KR20240003908A - Mask assembly for thin flim processing for large-area integrated mask with multi division sheet and method thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 마스크를 제작함에 있어서, 원자재를 8세대 풀사이즈 유리기판의 가로 길이에 해당하는 타겟 길이로 절단하여 단위 원자재 시트를 제작한 후, 복수개를 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 대면적 분할 원장으로 생성하여 박막 공정용 분할 원장 마스크를 제조하고, 분할 원장 마스크 조립체 생성 시 분할 원장 마스크의 상부에 접합되는 FMM 등의 패턴 시트의 양측단에 FMM 시트와 유리기판을 정렬시키는 보조 얼라인 키의 생성을 위한 얼라인 시트를 추가함으로써 FMM를 사용하는 OLED 박막 증착 공정에서의 불량 발생을 낮출 수 있도록 한다.According to an embodiment of the present invention, in manufacturing a mask to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, raw materials are cut to a target length corresponding to the horizontal length of the 8th generation full-size glass substrate to form unit raw materials. After manufacturing the sheet, a plurality of sheets are joined to create a large-area split ledger corresponding to the area of an 8th generation full-size glass substrate to manufacture a split ledger mask for thin film processing. When creating a split ledger mask assembly, a split ledger mask is placed on the top of the split ledger mask. By adding an alignment sheet to both ends of the pattern sheet such as the FMM to be bonded to create an auxiliary alignment key that aligns the FMM sheet and the glass substrate, the occurrence of defects in the OLED thin film deposition process using FMM can be reduced. .
Description
본 발명은 박막 공정용 마스크에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 마스크를 제작함에 있어서, 원자재를 8세대 풀사이즈 유리기판의 가로 길이에 해당하는 타겟 길이로 절단하여 단위 원자재 시트를 제작한 후, 복수개를 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 대면적 분할 원장으로 생성하여 박막 공정용 분할 원장 마스크를 제조하고, 분할 원장 마스크 조립체 생성 시 분할 원장 마스크의 상부에 접합되는 FMM 등의 패턴 시트의 양측단에 FMM 시트와 유리기판을 정렬시키는 보조 얼라인 키의 생성을 위한 얼라인 시트를 추가함으로써 OLED 박막 증착 공정에서의 불량 발생을 낮출 수 있도록 하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mask for thin film processing. More specifically, in manufacturing a mask to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, raw materials are used as a target corresponding to the horizontal length of the 8th generation full-size glass substrate. After cutting to length to produce a unit raw material sheet, multiple sheets are joined to create a large-area split ledger corresponding to the area of an 8th generation full-size glass substrate to manufacture a split ledger mask for thin film processing, and when creating a split ledger mask assembly. The occurrence of defects in the OLED thin film deposition process can be reduced by adding an alignment sheet to create an auxiliary alignment key that aligns the FMM sheet and the glass substrate to both ends of the pattern sheet such as FMM that is bonded to the top of the split ledger mask. It relates to a large-area split ledger mask assembly and method for thin film processing.
일반적으로, OLED 제조 공정에서 오픈 마스크 또는 FMM 등을 생산하는데 사용되는 원자재로 인바가 사용되고 있다. Generally, Invar is used as a raw material used to produce open masks or FMMs in the OLED manufacturing process.
이러한 인바는 제조상 한계로 인해 최대폭이 1020~1040mm 범위로 제한되어 있는데, 종래 6세대 하프 사이즈의 유리기판의 경우 인바를 원장으로 제작하여 유리기판의 크기에 대응하는 오픈 마스크를 제조할 수 있어서 인바로 제작 가능한 원장의 크기가 큰 문제가 되지 않았다.The maximum width of this Invar is limited to the range of 1020~1040mm due to manufacturing limitations. However, in the case of the conventional 6th generation half-size glass substrate, an open mask corresponding to the size of the glass substrate can be manufactured by manufacturing Invar as a raw material, so Invar The size of the ledger that could be produced was not a major issue.
그러나, 최근 들어 유리기판의 면적이 점차로 커지면서 현재는 8세대 풀사이즈까지 유리기판의 크기가 커지고 있으며, 이에 따라 8세대 풀사이즈(2500×2800) 유리기판에 사용될 수 있는 오픈 마스크 등 OLED 박막 공정용 마스크의 제조가 필요하게 되었으나, 현재 기술에서 생산할 수 있는 원자재인 인바의 폭이 제한되어 있으므로, 8세대 풀사이즈에 사용할 수 있는 마스크를 인바를 원장으로 하여 제조할 수 있는 방법이 없었다.However, as the area of the glass substrate has gradually increased in recent years, the size of the glass substrate is currently increasing up to the 8th generation full-size glass substrate. Accordingly, OLED thin film process applications such as open masks that can be used on the 8th generation full-size (2500×2800) glass substrate are being used. It became necessary to manufacture masks, but since the width of Invar, a raw material that can be produced with current technology, was limited, there was no way to manufacture masks that could be used for the 8th generation full size using Invar as the main material.
따라서, 폭이 제한적인 인바를 이용하여 8세대 풀사이즈 유리기판에 적용 가능한 오픈 마스크 등 다양한 용도의 박막 공정용 OLED 마스크를 제조하는 방법에 대한 필요성이 지속적으로 제기되어 왔다.Therefore, there has been a continuous need for a method of manufacturing OLED masks for thin film processes for various purposes, such as open masks applicable to 8th generation full-size glass substrates, using Invar, which has a limited width.
따라서, 본 발명의 목적은 OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 마스크를 제작함에 있어서, 원자재를 8세대 풀사이즈 유리기판의 가로 길이에 해당하는 타겟 길이로 절단하여 단위 원자재 시트를 제작한 후, 복수개를 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 대면적 분할 원장으로 생성하여 박막 공정용 분할 원장 마스크를 제조하고, 분할 원장 마스크 조립체 생성 시 분할 원장 마스크의 상부에 접합되는 FMM 등의 패턴 시트의 양측단에 FMM 시트와 유리기판을 정렬시키는 보조 얼라인 키의 생성을 위한 얼라인 시트를 추가함으로써 FMM를 사용하는 OLED 박막 증착 공정에서의 불량 발생을 낮출 수 있도록 하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체 및 방법을 제공하는 것이다.Therefore, the purpose of the present invention is to manufacture a mask to be used on a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, by cutting the raw materials to a target length corresponding to the horizontal length of the 8th generation full-size glass substrate to create a unit raw material sheet. After manufacturing, a plurality of them are joined to create a large-area split ledger corresponding to the area of an 8th generation full-size glass substrate to manufacture a split ledger mask for thin film processing, and when creating a split ledger mask assembly, the split ledger mask is bonded to the top of the split ledger mask. A thin film process that reduces the occurrence of defects in the OLED thin film deposition process using FMM by adding an alignment sheet to both ends of the pattern sheet such as FMM to create an auxiliary alignment key that aligns the FMM sheet and the glass substrate. To provide a large-area split ledger mask assembly and method.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다. The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention that are not mentioned can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Additionally, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention can be realized by the means and combinations thereof indicated in the patent claims.
본 발명에 따른 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체로서, 제1 폭과 제1 길이를 가지는 복수의 기본 단위 시트를 접합하여 타겟 유리기판의 면적에 대응되는 원장으로 제작하며, 내부에 격자로 배열된 복수의 반개구부를 포함하는 분할 원장 마스크 시트와, 상기 분할 원장 마스크 시트가 접합되는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 접합된 상기 분할 원장 마스크 시트상 반개구부가 오픈된 상태에서 상기 분할 원장 마스크 시트의 상부에 접합되는 복수의 FMM 시트를 포함할 수 있다.A large-area split ledger mask assembly for thin film processing according to the present invention is manufactured by joining a plurality of basic unit sheets having a first width and a first length to form a ledger corresponding to the area of the target glass substrate, and arranged in a grid inside. A split ledger mask sheet including a plurality of half-openings, a mask frame to which the split ledger mask sheets are joined, and a half-opening part on the split ledger mask sheet joined to the mask frame in an open state. It may include a plurality of FMM sheets joined to the upper part of.
또한, 상기 분할 원장 마스크 시트는, 복수의 기본 단위 시트의 끝단을 맞댄 후 상기 분할 원장 마스크 시트의 표면이 평탄화되게 용접하여 원장으로 제작할수 있다.Additionally, the split ledger mask sheet can be manufactured into a raw sheet by joining the ends of a plurality of basic unit sheets and welding them so that the surface of the split ledger mask sheet is flattened.
또한, 상기 기본 단위 시트는, 일측 끝단 또는 양측 끝단의 기설정된 영역에 서로 다른 기본 단위 시트와 접합되기 위한 접합부가 형성되며, 상기 접합부는, 기본 단위 시트의 제1 두께의 1/2 두께로 사전 식각되며, 상기 접합부를 통해 복수의 기본 단위 시트를 연결한 후, 상기 분할 원장 마스크 시트의 표면이 평탄화되도록 상기 접합부를 용접하여 원장으로 제작할수 있다.In addition, the basic unit sheet has a joint formed at a preset area at one end or both ends to be joined to another basic unit sheet, and the joint has a thickness of 1/2 the first thickness of the basic unit sheet. It is etched, and after connecting a plurality of basic unit sheets through the joint, the joint can be welded to flatten the surface of the divided ledger mask sheet to produce a raw material.
또한, 상기 조립체는, 상기 FMM 시트의 양측단에 상기 FMM 시트와 연속되게 접합되며, 상기 유리기판과 상기 FMM 시트의 정렬을 위한 보조 얼라인 키가 형성되는 복수의 얼라인 시트를 더 포함할 수 있다.In addition, the assembly may further include a plurality of alignment sheets that are continuously bonded to the FMM sheet at both ends of the FMM sheet and on which auxiliary alignment keys for aligning the glass substrate and the FMM sheet are formed. there is.
또한, 상기 분할 원장 마스크 시트는, 상기 분할 원장 마스크 시트상 셀영역에 격자로 배열되는 복수의 반개구부와, 제1 폭을 가지고, 상기 분할 원장 마스크 시트상 상기 반개구부의 상측과 하측에 수평한 방향으로 형성되는 복수의 제1 살대와, 제2 폭을 가지고, 상기 분할 원장 마스크 시트상 상기 반개구부의 좌측과 우측에 수직한 방향으로 형성되어 상기 제1 살대와 직교하도록 형성되는 복수의 제2 살대와, 상기 제1 살대의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출되는 복수의 제1 돌출단과, 상기 제2 살대의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출되는 복수의 제2 돌출단과, 상기 제1 돌출단의 외측에 연결되어 각각의 제1 돌출단에 동일한 제1 인장력이 작용하도록 하는 제1 가드 스트립과, 상기 제2 돌출단의 외측에 연결되어 각각의 제2 돌출단에 동일한 제2 인장력이 작용하도록 하는 제2 가드 스트립을 포함할 수 있다.In addition, the divided ledger mask sheet has a plurality of half-openings arranged in a grid in the cell area on the divided ledger mask sheet, and has a first width, and has horizontal lines on the upper and lower sides of the half-openings on the divided ledger mask sheet. A plurality of first ribs formed in a direction, a plurality of second ribs having a second width, and formed in a direction perpendicular to the left and right sides of the half-opening portion on the divided raw mask sheet so as to be perpendicular to the first ribs. a spoke, a plurality of first protruding ends protruding in opposite directions from both ends of the first abutment, a plurality of second protruding ends protruding in opposite directions from both ends of the second abutment, and the first protruding ends a first guard strip connected to the outside of the strip so that the same first tensile force is applied to each of the first protruding ends, and a first guard strip connected to the outside of the second protruding end to apply the same second tensile force to each of the second protruding ends. It may include a second guard strip.
또한, 상기 반개구부는, 사각형으로 형성되며, 사각형의 각변에 대응하는 일정 폭의 테두리 영역이 상기 시트의 두께인 제1 두께보다 얇은 제2 두께로 습식 식각을 통해 사전 식각된 상태일 수 있다.In addition, the semi-opening portion may be formed in a rectangular shape, and an edge area of a certain width corresponding to each side of the rectangle may be pre-etched through wet etching to a second thickness that is thinner than the first thickness, which is the thickness of the sheet.
또한, 상기 반개구부는, 상기 하프 오픈 보조 마스크 시트가 레이저 스폿 용접을 통해 상기 마스크 프레임이 접합된 상태에서 펨토초 레이저 식각을 통해 완전히 오픈될 수 있다.Additionally, the half-opening portion may be completely opened through femtosecond laser etching while the half-open auxiliary mask sheet is joined to the mask frame through laser spot welding.
또한, 상기 제2 두께는, 상기 펨토초 레이저 식각을 통해 한번에 절단 가능한 두께일 수 있다.Additionally, the second thickness may be a thickness that can be cut at once through the femtosecond laser etching.
또한, 상기 얼라인 시트는, 자성 물질로 형성될 수 있다.Additionally, the align sheet may be formed of a magnetic material.
또한, 상기 얼라인 시트는, 비자성 물질로 형성되어, 유리 기판의 상부에 배치된 자성체에 의한 자력에 의해 상기 하프 오픈 보조 마스크 시트가 상기 유리 기판에 접촉되는 과정에서 상기 자력에 의해 상기 보조 얼라인 키가 틀어지는 것을 방지시킬 수 있다.In addition, the align sheet is formed of a non-magnetic material, and is used to align the auxiliary aligner by the magnetic force in the process of contacting the half-open auxiliary mask sheet with the glass substrate by the magnetic force generated by the magnetic material disposed on the upper part of the glass substrate. This can prevent the key from being twisted.
또한, 상기 보조 얼라인 키는, 상기 얼라인 시트가 상기 하프 오픈 보조 마스크 시트의 양끝단에 상기 패턴 시트와 연속되게 접합된 이후, 상기 유리 기판에 형성된 기준 얼라인 키와 정렬되는 상기 얼라인 시트상 대응되는 타겟 위치에 형성될 수 있다.In addition, the auxiliary align key is aligned with the reference align key formed on the glass substrate after the align sheet is continuously bonded to the pattern sheet at both ends of the half-open auxiliary mask sheet. It may be formed at the corresponding target location.
또한, 상기 보조 얼라인 키는, 상기 얼라인 시트상 상기 타겟 위치를 레이저로 관통시켜 생성할 수 있다.Additionally, the auxiliary align key can be created by penetrating the target position on the align sheet with a laser.
또한, 상기 패턴 시트는, FMM(fine metal mask) 시트일 수 있다.Additionally, the pattern sheet may be a fine metal mask (FMM) sheet.
또한, 본 발명에 따른 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체 제조 방법은, 시트의 원자재를 재단하여 제1 폭과 제1 길이를 가지는 기본 단위 시트로 제작하는 단계와, 복수의 기본 단위 시트를 접합하여 타겟 유리기판의 면적에 대응하는 분할 원장 마스크 시트로 제작하는 단계와, 상기 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합되는 단계와, 상기 분할 원장 마스크 시트의 셀영역내 반개구부를 레이저 식각을 통해 완전히 오픈시키는 단계와, 상기 마스크 프레임에 접합된 상기 분할 원장 마스크 시트상 반개구부가 오픈된 상태에서 상기 분할 원장 마스크 시트의 상부에 FMM 시트를 접합시키는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the method of manufacturing a large-area split ledger mask assembly for thin film processing according to the present invention includes the steps of cutting raw materials of a sheet to manufacture a basic unit sheet having a first width and a first length, and joining a plurality of basic unit sheets. manufacturing a divided ledger mask sheet corresponding to the area of the target glass substrate, bonding the divided ledger mask sheet to a mask frame, and completely laser etching the half-opening portion in the cell area of the divided ledger mask sheet. It may include the step of opening, and the step of bonding an FMM sheet to the upper part of the split mother mask sheet in a state in which a half opening on the split mother mask sheet bonded to the mask frame is open.
본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 마스크를 제작함에 있어서, 원자재를 8세대 풀사이즈 유리기판의 가로 길이에 해당하는 타겟 길이로 절단하여 단위 원자재 시트를 제작한 후, 복수개를 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 대면적 분할 원장으로 생성하여 박막 공정용 분할 원장 마스크를 제조하고, 분할 원장 마스크 조립체 생성 시 분할 원장 마스크의 상부에 접합되는 FMM 등의 패턴 시트의 양측단에 FMM 시트와 유리기판을 정렬시키는 보조 얼라인 키의 생성을 위한 얼라인 시트를 추가함으로써 FMM를 사용하는 OLED 박막 증착 공정에서의 불량 발생을 낮출 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in manufacturing a mask to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, raw materials are cut to a target length corresponding to the horizontal length of the 8th generation full-size glass substrate to form unit raw materials. After manufacturing the sheet, a plurality of sheets are joined to create a large-area split ledger corresponding to the area of an 8th generation full-size glass substrate to manufacture a split ledger mask for thin film processing. When creating a split ledger mask assembly, a split ledger mask is placed on the top of the split ledger mask. By adding an alignment sheet to create an auxiliary alignment key that aligns the FMM sheet and the glass substrate to both ends of the pattern sheet such as the FMM to be bonded, the occurrence of defects in the OLED thin film deposition process using FMM can be reduced.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다. In addition to the above-described effects, specific effects of the present invention are described below while explaining specific details for carrying out the invention.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 일실시예에 따라 8세대 풀사이즈 유리기판에 대응되는 인바의 분할 원장 제작 개념도를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 분할 원장 마스크 시트와 마스크 프레임의 구조를 보여주는 사시도와 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 안착시킨 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시킨 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일실예에 따른 레이저 식각을 통해 반개구부를 완전히 오픈시킨 분할 원장 마스크 시트 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 분할 원장 마스크 시트의 상부에 FMM 시트를 접합시키는 개념도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 FMM 시트가 접합된 대면적 분할 원장 마스크 조립체의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 얼라인 시트가 추가된 대면적 분할 원장 마스크 조립체의 평면도이다.Figures 1 and 2 show a conceptual diagram of Invar's division ledger production corresponding to an 8th generation full-size glass substrate according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view and a plan view showing the structures of a split ledger mask sheet and a mask frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a plan view of a split ledger mask sheet seated on a mask frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a plan view of a split raw mask sheet bonded to a mask frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a plan view of a split mother mask sheet with the half-opening completely opened through laser etching according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a conceptual diagram of bonding an FMM sheet to the upper part of a split mother mask sheet according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a plan view of a large-area split ledger mask assembly to which FMM sheets are bonded according to an embodiment of the present invention.
Figure 9 is a plan view of a large-area split ledger mask assembly to which an alignment sheet is added according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 동작 원리를 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the operating principle of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In the following description of the present invention, if a detailed description of a known function or configuration is judged to unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. The terms described below are defined in consideration of the functions in the present invention, and may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 일실시예에 따라 8세대 풀사이즈 유리기판에 대응되는 인바의 분할 원장 제작 개념도를 도시한 것이다.Figures 1 and 2 show a conceptual diagram of Invar's division ledger production corresponding to an 8th generation full-size glass substrate according to an embodiment of the present invention.
이하, 도 1을 참조하여 인바를 일정 규격으로 분할한 후 접합하여 8세대 풀사이즈용 분할 원장을 제작하는 방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to FIG. 1, a method of producing an 8th generation full-size split ledger by dividing Invar into certain sizes and then joining them will be described in detail.
먼저, OLED 박막 공정용 마스크의 원자재로 사용되는 인바의 경우 원장으로 제작할 수 있는 최대폭이 1020 ~ 1040mm으로써 8세대 풀사이즈(2500×2800mm)에 사용할 수 있는 오픈 마스크 등을 인바를 사용하여 원장으로 제조할 수 있는 방법이 없었음은 전술한 바와 같다.First, in the case of Invar, which is used as a raw material for masks for the OLED thin film process, the maximum width that can be manufactured as a ledger is 1020 ~ 1040mm, so open masks that can be used in the 8th generation full size (2500 × 2800mm) are manufactured using Invar as a ledger. As mentioned above, there was no way to do it.
이에 따라, 본 발명에서는 예를 들어 원자재인 인바를 재단하여 인바의 폭은 800mm이고, 인바의 길이는 2800mm인 기본 단위 시트(125)를 제작하고, 3개의 기본 단위 시트를 접합하여 8세대 풀사이즈용 유리기판(115)의 크기에 대응하는 분할 원장 마스크 시트(310)를 제작한다.Accordingly, in the present invention, for example, by cutting Invar, which is a raw material, to produce a basic unit sheet 125 with a width of Invar of 800 mm and a length of Invar of 2800 mm, and by joining three basic unit sheets to form an 8th generation full-size sheet. A split original mask sheet 310 corresponding to the size of the glass substrate 115 is manufactured.
이러한 분할 원장 마스크 시트(310)를 제작함에 있어서, 도 2의 (a)에서와 같이 복수의 기본 단위 시트의 끝단을 맞댄 후 분할 원장 마스크 시트의 표면이 평탄화되게 각 기본 단위 시트의 끝단이 맞닿은 접합면(213)을 용접하여 분할 원장 마스크 시트로 제작할 수 있다. 이와 같이 제작하는 경우 3개의 기본 단위 시트가 접합된 분할 원장 마스크 시트는 예를 들어 폭이 2400mm이고, 길이가 2800mm가 되어 8세대 풀사이즈용으로 사용이 가능하게 된다. In manufacturing such a divided ledger mask sheet 310, the ends of a plurality of basic unit sheets are brought together as shown in (a) of FIG. 2, and then the ends of each basic unit sheet are joined so that the surface of the divided ledger mask sheet is flattened. The surface 213 can be welded to produce a split raw mask sheet. When manufactured in this way, the split raw mask sheet made of three basic unit sheets joined has, for example, a width of 2400 mm and a length of 2800 mm, making it possible to use it for the 8th generation full size.
또한, 분할 원장 마스크 시트를 제작함에 있어서, 도 2의 (b)에서와 보여지는 바와 같이 각 기본 단위 시트(125)의 일측 끝단 또는 양측 끝단의 기설정된 영역에 서로 다른 기본 단위 시트와 접합되기 위한 접합부(217)를 형성시키고, 분할 원장 마스크 시트가 평탄화되도록 3개 기본 단위 시트의 각 접합부를 맞대어 용접하여 분할 원장 마스크 시트를 제작할 수 있다. 이와 같이 접합부를 통해 3개의 기본 단위 시트를 접합하여 분할 원장 마스크 시트를 제작하는 경우 도 1의 (a)와 비교하여 접촉면의 강도를 높일 수 있어 분할 원장 마스크 시트를 보다 안정적으로 제작할 수 있다. In addition, in manufacturing a split ledger mask sheet, as shown in (b) of FIG. 2, a preset area at one end or both ends of each basic unit sheet 125 is used to bond with different basic unit sheets. A split ledger mask sheet can be manufactured by forming a joint 217 and butt-welding each joint of the three basic unit sheets so that the split ledger mask sheet is flattened. In this way, when manufacturing a split ledger mask sheet by joining three basic unit sheets through a joint, the strength of the contact surface can be increased compared to (a) in Figure 1, so the split ledger mask sheet can be manufactured more stably.
이때, 위와 같은 접합부(217)는 예를 들어 기본 단위 시트의 제1 두께의 1/2 두께로 사전 식각되며, 상기 접합부를 통해 복수의 기본 단위 시트를 연결하여 용접하는 경우 분할 원장 마스크 시트의 표면이 평탄화가 이루어지게 된다.At this time, the above joint 217 is pre-etched to, for example, a thickness of 1/2 the first thickness of the basic unit sheet, and when a plurality of basic unit sheets are connected and welded through the joint, the surface of the divided ledger mask sheet This leveling is achieved.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 분할 원장 마스크 시트와 마스크 프레임의 구조를 보여주는 사시도와 평면도이다.Figure 3 is a perspective view and a plan view showing the structures of a split ledger mask sheet and a mask frame according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 안착시킨 평면도이다. Figure 4 is a plan view of a split ledger mask sheet seated on a mask frame according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시킨 평면도이다.Figure 5 is a plan view of a split raw mask sheet bonded to a mask frame according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일실예에 따른 레이저 식각을 통해 반개구부를 완전히 오픈시킨 분할 원장 마스크 시트 평면도이다.Figure 6 is a plan view of a split mother mask sheet with the half-opening completely opened through laser etching according to an embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 분할 원장 마스크 시트의 상부에 FMM 시트를 접합시키는 개념도이다.Figure 7 is a conceptual diagram of bonding an FMM sheet to the upper part of a split mother mask sheet according to an embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 FMM 시트가 접합된 대면적 분할 원장 마스크 조립체의 평면도이다.Figure 8 is a plan view of a large-area split ledger mask assembly to which FMM sheets are bonded according to an embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 얼라인 시트가 추가된 대면적 분할 원장 마스크 조립체의 평면도이다.Figure 9 is a plan view of a large-area split ledger mask assembly to which an alignment sheet is added according to an embodiment of the present invention.
먼저, 앞서 도 1 내지 도 2에서와 같이 3개의 기본 단위 시트(125)를 접합하여 분할 원장으로 제작한 분할 원장 마스크는 마스크 프레임상 플레임 그루부(415)에 안착되도록 테두리 부분이 제1 살대와 제2 살대, 그리고, 제1 가이드 스트립과 제2 가이드 스트립 등이 형성되도록 사전 가공될 수 있다.First, as shown in FIGS. 1 and 2, the split ledger mask made of a split ledger by joining three basic unit sheets 125 has an edge portion aligned with the first rib so that it is seated in the flame groove 415 on the mask frame. It may be pre-processed to form a second abutment, a first guide strip, a second guide strip, etc.
또한, 본 발명에 따라 분할 원장 마스크 시트(310) 내의 개구부는 완전히 개구되지 않은 반개구부(470)로 구현된다. 이때, 본 발명의 반개구부(470)는 도 4에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 마스크 시트상 사전 식각을 통해 개구 영역(475) 중 테두리 영역(473)만을 시트의 두께인 제1 두께보다 얇은 제2 두께가 되도록 식각한 상태를 의미할 수 있다.In addition, according to the present invention, the opening in the split ledger mask sheet 310 is implemented as a half-opening 470 that is not completely open. At this time, as shown in FIG. 4, the half-opening portion 470 of the present invention is formed by pre-etching the divided ledger mask sheet so that only the border region 473 of the opening region 475 is thinner than the first thickness, which is the thickness of the sheet. This may mean that it has been etched to become thick.
이러한 제2 두께는 펨토초 레이저 식각 등을 통해 한번에 절단 가능한 두께로 미리 계산되어 설정될 수 있으며, 또는 예를 들어 기본 단위 시트의 제1 두께의 1/4 ~ 1/3 두께로 설정될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. This second thickness may be pre-calculated and set to a thickness that can be cut at once through femtosecond laser etching, etc., or, for example, may be set to a thickness of 1/4 to 1/3 of the first thickness of the basic unit sheet. It is not limited to this.
본 발명에서는 분할 원장 마스크상 각 셀에 해당하는 개구 영역을 완전히 오픈시키지 않고, 이러한 반개구 상태로 형성시킨 상태에서 분할 원장 마스크 시트(310)를 인장시켜 마스크 프레임(390)에 접합시킨 후, 추후 레이저(392) 식각 등을 통해 개구시키게 된다. 이때, 분할 원장 마스크 시트의 셀영역을 반개구 상태에서 인장함에 따라 개구 영역을 완전히 오픈시킨 후 인장시키는 것과 비교하여 분할 원장 마스크 시트의 전체 영역에 보다 균일한 인장력이 인가될 수 있어 분할 원장 마스크 시트가 최적 조건으로 인장된 마스크 조립체를 생성할 수 있는 것이다.In the present invention, the opening area corresponding to each cell on the split ledger mask is not completely opened, but the split ledger mask sheet 310 is stretched and bonded to the mask frame 390 in this semi-open state, and then later bonded to the mask frame 390. It is opened through laser 392 etching, etc. At this time, as the cell area of the split ledger mask sheet is stretched in a half-open state, a more uniform tensile force can be applied to the entire area of the split ledger mask sheet compared to stretching it after the opening area is fully opened, so that the split ledger mask sheet It is possible to create a mask assembly that is stretched under optimal conditions.
즉, 분할 원장 마스크 시트(310)는 수평방향으로 형성된 제1 살대(322)와 수직방향으로 형성된 제2 살대(324)로 이루어지는 격자 내부에 반개구부(470)가 배열되는 형태를 가질 수 있다.That is, the split ledger mask sheet 310 may have a shape in which half-openings 470 are arranged within a lattice composed of first bars 322 formed in the horizontal direction and second bars 324 formed in the vertical direction.
반개구부(470)는 테두리 영역(473)만 사전 식각을 통해 미리 식각된 것으로, 마스크 조립체 생성후에는 완전히 오픈되어 아무것도 없는 개방된 공간이 된다. 위와 같은 사전 식각은 습식 식각 방식으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 각각의 반개구부(470)에 의해 한정되는 영역은 유리 기판 상에서 각각의 셀인 하나의 디스플레이 영역을 정의할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The half-opening portion 470 is pre-etched by pre-etching only the border area 473, and after the mask assembly is created, it is completely opened to become an open space with nothing in it. The above pre-etching may be performed using a wet etching method, but is not limited to this. The area defined by each half-opening 470 may define one display area, which is each cell, on the glass substrate, but is not limited thereto.
제1 살대(322)는 제1 폭을 가지고, 분할 원장 마스크 시트상 반개구부(470)의 상측과 하측에 수평한 방향으로 복수개가 형성될 수 있다.The first ribs 322 may have a first width and may be formed in a plurality in a horizontal direction on the upper and lower sides of the half-opening portion 470 on the split raw mask sheet.
제2 살대(324)는 제2 폭을 가지고, 분할 원장 마스크 시트상 반개구부(470)의 좌측과 우측에 수직한 방향으로 형성되어 제1 살대와 직교하도록 복수개가 형성될 수 있다. The second slats 324 may have a second width, be formed in a direction perpendicular to the left and right sides of the half-opening portion 470 on the split raw mask sheet, and may be formed in plural numbers to be perpendicular to the first slats.
또한, 제1 살대의 양 단부에는 서로 반대 방향으로 돌출되는 복수의 제1 돌출단(323)이 형성될 수 있고, 제2 살대의 양단부에는 서로 반대 방향으로 돌출되는 복수의 제2 돌출단(325)이 형성될 수 있다.In addition, a plurality of first protruding ends 323 protruding in opposite directions may be formed at both ends of the first abutment, and a plurality of second protruding ends 325 protruding in opposite directions may be formed at both ends of the second abutment. ) can be formed.
제1 가드 스트립(510)은 돌출단(323, 325) 외측에 형성되며, 제1 돌출단(323)을 서로 연결시킨다.The first guard strip 510 is formed outside the protruding ends 323 and 325, and connects the first protruding ends 323 to each other.
제2 가드 스트립(520)은 돌출단(323, 325) 외측에 형성되며, 제2 돌출단(325)을 서로 연결시킨다.The second guard strip 520 is formed outside the protruding ends 323 and 325, and connects the second protruding ends 325 to each other.
이러한 제1 가드 스트립(510)과 제2 가드 스트립(520)은 도 5에서 보여지는 바와 같이 돌출단(323, 325)을 보호하는 역할을 수행함과 더불어 각 돌출단(323, 325)을 인장하기 위해 클램프(도시하지 않음)에 연결할 때 용이하게 연결할 수 있도록 하기 위한 것이다. 클램프가 각각의 제1 돌출단과 각각의 제2 돌출단을 잡고 인장하는 것보다 제1 가드 스트립(510)과 제2 가드 스트립(520)을 잡고 인장할 때 각 돌출단에 균일한 인장력이 인가되도록 하기 위한 것이다.As shown in FIG. 5, the first guard strip 510 and the second guard strip 520 serve to protect the protruding ends 323 and 325 and also tension the protruding ends 323 and 325. This is to facilitate easy connection when connecting to a clamp (not shown). When the clamp holds and tensions the first guard strip 510 and the second guard strip 520 rather than holding and tensioning each first protruding end and each second protruding end, a uniform tensile force is applied to each protruding end. It is for this purpose.
즉, 제1 가드 스트립(510)과 제2 가드 스트립(520)은 분할 원장 마스크 시트(310)를 마스크 프레임(390)에 접합시키기 위해 인장시킬 때 클램프에 의해 양방향으로 당겨지는 고리 역할을 수행하게 된다.That is, the first guard strip 510 and the second guard strip 520 serve as rings that are pulled in both directions by the clamp when the split ledger mask sheet 310 is tensioned to join the mask frame 390. do.
또한, 이러한 제1 가드 스트립(510)과 제2 가드 스트립(520)은 분할 원장 마스크 시트(310)를 마스크 프레임에 접합한 후에는 도 5에서 보여지는 바와 같이 절단하여 제거할 수 있다. Additionally, the first guard strip 510 and the second guard strip 520 can be removed by cutting them as shown in FIG. 5 after bonding the split raw mask sheet 310 to the mask frame.
이하에서는, 도 3 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 분할 원장 마스크 시트를 이용한 FMM 마스크 조립체의 제조과정에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, the manufacturing process of the FMM mask assembly using a split motherboard mask sheet according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 8.
먼저, 본 발명의 분할 원장 마스크 조립체에서는 도 3에서와 같은 분할 원장 마스크 시트를 8세대 풀사이즈용 FMM 마스크 조립체의 FMM 보조 마스크로 이용할 수 있으며, FMM 보조 마스크 시트로 활용될 분할 원장 마스크 시트(310)와 마스크 프레임(390)을 정렬시킨다. First, in the split ledger mask assembly of the present invention, the split ledger mask sheet as shown in Figure 3 can be used as an FMM auxiliary mask of the 8th generation full-size FMM mask assembly, and the split ledger mask sheet (310) to be used as an FMM auxiliary mask sheet ) and the mask frame 390 are aligned.
이때, 이러한 분할 원장 마스크 시트는 전술한 바와 같이 분할 원장 마스크 시트(310) 내 완전히 개구되지 않은 반개구부(470)를 가지도록 구현되며, 반개구부는 도 4에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 마스크 시트상 사전 식각을 통해 개구 영역(475) 중 테두리 영역(473)만을 시트의 두께인 제1 두께보다 얇은 제2 두께가 되도록 식각한 상태를 의미할 수 있다.At this time, as described above, this split ledger mask sheet is implemented to have a half-opening portion 470 that is not completely open within the split ledger mask sheet 310, and the half-opening portion is on the split ledger mask sheet as shown in FIG. 4. This may refer to a state in which only the edge area 473 of the opening area 475 is etched through pre-etching to have a second thickness that is thinner than the first thickness, which is the thickness of the sheet.
본 발명에서는 분할 원장 마스크 시트상 개구영역을 완전히 오픈시키지 않고, 이러한 반개구 상태로 형성시킨 상태에서 분할 원장 마스크 시트(310)를 인장시켜 마스크 프레임(390)에 접합시킨 후, 추후 레이저 식각 등을 통해 개구시키게 된다. 이때, 분할 원장 마스크 시트를 반개구 상태에서 인장함에 따라 개구부를 완전히 오픈시킨 후 인장시키는 것과 비교하여 분할 원장 마스크 시트의 전체 영역에 보다 균일한 인장력이 인가될 수 있어 분할 원장 마스크 시트가 최적 조건으로 인장된 마스크 조립체를 생성할 수 있는 것이다.In the present invention, the opening area on the split ledger mask sheet is not completely opened, but the split ledger mask sheet 310 is formed in this semi-open state, is stretched and bonded to the mask frame 390, and is later subjected to laser etching, etc. It is opened through. At this time, as the split ledger mask sheet is stretched in a half-open state, a more uniform tensile force can be applied to the entire area of the split ledger mask sheet compared to stretching it after the opening is fully opened, so the split ledger mask sheet is in optimal conditions. It is possible to create a stretched mask assembly.
이어, 도 4에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임상 형성된 분할 원장 마스크 시트의 안착을 위한 그루브(415)에 안착시킨다. Next, as shown in FIG. 4, the split mother mask sheet is placed in the groove 415 for seating the split mother mask sheet formed on the mask frame.
그런 후, 도 5에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 마스크 시트의 제1 가드 스트립(510)과 제2 가드 스트립(520)을 클램프로 잡아서 인장시키고, 제1 살대(322)와 제2 살대(324)를 마스크 프레임에 레이저를 스폿 용접 등으로 접합시킨 후, 제1 가드 스트립(510)과 제2 가드 스트립(520)을 제거하여 분할 원장 마스크 시트(310)를 마스크 프레임(390)에 접합하게 된다.Then, as shown in Figure 5, the first guard strip 510 and the second guard strip 520 of the split ledger mask sheet are clamped and tensioned, and the first stem 322 and the second stem 324 are tightened. After joining the mask frame to the mask frame by spot welding, etc., the first guard strip 510 and the second guard strip 520 are removed to bond the split raw mask sheet 310 to the mask frame 390.
이어, 도 6에서 보여지는 바와 같이 분할 원장 마스크 시트내 각 반개구부(470)의 테두리 영역(473)을 레이저로 식각하여 완전히 개방되도록 한다. Next, as shown in FIG. 6, the edge area 473 of each half-opening 470 in the split ledger mask sheet is etched with a laser to completely open it.
그런 후, 도 7에서와 같이 FMM 시트(715) 등의 패턴 시트를 분할 원장 마스크 시트(310)의 상부에 하나씩 접합하여 도 8에서와 같이 분할 원장 마스크 시트의 전면에 패턴 시트를 접합하여 분할 원장 마스크 조립체 즉, 예를 들어 FMM 마스크 조립체를 완성한다. 이때, 이러한 패턴 시트는 분할 원장 마스크 시트의 제2 살대(324) 사이에 부착되어 패턴 시트의 사이의 틈새가 제2 살대(324)에 의해서 가려지도록 한다.Then, as shown in FIG. 7, pattern sheets such as the FMM sheet 715 are bonded one by one to the upper part of the split ledger mask sheet 310, and the pattern sheets are bonded to the front of the split ledger mask sheet as shown in FIG. 8 to form a split ledger. Complete the mask assembly, for example the FMM mask assembly. At this time, such a pattern sheet is attached between the second bars 324 of the split raw mask sheet so that the gap between the pattern sheets is covered by the second bars 324.
한편, 도 8에서 보여지는 바와 같은 분할 원장 마스크 조립체의 구조에서 마스크 프레임(390)의 좌우측 양끝단에서 패턴 시트와 프레임간 빈공간이 존재하며 유리 기판상 유기물 증착시 유기물이 빈공간을 통과해 유리 기판에 증착됨으로서 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.Meanwhile, in the structure of the split ledger mask assembly as shown in FIG. 8, there is an empty space between the pattern sheet and the frame at both left and right ends of the mask frame 390, and when organic materials are deposited on the glass substrate, the organic materials pass through the empty space and form the glass. There was a problem that defects could occur due to deposition on the substrate.
이에 따라, 본 발명의 실시예에서는 도 9에서 보여지는 바와 같이 프레임의 좌우측 양끝단에 패턴시트와 연결되면서 빈공간을 막을 수 있는 얼라인 시트(917)를 추가로 접합하여 분할 원장 마스크 조립체를 완성한다.Accordingly, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 9, an alignment sheet 917, which is connected to the pattern sheet and can block the empty space, is additionally bonded to both left and right ends of the frame to complete the split ledger mask assembly. do.
이러한 얼라인 시트에는 유리 기판과 분할 원장 마스크 시트의 정렬을 위한 보조 얼라인 키가 형성될 수 있다. 또한, 얼라인 시트는 인바 등의 자성물질로 형성될 수도 있으며, 서스(SUS : Steel Use Stainless : 스테인리스 스틸) 등의 비자성 물질로 형성될 수도 있다.An auxiliary align key for aligning the glass substrate and the split ledger mask sheet may be formed on this align sheet. Additionally, the align sheet may be formed of a magnetic material such as Invar, or may be formed of a non-magnetic material such as SUS (Steel Use Stainless).
이때, 얼라인 시트가 서스 등의 비자성 물질로 형성되는 경우, 유리 기판의 상부에 배치된 자성체에 의한 자력에 의해 상기 분할 원장 마스크 시트가 상기 유리 기판에 접촉되는 과정에서 자력에 의해 얼라인 시트가 영향을 받지 않음으로써 보조 얼라인 키가 틀어지는 것을 방지시킬 수 있다.At this time, when the align sheet is formed of a non-magnetic material such as a sus, the split ledger mask sheet is brought into contact with the glass substrate due to the magnetic force generated by the magnetic material disposed on the upper part of the glass substrate, and the align sheet is generated by magnetic force. By not being affected, the auxiliary alignment key can be prevented from being twisted.
또한, 위와 같은 보조 얼라인 키는 얼라인 시트가 상기 분할 원장 오픈 마스크 시트의 양끝단에 상기 오픈 마스크 시트와 연속되게 접합된 이후, 상기 유리 기판에 형성된 기준 얼라인 키와 정렬되는 얼라인 시트상 대응되는 타겟 위치에 형성될 수 있으며, 이러한 보조 얼라인 키는 얼라인 시트상 타겟 위치를 레이저로 관통시켜 생성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the above auxiliary align key is formed on an align sheet that is aligned with the reference align key formed on the glass substrate after the align sheet is continuously bonded to the open mask sheet at both ends of the split ledger open mask sheet. It can be formed at a corresponding target position, and this auxiliary alignment key can be created by penetrating the target position on the alignment sheet with a laser, but is not limited to this.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 마스크를 제작함에 있어서, 원자재를 8세대 풀사이즈 유리기판의 가로 길이에 해당하는 타겟 길이로 절단하여 단위 원자재 시트를 제작한 후, 복수개를 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 대면적 분할 원장으로 생성하여 박막 공정용 분할 원장 마스크를 제조하고, 분할 원장 마스크 조립체 생성 시 분할 원장 마스크의 상부에 접합되는 FMM 등의 패턴 시트의 양측단에 FMM 시트와 유리기판을 정렬시키는 보조 얼라인 키의 생성을 위한 얼라인 시트를 추가함으로써 FMM를 사용하는 OLED 박막 증착 공정에서의 불량 발생을 낮출 수 있도록 한다.As described above, according to one embodiment of the present invention, in manufacturing a mask to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, the raw materials are adjusted to a target length corresponding to the horizontal length of the 8th generation full-size glass substrate. After producing a unit raw material sheet by cutting it, multiple pieces are joined to create a large-area split ledger corresponding to the area of an 8th generation full-size glass substrate to manufacture a split ledger mask for thin film processing, and split when creating a split ledger mask assembly. Defects occur in the OLED thin film deposition process using FMM by adding an alignment sheet to create an auxiliary alignment key that aligns the FMM sheet and the glass substrate to both ends of the pattern sheet such as FMM that is bonded to the top of the mother mask. to be able to lower it.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrative drawings, but the present invention is not limited to the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that transformation can occur. In addition, although the operational effects according to the configuration of the present invention were not explicitly described and explained while explaining the embodiments of the present invention above, it is natural that the predictable effects due to the configuration should also be recognized.
125 : 기본 단위 시트 387 : 셀영역
310 : 분할 원장 마스크 시트 390 : 마스크 프레임
322 : 제1 살대 324 : 제2 살대
323 : 제1 돌출단 325 : 제2 돌출단
470 : 반개구부 475 : 개구 영역
510 : 제1 가드 스트립 520 : 제2 가드 스트립
415 : 플레임 그루부 715 : FMM 시트125: Basic unit sheet 387: Cell area
310: Split ledger mask sheet 390: Mask frame
322: 1st rib 324: 2nd rib
323: first protruding end 325: second protruding end
470: half-opening 475: opening area
510: first guard strip 520: second guard strip
415: Flame groove 715: FMM sheet
Claims (14)
제1 폭과 제1 길이를 가지는 복수의 기본 단위 시트를 접합하여 타겟 유리기판의 면적에 대응되는 원장으로 제작하며, 내부에 격자로 배열된 복수의 반개구부를 포함하는 분할 원장 마스크 시트와,
상기 분할 원장 마스크 시트가 접합되는 마스크 프레임과,
상기 마스크 프레임에 접합된 상기 분할 원장 마스크 시트상 반개구부가 오픈된 상태에서 상기 분할 원장 마스크 시트의 상부에 접합되는 복수의 FMM 시트를
포함하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.A large-area split ledger mask assembly for thin film processing,
A divided ledger mask sheet manufactured by bonding a plurality of basic unit sheets having a first width and a first length into a ledger corresponding to the area of the target glass substrate, and including a plurality of half-openings arranged in a grid therein;
a mask frame to which the split ledger mask sheets are joined;
A plurality of FMM sheets bonded to the upper part of the split mother mask sheet in a state in which a half opening on the split mother mask sheet bonded to the mask frame is open.
A large-area split ledger mask assembly for thin film processing comprising:
상기 분할 원장 마스크 시트는,
복수의 기본 단위 시트의 끝단을 맞댄 후 상기 분할 원장 마스크 시트의 표면이 평탄화되게 용접하여 원장으로 제작하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체. According to claim 1,
The split ledger mask sheet is,
A large-area split ledger mask assembly for a thin film process that is manufactured into a ledger by joining the ends of a plurality of basic unit sheets and welding them so that the surface of the divided ledger mask sheet is flattened.
상기 기본 단위 시트는,
일측 끝단 또는 양측 끝단의 기설정된 영역에 서로 다른 기본 단위 시트와 접합되기 위한 접합부가 형성되며, 상기 접합부는, 기본 단위 시트의 제1 두께의 1/2 두께로 사전 식각되며, 상기 접합부를 통해 복수의 기본 단위 시트를 연결한 후, 상기 분할 원장 마스크 시트의 표면이 평탄화되도록 상기 접합부를 용접하여 원장으로 제작하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 1,
The basic unit sheet is,
A joint for joining different basic unit sheets is formed in a preset area at one end or both ends, the joint is pre-etched to a thickness of 1/2 of the first thickness of the basic unit sheet, and a plurality of joints are formed through the joint. A large-area split ledger mask assembly for a thin film process that is manufactured into a ledger by connecting the basic unit sheets and then welding the joint so that the surface of the split ledger mask sheet is flattened.
상기 조립체는,
상기 FMM 시트의 양측단에 상기 FMM 시트와 연속되게 접합되며, 상기 유리기판과 상기 FMM 시트의 정렬을 위한 보조 얼라인 키가 형성되는 복수의 얼라인 시트를 더 포함하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 1,
The assembly is,
A large-area split ledger for thin film processing further comprising a plurality of alignment sheets that are continuously bonded to the FMM sheet at both ends of the FMM sheet and on which auxiliary alignment keys are formed for aligning the glass substrate and the FMM sheet. Mask assembly.
상기 분할 원장 마스크 시트는,
상기 분할 원장 마스크 시트상 셀영역에 격자로 배열되는 복수의 반개구부와,
제1 폭을 가지고, 상기 분할 원장 마스크 시트상 상기 반개구부의 상측과 하측에 수평한 방향으로 형성되는 복수의 제1 살대와,
제2 폭을 가지고, 상기 분할 원장 마스크 시트상 상기 반개구부의 좌측과 우측에 수직한 방향으로 형성되어 상기 제1 살대와 직교하도록 형성되는 복수의 제2 살대와,
상기 제1 살대의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출되는 복수의 제1 돌출단과,
상기 제2 살대의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출되는 복수의 제2 돌출단과,
상기 제1 돌출단의 외측에 연결되어 각각의 제1 돌출단에 동일한 제1 인장력이 작용하도록 하는 제1 가드 스트립과,
상기 제2 돌출단의 외측에 연결되어 각각의 제2 돌출단에 동일한 제2 인장력이 작용하도록 하는 제2 가드 스트립을 포함하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 1,
The split ledger mask sheet is,
a plurality of half-openings arranged in a grid in a cell area on the divided ledger mask sheet;
a plurality of first strips having a first width and formed in a horizontal direction above and below the half-opening portion on the divided raw mask sheet;
a plurality of second strips having a second width and formed in a direction perpendicular to the left and right sides of the half-opening portion on the divided raw mask sheet and formed to be perpendicular to the first strip;
a plurality of first protruding ends protruding in opposite directions from both ends of the first abutment;
a plurality of second protruding ends protruding in opposite directions from both ends of the second abutment;
A first guard strip connected to the outside of the first protruding end so that the same first tensile force is applied to each first protruding end,
A large-area split ledger mask assembly for a thin film process including a second guard strip connected to the outside of the second protruding end to apply the same second tensile force to each second protruding end.
상기 반개구부는,
사각형으로 형성되며,
사각형의 각변에 대응하는 일정 폭의 테두리 영역이 상기 시트의 두께인 제1 두께보다 얇은 제2 두께로 습식 식각을 통해 사전 식각된 상태인 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 5,
The semi-opening part is
Formed into a square,
A large-area split ledger mask assembly for a thin film process in which an edge area of a certain width corresponding to each side of a square is pre-etched through wet etching to a second thickness thinner than the first thickness, which is the thickness of the sheet.
상기 반개구부는,
상기 하프 오픈 보조 마스크 시트가 레이저 스폿 용접을 통해 상기 마스크 프레임이 접합된 상태에서 펨토초 레이저 식각을 통해 완전히 오픈되는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 6,
The semi-opening part is
A large-area split ledger mask assembly for thin film processing in which the half-open auxiliary mask sheet is fully opened through femtosecond laser etching while the mask frame is joined through laser spot welding.
상기 제2 두께는,
상기 펨토초 레이저 식각을 통해 한번에 절단 가능한 두께인 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 7,
The second thickness is,
A large-area split ledger mask assembly for thin film processing whose thickness can be cut at once through the femtosecond laser etching.
상기 얼라인 시트는,
자성 물질로 형성되는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 4,
The alignment sheet is,
A large-area split ledger mask assembly for thin film processing made of magnetic material.
상기 얼라인 시트는,
비자성 물질로 형성되어, 유리 기판의 상부에 배치된 자성체에 의한 자력에 의해 상기 하프 오픈 보조 마스크 시트가 상기 유리 기판에 접촉되는 과정에서 상기 자력에 의해 상기 보조 얼라인 키가 틀어지는 것을 방지시키는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 4,
The alignment sheet is,
A thin film formed of a non-magnetic material that prevents the auxiliary aligner key from being twisted by the magnetic force generated by the magnetic material disposed on the upper part of the glass substrate when the half-open auxiliary mask sheet contacts the glass substrate. Large area split ledger mask assembly for processing.
상기 보조 얼라인 키는,
상기 얼라인 시트가 상기 하프 오픈 보조 마스크 시트의 양끝단에 상기 패턴 시트와 연속되게 접합된 이후, 상기 유리 기판에 형성된 기준 얼라인 키와 정렬되는 상기 얼라인 시트상 대응되는 타겟 위치에 형성되는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 10,
The auxiliary align key is,
After the alignment sheet is continuously bonded to the pattern sheet at both ends of the half-open auxiliary mask sheet, a thin film is formed at a corresponding target position on the alignment sheet aligned with the reference alignment key formed on the glass substrate. Large area split ledger mask assembly for processing.
상기 보조 얼라인 키는,
상기 얼라인 시트상 상기 타겟 위치를 레이저로 관통시켜 생성하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 11,
The auxiliary align key is,
A large-area split ledger mask assembly for thin film processing that is created by penetrating the target position on the align sheet with a laser.
상기 패턴 시트는,
FMM(fine metal mask) 시트인 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체.According to claim 1,
The pattern sheet is,
A large-area split ledger mask assembly for thin film processing, which is a fine metal mask (FMM) sheet.
시트의 원자재를 재단하여 제1 폭과 제1 길이를 가지는 기본 단위 시트로 제작하는 단계와,
복수의 기본 단위 시트를 접합하여 타겟 유리기판의 면적에 대응하는 분할 원장 마스크 시트로 제작하는 단계와,
상기 분할 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합되는 단계와,
상기 분할 원장 마스크 시트의 셀영역내 반개구부를 레이저 식각을 통해 완전히 오픈시키는 단계와,
상기 마스크 프레임에 접합된 상기 분할 원장 마스크 시트상 반개구부가 오픈된 상태에서 상기 분할 원장 마스크 시트의 상부에 FMM 시트를 접합시키는 단계를
포함하는 박막 공정용 대면적 분할 원장 마스크 조립체 제조 방법. A method of manufacturing a large-area split ledger mask assembly for a thin film process, comprising:
Cutting the raw materials of the sheet to produce a basic unit sheet having a first width and a first length;
bonding a plurality of basic unit sheets to produce a split ledger mask sheet corresponding to the area of the target glass substrate;
bonding the split ledger mask sheet to a mask frame;
completely opening the half-opening portion in the cell area of the divided ledger mask sheet through laser etching;
Bonding an FMM sheet to the upper part of the split ledger mask sheet in a state in which a half opening on the split ledger mask sheet bonded to the mask frame is open.
A method of manufacturing a large-area split ledger mask assembly for a thin film process, comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220081762A KR20240003908A (en) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | Mask assembly for thin flim processing for large-area integrated mask with multi division sheet and method thereof |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR20240003908A true KR20240003908A (en) | 2024-01-11 |
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| KR (1) | KR20240003908A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150071321A (en) | 2013-12-18 | 2015-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | Open mask assembly |
-
2022
- 2022-07-04 KR KR1020220081762A patent/KR20240003908A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
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