KR101999360B1 - Composite frame elenent for mask assembly for thin film deposition and method for manufacturing thereof - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a complex frame element for a thin film deposition mask assembly and a manufacturing method thereof. According to the present invention, the mask assembly includes a complex frame element for mechanically supporting a pattern element having an opening pattern for deposition formed thereon. The complex frame element comprises: a rectangular frame; one or more straight sticks bonded to the rectangular frame and having an uneven thickness changed in a longitudinal direction; and a grid mask disposed on the one or more straight sticks and bonded to the rectangular frame. Accordingly, when a tensile force applied to the grid mask and the straight stick is not strong, vertical supporting force can be provided at the central portion of the grid mask by the portions with a different thickness of the straight sticks such that a sagging amount of the grid mask and bending of the frame can be simultaneously reduced, thereby providing an advantage of increasing position accuracy of the mask.

Description

박막 증착용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 및 그 제조 방법{COMPOSITE FRAME ELENENT FOR MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM DEPOSITION AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a composite frame element for a thin film deposition mask assembly,

본 발명은 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것으로서, 더 상세하게는 예컨대 OLED 제조를 위한 증착 공정에 사용되는 마스크 조립체에 있어서 증착 공정 중 마스크 유동에 기인한 위치 오차를 감소시킨 새로운 박막 증착용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film deposition mask assembly, and more particularly to a novel thin film deposition mask assembly that reduces positional errors due to mask flow during deposition processes in, for example, a mask assembly used in a deposition process for OLED manufacturing And a method of manufacturing the composite frame element.

근래에 스마트폰과 같은 전자기기의 디스플레이로서 널리 적용되고 있는 OLED(Organic Light-Emitting Diode)는 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 다수의 박막층을 적층하고 패터닝하는 증착 공정이 필요하다. 증착 공정은, 소정 개구 패턴이 형성된 마스크를 통과하여 기판 상에 적층되는 방식으로 이루어진다. 통상 마스크는 개구 패턴이 구비된 박막의 패턴 요소가 지지용 프레임 요소에 접합된 마스크 조립체로서 제조된다. 특히 FMM 근래 FMM에 요구되는 정밀도가 점점 더 요구되고 있다OLED (Organic Light-Emitting Diode), which is widely applied as a display of an electronic device such as a smart phone in recent years, requires a deposition process in which a plurality of thin film layers such as an electrode layer, an organic light emitting layer, and an insulating film are laminated and patterned. The deposition process is performed in such a manner that it passes through a mask having a predetermined opening pattern and is stacked on a substrate. Usually, the mask is manufactured as a mask assembly in which a thin film pattern element provided with an opening pattern is bonded to a supporting frame element. Especially FMM Recently, the precision required for FMM is increasingly required

FMM(fine metal mask)의 경우, 디스플레이의 RGB 컬러 픽셀용 박막층을 적층하기 위해 사용되는데, 그 패턴 요소는 100㎛ 이하 두께의 박막 금속 스틱 내에 픽셀 형성을 위한 미세 개구 패턴이 형성되어 있는 FMM 스틱을 복수개 포함한다. 한편 그 프레임 요소는 약 15 ~ 35 mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 금속 재질의 사각 프레임을 포함한다.In case of FMM (fine metal mask), it is used to laminate a thin film layer for RGB color pixels of a display, which is an FMM stick having a fine opening pattern for forming a pixel in a thin metal strip of a thickness of 100 μm or less It includes a plurality. The frame element includes a rectangular frame made of a metallic material in the form of a window frame or a door frame having a thickness of about 15 to 35 mm.

도 1을 참조하면, 일반적으로 박막 공정이 이루어지는 증착기 내에서, 증착기 하부에서 발생한 증착물질은 FMM(10)의 미세 개구 패턴을 통과하여 유리 재질의 기판(2) 표면에 증착된다. FMM(10)에서, 박막 시트 형태의 패턴 요소는 단지 그 가장자리 부분만이 프레임 요소에 고정되어 지지되고 있을 뿐이다. 그러므로, 비록 인장력을 가하여 팽팽하게 패턴 요소를 프레임 요소에 고정함에도 불구하고, 패턴 요소의 중심부분은 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이 자중에 의해 아래로 처진다. 예컨대, 도 2에는 기존 스마트폰용 디스플레이 제조를 위한 FMM에 있어서, 그 패턴 요소가 가장자리(21)에서보다 그 중심부분(23)에서 더 처지는 정도를 3차원 모델링한 예가 도시된다. 도시된 예에서, 프레임 요소에 의해 지지되고 있는 가장자리(21)의 처짐량을 0이라 할 때, 그 중심부분(23)의 처짐량은 대략 400㎛ 정도이다.Referring to FIG. 1, in a deposition apparatus in which a thin film process is generally performed, a deposition material generated in the lower portion of the deposition apparatus is deposited on the surface of a glass substrate 2 through a fine opening pattern of the FMM 10. In the FMM 10, only the edge portion of the pattern element in the form of a thin sheet is fixedly supported on the frame element. Therefore, although the tensile force is applied to tighten the pattern element to the frame element, the central portion of the pattern element is sagged down by its own weight as shown in Fig. 1 (a). For example, FIG. 2 shows an example of three-dimensional modeling of the extent to which the pattern elements are more projected at the central portion 23 than at the edge 21 in the FMM for manufacturing a display for existing smartphones. In the illustrated example, when the deflection amount of the edge 21 supported by the frame element is 0, the deflection amount of the center portion 23 is approximately 400 m.

이러한 마스크 처짐 현상 때문에, 도 1의 (b)에 예시한 바와 같이, 증착기 상부에 있는 자석(4)을 이용하여 FMM(10)의 패턴 요소를 기판(2)에 밀착시킨 상태에서 증착 공정이 수행된다. 통상 FMM(10)이 증착기 내에 고정되고, 새 기판(2)이 투입되어 증착 프로세스가 수행된 후 반출되는 방식으로 증착 공정이 수행된다. 다시 말해서 새로운 기판(2)이 증착기 내로 투입될 때마다 자석(4)이 증착기 상부에서 기판(2) 측으로 하강하고, 이에 따라 FMM(10)이 Z축을 따라 위로 당겨지면서 기판(2) 표면에 밀착되어 평평하게 펴진 상태로 증착 프로세스가 진행된다. 이 과정에서, FMM(10)의 미세 개구 위치는 예컨대 도 2에 예시된 경우에 그 중심부분에서 400㎛ 이상 상승하게 되며 결과적으로 기판(2)의 표면(즉, XY평면) 상에서 미세하게 유동하게 된다(일명 마스크 유동 현상). 이러한 마스크 유동은 마스크의 처짐량과 비례하여 커지게 되며, 마스크 유동이 크면 클수록 새도우 불량이 더 크게 발생한다. 그러므로, 생산성 향상을 위해서는 마스크 유동량이 감소될 것이 필요하며, 마스크 유동 감소를 위해 마스크 처짐량을 감소시킬 것이 요구되고 있다.As shown in FIG. 1 (b), the patterning of the pattern elements of the FMM 10 is performed in close contact with the substrate 2 by using the magnet 4 on the upper side of the deposition apparatus, do. The deposition process is performed in such a manner that the FMM 10 is normally fixed in the evaporator, the new substrate 2 is charged, and the deposition process is performed and then carried out. In other words, the magnet 4 descends from the top of the evaporator to the substrate 2 side each time a new substrate 2 is put into the evaporator, so that the FMM 10 is pulled up along the Z- And the deposition process proceeds in a state in which it is flatly spread. In this process, the fine opening position of the FMM 10 is raised, for example, by 400 m or more at the central portion thereof as illustrated in Fig. 2, and as a result, it flows finely on the surface (i.e., the XY plane) (Aka mask flow phenomenon). This mask flow increases in proportion to the amount of deflection of the mask, and the larger the mask flow, the larger the defective shadow occurs. Therefore, in order to improve the productivity, it is necessary to reduce the mask flow amount, and it is required to reduce the mask deflection amount in order to reduce the mask flow.

일반적으로 FMM에 있어서, 마스크 처짐량을 감소시키기 위하여 패턴 요소의 두께를 더 박막으로 제조하는 경향이 있는데, 근래에는 30 ~ 50㎛ 정도까지 얇은 두께의 금속 시트를 이용하여 패턴 요소의 제조가 가능하다. 그러나 기계적인 내구성 등의 요인에 기인하여 패턴 요소의 두께 감소는 한계가 있다. 그러므로 근래에는 프레임 요소인 사각 프레임에 하울링 스틱과 같은 부가 구조물을 추가로 구성한 복합 프레임 요소가 다수 제안되고 있다. 본 발명의 출원인도 격자형 마스크를 추가한 복합 프레임 요소를 제안한 바 있으며, 이는 도 3에 도시된다.Generally, in the FMM, the thickness of the pattern element tends to be thinner in order to reduce the amount of deflection of the mask. In recent years, it is possible to manufacture a pattern element using a metal sheet having a thickness of 30 to 50 mu m or so. However, due to factors such as mechanical durability, thickness reduction of pattern elements is limited. Therefore, in recent years, a large number of composite frame elements have been proposed in which a rectangular frame, which is a frame element, has additional structures such as a howling stick. The applicant of the present invention has also proposed a composite frame element with a lattice mask added, which is shown in Fig.

격자형 마스크를 추가 구성한 복합 프레임 요소(30)는, 도 3에 예시된 바와 같이, 다수의 직선이 평면 상에서 서로 직교하는 형상으로 격자를 이루도록 하는 격자형 마스크(33)를 인장하여 사각 프레임(31)에 부가 접합한 구조이다. 이러한 구조에 따르면, 사각 프레임(31)에 추가하여 인장된 격자 마스크(33)에 의해 복수의 FMM스틱(FS)으로 이루어진 패턴요소(P)를 더 지지할 수 있다. 이에 따라 FMM스틱(FS)에 가하는 인장력을 감소시킬 수 있어, 인장에 따른 미세 개구 패턴의 위치 오차를 감소시킬 수 있었다. 또한 격자 마스크(33)에 의해 패턴 요소(P)의 중심부분도 지지해주므로, 패턴 요소의 처짐량을 예컨대 그 중심부분에서 200㎛ 수준으로 감소시킬 수 있었다.3, the composite frame element 30 having the lattice-shaped mask is formed by stretching a lattice-like mask 33, in which a plurality of straight lines form a lattice orthogonal to each other in a plane, ). According to this structure, it is possible to further support the pattern element P made up of a plurality of FMM sticks FS by the lattice mask 33 stretched in addition to the rectangular frame 31. Accordingly, the tensile force applied to the FMM stick FS can be reduced, and the positional error of the fine opening pattern due to the tensile force can be reduced. Further, since the center portion of the pattern element P is also supported by the lattice mask 33, the amount of deflection of the pattern element can be reduced to, for example, 200 mu m at the center portion thereof.

그런데 디스플레이 해상도의 증가 경향에 따라 마스크 위치 오차를 더욱 감소하여야 한다는 기술적 요구가 점증하고 있다. 이러한 점증하는 요구에 부응하기 위해서는 마스크 조립체에서 마스크 처짐량을 기존 200㎛ 수준보다 더욱 감소시켜 예컨대 100㎛ 이하로 되도록 하는 기술이 요구된다.However, there is a growing demand for a reduction in the mask position error due to an increase in display resolution. In order to meet such an increasing demand, there is a demand for a technique of reducing the amount of deflection of the mask in the mask assembly to a value of, for example, 100 탆 or less from the existing 200 탆 level.

대한민국 등록특허 제10-1659948호 (2016.09.20.)Korean Patent No. 10-1659948 (2016.09.20.) 대한민국 등록특허 제10-1659960호 (2016.09.20.)Korean Patent No. 10-1659960 (2016.09.20.) 대한민국 등록특허 제10-1659961호 (2016.09.20.)Korean Patent No. 10-1659961 (2016.09.20.)

본 발명자는, 미세 개구 패턴이 형성된 패턴 요소와 이를 지지하는 프레임 요소로 이루어지는 증착 공정용 마스크 조립체에 있어서, 특히 상기 프레임 요소가 사각 프레임에 박막의 격자 마스크를 접합한 형태의 복합 프레임 요소인 경우, 별도의 직선 스틱을 격자 마스크 아래에 배치하여 격자 마스크의 처짐(sagging)을 개선시킬 수 있는 새로운 복합 프레임 요소를 검토하였다. 이는 격자 마스크를 별도의 직선 스틱이 더 지지함으로써 결과적으로 격자 마스크, 또는 격자 마스크 위에 배치될 패턴 요소의 처짐량을 감소시킬 수 있을 것으로 기대하였기 때문이다. 그러나 격자 마스크와 직선 스틱을 각각 인장하여 사각 프레임 상에 접합할 때, 격자 마스크와 직선 스틱에 가해진 인장력이 거꾸로 사각 프레임에 응력을 발생시켜 사각 프레임 자체가 미세하게 비틀려버리는 프레임 벤딩(frame bending) 문제가 발생하였고, 따라서 격자 마스크와 직선 스틱에 인장력을 가하는 것만으로 마스크 처짐량을 감소시키는 것이 사실상 불가능하다는 사실을 발견하였다.The present invention is a mask assembly for a deposition process comprising a pattern element on which a fine opening pattern is formed and a frame element for supporting the pattern element. In particular, when the frame element is a composite frame element in which a thin film lattice mask is bonded to a rectangular frame, A new composite frame element that can improve the sagging of the lattice mask by placing a separate straight stick under the lattice mask was examined. This is because it was expected that the additional linear stick would further support the lattice mask, thereby reducing the deflection of the lattice mask or the pattern element to be placed on the lattice mask. However, when the lattice mask and the straight stick are respectively stretched and joined on the rectangular frame, the tensile force applied to the lattice mask and the straight stick causes frame bending, in which the square frame itself is slightly twisted due to stress in the rectangular frame, Problems have arisen, and thus it has been found that it is virtually impossible to reduce the mask deflection by simply applying a tensile force to the grating mask and the straight stick.

그러므로 본 발명자는, 마스크 처짐 문제와 프레임 벤딩 문제를 동시에 해결할 수 있는 기술을 찾는 과정에서, 격자 마스크와 직선 스틱에 가해지는 인장력이 소정 범위로 제한되어야 한다는 점; 마스크 처짐량은 수직 방향이라는 점; 따라서 수직 방향에서 격자 마스크를 지지할 수 있는 수단을 고려할 필요가 있다는 점에 착안하여, 만약 격자 마스크를 지지하는 직선 스틱의 두께를 위치에 따라 서로 다르게 구성한다면, 격자 마스크와 직선 스틱이 동일한 처짐량을 가지는 경우에도 직선 스틱의 서로 다른 두께에 의해 격자 마스크를 수직방향에서 지지할 수 있으므로, 결과적으로 프레임 벤딩 문제를 회피하면서 동시에 마스크 처짐량을 감소시킬 수 있을 것이라는 점을 깨달았다.Therefore, the inventor of the present invention found that, in the process of finding a technique capable of simultaneously solving the problem of mask deflection and frame bending, the tensile force applied to the grating mask and the straight stick must be limited to a predetermined range; The mask deflection is vertical; Therefore, if it is necessary to consider a means capable of supporting the grating mask in the vertical direction, if the thickness of the linear stick supporting the grating mask is made different from position to position, The grating mask can be supported in the vertical direction by different thicknesses of the straight sticks, so that the mask bending amount can be reduced while avoiding the frame bending problem.

이러한 깨달음에 기초하여 제안되는 본 발명은, 증착 공정용 마스크 조립체에서 증착용 개구 패턴이 형성된 패턴 요소를 기계적으로 지지하기 위한 프레임 요소를, 사각 프레임 및 상기 사각 프레임에 접합되는 격자 마스크를 포함하는 복합 프레임 요소로서 제공하되, 상기 격자 마스크 아래에서 상기 사각 프레임에 접합되며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱을 하나 이상 더 포함하여 구성함으로써, 격자 마스크 처짐량 감소 및 프레임 벤딩 감소를 이룰 수 있어 마스크 위치 정밀도를 향상시킨 새로운 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention proposed on the basis of this enlightenment is characterized in that a frame element for mechanically supporting a pattern element in which a vapor deposition opening pattern is formed in a mask assembly for a deposition process is formed by a combination of a rectangular frame and a lattice mask bonded to the rectangular frame By providing one or more straight sticks provided as frame elements, which are bonded to the square frame under the lattice mask and have a non-uniform thickness along the longitudinal direction, it is possible to reduce the deflection of the lattice mask and reduce frame bending It is an object of the present invention to provide a composite frame element for a mask assembly for a new deposition process with improved mask position accuracy.

또한 본 발명은, 마스크 처짐량 감소 및 프레임 벤딩 감소를 이룰 수 있어 마스크 위치 정밀도를 향상시킨 새로운 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a method of manufacturing a composite frame element for a new mask process mask assembly which can reduce mask deflection and reduce frame bending, thereby improving mask position accuracy.

더 나아가 본 발명은, 상술한 복합 프레임 요소의 제조 방법으로서, 특히 제조 프로세스 내에서 마스크 처짐량을 정밀 조정함으로써 복수의 제품간에 마스크 처짐량 감소 및 프레임 벤딩 감소의 균일화를 용이하게 할 수 있도록 한 새로운 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Furthermore, the present invention relates to a method of manufacturing a composite frame element as described above, and more particularly, to a novel deposition process which can easily reduce mask deflection and uniform frame bending reduction among a plurality of products by precisely adjusting the amount of deflection of the mask in the manufacturing process And to provide a method of manufacturing a composite frame element for a mask assembly.

이러한 목적은 본 발명에 따라 제공되는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 및 그 제조 방법 등에 의해 달성된다.This object is achieved by a composite frame element for a mask assembly for a deposition process provided according to the present invention, a method of manufacturing the same, and the like.

본 발명의 일 양상에 따라 제공되는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소는, 증착용 개구 패턴이 형성된 패턴 요소를 기계적으로 지지하기 위한 프레임 요소를 포함하는 마스크 조립체에 있어서, 상기 프레임 요소는 사각 프레임, 상기 사각 프레임에 접합되는 격자 마스크, 및 상기 격자 마스크 아래에서 상기 사각 프레임에 접합되며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 하나 이상의 직선 스틱을 더 포함하여 구성된다.A composite frame element for a mask assembly for a deposition process, provided in accordance with an aspect of the present invention, comprises a frame element for mechanically supporting a pattern element having a vapor deposition opening pattern formed therein, A frame, a grating mask bonded to the square frame, and at least one straight stick bonded to the square frame under the grating mask, the thickness of which is not uniform according to the longitudinal position.

실시예에서, 상기 직선 스틱은, 그 길이 방향으로 동일한 두께의 베이스 구간과 상기 베이스 구간의 두께보다 10 ~ 30배의 두께를 가진 돌기부 구간이 반복되는 형태일 수 있다.In an embodiment, the straight stick may have a base section having the same thickness in the longitudinal direction and a protruding section having a thickness of 10 to 30 times the thickness of the base section.

다른 실시예에서, 상기 직선 스틱은, 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 표면에서 그 위치에 따라 미리 한정된 두께의 금속편을 접합한 형태일 수 있다.In another embodiment, the straight stick may be in the form of a metal piece of a predetermined thickness adhered to the surface of the thin-film base metal stick having a uniform thickness depending on the position thereof.

또 다른 실시예에서, 상기 직선 스틱은 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 소정 위치에서 압인 방식으로 미리 한정된 높이를 가지는 볼록부를 형성한 형태일 수 있다.In another embodiment, the straight stick may be in the form of a convex portion having a predetermined height in a staggered manner at a predetermined position of a thin-film base metal stick having a uniform thickness.

또 다른 실시예에서, 상기 직선 스틱은 평행하게 배열된 복수의 직선 스틱 배열로 제공되고, 상기 직선 스틱 배열은 상기 격자 마스크의 가장자리에서 그 중심부분으로 갈수록 소정 위치에서 더 큰 두께를 가지도록 함으로써, 상기 격자 마스크 처짐량을 3차원적으로 감소시킬 수 있도록 구성될 수 있다.In yet another embodiment, the straight stick is provided in a plurality of linear stick arrangements arranged in parallel, and the linear stick arrangement has a greater thickness at a predetermined position from an edge of the lattice mask to a central portion thereof, And the deflection amount of the lattice mask can be reduced three-dimensionally.

상술한 복합 프레임 요소에 패턴 요소를 접합함으로써 증착 공정용 마스크 조립체를 제조할 수 있고, 예컨대 디스플레이 픽셀(화소) 제조를 위한 증착용 미세 개구 패턴이 형성된 복수의 파인메탈마스크(FMM, fine metal mask) 스틱과 같은 패턴 요소를 상술한 복합 프레임 요소의 격자 마스크 위에 배치하여 접합할 수 있다.A mask assembly for a deposition process can be manufactured by bonding pattern elements to the above-described composite frame elements, and a plurality of fine metal masks (FMM), in which vapor-deposited fine aperture patterns are formed for the production of display pixels (pixels) A pattern element such as a stick can be placed on the lattice mask of the composite frame element described above and bonded.

또한 본 발명의 또 다른 양상에 따라 제공되는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 제조 방법은, 박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱 준비하는 단계; 준비된 직선 스틱을 인장하여 그 양단을 사각 프레임의 대향하는 접합홈 하부에 접합하는 직선 스틱 접합 단계; 접합된 직선 스틱의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 직선 스틱 처짐량을 고려하여 격자 마스크 처짐량을 계산한 후 인장하여 상기 사각 프레임의 접합홈 상부에 접합하는 격자 마스크 접합 단계를 포함한다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a composite frame element for a mask assembly for a deposition process, the method comprising: preparing a straight stick having a uniform thickness according to a longitudinal position; A straight stick joining step of pulling the prepared straight stick and joining both ends of the prepared straight stick to the lower portion of the joining recesses of the rectangular frame; And a lattice mask bonding step of measuring a deflection amount of the bonded straight sticks by the position and calculating a deflection amount of the lattice mask in consideration of the measured deflection amount of the straight sticks, and then joining the deflected part to the upper part of the bonding groove of the rectangular frame.

나아가 본 발명의 또 다른 양상에 따라 제공되는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 제조 방법은, 박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱 준비하는 단계; 준비된 직선 스틱을 인장하여 그 일단을 사각 프레임에 형성되고 그 양측부가 각각 계단식으로 된 하부면과 상부면을 가지는 2단 접합홈의 하부면에 접합하는 직선 스틱 제1접합단계; 격자 마스크를 인장하여 그 격자 단부들을 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈의 상부면에 접합하는 격자 마스크 접합단계; 접합된 격자 마스크의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 격자 마스크 처짐량을 고려하여 상기 격자 마스크의 목표 처짐량을 달성하도록 상기 제1접합된 직선 스틱을 인장하여 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈 하부면에 접합하는 직선스틱 제2접합단계를 포함한다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a composite frame element for a mask assembly for a deposition process, the method comprising: preparing a straight stick having a uniform thickness according to a longitudinal position; A straight stick first joining step of stretching the prepared straight stick and joining the one end of the straight stick to the lower face of the two-stage joining groove formed on the rectangular frame and having both the lower side and the upper side, A lattice mask bonding step of pulling the lattice mask and joining the lattice ends thereof to the upper surface of the two-stage junction groove of the rectangular frame; The first bonded straight stick is tensioned to measure the deflection amount of the bonded grid mask by position and to achieve the target deflection amount of the grating mask in consideration of the measured deflection amount of the grid mask, And a second stick-joining step of joining the first stick and the second stick.

본 발명에 따르면, 증착용 개구 패턴이 형성된 패턴 요소를 기계적으로 지지하기 위한 프레임 요소를 포함하는 마스크 조립체에 있어서, 상기 프레임 요소는 사각 프레임, 상기 사각 프레임에 접합되는 격자 마스크, 및 상기 격자 마스크 아래에서 상기 사각 프레임에 접합되며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 하나 이상의 직선 스틱을 더 포함하여 구성됨으로써, 격자 마스크와 직선 스틱에 가하는 인장력이 크지 않은 상태에서 직선 스틱의 서로 다른 두께 부분에 의해 격자 마스크의 중심 부분에서 수직 지지력을 제공할 수 있으므로, 격자 마스크 처짐량 감소 및 프레임 벤딩 감소를 동시에 이룰 수 있어 마스크 위치 정밀도를 향상시키는 장점을 제공한다.According to the present invention there is provided a mask assembly comprising a frame element for mechanically supporting a pattern element formed with a widening opening pattern, said frame element comprising a rectangular frame, a lattice mask bonded to said rectangular frame, And the thickness of the linear stick is not uniform according to the lengthwise position of the linear stick. Thus, the linear mask can be formed by the different thickness portions of the linear stick in a state where the tensile force applied to the lattice mask and the linear stick is not large. It is possible to provide a vertical supporting force at the center portion of the grating mask, thereby simultaneously achieving reduction in the deflection of the grating mask and reduction in frame bending, thereby providing an advantage of improving the accuracy of the mask position.

나아가 본 발명에 따르면, 상기 직선 스틱은, 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 표면에 위치에 따라 미리 한정된 두께의 금속편을 접합한 형태, 또는 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 소정 위치에서 압인 방식으로 미리 한정된 높이를 가지는 볼록부를 형성한 형태로 구성함으로써, 원하는 위치에서 다양하게 원하는 두께를 제공할 수 있고, 나아가 사각 프레임에 인접한 부분과 멀리 떨어진 중심부에서 서로 다른 두께에 의해 격자 마스크 처짐량을 3차원적으로 감소시킬 수 있도록 하는 다양한 효과를 제공한다.Further, according to the present invention, the straight stick may be formed by bonding a metal piece of a predetermined thickness to a surface of a thin-film base metal stick having a uniform thickness, A plurality of desired thicknesses can be provided at desired positions, and furthermore, the deflection amount of the lattice mask can be reduced to three-dimensionally by different thicknesses at the portions adjacent to the rectangular frame and at the distant center portions. It provides various effects that can be reduced as much as possible.

또한 본 발명은 상술한 복합 프레임 요소의 격자 마스크 위에, 예컨대 디스플레이 픽셀(화소) 제조를 위한 증착용 미세 개구 패턴이 형성된 복수의 파인메탈마스크(FMM, fine metal mask) 스틱과 같은, 패턴 요소를 접합함으로써, 패턴 요소의 처짐량 감소를 이룰 수 있어 마스크 위치 정밀도를 향상시킨 새로운 증착 공정용 마스크 조립체를 제공할 수 있다.The present invention also provides a method of forming a pattern element, such as a plurality of fine metal mask (FMM) sticks, on which a fine opening pattern for vapor deposition for producing a display pixel (pixel) is formed, Thereby reducing the amount of deflection of the pattern elements, thereby providing a mask assembly for a new deposition process with improved mask position accuracy.

또한 본 발명은, 박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱 준비하는 단계; 준비된 직선 스틱을 인장하여 그 양단을 사각 프레임의 대향하는 접합홈 하부에 접합하는 직선 스틱 접합 단계; 접합된 직선 스틱의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 직선 스틱 처짐량을 고려하여 격자 마스크 처짐량을 계산한 후 인장하여 상기 사각 프레임의 접합홈 상부에 접합하는 격자 마스크 접합 단계를 포함함으로써, 격자 마스크 처짐량 감소 및 프레임 벤딩 감소를 이룰 수 있어 마스크 위치 정밀도를 향상시킨 새로운 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법을 제공할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: preparing a straight stick having a uniform thickness in accordance with a longitudinal direction; A straight stick joining step of pulling the prepared straight stick and joining both ends of the prepared straight stick to the lower portion of the joining recesses of the rectangular frame; And a grating mask bonding step of measuring a deflection amount of the bonded straight sticks by position and calculating a deflection amount of the grating mask in consideration of the measured deflection amount of the straight sticks and then joining them to the upper portions of the joining recesses of the rectangular frame, Reduction in frame bending and a reduction in frame bending, thereby improving the accuracy of mask positioning.

더 나아가 본 발명은, 박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱 준비하는 단계; 준비된 직선 스틱을 인장하여 그 일단을 사각 프레임에 형성되고 그 양측부가 각각 계단식으로 된 하부면과 상부면을 가지는 2단 접합홈의 하부면에 접합하는 직선 스틱 제1접합단계; 격자 마스크를 인장하여 그 격자 단부들을 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈의 상부면에 접합하는 격자 마스크 접합단계; 접합된 격자 마스크의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 격자 마스크 처짐량을 고려하여 상기 격자 마스크의 목표 처짐량을 달성하도록 상기 제1접합된 직선 스틱을 인장하여 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈 하부면에 접합하는 직선스틱 제2접합단계를 포함함으로써, 제조 프로세스 내에서 처짐량을 정밀 조정함으로써 복수의 복합 프레임 요소 제품간에 격자 마스크 처짐량 감소 및 프레임 벤딩 감소의 균일화를 용이하게 할 수 있도록 한 새로운 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법을 제공할 수 있다.Further, the present invention provides a method of manufacturing a thin film magnetic head, comprising: preparing a straight stick having a uniform thickness in accordance with a longitudinal direction; A straight stick first joining step of stretching the prepared straight stick and joining the one end of the straight stick to the lower face of the two-stage joining groove formed on the rectangular frame and having both the lower side and the upper side, A lattice mask bonding step of pulling the lattice mask and joining the lattice ends thereof to the upper surface of the two-stage junction groove of the rectangular frame; The first bonded straight stick is tensioned to measure the deflection amount of the bonded grid mask by position and to achieve the target deflection amount of the grating mask in consideration of the measured deflection amount of the grid mask, To thereby reduce the deflection of the lattice mask and the uniformity of frame bending reduction between a plurality of composite frame element products by precisely adjusting the amount of deflection in the manufacturing process by including the second sticking step A method of manufacturing a composite frame element for a mask assembly can be provided.

도 1은 종래 OLED 제조를 위한 증착공정을 설명하기 위한 개략도.
도 2는 종래 증착공정용 마스크 조립체에서 패턴요소의 처짐량을 입체적으로 예시하는 개략도.
도 3은 종래 격자마스크를 구비하는 복합 프레임 요소에 복수의 FMM 스틱으로 구성된 패턴 요소를 접합한 마스크 조립체 구성을 예시하는 개략적인 분해사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소에 복수의 FMM 스틱으로 구성된 패턴 요소를 접합한 마스크 조립체 구성을 예시하는 개략적인 분해사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 사각 프레임에 형성되는 2단 접합홈의 구조를 보여주는 개략도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 격자 마스크의 구조를 보여주는 개략도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 직선 스틱의 구조를 보여주는 개략도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 다른 직선 스틱의 구조를 보여주는 개략도.
도 9 및 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 사각 프레임에 형성되는 2단 접합홈에 직선 스틱의 단부와 격자 마스크의 돌출단이 삽입되어 접합되는 과정을 설명하기 위한 개략 단면도들.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 사각 프레임에 형성되는 2단 접합홈에 직선 스틱의 단부와 격자 마스크의 돌출단이 삽입되어 접합되는 과정을 설명하기 위한 샘플 사진.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 직선 스틱이 복수개 배열되어 격자 마스크의 처짐량을 입체적으로 감소시키는 것을 설명하기 위한 개략도.
도 13 및 도 14는 각각 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조 방법의 단계를 설명하기 위한 흐름도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a schematic diagram illustrating a deposition process for conventional OLED manufacturing.
Figure 2 is a schematic diagram three-dimensionally illustrating deflection of a pattern element in a conventional mask assembly for a deposition process.
3 is a schematic exploded perspective view illustrating a mask assembly configuration in which a pattern element composed of a plurality of FMM sticks is bonded to a composite frame element having a conventional grating mask.
4 is a schematic exploded perspective view illustrating a mask assembly configuration in which a pattern element composed of a plurality of FMM sticks is bonded to a composite frame element according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic view showing a structure of a two-stage junction groove formed in a square frame of a composite frame element according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic diagram showing the structure of a lattice mask of a composite frame element according to an embodiment of the present invention;
7 is a schematic view showing the structure of a straight stick of a composite frame element according to an embodiment of the present invention;
Figure 8 is a schematic diagram illustrating the structure of another straight stick of a composite frame element according to an embodiment of the present invention;
9 and 10 are schematic cross-sectional views for explaining a process of inserting and joining the ends of the linear stick and the protruding ends of the lattice mask into the two-stage junction groove formed in the rectangular frame of the composite frame element according to the embodiment of the present invention .
FIG. 11 is a photograph illustrating a process of inserting and joining ends of a straight stick and protruding ends of a lattice mask into a two-step junction groove formed in a square frame of a composite frame element according to an embodiment of the present invention.
12 is a schematic view for explaining that a plurality of straight sticks of a composite frame element according to an embodiment of the present invention are arranged to reduce the amount of deflection of a lattice mask in three dimensions.
13 and 14 are flowcharts for explaining steps of a composite frame element and a method of manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention, respectively.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예들을 설명한다. 참고로 이하의 기재사항 및 도면은 본 발명의 이해를 돕기 위한 개략적인 예시일 뿐 발명의 기술범위를 한정하는 것이 아니다. 다시 말해, 아래에서 설명되는 실시예들은 현장에서 구현할 때 다양한 변형이 가능하며, 이들 변형이 본 발명의 기술사상 내에 있다면 본 발명에 속한다고 해야 할 것인 바, 본 발명의 기술사상은 이하의 설명을 통해 해상 기술 분야의 지식을 가진 자에게 쉽게 이해될 것이다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For reference, the following description and drawings are only illustrative and do not limit the technical scope of the invention. In other words, it is to be understood that the embodiments described below can be modified in various ways when they are implemented in the field, and if they are within the technical idea of the present invention, they should belong to the present invention. To be readily understood by those skilled in the art of marine technology.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소에 복수의 FMM 스틱으로 구성된 패턴 요소를 접합한 마스크 조립체 구성을 예시하는 개략적인 분해사시도이다.4 is a schematic exploded perspective view illustrating a mask assembly configuration in which a pattern element composed of a plurality of FMM sticks is bonded to a composite frame element according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 복합 프레임 요소(40)가 도시되는데, 이는 패턴 요소(P)와 결합하여 증착 공정용 마스크 조립체를 구성하는 요소이다.4, there is shown a composite frame element 40 according to the present invention, which is an element that constitutes a mask assembly for a deposition process in combination with a pattern element P.

도시된 패턴 요소(P)는 복수의 스마트폰 디스플레이의 픽셀들을 제조하기 위한 미세 개구 패턴이 형성된 FMM 스틱(FS)가 복수개 배열되어 구성된 것을 예시한다. 마스크 프레임 제조시, 패턴 요소(P)를 구성하는 각각의 FMM 스틱(FS)을 인장하여 복합 프레임 요소(40)에 접합함으로써 마스크 프레임을 완성하게 된다.The illustrated pattern element P illustrates that a plurality of FMM sticks (FS) formed with fine opening patterns for manufacturing pixels of a plurality of smartphone displays are configured. In manufacturing the mask frame, each FMM stick (FS) constituting the pattern element (P) is stretched and bonded to the composite frame element (40) to complete the mask frame.

본 발명에 따른 복합 프레임 요소(40)는, 마스크 프레임에 있어서 패턴 요소(P)를 기계적으로 지지하기 위한 요소이며, 사각 프레임(41), 직선 스틱(43) 그리고 격자 마스크(45)를 포함하여 구성된다.The composite frame element 40 according to the present invention is an element for mechanically supporting the pattern element P in the mask frame and includes a rectangular frame 41, a straight stick 43 and a grating mask 45 .

사각 프레임(41)은 예컨대 인바 합금과 같은 금속 재질로 제조되는 창틀 형태의 프레임이며, 직선 스틱(43), 격자 마스크(45) 및 FMM스틱(FS)이 접합되어 고정되는 기계적인 베이스를 제공한다. 사각 프레임(41)은 예컨대 스마트폰용 디스플레이를 50 ~ 200개 정도 제조할 수 있는 정도의 크기를 가지며, 한 변이 50 cm ~ 200cm 정도일 수 있다.The rectangular frame 41 is a frame in the form of a window frame made of a metal material such as an invar alloy and provides a mechanical base to which the linear stick 43, the lattice mask 45 and the FMM stick FS are bonded and fixed . The square frame 41 is, for example, about 50 to 200 in size for a display for a smartphone, and may have a size of about 50 cm to 200 cm on one side.

직선 스틱(43)은 직선형 금속 스틱이며 특히 그 길이 방향으로 소정 위치에서 더 두꺼운 부분을 구비하는 방식으로 균일하지 않은 두께를 가진다. 비록 도면에서는 자세히 도시되어 있지 않으나, 직선 스틱(43)은 그 길이 방향에서, 동일한 두께의 베이스 구간과 베이스 구간의 두께보다 10 ~ 30배의 두께를 가진 돌기부 구간이 반복되는 형태인 것이 바람직하다. 베이스 구간의 두께는 격자 마스크(45)의 두께와 동일할 수 있다.The straight stick 43 is a straight metal stick and has a non-uniform thickness in a manner having a thicker portion at a predetermined position in the longitudinal direction thereof. Although it is not shown in detail in the drawing, it is preferable that the linear stick 43 has a protruding section having a thickness of 10 to 30 times the thickness of the base section and the base section of the same thickness repeated in the longitudinal direction thereof. The thickness of the base section may be the same as the thickness of the lattice mask 45.

돌기부의 두께는 직선 스틱(43)의 처짐량을 고려하여 원하는 격자 마스크(45)의 최종 처짐량에 따라 결정되어야 한다. 직선 스틱(43)의 처짐량은, 일반적으로, 직선 스틱(43)에 가해지는 인장력의 크기와 서로 반비례한다. 또한 직선 스틱(43)의 처짐량은 직선 스틱의 자중에 의한 처짐량 뿐만 아니라 격자 마스크의 하중에 의해 눌려져 처지는 양도 더 고려하여야 한다. 그러므로, 돌기부의 두께는 직선 스틱(43)에 가해지는 인장력의 크기, 직선 스틱(43) 자체의 하중 및 격자 마스크(45)의 하중에 의해 눌려져 발생하는 처짐량을 고려하여 결정될 수 있다.The thickness of the protrusion should be determined according to the final deflection of the desired lattice mask 45 in consideration of the deflection of the straight stick 43. The deflection amount of the straight stick 43 is generally inversely proportional to the magnitude of the tensile force applied to the straight stick 43. Further, the amount of deflection of the straight stick 43 should be considered in addition to the deflection amount due to the self weight of the straight stick, as well as the amount of squeezing and sagging due to the load of the lattice mask. Therefore, the thickness of the protruding portion can be determined in consideration of the magnitude of the tensile force applied to the straight stick 43, the load of the straight stick 43 itself, and the amount of deflection that is generated by being pressed by the load of the lattice mask 45. [

예를 들어 격자 마스크(45)의 통상적인 처짐량이 그 중심부에서 200 ~ 400㎛인 경우, 본 발명에 따라 직선 스틱(43)에 의해 지지되어 감소된 후의 격자 마스크(45)의 처짐량은 바람직하게 50 ~ 100㎛ 수준으로 요구된다. 이를 위해 구체적으로 예를 들면, 직선 스틱(43)이 베이스 구간의 두께가 100㎛이고, 그 폭은 5mm인 길고 가느다란 금속 스틱에 하나 이상의 돌기부를 형성한 경우를 고려하자. 이 예에서 직선 스틱(43)의 양단에서 3kgf의 인장력을 가하는 경우, 직선 스틱(43)의 처짐량은 사각 프레임에 고정되는 그 양단의 위치를 기준으로 약 600 ~ 1000㎛ 정도일 수 있다. 이 경우 격자 마스크의 처짐량을 50 ~ 100㎛ 수준까지 감소시키기 위한 돌기부의 두께는 베이스 구간 두께보다 10 ~ 30배(1,000 ~ 3,000㎛, 즉, 1~3mm) 범위에서 결정될 수 있다.For example, if the typical deflection of the grating mask 45 is 200-400 m at its center, the amount of deflection of the grating mask 45 after being supported and reduced by the straight stick 43 according to the present invention is preferably 50 To about 100 mu m. To this end, for example, consider a case where the straight stick 43 has one or more protrusions formed on a long and thin metal stick having a base section of 100 탆 in thickness and a width of 5 mm. In this example, when a tensile force of 3 kgf is applied at both ends of the straight stick 43, the deflection amount of the straight stick 43 may be about 600 to 1000 탆 based on positions of both ends thereof fixed to the rectangular frame. In this case, the thickness of the protrusions for reducing the deflection amount of the lattice mask to the level of 50 to 100 mu m may be determined to be 10 to 30 times (1,000 to 3,000 mu m, i.e., 1 to 3 mm)

본 발명에 따라 직선 스틱(43)은 직접적으로는 격자 마스크(45)의 처짐량을 감소시키기 위해 지지해주는 역할을 하며, 결과적으로는 격자 마스크(45) 위에 배치될 패턴 요소(P)의 처짐량을 감소시키는 역할을 담당한다. 그러므로 직선 스틱(43)은 FMM 스틱(FS)의 길이 방향(도면에 표시된 x방향)과는 직교하는 방향(도면에 표시된 y방향)을 따라 배치되는 것이 바람직하다. 직선 스틱(43)은 예컨대 인바 합금과 같은 금속 재질로 제조되며, 비록 도 4에는 잘 나타나 있지 않지만 아래에서 도 7 내지 도 8을 참조하여 더 설명되는 것과 같이, 그 두께는 기본적으로 100 ~ 200㎛이고 그 길이 방향에서 소정 위치의 두께가 기본적인 두께보다 대략 10 ~ 30배 정도 더 두껍게 형성된 돌기부를 구비하는 방식으로 전체적으로 두께가 균일하지 않도록 형성된 길고 가늘고 얇은 금속 스틱이다. 직선 스틱(43)의 길이는 접합될 사각 프레임(41)의 장변 즉 Y축방향의 길이보다 더 길게 제조되고, 접합된 다음 가장자리를 잘라내는 방식으로 길이가 조절된다. 직선 스틱(43)이 배치되는 위치는 패턴 요소(P)의 미세 개구 패턴을 방해하지 않는 위치에 대응하여 정해지며, 그 폭은 약 5 ~ 10mm 정도일 수 있다.According to the present invention, the straight stick 43 directly supports to reduce the deflection amount of the grating mask 45, and as a result, the deflection amount of the pattern element P to be disposed on the grating mask 45 is reduced . Therefore, it is preferable that the straight stick 43 is disposed along a direction perpendicular to the longitudinal direction (x direction shown in the figure) of the FMM stick FS (y direction shown in the figure). The straight stick 43 is made of a metal material, such as an invar alloy, and although not shown in FIG. 4, the thickness is basically 100 to 200 mu m And a protruding portion formed at a predetermined position in the longitudinal direction and having a thickness greater than the basic thickness by about 10 to 30 times. The length of the straight stick 43 is made longer than the long side, i.e., the length in the Y-axis direction of the rectangular frame 41 to be joined, and the length is adjusted in such a manner as to cut off the next joined edge. The position where the linear stick 43 is disposed is determined corresponding to the position where the fine aperture pattern of the pattern element P is not disturbed, and the width may be about 5 to 10 mm.

격자 마스크(45)는 예컨대 인바 합금으로 제조된 하나의 사각형 박막 시트에 다수의 개구(예컨대, 각각 하나의 스마트폰 디스플레이의 크기에 대응하는 크기의 사각형 개구)를 에칭하여 형성함으로써, 결과적으로 x방향 살대들과 y방향 살대들이 직교하여 형성된 격자 모양의 다공 시트로 제조될 수 있다. 이 격자 마스크(45)는 xy평면의 직교하는 x방향 및 y방향에서 동시에 각 살대 부분을 인장하여 직선 스틱(43)의 위에서 사각 프레임(41)에 접합된다. 도시된 예에서, 한편으로 격자 마스크(45)의 x방향 살대는 FMM스틱(FS) 사이의 틈을 가려주는 커버 스틱의 역할을 한다. 다른 한편으로 격자 마스크(43)의 y방향 살대는 FMM스틱(FS)을 아래에서 지지해주는 하울링 스틱의 역할을 하게 된다.The lattice mask 45 is formed by etching a plurality of openings (for example, rectangular openings each having a size corresponding to the size of one smartphone display) on one rectangular thin sheet made of, for example, Invar alloy, And the ribs and the y-direction ribs may be formed as a lattice-like porous sheet formed by crossing each other. This lattice mask 45 is joined to the square frame 41 from above the straight stick 43 by stretching the railing portions at the same time in the x and y directions orthogonal to the xy plane. In the illustrated example, on the one hand, the x-direction strike of the grating mask 45 serves as a cover stick shielding the gap between the FMM sticks FS. On the other hand, the y-directional strike of the grating mask 43 serves as a howling stick for supporting the FMM stick FS underneath.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 사각 프레임에 형성되는 2단 접합홈의 구조를 보여주는 개략도이다.5 is a schematic view showing a structure of a two-stage junction groove formed in a rectangular frame of a composite frame element according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 도 4에 도시된 사각 프레임(41)에 대응하는 실시예로서 사각 프레임(50)이 더 상세히 도시된다. 사각 프레임(50)은 기본적인 사각 틀 형상의 베이스틀(51)과 이 베이스틀(51) 내측에 돌출된 부분인 결합부(53)를 포함한다. 결합부(53)에는 결합홈이 형성되는데, 바람직한 실시예에 따라 도시된 예에서 부분 확대하여 xz평면을 따라 자른 단면으로 보여주는 바와 같은 2단 결합홈(55)이 형성될 수 있다.Referring to Fig. 5, a rectangular frame 50 is shown in more detail as an embodiment corresponding to the rectangular frame 41 shown in Fig. The rectangular frame 50 includes a base frame 51 of a basic rectangular frame shape and a coupling portion 53 which is a portion protruding inside the base frame 51. A coupling groove is formed in the coupling portion 53. According to a preferred embodiment, a two-step coupling groove 55 may be formed as shown in a section cut along the xz plane in the illustrated example.

2단 결합홈(55)은 사각 프레임(50)에 결합될 직선 스틱과 격자 마스크의 결합단이 삽입되어 접합되는 부분이며, 결합면은 서로 분리되어 있는 1단결합면(a)과 2단결합면(b,c)으로 구분된다.The two-stage coupling groove 55 is a portion to which the coupling ends of the linear stick and the grid mask to be coupled to the rectangular frame 50 are inserted and joined together. The coupling surfaces are a single-stage coupling surface (a) Surface (b, c).

특히 이러한 2단 계단식 형태에 의하면, 1단결합면(a)에 직선 스틱의 결합단이 접합되고 2단결합면(b,c)에 격자 마스크의 결합단이 예컨대 레이저 스폿 용접 방식으로 접합될 수 있다. 이 경우, 2단 결합홈(55) 구조에 의해 직선 스틱과 격자 마스크는 사각 프레임(50)에 고정됨에도 불구하고, 서로에 대해서는 직접 접합된 상태가 아니게 되는 효과를 제공한다. 이는 격자 마스크가 사각 프레임(50) 상에 접합되어 고정된 상태에서, 아래에서 도 9 내지 도 11을 참조하여 더 설명되는 바와 같이, 직선 스틱을 인장하면서 동시에 격자 마스크의 처짐량을 조절할 수 있도록 하는 장점을 제공한다.Particularly, according to this two-step stepwise form, the joining end of the linear stick is joined to the one-step joining face (a) and the joining end of the grating mask is joined to the two- have. In this case, although the linear stick and the lattice mask are fixed to the rectangular frame 50 by the structure of the two-stage coupling groove 55, the effect is obtained that the linear stick and the lattice mask are not directly bonded to each other. This is advantageous in that, while the lattice mask is bonded and fixed on the square frame 50, it is possible to adjust the amount of deflection of the lattice mask while stretching the straight stick, as described further below with reference to Figs. 9 to 11 below .

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 격자 마스크의 구조를 보여주는 개략도이다.6 is a schematic view showing the structure of a lattice mask of a composite frame element according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 도 4에 도시된 격자 마스크(45)에 대응하는 실시예로서 격자 마스크(60)가 더 상세히 도시된다. 격자 마스크(60)는 위에서 언급한 바와 같이 하나의 사각형 박막 시트에 다수의 사각형 개구를 에칭하여 형성할 수 있다. 그 결과 도시된 바와 같이, x방향 살대(63)들과 y방향 살대(61)들이 직교하는 형상을 이루며, 각 살대(61, 63)의 단부는 사각 프레임에 접합되는 부분으로서 각 가장자리에서부터 일정 길이로 더 연장하여 돌출된 접합단(61a, 63a)을 형성한다. 접합단(61a, 63a)은 각 살대(61, 63)의 양단에 각각 형성된다. 각 살대(61, 63)의 양단에 형성에 접합단(61a, 63a) 쌍들을 이용하여 격자 마스크(60)를 인장하고 사각 프레임에 접합함으로써, 결과적으로 격자 마스크(60)가 팽팽하게 인장된 상태로 사각 프레임에 고정될 수 있다.Referring to Fig. 6, a lattice mask 60 is shown in more detail as an example corresponding to the lattice mask 45 shown in Fig. The lattice mask 60 may be formed by etching a plurality of rectangular openings in one rectangular thin sheet as described above. As a result, the x-direction ribs 63 and the y-direction ribs 61 are orthogonal to each other, and the ends of the ribs 61 and 63 are joined to the rectangular frame, So as to form protruding joining ends 61a and 63a. The joining ends 61a and 63a are formed at both ends of the ribs 61 and 63, respectively. The pairs of joining ends 61a and 63a are formed at both ends of each of the ribs 61 and 63 to stretch the grating mask 60 and join the rectangular frame to the rectangular frame so that the resultant grating mask 60 is stretched To the square frame.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 직선 스틱의 구조를 보여주는 개략도이다.7 is a schematic view showing a structure of a straight stick of a composite frame element according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 실제 축적이 아니고 단지 개념적으로 설명하기 위한 개략도로서, 도 4에 도시된 직선 스틱(43)에 대응하는 실시예의 하나인 직선 스틱(70)이 더 상세히 예시된다. 도 7의 (a)는 측면에서 직선 스틱(70)의 형상을 개략적으로 예시하며, 도 7의 (b)는 평면도로 직선 스틱(70)의 형상을 개략적으로 예시한다.Referring to Fig. 7, a straight stick 70, which is one embodiment corresponding to the straight stick 43 shown in Fig. 4, is schematically illustrated as a schematic diagram for conceptual explanation rather than actual accumulation. 7 (a) schematically illustrates the shape of the straight stick 70 on the side, and Fig. 7 (b) schematically illustrates the shape of the straight stick 70 in plan view.

도시된 직선 스틱(70)은 베이스 금속 스틱(71)에 금속편(73, 75)이 예컨대 레이저 스폿 용접 방식으로 접합된 구조를 가진다. 베이스 금속 스틱(71)은 예컨대 100㎛의 균일한 두께를 가지며, 그 폭이 5mm 정도의 폭을 가지는 가늘고 긴 박막 금속 스틱일 수 있다. 금속편(73, 75)은 예컨대 1,000㎛ 또는 3,000㎛의 두께를 가지는 원판형 금속 조각일 수 있다.The illustrated straight stick 70 has a structure in which the metal pieces 73 and 75 are joined to the base metal stick 71 by, for example, a laser spot welding method. The base metal stick 71 may be, for example, an elongated thin metal metal stick having a uniform thickness of 100 mu m and a width of about 5 mm. The metal pieces 73 and 75 may be, for example, disk-shaped metal pieces each having a thickness of 1,000 mu m or 3,000 mu m.

도시된 예에서 직선 스틱(70)에 접합된 금속편의 높이는 직선 스틱(70)의 가장자리에서 중심으로 갈수록 점진적으로 커진다. 즉, 직선 스틱(70)의 양 단부와 가까운 위치에는 예컨대 1,000㎛ 두께의 금속편(73)이 접합되는 반면, 직선 스틱(70)의 중심부 위치에는 3,000㎛ 두께의 금속편(75)이 접합될 수 있다. 이것은 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이, 격자 마스크(M)(또는 그 위에 배치될 패턴 요소)가 양 단부에 비하여 중심부에서 더 많이 처져 있는 상태이므로, 이를 위치에 따라 서로 다른 두께로 지지함으로써, 전체적으로 마스크 평탄도를 높일 수 있다는 장점을 제공한다. In the illustrated example, the height of the metal piece bonded to the straight stick 70 gradually increases from the edge of the straight stick 70 to the center thereof. That is, a metal piece 73 having a thickness of, for example, 1,000 탆 is bonded to a position near both ends of the straight stick 70, while a metal piece 75 having a thickness of 3,000 탆 may be bonded to the center position of the straight stick 70 . 7 (c), since the grating mask M (or the pattern elements to be disposed thereon) is more likely to fall at the central portion than at both ends, Thereby providing an advantage that the overall mask flatness can be increased.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 직선 스틱의 구조를 보여주는 개략도이다.8 is a schematic view showing the structure of a straight stick of a composite frame element according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 실제 축적이 아니고 단지 개념적으로 설명하기 위한 개략 측면도로서, 도 4에 도시된 직선 스틱(43)에 대응하는 실시예의 다른 하나인 직선 스틱(80)이 더 상세히 예시된다. Referring to Fig. 8, a straight stick 80, which is another embodiment of the embodiment corresponding to the straight stick 43 shown in Fig. 4, is illustrated in more detail as a schematic side view for conceptual illustration rather than actual accumulation.

도시된 직선 스틱(80)은 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱(81)의 소정 위치에서 압인 방식으로 미리 한정된 높이를 가지는 볼록부(83, 85)를 형성한 구조를 가진다. 베이스 금속 스틱(81)은 예컨대 100㎛의 균일한 두께를 가지며, 그 폭이 5mm 정도의 폭을 가지는 가늘고 긴 박막 금속 스틱일 수 있다. 볼록부(83, 85)은 예컨대 1,000㎛ 또는 3,000㎛의 깊이 또는 높이를 가지도록 반원형 형태로 압인되어 형성될 수 있다.The illustrated straight stick 80 has a structure in which convex portions 83 and 85 having a predetermined height are formed in a predetermined manner at a predetermined position of a thin-film base metal stick 81 having a uniform thickness. The base metal stick 81 may be, for example, a thin and long thin metal metal stick having a uniform thickness of 100 mu m and a width of about 5 mm. The convex portions 83 and 85 may be formed in a semicircular shape so as to have a depth or height of, for example, 1,000 mu m or 3,000 mu m.

이 예에서도, 도 7에 예시된 것과 유사하게, 직선 스틱(80)에 압인된 볼록부의 높이는 직선 스틱(80)의 가장자리에서 중심으로 갈수록 점진적으로 커진다. 즉, 직선 스틱(80)의 양 단부와 가까운 위치에는 예컨대 1,000㎛ 높이의 볼록부(83)가 형성되는 반면, 직선 스틱(80)의 중심부 위치에는 예컨대 3,000㎛ 높이의 볼록부(85)가 형성된다. 이것은 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이, 격자 마스크(M)(또는 그 위에 배치될 패턴 요소)가 양 단부에 비하여 중심부에서 더 많이 처져 있는 상태이므로, 이를 위치에 따라 서로 다른 높이의 볼록부에 의해 지지함으로써, 전체적으로 마스크 평탄도를 높일 수 있다는 장점을 제공한다. 7, the height of the protrusion depressed by the straight stick 80 becomes gradually larger toward the center from the edge of the straight stick 80. As shown in Fig. That is, convex portions 83 having a height of, for example, 1,000 占 퐉 are formed at positions near both ends of the straight sticks 80, while convex portions 85 having a height of, for example, 3,000 占 퐉 are formed at the center positions of the straight sticks 80 do. This is because the grating mask M (or the pattern elements to be disposed thereon) is more likely to fall at the center portion than at both ends, as shown in Fig. 7 (c) And thus it is possible to increase the mask flatness as a whole.

도 9 내지 도11은 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 사각 프레임에 형성되는 2단 접합홈에 직선 스틱의 결합단과 격자 마스크의 결합단이 삽입되어 접합되는 과정을 설명하기 위한 개략 단면도들이다.9 to 11 are schematic sectional views for explaining the process of joining the joining end of the straight stick and the joining end of the grating mask to the two-stage joining groove formed in the square frame of the composite frame element according to the embodiment of the present invention .

도 9 내지 도 10을 참조하면, 위에서 도 5를 참조하여 설명한 2단 결합홈(50)에 대응하는 실시예로서 도시된 2단 결합홈(91)에, 직선 스틱의 결합단(93)과 격자 마스크의 결합단(95)이 접합되어 고정되는 과정이 더 상세히 도시된다. 2단 결합홈(91)의 내부면은 2단의 계단 형태를 이루며, 서로 분리되어 있는 1단결합면(a)과 2단결합면(b,c)으로 구분된 결합면을 구비한다.9 to 10, in the two-stage coupling groove 91 shown as an embodiment corresponding to the two-stage coupling groove 50 described above with reference to FIG. 5, the coupling end 93 of the linear stick and the lattice The process in which the coupling end 95 of the mask is bonded and fixed is shown in more detail. The inner surface of the two-stage coupling groove 91 has a stepped shape of two steps and has a coupling surface divided into a first-stage coupling surface a and a second-stage coupling surface b, c separated from each other.

특히 이러한 2단 계단식 형태에 의하면, 2단 결합홈(91)의 하부에 있는 1단결합면(a)에 직선 스틱의 결합단(93)이 접합되고, 2단 결합홈(91)의 측면 중간에 있는 2개의 2단결합면(b,c)에 격자 마스크의 결합단(95)이 접합된다. 도 11에 예시된 샘플 사진에서 볼 수 있는 바와 같이, 직선 스틱의 결합단(93)이 접합되는 위치와 격자 마스크의 결합단(95)이 접합되는 위치(도 11에서 작은 도트들로 표시된 부분)는 그 길이방향(즉, y축방향)에서 서로 이격될 수 있다.In particular, according to such a two-step stepped shape, the joining end 93 of the straight stick is joined to the one-end joining face (a) at the bottom of the two-step joining groove 91, And the coupling ends 95 of the grating mask are bonded to the two two-stage coupling surfaces b and c in the grating mask. 11, the position where the joining end 93 of the straight stick is joined and the position where the joining end 95 of the lattice mask is joined (indicated by small dots in Fig. 11) May be spaced from each other in the longitudinal direction (i.e., the y-axis direction).

이러한 2단 결합홈(91)을 이용하여 접합함으로써, 직선 스틱과 격자 마스크는 실질적으로 기저에 있는 사각 프레임에 접합하여 고정되면서도 동시에 서로 상대적으로는 접합된 상태가 아니게 되는 효과를 제공한다. 이는 격자 마스크가 사각 프레임 상에 접합되어 고정된 상태에서 직선 스틱을 인장하면서 동시에 격자 마스크의 처짐량을 조절할 수 있도록 하는 장점을 제공한다.By joining by using the two-stage coupling grooves 91, the linear stick and the lattice mask are substantially bonded to and fixed to the square frame at the base, and at the same time, they are not bonded to each other relatively. This provides the advantage that the grating mask can be adjusted while simultaneously tensioning the straight stick while being fixed on the square frame and fixed.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 프레임 요소의 직선 스틱이 복수개 배열되어 격자 마스크의 처짐량을 입체적으로 감소시키는 것을 설명하기 위한 개략도이다.12 is a schematic view for explaining that a plurality of straight sticks of a composite frame element according to an embodiment of the present invention are arranged to reduce the amount of deflection of a lattice mask in three dimensions.

도 12를 참조하면, 사각 프레임(121) 상에 복수의 직선 스틱(123)(도면에서 베이스 스틱 부분보다 더 두꺼운 위치는 흰색 및 노란색 원으로 표시되어 있다)과 격자 마스크(125)가 결합된 상태가 개략적으로 예시된다.12, a plurality of straight sticks 123 (indicated by white and yellow circles at positions thicker than the base stick portion in the drawing) and a grating mask 125 are combined on a rectangular frame 121 Are schematically illustrated.

도시된 예에서, 4개의 직선 스틱(123)이 평행하게 배열된 복수의 직선 스틱 배열로서 제공된다. 이 직선 스틱 배열에서, 각 직선 스틱(123)은 격자 마스크의 가장자리에서 그 중심부분으로 갈수록 소정 위치에서 더 큰 두께를 가진다. 이에 따라, 격자 마스크(125)의 처짐 형태가 입체적인 것에 대응하여, 본 발명에 따른 직선 스틱 배열은 이를 입체적으로 지지할 수 있다. 그 결과 전체적인 마스크 평탄도를 개선하는 효과를 제공할 수 있다.In the illustrated example, four straight sticks 123 are provided as a plurality of straight stick arrangements arranged in parallel. In this linear stick arrangement, each straight stick 123 has a greater thickness at a predetermined position from the edge of the lattice mask to the central portion thereof. Accordingly, corresponding to the three-dimensional deflection pattern of the grating mask 125, the linear stick arrangement according to the present invention can support it three-dimensionally. As a result, the effect of improving the overall mask flatness can be provided.

도 13은 각각 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조 방법의 단계를 설명하기 위한 흐름도이다.13 is a flowchart illustrating steps of a composite frame element and a method of manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention.

도 13을 참조하면, 본 발명에 따라 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 제조 방법이 예시된다. 먼저, 복합 프레임 요소를 구성할 단위 부품인 사각 프레임, 격자 마스크 및 직선 스틱을 준비하는 단계들(1301, 1303, 1305)가 각각 별도로 진행되거나 순차적으로 진행될 수 있다. 이후 준비된 사각 프레임에 직선 스틱과 격자 마스크를 순차적으로 접합함으로써 복합 프레임 요소를 제조할 수 있다.Referring to Figure 13, a method of manufacturing a composite frame element for a mask assembly for a deposition process is illustrated in accordance with the present invention. First, steps 1301, 1303, and 1305 for preparing a rectangular frame, a lattice mask, and a straight stick, which are unit components for composing a composite frame element, may be separately performed or sequentially performed. Then, the composite frame element can be manufactured by successively joining the linear stick and the lattice mask to the prepared rectangular frame.

구체적으로, 먼저 접합홈을 형성한 사각 프레임을 준비 단계(1301)는 기존 기술에 의해 위에서 도 5를 참조하여 설명한 바와 같은 사각 프레임을 준비하는 단계일 수 있다. 마스크 프레임에 형성되는 접합홈은 단순한 형태의 홈일 수 있고, 위에서 도면을 참조하여 설명한 바와 같은 상광하협(wide-upper and narrow-lower) 형태의 계단형 2단 결합홈 형태일 수 있다. Specifically, the step 1301 of preparing the rectangular frame having the joint groove formed thereon may be a step of preparing a rectangular frame as described above with reference to FIG. 5 by the existing technique. The joint groove formed in the mask frame may be a simple type of groove and may be in the form of a stepped double-stepped groove of a wide-upper and narrow-lower type as described with reference to the above drawings.

격자 마스크를 준비하는 단계(1303)는, 하나의 박막 금속 시트에 소정 형상과 크기의 개구를 에칭함으로써, 위에서 도 6을 참조하여 이미 설명한 바와 같은 격자 형상의 마스크를 준비하는 단계이다.Step 1303 of preparing a lattice mask is a step of preparing a lattice-shaped mask as described above with reference to Fig. 6 by etching an opening of a predetermined shape and size on one thin metal sheet.

직선 스틱 준비 단계(1305)는, 박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱을 준비하는 단계이다. 여기서 직선 스틱은, 위에서 도 7 또는 도 8을 참조하여 설명한 바와 같이, 가늘고 긴 박막 베이스 금속 스틱에 소정 두께의 금속편을 접합하거나 돌출부를 압인 형성함으로써 제조될 수 있다.The straight stick preparing step 1305 is a step of preparing a straight stick which is made of a thin metal material and whose thickness is not uniform according to the longitudinal position. Here, the straight stick can be manufactured by joining a metal piece of a predetermined thickness to a thin and long thin-film base metal stick or by pressing the protrusion as described above with reference to Fig. 7 or Fig.

직선 스틱 접합 단계(1307)는, 준비된 직선 스틱을 인장하여 그 양단을 사각 프레임의 대향하는 접합홈 하부에 접합하는 단계이다.The linear stick joining step 1307 is a step of stretching the prepared straight stick and joining both ends of the straight stick to the lower portion of the joining recesses of the rectangular frame.

마지막으로, 격자 마스크 접합 단계(1309)는, 접합된 직선 스틱의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 직선 스틱 처짐량을 고려하여 격자 마스크를 인장하고 상기 사각 프레임의 접합홈 상부에 접합하는 단계이다.Finally, the grid mask bonding step 1309 is a step of measuring the amount of deflection of the bonded straight stick by position, stretching the grating mask in consideration of the measured amount of straight stick deflection, and joining it to the upper part of the joint groove of the rectangular frame.

도 14는 각각 본 발명의 실시예에 따른 복합 프레임 요소 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조 방법의 단계를 설명하기 위한 흐름도이다.FIG. 14 is a flowchart illustrating steps of a composite frame element and a method of manufacturing a mask assembly using the same according to an embodiment of the present invention.

도 14를 참조하면, 본 발명에 따라 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 제조 방법이 예시된다. 먼저, 복합 프레임 요소를 구성할 단위 부품인 사각 프레임, 격자 마스크 및 직선 스틱을 준비하는 단계들(1401, 1403, 1405)가 각각 별도로 진행되거나 순차적으로 진행될 수 있다. 이후 준비된 사각 프레임에 직선 스틱의 일단을 접합하여 고정하고, 격자 마스크 인장하고 접합한 후, 그 다음에 직선 스틱을 인장하여 격자 마스크의 처짐량을 조절한 후 그 타단을 접합하여 고정함으로써, 인라인 처짐량 조절 방식으로 복합 프레임 요소를 제조할 수 있다. 이는 각 복합 프레임 요소 제품들 사이의 오차를 감소시켜 균일한 품질의 복합 프레임 요소 제품군을 제공할 수 있게 하는 장점이 있다.Referring to FIG. 14, a method of manufacturing a composite frame element for a mask assembly for a deposition process is illustrated in accordance with the present invention. First, steps 1401, 1403, and 1405 for preparing a rectangular frame, a lattice mask, and a straight stick, which are unit components for composing a composite frame element, may be separately performed or sequentially performed. Thereafter, one end of the straight stick is fixed to the prepared square frame, and the grating mask is pulled and joined. Thereafter, the linear stick is tensioned to adjust the amount of deflection of the grating mask and then the other ends are joined and fixed. The composite frame element can be manufactured. This has the advantage of reducing the error between each composite frame element product to provide a family of composite frame elements of uniform quality.

구체적으로, 먼저 2단 접합홈을 형성한 사각 프레임을 준비 단계(1401)는 기존 기술에 의해 위에서 도 5를 참조하여 설명한 바와 같은 사각 프레임을 준비하는 단계일 수 있다. 마스크 프레임에 형성되는 위에서 도면을 참조하여 설명한 바와 같은 상광하협(wide-upper and narrow-lower) 형태의 계단형 2단 결합홈이다.More specifically, the step 1401 of preparing a rectangular frame in which the two-step joint groove is formed may be a step of preparing a rectangular frame as described above with reference to FIG. 5 by the existing technique. And is a stepped two-stage coupling groove of a wide-upper and narrow-lower type as described above with reference to the drawings formed in the mask frame.

격자 마스크를 준비하는 단계(1503)는, 하나의 박막 금속 시트에 소정 형상과 크기의 개구를 에칭함으로써, 위에서 도 6을 참조하여 이미 설명한 바와 같은 격자 형상의 마스크를 준비하는 단계이다.Step 1503 of preparing a lattice mask is a step of preparing a lattice-shaped mask as already described with reference to Fig. 6 by etching an opening of a predetermined shape and size in one thin metal sheet.

직선 스틱 준비하는 단계(1405)는, 박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱을 준비하는 단계이다. 여기서 직선 스틱은, 위에서 도 7 또는 도 8을 참조하여 설명한 바와 같이, 가늘고 긴 박막 베이스 금속 스틱에 금속편을 접합하거나 돌출부를 압인 형성함으로써 제조될 수 있다.Step 1405 of preparing a straight stick is a step of preparing a straight stick which is made of a thin metal and is not uniform in thickness along the longitudinal direction. Here, the straight stick can be manufactured by joining a metal piece to an elongated thin-film base metal stick or by stamping a protrusion as described above with reference to Fig. 7 or Fig.

직선 스틱 제1접합 단계(1407)는, 준비된 직선 스틱의 일단을 사각 프레임에 형성되고 그 양측부가 각각 계단식으로 된 하부면과 상부면을 가지는 2단 접합홈의 하부면, 즉 제1접합면에 접합하는 단계이다.The straight stick first joining step 1407 is a step of joining one end of the prepared straight stick to the lower face of the two-stage joining groove formed on the rectangular frame and having both the lower side and the upper side, .

격자 마스크 접합단계(1409)는 격자 마스크를 인장하여 그 격자 단부들을 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈의 상부면, 즉 제2접합면에 접합하는 단계이다.The step of joining the lattice mask 1409 is a step of stretching the lattice mask and joining the lattice ends thereof to the upper surface, i.e., the second joining surface, of the two-stage joining groove of the rectangular frame.

그리고, 직선스틱 제2접합단계(1411)는, 접합된 격자 마스크의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 격자 마스크 처짐량을 고려하여 상기 격자 마스크의 목표 처짐량을 달성하도록 상기 직선 스틱의 인장량을 조절하고 상기 사각 프레임의 대향하는 다른 2단 접합홈 하부면(즉, 제1접합면)에 그 타단을 접합하는 단계이다.The straight stick second joining step 1411 adjusts the tension amount of the linear stick to measure the deflection amount of the bonded grid mask by position and to achieve the target deflection amount of the grid mask in consideration of the measured deflection amount of the grid mask And joining the other end to the lower surface of the other two-step joint groove (i.e., the first joint surface) of the rectangular frame.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있고, 변형 또는 수정된 실시예도 후술하는 특허청구범위에 개시된 본 발명의 기술적 사상을 포함한다면 본 발명의 권리범위에 속함은 물론이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course, fall within the scope of the present invention.

P: 패턴요소, FS: FMM스틱, 40: 복합 프레임 요소, 41: 사각 프레임, 43: 직선 스틱, 45: 격자 마스크, 70, 80: 직선 스틱, 71, 81: 베이스 스틱, 73, 75: 금속편, 83, 85: 볼록부P: pattern element, FS: FMM stick, 40: composite frame element, 41: square frame, 43: straight stick, 45: lattice mask, 70, 80: straight stick, 71, 81: base stick, , 83, 85: convex portion

Claims (12)

증착용 개구 패턴이 형성된 패턴 요소를 기계적으로 지지하기 위한 복합 프레임 요소를 포함하는 마스크 조립체에 있어서, 상기 복합 프레임 요소는
사각 프레임,
상기 사각 프레임에 접합되며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 하나 이상의 직선 스틱. 및
상기 하나 이상의 직선 스틱 위에 배치되며 상기 사각 프레임에 접합되는 격자 마스크를
포함하는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소.
Claims 1. A mask assembly comprising a composite frame element for mechanically supporting a pattern element formed with a vapor deposition opening pattern, the composite frame element comprising:
Square frame,
And one or more straight sticks joined to the square frame and not uniform in thickness along the longitudinal direction. And
A grating mask disposed on the at least one straight stick and bonded to the square frame,
Wherein the composite frame element comprises a composite frame element for a mask assembly for a deposition process.
제 1항에 있어서,
상기 직선 스틱은, 그 길이 방향으로 동일한 두께의 베이스 구간과 상기 베이스 구간의 두께보다 10 ~ 30배의 두께를 가진 돌기부 구간이 반복되는 형태인 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소.
The method according to claim 1,
Wherein the straight stick has a base section having the same thickness in the longitudinal direction and a protruding section having a thickness of 10 to 30 times the thickness of the base section is repeated. .
제 1항에 있어서,
상기 직선 스틱은, 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 표면에서 소정 위치에 미리 한정된 두께의 금속편을 접합한 형태인 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소.
The method according to claim 1,
Wherein the straight stick is formed by bonding a metal piece having a predetermined thickness to a predetermined position on the surface of a thin film base metal stick having a uniform thickness.
제 1항에 있어서,
상기 직선 스틱은, 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 소정 위치에서 압인 방식으로 미리 한정된 높이를 가지는 볼록부를 형성한 형태인 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소.
The method according to claim 1,
Wherein the linear stick is a form in which convex portions having a predetermined height are formed in a predetermined manner at a predetermined position of a thin-film base metal stick having a uniform thickness.
제 1항에 있어서,
상기 직선 스틱은 평행하게 배열된 복수의 직선 스틱 배열로 제공되고, 상기 직선 스틱 배열은 상기 격자 마스크의 가장자리에서 그 중심부분으로 갈수록 소정 위치에서 더 큰 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소.
The method according to claim 1,
Wherein the linear stick is provided in a plurality of linear linear array arrangements arranged in parallel and the linear linear array has a greater thickness at a predetermined position from an edge of the lattice mask to a central portion thereof, A composite frame element for.
증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 제조 방법으로서,
박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱 준비하는 단계;
준비된 직선 스틱을 인장하여 그 양단을 사각 프레임의 대향하는 접합홈 하부에 접합하는 직선 스틱 접합 단계; 및
접합된 직선 스틱의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 직선 스틱 처짐량을 고려하여 격자 마스크를 인장하고 상기 사각 프레임의 접합홈 상부에 접합하는 격자 마스크 접합 단계를
포함하는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.
A composite frame element manufacturing method for a mask assembly for a deposition process,
Preparing a straight stick having a uniform thickness in accordance with a longitudinal position;
A straight stick joining step of pulling the prepared straight stick and joining both ends of the prepared straight stick to the lower portion of the joining recesses of the rectangular frame; And
A grid mask bonding step of measuring a deflection amount of the bonded straight stick by position and stretching the grating mask in consideration of the measured straight stick deflection amount and joining to the upper part of the joining groove of the rectangular frame
≪ / RTI > wherein the composite frame element comprises at least one layer of a composite material.
증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소 제조 방법으로서,
박막 금속 재질이며 길이 방향 위치에 따른 두께가 균일하지 아니한 직선 스틱 준비하는 단계;
준비된 직선 스틱의 일단을 사각 프레임에 형성되고 그 양측부가 각각 계단식으로 된 하부면과 상부면을 가지는 2단 접합홈의 하부면에 접합하는 직선 스틱 제1접합단계;
격자 마스크를 인장하여 그 격자 단부들을 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈의 상부면에 접합하는 격자 마스크 접합단계;
접합된 격자 마스크의 위치별 처짐량을 측정하고, 측정된 격자 마스크 처짐량을 고려하여 상기 격자 마스크의 목표 처짐량을 달성하도록 상기 직선 스틱의 인장량을 조절하고 상기 사각 프레임의 상기 2단 접합홈 하부면에 그 타단을 접합하는 직선스틱 제2접합단계를
포함하는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.
A composite frame element manufacturing method for a mask assembly for a deposition process,
Preparing a straight stick having a uniform thickness in accordance with a longitudinal position;
A straight stick first joining step of joining one end of the prepared straight stick to a lower face of a two-stage joining groove formed on a rectangular frame and having both a lower face and a top face on both sides thereof;
A lattice mask bonding step of pulling the lattice mask and joining the lattice ends thereof to the upper surface of the two-stage junction groove of the rectangular frame;
The amount of deflection of the bonded grid mask is measured and the tension amount of the straight stick is adjusted to achieve the target deflection amount of the grid mask in consideration of the measured deflection amount of the grid mask, And a second sticking step of sticking the other end of the stick
≪ / RTI > wherein the composite frame element comprises at least one layer of a composite material.
제 6항 또는 제 7항에 있어서,
상기 직선 스틱 준비 단계는, 그 길이 방향으로 상기 격자 마스크의 두께와 동일한 두께의 베이스 구간과 상기 격자 마스크의 두께보다 10 ~ 30배의 두께를 가진 돌기부 구간이 반복되는 형태의 직선 스틱을 준비하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.
8. The method according to claim 6 or 7,
Preparing a straight stick having a base section having a thickness equal to the thickness of the lattice mask in the longitudinal direction thereof and a protruding section having a thickness of 10 to 30 times greater than the thickness of the lattice mask, ≪ / RTI > wherein the method comprises the steps of: forming a composite frame element on a substrate;
제 6항 또는 제 7항에 있어서,
상기 직선 스틱 준비 단계는, 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 표면에서 소정 위치에 미리 한정된 두께의 금속편을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.
8. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the step of preparing the straight stick includes the step of bonding a metal piece having a predetermined thickness to a predetermined position on the surface of the thin film base metal stick having a uniform thickness. .
제 6항 또는 제 7항에 있어서,
상기 직선 스틱 준비 단계는, 균일한 두께의 박막 베이스 금속 스틱의 소정 위치에서 압인 방식으로 미리 한정된 높이를 가지는 볼록부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.
8. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the step of preparing the straight stick comprises forming convex portions having a predetermined height in a staggered manner at a predetermined position of the thin film base metal stick of a uniform thickness Gt;
제 6항에 있어서,
상기 직선 스틱 접합 단계는, 복수의 상기 직선 스틱을 평행하게 배열하여 접합하되, 상기 복수의 직선 스틱 배열에서 각각의 직선 스틱은 상기 격자 마스크의 가장자리에서 그 중심부분으로 갈수록 점진적으로 더 큰 두께를 가지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.
The method according to claim 6,
Wherein the straight stick joining step comprises joining a plurality of straight sticks arranged in parallel to each other, wherein each linear stick in the plurality of straight stick arrangements has a gradually larger thickness from the edge of the lattice mask to the center thereof Wherein the first and second surfaces of the composite frame element are bonded to each other.
제 7항에 있어서,
상기 직선 스틱 제1접합 및 제2접합 단계는, 복수의 상기 직선 스틱을 평행하게 배열하여 접합하되, 상기 복수의 직선 스틱 배열에서 각각의 직선 스틱은 상기 격자 마스크의 가장자리에서 그 중심부분으로 갈수록 점진적으로 더 큰 두께를 가지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 마스크 조립체를 위한 복합 프레임 요소의 제조 방법.8. The method of claim 7,
The linear stick first joining step and the second joining step are performed by arranging a plurality of the linear sticks in parallel and joining them, wherein each linear stick in the plurality of linear stick arrangements is progressively moved from the edge of the lattice mask toward the center thereof Wherein the mask is configured to have a greater thickness than the first mask. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
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