KR20180038093A

KR20180038093A - Mask assembly and polishing method of mask frame

Info

Publication number: KR20180038093A
Application number: KR1020160128166A
Authority: KR
Inventors: 박종성; 안홍균
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2016-10-05
Filing date: 2016-10-05
Publication date: 2018-04-16
Also published as: KR102660074B1

Abstract

A mask assembly is provided. The mask assembly includes a mask frame, a first stick which is arranged on the mask frame and is extended in a first direction while having one side and the other side, a second stick which is arranged on the one side of the first stick and is extended in a second direction across the first direction, and a deposition mask arranged on the second stick. The one side of the first stick has a first groove. At least a part of the second stick is inserted and arranged in the first groove. Accordingly, the present invention can improve the precision of a deposition process.

Description

MASK ASSEMBLY AND POLISHING METHOD OF MASK FRAME [0002]

본 발명은 마스크 프레임을 포함하는 마스크 조립체 및 상기 마스크 프레임의 연마 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mask assembly including a mask frame and a method of polishing the mask frame.

유기 발광 표시 장치는 자발광 소자인 유기 발광 소자가 방출하는 광을 이용하여 영상 표시를 구현한다. 대향하는 전극층 사이에 개재된 발광층 등을 포함하는 유기 발광소자는 정공과 전자가 재조합되어 생성된 엑시톤이 여기 상태에서 기저 상태로 변화하며 광을 방출할 수 있다.The organic light emitting display device implements image display by using light emitted from the organic light emitting device, which is a self light emitting device. In the organic light emitting device including the light emitting layer interposed between the opposing electrode layers, the excitons generated by recombination of holes and electrons change from the excited state to the ground state and emit light.

상기 전극층 및/또는 발광층 등을 제조하는 방법으로 증착 마스크를 이용한 증착 공정을 예시할 수 있다. 예를 들어, 형성하고자 하는 층의 패턴과 실질적으로 동일한 형상의 패턴 개구를 갖는 증착 마스크를 기판 상에 정렬하고, 증착용 물질을 증착 마스크의 개구부를 통해 기판 상에 증착하여 원하는 형상의 패턴층을 형성할 수 있다. 증착 마스크는 마스크 프레임에 의해 지지되어 기판 상에 밀착될 수 있다.The electrode layer and / or the light emitting layer may be manufactured by a deposition process using a deposition mask. For example, a deposition mask having pattern openings having substantially the same shape as the pattern of the layer to be formed is arranged on the substrate, and evaporation material is deposited on the substrate through the openings of the deposition mask to form a pattern layer of a desired shape . The deposition mask may be supported by the mask frame and brought into close contact with the substrate.

한편, 유기 발광 표시 장치가 점점 고해상도화 됨에 따라 유기 발광 소자의 전극들 및 발광층들의 크기가 작아지고, 이에 따라 더욱 정밀한 증착 방법이 요구되는 실정이다.On the other hand, as the organic light emitting display device is getting higher in resolution, the sizes of the electrodes and the light emitting layers of the organic light emitting device become smaller, and accordingly, a more accurate deposition method is required.

최근 기판이 대형화 및 슬림화 됨에 따라 기판의 자중 및 증착 마스크의 자중에 의한 처짐이 발생하고, 이에 따라 기판과 증착 마스크 사이가 들뜨게 되어 증착 공정의 정밀도가 저하되는 문제가 발생할 수 있다.In recent years, as the substrate has become larger and slimmer, the self-weight of the substrate and the self-weight of the deposition mask are caused to be deflected, so that the gap between the substrate and the deposition mask is increased, and the accuracy of the deposition process is lowered.

이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 증착 공정의 정밀도를 높일 수 있는 증착 마스크 조립체를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a deposition mask assembly capable of increasing the precision of a deposition process.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 상기 마스크 조립체의 마스크 프레임의 연마 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of polishing a mask frame of the mask assembly.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing the same.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는, 마스크 프레임, 일면 및 타면을 갖는 제1 스틱으로서, 상기 마스크 프레임 상에 배치되고 제1 방향으로 연장된 제1 스틱, 상기 제1 스틱의 상기 일면 상에 배치되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제2 스틱, 및 상기 제2 스틱 상에 배치된 증착 마스크를 포함하되, 상기 제1 스틱의 상기 일면은 제1 그루브를 가지고, 상기 제2 스틱의 적어도 일부는 상기 제1 그루브 내에 삽입 배치된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a mask assembly including a mask frame, a first stick having a first surface and a second surface, the first stick being disposed on the mask frame and extending in a first direction, A second stick disposed on said one face of said first stick and extending in a second direction intersecting said first direction and a deposition mask disposed on said second stick, And at least a portion of the second stick is inserted and disposed in the first groove.

상기 제1 스틱의 최대 두께는 상기 제2 스틱의 최대 두께보다 크거나 같을 수 있다.The maximum thickness of the first stick may be greater than or equal to the maximum thickness of the second stick.

또, 상기 제2 스틱의 상기 제1 스틱과 대향하는 타면은 제2 그루브를 가지고, 상기 제1 스틱의 적어도 일부는 상기 제2 그루브 내에 삽입 배치될 수 있다.The other surface of the second stick opposite to the first stick may have a second groove, and at least a part of the first stick may be inserted and disposed in the second groove.

또한, 상기 제1 스틱의 상기 타면과 상기 제2 스틱의 상기 타면은 동일한 레벨에 위치할 수 있다.In addition, the other surface of the first stick and the other surface of the second stick may be located at the same level.

몇몇 실시예에서, 상기 제1 스틱은, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 그루브를 포함하는 제1 부분, 및 상기 제1 부분의 단부로부터 상기 제1 방향으로 더욱 돌출된 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 부분의 최대 두께는 상기 제2 부분의 두께보다 클 수 있다.In some embodiments, the first stick includes a first portion extending in the first direction, the first portion including the first groove, and a second portion further projecting from the end of the first portion in the first direction, And the maximum thickness of the first portion may be greater than the thickness of the second portion.

또, 상기 제1 스틱의 타면은 제1 단차부를 가지고, 상기 제1 단차부는 상기 제1 스틱의 단부에 위치하며, 상기 마스크 프레임은, 상기 제1 단차부가 삽입되는 제1 삽입홈, 및 상기 제2 스틱의 단부가 삽입되는 제2 삽입홈을 포함하고, 상기 제1 부분의 최대 두께는 상기 제1 삽입홈의 깊이보다 클 수 있다.The other end of the first stick has a first stepped portion, the first stepped portion is located at an end of the first stick, the mask frame has a first insertion groove into which the first stepped portion is inserted, 2 stick, and the maximum thickness of the first portion may be greater than the depth of the first insertion groove.

또한, 상기 제1 스틱의 제1 부분의 측벽은 상기 마스크 프레임의 내측벽과 맞닿아 접할 수 있다.Further, the side wall of the first portion of the first stick can abut against the inner wall of the mask frame.

또는, 상기 제1 스틱의 상기 제2 부분의 두께는 상기 제2 스틱의 최대 두께와 동일할 수 있다.Alternatively, the thickness of the second portion of the first stick may be equal to the maximum thickness of the second stick.

또는, 상기 제2 스틱의 상기 제1 스틱과 대향하는 타면은, 상기 제1 스틱의 적어도 일부가 삽입 배치되는 제2 그루브, 및 상기 제2 스틱의 단부에 위치하고, 상기 제2 삽입홈 내에 삽입 배치되는 제2 단차부를 가질 수 있다.Alternatively, the other surface of the second stick opposite to the first stick may include a second groove in which at least a part of the first stick is inserted, and a second groove, which is located at an end of the second stick, As shown in FIG.

아울러, 상기 제1 스틱의 최대 두께와 상기 제2 스틱의 최대 두께는 동일할 수 있다.In addition, the maximum thickness of the first stick and the maximum thickness of the second stick may be the same.

몇몇 실시예에서, 상기 제2 스틱의 타면은 상기 제1 스틱과 맞닿아 접하고, 상기 제1 스틱의 상기 일면과 상기 제2 스틱의 일면은 동일한 레벨에 위치할 수 있다.In some embodiments, the other surface of the second stick abuts against the first stick, and one surface of the first stick and one surface of the second stick may be located at the same level.

또, 상기 제1 스틱의 상기 일면과 상기 마스크 프레임의 일면은 동일한 레벨에 위치할 수 있다.In addition, the one surface of the first stick and one surface of the mask frame may be located at the same level.

몇몇 실시예에서, 상기 마스크 프레임은, 상기 제1 스틱의 단부가 삽입되는 제1 삽입홈, 및 상기 제2 스틱의 단부가 삽입되는 제2 삽입홈을 포함할 수 있다.In some embodiments, the mask frame may include a first insertion groove into which an end of the first stick is inserted, and a second insertion groove into which an end of the second stick is inserted.

또, 상기 제1 스틱의 상기 타면은 상기 마스크 프레임과 맞닿아 접하며, 상기 제2 스틱의 상기 제1 스틱과 대향하는 타면은 상기 마스크 프레임과 맞닿아 접할 수 있다.The other surface of the first stick is in contact with the mask frame, and the other surface of the second stick, which faces the first stick, is in contact with the mask frame.

또는, 상기 제2 스틱의 상기 제1 스틱과 대향하는 타면은, 상기 제1 스틱의 상기 타면보다 높은 레벨에 위치할 수 있다.Alternatively, the other surface of the second stick facing the first stick may be located at a higher level than the other surface of the first stick.

아울러, 상기 제1 삽입홈의 깊이는 상기 제1 스틱의 최대 두께와 동일하고, 상기 제2 삽입홈의 깊이는 상기 제2 스틱의 최대 두께보다 클 수 있다.In addition, the depth of the first insertion groove may be equal to the maximum thickness of the first stick, and the depth of the second insertion groove may be greater than the maximum thickness of the second stick.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체는, 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임 상에 배치되고 제1 방향으로 연장되며, 제1 최대 두께를 갖는 제1 스틱, 일면 및 타면을 갖는 제2 스틱으로서, 상기 제1 스틱 상에 배치되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되며, 상기 제1 최대 두께보다 큰 제2 최대 두께를 갖는 제2 스틱, 및 상기 제2 스틱의 일면 상에 배치된 증착 마스크를 포함하되, 상기 제2 스틱의 상기 타면은 그루브를 가지고, 상기 제1 스틱의 적어도 일부는 상기 그루브 내에 삽입 배치된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a mask assembly including a mask frame, a first stick disposed on the mask frame and extending in a first direction, a first stick having a first maximum thickness, A second stick disposed on the first stick and extending in a second direction intersecting with the first direction and having a second maximum thickness greater than the first maximum thickness, Wherein the second surface of the second stick has a groove, and at least a part of the first stick is inserted and disposed in the groove.

상기 마스크 프레임은, 상기 제1 스틱의 단부가 삽입되는 제1 삽입홈, 및 상기 제2 스틱의 단부가 삽입되는 제2 삽입홈을 포함하고, 상기 제1 삽입홈의 깊이와 상기 제2 삽입홈의 깊이는 동일할 수 있다.Wherein the mask frame includes a first insertion groove into which an end of the first stick is inserted and a second insertion groove into which an end of the second stick is inserted, Can be the same.

또, 상기 제1 삽입홈의 깊이는 상기 제1 최대 두께보다 크고, 상기 제2 삽입홈의 깊이는 상기 제2 최대 두께와 동일하며, 상기 제1 스틱은 상기 마스크 프레임과 맞닿아 접할 수 있다.The depth of the first insertion groove may be greater than the first maximum thickness, the depth of the second insertion groove may be equal to the second maximum thickness, and the first stick may abut against the mask frame.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임의 연마 방법은, 일면 및 타면을 갖는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임의 상기 일면 상에 배치되고 제1 방향으로 연장되며 제1 최대 두께를 갖는 제1 스틱, 상기 마스크 프레임의 상기 일면 상에 배치되고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제2 스틱, 및 상기 제1 스틱과 상기 제2 스틱 상에 배치된 증착 마스크를 포함하는 마스크 조립체로서, 상기 마스크 프레임의 상기 일면은 삽입홈을 가지고, 상기 제1 스틱의 상기 제2 스틱과 대향하는 표면은 그루브를 가지며, 상기 제2 스틱의 적어도 일부는 상기 그루브 내에 삽입 배치된 마스크 조립체를 준비하는 단계, 상기 증착 마스크, 상기 제1 스틱 및 상기 제2 스틱을 제거하는 단계, 및 상기 제1 최대 두께(T) 이상 내지 (T + 50 ㎛) 이하의 두께로 상기 마스크 프레임의 상기 일면을 연마하여, 상기 마스크 프레임의 일면을 평탄화하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of polishing a mask frame, the method including: providing a mask frame having a first side and a second side, the first side of the mask frame extending in a first direction, A second stick disposed on the one face of the mask frame and extending in a second direction intersecting with the first direction, and a deposition mask disposed on the first stick and the second stick Wherein a surface of the first stick opposite to the second stick has a groove and at least a part of the second stick is inserted into the groove of the mask, Removing the deposition mask, the first stick and the second stick, and removing the deposition mask, the first stick and the second stick, ) To a thickness of or less by polishing the surface of the mask frame, and a step of flattening the surface of the mask frame.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 하나 이상의 스틱이 증착 마스크를 지지하여, 증착 공정 중 기판의 자중 또는 증착 마스크의 자중에 의한 처짐을 방지할 수 있고 이에 따라 증착 공정의 정밀도를 향상시킬 수 있다.The mask assembly in accordance with one embodiment of the present invention may include one or more sticks that support a deposition mask to prevent deflection of the substrate due to its own weight or self-weight of the deposition mask during deposition, thereby improving the accuracy of the deposition process have.

또, 마스크 프레임에 삽입홈을 형성하고 상기 스틱을 삽입홈 내에 삽입 배치함으로써 스틱의 상면과 마스크 프레임의 상면을 동일한 레벨에 위치하도록 할 수 있고, 이에 따라 증착 마스크의 처짐을 더욱 방지할 수 있다.In addition, by forming the insertion groove in the mask frame and inserting the stick into the insertion groove, the upper surface of the stick and the upper surface of the mask frame can be positioned at the same level, and the sagging of the deposition mask can be further prevented.

나아가 서로 교차하는 두 개의 스틱 중 어느 하나를 다른 하나에 삽입 배치함으로써 스틱이 증착 마스크를 지지할 수 있을 정도의 충분한 두께를 가짐과 동시에 마스크 프레임에 형성되는 삽입홈의 깊이를 최소화할 수 있다.Furthermore, by inserting any one of the two sticks crossing each other in the other, it is possible to have a thickness sufficient to support the deposition mask and to minimize the depth of the insertion groove formed in the mask frame.

본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the embodiments of the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 2는 도 1의 증착 마스크의 사시도이다.
도 3은 도 1의 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 4는 도 1의 Ⅳa-Ⅳa'선, Ⅳb-Ⅳb'선 및 Ⅳc-Ⅳc'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 6은 도 5의 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 7은 도 5의 Ⅶa-Ⅶa'선, Ⅶb-Ⅶb'선 및 Ⅶc-Ⅶc'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 9는 도 8의 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 10은 도 8의 Ⅹa-Ⅹa'선 및 Ⅹb-Ⅹb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 11은 도 8의 ⅩⅠa-ⅩⅠa'선 및 ⅩⅠb-ⅩⅠb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 13은 도 12의 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 14는 도 13의 A 부분을 확대한 저면 사시도이다.
도 15는 도 12의 ⅩⅤa-ⅩⅤa'선, ⅩⅤb-ⅩⅤb'선 및 ⅩⅤc-ⅩⅤc'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 17은 도 16의 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 18은 도 17의 B 부분을 확대한 저면 사시도이다.
도 19는 도 16의 ⅩⅨa-ⅩⅨa'선 및 ⅩⅨb-ⅩⅨb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 20은 도 16의 ⅩⅩa-ⅩⅩa'선 및 ⅩⅩb-ⅩⅩb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.
도 21은 본 발명에 따른 마스크 조립체를 이용한 증착 공정을 나타낸 개략도이다.
도 22 내지 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임의 연마 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 25는 도 24의 연마된 마스크 프레임의 가공 공정을 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view of a mask assembly in accordance with an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the deposition mask of FIG.
Figure 3 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 1;
FIG. 4 is a cross-sectional view of sections cut along lines IVa-IVa ', IVb-IVb' and IVc-IVc 'of FIG.
5 is a perspective view of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
Figure 6 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 5;
FIG. 7 is a cross-sectional view of sections cut along the lines VIIa-VIIa ', VIIb-VIIb' and VIIc-VIIc 'of FIG.
8 is a perspective view of a mask assembly in accordance with another embodiment of the present invention.
Figure 9 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 8;
10 is a cross-sectional view of cross-sections taken along line Xa-Xa 'and line Xb-Xb' in FIG.
11 is a comparative cross-sectional view of sections cut along lines XIa-XIa 'and XIb-XIb' of FIG.
12 is a perspective view of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
Figure 13 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 12;
Fig. 14 is a bottom perspective view showing an enlarged portion A in Fig.
FIG. 15 is a cross-sectional view of cross sections taken along lines XVa-XVa ', XVb-XVb' and XVc-XVc 'of FIG.
16 is a perspective view of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
Figure 17 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 16;
Fig. 18 is a bottom perspective view of the portion B in Fig. 17 enlarged. Fig.
19 is a cross-sectional view of cross sections cut along lines XIXa-XIXa 'and XIXb-XIXb' of FIG. 16;
FIG. 20 is a cross-sectional view of sections cut along the lines XXa-XXa 'and XXb-XXb' in FIG. 16;
21 is a schematic view illustrating a deposition process using a mask assembly according to the present invention.
22 to 24 are perspective views for explaining a method of polishing a mask frame according to an embodiment of the present invention.
25 is a perspective view for explaining a processing step of the polished mask frame shown in Fig.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and the manner of achieving them, will be apparent from and elucidated with reference to the embodiments described hereinafter in conjunction with the accompanying drawings.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.The present invention will now be described more fully hereinafter with reference to the accompanying drawings, in which preferred embodiments of the invention are shown. However, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. To fully disclose the scope of the invention to a person skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below 또는 beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다.The terms spatially relative, "below", "beneath", "lower", "above", "upper" May be used to readily describe a device or a relationship of components to other devices or components. Spatially relative terms should be understood to include terms in different directions of the device in use, in addition to the directions shown in the figures. For example, when inverting an element shown in the figure, an element described as " below or beneath "of another element may be placed" above "another element. Thus, the exemplary term "below" can include both downward and upward directions.

본 명세서에서, 제1 방향(X)은 평면 내의 임의의 일 방향을 의미하고, 제2 방향(Y)은 상기 평면 내에서 제1 방향(X)과 교차하는 방향을 의미하며, 제3 방향(Z)은 상기 평면과 수직한 방향을 의미한다.In the present specification, the first direction X means any one direction in the plane, the second direction Y means a direction intersecting the first direction X in the plane, Z means a direction perpendicular to the plane.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다. 도 2는 도 1의 증착 마스크의 사시도이다.1 is a perspective view of a mask assembly in accordance with an embodiment of the present invention. 2 is a perspective view of the deposition mask of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)는 마스크 프레임(310), 마스크 프레임(310) 상에 배치되고 그루브를 갖는 일면을 갖는 제1 스틱(110), 제1 스틱(110)의 상기 일면 상에 배치된 제2 스틱(210) 및 제1 스틱(110)과 제2 스틱(210) 상에 배치된 증착 마스크(400)를 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2, a mask assembly 1010 according to the present embodiment includes a mask frame 310, a first stick 110 disposed on the mask frame 310 and having a surface having a groove, A second stick 210 disposed on the one surface of the stick 110 and a deposition mask 400 disposed on the first stick 110 and the second stick 210.

마스크 프레임(310)은 증착 마스크(400)와 결합하여 증착 마스크(400)를 지지할 수 있다. 마스크 프레임(310)은 증착 마스크(400) 등을 안정적으로 지지할 수 있도록 소정의 제3 방향(Z)으로의 두께를 가질 수 있다. 마스크 프레임(310)은 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변을 포함하여 중앙에 프레임 개구(310p)가 형성된 사각 띠 형상일 수 있다. 예를 들어, 한 쌍의 장변은 제1 방향(X)으로 연장되어 제2 방향(Y)으로 상호 대향하고, 한 쌍의 단변은 제2 방향(Y)으로 연장되어 제1 방향(X)으로 상호 대향할 수 있다. 마스크 개구(310p)의 평면상 형상은 대략 직사각형일 수 있다. 마스크 개구(310p)는 증착 물질이 통과하는 경로를 제공할 수 있다. 다른 실시예에서, 마스크 프레임(310)은 두 쌍의 변의 길이가 모두 동일한 사각 띠 형상이고 마스크 개구(310p)의 평면상 형상은 정사각형일 수도 있다. 마스크 프레임(310)은 강성이 큰 재료, 예를 들어 스테인레스 강 등의 금속으로 이루어질 수 있다.The mask frame 310 may be coupled to the deposition mask 400 to support the deposition mask 400. The mask frame 310 may have a thickness in a predetermined third direction Z to stably support the deposition mask 400 and the like. The mask frame 310 may have a rectangular band shape including a pair of long sides and a pair of short sides and having a frame opening 310p at the center thereof. For example, a pair of long sides may extend in a first direction X and face each other in a second direction Y, and a pair of short sides may extend in a second direction Y, They can face each other. The planar shape of the mask opening 310p may be substantially rectangular. The mask opening 310p can provide a path through which the deposition material passes. In another embodiment, the mask frame 310 may have a square band shape in which both pairs of sides have the same length, and the planar shape of the mask opening 310p may be square. The mask frame 310 may be made of a material having high rigidity, for example, a metal such as stainless steel.

또 마스크 프레임(310)은 제1 스틱(110) 및 제2 스틱(210)과 결합하여 제1 스틱(110) 및 제2 스틱(210)을 지지할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 마스크 프레임(310)은 제1 스틱(110)을 적어도 부분적으로 수용하기 위한 하나 이상의 제1 삽입홈(미도시) 및 제2 스틱(210)을 적어도 부분적으로 수용하기 위한 하나 이상의 제2 삽입홈(미도시)을 포함한다. 제1 삽입홈 및 제2 삽입홈에 대해서는 도 3 및 도 4와 함께 후술한다.The mask frame 310 may support the first stick 110 and the second stick 210 by being engaged with the first stick 110 and the second stick 210. In an exemplary embodiment, the mask frame 310 includes one or more first insertion grooves (not shown) for at least partially receiving the first stick 110 and a second insertion groove (not shown) for at least partially receiving the second stick 210 (Not shown). The first insertion groove and the second insertion groove will be described later in conjunction with FIG. 3 and FIG.

제1 스틱(110)은 마스크 프레임(310)의 일면(도면상 상면) 상에 배치된다. 제1 스틱(110)은 상부에 배치되는 증착 마스크(400)를 부가적으로 지지하도록 구성된 지지 부재일 수 있다. 제1 스틱(110)의 일면(도면상 상면)은 상부의 증착 마스크(400)와 맞닿아 접하여 효과적으로 지지할 수 있도록 소정의 면적을 갖는 평탄면일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 스틱(110)의 단면 형상은 상변(즉, 일면)과 하변(즉, 타면)의 길이가 길고 양 측변의 길이가 짧은 대략 직사각형일 수 있다. 제1 스틱(110)은 제1 방향(X)으로 연장되어 프레임 개구(310p)를 횡단할 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(110)은 길이(예컨대, 제1 방향(X)으로의 길이)가 폭(예컨대, 제2 방향(Y)으로의 폭)보다 큰 대략 막대기(bar) 형상일 수 있다.The first stick 110 is disposed on one surface (upper surface in the drawing) of the mask frame 310. The first stick 110 may be a support member configured to additionally support a deposition mask 400 disposed thereon. One surface (upper surface in the drawing) of the first stick 110 may be a flat surface having a predetermined area so as to be in contact with the upper deposition mask 400 to effectively support the upper surface. In an exemplary embodiment, the cross-sectional shape of the first stick 110 may be approximately rectangular with the upper side (i.e., one side) and the lower side (i.e., the other side) longer and shorter sides. The first stick 110 may extend in a first direction X to traverse the frame opening 310p. For example, the first stick 110 may be substantially bar shaped having a length (e.g., a length in a first direction X) that is greater than a width (e.g., a width in a second direction Y) have.

후술할 바와 같이 제1 스틱(110)은 제1 방향(X)으로 연장되어 양 단부가 제1 삽입홈(미도시)에 삽입 배치될 수 있다. 제1 스틱(110)은 증착 마스크(400)의 증착 패턴부(420)와 중첩하지 않도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(110)은 후술할 증착 마스크(400)의 리브부(430)와 중첩하여 배치될 수 있다. 증착 공정에 있어서 열팽창 특성 차이에 의한 변형을 방지하기 위해 마스크 프레임(310)과 제1 스틱(110)은 동일한 재질로 이루어질 수 있다. As will be described later, the first stick 110 may extend in the first direction X and both ends may be inserted into the first insertion groove (not shown). The first stick 110 may be disposed so as not to overlap with the deposition pattern unit 420 of the deposition mask 400. For example, the first stick 110 may be disposed so as to overlap the rib portion 430 of the deposition mask 400, which will be described later. The mask frame 310 and the first stick 110 may be made of the same material to prevent deformation due to the difference in thermal expansion characteristics in the deposition process.

제2 스틱(210)은 제1 스틱(110)의 일면 상에 배치된다. 제2 스틱(210)은 제1 스틱(110)과 함께 상부에 배치되는 증착 마스크(400)를 부가적으로 지지하도록 구성된 지지 부재일 수 있다. 제2 스틱(210)의 일면(도면상 상면)은 상부의 증착 마스크(400)와 맞닿아 접하여 효과적으로 지지할 수 있도록 소정의 면적을 갖는 평탄면일 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 스틱(210)의 단면 형상은 상변(즉, 일면)과 하변(즉, 타면)의 길이가 길고 양 측변의 길이가 짧은 대략 직사각형일 수 있다. 제2 스틱(210)은 제2 방향(Y)으로 연장되어 제1 스틱(110)과 교차하여 프레임 개구(310p)를 횡단할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(210)은 길이가 폭보다 큰 대략 막대기 형상일 수 있다. The second stick 210 is disposed on one side of the first stick 110. The second stick 210 may be a support member configured to additionally support a deposition mask 400 disposed on top with the first stick 110. One surface (upper surface in the drawing) of the second stick 210 may be a flat surface having a predetermined area so as to abut against the upper deposition mask 400 to effectively support the upper surface. In an exemplary embodiment, the cross-sectional shape of the second stick 210 may be approximately rectangular with the upper side (i.e., one side) and the lower side (i.e., the other side) longer and shorter sides. The second stick 210 may extend in the second direction Y and intersect the first stick 110 to traverse the frame opening 310p. For example, the second stick 210 may be substantially bar-shaped, the length of which is greater than the width.

마스크 프레임(310)이 제1 방향(X)의 장변 및 제2 방향(Y)의 단변을 포함하는 경우 제2 스틱(210)의 길이는 제1 스틱(110)의 길이보다 짧을 수 있다. 후술할 바와 같이 제2 스틱(210)은 제2 방향(Y)으로 연장되어 양 단부가 제2 삽입홈(미도시)에 삽입 배치될 수 있다. 제2 스틱(210)은 제1 스틱(110)과 마찬가지로 증착 마스크(400)의 증착 패턴부(420)와 중첩하지 않도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(210)은 인접 배치된 두 개의 증착 마스크(400)의 경계와 중첩하여 배치될 수 있다. 제2 스틱(210)은 제1 스틱(110)과 동일한 재질로 이루어질 수 있다.The length of the second stick 210 may be shorter than the length of the first stick 110 when the mask frame 310 includes the long side of the first direction X and the short side of the second direction Y. [ As will be described later, the second stick 210 may extend in the second direction Y and both ends may be inserted into the second insertion groove (not shown). The second stick 210 may be disposed so as not to overlap with the deposition pattern unit 420 of the deposition mask 400, like the first stick 110. For example, the second stick 210 may be disposed so as to overlap the boundary of two adjacent deposition masks 400. The second stick 210 may be made of the same material as the first stick 110.

증착 마스크(400)는 제1 스틱(110)의 일면 및 제2 스틱(210)의 일면 상에 배치될 수 있다. 증착 마스크(400)는 일면(도면상 상면)과 타면(도면상 하면)을 갖는다. 상기 일면은 증착 공정 시 기판(미도시)과 접촉하는 면이고, 타면은 상기 일면의 반대측면이며 증착 물질이 제공되는 면일 수 있다. 증착 마스크(400)의 상기 타면은 마스크 프레임(310), 제1 스틱(110) 또는 제2 스틱(210) 중 하나 이상과 맞닿아 접할 수 있다.The deposition mask 400 may be disposed on one surface of the first stick 110 and on one surface of the second stick 210. The deposition mask 400 has one surface (upper surface in the drawing) and another surface (lower surface in the drawing). The one surface may be a surface in contact with a substrate (not shown) in a deposition process, and the other surface may be a surface opposite to the one surface and provided with a deposition material. The other surface of the deposition mask 400 may be in contact with at least one of the mask frame 310, the first stick 110, and the second stick 210.

증착 마스크(400)는 길이(예컨대, 제2 방향(Y)으로의 길이)가 폭(예컨대, 제1 방향(X)으로의 폭)보다 큰 형상일 수 있다. 증착 마스크(400)는 제1 방향(X)으로 연장되고 제2 방향(Y)으로 인접하여 복수개 배치된 분할 마스크일 수 있다. 다른 실시예에서, 증착 마스크(400)는 프레임 개구(310p)를 커버하는 평면상 면적을 가지고 일체로 형성된 원장 마스크일 수도 있다. 예시적인 실시예에서, 증착 마스크(400)는 금속 재질로 이루어진 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)일 수 있다. 증착 마스크(400)는 스테인레스 강, 니켈, 코발트, 또는 이들의 합금 등의 금속으로 이루어질 수 있다. 몇몇 실시예에서, 증착 마스크(400)는 자성을 띨 수도 있다.The deposition mask 400 may have a shape in which a length (for example, a length in the second direction Y) is larger than a width (for example, a width in the first direction X). The deposition masks 400 may be divided masks that extend in the first direction X and are arranged adjacent to each other in the second direction Y. [ In another embodiment, the deposition mask 400 may be a ledge mask integrally formed with a planar area covering the frame opening 310p. In an exemplary embodiment, the deposition mask 400 may be a fine metal mask made of a metal material. The deposition mask 400 may be made of a metal such as stainless steel, nickel, cobalt, or an alloy thereof. In some embodiments, the deposition mask 400 may be magnetic.

증착 마스크(400)는 길이 방향(즉, 제2 방향) 양 단부에 위치하는 고정부(410), 고정부(410)에 비해 중앙측에 위치하는 복수의 증착 패턴부(420) 및 증착 패턴부(420)들의 사이에 위치하는 리브부(430)를 포함할 수 있다.The deposition mask 400 includes a fixing portion 410 located at both ends in the longitudinal direction (i.e., the second direction), a plurality of deposition pattern portions 420 located at the center side relative to the fixing portion 410, And a rib portion 430 positioned between the ribs 420.

고정부(410)는 마스크 프레임(310)과 맞닿아 접하여 결합하는 부분이다. 예를 들어, 고정부(410)는 마스크 프레임(310)에 용접되어 결합할 수 있다. 상기 용접의 방법은 특별히 제한되지 않으나, 레이저 용접, 저항 가열 용접 등을 예시할 수 있다.The fixing portion 410 is a portion that abuts and contacts with the mask frame 310. For example, the fixing portion 410 can be welded to the mask frame 310 to be coupled. The welding method is not particularly limited, but laser welding, resistance heating welding, and the like can be exemplified.

증착 패턴부(420)는 증착 물질이 통과하는 경로를 제공하는 복수의 패턴 개구(420p)가 형성된 부분이다. 증착 패턴부(420)는 증착 마스크의 길이 방향(즉, 제2 방향(Y))으로 이격되어 복수개 배치될 수 있다. 도 1 등은 증착 패턴부(420)가 제2 방향(Y)으로 이격되어 3개인 경우를 예시하고 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 또 제2 방향(Y)으로 인접한 증착 패턴부(420)들 사이에는 리브부(430)가 정의된다. 즉, 리브부(430)는 제2 방향(Y)으로 인접한 증착 패턴부(420)들을 구획하는 기준이 될 수 있다. 리브부(430)는 패턴 개구가 형성되지 않아 증착 물질이 통과하는 것을 차폐할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 리브부(430)는 제1 방향(X)으로 연장된 제1 스틱(110)과 중첩할 수 있다.The deposition pattern portion 420 is a portion formed with a plurality of pattern openings 420p for providing a path through which the deposition material passes. The deposition pattern units 420 may be spaced apart from each other in the longitudinal direction (i.e., the second direction Y) of the deposition mask. 1 illustrates a case where three deposition pattern units 420 are spaced apart in the second direction Y, but the present invention is not limited thereto. A rib portion 430 is defined between the deposition pattern portions 420 adjacent to each other in the second direction (Y). That is, the rib portion 430 may be a reference for partitioning the adjacent deposition pattern portions 420 in the second direction Y. [ The rib portion 430 can shield the passage of the evaporation material because the pattern opening is not formed. In an exemplary embodiment, the rib portion 430 may overlap with the first stick 110 extending in a first direction X. [

패턴 개구(420p)는 증착 마스크(400)의 일면과 타면을 관통하는 개구부이다. 기판(미도시) 상에 정렬되는 증착 마스크(400)의 패턴 개구(420p)는 상기 기판의 증착 대상 영역을 노출시킬 수 있다. 즉, 패턴 개구(420p)는 형성하고자 하는 증착 패턴과 실질적으로 동일한 평면상 형상을 가질 수 있다. 도 1 등은 패턴 개구(420p)가 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)으로 이격되어 평면상 도트 형상을 가지고 대략 매트릭스 형상으로 배열되어 증착 패턴부(420)를 이루는 경우를 예시하고 있으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며 패턴 개구(420p)는 평면상 제1 방향(X) 또는 제2 방향(Y)으로 연장된 슬릿 형상일 수도 있다.The pattern opening 420p is an opening passing through one side of the deposition mask 400 and the other side. The pattern opening 420p of the deposition mask 400 aligned on the substrate (not shown) may expose the deposition target region of the substrate. That is, the pattern opening 420p may have substantially the same planar shape as the vapor deposition pattern to be formed. 1 and the like illustrate the case where the pattern openings 420p are arranged in a substantially matrix shape having a dot shape in a plane spaced apart in the first direction X and the second direction Y to form the vapor deposition pattern portion 420 However, the present invention is not limited thereto, and the pattern opening 420p may be a slit shape extending in a first direction X or a second direction Y in plan view.

이하, 도 3 및 도 4를 더 참조하여 본 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)에 대해 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the mask assembly 1010 according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIGS. 3 and 4. FIG.

도 3은 도 1의 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 4는 도 1의 Ⅳa-Ⅳa'선, Ⅳb-Ⅳb'선 및 Ⅳc-Ⅳc'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.Figure 3 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 1; FIG. 4 is a cross-sectional view of sections cut along lines IVa-IVa ', IVb-IVb' and IVc-IVc 'of FIG.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 제1 스틱(110)은 제1 방향(X)으로 연장되고 제2 방향(Y)으로 이격되어 복수개 배치될 수 있다. 또 제2 스틱(210)은 제2 방향(Y)으로 연장되고 제1 방향(X)으로 이격되어 복수개 배치될 수 있다. 도 3은 제1 스틱(110)이 2개이고 제2 스틱(210)이 3개인 경우를 예시하고 있으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.1 to 4, the first sticks 110 may extend in the first direction X and may be spaced apart in the second direction Y and may be disposed in a plurality of positions. The second sticks 210 may extend in the second direction Y and may be spaced apart in the first direction X and may be disposed in a plurality of positions. FIG. 3 illustrates a case where there are two first sticks 110 and two second sticks 210, but the present invention is not limited thereto.

제1 스틱(110)의 양 단부는 제1 삽입홈(311)에 삽입 배치되어 결합되고, 제2 스틱(210)의 양 단부는 제2 삽입홈(312)에 삽입 배치되어 결합될 수 있다. 제1 삽입홈(311) 및 제2 삽입홈(312)은 각각 제1 스틱(110) 및 제2 스틱(210)의 이탈을 방지하고 제1 스틱(110)과 제2 스틱(210)이 보다 안정적으로 증착 마스크(400)를 지지하도록 할 수 있다.Both ends of the first stick 110 may be inserted into and coupled to the first insertion groove 311 and both ends of the second stick 210 may be inserted into and inserted into the second insertion groove 312. The first insertion groove 311 and the second insertion groove 312 prevent the first stick 110 and the second stick 210 from separating from each other and allow the first stick 110 and the second stick 210 to be separated from each other The deposition mask 400 can be stably supported.

제1 삽입홈(311)은 마스크 프레임(310)의 제2 방향(Y)으로 연장된 한 쌍의 변에 각각 형성될 수 있다. 제1 삽입홈(311)은 마스크 프레임(310)의 최상면으로부터 내측으로 함몰된 요홈일 수 있다. 제1 삽입홈(311)은 제1 스틱(110)의 단부에 상응하는 형상을 가질 수 있다.The first insertion groove 311 may be formed on a pair of sides extending in the second direction Y of the mask frame 310, respectively. The first insertion groove 311 may be a concave groove recessed inward from the uppermost surface of the mask frame 310. The first insertion groove 311 may have a shape corresponding to the end of the first stick 110.

제1 스틱(110)의 단부의 측벽(즉, 제1 방향(X)의 측벽)(110w)은 제1 삽입홈(311)의 내측벽과 맞닿아 접할 수 있다. 이를 통해 기판(미도시)의 자중 및/또는 증착 마스크(400)의 자중에 의한 하방(예컨대, 제3 방향(Z)) 압력을 제1 방향(X)으로 전달하여 마스크 프레임(310)으로 분산시킬 수 있다. The side wall of the end portion of the first stick 110 (that is, the side wall in the first direction X) 110w can abut against the inner side wall of the first insertion groove 311. A pressure in a downward direction (e.g., a third direction Z) due to the own weight of the substrate (not shown) and / or the own weight of the deposition mask 400 is transmitted in the first direction X, .

제1 삽입홈(311)의 깊이(d₃₁₁)는 제1 스틱(110)의 최대 두께(t₁₁₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(110)의 타면은 마스크 프레임(310)과 맞닿아 접하고 제1 스틱(110)의 일면은 마스크 프레임(310)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 즉, 제1 스틱(110)의 최상면과 마스크 프레임(310)의 최상면은 동일한 평면 내에 위치할 수 있다. 이를 통해 마스크 프레임(310)의 일면 및 제1 스틱(110)의 일면 상에 배치되는 증착 마스크(400)의 타면은 마스크 프레임(310) 및 제1 스틱(110)과 동시에 맞닿아 접할 수 있으며 보다 안정적으로 지지될 수 있다. 제1 삽입홈(311)의 깊이(d₃₁₁)는 약 70㎛ 내지 150㎛이고 폭은 약 4mm 내지 15mm일 수 있다. 다른 실시예에서, 제1 삽입홈(311)의 깊이(d₃₁₁)는 제1 스틱(110)의 최대 두께(t₁₁₀)보다 클 수 있다.The depth d ₃₁₁ of the first insertion groove 311 may be substantially equal to the maximum thickness t ₁₁₀ of the first stick 110. For example, the other surface of the first stick 110 abuts against the mask frame 310, and one surface of the first stick 110 may be located at substantially the same level as one surface of the mask frame 310. That is, the uppermost surface of the first stick 110 and the uppermost surface of the mask frame 310 may be located in the same plane. The other surface of the deposition mask 400 disposed on one surface of the mask frame 310 and one surface of the first stick 110 can be in contact with the mask frame 310 and the first stick 110 at the same time, And can be stably supported. The depth d ₃₁₁ of the first insertion groove 311 may be about 70 μm to 150 μm and the width may be about 4 mm to 15 mm. In another embodiment, the depth d ₃₁₁ of the first insertion groove 311 may be greater than the maximum thickness t ₁₁₀ of the first stick 110.

제2 삽입홈(312)은 마스크 프레임(310)의 제1 방향(X)으로 연장된 한 쌍의 변에 각각 형성될 수 있다. 제2 삽입홈(312)은 마스크 프레임(310)의 최상면으로부터 내측으로 함몰된 요홈일 수 있다. 제2 삽입홈(312)은 제2 스틱(210)의 단부에 상응하는 형상을 가질 수 있다.The second insertion groove 312 may be formed on a pair of sides extending in the first direction X of the mask frame 310. The second insertion groove 312 may be an indented groove recessed inward from the uppermost surface of the mask frame 310. The second insertion groove 312 may have a shape corresponding to the end of the second stick 210.

제2 스틱(210)의 단부의 측벽(즉, 제2 방향(Y)의 측벽)(210w)은 제2 삽입홈(312)의 내측벽과 맞닿아 접할 수 있다. 이를 통해 기판(미도시)의 자중 및/또는 증착 마스크(400)의 자중에 의한 하방 압력을 제2 방향(Y)으로 전달하여 마스크 프레임(310)으로 분산시킬 수 있다.The side wall of the end of the second stick 210 (i.e., the side wall in the second direction Y) 210w can abut against the inner wall of the second insertion groove 312. It is possible to transmit the self-weight of the substrate (not shown) and / or the downward pressure due to the self-weight of the deposition mask 400 in the second direction Y to be dispersed in the mask frame 310.

제2 삽입홈(312)의 깊이(d₃₁₂)는 제1 삽입홈(311)의 깊이(d₃₁₁)보다 작을 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 삽입홈(312)의 깊이(d₃₁₂)는 제2 스틱(210)의 최대 두께(t₂₁₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(210)의 타면은 마스크 프레임(310)과 맞닿아 접하고 제2 스틱(210)의 일면은 마스크 프레임(310)의 일면 및 제1 스틱(110)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 즉, 제2 스틱(210)의 최상면, 제1 스틱(110)의 최상면, 및 마스크 프레임(310)의 최상면은 동일한 평면 내에 위치할 수 있다. 이를 통해 마스크 프레임(310)의 일면, 제1 스틱(110)의 일면 및 제2 스틱(210)의 일면 상에 배치되는 증착 마스크(400)의 타면은 마스크 프레임(310), 제1 스틱(110) 및 제2 스틱(210)과 동시에 맞닿아 접할 수 있으며 보다 안정적으로 지지될 수 있다. 또 제2 스틱(210)의 타면은 제1 스틱(110)의 어느 일부의 타면보다 높은 레벨에 위치할 수 있다. 제2 삽입홈(312)의 깊이(d₃₁₂)는 약 25㎛ 내지 80㎛이고 폭은 약 1mm 내지 5mm일 수 있다. 다른 실시예에서, 제2 삽입홈의 깊이(d₃₁₂)는 제1 삽입홈(311)의 깊이(d₃₁₁)와 동일할 수 있다. 이 경우 제2 삽입홈(312)의 깊이(d₃₁₂)는 제2 스틱(210)의 최대 두께(t₂₁₀)보다 크고 제2 스틱(210)의 타면은 마스크 프레임(310)과 이격될 수도 있다.The depth d ₃₁₂ of the second insertion groove 312 may be smaller than the depth d ₃₁₁ of the first insertion groove 311. In an exemplary embodiment, the depth d ₃₁₂ of the second insertion groove 312 may be substantially the same as the maximum thickness t ₂₁₀ of the second stick 210. For example, the second surface of the second stick 210 is in contact with the mask frame 310, and one surface of the second stick 210 is substantially in contact with one surface of the mask frame 310 and one surface of the first stick 110 And can be located at the same level. That is, the top surface of the second stick 210, the top surface of the first stick 110, and the top surface of the mask frame 310 may be located in the same plane. The other surface of the deposition mask 400 disposed on one surface of the mask frame 310, one surface of the first stick 110 and one surface of the second stick 210 includes the mask frame 310, the first stick 110 And the second stick 210, and can be more stably supported. The other surface of the second stick 210 may be located at a higher level than the other surface of the first stick 110. The depth d ₃₁₂ of the second insertion groove 312 may be about 25 μm to 80 μm and the width may be about 1 mm to 5 mm. In another embodiment, the depth d ₃₁₂ of the second insertion groove may be the same as the depth d ₃₁₁ of the first insertion groove 311. The depth d ₃₁₂ of the second insertion groove 312 may be greater than the maximum thickness t _{210 of} the second stick 210 and the other surface of the second stick 210 may be spaced apart from the mask frame 310 .

예시적인 실시예에서, 제1 스틱(110)의 제2 스틱(210)과 대향하는 일면은 그루브(110g)를 가질 수 있다. 즉, 제1 스틱(110)의 일면은 적어도 부분적으로 레벨이 상이할 수 있다. 본 명세서에서, 그루브(groove)는 가상의 기준면으로부터 함몰되거나 돌출된 표면을 의미한다. 또, 제2 스틱(210)의 적어도 일부는 제1 스틱(110)의 그루브(110g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 제1 스틱(110)의 그루브(110g)는 제2 스틱(210)의 단면에 상응하는 형상을 가질 수 있다. 제1 스틱(110)의 최대 두께(t₁₁₀)는 제2 스틱(210)의 최대 두께(t₂₁₀)보다 클 수 있다. 제2 스틱(210)을 제1 스틱(110)의 그루브(110g) 내에 삽입 배치하여 제1 스틱(110)과 제2 스틱(210)이 차지하는 제3 방향(Z)으로의 두께를 최소화하여 증착 공정시 발생할 수 있는 공정 오차를 저하시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 제1 스틱(110)과 제2 스틱(210)이 삽입 배치되는 제1 삽입홈(311) 및 제2 삽입홈(312)의 깊이를 최소화할 수 있어, 후술할 바와 같이 마스크 프레임(310)을 연마할 경우 연마되어 제거되는 마스크 프레임(310)의 두께를 감소시킬 수 있어 공정 비용의 절감 효과가 있다.In an exemplary embodiment, one surface of the first stick 110 facing the second stick 210 may have a groove 110g. That is, one surface of the first stick 110 may be at least partially different in level. In this specification, a groove means a surface which is depressed or protruded from a virtual reference plane. At least a portion of the second stick 210 may be inserted and disposed in the groove 110g of the first stick 110. The groove 110g of the first stick 110 may have a shape corresponding to the cross section of the second stick 210. [ The maximum thickness t ₁₁₀ of the first stick ₁₁₀ may be greater than the maximum thickness t ₂₁₀ of the second stick 210. The second stick 210 is inserted into the groove 110g of the first stick 110 to minimize the thickness of the first stick 110 and the second stick 210 in the third direction Z, It is possible to reduce a process error that may occur in the process. In addition, the depths of the first insertion groove 311 and the second insertion groove 312 in which the first stick 110 and the second stick 210 are inserted can be minimized, The thickness of the mask frame 310 to be polished and removed can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost.

제1 스틱(110)의 그루브(110g)의 깊이는 제2 스틱(210)의 최대 두께(t₂₁₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(210)의 타면은 제1 스틱(110)과 맞닿아 접하고 제2 스틱(210)의 일면은 제1 스틱(110)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 또, 제1 스틱(110)의 그루브(110g)의 폭은 제2 스틱(210)의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다. 이를 통해 기판(미도시)의 자중, 증착 마스크(400)의 자중, 및/또는 제2 스틱(210)의 자중에 의한 하방 압력을 제1 스틱(110)으로 전달하여 분산시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 제1 스틱(110)의 그루브(110g)의 폭은 제2 스틱(210)의 폭보다 크고 그루브(110g)의 측벽은 제2 스틱(210)과 이격될 수도 있다.The depth of the groove 110g of the first stick 110 may be substantially the same as the maximum thickness t ₂₁₀ of the second stick 210. For example, the second surface of the second stick 210 abuts against the first stick 110 and one surface of the second stick 210 may be located at substantially the same level as one surface of the first stick 110 . The width of the groove 110g of the first stick 110 may be substantially the same as the width of the second stick 210. [ It is possible to transfer and distribute the self weight of the substrate (not shown), the self weight of the deposition mask 400, and / or the downward pressure due to the self weight of the second stick 210 to the first stick 110. The width of the groove 110g of the first stick 110 may be greater than the width of the second stick 210 and the side wall of the groove 110g may be spaced apart from the second stick 210. [

이하, 본 발명에 따른 실시예들에 따른 마스크 조립체에 대해 설명한다. 다만 도 1 등의 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)와 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 생략하며, 이는 첨부된 도면으로부터 본 기술분야에 속하는 통상의 기술자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다. 본 명세서 전체를 통하여 동일한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 표기한다.Hereinafter, a mask assembly according to embodiments of the present invention will be described. The description of the substantially same structure as the mask assembly 1010 according to the embodiment of FIG. 1 and the like is omitted, and it will be apparent to those skilled in the art from the accompanying drawings. Throughout this specification, the same reference numerals are used for the same components.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다. 도 6은 도 5의 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 7은 도 5의 Ⅶa-Ⅶa'선, Ⅶb-Ⅶb'선 및 Ⅶc-Ⅶc'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.5 is a perspective view of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. Figure 6 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 5; FIG. 7 is a cross-sectional view of sections cut along the lines VIIa-VIIa ', VIIb-VIIb' and VIIc-VIIc 'of FIG.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체(1020)는 마스크 프레임(320), 마스크 프레임(320) 상에 배치되는 제1 스틱(120), 제1 스틱(120) 상에 배치되고 그루브를 갖는 타면을 갖는 제2 스틱(220) 및 제1 스틱(120)과 제2 스틱(220) 상에 배치된 증착 마스크(400)를 포함한다. 즉, 본 실시예에 따른 제1 스틱(120)은 그루브를 갖지 않고 제2 스틱(220)의 타면이 그루브(220g)를 갖는 점이 도 1 등의 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)와 상이한 점이다.5 to 7, the mask assembly 1020 according to the present embodiment includes a mask frame 320, a first stick 120 disposed on the mask frame 320, a second stick 120 on the first stick 120, And a deposition mask 400 disposed on the first stick 120 and the second stick 220. The second stick 220 is disposed on the second stick 220 and has a groove. That is, the first stick 120 according to the present embodiment is different from the mask assembly 1010 according to the first embodiment in that the second stick 220 has no groove and the other surface has a groove 220g to be.

제1 스틱(120)의 양 단부는 제1 삽입홈(321)에 삽입 배치되어 결합하고, 제2 스틱(220)의 양 단부는 제2 삽입홈(322)에 삽입 배치되어 결합될 수 있다.Both ends of the first stick 120 are inserted into and engaged with the first insertion groove 321 and both ends of the second stick 220 are inserted into and inserted into the second insertion groove 322.

제1 삽입홈(321)의 깊이(d₃₂₁)는 제1 스틱(120)의 최대 두께(t₁₂₀)보다 클 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(120)의 타면은 마스크 프레임(320)과 맞닿아 접하고 제1 스틱(120)의 일면은 마스크 프레임(320)의 일면 보다 낮은 레벨에 위치할 수 있다.The depth d ₃₂₁ of the first insertion groove 321 may be greater than the maximum thickness t ₁₂₀ of the first stick 120. For example, the other surface of the first stick 120 abuts against the mask frame 320, and one surface of the first stick 120 may be located at a lower level than one surface of the mask frame 320.

제2 삽입홈(322)의 깊이(d₃₂₂)는 제1 삽입홈(321)의 깊이(d₃₂₁)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 삽입홈(322)의 깊이(d₃₂₂)는 제2 스틱(220)의 최대 두께(t₂₂₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(220)의 타면은 마스크 프레임(320)과 맞닿아 접하고 제2 스틱(220)의 일면은 마스크 프레임(320)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 또, 제2 스틱(220)의 일면은 제1 스틱(120)의 일면보다 높은 레벨에 위치할 수 있다. 이를 통해 마스크 프레임(320)의 일면 및 제2 스틱(220)의 일면 상에 배치되는 증착 마스크(400)의 타면은 마스크 프레임(320) 및 제2 스틱(220)과 동시에 맞닿아 접할 수 있다. 다른 실시예에서, 제2 삽입홈(322)의 깊이(d₃₂₂)는 제2 스틱(220)의 최대 두께(t₂₂₀)보다 클 수도 있다.The depth d ₃₂₂ of the second insertion groove 322 may be substantially equal to the depth d ₃₂₁ of the first insertion groove 321. In an exemplary embodiment, the depth d ₃₂₂ of the second insertion groove 322 may be substantially equal to the maximum thickness t ₂₂₀ of the second stick 220. For example, the second surface of the second stick 220 abuts against the mask frame 320, and one surface of the second stick 220 may be positioned at substantially the same level as one surface of the mask frame 320. In addition, one surface of the second stick 220 may be located at a higher level than one surface of the first stick 120. The other surface of the deposition mask 400 disposed on one surface of the mask frame 320 and one surface of the second stick 220 can be in contact with the mask frame 320 and the second stick 220 at the same time. In another embodiment, the depth d ₃₂₂ of the second insertion groove 322 may be greater than the maximum thickness t ₂₂₀ of the second stick 220.

예시적인 실시예에서, 제2 스틱(220)의 제1 스틱(120)과 대향하는 타면은 그루브(220g)를 가질 수 있다. 즉, 제2 스틱(220)의 타면은 적어도 부분적으로 레벨이 상이할 수 있다. 또, 제1 스틱(120)의 적어도 일부는 제2 스틱(220)의 그루브(220g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 제2 스틱(220)의 그루브(220g)는 제1 스틱(120)의 단면에 상응하는 형상을 가질 수 있다. 제2 스틱(220)의 최대 두께(t₂₂₀)는 제1 스틱(120)의 최대 두께(t₁₂₀)보다 클 수 있다. 제1 스틱(120)을 제2 스틱(220)의 그루브(220g) 내에 삽입 배치하여 제1 스틱(120)과 제2 스틱(220)이 차지하는 제3 방향(Z)으로의 두께를 최소화할 수 있다.In an exemplary embodiment, the second surface of the second stick 220 opposite the first stick 120 may have a groove 220g. That is, the other surface of the second stick 220 may be at least partially different in level. At least a portion of the first stick 120 may be inserted into the groove 220g of the second stick 220. The groove 220g of the second stick 220 may have a shape corresponding to the cross section of the first stick 120. [ The maximum thickness t ₂₂₀ of the second stick ₂₂₀ may be greater than the maximum thickness t ₁₂₀ of the first stick 120. The thickness of the first stick 120 in the third direction Z occupied by the first stick 120 and the second stick 220 can be minimized by inserting the first stick 120 into the groove 220g of the second stick 220 have.

제2 스틱(220)의 그루브(220g)의 깊이는 제1 스틱(120)의 최대 두께(t₁₂₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(120)의 일면은 제2 스틱(220)과 맞닿아 접하고 제1 스틱(120)의 타면은 제2 스틱(220)의 타면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 제2 스틱(220)의 그루브(220g)의 폭은 제1 스틱(120)의 폭과 동일하거나 상이할 수 있다.The depth of the groove 220g of the second stick 220 may be substantially the same as the maximum thickness t ₁₂₀ of the first stick 120. For example, one surface of the first stick 120 abuts against the second stick 220, and the other surface of the first stick 120 may be located at substantially the same level as the other surface of the second stick 220 . The width of the groove 220g of the second stick 220 may be the same as or different from the width of the first stick 120. [

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다. 도 9는 도 8의 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 10은 도 8의 Ⅹa-Ⅹa'선 및 Ⅹb-Ⅹb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다. 도 11은 도 8의 ⅩⅠa-ⅩⅠa'선 및 ⅩⅠb-ⅩⅠb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.8 is a perspective view of a mask assembly in accordance with another embodiment of the present invention. Figure 9 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 8; 10 is a cross-sectional view of cross-sections taken along line Xa-Xa 'and line Xb-Xb' in FIG. 11 is a comparative cross-sectional view of sections cut along lines XIa-XIa 'and XIb-XIb' of FIG.

도 8 내지 도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체(1030)는 마스크 프레임(330), 마스크 프레임(330) 상에 배치되고 그루브를 갖는 일면을 갖는 제1 스틱(130), 제1 스틱(130)의 일면 상에 배치되고 그루브를 갖는 타면을 갖는 제2 스틱(230) 및 제1 스틱(130)과 제2 스틱(230) 상에 배치된 증착 마스크(400)를 포함한다. 즉, 본 실시예에 따른 제2 스틱(230)의 타면은 그루브(230g)를 갖는 점이 도 1 등의 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)와 상이한 점이다.8-11, a mask assembly 1030 according to this embodiment includes a mask frame 330, a first stick 130 disposed on the mask frame 330 and having a surface with grooves, And a deposition mask 400 disposed on the first stick 130 and the second stick 230. The second stick 230 is disposed on one side of the stick 130 and has grooves. That is, the other surface of the second stick 230 according to the present embodiment is different from the mask assembly 1010 according to the embodiment of FIG. 1 and the groove 230g.

제1 스틱(130)의 양 단부는 제1 삽입홈(331)에 삽입 배치되어 결합하고, 제2 스틱(230)의 양 단부는 제2 삽입홈(332)에 삽입 배치되어 결합될 수 있다.Both ends of the first stick 130 may be inserted into and engaged with the first insertion groove 331 and both ends of the second stick 230 may be inserted into and inserted into the second insertion groove 332.

제1 삽입홈(331)의 깊이(d₃₃₁)는 제1 스틱(130)의 최대 두께(t₁₃₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(130)의 타면은 마스크 프레임(330)과 맞닿아 접하고 제1 스틱(130)의 일면은 마스크 프레임(330)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. The depth d ₃₃₁ of the first insertion groove 331 may be substantially equal to the maximum thickness t ₁₃₀ of the first stick 130. For example, the other surface of the first stick 130 abuts against the mask frame 330, and one surface of the first stick 130 may be positioned at substantially the same level as one surface of the mask frame 330.

제2 삽입홈(332)의 깊이(d₃₃₂)는 제1 삽입홈(331)의 깊이(d₃₃₁)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 삽입홈(332)의 깊이(d₃₃₂)는 제2 스틱(230)의 최대 두께(t₂₃₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(230)의 타면은 마스크 프레임(330)과 맞닿아 접하고 제2 스틱(230)의 일면은 마스크 프레임(330)의 일면 및 제1 스틱(130)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제1 스틱(130)의 최대 두께(t₁₃₀)는 제2 스틱(230)의 최대 두께(t₂₃₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 이를 통해 마스크 프레임(330)의 일면, 제1 스틱(130)의 일면 및 제2 스틱(230)의 일면 상에 배치되는 증착 마스크(400)의 타면은 마스크 프레임(330), 제1 스틱(130) 및 제2 스틱(230)과 동시에 맞닿아 접할 수 있다. 나아가 제1 스틱(130)의 타면과 제2 스틱(230)의 타면은 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 이를 통해 제1 스틱(130) 및 제2 스틱(230)이 상호 간에 전달하는 압력을 고르게 분산시킬 수 있는 효과가 있다. 다른 실시예에서, 제1 스틱(130)의 최대 두께(t₁₃₀)는 제2 스틱(230)의 최대 두께(t₂₃₀)와 상이할 수도 있다.The depth d ₃₃₂ of the second insertion groove 332 may be substantially equal to the depth d ₃₃₁ of the first insertion groove 331. In an exemplary embodiment, the depth d ₃₃₂ of the second insertion groove 332 may be substantially equal to the maximum thickness t ₂₃₀ of the second stick 230. For example, the other surface of the second stick 230 is in contact with the mask frame 330 and one surface of the second stick 230 is substantially in contact with one surface of the mask frame 330 and one surface of the first stick 130 And can be located at the same level. In some embodiments, the maximum thickness t ₁₃₀ of the first stick ₁₃₀ may be substantially equal to the maximum thickness t ₂₃₀ of the second stick 230. The other surface of the deposition mask 400 disposed on one surface of the mask frame 330, one surface of the first stick 130 and one surface of the second stick 230 includes the mask frame 330, the first stick 130 And the second stick 230 at the same time. Furthermore, the other surface of the first stick 130 and the other surface of the second stick 230 may be located at the same level. Accordingly, the pressure transmitted between the first stick 130 and the second stick 230 can be uniformly dispersed. In another embodiment, the maximum thickness t ₁₃₀ of the first stick ₁₃₀ may be different from the maximum thickness t ₂₃₀ of the second stick 230.

예시적인 실시예에서, 제1 스틱(130)의 제2 스틱(230)과 대향하는 일면은 제1 그루브(130g)를 가질 수 있다. 즉, 제1 스틱(130)의 일면은 적어도 부분적으로 레벨이 상이할 수 있다. 제2 스틱(230)의 적어도 일부는 제1 스틱(130)의 제1 그루브(130g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 또, 제2 스틱(230)의 제1 스틱(130)과 대향하는 타면은 제2 그루브(230g)를 가질 수 있다. 즉, 제2 스틱(230)의 타면은 적어도 부분적으로 레벨이 상이할 수 있다. 제2 스틱(230)의 제2 그루브(230g)는 제1 스틱(130)의 제1 그루브(130g)와 중첩할 수 있다. 제1 스틱(130)의 적어도 일부는 제2 스틱(230)의 제2 그루브(230g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 제1 스틱(130)과 제2 스틱(230)을 상호 간에 부분적으로 삽입 배치하여 제1 스틱(130)과 제2 스틱(230)이 차지하는 제3 방향(Z)으로의 두께를 최소화할 수 있다.In an exemplary embodiment, one surface of the first stick 130 facing the second stick 230 may have a first groove 130g. That is, one surface of the first stick 130 may be at least partially different in level. At least a portion of the second stick 230 may be inserted into the first groove 130g of the first stick 130. The second surface of the second stick 230 facing the first stick 130 may have a second groove 230g. That is, the second surface of the second stick 230 may be at least partially different in level. The second groove 230g of the second stick 230 may overlap with the first groove 130g of the first stick 130. [ At least a portion of the first stick 130 may be inserted into the second groove 230g of the second stick 230. The thickness of the first stick 130 and the second stick 230 in the third direction Z occupied by the first stick 130 and the second stick 230 can be minimized by partially interposing the first stick 130 and the second stick 230 .

제1 그루브(130g)의 깊이는 제2 스틱(230)의 제2 그루브(230g)가 형성된 부분의 두께와 실질적으로 동일하고, 제2 그루브(230g)의 깊이는 제1 스틱(130)의 제1 그루브(130g)가 형성된 부분의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다.The depth of the first groove 130g is substantially equal to the thickness of the portion of the second stick 230 where the second groove 230g is formed and the depth of the second groove 230g is equal to the thickness of the portion of the first stick 130 May be substantially the same as the thickness of the portion where one groove 130g is formed.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다. 도 13은 도 12의 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 14는 도 13의 A 부분을 확대한 저면 사시도이다. 도 15는 도 12의 ⅩⅤa-ⅩⅤa'선, ⅩⅤb-ⅩⅤb'선 및 ⅩⅤc-ⅩⅤc'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.12 is a perspective view of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. Figure 13 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 12; Fig. 14 is a bottom perspective view showing an enlarged portion A in Fig. FIG. 15 is a cross-sectional view of cross sections taken along lines XVa-XVa ', XVb-XVb' and XVc-XVc 'of FIG.

도 12 내지 도 15를 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체(1040)는 마스크 프레임(340), 마스크 프레임(340) 상에 배치되고 그루브를 갖는 일면 및 단차부가 형성된 타면을 갖는 제1 스틱(140), 제1 스틱(140)의 일면 상에 배치된 제2 스틱(240) 및 제1 스틱(140)과 제2 스틱(240) 상에 배치된 증착 마스크(400)를 포함한다. 즉, 본 실시예에 따른 제1 스틱(140)은 타면 단부에 위치한 단차부(140s)를 더 포함하는 점이 도 1 등의 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)와 상이한 점이다.12 to 15, the mask assembly 1040 according to the present embodiment includes a mask frame 340, a first stick (not shown) disposed on the mask frame 340 and having one surface having grooves and another surface having stepped surfaces A second stick 140 disposed on one side of the first stick 140 and a deposition mask 400 disposed on the first stick 140 and the second stick 240. That is, the first stick 140 according to the present embodiment is different from the mask assembly 1010 according to the first embodiment in that the first stick 140 further includes a step 140s located at the other end.

제1 스틱(140)은 제1 방향(X)으로 연장된 제1 부분(141) 및 제1 부분(141)의 단부로부터 제1 방향(X)으로 더욱 돌출된 제2 부분(142)을 포함한다. 제1 부분(141)의 최대 두께(t₁₄₀)는 제2 부분(142)의 두께(t₁₄₂)보다 크다. 즉, 제1 스틱(140)의 제1 부분(141)의 표면과 제1 스틱(140)의 제2 부분(142)의 표면은 상이한 레벨에 위치할 수 있다. 다시 말해서, 제1 부분(141)의 표면과 제2 부분(142)의 표면은 양 부분의 두께 차이에 의해 노출된 제1 부분(141)의 측벽(141w)에 의해 연결될 수 있다.The first stick 140 includes a first portion 141 extending in a first direction X and a second portion 142 further projecting in a first direction X from an end of the first portion 141 do. The maximum thickness t ₁₄₀ of the first portion 141 is greater than the thickness t ₁₄₂ of the second portion 142. That is, the surface of the first portion 141 of the first stick 140 and the surface of the second portion 142 of the first stick 140 may be located at different levels. In other words, the surface of the first portion 141 and the surface of the second portion 142 can be connected by the side wall 141w of the first portion 141 exposed by the difference in thickness of both portions.

예시적인 실시예에서, 제1 스틱(140)의 타면은 단차부(140s)를 가질 수 있다. 즉, 제1 스틱(140)의 단차부(140s)는 제1 스틱(140)의 제2 부분(142)의 타면을 의미한다. 단차부(140s)는 제1 스틱(140)의 타면 단부에 위치하고, 그루브(140g)는 단차부(140s)보다 중앙측에 위치하여 제1 스틱(140)의 일면에 형성될 수 있다.In an exemplary embodiment, the other surface of the first stick 140 may have a step 140s. That is, the stepped portion 140s of the first stick 140 means the other surface of the second portion 142 of the first stick 140. The step 140s may be located at the other end of the first stick 140 and the groove 140g may be located at a center side of the step 140s and may be formed on one side of the first stick 140.

제1 스틱(140)의 제2 부분(142)은 제1 삽입홈(341)에 삽입 배치되어 결합하고, 제2 스틱(240)의 양 단부는 제2 삽입홈(342)에 삽입 배치되어 결합할 수 있다.The second portion 142 of the first stick 140 is inserted into and engaged with the first insertion groove 341 and both ends of the second stick 240 are inserted into the second insertion groove 342, can do.

제1 삽입홈(341)의 깊이(d₃₄₁)는 제1 스틱(140)의 제1 부분(141)의 최대 두께(t₁₄₀)보다 작고, 제1 스틱(140)의 제2 부분(142)의 두께(t₁₄₂)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 스틱(140)의 제2 부분(142)의 타면은 마스크 프레임(340)과 맞닿아 접하고 제1 스틱(140)의 제2 부분(142)의 일면은 마스크 프레임(340)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다.The depth d ₃₄₁ of the first insertion groove 341 is smaller than the maximum thickness t ₁₄₀ of the first portion 141 of the first stick ₁₄₀ and is smaller than the maximum thickness t ₁₄₀ of the second portion 142 of the first stick 140. [ (T ₁₄₂ ) of the first and second layers. For example, the other surface of the second portion 142 of the first stick 140 abuts against the mask frame 340 and one side of the second portion 142 of the first stick 140 contacts the mask frame 340. [ As shown in FIG.

제1 스틱(140)의 단부(즉, 제2 부분(142)의 단부)의 제1 방향(X) 측벽(142w)은 제1 삽입홈(341)의 내측벽(341w)과 맞닿아 접할 수 있다. 또, 제1 스틱(140)의 제1 부분(141)의 측벽(141w)은 마스크 프레임(340)의 내측벽(340w)과 맞닿아 접할 수 있다. 이를 통해 기판(미도시)의 자중 및/또는 증착 마스크(400)의 자중에 의한 하방 압력을 제1 방향(X)으로 전달하여 마스크 프레임(340)으로 효과적으로 분산시킬 수 있다. 다른 실시예에서 제1 스틱(140)의 제1 부분(141)의 측벽(141w)은 마스크 프레임(340)의 내측벽(340w)과 이격될 수도 있다.The side wall 142w in the first direction X of the end portion of the first stick 140 (that is, the end portion of the second portion 142) is in contact with the inner side wall 341w of the first insertion groove 341 have. The side wall 141w of the first portion 141 of the first stick 140 can be in contact with the inner side wall 340w of the mask frame 340. Through this, the self-weight of the substrate (not shown) and / or the downward pressure due to the self-weight of the deposition mask 400 can be transmitted in the first direction X to be effectively dispersed in the mask frame 340. The sidewall 141w of the first portion 141 of the first stick 140 may be spaced apart from the inner wall 340w of the mask frame 340 in other embodiments.

제2 삽입홈(342)의 깊이(d₃₄₂)는 제1 삽입홈(341)의 깊이(d₃₄₁)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 삽입홈(342)의 깊이(d₃₄₂)는 제2 스틱(240)의 최대 두께(t₂₄₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(240)의 타면은 마스크 프레임(340)과 맞닿아 접하고 제2 스틱(240)의 일면은 마스크 프레임(340)의 일면 및 제1 스틱(140)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 이를 통해 마스크 프레임(340)의 일면, 제1 스틱(140)의 일면 및 제2 스틱(240)의 일면 상에 배치되는 증착 마스크(400)의 타면은 마스크 프레임(340), 제1 스틱(140) 및 제2 스틱(240)과 동시에 맞닿아 접할 수 있다. 또, 제2 스틱(240)의 타면은 제1 스틱(140)의 어느 일부의 타면보다 높은 레벨에 위치할 수 있다.The depth d ₃₄₂ of the second insertion groove 342 may be substantially equal to the depth d ₃₄₁ of the first insertion groove 341. In an exemplary embodiment, the depth d ₃₄₂ of the second insertion groove 342 may be substantially the same as the maximum thickness t ₂₄₀ of the second stick 240. For example, the other surface of the second stick 240 is in contact with the mask frame 340, and one surface of the second stick 240 is substantially in contact with one surface of the mask frame 340 and one surface of the first stick 140 And can be located at the same level. The other surface of the deposition mask 400 disposed on one surface of the mask frame 340, one surface of the first stick 140 and one surface of the second stick 240 may include a mask frame 340, a first stick 140 And the second stick 240 at the same time. The other surface of the second stick 240 may be located at a higher level than the other surface of the first stick 140.

예시적인 실시예에서, 제1 스틱(140)의 제2 스틱(240)과 대향하는 일면은 그루브(140g)를 가질 수 있다. 제2 스틱(240)의 적어도 일부는 제1 스틱(140)의 그루브(140g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 제1 스틱(140)의 그루브(140g)는 제2 스틱(240)의 단면에 상응하는 형상을 가질 수 있다. 제2 스틱(240)의 최대 두께(t₂₄₀)는 제1 스틱(140)의 최대 두께(t₁₄₀), 예컨대 제1 스틱(140)의 제1 부분(141)의 최대 두께(t₁₄₀)보다 작을 수 있다. 제2 스틱(240)을 제1 스틱(140)의 그루브(140g) 내에 삽입 배치하여 제1 스틱(140)과 제2 스틱(240)이 차지하는 제3 방향(Z)으로의 두께를 최소화할 수 있다. 아울러, 제1 스틱(140)의 단부에 중앙부에 비해 두께가 얇은 단차부(140s)를 형성하고 단차부(140s)를 마스크 프레임(340)의 제1 삽입홈(341)에 삽입함으로써 제1 스틱(140)이 증착 마스크(340)를 견고하게 지지할 정도로 충분한 최대 두께(t₁₄₀)를 가짐과 동시에 제1 삽입홈(341)의 깊이를 더욱 최소화할 수 있다. In an exemplary embodiment, one surface of the first stick 140 that faces the second stick 240 may have a groove 140g. At least a portion of the second stick 240 may be inserted into the groove 140g of the first stick 140. [ The groove 140g of the first stick 140 may have a shape corresponding to the cross section of the second stick 240. The maximum thickness (t ₂₄₀₎ of the second stick 240 is greater than the maximum thickness (t ₁₄₀₎ of the first portion 141 of the maximum thickness (t _140), for example, the first stick 140 in the first stick 140 Can be small. The second stick 240 may be inserted into the groove 140g of the first stick 140 to minimize the thickness of the first stick 140 and the second stick 240 in the third direction Z have. A step 140s having a smaller thickness than the central portion is formed at the end of the first stick 140 and a step 140s is inserted into the first insertion groove 341 of the mask frame 340, It is possible to minimize the depth of the first insertion groove 341 while having the maximum thickness t ₁₄₀ sufficient to firmly support the deposition mask 340.

도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다. 도 17은 도 16의 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 18은 도 17의 B 부분을 확대한 저면 사시도이다. 도 19는 도 16의 ⅩⅨa-ⅩⅨa'선 및 ⅩⅨb-ⅩⅨb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다. 도 20은 도 16의 ⅩⅩa-ⅩⅩa'선 및 ⅩⅩb-ⅩⅩb'선을 따라 절개한 단면들의 비교 단면도이다.16 is a perspective view of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. Figure 17 is an exploded perspective view of the mask assembly of Figure 16; Fig. 18 is a bottom perspective view of the portion B in Fig. 17 enlarged. Fig. 19 is a cross-sectional view of cross sections cut along lines XIXa-XIXa 'and XIXb-XIXb' of FIG. 16; FIG. 20 is a cross-sectional view of sections cut along the lines XXa-XXa 'and XXb-XXb' in FIG. 16;

도 16 내지 도 20을 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체(1050)는 마스크 프레임(350), 마스크 프레임(350) 상에 배치되고 제1 그루브를 갖는 일면 및 제1 단차부가 형성된 타면을 갖는 제1 스틱(150), 제1 스틱(150)의 일면 상에 배치되고 제2 그루브와 제2 단차부가 형성된 타면을 갖는 제2 스틱(250) 및 제1 스틱(150)과 제2 스틱(250) 상에 배치된 증착 마스크(400)를 포함한다. 즉, 본 실시예에 따른 제2 스틱(250)은 타면 단부에 위치한 제2 단차부(250s) 및 제2 단차부(250s)에 비해 중앙측에 위치하여 타면에 형성된 제2 그루브(250g)를 포함하는 점이 도 12 등의 실시예에 따른 마스크 조립체(1040)와 상이한 점이다.16 to 20, a mask assembly 1050 according to the present embodiment includes a mask frame 350, a mask frame 350, a mask frame 350, a mask frame 350, A first stick 150 and a second stick 250 disposed on one side of the first stick 150 and having a second groove and a second step formed thereon and a first stick 150 and a second stick 250 And a deposition mask 400 disposed on the deposition mask 400. That is, the second stick 250 according to the present embodiment has the second groove 250g located on the other side and located on the center side relative to the second step 250s and the second step 250s located at the other end, And differs from the mask assembly 1040 according to the embodiment shown in FIG. 12 and the like.

제2 스틱(250)은 제2 방향(Y)으로 연장된 제1 부분(251) 및 제1 부분(251)의 단부로부터 제2 방향(Y)으로 더욱 돌출된 제2 부분(252)을 포함한다. 제1 부분(251)의 최대 두께(t₂₅₀)는 제2 부분(252)의 두께(t₂₅₂)보다 크다. 즉, 제2 스틱(250)의 제1 부분(251)의 표면과 제2 스틱(250)의 제2 부분(252)의 표면은 상이한 레벨에 위치할 수 있다. 다시 말해서, 제1 부분(251)의 표면과 제2 부분(252)의 표면은 양 부분의 두께 차이에 의해 노출된 제1 부분(251)의 측벽(251w)에 의해 연결될 수 있다.The second stick 250 includes a first portion 251 extending in the second direction Y and a second portion 252 further projecting in the second direction Y from the end portion of the first portion 251 do. The maximum thickness t ₂₅₀ of the first portion 251 is greater than the thickness t ₂₅₂ of the second portion 252. That is, the surface of the first portion 251 of the second stick 250 and the surface of the second portion 252 of the second stick 250 may be located at different levels. In other words, the surface of the first portion 251 and the surface of the second portion 252 can be connected by the side wall 251w of the first portion 251 exposed by the difference in thickness of both portions.

예시적인 실시예에서, 제2 스틱(250)의 타면은 제2 단차부(250s)를 가질 수 있다. 즉, 제2 스틱(250)의 제2 단차부(250s)는 제2 스틱(250)의 제2 부분(252)의 타면을 의미한다. 제2 단차부(250s)는 제2 스틱(250) 타면 단부에 위치하고, 제2 그루브(250g)는 제2 단차부(250s)보다 중앙측에 위치하여 제2 스틱(250)의 상기 타면에 형성될 수 있다.In an exemplary embodiment, the second surface of the second stick 250 may have a second step 250s. That is, the second step 250s of the second stick 250 refers to the other surface of the second portion 252 of the second stick 250. The second step 250s is located on the other end of the second stick 250 and the second groove 250g is located on the center side of the second step 250s and formed on the other surface of the second stick 250 .

제1 스틱(150)의 제2 부분(152)은 제1 삽입홈(351)에 삽입 배치되어 결합하고, 제2 스틱(250)의 제2 부분(252)은 제2 삽입홈(352)에 삽입 배치되어 결합할 수 있다. 제1 삽입홈(351)의 깊이(d₃₅₁)는 제1 스틱(150)의 제1 부분(151)의 최대 두께(t₁₅₀)보다 작고 제1 스틱(150)의 제2 부분(152)의 두께(t₁₅₂)와 실질적으로 동일할 수 있다.The second portion 152 of the first stick 150 is inserted into and engaged with the first insertion groove 351 and the second portion 252 of the second stick 250 is inserted into the second insertion groove 352 They can be inserted and joined together. The depth d ₃₅₁ of the first insertion groove 351 is smaller than the maximum thickness t ₁₅₀ of the first portion 151 of the first stick 150 and smaller than the maximum thickness t ₁₅₀ of the second portion 152 of the first stick 150 May be substantially the same as thickness t ₁₅₂ .

제2 삽입홈(352)의 깊이(d₃₅₂)는 제1 삽입홈(351)의 깊이(d₃₅₁)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제2 삽입홈(352)의 깊이(d₃₅₂)는 제2 스틱(250)의 제1 부분(251)의 최대 두께(t₂₅₀)보다 작고 제2 스틱(250)의 제2 부분(252)의 두께(t₂₅₂)와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 스틱(250)의 제2 부분(252)의 타면은 마스크 프레임(350)과 맞닿아 접하고 제2 스틱(250)의 제2 부분(252)의 일면은 마스크 프레임(350)의 일면과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다.The depth d ₃₅₂ of the second insertion groove 352 may be substantially equal to the depth d ₃₅₁ of the first insertion groove 351. The depth d ₃₅₂ of the second insertion groove 352 is smaller than the maximum thickness t ₂₅₀ of the first portion 251 of the second stick ₂₅₀ and less than the maximum thickness t ₂₅₀ of the second stick 250. In this exemplary embodiment, 2 the thickness of the portion ₍₂₅₂₎ (t 252), and may be substantially the same. For example, the other surface of the second portion 252 of the second stick 250 abuts against the mask frame 350 and one surface of the second portion 252 of the second stick 250 abuts against the mask frame 350, As shown in FIG.

제2 스틱(250)의 단부(즉, 제2 부분(252)의 단부)의 제2 방향(Y) 측벽(252w)은 제2 삽입홈(352)의 내측벽(352w)과 맞닿아 접할 수 있다. 또, 제2 스틱(250)의 제1 부분(251)의 측벽(251w)은 마스크 프레임(350)의 내측벽(350w)과 맞닿아 접할 수 있다. 이를 통해 기판(미도시)의 자중 및/또는 증착 마스크(400)의 자중에 의한 하방 압력을 마스크 프레임(350) 및 제1 스틱(150)으로 효과적으로 분산시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 제2 스틱(250)의 제1 부분(251)의 측벽(251w)은 마스크 프레임(350)의 내측벽(350w)과 이격될 수도 있다.The side wall 252w in the second direction Y of the end portion of the second stick 250 (that is, the end portion of the second portion 252) is in contact with the inner wall 352w of the second insertion groove 352 have. The side wall 251w of the first portion 251 of the second stick 250 can abut against the inner wall 350w of the mask frame 350. [ It is possible to effectively disperse the self weight of the substrate (not shown) and / or the downward pressure due to the self weight of the deposition mask 400 to the mask frame 350 and the first stick 150. The sidewall 251w of the first portion 251 of the second stick 250 may be spaced apart from the inner wall 350w of the mask frame 350. In other embodiments,

몇몇 실시예에서, 제2 스틱(250)의 제1 부분(251)의 최대 두께(t₂₅₀)는 제1 스틱(150)의 제1 부분(151)의 최대 두께(t₁₅₀)와 실질적으로 동일할 수 있다. 이를 통해 마스크 프레임(350)의 일면, 제1 스틱(150)의 일면 및 제2 스틱(250)의 일면 상에 배치되는 증착 마스크(400)의 타면은 마스크 프레임(350), 제1 스틱(150) 및 제2 스틱(250)과 동시에 맞닿아 접할 수 있다. 나아가 제1 스틱(150)의 타면과 제2 스틱(250)의 타면은 동일한 레벨에 위치할 수 있다.In some embodiments, the maximum thickness t ₂₅₀ of the first portion 251 of the second stick ₂₅₀ is substantially equal to the maximum thickness t ₁₅₀ of the first portion 151 of the first stick 150 can do. The other surface of the deposition mask 400 disposed on one surface of the mask frame 350, one surface of the first stick 150 and one surface of the second stick 250 includes the mask frame 350, the first stick 150 And the second stick 250 at the same time. Furthermore, the other surface of the first stick 150 and the other surface of the second stick 250 may be located at the same level.

예시적인 실시예에서, 제1 스틱(150)의 제2 스틱(250)과 대향하는 일면은 제1 그루브(150g)를 가지고, 제2 스틱(250)의 적어도 일부는 제1 스틱(150)의 제1 그루브(150g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 또, 제2 스틱(250)의 제1 스틱(150)과 대향하는 타면은 제2 그루브(250g)를 가질 수 있다. 제2 스틱(250)의 제2 그루브(250g)는 제1 스틱(150)의 제1 그루브(150g)와 중첩할 수 있다. 제1 스틱(150)의 적어도 일부는 제2 스틱(250)의 제2 그루브(250g) 내에 삽입 배치될 수 있다. 제1 그루브(150g)의 깊이는 제2 스틱(250)의 제2 그루브(250g)가 형성된 부분의 두께와 실질적으로 동일하고, 제2 그루브(250)의 깊이는 제1 스틱(150)의 제1 그루브(150g)가 형성된 부분의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다.In an exemplary embodiment, one surface of the first stick 150 facing the second stick 250 has a first groove 150g, and at least a portion of the second stick 250 has a first groove 150g, And may be inserted and disposed in the first groove 150g. The second surface of the second stick 250 facing the first stick 150 may have a second groove 250g. The second groove 250g of the second stick 250 may overlap with the first groove 150g of the first stick 150. [ At least a portion of the first stick 150 may be inserted and disposed in the second groove 250g of the second stick 250. The depth of the first groove 150 is substantially equal to the thickness of the portion of the second stick 250 where the second groove 250g is formed and the depth of the second groove 250 is equal to the thickness of the portion of the first stick 150, May be substantially the same as the thickness of the portion where one groove 150g is formed.

도 21은 본 발명에 따른 마스크 조립체를 이용한 증착 공정을 나타낸 개략도이다.21 is a schematic view illustrating a deposition process using a mask assembly according to the present invention.

도 21을 참조하면, 마스크 조립체(1010)는 프레임 홀더(500) 상에 배치되어 고정된다. 프레임 홀더(500)는 마스크 프레임(310)의 외곽부 적어도 일부와 중첩하여 마스크 프레임(310)을 지지할 수 있다.Referring to Fig. 21, the mask assembly 1010 is disposed and fixed on the frame holder 500. Fig. The frame holder 500 can support the mask frame 310 by overlapping at least part of the outer frame of the mask frame 310.

마스크 조립체(1010)의 일면(도면상 상면), 즉, 증착 마스크(400)의 일면 상에는 기판(600)이 배치된다. 기판(600)은 증착 대상일 수 있다. 기판(600)의 타면(도면상 하면)은 증착 마스크(400)의 일면과 맞닿아 접하도록 배치될 수 있다. 마스크 조립체(1010)의 타면(도면상 하면) 상에는 증착원(700)이 배치된다. 증착원(700)은 내부에 증착 물질을 수용하고 증착 공정시 증착 물질을 기화하여 기판(600) 측으로 제공할 수 있다. 증착 물질은 마스크 프레임(310)의 프레임 개구 및 증착 마스크(400)의 패턴 개구를 통과하고, 증착 마스크(400)의 패턴 개구에 의해 노출된 기판(600)에 타면에 증착되어 패턴화된 박막 층을 형성할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 본 발명에 따른 마스크 조립체(1010)를 이용한 증착 공정은 유기 발광 소자의 전극층 패턴 및/또는 발광층 패턴을 형성하는 공정일 수 있다.A substrate 600 is disposed on one surface (upper surface in the drawing) of the mask assembly 1010, that is, on one surface of the deposition mask 400. The substrate 600 may be an object to be deposited. The other surface (lower surface in the figure) of the substrate 600 may be arranged to abut against and contact one surface of the deposition mask 400. An evaporation source 700 is disposed on the other surface (lower surface) of the mask assembly 1010. The deposition source 700 may receive the deposition material therein and may vaporize the deposition material during the deposition process and provide the deposition material to the substrate 600 side. The deposition material passes through the frame opening of the mask frame 310 and the pattern opening of the deposition mask 400 and is deposited on the other surface of the substrate 600 exposed by the pattern opening of the deposition mask 400, Can be formed. In an exemplary embodiment, the deposition process using the mask assembly 1010 according to the present invention may be a process of forming an electrode layer pattern and / or a light emitting layer pattern of an organic light emitting device.

도 22 내지 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임의 연마 방법을 설명하기 위한 사시도들이다. 도 22 등은 도 1의 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)를 이용한 연마 방법을 예로 하여 설명하고 있으나, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 마스크 조립체를 이용할 수도 있음은 물론이다.22 to 24 are perspective views for explaining a method of polishing a mask frame according to an embodiment of the present invention. 22 and the like illustrate the polishing method using the mask assembly 1010 according to the embodiment of FIG. 1, but it goes without saying that the mask assembly according to other embodiments of the present invention may also be used.

우선 도 22 및 도 23을 참조하면, 마스크 조립체를 준비한다. 마스크 조립체는 도 1 등의 실시예에 따른 마스크 조립체(1010)일 수 있다. 예를 들어, 마스크 조립체(1010)는 일면 및 타면을 갖는 마스크 프레임(310), 마스크 프레임(310)의 일면 상에 배치되고 표면에 그루브를 갖는 제1 스틱(110), 마스크 프레임(310)의 일면 상에 배치되는 제2 스틱(210), 및 제1 스틱(110)과 제2 스틱(210) 상에 배치된 증착 마스크(400)를 포함할 수 있다.22 and 23, a mask assembly is prepared. The mask assembly may be a mask assembly 1010 according to an embodiment such as FIG. For example, the mask assembly 1010 may include a mask frame 310 having one side and the other side, a first stick 110 disposed on one side of the mask frame 310 and having grooves on the surface, A second stick 210 disposed on one side of the first stick 210 and a deposition mask 400 disposed on the first stick 110 and the second stick 210.

비제한적인 일례로서, 마스크 조립체(1010)는 증착 공정에 사용된 후의 것일 수 있다. 예를 들어, 마스크 조립체(1010)의 증착 마스크(400)의 타면(도면상 하면), 제1 스틱(110)의 타면(도면상 하면) 또는 제2 스틱(210)의 타면(도면상 하면)에는 증착 마스크(400)의 패턴 개구를 통과하지 못한 잔여 증착 물질이 부착된 상태일 수 있다.As a non-limiting example, the mask assembly 1010 may have been used in a deposition process. (The lower surface of the figure) of the first stick 110 or the other surface (the lower surface of the drawing) of the second stick 210, The remaining deposition material that does not pass through the pattern opening of the deposition mask 400 may be adhered.

이어서 도 23을 참조하면, 마스크 조립체(1010)의 증착 마스크(400), 제2 스틱(210) 및 제1 스틱(110)을 순차적으로 제거한다. 전술한 바와 같이 마스크 프레임(310)은 제2 방향(Y)으로 연장된 단변에 형성된 하나 이상의 제1 삽입홈(311) 및 제1 방향(X)으로 연장된 장변에 형성된 하나 이상의 제2 삽입홈(312)을 포함한다. 마스크 프레임(310)은 제3 방향(Z)으로의 두께(t₃₁₀)를 갖는다.Referring to FIG. 23, the deposition mask 400, the second stick 210, and the first stick 110 of the mask assembly 1010 are sequentially removed. As described above, the mask frame 310 includes at least one first insertion groove 311 formed at the short side extending in the second direction Y and at least one second insertion groove 311 formed at the long side extending in the first direction X, (312). The mask frame 310 has a thickness t ₃₁₀ in the third direction Z. [

이어서 도 24를 참조하면, 마스크 프레임의 일면(도면상 상면)을 연마하여 연마된 마스크 프레임(360)을 준비한다. 마스크 프레임의 일면을 연마하는 단계는 마스크 프레임(310)의 일면을 평탄화하여 마스크 프레임(310)의 일면에 형성된 제1 삽입홈(311)들 및 제2 삽입홈(312)들을 제거하는 단계일 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임을 연마하는 단계는 마스크 프레임(310)의 일면 부근을 연마하여 마스크 프레임(360)의 최상면의 레벨을 낮추는 단계일 수 있다.Next, referring to FIG. 24, one surface (upper surface in the drawing) of the mask frame is polished to prepare a polished mask frame 360. The step of polishing one surface of the mask frame may be a step of flattening one surface of the mask frame 310 to remove the first insertion grooves 311 and the second insertion grooves 312 formed on one surface of the mask frame 310 have. For example, the step of polishing the mask frame may be a step of polishing the vicinity of one surface of the mask frame 310 to lower the level of the uppermost surface of the mask frame 360.

예시적인 실시예에서, 연마 두께의 하한은 제1 삽입홈(311)의 깊이, 제2 삽입홈(312)의 깊이, 제1 스틱(110)의 최대 두께 및 제2 스틱(120)의 최대 두께 이상일 수 있다. 상기 연마 두께의 상한은 하한보다 약 50 ㎛ 더 클 수 있다. 제1 스틱(110)의 최대 두께가 제2 스틱(120)의 최대 두께보다 큰 몇몇 실시예에서, 연마 두께의 상한은 제1 스틱(110)의 최대 두께(T)+ 50 ㎛ (즉, T + 50 ㎛)일 수 있다. 본 명세서에서, 용어 상한 및 하한은 상한/하한으로서 기재된 수치를 포함하는 의미이다. 연마된 후의 마스크 프레임(360)의 제3 방향(Z)으로의 두께(t₃₆₀)는 연마되기 전의 마스크 프레임(310)의 제3 방향(Z)으로의 두께(t₃₁₀)보다 작다.The lower limit of the polishing thickness is determined by the depth of the first insertion groove 311, the depth of the second insertion groove 312, the maximum thickness of the first stick 110 and the maximum thickness of the second stick 120 Or more. The upper limit of the polishing thickness may be about 50 탆 larger than the lower limit. In some embodiments where the maximum thickness of the first stick 110 is greater than the maximum thickness of the second stick 120, the upper limit of the polishing thickness is the maximum thickness T + 50 占 퐉 of the first stick 110 (i.e., T + 50 탆). In this specification, the terms upper and lower limits are meant to include the numerical values described as upper / lower limits. The thickness t ₃₆₀ of the mask frame 360 after being polished in the third direction Z is smaller than the thickness t ₃₁₀ of the mask frame 310 in the third direction Z before polishing.

도 25는 도 24의 연마된 마스크 프레임의 가공 공정을 설명하기 위한 사시도이다. 추가적으로 도 25를 참조하면, 연마된 마스크 프레임(360)의 일면을 다시 가공하여 하나 이상의 요홈(371)이 형성된 마스크 프레임(370)을 준비한다. 재형성된 요홈(371)들의 위치, 깊이, 폭 등은 도 23에 도시된 제1 삽입홈(311) 및 제2 삽입홈(312)의 그것들과 동일하거나 상이할 수 있다.25 is a perspective view for explaining a processing step of the polished mask frame shown in Fig. In addition, referring to FIG. 25, one surface of the polished mask frame 360 is processed again to prepare a mask frame 370 having one or more grooves 371 formed therein. The position, depth, width, etc. of the re-formed grooves 371 may be the same as or different from those of the first insertion groove 311 and the second insertion groove 312 shown in Fig.

이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 본 발명을 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. For example, each component specifically shown in the embodiments of the present invention can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

110: 제1 스틱
210: 제2 스틱
310: 마스크 프레임
400: 증착 마스크
1010: 마스크 조립체110: first stick
210: second stick
310: mask frame
400: deposition mask
1010: mask assembly

Claims

A mask frame;
A first stick having a first face and a second face, the first stick being disposed on the mask frame and extending in a first direction;
A second stick disposed on the first surface of the first stick and extending in a second direction intersecting with the first direction; And
And a deposition mask disposed on the second stick,
The one side of the first stick having a first groove,
Wherein at least a portion of the second stick is inserted and disposed within the first groove.

The method according to claim 1,
Wherein the maximum thickness of the first stick is greater than or equal to the maximum thickness of the second stick.

3. The method of claim 2,
The second surface of the second stick facing the first stick has a second groove,
Wherein at least a portion of the first stick is inserted into the second groove.

The method of claim 3,
Wherein the other surface of the first stick and the other surface of the second stick are located at the same level.

The method according to claim 1,
Wherein the first stick comprises:
A first portion extending in the first direction, the first portion including the first groove, and
And a second portion further projecting from the end of the first portion in the first direction,
Wherein the maximum thickness of the first portion is greater than the thickness of the second portion.

6. The method of claim 5,
Wherein the other surface of the first stick has a first stepped portion,
Wherein the first step is located at an end of the first stick,
The mask frame includes:
A first insertion groove into which the first step portion is inserted,
And a second insertion groove into which an end of the second stick is inserted,
Wherein a maximum thickness of the first portion is greater than a depth of the first insertion groove.

The method according to claim 6,
Wherein a side wall of the first portion of the first stick abuts and abuts an inner side wall of the mask frame.

The method according to claim 6,
Wherein the thickness of the second portion of the first stick is equal to the maximum thickness of the second stick.

The method according to claim 6,
The other surface of the second stick, which faces the first stick,
A second groove in which at least a part of the first stick is inserted, and
And a second step located at an end of the second stick and inserted in the second insertion groove.

10. The method of claim 9,
Wherein the maximum thickness of the first stick and the maximum thickness of the second stick are the same.

The method according to claim 1,
The other surface of the second stick abuts against the first stick,
Wherein one side of the first stick and one side of the second stick are at the same level.

12. The method of claim 11,
Wherein the one face of the first stick and one face of the mask frame are located at the same level.

The method according to claim 1,
The mask frame includes:
A first insertion groove into which an end of the first stick is inserted,
And a second insertion groove into which an end of the second stick is inserted.

14. The method of claim 13,
The other surface of the first stick abuts against the mask frame,
And the other surface of the second stick facing the first stick abuts against the mask frame.

14. The method of claim 13,
The other surface of the second stick, which faces the first stick,
And is located at a level higher than the other surface of the first stick.

16. The method of claim 15,
Wherein a depth of the first insertion groove is equal to a maximum thickness of the first stick,
Wherein a depth of the second insertion groove is greater than a maximum thickness of the second stick.

A mask frame;
A first stick disposed on the mask frame and extending in a first direction, the first stick having a first maximum thickness;
A second stick having a first surface and a second surface, the second stick being disposed on the first stick and extending in a second direction intersecting the first direction, the second stick having a second maximum thickness greater than the first maximum thickness; And
And a deposition mask disposed on one side of the second stick,
Wherein the second surface of the second stick has a groove,
Wherein at least a portion of the first stick is inserted into the groove.

18. The method of claim 17,
The mask frame includes:
A first insertion groove into which an end of the first stick is inserted,
And a second insertion groove into which an end of the second stick is inserted,
Wherein the depth of the first insertion groove and the depth of the second insertion groove are the same.

19. The method of claim 18,
Wherein a depth of the first insertion groove is larger than the first maximum thickness,
The depth of the second insertion groove is equal to the second maximum thickness,
Wherein the first stick abuts and abuts the mask frame.

A first stick disposed on the one face of the mask frame and extending in a first direction and having a first maximum thickness, a second stick disposed on the one face of the mask frame and intersecting with the first direction, And a deposition mask disposed on the first stick and the second stick, wherein the one side of the mask frame has an insertion groove, and the first stick Preparing a mask assembly having a surface facing the second stick having a groove and at least a portion of the second stick being disposed in the groove;
Removing the deposition mask, the first stick, and the second stick; And
And polishing the one side of the mask frame to a thickness not less than the first maximum thickness (T) and not more than (T + 50 占 퐉), and planarizing one surface of the mask frame.