sheet
width
mask
groove
Prior art date
Application number
KR1020220093134A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
유홍우
Original Assignee
주식회사 핌스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 핌스 filed Critical 주식회사 핌스
Priority to KR1020220093134A priority Critical patent/KR20230082548A/en
Publication of KR20230082548A publication Critical patent/KR20230082548A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 셀 위치 정밀도가 향상된 OLED 증착용 마스크 시트 및 마스크 조립체에 관한 것으로, 본 발명에 따른 OLED 증착용 마스크 시트는 소정 폭 및 두께로 돌출된 돌출편이 관통홀의 외주면을 이루도록 가공된 셀 개구부를 포함함으로써, 마스크 시트 인장 및 마스크 프레임 접합 후 수행되는 레이저 트리밍 후가공 시, 종래 기술 대비 현저히 감소된 트리밍 후가공의 가공 대상부 두께로 인해, 레이저 트리밍 후가공 시간을 단축시키면서도 보다 정교한 트리밍 후가공을 가능케 하여, 셀 위치 정밀도(CPA)를 현저히 향상시킬 수 있다. The present invention relates to a mask sheet for OLED deposition and a mask assembly with improved cell positioning accuracy. The mask sheet for OLED deposition according to the present invention includes cell openings in which protrusions protruding with a predetermined width and thickness form an outer circumferential surface of a through hole. By doing so, during laser trimming post-processing performed after mask sheet tension and mask frame bonding, the post-trimming processing target thickness is significantly reduced compared to the prior art, thereby shortening the laser trimming post-processing time and enabling more sophisticated post-processing of trimming, thereby improving cell location Accuracy (CPA) can be significantly improved.

Description

셀 위치 정밀도가 향상된 OLED 증착용 마스크 시트 및 마스크 조립체{Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof} Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using its}

본 발명은 셀 위치 정밀도가 향상된 OLED 증착용 마스크 시트 및 마스크 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a mask sheet and mask assembly for OLED deposition with improved cell positioning accuracy.

일반적으로 알려진 평판 표시장치로는 액정 표시장치(LCD, Liquid Crystal Display Device)와 유기발광 표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display Device)가 있다. 이 중 OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다. 일반적인 OLED 제조 과정은 전극층, 유기 발광층, 절연막 등 박막층을 적층하고 패터닝할 때, 각각 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하여 증착(evaporation) 공정을 수행하여 이루어진다. Commonly known flat panel display devices include a liquid crystal display device (LCD) and an organic light emitting display device (OLED). Among them, OLED is a thin film light emitting diode in which a light emitting layer is made of an organic compound. A typical OLED manufacturing process is performed by performing an evaporation process using a mask assembly having a corresponding pattern when thin film layers such as an electrode layer, an organic light emitting layer, and an insulating film are laminated and patterned.

증착 공정 중 OLED 기판에 기능적인 역할을 수행하는 유기물 공통층을 형성하는 공정은 오픈 메탈 마스크(Open Metal Mask, 이하 OMM이라 함)가 사용되며, 레드(R), 그린(G), 블루(B) 등 세 가지 빛을 발광하는 픽셀을 각각 증착하기 위한 RGB 증착 공정에서는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask, 이하 FMM이라 함)가 사용된다. During the deposition process, the process of forming the organic common layer that plays a functional role on the OLED substrate uses an open metal mask (hereinafter referred to as OMM), and red (R), green (G), and blue (B ), etc., a fine metal mask (hereinafter referred to as FMM) is used in the RGB deposition process for depositing each of the pixels emitting light.

증착 공정에 사용되는 마스크 조립체는 상대적으로 튼튼한 구조의 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 금속 박막인 마스크 시트 내지 마스크 스틱이 접합된 구조를 가진다. 마스크 프레임은 약 5 내지 80 ㎜ 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 모양을 안정적으로 유지시키기 위한 기능을 수행한다. 한편, 마스크 시트나 마스크 스틱은 약 0.01 내지 5.00 ㎜ 정도 두께를 가지는 박막 금속 시트 또는 스트립 상에, 증착 시 이용될 소정 패턴을 형성한 것이다. A mask assembly used in a deposition process has a structure in which a mask sheet or mask stick, which is a relatively thin metal film, is bonded to a mask frame having a relatively strong structure. The mask frame is a frame structure in the form of a window frame or a door frame having a thickness of about 5 to 80 mm and performs a function of stably maintaining the shape of the mask assembly. Meanwhile, a mask sheet or mask stick is obtained by forming a predetermined pattern to be used during deposition on a thin metal sheet or strip having a thickness of about 0.01 to 5.00 mm.

일반적인 마스크 조립체는 예를 들어 인바합금(Invar-36 Alloy)과 같이 온도 변화에 따른 열팽창계수가 매우 작은 금속을 이용하여 제조된다. 나아가, 패턴의 정밀성이 크게 요구되지 않는 경우 비용 절감을 위해 마스크 프레임을 예컨대 SUS420과 같은 열에 강한 스테인레스스틸을 이용하여 제작하는 경우도 있다. 하나의 예로 OLED 디스플레이 유기물 공통층 증착 공정에 사용되는 오픈 메탈 마스크(OMM) 조립체는 마스크 시트의 양면에 건식 감광성 필름(DFR)을 코팅하고, UV 노광을 수행한 다음, 현상, 습식 에칭(Wet Etching) 등 공정을 통해 마스크 시트 상에 패턴을 형성한 후, 인장한 상태로 마스크 프레임에 레이저 용접 방식으로 접합하여 제조될 수 있다.A general mask assembly is manufactured using a metal having a very small coefficient of thermal expansion according to a temperature change, such as, for example, Invar alloy (Invar-36 Alloy). Furthermore, when the precision of the pattern is not greatly required, the mask frame may be manufactured using, for example, heat-resistant stainless steel such as SUS420 to reduce costs. As an example, the open metal mask (OMM) assembly used in the OLED display organic common layer deposition process coats a dry photosensitive film (DFR) on both sides of the mask sheet, performs UV exposure, and then develops and wet etching ) After forming a pattern on the mask sheet through a process such as, it can be manufactured by bonding to the mask frame in a tensioned state by a laser welding method.

오늘날 다양한 디자인을 가진 디스플레이 생산을 위해 보다 높은 정밀도의 마스크 조립체가 요구되고 있는 상황이며, 종래 기술에 따르면 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합하기 위해 인장 공정을 수행할 때, 인장력에 의한 인장 편차가 발생하게 되어, 셀 개구부의 위치가 사전 지정한 정 위치에서 벗어나거나 형상이 변형되는 문제가 발생한다. Today, a higher precision mask assembly is required for the production of displays with various designs, and according to the prior art, when a tension process is performed to bond a mask sheet to a mask frame, tension deviation due to tension occurs. As a result, a problem arises in that the position of the cell opening is out of the predetermined position or the shape is deformed.

이에, 마스크 프레임 접합 후 정 위치에서 벗어난 셀 개구부에 대하여 피코초 레이저(pico-second laser) 내지 펨토초 레이저(femto-second laser)와 같은 극초단파 레이저를 조사하여 트리밍(trimming) 후가공을 수행함으로써, 셀 위치 정밀도(Cell Position Accuracy, CPA)를 향상시키고자 하는 노력이 이루어지고 있다. Therefore, after bonding the mask frame, ultra-short lasers such as pico-second laser or femto-second laser are irradiated to cell openings that are out of position to perform trimming post-processing, thereby improving the cell position Efforts are being made to improve cell position accuracy (CPA).

그러나, 종래 기술에 따를 경우, 트리밍 후가공의 가공 대상부가 되는 셀 개구부 관통홀 외주면을 이루는 마스크 시트 개구 단부의 두꺼운 두께로 인해, 레이저 트리밍 후가공에 상당한 시간이 소요되므로 공정 경제성이 떨어지는 문제가 있다. 또한 마스크 시트 개구 단부가 두꺼운 경우 트리밍 후가공이 원활하게 수행되기 어려워 셀 위치 정밀도(Cell Position Accuracy, CPA)를 향상시키기 어려운 문제가 있다. However, in the case of the prior art, due to the thick thickness of the mask sheet opening end forming the outer circumferential surface of the cell opening through-hole, which is the target portion of the post-trimming process, the laser trimming post-processing takes a considerable amount of time, resulting in poor process economy. In addition, when the opening end of the mask sheet is thick, it is difficult to smoothly perform post-trimming processing, which makes it difficult to improve Cell Position Accuracy (CPA).

본 발명은, OLED 증착용 마스크 시트 및 마스크 조립체 제조에 있어서, 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합한 후, 극초단파 레이저를 이용하여 수행되는 트리밍(trimming) 후가공 공정의 효율을 향상시키기 위한 것으로서, 구체적으로, 소정 폭 및 두께로 돌출된 돌출편이 관통홀의 외주면을 이루도록 가공된 셀 개구부를 하나 이상 포함하는 마스크 시트를 제공함으로써, 종래 기술 대비 현저히 감소된 트리밍 후가공의 가공 대상부 두께로 인해, 레이저 트리밍 후가공 시간을 단축시키면서도 보다 정교한 트리밍 후가공을 가능케 하여, 셀 위치 정밀도(CPA)를 현저히 향상시키기 위한 것이다. The present invention, in manufacturing a mask sheet and mask assembly for OLED deposition, is intended to improve the efficiency of a post-processing process of trimming performed by using a microwave laser after bonding a stretched mask sheet to a mask frame. By providing a mask sheet including one or more cell openings processed such that protrusions protruding with a predetermined width and thickness form the outer circumferential surface of the through hole, laser trimming post-processing is achieved due to the significantly reduced thickness of the processing target part compared to the prior art. This is to significantly improve cell positioning accuracy (CPA) by enabling more sophisticated post-processing of trimming while reducing time.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above-mentioned technical problem, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.

본 명세서에서는 하나 이상의 셀 개구부를 포함하고 소정 두께를 가지는 OLED 증착용 마스크 시트로서, 상기 셀 개구부는, 마스크 시트 상면에서 하면 방향으로 제1 에칭되어 제1 폭 및 제1 깊이를 갖는 분지형의 제1 홈부; 마스크 시트 하면에서 상면 방향으로 제2 에칭되어 제2 폭 및 제2 깊이를 갖는 역-분지형의 제2 홈부; 및 상기 제1 홈부와 상기 제2 홈부를 연통하고 상기 제1 폭 또는 상기 제2 폭보다 작은 폭을 갖는 관통홀을 포함하되, 상기 제1 및 제2 에칭으로 인해 소정 폭 및 두께로 돌출된 형태의 돌출편이 상기 관통홀의 외주면을 이루는, OLED 증착용 마스크 시트를 제공한다.In the present specification, a mask sheet for OLED deposition includes one or more cell openings and has a predetermined thickness, wherein the cell openings are first etched in a direction from the upper surface to the lower surface of the mask sheet to form a branched first width and a first depth. 1 groove; a reverse-branched second groove having a second width and a second depth by being second etched from the lower surface of the mask sheet to the upper surface; and a through hole communicating with the first groove and the second groove and having a width smaller than the first width or the second width, wherein the first and second etchings protrude to a predetermined width and thickness. Provides a mask sheet for OLED deposition, in which protruding pieces form an outer circumferential surface of the through hole.

상기 관통홀은 상기 제2 홈부 상측 표면에서 시트 내부 방향으로 형성되며, 상기 제2 폭보다 작은 제3 폭의 관통홀 하부를 포함하는 것일 수 있다. The through hole may be formed from the upper surface of the second groove toward the inside of the sheet, and may include a lower portion of the through hole having a third width smaller than the second width.

상기 관통홀의 단면은 상부 폭이 하부 폭보다 좁은 벨 형상(bell shape)을 가지는 것일 수 있다. A cross section of the through hole may have a bell shape in which an upper width is narrower than a lower width.

상기 상기 관통홀은 상기 제1 홈부 하측 표면에서 시트 내부 방향으로 형성되며, 상기 제3 폭보다 작은 제4 폭의 관통홀 상부를 포함하는 것일 수 있다. The through hole may be formed from a lower surface of the first groove portion toward an inside of the sheet, and may include an upper portion of the through hole having a fourth width smaller than the third width.

상기 관통홀의 단면은 모래시계 형상(hourglass shape)을 가지는 것일 수 있다. A cross section of the through hole may have an hourglass shape.

상기 관통홀 하부가 갖는 제3 깊이는 상기 관통홀 상부가 갖는 제4 깊이보다 상대적으로 더 큰 깊이를 가지는 것일 수 있다.The third depth of the lower portion of the through hole may be greater than the fourth depth of the upper portion of the through hole.

상기 상기 관통홀 하부 측벽은 수평면을 기준으로 40 내지 45도의 테이퍼 각도를 가지며, 상기 관통홀 상부 측벽은 수평면을 기준으로 130 내지 135도의 테이퍼 각도를 가지는 것일 수 있다. The lower sidewall of the through-hole may have a taper angle of 40 to 45 degrees with respect to a horizontal plane, and the upper sidewall of the through-hole may have a taper angle of 130 to 135 degrees with respect to a horizontal plane.

상기 마스크 시트의 두께는 50 내지 200 ㎛이고, 상기 제1 홈부의 제1 깊이는 10 내지 25 ㎛이며, 상기 제2 홈부의 제2 깊이는 20 내지 145 ㎛인 것일 수 있다. The thickness of the mask sheet may be 50 to 200 μm, the first depth of the first groove may be 10 to 25 μm, and the second depth of the second groove may be 20 to 145 μm.

상기 마스크 시트는 상기 제1 홈부의 제1 깊이에 대응되는 가상의 제1 구역, 상기 제2 홈부의 제2 깊이에 대응하는 가상의 제2 구역 및 상기 돌출편의 두께에 대응되는 가상의 제3 구역으로 나눌 수 있고, 상기 마스크 시트를 사전 지정한 크기로 인장하는 인장 공정 수행 시, 상기 가상의 제3 구역의 인장 편차가 상기 가상의 제1 구역 또는 제2 구역 대비 상대적으로 적은 것일 수 있다. The mask sheet may include a first virtual region corresponding to a first depth of the first groove, a second virtual region corresponding to a second depth of the second groove, and a virtual third region corresponding to a thickness of the protruding piece. , and when a tensile process of stretching the mask sheet to a predetermined size is performed, a tensile deviation of the virtual third zone may be relatively small compared to the virtual first zone or the second zone.

상기 마스크 시트는 인장 공정 및 마스크 프레임 접합 공정 후, 상기 돌출편의 단부가 레이저 트리밍 되는 것일 수 있다. In the mask sheet, an end of the protruding piece may be laser-trimmed after a stretching process and a mask frame bonding process.

상기 마스크 시트는 인바합금(Invar-36 Alloy) 또는 스테인레스스틸(SUS420) 재질일 수 있다. The mask sheet may be made of Invar-36 Alloy or stainless steel (SUS420).

상기 마스크 시트는 레이저 트리밍 후, 셀 위치 정밀도(CPA) 값이 기준값의 ± 20 ㎛ 범위 이내가 되는 것일 수 있다. The mask sheet may have a cell position accuracy (CPA) value within ±20 μm of a reference value after laser trimming.

또한, 본 명세서에서는 상기 OLED 증착용 마스크 시트; 및 상기 마스크 시트가 인장되어 접합되는 마스크 프레임;을 포함하는, OLED 증착용 마스크 조립체를 제공한다. In addition, in the present specification, the mask sheet for OLED deposition; and a mask frame to which the mask sheet is tensioned and bonded.

본 발명에 따른 OLED 증착용 마스크 시트는 소정 폭 및 두께로 돌출된 돌출편이 관통홀의 외주면을 이루도록 가공된 셀 개구부를 포함함으로써, 마스크 시트 인장 및 마스크 프레임 접합 후 수행되는 레이저 트리밍 후가공 시, 종래 기술 대비 현저히 감소된 트리밍 후가공의 가공 대상부 두께로 인해, 레이저 트리밍 후가공 시간을 단축시키면서도 보다 정교한 트리밍 후가공을 가능케 하여, 셀 위치 정밀도(CPA)를 현저히 향상시킬 수 있다. The mask sheet for OLED deposition according to the present invention includes cell openings processed so that protrusions protruding with a predetermined width and thickness form the outer circumferential surface of the through hole, and thus, when laser trimming post-processing performed after tensioning the mask sheet and bonding the mask frame, compared to the prior art Due to the remarkably reduced thickness of the processing target part after trimming, the laser trimming post-processing time is shortened while enabling more sophisticated post-processing of the laser trimming, so that the cell position accuracy (CPA) can be remarkably improved.

또한, 본 발명에 따르면 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합한 후, 극초단파 레이저를 이용하여 수행되는 트리밍(trimming) 후가공 공정의 효율이 향상되어, 레이저 트리밍 후가공 시간 증가에 따른 셀 개구부 변형이나 균열 파손을 예방할 수 있어, 공정 경제성을 확보할 수 있다. In addition, according to the present invention, after bonding the stretched mask sheet to the mask frame, the efficiency of the trimming post-processing process performed using the microwave laser is improved, and cell opening deformation or crack damage due to the increase in laser trimming post-processing time can be prevented, and process economics can be secured.

또한, 본 발명에 따르면 제1 홈부의 제1 깊이, 제2 홈부의 제2 깊이 및 돌출편의 두께에 대응하는 가상의 제1 내지 제3 구역으로 마스크 시트가 구획되고, 해당 가상의 각 구역 두께에 따른 인장률 차이로 인해 구역 별로 서로 다른 인장 편차를 유도할 수 있는 바, 보다 정밀하게 관통홀 위치 제어가 가능하다.In addition, according to the present invention, the mask sheet is partitioned into virtual first to third regions corresponding to the first depth of the first groove, the second depth of the second groove, and the thickness of the protruding piece, and the thickness of each virtual region Different tensile deviations can be induced for each zone due to the difference in tensile rate, and thus, it is possible to more precisely control the position of the through hole.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트 및 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트를 이용한 증착 과정을 나타낸 단면도로서, 도 1의 a-a`를 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트의 셀 개구부를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트의 돌출편을 확대한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트의 각 구성별 폭 및 깊이(두께)등을 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트의 셀 개구부 형성 과정을 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트의 인장 공정 시 인장력이 작용하는 방향 및 인장에 의한 변형을 개략적으로 나타낸 공정도이다. 1 is a plan view showing a mask sheet and a mask assembly for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a deposition process using a mask sheet for OLED deposition according to an embodiment of the present invention, which is a cross-sectional view taken along line aa′ in FIG.
3 is a cross-sectional view showing cell openings of a mask sheet for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.
4 is an enlarged cross-sectional view of a protruding piece of a mask sheet for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing the width and depth (thickness) of each component of a mask sheet for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.
6 is a process diagram schematically illustrating a process of forming cell openings of a mask sheet for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.
7 is a process diagram schematically showing the direction in which the tensile force acts and deformation due to the tensile force during the tensile process of the mask sheet for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 이하에서 개시되는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. However, the present invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments disclosed below.

이하, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 셀 위치 정밀도가 향상된 OLED 증착용 마스크 시트(100) 및 마스크 조립체(10)에 대해서 보다 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, the mask sheet 100 and the mask assembly 10 for OLED deposition with improved cell position accuracy according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

마스크 시트(100)Mask sheet (100)

본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 시트(100)는 하나 이상의 셀 개구부(101)를 포함하고 소정 두께를 가지며, 상기 셀 개구부(101)는, 마스크 시트(100) 상면에서 하면 방향으로 제1 에칭되어 제1 폭(D1) 및 제1 깊이(T1)를 갖는 분지형의 제1 홈부(110); 마스크 시트 하면에서 상면 방향으로 제2 에칭되어 제2 폭(D2) 및 제2 깊이(T2)를 갖는 역-분지형의 제2 홈부(120); 및 상기 제1 홈부(110)와 상기 제2 홈부(120)를 연통하고 상기 제1 폭(D1) 또는 상기 제2 폭(D2)보다 작은 폭을 갖는 관통홀(130)을 포함하되, 상기 제1 및 제2 에칭으로 인해 소정 폭 및 두께로 돌출된 형태의 돌출편(140)이 상기 관통홀(130)의 외주면을 이루는 것일 수 있다. The mask sheet 100 for OLED deposition according to an embodiment of the present invention includes one or more cell openings 101 and has a predetermined thickness, and the cell openings 101 extend from the upper surface to the lower surface of the mask sheet 100. a first etched branched first groove 110 having a first width D1 and a first depth T1; a reverse-branched second groove 120 having a second width D2 and a second depth T2 by being second etched from the lower surface of the mask sheet to the upper surface; and a through hole 130 communicating with the first groove portion 110 and the second groove portion 120 and having a smaller width than the first width D1 or the second width D2, Protruding pieces 140 protruding to a predetermined width and thickness due to the first and second etching may form the outer circumferential surface of the through hole 130 .

도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 OLED 증착용 마스크 시트(100)는 OLED 디스플레이 제조 시 유기물 공통층을 형성하기 위한 오픈 메탈 마스크(Open Metal Mask, OMM), RGB 증착 공정에 사용되는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask, FMM)를 지지하기 위해 사용되는 보조 메탈 마스크 또는 봉지(encapsulation) 공정에 사용되는 CVD 마스크일 수 있다. 한편, 상기 마스크 시트(100)의 두께는 예를 들어, 50 내지 200 ㎛일 수 있다. Referring to FIGS. 1 and 2, the mask sheet 100 for OLED deposition of the present invention is an open metal mask (OMM) for forming an organic common layer when manufacturing an OLED display, and a pine used in an RGB deposition process. It may be an auxiliary metal mask used to support a fine metal mask (FMM) or a CVD mask used in an encapsulation process. Meanwhile, the thickness of the mask sheet 100 may be, for example, 50 to 200 μm.

일례로, 본 발명의 OLED 증착용 마스크 시트(100)가 유기물 공통층 형성을 위한 오픈 메탈 마스크인 경우, 유기물은 셀 개구부(101)를 통해 마스크 시트(100) 하면 방향에서 상면 방향으로 이동하여 기판 표면에 증착됨으로써 박막을 형성하며, 이에 의해 형성되는 박막층의 폭은 최종 디스플레이 제품의 폭에 대응된다. 한편, 본 발명의 도면에서는 실제 축적과는 상관없이 개략적으로 도시되어 있음은 해당 기술분야의 지식을 가진 자라면 쉽게 이해할 수 있다. 상기 마스크 시트(100)는 하나 이상, 예를 들어 목적하는 디스플레이 제품 개수에 대응하는 개수의 셀 개구부(101)를 포함할 수 있고, 셀 개구부는 일례로 수개에서 수십 또는 수백개일 수 있다. For example, when the mask sheet 100 for OLED deposition according to the present invention is an open metal mask for forming an organic material common layer, the organic material moves from the lower surface of the mask sheet 100 to the upper surface through the cell openings 101 to the substrate A thin film is formed by being deposited on the surface, and the width of the thin film layer formed thereby corresponds to the width of the final display product. On the other hand, it can be easily understood by those skilled in the art that the drawings of the present invention are schematically shown regardless of the actual scale. The mask sheet 100 may include one or more cell openings 101, for example, the number corresponding to the number of desired display products, and the number of cell openings may be, for example, several to tens or hundreds.

한편, 본 발명에서 셀 개구부(101)는 마스크 시트가 인장되기 전에 사전 형성된 일종의 예비 셀 개구부에 해당하는 것일 수 있고, 마스크 조립체(10)에서 최종 목적하는 셀 개구부 또는 관통홀 사이즈를 고려하여, 구체적으로 최종 셀 개구부/관통홀 사이즈, 마스크 시트의 크기, 최종 셀 개구부/관통홀 형상, 가해지는 인장력, 셀 개구부/관통홀 변형 상태 등 여러 요인을 고려하여 경험적으로 결정될 수 있다. 한편, 셀 개구부(101)의 형태는 원형 또는 다각형일 수 있으나 특별히 제한되지 아니한다. Meanwhile, in the present invention, the cell opening 101 may correspond to a kind of preliminary cell opening pre-formed before the mask sheet is stretched, and in consideration of the size of the final target cell opening or through hole in the mask assembly 10, It can be determined empirically by considering various factors such as final cell opening/through-hole size, mask sheet size, final cell opening/through-hole shape, applied tensile force, and cell opening/through-hole deformation. Meanwhile, the shape of the cell opening 101 may be circular or polygonal, but is not particularly limited.

구체적으로, 도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 발명의 셀 개구부(101)는 마스크 시트(100) 상면에서 하면 방향으로 제1 에칭되어 제1 폭(D1) 및 제1 깊이(T1)를 갖는 분지형의 제1 홈부(110); 마스크 시트 하면에서 상면 방향으로 제2 에칭되어 제2 폭(D2) 및 제2 깊이(T2)를 갖는 역-분지형의 제2 홈부(120); 및 상기 제1 홈부(110)와 상기 제2 홈부(120)를 연통하고 상기 제1 폭(D1) 또는 상기 제2 폭(D2)보다 작은 폭을 갖는 관통홀(130)을 포함하는 것일 수 있다.Specifically, referring to FIGS. 3 to 6 , the cell opening 101 of the present invention is first etched from the upper surface to the lower surface of the mask sheet 100 to have a first width D1 and a first depth T1. Branched first groove 110; a reverse-branched second groove 120 having a second width D2 and a second depth T2 by being second etched from the lower surface of the mask sheet to the upper surface; and a through hole 130 communicating with the first groove portion 110 and the second groove portion 120 and having a smaller width than the first width D1 or the second width D2. .

이때, 셀 개구부(101)는, 상기 제1 및 제2 에칭으로 인해 소정 폭 및 두께(D0)로 돌출된 형태의 돌출편(140)이 상기 관통홀(130)의 외주면을 이루도록 하는 것일 수 있다. 한편, 본 발명의 명세서 및 청구범위 전반에서 용어 '상면'은 마스크 시트(100)가 기판과 접촉하는 면을 의미하고, '하면'은 유기물 공통층(박막) 내지 RGB 층 형성을 위한 유기물이 입사되는 면을 의미하는 것이다.At this time, the cell opening 101 may be such that a protruding piece 140 protrudes to a predetermined width and thickness D0 due to the first and second etching to form the outer circumferential surface of the through hole 130. . Meanwhile, throughout the specification and claims of the present invention, the term 'upper surface' refers to the surface where the mask sheet 100 contacts the substrate, and 'lower surface' refers to the surface where the organic material for forming the organic material common layer (thin film) or RGB layer is incident. It means the side of being.

제1 홈부(110)는 마스크 시트(100) 상면에서 하면 방향, 즉 마스크 시트(100) 내부를 향해 제1 에칭되어 형성된다(도 6 참조). 제1 홈부(110)는 분지 형상으로 형성될 수 있으며, 상세하게는, 제1 폭(D1)과 제1 깊이(T1)를 갖되, 제1 폭(D1)은 제1 깊이(T1)보다 큰 길이로 구비되는 분지 형상일 수 있다. The first groove 110 is formed by first etching from the upper surface of the mask sheet 100 to the lower surface, that is, toward the inside of the mask sheet 100 (see FIG. 6 ). The first groove 110 may be formed in a branch shape, and in detail, have a first width D1 and a first depth T1, but the first width D1 is greater than the first depth T1. It may have a branched shape provided in length.

제1 홈부(110)의 제1 폭(D1)의 양 끝단 가장자리는 박막층의 가장자리와 서로 간섭되지 않도록 수평 방향으로 충분이 이격되는 치수로 결정될 수 있다. 제1 홈부(110)의 제1 깊이(T1)는 박막층 가장자리에 발생될 쉐도우 영역의 크기를 최대한 감소시킬 수 있도록 가능한 얕은 깊이로 형성될 수 있다. 상세하게, 제1 홈부(110)의 제1 깊이(T1)는 10 내지 25 ㎛로 형성되거나, 보다 상세하게는 10 내지 20 ㎛로 형성될 수 있다. 상기 제1 홈부(110)의 제1 폭(D1) 및 제1 깊이(T1)는 에칭액의 농도 또는 에칭 시간을 조절함으로써, 제어할 수 있다. Both ends of the first width D1 of the first groove 110 may be sufficiently spaced apart in the horizontal direction so as not to interfere with the edge of the thin film layer. The first depth T1 of the first groove 110 may be formed as shallow as possible to reduce the size of a shadow region to be generated at the edge of the thin film layer as much as possible. In detail, the first depth T1 of the first groove 110 may be formed to be 10 to 25 μm, or more specifically, 10 to 20 μm. The first width D1 and the first depth T1 of the first groove 110 may be controlled by adjusting the concentration of the etchant or the etching time.

제2 홈부(120)는 마스크 시트(100) 하면에서 상면 방향, 즉 마스크 시트(100) 내부를 향해 제2 에칭되어 형성된다(도 6 참조). 제2 홈부(120)는 제1 홈부(110)와 대향되는 반대면인 마스크 시트(100) 하면에 형성되기 때문에 제1 홈부(110) 형성 후 순차적으로 에칭하거나 제1 홈부(110)와 동시에 에칭하여 형성될 수 있다. 한편, 제2 홈부(120)는 제2 폭(D2)과 제2 깊이(T2)를 갖되, 제2 폭(D2)은 제2 깊이(T2)보다 큰 길이로 구비될 수 있으며, 제2 홈부(120)를 뒤집어서 보면 제1 홈부(110)와 동일한 형태의 분지 형상을 가질 수 있다(역-분지 형상). The second groove 120 is formed by second etching from the lower surface of the mask sheet 100 toward the upper surface, that is, toward the inside of the mask sheet 100 (see FIG. 6 ). Since the second grooves 120 are formed on the lower surface of the mask sheet 100, which is opposite to the first grooves 110, they are sequentially etched after the first grooves 110 are formed or etched simultaneously with the first grooves 110. can be formed by Meanwhile, the second groove part 120 has a second width D2 and a second depth T2, the second width D2 may be provided with a length greater than the second depth T2, and the second groove part When 120 is turned upside down, it may have the same branching shape as the first groove part 110 (reverse-branching shape).

제2 홈부(120)의 제2 폭(D2)은 후술할 레이저 트리밍 공정 시 돌출편에 대한 충분한 가공이 수행될 수 있을 정도의 치수로 돌출편이 형성되게끔 하는 폭 범위로 결정될 수 있다. 제2 홈부(120)의 제2 깊이(T2)는 후술할 인장 공정(도 7 참조) 시 마스크 시트(100) 가상의 구역 각 두께 별 상이한 인장률에 기초한 인장 편차를 이용할 수 있는 소정 치수 범위로 결정될 수 있다. 상세하게 제2 홈부(120)의 제2 깊이(T2)는 후술할 레이저 트리밍 공정 시 공정 시간을 현저히 단축할 수 있도록, 돌출편이 사전 지정된 소정 두께 범위, 예를 들어, 15 내지 35 ㎛, 상세하게는 20 내지 30 ㎛ 두께 범위가 되도록 하는 것을 고려하여 결정될 수 있다. The second width D2 of the second groove 120 may be determined to be a width range in which the protruding piece is formed with a size enough to allow sufficient processing of the protruding piece during a laser trimming process to be described later. The second depth T2 of the second groove 120 is within a predetermined dimensional range that can utilize the tension deviation based on the different tensile rate for each thickness of the virtual region of the mask sheet 100 during a tensile process (see FIG. 7), which will be described later. can be determined In detail, the second depth T2 of the second groove 120 is a predetermined thickness range, for example, 15 to 35 μm, for example, 15 to 35 μm, in detail may be determined considering that it is in the range of 20 to 30 μm thickness.

일례로, 마스크 시트(100) 두께가 50 내지 200 ㎛ 인 경우, 제2 홈부(120)의 제2 깊이(T2)는 20 내지 145 ㎛ 범위로 형성될 수 있다. 상기, 제2 홈부(120)의 제2 폭(D2) 및 제2 깊이(T2)는 제1 홈부(110)와 마찬가지로, 에칭액의 농도 또는 에칭 시간을 조절함으로써, 제어할 수 있다.For example, when the thickness of the mask sheet 100 is 50 to 200 μm, the second depth T2 of the second groove 120 may be formed in the range of 20 to 145 μm. Like the first groove 110 , the second width D2 and the second depth T2 of the second groove 120 may be controlled by adjusting the concentration of the etchant or the etching time.

도 3 내지 도 6을 참고하면, 관통홀(130)은 상기 제1 홈부(110)와 제2 홈부(120)를 연통하는 구멍으로서, 제1 홈부(110)와 제2 홈부(120)의 중간 부분을 연통하는 형태로 형성될 수 있다. Referring to FIGS. 3 to 6 , the through hole 130 is a hole that communicates the first groove part 110 and the second groove part 120, and is located in the middle of the first groove part 110 and the second groove part 120. It may be formed in the form of communicating parts.

한편, 본 발명에 따른 관통홀(130)은 상기 제1 폭(D1) 또는 상기 제2 폭(D2)보다 작은 폭을 가지는 것일 수 있으며, 일례로 관통홀의 단면은 상부 폭이 하부 폭보다 좁은 벨 형상(bell shape)을 가지는 것일 수 있다. 관통홀(130)의 단면이 벨 형상을 가지는 경우, 유기물 증착 시 박막 사이즈 결정이 관통홀(130) 외주면을 이루는 돌출편의 측벽에 의해 결정되므로, 기판에 형성되는 박막 가장자리의 쉐도우 영역을 최소화한다. 구체적으로, 관통홀 하부 측벽은 수평면을 기준으로 40 내지 45도의 테이퍼 각도를 가지고, 이 경우 쉐도우 영역이 약 20 ㎛ 이하로 감소될 수 있다.On the other hand, the through hole 130 according to the present invention may have a width smaller than the first width D1 or the second width D2, and for example, the cross section of the through hole is a bell having an upper width narrower than a lower width. It may have a bell shape. When the cross section of the through hole 130 has a bell shape, since the thin film size is determined by the sidewall of the protruding piece constituting the outer circumferential surface of the through hole 130 during organic material deposition, the shadow area at the edge of the thin film formed on the substrate is minimized. Specifically, the lower sidewall of the through hole has a taper angle of 40 to 45 degrees relative to the horizontal plane, and in this case, the shadow area may be reduced to about 20 μm or less.

한편, 본 발명의 일실시예에서, 관통홀(130)은 제2 홈부(120) 상측 표면에서 시트 내부 방향으로 형성되며, 상기 제2 폭(D2)보다 작은 제3 폭(D3)의 관통홀 하부 (131)를 포함할 수 있다. 이는 제3 에칭 과정을 통해 형성되는 것일 수 있으며, 구체적으로 마스크 시트(100) 하면에서 상면 방향으로 제2 폭(D2)을 갖는 역-분지형의 제2 홈부(120)가 형성된 다음, 제2 홈부(120) 상측 표면에서 시트 내부 방향으로 제3 에칭하여 상기 제2 폭(D2)보다 작은 크기를 갖는 제3 폭(D3)의 관통홀 하부(131)가 만들어지도록 관통홀(130)이 형성될 수 있다. 이때 관통홀(130)의 단면은 상부 폭이 하부 폭보다 좁은 벨 형상(bell shape)을 가질 수 있다. Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the through hole 130 is formed from the upper surface of the second groove part 120 toward the inside of the sheet, and has a third width D3 smaller than the second width D2. A bottom 131 may be included. This may be formed through a third etching process, and specifically, after the reverse-branched second groove 120 having a second width D2 is formed in the direction from the lower surface to the upper surface of the mask sheet 100, the second A through hole 130 is formed by performing a third etching from the upper surface of the groove 120 toward the inside of the sheet to form a lower part 131 of a third width D3 smaller than the second width D2. It can be. In this case, a cross section of the through hole 130 may have a bell shape in which an upper width is narrower than a lower width.

한편, 본 발명의 또 다른 일실시예에서, 관통홀(130)은 관통홀 하부(131)와 더불어 제1 홈부(110)에서 하측 표면에서 시트 내부 방향으로 형성되며, 상기 제3 폭(D3)보다 작은 제4 폭(D4)의 관통홀 상부(132)를 포함할 수 있다. 이는 제4 에칭 과정을 통해 형성되는 것일 수 있으며, 구체적으로 마스크 시트(100) 상면에서 하면 방향으로 제1 폭(D1)을 갖는 분지형의 제1 홈부(110)가 형성된 다음, 제1 홈부(110) 하측 표면에서 시트 내부 방향으로 제4 에칭하여 상기 제3 폭(D3)보다 작은 크기를 갖는 제4 폭(D4)의 관통홀 상부(132)가 만들어지도록 관통홀(130)이 형성될 수 있다. 이때, 관통홀(130)의 단면은 모래시계 형상(hourglass)을 가질 수 있다. Meanwhile, in another embodiment of the present invention, the through hole 130 is formed in the inner direction of the sheet from the lower surface of the first groove part 110 together with the lower through hole 131, and the third width D3 An upper portion 132 of the through hole having a smaller fourth width D4 may be included. This may be formed through a fourth etching process, and specifically, after the branched first groove 110 having the first width D1 is formed in the direction from the upper surface to the lower surface of the mask sheet 100, the first groove ( 110) A through hole 130 may be formed by performing a fourth etching from the lower surface toward the inside of the sheet to form an upper portion 132 of the fourth width D4 having a smaller size than the third width D3. there is. At this time, the cross section of the through hole 130 may have an hourglass shape.

한편, 상기 제4 에칭은 제3 에칭과 동시에 수행되거나, 순차적으로 수행되는 것일 수 있다(도 6 참조). 한편, 상기와 같이 관통홀(130)에 관통홀 하부(131) 및 관통홀 상부(132)가 모두 형성된 경우, 관통홀(130)의 외주면을 이루는 돌출편의 측벽은 관통홀(130)의 관통홀 하부(131)와 관통홀 상부(132)가 만나는 지점에서 가장 긴 길이로 돌출된 엣지 형상을 가질 수 있다. Meanwhile, the fourth etching may be performed simultaneously with the third etching or sequentially (see FIG. 6 ). On the other hand, when both the lower through-hole 131 and upper through-hole 132 are formed in the through-hole 130 as described above, the sidewall of the protruding piece constituting the outer circumferential surface of the through-hole 130 is the through-hole of the through-hole 130. At a point where the lower part 131 and the upper part 132 of the through hole meet, it may have an edge shape protruding with the longest length.

한편, 상기와 같이 관통홀(130)에 관통홀 하부(131) 및 관통홀 상부(132)가 모두 형성된 경우, 관통홀 하부(131)는 제3 깊이(T3)로 관통홀 상부(132)는 제4 깊이(T4)로 각각 형성될 수 있고, 이때, 관통홀 하부(131)가 갖는 제3 깊이(T3)는 관통홀 상부(132)가 갖는 제4 깊이(T4)보다 상대적으로 더 큰 깊이로 형성될 수 있으며, 위와 같은 경우 유기물 박막층 가장자리에 발생하는 쉐도우 영역을 최소화할 수 있다. Meanwhile, when both the lower through-hole 131 and the upper through-hole 132 are formed in the through-hole 130 as described above, the lower through-hole 131 has a third depth T3 and the upper through-hole 132 has Each may be formed to have a fourth depth T4. In this case, the third depth T3 of the lower part 131 of the through hole is greater than the fourth depth T4 of the upper part 132 of the through hole. In the above case, the shadow area generated at the edge of the organic thin film layer can be minimized.

또한, 상기 관통홀(130)에 관통홀 하부(131)와 관통홀 상부(131)가 모두 형성된 경우 관통홀 하부 측벽은 수평면을 기준으로 40 내지 45도의 테이퍼 각도를 가지며, 상기 관통홀 상부 측벽은 수평면을 기준으로 130 내지 135도의 테이퍼 각도를 가질 수 있다. In addition, when both the lower through-hole 131 and the upper through-hole 131 are formed in the through-hole 130, the lower sidewall of the through-hole has a taper angle of 40 to 45 degrees with respect to the horizontal plane, and the upper sidewall of the through-hole It may have a taper angle of 130 to 135 degrees relative to the horizontal plane.

본 발명의 일실시예에 따른 마스크 시트는 50 내지 200 ㎛의 두께를 가질 수 있고, 이때, 제1 홈부(110)의 제1 깊이는 10 내지 25 ㎛일 수 있으며, 제2 홈부(120)의 깊이는 20 내지 145 ㎛일 수 있다. The mask sheet according to an embodiment of the present invention may have a thickness of 50 to 200 μm, and at this time, the first depth of the first groove 110 may be 10 to 25 μm, and the second groove 120 The depth may be 20 to 145 μm.

한편, 본 발명에 따른 돌출편(140)은 레이저 트리밍 후가공 시 공정 소요 시간을 단축하고, 가공 정밀도를 향상시키기 적합한 소정 폭과 두께를 가지는 것일 수 있다. On the other hand, the protruding piece 140 according to the present invention may have a predetermined width and thickness suitable for shortening the process time required for processing after laser trimming and improving processing accuracy.

일례로, 관통홀의 깊이에 대응하는 돌출편의 두께(D0)는 15 내지 35 ㎛, 상세하게는 20 내지 30 ㎛ 범위를 가질 수 있다. 한편, 돌출편의 두께가 20 내지 30 ㎛ 두께 범위를 가지는 경우 1개의 셀 개구부당 레이저 트리밍 후가공 시 공정 소요 시간이 약 3 내지 5 분으로서, 종래 기술에 따른 마스크 시트(100)에서 가공 대상부가 되는 개구 단부 두께가 약 100 ㎛ 인 경우, 레이저 트리밍 후가공 시 공정 소요 시간이 약 3 ~ 4 시간 소요되는 것 대비 소요 시간이 현저히 단축된다. For example, the thickness D0 of the protruding piece corresponding to the depth of the through hole may have a range of 15 to 35 μm, specifically 20 to 30 μm. On the other hand, when the thickness of the protruding piece has a thickness range of 20 to 30 μm, the process time required for laser trimming post-processing per cell opening is about 3 to 5 minutes, and the opening to be processed in the mask sheet 100 according to the prior art When the end thickness is about 100 μm, the time required for the process after laser trimming is significantly reduced compared to about 3 to 4 hours.

또 다른 일례로, 본 발명에 따른 돌출편의 폭은 700 ㎛ 이하, 상세하게는 150 ㎛ 이하의 폭을 가질 수 있다. 돌출편이 상기 폭 범위를 가지는 경우 트리밍 가능 범위가 넓어져 셀 위치 정밀도(Cell Positioning Accuracy, CPA)가 향상될 수 있다. 한편, 돌출편이 상기 폭 및 두께 범위를 넘어서는 경우 마스크 시트 및 조립체의 세정 공정 간 돌출편이 찢어질 우려가 있다. As another example, the protruding piece according to the present invention may have a width of 700 μm or less, specifically 150 μm or less. When the protruding piece has the width range, the trimmable range is widened, and cell positioning accuracy (CPA) can be improved. On the other hand, when the protruding piece exceeds the width and thickness ranges, there is a concern that the protruding piece may be torn between the mask sheet and the assembly cleaning process.

본 발명의 일실시예에 따라, 돌출편의 두께가 20 ㎛이고, 폭이 150 ㎛ 인 경우, 레이저 트리밍 후가공 공정 후 셀 위치 정밀도(Cell Positioning Accuracy, CPA) 값은 기준값의 ± 20 ㎛ 범위 내로 제어될 수 있으므로, 오차 범위가 현저히 낮아져 디스플레이 제품의 정밀도 및 가장자리 정밀도가 현저히 향상될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when the thickness of the protruding piece is 20 μm and the width is 150 μm, the cell positioning accuracy (CPA) value after the laser trimming post-processing is controlled within the range of ± 20 μm of the reference value. Therefore, the margin of error can be significantly lowered, and thus the precision and edge precision of the display product can be remarkably improved.

마스크 조립체(10)Mask assembly (10)

한편, 도 1, 도 6 및 도 7을 참고하면, 마스크 조립체(10)는 상술한 OLED 증착용 마스크 시트(100)를 사전 지정한 크기로 늘리는 인장 공정과 이를 마스크 프레임(200)에 접합시키는 공정을 통해 제조된다. Meanwhile, referring to FIGS. 1, 6, and 7, the mask assembly 10 includes a stretching process of stretching the above-described mask sheet 100 for OLED deposition to a predetermined size and a process of bonding the same to the mask frame 200. manufactured through

인장 공정은 상술한 마스크 시트(100)의 가장자리(혹은 살대) 부분을 클램프로 고정한 후, 인장기를 이용하여 수행되는데, 종래 기술에 따르면 인장 시 셀 개구부(101) 및 관통홀(130)의 위치가 사전 지정된 정 위치에서 어긋나는 문제가 있고, 이에 인장 오차를 해결하기 위해 마스크 프레임(200)에 접합된 마스크 시트(100)의 셀 개구부(101)에 대해 레이저 트리밍 후가공을 수행하여, 마스크 조립체(10)를 완성한다. The stretching process is performed by using a tensioner after fixing the edges (or ribs) of the above-described mask sheet 100 with a clamp. According to the prior art, the positions of the cell openings 101 and through holes 130 are There is a problem of misalignment from a predetermined position, and in order to solve the tension error, laser trimming is performed on the cell openings 101 of the mask sheet 100 bonded to the mask frame 200, and the mask assembly 10 complete the

이때, 본 발명과 같이 마스크 시트(100)가 제1 홈부(110), 제2 홈부(120) 및 돌출편 구성을 포함하는 경우, 위 인장 공정에 의해 발생하는 인장 편차를 최소화할 수 있다(도 7).At this time, as in the present invention, when the mask sheet 100 includes the first groove portion 110, the second groove portion 120, and the protruding piece structure, it is possible to minimize the tensile deviation caused by the above tensile process (Fig. 7).

본 발명의 마스크 시트(100)는 서로 다른 높이 위치에 형성되는 제1 홈부(110)의 제1 깊이(T1), 제2 홈부(120)의 제2 깊이(T2) 및 돌출편(140)의 두께(D0)에 대응하는 가상의 제1 내지 제3 구역으로 나눌 수 있다. The mask sheet 100 of the present invention has a first depth T1 of the first groove portion 110 formed at different height positions, a second depth T2 of the second groove portion 120, and a protruding piece 140. It can be divided into virtual first to third regions corresponding to the thickness D0.

한편, 마스크 시트(100)는 수평 방향으로 인장이 이루어지는데, 이때, 돌출편 위치에 대응하는 마스크 시트(100)의 가상의 제3 구역(A3)은 해당 부분의 두께(깊이)가 가상의 제2 구역(A2) 대비 상대적으로 작을 뿐 아니라 해당 구역들 가운데 위치하게 되는 바, 인장 공정 간 상대적으로 두께가 두꺼운 가상의 제2 구역 및 가장자리 부분인 가상의 제1 구역(A1) 부분에서 인장이 주로 이루어지게 되고, 가상의 제3 구역의 인장 편차는 가상의 제1 구역 및 2 구역 대비 상대적으로 적을 수 있다. 한편, 이와 같은 효과를 극대화하기 위해, 제1 홈부(110) 및 제2 홈부(120)의 측벽은 마스크 시트(100)의 상면 또는 하면이 갖는 수평 방향을 기준으로 소정의 각도, 예를 들어 130 내지 135도 각도의 둔각을 가질 수 있다. Meanwhile, the mask sheet 100 is stretched in the horizontal direction. At this time, the virtual third area A3 of the mask sheet 100 corresponding to the position of the protruding piece has a thickness (depth) of the virtual third area A3. It is not only relatively small compared to zone 2 (A2), but also located in the middle of the corresponding zones. In the virtual second zone, which is relatively thick during the tensile process, and in the virtual first zone (A1), which is the edge portion, tension is mainly and the tensile deviation of the virtual third zone may be relatively small compared to the virtual first zone and the second zone. On the other hand, in order to maximize this effect, the sidewalls of the first groove portion 110 and the second groove portion 120 have a predetermined angle relative to the horizontal direction of the upper or lower surface of the mask sheet 100, for example, 130 It may have an obtuse angle of from 135 degrees to 135 degrees.

한편, 마스크 시트(100)는 상술한 인장 공정 및 마스크 프레임(200)에 대한 접합 공정 수행 후 셀 위치 정밀도를 보다 향상시키기 위해, 관통홀(130)이 미리 지정한 위치에 정 위치될 수 있도록 레이저 트리밍 후가공 공정을 거친다. Meanwhile, the mask sheet 100 is subjected to laser trimming so that the through hole 130 can be positioned at a predetermined position in order to further improve the cell positioning accuracy after the above-described tensioning process and bonding process to the mask frame 200 are performed. It goes through a post-processing process.

레이저 트리밍 후가공은 극초단파 레이저를 조사하여 돌출편의 일부를 제거함으로써 미리 지정된 셀 위치에 관통홀(130)이 정 위치될 수 있도록 하는 것일 수 있다. 일례로, 레이저 트리밍 후가공은 극초단파 레이저인 피코초 레이저(pico-second laser) 또는 펨토초 레이저(femto-second laser) 등 가공 장비를 이용하여 수행되는 것일 수 있으며, 복수의 셀 개구부(101)들 중 하나 이상의 셀 개구부(101) 내 돌출편 단부를 깍아내는 방식으로 수행될 수 있다. Laser trimming post-processing may be to irradiate a microwave laser to remove a part of the protruding piece so that the through hole 130 can be properly positioned at a pre-specified cell location. As an example, laser trimming post-processing may be performed using processing equipment such as a pico-second laser or a femto-second laser, which is a microwave laser, and one of the plurality of cell openings 101 It may be performed by cutting the end of the protruding piece in the above cell opening 101.

한편, 펨토초 레이저를 마스크 시트(100)의 트리밍 가공 작업에 사용하면, 가공물의 표면이 녹지 않고 바로 파티클 형태로 기화되며, 열이 주변에 전달되기 전에 가공이 완료되기 때문에, 가공물에 열을 거의 발생시키지 않는 방식으로 가공이 가능하다. 따라서 펨토초 레이저를 이용하는 경우, 트리밍 단계에서 마스크 시트(100)나 셀 개구부(101)에 별다른 손상을 발생시키지 않으면서 미세하고 정교한 트리밍 가공이 가능하다.On the other hand, when the femtosecond laser is used for trimming the mask sheet 100, the surface of the workpiece is directly vaporized in the form of particles without melting, and since the processing is completed before heat is transmitted to the surroundings, almost no heat is generated on the workpiece It can be processed in a way that does not. Therefore, in the case of using a femtosecond laser, a fine and sophisticated trimming process is possible without causing any damage to the mask sheet 100 or the cell opening 101 in the trimming step.

한편, 피코초 레이저 또는 펨토초 레이저를 이용한 트리밍 후가공은 1개의 셀 개구부당 마스크 시트(100) 개구 단부 두께 100 ㎛ 기준으로 약 3 내지 4 시간의 공정 시간이 소요되는 바, 트리밍이 수행되는 마스크 시트(100) 부분의 두께가 두꺼울수록 공정 소요 시간이 더욱 증가하여 공정 경제성이 떨어질 수 있고, 두꺼운 두께로 인해 정밀한 가공이 어려워 셀 위치 정밀도를 충분히 향상시키기 어려울 수 있다. On the other hand, post-processing of trimming using a picosecond laser or femtosecond laser takes about 3 to 4 hours of processing time based on the thickness of the opening end of the mask sheet 100 per cell opening of 100 μm. 100) The thicker the part, the more time required for the process, and thus the economic efficiency of the process may decrease.

반면, 본 발명에 따른 구성을 가진, 마스크 시트(100) 및 마스크 조립체(10)의 경우 트리밍 가공 대상부가 되는 돌출편의 두께(D0)가 15 내지 35 ㎛, 상세하게는 20 내지 30 ㎛ 범위를 가지는 바, 종래 기술 대비 가공 대상부 두께 감소로 인해 레이저 트리밍 후가공 소요 시간이 현저히 단축되고, 나아가 보다 정밀한 트리밍 가공이 가능하다. On the other hand, in the case of the mask sheet 100 and the mask assembly 10 having the configuration according to the present invention, the thickness D0 of the protruding piece to be trimmed is in the range of 15 to 35 μm, specifically 20 to 30 μm. Bar, due to the reduction in the thickness of the processing target compared to the prior art, the time required for laser trimming post-processing is significantly reduced, and furthermore, more precise trimming processing is possible.

따라서, 셀 위치 정밀도가 현저히 향상되므로, 최종 제조되는 디스플레이 제품의 정밀도 및 제품의 가장자리 정밀도 역시 향상되고, 이에 따라 보다 다양한 디자인을 가진 정밀한 디스플레이 생산이 가능하다. Accordingly, since the cell positioning accuracy is remarkably improved, the precision of the finally manufactured display product and the edge precision of the product are also improved, and accordingly, it is possible to produce a more precise display with a more diverse design.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 조립체(10)는 상기 OLED 증착용 마스크 시트(100); 및 상기 마스크 시트(100)가 인장되어 접합되는 마스크 프레임(200); 을 포함할 수 있다. 본 발명의 마스크 시트(100)는 금속 재질일 수 있으며, 구체적으로 인바합금(Invar-36 Alloy) 또는 스테인레스스틸(SUS420) 재질일 수 있다. 또한, 마스크 프레임(200) 역시 인바합금(Invar-36 Alloy) 또는 스테인레스스틸(SUS420) 재질일 수 있다. Meanwhile, the mask assembly 10 for OLED deposition according to an embodiment of the present invention includes the mask sheet 100 for OLED deposition; and a mask frame 200 to which the mask sheet 100 is tensioned and bonded. can include The mask sheet 100 of the present invention may be made of a metal material, and specifically may be made of Invar-36 Alloy or stainless steel (SUS420). In addition, the mask frame 200 may also be made of Invar-36 Alloy or stainless steel (SUS420).

한편, 도 6 및 도 7을 참고하면, 상기한 본 발명의 일실시예에 따른 OLED 증착용 마스크 조립체(10)는 소정의 공정 순서로 제조될 수 있다. Meanwhile, referring to FIGS. 6 and 7 , the mask assembly 10 for OLED deposition according to an embodiment of the present invention described above may be manufactured in a predetermined process sequence.

마스크 시트는 금속 재질의 마스크 시트를 준비하고, 마스크 시트(100)에 제1 홈부(110)를 형성하는 제1 에칭 단계, 마스크 시트(100)에 제2 홈부(120)를 형성하는 제2 에칭 단계, 제1 홈부(110)와 제2 홈부(120)를 연통하는 관통홀(130)을 형성함으로써 돌출편(140)을 형성하는 단계를 통해 제조될 수 있다. 한편, 관통홀(130) 형성은 상술한 바와 같이 제3 에칭 또는 제3 및 제4 에칭 단계를 통해 이루어질 수 있다. 한편, 상기 에칭은 습식 식각, 건식 식각, 또는 레이저 식각 등 당해 기술 분야에 알려진 일반적인 방법을 통해 수행될 수 있다. For the mask sheet, a mask sheet made of a metal material is prepared, the first etching step is to form the first groove 110 in the mask sheet 100, and the second etching step is to form the second groove 120 in the mask sheet 100. Step, it can be manufactured through the step of forming the protruding piece 140 by forming a through hole 130 communicating between the first groove portion 110 and the second groove portion 120. Meanwhile, the through hole 130 may be formed through the third etching or the third and fourth etching steps as described above. Meanwhile, the etching may be performed through a general method known in the art, such as wet etching, dry etching, or laser etching.

제조된 마스크 시트(100)는 준비된 마스크 프레임(200)에 접합하기 위해, 사전 지정된 크기로 인장하는 단계, 이를 마스크 프레임(200)에 접합하는 단계를 통해 마스크 조립체로 제조되며, 접합 후 마스크 시트(100)의 셀 개구부(101)에 형성된 돌출편을 일부 깍아냄으로써 미리 지정된 정 위치에 관통홀(130)이 위치되도록 가공하는 레이저 트리밍 후가공이 수행된다. 이는 상술한 바와 같다. The manufactured mask sheet 100 is manufactured as a mask assembly through the steps of stretching to a predetermined size in order to be bonded to the prepared mask frame 200 and bonding it to the mask frame 200, and after bonding the mask sheet ( Laser trimming post-processing is performed to position the through hole 130 at a predetermined position by partially cutting off the protruding piece formed in the cell opening 101 of (100). This is as described above.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 아니되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.In the foregoing, although specific embodiments of the present invention have been described and shown, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is common knowledge in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. It is self-evident to those who have Therefore, such modifications or variations should not be individually understood from the technical spirit or viewpoint of the present invention, and modified embodiments should fall within the scope of the claims of the present invention.

10: 마스크 조립체
100: 마스크 시트 101: 셀 개구부
110: 제1 홈부 120: 제2 홈부
130: 관통홀 131: 관통홀 하부
132: 관통홀 상부
140: 돌출편
200: 마스크 프레임
D0: 돌출편의 두께(관통홀의 깊이)
D1: 제1 폭 D2: 제2 폭
D3: 제3 폭 D4: 제4 폭
T1: 제1 깊이 T2: 제2 깊이
T3: 제3 깊이 T4: 제4 깊이
OM: 유기물(Organic material)10: mask assembly
100: mask sheet 101: cell opening
110: first groove 120: second groove
130: through hole 131: lower through hole
132: upper through hole
140: overhang
200: mask frame
D0: Thickness of protruding piece (depth of through hole)
D1: first width D2: second width
D3: third width D4: fourth width
T1: first depth T2: second depth
T3: third depth T4: fourth depth
OM: organic material

Claims (10)

하나 이상의 셀 개구부를 포함하고 소정 두께를 가지는 OLED 증착용 마스크 시트로서,
상기 셀 개구부는,
마스크 시트 상면에서 하면 방향으로 제1 에칭되어 제1 폭 및 제1 깊이를 갖는 분지형의 제1 홈부; 마스크 시트 하면에서 상면 방향으로 제2 에칭되어 제2 폭 및 제2 깊이를 갖는 역-분지형의 제2 홈부; 및 상기 제1 홈부와 제2 홈부를 연통하고 상기 제1 폭 또는 상기 제2 폭보다 작은 폭을 갖는 관통홀을 포함하되,
상기 제1 및 제2 에칭으로 인해 150 ㎛ 이하의 폭 및 15 내지 35 ㎛ 범위 두께로 돌출된 형태의 돌출편이 상기 관통홀의 외주면을 이루며,
인장 및 마스크 프레임 접합 공정 수행 후, 상기 돌출편의 단부에 대해 레이저 트리밍이 수행되면 셀 위치 정밀도(CPA) 값이 기준 값의 ± 20 ㎛ 범위 이내가 되는, OLED 증착용 마스크 시트.A mask sheet for OLED deposition including one or more cell openings and having a predetermined thickness,
The cell opening,
a branched first groove having a first width and a first depth by being first etched from the upper surface to the lower surface of the mask sheet; a reverse-branched second groove having a second width and a second depth by being second etched from the lower surface of the mask sheet to the upper surface; And a through hole communicating with the first groove and the second groove and having a width smaller than the first width or the second width,
Protruding pieces with a width of 150 μm or less and a thickness in the range of 15 to 35 μm due to the first and second etching form the outer circumferential surface of the through hole,
After performing the tensioning and mask frame bonding processes, when laser trimming is performed on the end of the protruding piece, the cell position accuracy (CPA) value is within the range of ± 20 μm of the reference value. 제 1 항에 있어서,
상기 관통홀은 상기 제2 홈부 상측 표면에서 시트 내부 방향으로 형성되며, 상기 제2 폭보다 작은 제3 폭의 관통홀 하부를 포함하는, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 1,
The through-hole is formed from the upper surface of the second groove toward the inside of the sheet, and includes a lower portion of the through-hole having a third width smaller than the second width. 제 2 항에 있어서,
상기 관통홀의 단면은 상부 폭이 하부 폭보다 좁은 벨 형상(bell shape)을 가지는, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 2,
The cross section of the through hole has a bell shape in which the upper width is narrower than the lower width, OLED deposition mask sheet. 제 2 항에 있어서,
상기 관통홀은 상기 제1 홈부 하측 표면에서 시트 내부 방향으로 형성되며, 상기 제3 폭보다 작은 제4 폭의 관통홀 상부를 포함하는, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 2,
The through-hole is formed from the lower surface of the first groove toward the inside of the sheet, and includes an upper portion of the through-hole having a fourth width smaller than the third width. 제 4 항에 있어서,
상기 관통홀의 단면은 모래시계 형상(hourglass shape)을 가지는, OLED 증착용 마스크 시트. According to claim 4,
The cross section of the through hole has an hourglass shape, a mask sheet for OLED deposition. 제 4 항에 있어서,
상기 관통홀 하부가 갖는 제3 깊이는 상기 관통홀 상부가 갖는 제4 깊이보다 상대적으로 더 큰 깊이를 가지는, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 4,
The mask sheet for OLED deposition, wherein the third depth of the lower portion of the through hole has a relatively greater depth than the fourth depth of the upper portion of the through hole. 제 4 항에 있어서,
상기 관통홀 하부 측벽은 수평면을 기준으로 40 내지 45도의 테이퍼 각도를 가지며, 상기 관통홀 상부 측벽은 수평면을 기준으로 130 내지 135도의 테이퍼 각도를 가지는, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 4,
The lower sidewall of the through-hole has a taper angle of 40 to 45 degrees with respect to the horizontal plane, and the upper sidewall of the through-hole has a taper angle of 130 to 135 degrees with respect to the horizontal plane. 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 시트의 두께는 50 내지 200 ㎛이고,
상기 제1 홈부의 제1 깊이는 10 내지 25 ㎛이며,
상기 제2 홈부의 제2 깊이는 20 내지 145 ㎛인, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 1,
The thickness of the mask sheet is 50 to 200 μm,
The first depth of the first groove is 10 to 25 μm,
The second depth of the second groove is 20 to 145 ㎛, the mask sheet for OLED deposition. 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 시트는 인바합금(Invar-36 Alloy) 또는 스테인레스스틸(SUS420) 재질인, OLED 증착용 마스크 시트.According to claim 1,
The mask sheet is made of Invar-36 Alloy or stainless steel (SUS420), a mask sheet for OLED deposition. 제 1 항의 OLED 증착용 마스크 시트; 및 상기 마스크 시트가 인장되어 접합되는 마스크 프레임;을 포함하는, OLED 증착용 마스크 조립체. The mask sheet for OLED deposition according to claim 1; and a mask frame to which the mask sheet is tensioned and bonded.
KR1020220093134A 2021-12-01 2022-07-27 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof KR20230082548A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220093134A KR20230082548A (en) 2021-12-01 2022-07-27 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210170160A KR102439867B1 (en) 2021-12-01 2021-12-01 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof
KR1020220093134A KR20230082548A (en) 2021-12-01 2022-07-27 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210170160A Division KR102439867B1 (en) 2021-12-01 2021-12-01 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230082548A true KR20230082548A (en) 2023-06-08

Family

ID=83281141

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210170160A KR102439867B1 (en) 2021-12-01 2021-12-01 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof
KR1020220093134A KR20230082548A (en) 2021-12-01 2022-07-27 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210170160A KR102439867B1 (en) 2021-12-01 2021-12-01 Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (2) KR102439867B1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024063431A1 (en) * 2022-09-23 2024-03-28 에이피에스머티리얼즈㈜ Mask assembly and method for manufacturing same
KR20240044957A (en) * 2022-09-29 2024-04-05 엘지이노텍 주식회사 Deposition mask for oled pixel deposition
KR102520176B1 (en) * 2022-12-23 2023-04-12 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of OLED mask assembly
KR102520177B1 (en) * 2022-12-23 2023-04-12 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of fine metal mask assembly
KR102591278B1 (en) * 2022-12-28 2023-10-19 주식회사 핌스 Mask sheet for OLED deposition, The Mask assembly using thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101918551B1 (en) * 2018-10-17 2019-02-08 주식회사 핌스 Open mask sheet for thin film deposition and method for manufacturing thereof
KR102220552B1 (en) * 2020-07-10 2021-02-25 풍원정밀(주) Deposition Metal Mask for OLED and Manufacturing Method of the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR102439867B1 (en) 2022-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102439867B1 (en) Mask sheet for OLED deposition with improved cell positioning accuracy, the mask assembly using thereof
EP3489755B1 (en) Mask plate and fabrication method therefor
CN110724904B (en) Method for stretching vapor deposition mask, method for manufacturing framed vapor deposition mask, method for manufacturing organic semiconductor element, and stretching device
KR101869889B1 (en) Manufacturing method and apparatus for open mask assembly using femto-second laser and open mask assembly related
JP6318472B2 (en) Method for manufacturing multi-sided deposition mask, multi-sided deposition mask obtained thereby, and method for producing organic semiconductor element
KR100922753B1 (en) Mask for an evaporation, method of manufacturing an organic electroluminesence device thereused and organic electroluminesence device
KR102427524B1 (en) Large area mask sheet for OLED deposition, and the mask assembly comprising thereof
US9780341B2 (en) Shadow mask, method of manufacturing a shadow mask and method of manufacturing a display device using a shadow mask
KR20160071369A (en) Film formation mask and production method therefor
US11572616B2 (en) Mask strip, mask plate frame, mask plate and welding method thereof
KR102206896B1 (en) Metal mask assembly for organic light emitting diode deposition with improved position accuracy using two-step processing method and method of manufacturing the metal mask assembly
KR102209465B1 (en) Metal mask for organic light emitting diode deposition minimizing protrusion of trim line
TWI581479B (en) Metal hood manufacturing method
KR101579907B1 (en) Manufacturing method of mask assembly for thin film deposition, manufacturing apparatus of mask assembly, and mask assembly therefrom
WO2019184297A1 (en) Mask frame and manufacturing method therefor, and evaporation mask assembly and evaporation device
KR102427523B1 (en) Mask assembly for large area OLED deposition with minimal step difference
JP2021161522A (en) Vapor deposition mask, method of manufacturing vapor deposition mask, method of manufacturing organic semiconductor element, method of manufacturing organic el display device, and vapor deposition method
KR102591278B1 (en) Mask sheet for OLED deposition, The Mask assembly using thereof
KR102210022B1 (en) Split type metal mask assembly for organic light emitting diode deposition with improved position accuracy and method of manufacturing the same
KR102186447B1 (en) Manufacturing method of open mask assembly
CN110872685B (en) Deposition mask and method of manufacturing the same
KR102471659B1 (en) A mask manufacturing method, a mask manufactured by the method, and a manufacturing method of an open mask assembly including the manufactured mask
KR101986526B1 (en) Producing method of mask
KR20210114040A (en) deposition mask
KR102372426B1 (en) Open mask sheet for thin film deposition and method for manufacturing thereof

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal