KR102461247B1 - Apparatus for OLED mask making, Method for mask frame making and Mask frame mounting method for OLED makng mask - Google Patents

Apparatus for OLED mask making, Method for mask frame making and Mask frame mounting method for OLED makng mask Download PDF

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Abstract

본 발명은, 본 발명은, OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재된 후, 증착 장비로 투입되어 상기 마스크에 대한 증착이 이루어지도록 하는 OLED 마스크 제조 장치로서, 중앙이 개구된 사각 형상으로 이루어지고, 상측으로 배치되어 OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재되는 탑재면과, 외측 상면 테두리를 따라 배치되는 클램핑 영역과, 상기 탑재면의 하측으로 이격되어 배치되고, 상기 증착 장비의 내측 하면에 접하는 지지면을 포함하는 마스크 프레임; 내측으로 상기 마스크가 탑재된 상기 마스크 프레임의 배치 공간을 제공하고, 상기 공간 일측으로는 상기 마스크에 대한 증착을 수행하는 증착원이 배치되는 챔버; 상기 챔버의 내측에 배치된 상기 마스크 프레임의 상기 클램핑 영역에 대하여 하향 가압하며 상기 마스크 프레임이 상기 챔버에 고정되도록 하는 가압부를 포함하고, 상기 마스크 프레임의 지지면은 상기 가압부에 의한 가압이 이루어지기 전, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지는 OLED 마스크 제조 장치를 제공한다. The present invention is an OLED mask manufacturing apparatus in which a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, and then put into deposition equipment to perform deposition on the mask, and has a rectangular shape with an open center. A mounting surface on which a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, which is disposed upward, a clamping region disposed along an outer upper surface edge, and spaced apart from the lower side of the mounting surface, the deposition a mask frame including a support surface in contact with an inner lower surface of the equipment; a chamber providing an arrangement space of the mask frame in which the mask is mounted, and in which a deposition source for performing deposition on the mask is disposed at one side of the space; and a pressing part for pressing down against the clamping region of the mask frame disposed inside the chamber and fixing the mask frame to the chamber, wherein the support surface of the mask frame is pressed by the pressing part. An apparatus for manufacturing an OLED mask that proceeds from the front and outer edges to the inner edge and slopes downward.

Description

OLED용 마스크 제조 장치, OLED용 마스크 프레임 제조방법 및 OLED 마스크 제조용 마스크 프레임 장착 방법{Apparatus for OLED mask making, Method for mask frame making and Mask frame mounting method for OLED makng mask}Apparatus for OLED mask making, Method for mask frame making and Mask frame mounting method for OLED makng mask}

본 발명은 OLED용 마스크 프레임에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크 프레임의 지지면이 탑재면에 대하여 소정 각도로 경사지게 형성되도록 하여 OLED용 마스크가 인장되어 접합된 후, 증착 장비에 장착되면 지지면과 탑재면이 서로 평행을 이루도록 함으로써 마스크 중앙의 처짐이 방지되도록 하는 OLED용 마스크 제조 장치, OLED용 마스크 프레임 제조방법 및 OLED 마스크 제조용 마스크 프레임 장착 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mask frame for OLED, and more particularly, the support surface of the mask frame is formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the mounting surface, so that the mask for OLED is tensioned and bonded, and then mounted on the deposition equipment. It relates to an apparatus for manufacturing a mask for OLED, a method for manufacturing a mask frame for OLED, and a method for mounting a mask frame for manufacturing an OLED mask, which prevent sagging of the center of a mask by making mounting surfaces parallel to each other.

오엘이디(OLED; Organic Light Emitting Diode)는 발광성(luminescent) 유기화합물을 전기적으로 여기시켜(excited) 발광시키는 자발광형 디스플레이를 말한다.OLED (Organic Light Emitting Diode) refers to a self-luminous display that emits light by electrically exciting a luminescent organic compound.

이러한 오엘이디는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 박형화, 광시야각, 빠른 응답속도 등 LCD에서 문제로 지적되고 있는 결점을 해소할 수 있으며, 다른 디스플레이 소자에 비해 중형 이하에서는 TFT-LCD와 동등하거나 그 이상의 화질을 가질 수 있다는 점과 제조 공정이 단순하여 향후 가격 경쟁에서 유리하다는 등의 장점을 갖고 있다.Such OLED can be driven at low voltage and can solve the drawbacks pointed out as problems in LCD such as thinness, wide viewing angle, and fast response speed. It has advantages such as being able to have image quality and a simple manufacturing process, which is advantageous in price competition in the future.

오엘이디 디스플레이 패널은 대면적의 투명 기판을 단위 영역별로 구분하여 복수의 오엘이디 디스플레이 패널들을 제조한 뒤, 각 단위 영역에 대한 에칭 및 스크랩과 같은 작업을 수행한다.In the OLED display panel, a plurality of OLED display panels are manufactured by dividing a large-area transparent substrate into unit regions, and then operations such as etching and scraping are performed on each unit region.

유기 발광 표시 장치의 전극들과 중간층은 여러 가지 방법으로 형성할 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조할 때에는, 형성하고자 하는 박막 패턴과 동일한 패턴을 가지는 마스크 원판을 마스크 프레임에 조립하고, 마스크 원판에 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.The electrodes and the intermediate layer of the organic light emitting diode display may be formed by various methods, one of which is a deposition method. When an organic light emitting display device is manufactured using the deposition method, a mask original plate having the same pattern as the thin film pattern to be formed is assembled into a mask frame, and the raw material of the thin film is deposited on the mask original plate to form a thin film having a desired pattern. will do

도 1은 종래의 기술에 따른 OLED용 마스크 프레임의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 a-a 선에 따른 선단면도이다. 1 is a perspective view showing an example of the configuration of a mask frame for OLED according to the prior art, and FIG. 2 is a front sectional view taken along line a-a of FIG. 1 .

도 1과 도 2를 참조하면, OLED용 마스크 프레임(1)은 중앙이 개구된 사각형 프레임 형태로 형성됨을 알 수 있다.1 and 2, it can be seen that the mask frame 1 for OLED is formed in the form of a rectangular frame with an open center.

여기서, 마스크 원판의 평탄도를 보장하기 위해 마스크 원판에 대하여 소정의 인장 압력을 인가하여 측방향으로 인장한 상태에서 마스크 원판을 마스크 프레임의 상부면에 접합한다. 이후, 마스크 원판이 접합된 마스크 프레임은 증착 장비 내측에 장착되어 증착 작업을 수행한다.Here, in order to ensure the flatness of the original mask plate, a predetermined tensile pressure is applied to the original mask plate, and the original mask plate is joined to the upper surface of the mask frame in a state in which it is stretched laterally. Thereafter, the mask frame to which the mask original plate is bonded is mounted inside the deposition equipment to perform deposition.

여기서, 마스크 프레임(1)의 상부면과 하부면은 각각 수평으로 형성됨을 알 수 있다. Here, it can be seen that the upper and lower surfaces of the mask frame 1 are respectively formed horizontally.

도 3은 종래의 기술에 따른 마스크 프레임 상에 인장되어 접합된 마스크에 대한 증착을 나타내는 도면이다. 3 is a diagram illustrating deposition of a mask bonded by tension on a mask frame according to a prior art.

도 3을 참조하면, 소정의 인장 압력으로 인장된 마스크 원판(10)이 OLED용 마스크 프레임(1)에 접합된 후, 소정의 증착 챔버(3) 내측에 장착되어 증착 작업이 이루어진다. Referring to FIG. 3 , after the mask original plate 10 tensioned by a predetermined tension pressure is bonded to the mask frame 1 for OLED, it is mounted inside a predetermined deposition chamber 3 to perform a deposition operation.

이때, 마스크 프레임(1)과 소정 거리 이격된 위치에는 증착원(2)이 배치되어, 마스크 원판(10)에 대한 증착을 수행함을 알 수 있다.In this case, it can be seen that the deposition source 2 is disposed at a position spaced apart from the mask frame 1 by a predetermined distance to perform deposition on the original mask plate 10 .

도 4는 종래의 기술에 따른 마스크 프레임 상에 접합된 마스크의 처짐을 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing the deflection of a mask bonded on a mask frame according to the prior art.

도 4를 참조하면, 마스크 프레임(1)에 접합된 마스크 원판(10)의 중앙이 마스크 원판(1)의 자중에 의해 처지는 현상이 발생됨을 알 수 있다. Referring to FIG. 4 , it can be seen that the center of the mask original plate 10 bonded to the mask frame 1 sags due to the weight of the mask original plate 1 .

이때 마스크 원판(10)의 중앙이 처지면서, 증착원(2)과 마스크 원판(10)의 중앙의 거리가 최초 설계값과 차이가 발생하는 완성된 마스크의 품질이 저하되는 문제점이 있다. At this time, as the center of the original mask plate 10 sags, the distance between the center of the deposition source 2 and the mask original plate 10 is different from the initial design value, so that the quality of the finished mask is deteriorated.

본 발명에 대한 선행기술로는 공개특허 2015-0109001호를 예시할 수 있다. As a prior art for the present invention, Patent Publication No. 2015-0109001 can be exemplified.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 마스크 프레임 상에서, 인장된 마스크 원판이 접합되는 탑재면의 하측으로 배치되는 지지면이 외측에서 내측으로 진행하며 하향 경사지게 형성되도록 하여, 마스크 프레임이 증착 장비에 작착되어 고정된 후에는 마스크 프레임의 탑재면 내측이 상향 이동하며 마스크를 들어 올림과 동시에 인장하도록 하여 마스크 중앙의 처짐이 방지되도록 하는 OLED용 마스크 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is to solve the above problems, and on the mask frame, the support surface disposed below the mounting surface to which the tensioned mask disk is bonded is formed to be inclined downward while proceeding from the outside to the inside, so that the mask frame is formed as a deposition equipment An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a mask for OLED, in which the inside of the mounting surface of the mask frame moves upward after being attached and fixed to the mask, and the mask is lifted and tensioned at the same time to prevent sagging in the center of the mask.

또한, 본 발명은 마스크 프레임 상부의 탑재면에 마스크가 장착된 후, 증착 장비에 고정될 때 탑재면의 내측이 상부로 이동하며 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 하는 OLED용 마스크 프레임 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, the present invention provides a method for manufacturing a mask frame for OLED that allows the inside of the mounting surface to move upward when the mask is mounted on the mounting surface of the mask frame and then fixed to the deposition equipment to prevent sagging of the mask aim to do

또한, 본 발명은 마스크 탑재면의 하부에 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지게 형성된 지지면을 포함하는 마스크 프레임이 증착 장비 내측에 장착되면 마스크 탑재면의 내측이 상향 이동하며 마스크 중앙의 처짐이 방지되도록 하는 마스크 제조용 마스크 프레임 장착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, according to the present invention, when a mask frame including a support surface inclined downward from the outer edge to the inner edge at the lower portion of the mask mounting surface is mounted inside the deposition equipment, the inside of the mask mounting surface moves upward and the sagging of the center of the mask is reduced. An object of the present invention is to provide a method of mounting a mask frame for mask manufacturing that is prevented.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재된 후, 증착 장비로 투입되어 상기 마스크에 대한 증착이 이루어지도록 하는 OLED 마스크 제조 장치로서, 중앙이 개구된 사각 형상으로 이루어지고, 상측으로 배치되어 OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재되는 탑재면과, 외측 상면 테두리를 따라 배치되는 클램핑 영역과, 상기 탑재면의 하측으로 이격되어 배치되고, 상기 증착 장비의 내측 하면에 접하는 지지면을 포함하는 마스크 프레임; 내측으로 상기 마스크가 탑재된 상기 마스크 프레임의 배치 공간을 제공하고, 상기 공간 일측으로는 상기 마스크에 대한 증착을 수행하는 증착원이 배치되는 챔버; 상기 챔버의 내측에 배치된 상기 마스크 프레임의 상기 클램핑 영역에 대하여 하향 가압하며 상기 마스크 프레임이 상기 챔버에 고정되도록 하는 가압부를 포함하고, 상기 마스크 프레임의 지지면은 상기 가압부에 의한 가압이 이루어지기 전, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지는 OLED 마스크 제조 장치를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides an OLED mask manufacturing apparatus in which a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, and then put into deposition equipment to perform deposition on the mask. A mounting surface on which a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, which is arranged upward, and a clamping region arranged along the outer upper surface edge, and is spaced apart from the lower side of the mounting surface. , a mask frame including a support surface in contact with an inner lower surface of the deposition equipment; a chamber providing an arrangement space of the mask frame in which the mask is mounted, and in which a deposition source for performing deposition on the mask is disposed at one side of the space; and a pressing part for pressing down against the clamping region of the mask frame disposed inside the chamber and fixing the mask frame to the chamber, wherein the support surface of the mask frame is pressed by the pressing part. An apparatus for manufacturing an OLED mask that proceeds from the front and outer edges to the inner edge and slopes downward.

상기 클램핑 영역은, 상기 마스크 프레임의 외측 상면 테두리를 따라 오목하게 라운드지어 형성될 수 있다.The clamping region may be concavely rounded along an outer upper surface edge of the mask frame.

상기 가압부는, 상기 챔버의 내측에서, 상기 챔버 내측에 배치되는 상기 마스크 프레임의 가장 자리를 따라 일정 간격으로 배치되는 가압 클램프를 포함할 수 있다.The pressing unit may include pressing clamps disposed at regular intervals along an edge of the mask frame disposed inside the chamber, inside the chamber.

상기 마스크의 인장은, 일단이 상기 마스크의 일변에 연결되는 인장 클램프를 상기 마스크의 외측 방향으로 이동시켜 이루어질 수 있다.The tension of the mask may be performed by moving a tension clamp having one end connected to one side of the mask in an outward direction of the mask.

상기 인장 클램프의 인장력은 10 kgf/m2 일 수 있다.The tensile force of the tensile clamp may be 10 kgf/m 2 .

상기 탑재면과 상기 지지면은 서로 일정 각도로 경사지고, 상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도(θ)는, 상기 마스크에 대한 인장량이 증가하면 감소하고, 상기 마스크에 대한 인장량이 감소하면 증가할 수 있다.The mounting surface and the support surface are inclined at a predetermined angle to each other, and the angle θ between the mounting surface and the support surface decreases when the amount of tension on the mask increases, and increases when the amount of tension on the mask decreases. can do.

상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도(θ)는, 1 내지 3°일 수 있다.An angle θ between the mounting surface and the support surface may be 1 to 3°.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 중앙이 개구되고, OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장된 후 상측에 접합되어 OLED용 마스크 프레임을 제조하는 OLED용 마스크 프레임 제조방법에 있어서, 상기 증착 작업용 마스크가 탑재되어 접합되는 탑재면을 형성하는 단계와, 외측 상면 테두리를 따라 클램핑 영역을 형성하는 단계와, 상기 탑재면의 하측으로 이격되어 배치되고 상기 탑재면과 경사지는 각도로 지지면을 형성하되, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지게 형성하는 단계를 포함하는 OLED용 마스크 프레임 제조방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a method for manufacturing a mask frame for OLED in which the center is opened and a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and then bonded to the upper side to manufacture a mask frame for OLED, Forming a mounting surface to which a deposition mask is mounted and bonded; forming a clamping area along an outer upper surface edge; However, it provides a method for manufacturing a mask frame for OLED comprising the step of forming, proceeding from the outer edge to the inner edge and inclined downward.

상기 OLED용 마스크 프레임은, 상기 중앙을 기준으로 대칭하여 배치되는 상기 지지면은 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지게 형성될 수 있다.In the mask frame for OLED, the support surface disposed symmetrically with respect to the center may be formed to be inclined downward from the outer edge to the inner edge.

상기 마스크의 인장량은, 일단이 상기 마스크의 일변에 연결되는 인장 클램프의 상기 마스크 외측 방향으로의 이동량에 대응할 수 있다.The amount of tension of the mask may correspond to an amount of movement of a tension clamp having one end connected to one side of the mask in an outer direction of the mask.

상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도(θ)는, 상기 마스크에 대한 인장량이 증가하면 감소하고, 상기 마스크에 대한 인장량이 감소하면 증가할 수 있다.An angle θ formed between the mounting surface and the support surface may decrease when the amount of tension applied to the mask increases, and may increase when the amount of tension to the mask decreases.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 중앙이 개구된 사각 형상으로 이루어지고, 증착 작업용 마스크가 상부의 탑재면에 탑재되며, 상기 탑재면의 하측으로 일정 거리 이격되고 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지는 지지면이 배치되고, 외측 가장자리를 따라 클램핑 영역이 형성되는 마스크 프레임을 상기 마스크에 대한 증착 작업을 수행하는 증착 장비 내측에 장착하는 방법으로서, 상기 마스크 프레임의 상기 탑재면 상에 상기 마스크를 인장하여 탑재한 후 접합하는 단계; 상기 마스크가 탑재된 상기 마스크 프레임을 증착 공간을 제공하는 상기 증착 장비 내측으로 배치하는 단계; 상기 클램핑 영역에 대하여 하향 가압하며, 상기 마스크 프레임을 상기 증착 장비의 내측에 고정하는 단계; 상기 클램핑 영역에 대한 압력을 증가시켜 상기 지지면이 상기 증착 장비의 내측 하면에 밀착되도록 하는 단계; 를 포함하는 OLED 마스크 제조용 마스크 프레임 장착 방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention is made in a rectangular shape with an open center, a mask for deposition operation is mounted on the upper mounting surface, is spaced a certain distance from the lower side of the mounting surface, and proceeds from the outer edge to the inner edge A method of mounting a mask frame having a downwardly inclined support surface and having a clamping region formed along an outer edge thereof inside a deposition apparatus for performing a deposition operation on the mask, wherein the mask frame is disposed on the mounting surface of the mask frame. bonding the mask after tensioning and mounting; disposing the mask frame on which the mask is mounted inside the deposition equipment providing a deposition space; pressing down on the clamping region and fixing the mask frame inside the deposition equipment; increasing the pressure on the clamping region so that the support surface is in close contact with the inner lower surface of the deposition equipment; It provides a method of mounting a mask frame for manufacturing an OLED mask comprising a.

상기와 같은 본 발명은, 마스크 프레임 상에서, 인장된 마스크 원판이 접합되는 탑재면의 하측으로 배치되는 지지면이 외측에서 내측으로 진행하며 하향 경사지게 형성되도록 하여, 마스크 프레임이 증착 장비에 작착되어 고정된 후에는 마스크 프레임의 탑재면 내측이 상향 이동하며 마스크를 들어 올림과 동시에 인장하도록 하여 마스크 중앙의 처짐이 방지될 수 있다. According to the present invention as described above, on the mask frame, the support surface disposed below the mounting surface to which the tensioned mask disk is bonded is formed to be inclined downward while proceeding from the outside to the inside, so that the mask frame is attached and fixed to the deposition equipment. Afterwards, the inside of the mounting surface of the mask frame moves upward and the mask is lifted and tensioned at the same time, so that the center of the mask can be prevented from sagging.

도 1은 종래의 기술에 따른 마스크 프레임의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 a-a 선에 따른 선단면도이다.
도 3은 종래의 기술에 따른 마스크 프레임 상에 인장되어 접합된 마스크에 대한 증착을 나타내는 도면이다.
도 4는 종래의 기술에 따른 마스크 프레임 상에 접합된 마스크의 처짐을 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 OLED용 마스크 제조 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명에서 사용하는 마스크 프레임의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 6의 A-A선에 다른 선단면도이다.
도 8은 인장 클램프에 의한 마스크의 인장을 설명하는 도면이다.
도 9는 본 발명에서 사용하는 마스크 프레임과 마스크 원판의 접합을 나타내는 도면이다.
도 10은 챔버 내측에 마스크 프레임의 고정을 나타내는 도면이다.
도 11은 마스크 프레임의 지지면과 챔버 내측의 하면과의 밀착을 나타내는 도면이다. 1 is a perspective view showing an example of the configuration of a mask frame according to the prior art.
FIG. 2 is a front cross-sectional view taken along line aa of FIG. 1 .
3 is a diagram illustrating deposition of a mask bonded by tension on a mask frame according to a prior art.
4 is a cross-sectional view showing the deflection of a mask bonded on a mask frame according to the prior art.
5 is a diagram showing the configuration of an apparatus for manufacturing a mask for OLED according to the present invention.
6 is a perspective view showing the configuration of a mask frame used in the present invention.
Fig. 7 is a cross-sectional view taken along line AA of Fig. 6 .
It is a figure explaining the tension|tensile_strength of a mask by a tension clamp.
9 is a view showing the bonding of the mask frame and the mask original plate used in the present invention.
10 is a view showing the fixing of the mask frame inside the chamber.
11 is a view showing the adhesion between the support surface of the mask frame and the lower surface inside the chamber.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 OLED용 마스크 제조 장치의 구성을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명에서 사용하는 마스크 프레임의 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 7은 도 6의 A-A선에 다른 선단면도이다. 5 is a diagram showing the configuration of an apparatus for manufacturing a mask for OLED according to the present invention, and FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of a mask frame used in the present invention. 7 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 6 .

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 마스크 제조 장치(100)는 마스크 프레임(110), 챔버(120) 및 가압부(140)를 포함함을 알 수 있다.5 to 7 , it can be seen that the OLED mask manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a mask frame 110 , a chamber 120 , and a pressurizing unit 140 .

마스크 프레임(110)은 사각형 형태로 이루어지고, 중앙은 개구된 사각 형상으로 이루어짐을 알 수 있다.It can be seen that the mask frame 110 is formed in a rectangular shape, and the center is formed in an open rectangular shape.

따라서, 마스크 프레임(110)은 마스크 원판(10)의 가장자리 하부에서 마스크 원판(10)을 지지할 수 있다. Accordingly, the mask frame 110 may support the original mask plate 10 under the edge of the original mask plate 10 .

여기서, 마스크 프레임(110)의 상부면은 탑재면(112)이라 하고, 마스크 프레임(110) 상에서 탑재면(112)의 하부로 일정 거리 이격되어 배치되는 하부면은 지지면(114)이라 하기로 한다. 또한, 마스크 프레임(110)의 상부 외측 가장자리는 클램핑 영역(116)이라 하기로 한다. Here, the upper surface of the mask frame 110 is referred to as a mounting surface 112 , and a lower surface disposed at a predetermined distance from the lower portion of the mounting surface 112 on the mask frame 110 is referred to as a support surface 114 . do. In addition, the upper outer edge of the mask frame 110 will be referred to as a clamping region 116 .

마스크 프레임(110) 상의 탑재면(112), 지지면(114) 및 클램핑 영역(116)은 다음의 방법으로 형성된다. The mounting surface 112 , the supporting surface 114 , and the clamping region 116 on the mask frame 110 are formed in the following manner.

우선, 탑재면(112)을 형성하는 단계가 수행된다. 탑재면(112)을 형성하는 단계는 소정의 크기를 갖고 중앙으로는 사각형의 개구를 갖는 마스크 프레임(110)의 상부 면에 마스크 원판(10)이 탑재되는 탑재면을 형성하는 단계이다. 여기서, 마스크 프레임(110)은 마스크(120)의 용접 시 변형이 작은 소재, 예를 들어 강성이 큰 금속으로 형성될 수 있다.First, the step of forming the mounting surface 112 is performed. The step of forming the mounting surface 112 is a step of forming a mounting surface on which the mask disc 10 is mounted on the upper surface of the mask frame 110 having a predetermined size and a rectangular opening in the center. Here, the mask frame 110 may be formed of a material having a small deformation when the mask 120 is welded, for example, a metal having high rigidity.

사용자는 연마 또는 절삭 등의 방법으로 마스크 프레임(110)의 상부에 탑재면(112)을 형성한다. 여기서, 탑재면(112)은 평면 형태로서 수평으로 형성된다.The user forms the mounting surface 112 on the upper portion of the mask frame 110 by a method such as grinding or cutting. Here, the mounting surface 112 is formed horizontally as a planar shape.

탑재면(112) 상에 마스크 원판(10)이 배치된 상태에서 탑재면(112)의 가장자리는 마스크 원판(10)의 가장자리와 소정 거리 이격된다.In a state in which the mask disk 10 is disposed on the mounting surface 112 , the edge of the mounting surface 112 is spaced apart from the edge of the mask disk 10 by a predetermined distance.

탑재면(112) 상으로는 마스크 원판(10)이 인장되어 탑재된다. The mask disk 10 is tensioned and mounted on the mounting surface 112 .

탑재면(112)에 탑재되어 마스크 원판(10)은 소정의 인장 압력으로 인장된 상태에서 탑재면(112)에 접합됨으로서, 탑재가 이루어진다. The mask disc 10 is mounted on the mounting surface 112 and is joined to the mounting surface 112 in a tensioned state with a predetermined tensile pressure, whereby mounting is performed.

여기서, 마스크의 인장은 다음과 같이 이루어질 수 있다.Here, the tension of the mask may be performed as follows.

도 8은 인장 클램프에 의한 마스크의 인장을 설명하는 도면이다. It is a figure explaining the tension|tensile_strength of a mask by a tension clamp.

도 8에 도시된 바와 같이, 직사각형 형태의 마스크 원판(10)의 각 변에는 소정 개수의 인장 클램프(20)가 소정 간격으로 배치되어, 마스크 원판(10)을 인장한다. As shown in FIG. 8 , a predetermined number of tension clamps 20 are arranged at predetermined intervals on each side of the rectangular mask disk 10 to tension the mask disk 10 .

인장 클램프(20)의 배치에 대해 보다 상세히 설명하기로 한다.The arrangement of the tension clamp 20 will be described in more detail.

마스크 원판(10)의 단변 측에 인장 클램프(20)가 배치되되, 단변 중앙에서 단변 가장자리로 진행하며, 인장 클램프(20)의 배치 개수는 증가할 수 있다.Tension clamps 20 are disposed on the short side of the mask original plate 10 , and proceed from the center of the short side to the edge of the short side, and the number of the tension clamps 20 may be increased.

즉, 도면에 도시된 바와 같이, 마스크 원판(10)의 단변 중앙으로는 단일개의 인장 클램프(20)가 배치되고, 단변 가장자리에는 2개의 인장 클램프(20)가 소정 간격으로 배치됨을 알 수 있다. That is, as shown in the figure, it can be seen that a single tension clamp 20 is disposed at the center of the short side of the mask original plate 10 , and two tension clamps 20 are disposed at a predetermined interval at the edge of the short side.

또한, 마스크 원판(10)의 장변 측에 인장 클램프(20)가 배치되되, 장변 중앙에서 장변 가장자리로 진행하며, 인장 클램프(20)의 배치 간격이 감소하고, 인장 클램프(20)의 배치 개수가 증가한다.In addition, the tension clamp 20 is disposed on the long side of the mask original plate 10, and proceeds from the center of the long side to the edge of the long side, the spacing between the tension clamps 20 is reduced, and the number of the tension clamps 20 is increased increases

즉, 도면에 도시된 바와 같이, 마스크 원판(10)의 장변 중앙으로는 소정의 간격으로 2개의 인장 클램프(20)가 배치되고, 장변 가장자리에는 이보다 좁은 간격으로 3개의 인장 클램프(20)가 배치됨을 알 수 있다. That is, as shown in the drawing, two tension clamps 20 are arranged at a predetermined interval in the center of the long side of the mask original plate 10, and three tension clamps 20 are arranged at a narrower interval at the edge of the long side. can be found

여기서, 마스크 원판(10)의 각 변에 배치되는 인장 클램프(20)의 개수와 배치 간격은 도면에 도시된 바로 한정되지 않고 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다. Here, the number and spacing of the tension clamps 20 disposed on each side of the original mask plate 10 are not limited to those shown in the drawings and may be changed according to the needs of the user.

여기서, 인장 클램프(20)의 일단이 마스크 원판(10)의 일측에 연결된 후, 소정의 인장 압력으로 인장 클램프(20)를 당김으로써 마스크 원판(10)을 인장한다. 이때, 각각의 인장 클램프(20)를 통해 마스크 원판(10)으로 인가되는 인장 압력은 동일하게 설정되는 것이 바람직하다. Here, after one end of the tension clamp 20 is connected to one side of the mask original plate 10 , the mask original plate 10 is tensioned by pulling the tension clamp 20 with a predetermined tension pressure. At this time, it is preferable that the tensile pressure applied to the mask original plate 10 through each of the tensile clamps 20 is set to be the same.

마스크를 인장하기 위해 각각의 인장 클램프(20)를 통해 인가되는 압력은 5 내지 15 kgf/m2 일 수 있다. 보다 바람직하게는 각각의 인장 클램프(20)를 통해 인가되는 압력은 10 kgf/m2 일 수 있다. The pressure applied through each tension clamp 20 to tension the mask may be 5 to 15 kgf/m 2 . More preferably, the pressure applied through each tension clamp 20 may be 10 kgf/m 2 .

도 9는 본 발명에서 사용하는 마스크 프레임과 마스크 원판의 접합을 나타내는 도면이다.9 is a view showing the bonding of the mask frame and the mask original plate used in the present invention.

도 9를 참조하면, 마스크 프레임(110)의 상부로는 마스크 원판(10)이 용접 접합됨을 알 수 있다. 도면에서 화살표는 마스크 원판(10)에 대하여 소정의 인장력이 인가되어 인장이 이루어지는 방향을 나타낸다. Referring to FIG. 9 , it can be seen that the mask original plate 10 is welded to the upper portion of the mask frame 110 . In the drawing, an arrow indicates a direction in which a predetermined tensile force is applied to the mask original plate 10 to form the tensile force.

마스크 원판(10)에 연결되는 인장 클램프는 마스크 원판(10)의 각 변으로 연결되어, 마스크 원판(10)의 각 변에 직교하는 방향으로 인장 압력을 인가하므로, 각 인장 클램프의 인장 압력의 합력은 마스크 원판(10)의 중심에서 꼭지점 방향으로 인가될 수 있다. Tensile clamps connected to the mask disk 10 are connected to each side of the mask disk 10 and apply a tensile pressure in a direction orthogonal to each side of the mask disk 10, so the resultant force of the tensile pressures of each tension clamp Silver may be applied from the center of the mask disk 10 to the vertex direction.

우선, 마스크 프레임(110)에 결합되는 마스크 원판(10)은 소정의 가로, 세로 길이를 갖는 직사각형 프레임 형태로 이루어진다. 그리고, 마스크 원판(10) 상에는 소정의 개구부(12)가 매트릭스 형태로 복수로 형성될 수 있다. 개구부의 형태와 개수는 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다. First, the mask original plate 10 coupled to the mask frame 110 is formed in the form of a rectangular frame having predetermined horizontal and vertical lengths. In addition, a plurality of predetermined openings 12 may be formed in a matrix form on the mask original plate 10 . The shape and number of the openings may be changed according to the needs of the user.

마스크 원판(10)이 탑재면(112)에 탑재된 후, 소정의 레이저를 이용하여 탑재면(112)에 용접될 수 있다.After the mask original plate 10 is mounted on the mounting surface 112 , it may be welded to the mounting surface 112 using a predetermined laser.

탑재면(112)의 형성이 이루어진 후에는 클램핑 영역(116)을 형성한다. After the formation of the mounting surface 112 is made, the clamping region 116 is formed.

클램핑 영역(116)은 후술하는 가압부(140)에 의해 하방으로 가압이 이루어져, 마스크 프레임(110)이 챔버 내측에 고정될 수 있도록 한다. The clamping region 116 is pressed downward by the pressing part 140 to be described later, so that the mask frame 110 can be fixed inside the chamber.

클램핑 영역(116)은 마스크 프레임(110)의 외측 상부 테두리를 따라 소정의 곡률을 갖는 오목한 형상으로 형성된다. The clamping region 116 is formed in a concave shape having a predetermined curvature along the outer upper edge of the mask frame 110 .

클램핑 영역(116)은 연마 또는 절삭 등의 방법으로 형성된다. 이때, 클램핑 영역(116)의 곡률, 깊이, 폭은 사용자의 필요에 따라 다양하게 설정될 수 있다. The clamping region 116 is formed by a method such as grinding or cutting. In this case, the curvature, depth, and width of the clamping region 116 may be variously set according to the needs of the user.

지지면(114)은 마스크 프레임(110)의 하부 즉, 탑재면(112)의 하부로 일정 거리 이격된 위치에 형성되어, 마스크 프레임(110)이 장착되는 챔버(120)의 내측면에 면접한다. 지지면(114)은 마스크 프레임(110)의 하부면을 이루고, 후술하는 챔버(120) 내측에 장착된 후 마스크 프레임(110)의 배치 상태를 지지한다. The support surface 114 is formed at a position spaced a predetermined distance from the lower portion of the mask frame 110 , that is, the lower portion of the mounting surface 112 , and faces the inner surface of the chamber 120 in which the mask frame 110 is mounted. . The support surface 114 forms a lower surface of the mask frame 110 , and supports an arrangement state of the mask frame 110 after being mounted inside the chamber 120 to be described later.

지지면(114)은 연마 또는 절삭 등의 방법으로 형성될 수 있다. The support surface 114 may be formed by a method such as grinding or cutting.

지지면(114)은 일측에서 타측으로 진행하며 경사지게 형성된다. 여기서, 지지면(114)의 일측은 마스크 프레임(110)의 외측 가장자리이고, 지지면(114)의 타측은 마스크 프레임(110)의 내측 가장자리로서, 지지면(114)은 일측에서 타측으로 진행하며 하향 경사지게 형성됨을 알 수 있다. The support surface 114 is inclined from one side to the other side. Here, one side of the support surface 114 is the outer edge of the mask frame 110 , the other side of the support surface 114 is the inner edge of the mask frame 110 , and the support surface 114 proceeds from one side to the other. It can be seen that the downward slope is formed.

따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 지지면(114)은 타측의 높이가 낮게 배치되어 탑재면(112)에 대하여 지지면(114)이 소정의 각도(θ)를 이룸을 알 수 있다. Accordingly, as shown in FIG. 7 , it can be seen that the support surface 114 has a low height on the other side, so that the support surface 114 forms a predetermined angle θ with respect to the mounting surface 112 .

지지면(114)과 탑재면(112)이 이루는 각도는 마스크 원판(10)이 마스크 프레임(110)에 탑재되어 접합될 때, 마스크 원판(10)에 인가되는 인장 압력을 기초하여 결정될 수 있다. The angle formed by the support surface 114 and the mounting surface 112 may be determined based on a tensile pressure applied to the mask original plate 10 when the mask original plate 10 is mounted and bonded to the mask frame 110 .

마스크 원판(10)에 인가되는 인장 압력에 대하여 소정의 기준값을 설정한 후, 설정된 기준값에 대응하여 탑재면과 지지면이 이루는 각도를 설정한다. After setting a predetermined reference value with respect to the tensile pressure applied to the mask original plate 10 , an angle between the mounting surface and the support surface is set in response to the set reference value.

이때, 마스크 원판(10)을 인장하는 인장 압력이 기준값보다 증가하면, 상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도를 감소시키고, 마스크를 인장하는 인장 압력이 기준값보다 감소하면, 탑재면과 지지면이 이루는 각도를 증가시켜 형성한다. At this time, when the tensile pressure for tensioning the mask disk 10 increases from the reference value, the angle between the mounting surface and the support surface is reduced, and when the tensile pressure for tensioning the mask decreases from the reference value, the mounting surface and the support surface are It is formed by increasing the angle formed.

여기서, 탑재면(112)과 지지면(114)이 이루는 각도(θ)는 1~3°로 설정될 수 있다.Here, the angle θ between the mounting surface 112 and the support surface 114 may be set to 1 to 3°.

이에 대해 예를 들어 설명하기로 한다.This will be described with an example.

인장 클램프(20)를 통한 마스크 원판(10)에 대한 인장 압력은 마스크 원판의 크기 등에 의해 다양하게 설정될 수 있지만, 여기서는 10kgf/m2 의 인장 압력으로 인장되는 것으로 상정하여 설명하기로 한다. The tensile pressure on the mask disk 10 through the tension clamp 20 may be variously set depending on the size of the mask disk, etc., but here it will be described assuming that it is tensioned with a tensile pressure of 10 kgf/m 2 .

인장 클램프(20) 각각을 통해 기준값 10kgf/m2 의 인장 압력으로 인장되는 상태에서 탑재면(112)에 접합되는 마스크 원판(10)은 탑재면과 지지면이 이루는 각도는 예를 들어 2.0°로 설정될 수 있다. The mask disk 10 joined to the mounting surface 112 in a state of being tensioned with a tensile pressure of a reference value of 10 kgf/m 2 through each of the tension clamps 20 has an angle between the mounting surface and the support surface of, for example, 2.0°. can be set.

또한, 인장 클램프(20) 각각을 통해 15kgf/m2 의 인장 압력으로 인장되는 상태에서 탑재면(112)에 접합되는 마스크 원판(10)은 탑재면과 지지면이 이루는 각도가 1.0°로 설정될 수 있다. In addition, the mask disc 10 bonded to the mounting surface 112 in a state of being tensioned with a tensile pressure of 15 kgf/m 2 through each of the tension clamps 20 is to be set so that the angle between the mounting surface and the support surface is set to 1.0°. can

또한, 인장 클램프(20) 각각을 통해 5kgf/m2 의 인장 압력으로 인장되는 상태에서 탑재면(112)에 접합되는 마스크 원판(10)은 탑재면과 지지면이 이루는 각도가 3.0°로 설정될 수 있다. In addition, the mask disk 10 bonded to the mounting surface 112 in a state of being tensioned with a tensile pressure of 5 kgf/m 2 through each of the tension clamps 20 is to be set so that the angle between the mounting surface and the support surface is 3.0°. can

챔버(120)는 소정의 크기를 갖고, 내측으로는 인장된 마스크 원판(10)이 탑재된 마스크 프레임(110)이 장착된 후, 마스크 원판(10)에 대한 증착이 이루어지는 공간을 제공한다. The chamber 120 has a predetermined size, and after the mask frame 110 on which the tensioned mask original plate 10 is mounted is mounted, a space is provided for deposition on the mask original plate 10 .

챔버(120)의 내부 일측으로는 마스크 프레임(110)과 소정 거리 이격된 위치에는 마스크 원판(10)에 대한 증착을 수행하는 증착원(130)이 배치된다. 증착원(130)은 널리 알려진 공지의 기술이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. A deposition source 130 for performing deposition on the mask original plate 10 is disposed at a position spaced apart from the mask frame 110 by a predetermined distance on one side of the chamber 120 . Since the deposition source 130 is a well-known technology, a detailed description thereof will be omitted.

가압부(140)는 챔버(120) 내부의 마스크 프레임(110) 배치 위치에 복수개로 배치된다. 가압부(140)는 마스크 프레임(110)의 클램핑 영역(116)에 대하여 하방으로 소정 압력을 인가하여, 마스크 프레임(110)이 챔버(120) 내부에 고정되도록 한다. A plurality of pressurizing units 140 are disposed at positions where the mask frame 110 is disposed inside the chamber 120 . The pressing unit 140 applies a predetermined pressure downward to the clamping region 116 of the mask frame 110 so that the mask frame 110 is fixed inside the chamber 120 .

도면에 의하면, 가압부(140)는 'ㄱ'형태로 이루어져 있고, 일단이 클램핑 영역(116)에 접한 후, 하방으로 가압하도록 구성된다. According to the drawing, the pressing unit 140 is formed in a 'L' shape, and after one end is in contact with the clamping area 116 , it is configured to be pressed downward.

클램핑 영역(116)에 대하여 하방으로 압력을 인가하며, 마스크 프레임(110)이 챔버(120) 내측에 고정되도록 할 수 있다면, 가압부(140)는 도면에 도시된 상태로 한정하지 않고 다양한 형태로 이루어질 수 있다. If the pressure is applied downward to the clamping region 116 and the mask frame 110 can be fixed inside the chamber 120, the pressing unit 140 is not limited to the state shown in the drawings and can be formed in various shapes. can be done

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 OLED용 마스크 프레임에 마스크 원판(10)이 탑재된 OLED용 마스크 프레임(110)의 장착에 대해 설명하기로 한다. The mounting of the mask frame 110 for OLED in which the mask original plate 10 is mounted on the mask frame for OLED according to the present invention configured as described above will be described.

도 10은 챔버 내측에 마스크 프레임의 고정을 나타내는 도면이다. 10 is a view showing the fixing of the mask frame inside the chamber.

도면의 복잡함을 피하기 위하여, 챔버(120)의 도시는 생략하기로 한다. In order to avoid the complexity of the drawings, the illustration of the chamber 120 will be omitted.

도 10은 OLED용 마스크 프레임(110)의 탑재면(112) 상에 마스크 원판(10)이 탑재되어 결합된 후, 마스크 프레임(110)은 챔버 내측에 배치되고, 가압부(140)는 클램핑 영역(116)에 대하여 하방으로 압력을 인가하며 마스크 프레임(110)의 고정이 이루어지도록 한다.FIG. 10 shows that after the mask original plate 10 is mounted on the mounting surface 112 of the mask frame 110 for OLED and coupled thereto, the mask frame 110 is disposed inside the chamber, and the pressing part 140 is a clamping region. A pressure is applied downward with respect to 116 so that the mask frame 110 is fixed.

여기서, 마스크 원판(10)의 자중에 의해 마스크 원판(10) 중앙으로 처짐이 발생될 수 있다. Here, deflection may be generated in the center of the mask original plate 10 due to the weight of the mask original plate 10 .

이를 방지하기 위하여, 가압부(140)는 클램핑 영역(116)에 대하여 인가되는 압력을 증가시켜, 지지면(114)이 챔버(120) 내측의 하면에 밀착하여 면접하도록 한다. In order to prevent this, the pressing part 140 increases the pressure applied to the clamping region 116 so that the support surface 114 is in close contact with the lower surface of the chamber 120 .

도 11은 마스크 프레임의 지지면과 챔버 내측의 하면과의 밀착을 나타내는 도면이다. 11 is a view showing the adhesion between the support surface of the mask frame and the lower surface inside the chamber.

도 11을 참조하면, 가압부(140)는 클램핑 영역(116)에 대하여 마스크 프레임(110) 고정 시 인가되었던 압력보다 더 큰 압력을 인가하여, 지지면(114)이 챔버(120)의 내측 하면에 밀접하게 면접함을 알 수 있다. Referring to FIG. 11 , the pressing unit 140 applies a greater pressure than the pressure applied when fixing the mask frame 110 to the clamping region 116 , so that the support surface 114 is the inner lower surface of the chamber 120 . It can be seen that a close interview with

가압부(140)에 의해 탑재면(112)의 외측 가장자리로 압력이 인가되면 탑재면(112)의 외측 가장자리는 하방으로 이동하고, 탑재면(112)의 내측은 상방으로 이동하며 탑재된 마스크 원판(10)을 들어올린다. 또한, 탑재면(112)의 내측이 상방으로 이동함과 동시에 마스크 프레임(110)의 외측 방향으로 이동하며 마스크 원판(10)을 외측 방향으로 인장하며 마스크 원판(10)의 중앙이 처지는 것을 방지한다.When pressure is applied to the outer edge of the mounting surface 112 by the pressing unit 140, the outer edge of the mounting surface 112 moves downward, and the inner side of the mounting surface 112 moves upward, and the mounted mask disc Lift (10). In addition, the inner side of the mounting surface 112 moves upward and at the same time moves in the outer direction of the mask frame 110 to tension the mask disk 10 in the outward direction and prevent the center of the mask disk 10 from sagging. .

상기와 같이 구성된 본 발명은, 마스크 프레임 상에서, 인장된 마스크 원판이 접합되는 탑재면의 하측으로 배치되는 지지면이 외측에서 내측으로 진행하며 하향 경사지게 형성되도록 하여, 마스크 프레임이 증착 장비에 작착되어 고정된 후에는 마스크 프레임의 탑재면 내측이 상향 이동하며 마스크를 들어 올림과 동시에 인장하도록 하여 마스크 중앙의 처짐이 방지될 수 있다. In the present invention configured as described above, on the mask frame, the support surface disposed below the mounting surface to which the tensioned mask disc is bonded is formed to be inclined downward while proceeding from the outside to the inside, so that the mask frame is attached and fixed to the deposition equipment. After the mask frame is mounted, the inside of the mounting surface of the mask frame moves upward and the mask is lifted and tensioned at the same time to prevent sagging at the center of the mask.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, which is merely exemplary, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

100: OLED 마스크 제조 장치 110: 마스크 프레임
112: 탑재면 114: 지지면
116: 클램핑 영역 120: 챔버
140: 가압부100: OLED mask manufacturing apparatus 110: mask frame
112: mounting surface 114: support surface
116: clamping area 120: chamber
140: pressurized part

Claims (12)

OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재된 후, 증착 장비로 투입되어 상기 마스크에 대한 증착이 이루어지도록 하는 OLED 마스크 제조 장치로서,
중앙이 개구된 사각 형상으로 이루어지고, 상측으로 배치되어 OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재되는 탑재면과, 외측 상면 테두리를 따라 배치되는 클램핑 영역과, 상기 탑재면과 일정거리 이격되어 배치되며, 하측면을 형성하고, 상기 증착 장비의 내측 하면에 접하는 지지면을 포함하는 마스크 프레임;
내측으로 상기 마스크가 탑재된 상기 마스크 프레임의 배치 공간을 제공하고, 상기 공간 일측으로는 상기 마스크에 대한 증착을 수행하는 증착원이 배치되는 챔버;
상기 챔버의 내측에 배치된 상기 마스크 프레임의 상기 클램핑 영역에 대하여 하향 가압하며 상기 마스크 프레임이 상기 챔버에 고정되도록 하는 가압부를 포함하고,
상기 마스크 프레임의 지지면은 상기 가압부에 의한 가압이 이루어지기 전, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지며,
상기 탑재면과 상기 지지면은 서로 일정 각도로 경사지고,
상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도(θ)는,
상기 마스크에 대한 인장량이 증가하면 감소하고,
상기 마스크에 대한 인장량이 감소하면 증가하는 OLED용 마스크 제조 장치. As an OLED mask manufacturing apparatus, after a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, it is put into deposition equipment to perform deposition on the mask,
A mounting surface made of a rectangular shape with an open center and arranged upwards on which a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, a clamping area arranged along the outer upper surface edge, and a predetermined distance from the mounting surface a mask frame that is disposed and forms a lower surface and includes a support surface in contact with an inner lower surface of the deposition equipment;
a chamber providing an arrangement space of the mask frame in which the mask is mounted, and in which a deposition source for performing deposition on the mask is disposed at one side of the space;
and a pressing part for pressing down against the clamping region of the mask frame disposed inside the chamber and fixing the mask frame to the chamber;
The support surface of the mask frame is inclined downward from the outer edge to the inner edge before the pressing by the pressing part is made,
The mounting surface and the support surface are inclined at an angle to each other,
The angle (θ) between the mounting surface and the support surface is,
decreases as the amount of tension on the mask increases,
An apparatus for manufacturing a mask for OLED that increases when the amount of tension on the mask decreases. OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재된 후, 증착 장비로 투입되어 상기 마스크에 대한 증착이 이루어지도록 하는 OLED 마스크 제조 장치로서,
중앙이 개구된 사각 형상으로 이루어지고, 상측으로 배치되어 OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장되어 탑재되는 탑재면과, 외측 상면 테두리를 따라 배치되는 클램핑 영역과, 상기 탑재면의 하측으로 이격되어 배치되고, 상기 증착 장비의 내측 하면에 접하는 지지면을 포함하는 마스크 프레임;
내측으로 상기 마스크가 탑재된 상기 마스크 프레임의 배치 공간을 제공하고, 상기 공간 일측으로는 상기 마스크에 대한 증착을 수행하는 증착원이 배치되는 챔버;
상기 챔버의 내측에 배치된 상기 마스크 프레임의 상기 클램핑 영역에 대하여 하향 가압하며 상기 마스크 프레임이 상기 챔버에 고정되도록 하는 가압부를 포함하고,
상기 마스크 프레임의 지지면은 상기 가압부에 의한 가압이 이루어지기 전, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지고,
상기 클램핑 영역은,
상기 마스크 프레임의 외측 상면 테두리를 따라 오목하게 라운드지어 형성되는 OLED용 마스크 제조 장치. As an OLED mask manufacturing apparatus, after a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is tensioned and mounted, it is put into deposition equipment to perform deposition on the mask,
A mounting surface made of a rectangular shape with an open center and arranged upwards to tension and mounted a mask for deposition operation for forming a pattern for OLED, a clamping area arranged along the outer upper surface edge, and spaced apart from the lower side of the mounting surface a mask frame that is disposed and includes a support surface in contact with an inner lower surface of the deposition equipment;
a chamber providing an arrangement space of the mask frame in which the mask is mounted, and in which a deposition source for performing deposition on the mask is disposed at one side of the space;
and a pressing part for pressing down against the clamping region of the mask frame disposed inside the chamber and fixing the mask frame to the chamber;
The support surface of the mask frame is inclined downward from the outer edge to the inner edge before the pressing by the pressing part is made,
The clamping area is
A mask manufacturing apparatus for OLED formed by being rounded concavely along the outer upper edge of the mask frame. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 가압부는,
상기 챔버의 내측에서, 상기 챔버 내측에 배치되는 상기 마스크 프레임의 가장 자리를 따라 일정 간격으로 배치되는 가압 클램프를 포함하는 OLED용 마스크 제조 장치.3. The method of claim 1 or 2,
The pressurizing part,
Inside the chamber, the mask manufacturing apparatus for OLED comprising a pressure clamp disposed at regular intervals along the edge of the mask frame disposed inside the chamber. 제3항에 있어서,
상기 마스크의 인장은,
일단이 상기 마스크의 일변에 연결되는 인장 클램프를 상기 마스크의 외측 방향으로 이동시켜 이루어지는 OLED용 마스크 제조 장치. 4. The method of claim 3,
The seal of the mask is
An apparatus for manufacturing a mask for OLED formed by moving a tension clamp having one end connected to one side of the mask in an outward direction of the mask. 제4항에 있어서,
상기 인장 클램프의 인장력은 10 kgf/m2 인 OLED용 마스크 제조 장치.5. The method of claim 4,
The tensile force of the tensile clamp is 10 kgf/m 2 A mask manufacturing apparatus for OLED. 삭제delete 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도(θ)는,
1 내지 3°인 OLED용 마스크 제조 장치.3. The method of claim 1 or 2,
The angle (θ) between the mounting surface and the support surface is,
An apparatus for manufacturing a mask for OLED that is 1 to 3°. 중앙이 개구되고, OLED용 패턴 형성을 위한 증착 작업용 마스크가 인장된 후 상측에 접합되어 OLED용 마스크 프레임을 제조하는 OLED용 마스크 프레임 제조방법에 있어서,
상기 증착 작업용 마스크가 탑재되어 접합되는 탑재면을 형성하는 단계와, 외측 상면 테두리를 따라 클램핑 영역을 형성하는 단계와, 상기 탑재면과 일정 거리 이격되어 배치되며, 하측면을 형성하고, 상기 탑재면과 경사지는 각도로 지지면을 형성하되, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지게 형성하는 단계를 포함하고,
상기 탑재면과 상기 지지면이 이루는 각도(θ)는,
상기 마스크에 대한 인장량이 증가하면 감소하고,
상기 마스크에 대한 인장량이 감소하면 증가하는 OLED용 마스크 프레임 제조방법. In the mask frame manufacturing method for OLED, in which the center is opened and the mask for deposition operation for forming a pattern for OLED is stretched and then bonded to the upper side to produce a mask frame for OLED,
Forming a mounting surface on which the deposition mask is mounted and bonded; forming a clamping area along an outer upper surface edge; and forming the support surface at an inclined angle, proceeding from the outer edge to the inner edge, and forming a downward inclination,
The angle (θ) between the mounting surface and the support surface is,
decreases as the amount of tension on the mask increases,
A method of manufacturing a mask frame for OLED that increases when the amount of tension on the mask decreases. 제8항에 있어서,
상기 OLED용 마스크 프레임은,
상기 중앙을 기준으로 대칭하여 배치되는 상기 지지면은 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지게 형성되는 OLED용 마스크 프레임 제조방법. 9. The method of claim 8,
The mask frame for OLED,
The method for manufacturing a mask frame for OLED in which the support surface disposed symmetrically with respect to the center proceeds from the outer edge to the inner edge and is inclined downward. 제9항에 있어서,
상기 마스크의 인장량은,
일단이 상기 마스크의 일변에 연결되는 인장 클램프의 상기 마스크 외측 방향으로의 이동량에 대응하는 OLED용 마스크 프레임 제조방법. 10. The method of claim 9,
The tensile amount of the mask is,
A method of manufacturing a mask frame for OLED corresponding to an amount of movement of a tension clamp having one end connected to one side of the mask in an outward direction of the mask. 삭제delete 중앙이 개구된 사각 형상으로 이루어지고, 증착 작업용 마스크가 상부의 탑재면에 탑재되며, 상기 탑재면과 일정거리 이격되어 배치되어, 하측면을 형성하고, 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 진행하며 하향 경사지는 지지면이 배치되고, 외측 상면 테두리를 따라 오목하게 라운드지게 형성되는 클램핑 영역이 형성되는 마스크 프레임을 상기 마스크에 대한 증착 작업을 수행하는 증착 장비 내측에 장착하는 방법으로서,
상기 마스크 프레임의 상기 탑재면 상에 상기 마스크를 인장하여 탑재한 후 접합하는 단계;
상기 마스크가 탑재된 상기 마스크 프레임을 증착 공간을 제공하는 상기 증착 장비 내측으로 배치하는 단계;
상기 클램핑 영역에 대하여 하향 가압하며, 상기 마스크 프레임을 상기 증착 장비의 내측에 고정하는 단계;
상기 클램핑 영역에 대한 압력을 증가시켜 상기 지지면이 상기 증착 장비의 내측 하면에 밀착되도록 하는 단계; 를 포함하는 OLED용 마스크 제조용 마스크 프레임 장착 방법. It has a rectangular shape with an open center, and a mask for deposition is mounted on the upper mounting surface, is spaced apart from the mounting surface by a certain distance, forms a lower surface, and proceeds from the outer edge to the inner edge and slopes downward. A method of mounting a mask frame on which a support surface is disposed and a clamping region formed to be rounded concavely along an outer upper surface edge is formed inside a deposition equipment for performing a deposition operation on the mask,
attaching the mask to the mounting surface of the mask frame by tensioning and mounting the mask;
disposing the mask frame on which the mask is mounted inside the deposition equipment providing a deposition space;
pressing down on the clamping region and fixing the mask frame inside the deposition equipment;
increasing the pressure on the clamping region so that the support surface is in close contact with the inner lower surface of the deposition equipment; A method of mounting a mask frame for manufacturing a mask for OLED comprising a.
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