KR102242854B1 - Metal mask assembly for organic light emitting diode deposition with improved position accuracy and welding joint strength and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

Disclosed are a metal mask assembly for organic light emitting diode (OLED) deposition with improved position accuracy and welding strength and a manufacturing method thereof, capable of improving the position accuracy and improving the welding strength by selectively reinforcement-welding a portion in which stress is concentrated. According to the present invention, the metal mask assembly for the OLED deposition with improved position accuracy and welding strength includes: a mask sheet on which a plurality of mask patterns are arranged; a mask frame disposed under the mask sheet, and having a rectangular frame shape to support four edges of the mask sheet; a main welding line surrounding four overlapping edges of the mask sheet and the mask frame to weld the mask sheet to the mask frame; and a reinforcement-welding line disposed on each of four overlapping corners of the mask sheet and the mask frame to reinforce bonding strength between the mask sheet and the mask frame.

Description

위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 및 그 제조 방법{METAL MASK ASSEMBLY FOR ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DEPOSITION WITH IMPROVED POSITION ACCURACY AND WELDING JOINT STRENGTH AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}OLED deposition metal mask assembly with improved positioning accuracy and welding joint strength, and its manufacturing method {METAL MASK ASSEMBLY FOR ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DEPOSITION WITH IMPROVED POSITION ACCURACY AND WELDING JOINT STRENGTH AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 응력이 집중되는 부분을 선택적으로 보강 용접하여 위치 정확도를 개선할 수 있음과 더불어 용접 접합강도를 향상시킬 수 있는 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an OLED deposition metal mask assembly and a method of manufacturing the same, and more particularly, a position where the position where the stress is concentrated can be selectively reinforced to improve the positional accuracy and to improve the welding joint strength. It relates to an OLED deposition metal mask assembly with improved accuracy and welding strength, and a method of manufacturing the same.

유기발광 표시장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는 TV, PC, 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치, 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. 이러한 OLED는 빛을 발광하는 발광층이 유기 화합물로 이루어진다.Organic light-emitting display devices (OLED, Organic Light-Emitting Diode) are widely used as display devices provided in TVs, PCs, tablet PCs, smart phones, smart watches, vehicle dashboards, and the like. In this OLED, the light emitting layer that emits light is made of an organic compound.

OLED 제조 공정은 박막의 메탈 마스크를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 방법이 주로 사용된다.In the OLED manufacturing process, a method of depositing an organic material at a desired location by attaching a thin metal mask to a substrate is mainly used.

종래의 OLED 제조 공정에서는 메탈 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 메탈 마스크를 마스크 프레임 상에 용접하여 고정시키게 된다. 이후, 마스크 프레임에 용접된 메탈 마스크의 더미 영역을 트림 라인을 따라 절단하여 제거하게 된다.In a conventional OLED manufacturing process, a metal mask is manufactured in a stick shape, a plate shape, etc., and then the metal mask is welded onto the mask frame to be fixed. Thereafter, the dummy region of the metal mask welded to the mask frame is removed by cutting along the trim line.

종래의 메탈 마스크는 마스크 프레임에 용접할 시, 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리 부분을 둘러싸도록 배치되는 용접 라인을 따라 점 용접 방식을 이용하여 순차적으로 마스크 시트와 마스크 프레임을 용접하였다.In the conventional metal mask, when welding to the mask frame, the mask sheet and the mask frame are sequentially welded using a spot welding method along a welding line arranged to surround the overlapped four edges of the mask sheet and the mask frame.

그러나, 종래에는 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리 부분에 배치된 용접 라인을 따라 점 용접 방식으로 용접할 시, 마스크 프레임 상에 안착되는 마스크 시트의 면적이 넓은 관계로 용접 과정 중 마스크 시트의 네 모서리 부분으로 응력이 집중되고, 이로 인해 응력이 집중되는 부분의 마스크 시트가 변형되거나 뒤틀린 상태에서 용접이 이루어지는 문제가 있었다. 이는 결국, 마스크 시트와 마스크 프레임 간의 위치 정확도를 저하시키는 문제를 유발하였다.However, in the related art, when welding by spot welding along the welding lines arranged at the overlapping four edges of the mask sheet and the mask frame, the mask sheet is largely seated on the mask frame. There is a problem in which the stress is concentrated in the four corners, and thus welding occurs in the state where the mask sheet is deformed or warped in the area where the stress is concentrated. This, in turn, caused a problem of deteriorating the positional accuracy between the mask sheet and the mask frame.

관련 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허공보 제10-2014-0005464호(2014.01.15. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 대면적 표시장치용 메탈마스크의 제조방법이 기재되어 있다.A related prior document is Korean Laid-Open Patent Publication No. 10-2014-0005464 (published on January 15, 2014), and the document describes a method of manufacturing a metal mask for a large-area display device.

본 발명의 목적은 응력이 집중되는 부분을 선택적으로 보강 용접하여 위치 정확도를 개선할 수 있음과 더불어 용접 접합강도를 향상시킬 수 있는 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to selectively reinforce a portion where stress is concentrated to improve positional accuracy, as well as to improve the positional accuracy and weld joint strength that can improve the welding joint strength, and an OLED deposition metal mask assembly and the same. It is to provide a manufacturing method.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체는 복수의 마스크 패턴이 배치된 마스크 시트; 상기 마스크 시트의 하부에 배치되며, 상기 마스크 시트의 네 가장자리 부분을 지지하기 위해 사각테 형상을 갖는 마스크 프레임; 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리 부분을 둘러싸도록 배치되어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 용접시키는 메인 용접 라인; 및 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 접합력을 보강하기 위한 보강 용접 라인;을 포함하는 것을 특징으로 한다.An OLED deposition metal mask assembly with improved positional accuracy and welding bonding strength according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: a mask sheet having a plurality of mask patterns disposed thereon; A mask frame disposed under the mask sheet and having a rectangular frame shape to support four edge portions of the mask sheet; A main welding line disposed to surround the overlapped four edge portions of the mask sheet and the mask frame, and weld the mask sheet and the mask frame; And reinforcing welding lines disposed at four overlapping corners of the mask sheet and the mask frame, respectively, to reinforce the bonding force between the mask sheet and the mask frame.

상기 메인 용접 라인 및 보강 용접 라인 각각은 적어도 1줄 이상이 일정한 간격으로 이격 배치되는 띠 형태로 형성된다.Each of the main welding line and the reinforcing welding line is formed in a strip shape in which at least one or more lines are spaced apart at regular intervals.

상기 보강 용접 라인은 상기 메인 용접 라인의 내측에 배치되어, 상기 메인 용접 라인 보다 상기 복수의 마스크 패턴과 인접하게 배치된다.The reinforcement welding line is disposed inside the main welding line, and is disposed adjacent to the plurality of mask patterns than the main welding line.

이때, 상기 보강 용접 라인은 상기 메인 용접 라인과 1 ~ 3mm의 간격으로 이격 배치된다.In this case, the reinforcing welding line is spaced apart from the main welding line at an interval of 1 to 3 mm.

상기 보강 용접 라인은 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과, 상기 마스크 시트 및 마스크 프레임의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 배치된다.The reinforcing welding lines are also disposed at four overlapping corner portions of the mask sheet and the mask frame, and also at central portions of the long and short sides of the mask sheet and the mask frame, respectively.

이 결과, 상기 메탈 마스크 조립체는 6 ~ 12kgf의 용접 접합강도를 갖는다.As a result, the metal mask assembly has a weld joint strength of 6 to 12 kgf.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법은 (a) 사각테 형상을 갖는 마스크 프레임 상에 복수의 마스크 패턴이 형성된 마스크 시트를 안착시키는 단계; (b) 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분을 1차 용접하여 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 1차 용접시키는 보강 용접 라인을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리를 둘러싸도록 2차 용접하여 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 2차 용접시키는 메인 용접 라인을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing a metal mask assembly for OLED deposition with improved positional accuracy and welding bonding strength according to an embodiment of the present invention to achieve the above object is (a) a mask in which a plurality of mask patterns are formed on a mask frame having a rectangular frame shape Seating the sheet; (b) forming a reinforcing welding line for primary welding the mask sheet and the mask frame by first welding the overlapped four corner portions of the mask sheet and the mask frame; And (c) forming a main welding line for secondary welding the mask sheet and the mask frame by secondary welding to surround the overlapped four edges of the mask sheet and the mask frame.

상기 (b) 단계에서, 상기 보강 용접 라인은 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과, 상기 마스크 시트 및 마스크 프레임의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 형성한다.In the step (b), the reinforcing welding lines are also formed at four overlapping corners of the mask sheet and the mask frame, and also at the center portions of the long and short sides of the mask sheet and the mask frame, respectively.

상기 (b) 단계에서, 상기 보강 용접 라인은 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 용접 접합강도를 보강함과 더불어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 1차 용접으로 고정시켜 위치 정확도를 확보한다.In the step (b), the reinforcing welding line reinforces the weld joint strength between the mask sheet and the mask frame, and secures positional accuracy by fixing the mask sheet and the mask frame by primary welding.

상기 1차 및 2차 용접 각각은 6.5 ~ 9J의 전압 및 600 ~ 950㎛의 너겟 사이즈 조건으로 실시하는 것이 바람직하다.Each of the primary and secondary welding is preferably carried out under conditions of a voltage of 6.5 to 9J and a nugget size of 600 to 950 μm.

본 발명에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 및 그 제조 방법은 응력이 집중되는 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과 가장자리 중앙 부분에 보강 용접 라인을 선택적으로 추가 형성하는 것에 의해 용접 접합강도를 향상시킬 수 있음과 더불어, 마스크 시트의 위치 정확도를 개선할 수 있게 된다.The metal mask assembly for OLED deposition with improved positional accuracy and welding bonding strength according to the present invention and its manufacturing method selectively select a reinforcing welding line in the overlapped four corners of the mask sheet and the mask frame in which stress is concentrated and the center of the edge. By forming additionally, it is possible to improve the welding joint strength and to improve the positional accuracy of the mask sheet.

이 결과, 본 발명에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체는 6 ~ 12kgf의 용접 접합강도를 나타내어 우수한 내구성을 갖는다.As a result, the OLED deposition metal mask assembly having improved positioning accuracy and welding bonding strength according to the present invention exhibits a welding bonding strength of 6 to 12 kgf and has excellent durability.

도 1은 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 포함하는 유기물 증착 장치를 나타낸 모식도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 나타낸 평면도.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대하여 나타낸 평면도.
도 4는 도 2의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 일 변형예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 나타낸 평면도.
도 6은 도 5의 B 부분을 확대하여 나타낸 평면도.
도 7은 도 5의 Ⅶ-Ⅶ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명의 다른 변형예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 나타낸 평면도.
도 9는 도 8의 C 부분을 확대하여 나타낸 평면도.
도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법을 나타낸 공정 모식도.1 is a schematic diagram showing an organic material deposition apparatus including a general OLED deposition metal mask assembly.
2 is a plan view showing an OLED deposition metal mask assembly according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a plan view showing an enlarged portion A of Figure 2;
4 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG. 2;
5 is a plan view showing an OLED deposition metal mask assembly according to a modified example of the present invention.
6 is a plan view showing an enlarged portion B of FIG. 5.
7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII' of FIG. 5;
8 is a plan view showing an OLED deposition metal mask assembly according to another modified example of the present invention.
9 is a plan view showing an enlarged portion C of FIG. 8.
10 is a cross-sectional view taken along line X-X' of FIG. 8;
11 to 13 are process schematic diagrams showing a method of manufacturing a metal mask assembly for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, only this embodiment is intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to completely inform the scope of the invention to the possessor, and the invention is only defined by the scope of the claims. The same reference numerals refer to the same elements throughout the specification.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 및 그 제조 방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, referring to the accompanying drawings, a detailed description will be given of a metal mask assembly for deposition of OLED and a method of manufacturing the same, which has improved positional accuracy and weld joint strength according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 포함하는 유기물 증착 장치를 나타낸 모식도이다.1 is a schematic diagram showing an organic material deposition apparatus including a general OLED deposition metal mask assembly.

도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 포함하는 유기물 증착 장치(10)는 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(3), 유기물 증착 용기(4) 및 진공 챔버(5)를 포함한다.As shown in FIG. 1, an organic material deposition apparatus 10 including a general OLED deposition metal mask assembly includes an OLED deposition metal mask assembly 3, an organic material deposition container 4, and a vacuum chamber 5 .

OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(3)는 마스크 시트(1) 및 마스크 프레임(2)을 포함한다. 이때, 마스크 시트(1)는 마스크 프레임(2) 상에 배치되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 마스크 시트(1)는 일정한 인장력으로 인장을 실시한 후, 마스크 프레임(2) 상에 용접에 의하여 고정될 수 있다.The metal mask assembly 3 for OLED deposition includes a mask sheet 1 and a mask frame 2. In this case, the mask sheet 1 may be disposed and fixed on the mask frame 2. For example, the mask sheet 1 may be fixed on the mask frame 2 by welding after performing tensioning with a certain tensile force.

이에 따라, 마스크 시트(1)는 마스크 프레임(2)에 의해 고정되고, 마스크 시트(1) 상부에는 글라스 재질의 기판(S)이 배치된다.Accordingly, the mask sheet 1 is fixed by the mask frame 2, and a substrate S made of a glass material is disposed on the mask sheet 1.

유기물 증착 용기(4)는 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(3)와 이격된 하부에 장착된다. 이러한 유기물 증착 용기(4)의 내부에는 기판(S)에 증착하고자 하는 유기물이 채워진다.The organic material deposition container 4 is mounted at a lower part spaced apart from the metal mask assembly 3 for OLED deposition. The organic material to be deposited on the substrate S is filled inside the organic material deposition container 4.

이때, OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(3) 및 유기물 증착 용기(4)는 진공 챔버(5)의 내부에 각각 장착되어 있을 수 있다.In this case, the OLED deposition metal mask assembly 3 and the organic material deposition container 4 may be mounted inside the vacuum chamber 5, respectively.

이에 따라, 유기물 증착 용기(4)에 채워진 유기물에 열을 가할 경우, 유기물 증착 용기(4)로부터 증발되는 유기물이 마스크 시트(1)의 마스크 패턴을 통과하여 기판(S) 상의 원하는 위치에 증착될 수 있다.Accordingly, when heat is applied to the organic material filled in the organic material deposition container 4, the organic material evaporated from the organic material deposition container 4 passes through the mask pattern of the mask sheet 1 to be deposited at a desired location on the substrate S. I can.

전술한 바와 같이, 마스크 시트(1)는 일정한 인장력으로 인장을 실시한 후, 마스크 프레임(2) 상에 용접에 의하여 고정되게 된다.As described above, the mask sheet 1 is fixed by welding on the mask frame 2 after performing tensioning with a constant tensile force.

이와 같이, 마스크 시트(1)를 마스크 프레임(2)에 용접할 시, 마스크 시트(1)와 마스크 프레임(2)의 중첩된 네 가장자리 부분을 둘러싸도록 배치되는 용접 라인을 따라 점 용접 방식을 이용하여 순차적으로 마스크 시트(1)와 마스크 프레임(2)을 용접하게 된다.In this way, when welding the mask sheet 1 to the mask frame 2, a spot welding method is used along the welding line arranged to surround the overlapped four edges of the mask sheet 1 and the mask frame 2 Thus, the mask sheet 1 and the mask frame 2 are sequentially welded.

그러나, 마스크 시트(1)와 마스크 프레임(2)의 중첩된 네 가장자리 부분에 배치된 용접 라인을 따라 점 용접 방식으로 용접하게 되면, 마스크 프레임(2) 상에 안착되는 마스크 시트(1)의 면적이 넓은 관계로 용접 과정 중 마스크 시트(1)의 네 모서리 부분으로 응력이 집중된다. 이로 인해, 응력이 집중되는 부분의 마스크 시트(1)가 변형되거나 뒤틀린 상태에서 용접이 이루어질 수 있으며, 이는 결국 마스크 시트(1)와 마스크 프레임(2) 간의 위치 정확도를 저하시키는 문제를 유발할 수 있다.However, when welding is performed by spot welding along the welding lines arranged at the overlapping four edges of the mask sheet 1 and the mask frame 2, the area of the mask sheet 1 seated on the mask frame 2 Due to this wide relationship, stress is concentrated in the four corners of the mask sheet 1 during the welding process. Due to this, welding may be performed while the mask sheet 1 in the area where the stress is concentrated is deformed or warped, which may eventually cause a problem of deteriorating the positional accuracy between the mask sheet 1 and the mask frame 2. .

아울러, 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(3)는 마스크 시트(1)와 마스크 프레임(2)의 중첩된 네 가장자리 부분에 배치된 용접 라인만을 따라 용접이 이루어지기 때문에 용접 접합강도가 대략 5kgf 이하를 나타내어 내구성을 확보하는데 어려움이 있었다.In addition, since the general OLED deposition metal mask assembly 3 is welded only along the welding line disposed at the overlapping four edges of the mask sheet 1 and the mask frame 2, the welding joint strength is approximately 5 kgf or less. As a result, there was a difficulty in securing durability.

(실시예)(Example)

이를 해결하기 위해, 본 발명에서는 응력이 집중되는 부분을 선택적으로 보강 용접하여 위치 정확도를 개선할 수 있음과 더불어 용접 접합강도를 향상시킬 수 있는 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 제공한다.In order to solve this problem, in the present invention, a metal mask for OLED deposition that can improve the positional accuracy and weld joint strength that can improve the welding joint strength and can improve the position accuracy by selectively reinforcing welding the part where the stress is concentrated. Provide an assembly.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 나타낸 평면도이고, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대하여 나타낸 평면도이며, 도 4는 도 2의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.2 is a plan view showing an OLED deposition metal mask assembly according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a plan view showing an enlarged portion A of FIG. 2, and FIG. 4 is a cut along line VI-VI' of FIG. It is a cross-sectional view shown below.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(100)는 마스크 시트(120), 마스크 프레임(140), 메인 용접 라인(160) 및 보강 용접 라인(180)을 포함한다.2 to 4, an OLED deposition metal mask assembly 100 with improved positional accuracy and welding bonding strength according to an embodiment of the present invention includes a mask sheet 120, a mask frame 140, and a main welding line. 160 and a reinforcing welding line 180.

마스크 시트(120)는 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)에 반대되는 제2 면(120b)을 갖는다. 이때, 마스크 시트(120)는 SUS 300계열, SUS 400계열, Ni 합금 등의 재질이 이용될 수 있는데, 이는 유기물을 증착하는 공정의 고온 환경에서 메탈 마스크의 변형을 최소화할 수 있는 효과가 있기 때문이다.The mask sheet 120 has a first surface 120a and a second surface 120b opposite to the first surface 120a. At this time, the mask sheet 120 may be made of a material such as SUS 300 series, SUS 400 series, Ni alloy, etc., because it has the effect of minimizing the deformation of the metal mask in a high temperature environment of the organic material deposition process. to be.

이러한 마스크 시트(120)는 복수의 마스크 패턴(125)이 배치되는 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다.The mask sheet 120 includes a mask cell area MA in which a plurality of mask patterns 125 are disposed, and a dummy area DA disposed outside the mask cell area MA.

복수의 마스크 패턴(125)은 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)을 관통할 수 있다. 즉, 복수의 마스크 패턴(125)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)을 관통하도록 배치되어 있을 수 있다. 아울러, 복수의 마스크 패턴(125)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)의 일부만을 관통하도록 배치되어 있을 수도 있다.The plurality of mask patterns 125 are disposed in the mask cell area MA and may penetrate the first surface 120a and the second surface 120b of the mask sheet 120. That is, the plurality of mask patterns 125 may be disposed to penetrate the first surface 120a and the second surface 120b of the mask sheet 120 for each cell. In addition, the plurality of mask patterns 125 may be disposed so as to penetrate only a portion of the first surface 120a and the second surface 120b of the mask sheet 120 for each cell.

마스크 프레임(140)은 마스크 시트(120)의 하부에 배치되며, 마스크 시트(120)의 네 가장자리 부분을 지지하기 위해 사각테 형상을 갖는다. 즉, 마스크 프레임(140)은 마스크 시트(120)의 제2 면(120b)과 맞닿는 상면(140a)과, 상면(140a)에 반대되는 하면(140b)을 갖는다. 이에 따라, 마스크 시트(120)의 네 가장자리 일부가 마스크 프레임(140)과 중첩되도록 배치된다. 보다 구체적으로, 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA)이 마스크 프레임(140) 상에 장착되고, 마스크 시트(120)의 마스크 셀 영역(MA)은 마스크 프레임(140)의 개구 내에 배치되는 것이 바람직하다.The mask frame 140 is disposed under the mask sheet 120 and has a rectangular frame shape to support four edge portions of the mask sheet 120. That is, the mask frame 140 has an upper surface 140a in contact with the second surface 120b of the mask sheet 120 and a lower surface 140b opposite to the upper surface 140a. Accordingly, some of the four edges of the mask sheet 120 are disposed to overlap the mask frame 140. More specifically, the dummy area DA of the mask sheet 120 is mounted on the mask frame 140, and the mask cell area MA of the mask sheet 120 is disposed within the opening of the mask frame 140. desirable.

이러한 마스크 프레임(140)의 단변(142)은 제1 방향으로 상호 평행하게 이격 배치된다. 그리고, 마스크 프레임(140)의 장변(144)은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상호 평행하게 이격 배치되어, 마스크 프레임(140)의 단변(142)과 서로 연결된다. 마스크 프레임(140)의 단변(142)은 제1 길이를 가질 수 잇고, 마스크 프레임(140)의 장변(144)은 제1 길이보다 긴 제2 길이를 가질 수 있다. 여기서, 제1 방향은 가로 방향일 수 있고, 제2 방향은 세로 방향일 수 있다. 이와 반대로, 제1 방향은 세로 방향일 수 있고, 제2 방향은 가로 방향일 수 있다.Short sides 142 of the mask frame 140 are spaced apart from each other in parallel in the first direction. Further, the long sides 144 of the mask frame 140 are spaced apart from each other in a second direction crossing the first direction, and are connected to the short sides 142 of the mask frame 140. The short side 142 of the mask frame 140 may have a first length, and the long side 144 of the mask frame 140 may have a second length longer than the first length. Here, the first direction may be a horizontal direction, and the second direction may be a vertical direction. Conversely, the first direction may be a vertical direction, and the second direction may be a horizontal direction.

메인 용접 라인(160)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 가장자리 부분을 둘러싸도록 배치되어, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)을 용접으로 접합시킨다.The main welding line 160 is disposed so as to surround the overlapped four edges of the mask sheet 120 and the mask frame 140, and joins the mask sheet 120 and the mask frame 140 by welding.

여기서, 메인 용접 라인(160)은 적어도 1줄이 일정한 간격으로 이격 배치되는 띠 형태로 형성될 수 있다.Here, the main welding line 160 may be formed in a strip shape in which at least one line is spaced apart at regular intervals.

이러한 메인 용접 라인(160)은 1 ~ 3mm의 간격으로 이격 배치되는 것이 바람직하다. 메인 용접 라인(160)의 간격이 1mm 미만일 경우에는 상호 간의 이격 거리가 너무 가까워 인접한 메인 용접 라인(160) 간이 용접 금속에 의해 달라붙어 마스크 시트(120)의 표면 품질을 저하시키는 문제를 유발할 수 있다. 반대로, 메인 용접 라인(160)의 간격이 3mm를 초과할 경우에는 상대적으로 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140) 간의 접합 면적이 감소하는데 기인하여 용접 접합강도 확보가 어려워 내구성이 저하될 우려가 있다.It is preferable that the main welding lines 160 are spaced apart from each other at intervals of 1 to 3 mm. If the distance between the main welding lines 160 is less than 1 mm, the distance between the main welding lines 160 is too close, and the adjacent main welding lines 160 are adhered to each other by welding metal, resulting in a problem of deteriorating the surface quality of the mask sheet 120. . On the contrary, when the distance between the main welding line 160 exceeds 3 mm, the bonding area between the mask sheet 120 and the mask frame 140 is relatively reduced, so it is difficult to secure the welding joint strength and thus durability may be deteriorated. have.

보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 용접 접합력을 보강하는 역할을 한다. 아울러, 보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140) 간을 점 용접 방식으로 용접하는 과정 중 마스크 프레임(140) 상에 안착되는 마스크 시트(120)가 응력에 의해 뒤틀리거나 변형이 발생하는 것을 미연에 방지하는 역할을 함께 수행한다.The reinforcing welding lines 180 are disposed at four overlapping corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140, respectively, and serve to reinforce the welding bonding force between the mask sheet 120 and the mask frame 140. In addition, during the process of welding the mask sheet 120 and the mask frame 140 by a spot welding method, the reinforcing welding line 180 may distort the mask sheet 120 seated on the mask frame 140 due to stress. Together, they play a role of preventing deformation from occurring.

즉, 보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140) 간의 네 모서리 부분을 1차적으로 고정시켜 마스크 프레임(140) 상에 안착되는 마스크 시트(120)가 응력에 의해 변형되거나 뒤틀리는 것을 미연에 방지하는 역할을 한다.That is, the reinforcing welding line 180 is disposed at each of the four overlapping corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140, so that the four corners between the mask sheet 120 and the mask frame 140 are primarily formed. By fixing the mask sheet 120 to be seated on the mask frame 140 serves to prevent deformation or distortion due to stress in advance.

이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 응력이 집중되는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분에만 선택적으로 보강 용접 라인(180)을 형성하는 것에 의해, 마스크 시트(120)에 변형이나 뒤틀림의 발생으로 인하여 마스크 시트(120)가 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생하는 것을 미연에 방지하여 위치 정확도를 개선할 수 있게 된다.As described above, in the embodiment of the present invention, by selectively forming the reinforcing welding line 180 only at the overlapping four corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140 where stress is concentrated, the mask sheet 120 Due to the occurrence of deformation or distortion, the mask sheet 120 is prevented from being pushed out of the seating position and misalignment occurs, thereby improving positioning accuracy.

이를 위해, 보강 용접 라인(180)은 메인 용접 라인(160) 보다 먼저 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 마스크 프레임(140) 상에 마스크 시트(120)를 위치 정렬시킨 후, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분만을 1차적으로 용접하여 보강 용접 라인(180)을 형성한 후, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 가장자리 부분을 둘러싸도록 2차 용접하여 메인 용접 라인(160)을 형성하게 된다.To this end, the reinforcing welding line 180 is preferably formed before the main welding line 160. That is, after positioning the mask sheet 120 on the mask frame 140, only the four overlapped corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140 are primarily welded to form a reinforcing welding line 180. After formation, the main welding line 160 is formed by secondary welding so as to surround the overlapped four edges of the mask sheet 120 and the mask frame 140.

즉, 본 발명의 실시예에서는 보강 용접 라인(180)에 의해 1차적으로 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)이 용접된 상태에서, 메인 용접 라인(160)을 따라 2차적으로 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)을 용접하게 된다. 이에 따라, 본 발명의 실시예에서는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 응력 집중 부분이 보강 용접 라인(180)에 의해 안정적으로 고정되어 있으므로, 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분으로 응력이 집중될 염려가 없어 마스크 시트(120)가 변형되거나 뒤틀리는 문제를 원천적으로 방지할 수 있게 된다.That is, in the embodiment of the present invention, in a state in which the mask sheet 120 and the mask frame 140 are primarily welded by the reinforcing welding line 180, the mask sheet ( 120) and the mask frame 140 are welded. Accordingly, in the embodiment of the present invention, since the stress concentration portion of the mask sheet 120 and the mask frame 140 is stably fixed by the reinforcing welding line 180, stress is applied to the four corner portions of the mask sheet 120 Since there is no fear of concentration, a problem in which the mask sheet 120 is deformed or warped can be fundamentally prevented.

이러한 보강 용접 라인(180)은, 메인 용접 라인(160)과 마찬가지로, 적어도 1줄 이상이 일정한 간격으로 이격 배치되는 띠 형태로 형성될 수 있다.Like the main welding line 160, the reinforcing welding line 180 may be formed in a strip shape in which at least one or more lines are spaced apart at regular intervals.

이때, 보강 용접 라인(180)은 메인 용접 라인(160)의 내측에 배치되어, 메인 용접 라인(160) 보다 복수의 마스크 패턴(125)과 인접하게 배치된다.In this case, the reinforcing welding line 180 is disposed inside the main welding line 160 and is disposed adjacent to the plurality of mask patterns 125 than the main welding line 160.

보강 용접 라인(180)은 메인 용접 라인(160)과 1 ~ 3mm의 간격으로 이격 배치되는 것이 바람직하다. 보강 용접 라인(180)과 메인 용접 라인(160) 간의 이격 거리가 1mm 미만일 경우에는 상호 간의 이격 거리가 너무 가까워 인접한 보강 용접 라인(180)과 메인 용접 라인(160) 간이 용접 금속에 의해 달라붙어 마스크 시트(120)의 표면 품질을 저하시키는 문제를 유발할 수 있다. 반대로, 보강 용접 라인(180)과 메인 용접 라인(160) 간의 이격 거리가 3mm를 초과할 경우에는 간격이 너무 멀어지는데 기인하여 보강 용접 라인(180)을 통한 강도 보강 효과를 제대로 발휘하는데 어려움이 따를 수 있다.It is preferable that the reinforcing welding line 180 is spaced apart from the main welding line 160 at an interval of 1 to 3 mm. If the separation distance between the reinforcement welding line 180 and the main welding line 160 is less than 1 mm, the separation distance between the reinforcement welding line 180 and the main welding line 160 is too close, so that the adjacent reinforcement welding line 180 and the main welding line 160 are adhered to each other by welding metal and mask It may cause a problem of deteriorating the surface quality of the sheet 120. On the contrary, when the separation distance between the reinforcement welding line 180 and the main welding line 160 exceeds 3mm, it is difficult to properly exhibit the strength reinforcement effect through the reinforcement welding line 180 due to the excessive distance between the reinforcement welding line 180 and the main welding line 160. I can.

이러한 보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 마스크 시트(120) 및 마스크 프레임(140)의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 배치되는 것이 보다 바람직하다.These reinforcing welding lines 180 are disposed at the center portions of the long and short sides of the mask sheet 120 and the mask frame 140, as well as the overlapped four corner portions of the mask sheet 120 and the mask frame 140, respectively. It is more preferable.

왜냐하면, 마스크 시트(120)의 크기가 대면적으로 증가할수록 용접 과정 중 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 네 가장자리의 중앙 부분 역시 응력이 집중되기 때문이다.This is because, as the size of the mask sheet 120 increases in a large area, stress is concentrated in the center of the four edges as well as the overlapped four corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140 during the welding process. .

따라서, 마스크 시트(120)의 크기가 대면적일 시에는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 마스크 시트(120) 및 마스크 프레임(140)의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 반드시 보강 용접 라인(180)을 형성하는 것이 바람직하다.Therefore, when the size of the mask sheet 120 is large, the long and short sides of the mask sheet 120 and the mask frame 140 together with the overlapped four corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140 It is desirable to necessarily form a reinforcing welding line 180 in the central part.

전술한 본 발명의 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체는 응력이 집중되는 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과 가장자리 중앙 부분에 보강 용접 라인을 선택적으로 추가 형성하는 것에 의해 용접 접합강도를 향상시킬 수 있음과 더불어, 마스크 시트의 위치 정확도를 개선할 수 있게 된다.In the OLED deposition metal mask assembly having improved positional accuracy and welding bonding strength according to the above-described embodiment of the present invention, a reinforcing welding line is selectively selected in the overlapped four corners of the mask sheet and the mask frame where stress is concentrated and the center of the edge. By forming additionally, it is possible to improve the welding joint strength and to improve the positional accuracy of the mask sheet.

이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체는 6 ~ 12kgf의 용접 접합강도를 나타내어 우수한 내구성을 갖는다.As a result, the OLED deposition metal mask assembly having improved positional accuracy and welding bonding strength according to an embodiment of the present invention exhibits a welding bonding strength of 6 to 12 kgf and has excellent durability.

(변형예)(Modified example)

도 5는 본 발명의 일 변형예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 나타낸 평면도이고, 도 6은 도 5의 B 부분을 확대하여 나타낸 평면도이며, 도 7은 도 5의 Ⅶ-Ⅶ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.5 is a plan view showing an OLED deposition metal mask assembly according to a modified example of the present invention, FIG. 6 is a plan view showing an enlarged portion B of FIG. 5, and FIG. 7 is taken along line VII-VII' of FIG. It is a cross-sectional view shown by cutting.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 변형예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(200)는 마스크 시트(220), 마스크 프레임(240), 메인 용접 라인(260) 및 보강 용접 라인(280)을 포함한다.5 to 7, an OLED deposition metal mask assembly 200 having improved positional accuracy and welding bonding strength according to a modified example of the present invention includes a mask sheet 220, a mask frame 240, and a main welding. Line 260 and reinforcement welding line 280.

여기서, 본 발명의 일 변형예에 따른 마스크 시트(220), 마스크 프레임(240) 및 메인 용접 라인(260)은, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 실시예에 따른 마스크 시트, 마스크 프레임 및 메인 용접 라인과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하도록 한다.Here, the mask sheet 220, the mask frame 240, and the main welding line 260 according to a modified example of the present invention are the mask sheet, the mask frame, and the main welding line according to the embodiment described with reference to FIGS. 2 and 3. Since it is substantially the same as the welding line, redundant description will be omitted.

본 발명의 일 변형예에 따른 보강 용접 라인(280)은, 실시예와 달리, 제1 보강 용접 라인(282) 및 제2 보강 용접 라인(284)을 갖는다.Unlike the embodiment, the reinforcing welding line 280 according to the modified example of the present invention has a first reinforcing welding line 282 and a second reinforcing welding line 284.

이러한 제1 및 제2 보강 용접 라인(282, 284) 각각은 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 용접 접합력을 보강하는 역할을 한다.Each of the first and second reinforcing welding lines 282 and 284 is disposed at four overlapping corners of the mask sheet 220 and the mask frame 240, respectively, It plays a role in reinforcing welding bonding strength.

제1 보강 용접 라인(282)은 메인 용접 라인(260)의 내측에 배치되어, 메인 용접 라인(260) 보다 복수의 마스크 패턴(225)과 가깝게 떨어져 배치된다. 그리고, 제2 보강 용접 라인(284)은 메인 용접 라인(260)의 외측에 배치되어, 메인 용접 라인(260) 보다 복수의 마스크 패턴(225)과 멀리 떨어져 배치된다.The first reinforcing welding line 282 is disposed inside the main welding line 260 and disposed closer to the plurality of mask patterns 225 than the main welding line 260. In addition, the second reinforcing welding line 284 is disposed outside the main welding line 260 and is disposed farther away from the plurality of mask patterns 225 than the main welding line 260.

여기서, 제1 보강 용접 라인(282)은 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 마스크 시트(220) 및 마스크 프레임(240)의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 배치되는 것이 보다 바람직하다. 아울러, 제2 보강 용접 라인(284) 역시 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 마스크 시트(220) 및 마스크 프레임(240)의 장변 및 단면의 중앙 부분에도 각각 배치될 수도 있다. 이때, 제1 및 제2 보강 용접 라인(282, 284) 각각은 메인 용접 라인(260)과 1 ~ 3mm의 간격으로 이격 배치되는 것이 바람직하다.Here, the first reinforcing welding line 282 is also applied to the central portions of the long and short sides of the mask sheet 220 and the mask frame 240, as well as the overlapped four corner portions of the mask sheet 220 and the mask frame 240. It is more preferable that each is arranged. In addition, the second reinforcing welding line 284 is also applied to the mask sheet 220 and the mask frame 240 as well as the overlapped four corners of the mask sheet 220 and the mask frame 240. Each may be arranged. At this time, each of the first and second reinforcing welding lines 282 and 284 is preferably disposed to be spaced apart from the main welding line 260 at an interval of 1 to 3 mm.

이와 같이, 본 발명의 일 변형예에서는 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 중첩된 네 모서리 부분에 메인 용접 라인(260)을 사이에 두고 제1 및 제2 보강 용접 라인(282, 284)이 형성되는 것에 의해, 실시예에 비하여 용접 접합강도를 보다 증가시킬 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.As described above, in one modified example of the present invention, the first and second reinforcing welding lines 282 and 284 with the main welding line 260 interposed at the overlapping four corners of the mask sheet 220 and the mask frame 240. ) Is formed, it has a structural advantage that can further increase the weld joint strength compared to the embodiment.

아울러, 본 발명의 일 변형예에서는 제1 및 제2 보강 용접 라인(282, 284)이 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240) 간의 네 모서리 부분을 1차적으로 고정시켜 마스크 프레임(240) 상에 안착되는 마스크 시트(220)가 응력에 의해 변형되거나 뒤틀리는 것을 원천적으로 차단할 수 있게 된다.In addition, in a modified example of the present invention, the first and second reinforcing welding lines 282 and 284 are disposed at four overlapping corners of the mask sheet 220 and the mask frame 240, respectively, and the mask sheet 220 By first fixing the four corner portions between the and the mask frame 240, the mask sheet 220 seated on the mask frame 240 can be fundamentally prevented from being deformed or distorted by stress.

이와 같이, 본 발명의 일 변형예에서는 응력이 집중되는 마스크 시트(220)와 마스크 프레임(240)의 중첩된 네 모서리 부분에만 선택적으로 제1 및 제2 용접 보강 라인(282, 284)을 형성하는 것에 의해, 마스크 시트(220)에 변형이나 뒤틀림의 발생으로 인하여 마스크 시트(220)가 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생하는 것을 원천적으로 차단할 수 있으므로, 위치 정확도를 보다 더 개선할 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.As described above, in a modified example of the present invention, the first and second welding reinforcement lines 282 and 284 are selectively formed only at four overlapping corners of the mask sheet 220 and the mask frame 240 where stress is concentrated. As a result, it is possible to fundamentally block the occurrence of misalignment due to the mask sheet 220 being pushed out of the seating position due to the occurrence of deformation or distortion in the mask sheet 220, so that the structural accuracy can be further improved. Has an advantage.

전술한 본 발명의 일 변형예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체는 응력이 집중되는 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과 가장자리 중앙 부분에 메인 용접 라인을 사이에 두고 제1 및 제2 보강 용접 라인을 선택적으로 추가 형성하는 것에 의해 용접 접합강도를 보다 더 향상시킬 수 있음과 더불어, 마스크 시트의 위치 정확도를 보다 더 개선할 수 있게 된다.In the OLED deposition metal mask assembly having improved positional accuracy and welding bonding strength according to a modified example of the present invention described above, a main welding line is provided at the overlapped four corners of the mask sheet and the mask frame where stress is concentrated and the center of the edge. By selectively further forming the first and second reinforcing welding lines between them, the weld joint strength can be further improved, and the positional accuracy of the mask sheet can be further improved.

이 결과, 본 발명의 일 변형예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체는 메인 용접 라인의 내측 및 외측에 각각 배치되는 제1 및 제2 보강 용접 라인의 설계로 7 ~ 15kgf의 용접 접합강도를 나타내어, 본 발명의 실시예 보다 더 우수한 내구성을 갖는다.As a result, the OLED deposition metal mask assembly having improved positional accuracy and welding joint strength according to a modified example of the present invention is made by designing first and second reinforced welding lines respectively disposed inside and outside the main welding line. It exhibits a weld joint strength of ~ 15kgf, and has more excellent durability than the examples of the present invention.

한편, 도 8은 본 발명의 다른 변형예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체를 나타낸 평면도이고, 도 9는 도 8의 C 부분을 확대하여 나타낸 평면도이며, 도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.Meanwhile, FIG. 8 is a plan view showing an OLED deposition metal mask assembly according to another modified example of the present invention, FIG. 9 is a plan view showing an enlarged portion C of FIG. 8, and FIG. 10 is a line X-X' of FIG. It is a cross-sectional view cut along the line.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 변형예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체(300)는 마스크 시트(320), 마스크 프레임(340), 메인 용접 라인(360) 및 보강 용접 라인(380)을 포함한다.8 to 10, an OLED deposition metal mask assembly 300 having improved positional accuracy and welding bonding strength according to another modified example of the present invention includes a mask sheet 320, a mask frame 340, and a main welding. It includes a line 360 and a reinforcing welding line 380.

여기서, 본 발명의 다른 변형예에 따른 마스크 프레임(340) 및 메인 용접 라인(360)은, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 실시예에 따른 마스크 프레임 및 메인 용접 라인과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하도록 한다.Here, since the mask frame 340 and the main welding line 360 according to another modified example of the present invention are substantially the same as the mask frame and the main welding line according to the embodiment described with reference to FIGS. 2 and 3, overlapping Description will be omitted.

본 발명의 다른 변형예에 따른 마스크 시트(320)는 제1 면(320a) 및 제1 면(320a)에 반대되는 제2 면(320b)을 갖는다. The mask sheet 320 according to another modification of the present invention has a first surface 320a and a second surface 320b opposite to the first surface 320a.

이러한 마스크 시트(320)는 복수의 마스크 패턴(325)이 배치되는 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다.The mask sheet 320 has a mask cell area MA in which a plurality of mask patterns 325 are disposed, and a dummy area DA disposed outside the mask cell area MA.

이때, 마스크 셀 영역(MA)에는 복수의 마스크 패턴(325)을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브(326)가 배치된다. 복수의 리브(326)는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브(326a)와, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브(326b)를 가질 수 있다. 여기서, 제1 방향은 가로 방향일 수 있고, 제2 방향은 세로 방향일 수 있다. 이와 반대로, 제1 방향은 세로 방향일 수 있고, 제2 방향은 가로 방향일 수 있다.In this case, a plurality of ribs 326 arranged in a lattice structure surrounding the plurality of mask patterns 325 are disposed in the mask cell area MA. The plurality of ribs 326 may have a first rib 326a arranged in a first direction and a second rib 326b arranged in a second direction crossing the first direction. Here, the first direction may be a horizontal direction, and the second direction may be a vertical direction. Conversely, the first direction may be a vertical direction, and the second direction may be a horizontal direction.

복수의 마스크 패턴(325)은 각 셀 별로 마스크 시트(320)의 제1 면(320a) 및 제2 면(320b)을 관통하도록 배치되어 있을 수 있다. 아울러, 복수의 마스크 패턴(325)은 각 셀 별로 마스크 시트(320)의 제1 면(320a) 및 제2 면(320b)의 일부만을 관통하도록 배치되어 있을 수도 있다.The plurality of mask patterns 325 may be disposed to penetrate the first surface 320a and the second surface 320b of the mask sheet 320 for each cell. In addition, the plurality of mask patterns 325 may be disposed so as to penetrate only a portion of the first surface 320a and the second surface 320b of the mask sheet 320 for each cell.

아울러, 본 발명의 다른 변형예는 응력 완화 패턴(385)을 더 포함할 수 있다.In addition, another modified example of the present invention may further include a stress relaxation pattern 385.

이때, 응력 완화 패턴(385)은 마스크 시트(320)의 더미 영역(DA)에 배치되며, 메인 용접 라인(360)의 내측에 배치된다. 보다 바람직하게, 응력 완화 패턴(385)은 복수의 리브(326)와 대응되는 위치의 더미 영역(DA)에 배치된다.In this case, the stress relaxation pattern 385 is disposed in the dummy area DA of the mask sheet 320 and disposed inside the main welding line 360. More preferably, the stress relaxation pattern 385 is disposed in the dummy area DA at a position corresponding to the plurality of ribs 326.

이때, 응력 완화 패턴(385)은 마스크 시트(320)의 제1 면(320a) 및 제2 면(320b)을 관통하도록 형성된다. 여기서, 응력 완화 패턴(385)은 복수의 마스크 패턴(325)과 함께 형성된다. 즉, 응력 완화 패턴(385)은 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(325)과 동일 공정으로 형성될 수 있다.In this case, the stress relaxation pattern 385 is formed to penetrate the first surface 320a and the second surface 320b of the mask sheet 320. Here, the stress relaxation pattern 385 is formed together with the plurality of mask patterns 325. That is, the stress relaxation pattern 385 may be formed in the same process as the plurality of mask patterns 325 by a photolithography method, which is a chemical etching method.

이러한 응력 완화 패턴(385)은, 평면상으로 볼 때, 사각형, 삼각형, 오각형 및 원형 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있으며, 이 중 사각형 형상을 갖는 것이 바람직하다.When viewed in plan view, the stress relaxation pattern 385 may have any one of a square, a triangle, a pentagon, and a circle, of which it is preferable to have a square shape.

본 발명의 다른 변형예에서, 보강 용접 라인(380)은 마스크 시트(320)와 마스크 프레임(340)의 중첩된 네 모서리 부분과 마스크 시트(320) 및 마스크 프레임(340)의 장변 및 단변의 중앙 부분에 각각 배치된다.In another modification of the present invention, the reinforcing welding line 380 includes the overlapped four corner portions of the mask sheet 320 and the mask frame 340 and the center of the long and short sides of the mask sheet 320 and the mask frame 340. Each is placed on the part.

이때, 마스크 시트(320) 및 마스크 프레임(340)의 장변 및 단변 중앙 부분에 배치된 보강 용접 라인(380)은 복수의 리브(326)와 대응되는 위치에 배치되어, 응력 완화 패턴(385)과 중첩되도록 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the reinforcing welding line 380 disposed at the center of the long side and the short side of the mask sheet 320 and the mask frame 340 is disposed at a position corresponding to the plurality of ribs 326, and the stress relaxation pattern 385 and It is preferable to be formed to overlap.

이러한 보강 용접 라인(380)은 마스크 시트(320)와 마스크 프레임(340)의 중첩된 네 모서리 부분과 마스크 시트(320) 및 마스크 프레임(340)의 장변 및 단변의 중앙 부분에 각각 배치되어, 마스크 시트(320)와 마스크 프레임(340) 간의 네 모서리 부분과 네 가장자리 중앙 부분을 1차적으로 고정시켜 마스크 프레임(340) 상에 안착되는 마스크 시트(320)가 응력에 의해 변형되거나 뒤틀리는 것을 미연에 방지하는 역할을 한다.These reinforcing welding lines 380 are disposed at the overlapped four corners of the mask sheet 320 and the mask frame 340 and at the center portions of the long and short sides of the mask sheet 320 and the mask frame 340, respectively, The four corner portions and the center portions of the four edges between the sheet 320 and the mask frame 340 are primarily fixed to prevent deformation or distortion of the mask sheet 320 seated on the mask frame 340 due to stress. Plays a role.

이와 같이, 본 발명의 다른 변형예에서는 응력이 집중되는 마스크 시트(320)와 마스크 프레임(340)의 중첩된 네 모서리 부분과 네 가장자리 중앙 부분에 응력 완화 패턴(385) 및 용접 보강 라인(380)을 각각 형성하는 것에 의해, 복수의 리브(326) 부분에 집중되는 응력을 보다 더 완화시킬 수 있게 된다.As described above, in another modified example of the present invention, a stress relaxation pattern 385 and a welding reinforcing line 380 are provided at the overlapped four corners of the mask sheet 320 and the mask frame 340 in which the stress is concentrated and the center of the four edges. By forming each, it is possible to further alleviate the stress concentrated in the plurality of ribs 326.

이 결과, 본 발명의 다른 변형예는 마스크 시트(320)의 변형이나 틀어짐을 원천적으로 보완할 수 있으므로, 마스크 시트(320)에 변형이나 뒤틀림의 발생으로 인하여 마스크 시트(320)가 마스크 프레임(340)의 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생하는 것을 원천적으로 차단할 수 있어 위치 정확도를 개선할 수 있게 된다.As a result, since another modified example of the present invention can fundamentally compensate for the deformation or distortion of the mask sheet 320, the mask sheet 320 may be replaced with the mask frame 340 due to the occurrence of deformation or distortion in the mask sheet 320. ), it is possible to fundamentally block the occurrence of misalignment due to being pushed out of the seating position of), thereby improving the positioning accuracy.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a metal mask assembly for deposition of an OLED having improved positioning accuracy and welding strength according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 11 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법을 나타낸 공정 모식도이다.11 to 13 are process schematic diagrams showing a method of manufacturing a metal mask assembly for OLED deposition according to an embodiment of the present invention.

도 11에 도시된 바와 같이, 마스크 시트 안착 단계에서는 사각테 형상을 갖는 마스크 프레임(140) 상에 복수의 마스크 패턴(125)이 형성된 마스크 시트(120)를 안착시킨다.As shown in FIG. 11, in the mask sheet mounting step, the mask sheet 120 having a plurality of mask patterns 125 formed thereon is mounted on the mask frame 140 having a rectangular frame shape.

여기서, 마스크 시트(120)는 일정한 인장력으로 인장이 실시된 상태일 수 있다. 이러한 마스크 시트(120)는 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)에 반대되는 제2 면(120b)을 갖는다. 이때, 마스크 시트(120)는 복수의 마스크 패턴(125)이 배치되는 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다. 복수의 마스크 패턴(125)은 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)을 관통할 수 있다. Here, the mask sheet 120 may be in a state in which tension is performed with a constant tensile force. The mask sheet 120 has a first surface 120a and a second surface 120b opposite to the first surface 120a. In this case, the mask sheet 120 includes a mask cell area MA in which the plurality of mask patterns 125 are disposed, and a dummy area DA disposed outside the mask cell area MA. The plurality of mask patterns 125 are disposed in the mask cell area MA and may penetrate the first surface 120a and the second surface 120b of the mask sheet 120.

여기서, 마스크 시트(120)의 제2 면(120b)이 마스크 프레임(140)의 상면과 맞닿도록 안착시킨다. 이에 따라, 마스크 시트(120)의 네 가장자리 일부가 마스크 프레임(140)과 중첩되도록 배치된다. 보다 구체적으로, 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA)이 마스크 프레임(140) 상에 장착되고, 마스크 시트(120)의 마스크 셀 영역(MA)은 마스크 프레임(140)의 개구 내에 배치되는 것이 바람직하다.Here, the second surface 120b of the mask sheet 120 is seated in contact with the upper surface of the mask frame 140. Accordingly, some of the four edges of the mask sheet 120 are disposed to overlap the mask frame 140. More specifically, the dummy area DA of the mask sheet 120 is mounted on the mask frame 140, and the mask cell area MA of the mask sheet 120 is disposed within the opening of the mask frame 140. desirable.

다음으로, 도 12에 도시된 바와 같이, 1차 용접 단계에서는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분을 1차 용접하여 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)을 1차 용접시키는 보강 용접 라인(180)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 12, in the first welding step, the mask sheet 120 and the mask frame 140 are formed by first welding the overlapped four corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140. A reinforcing welding line 180 for primary welding is formed.

이때, 보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어 마스크 시트(120) 및 마스크 프레임(140)의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 형성될 수 있다.At this time, the reinforcing welding line 180 is formed in the central portions of the long side and the short side of the mask sheet 120 and the mask frame 140 in addition to the overlapped four corner portions of the mask sheet 120 and the mask frame 140. I can.

이러한 보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 용접 접합강도를 보강함과 더불어, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)을 1차 용접으로 고정시켜 위치 정확도를 확보하게 된다.This reinforcing welding line 180 reinforces the welding strength of the mask sheet 120 and the mask frame 140, and fixes the mask sheet 120 and the mask frame 140 by primary welding to improve positional accuracy. Will be secured.

즉, 보강 용접 라인(180)은 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140) 간의 네 모서리 부분을 1차적으로 고정시켜 마스크 프레임(140) 상에 안착되는 마스크 시트(120)가 응력에 의해 변형되거나 뒤틀리는 것을 미연에 방지하게 된다.That is, the reinforcing welding line 180 is disposed at each of the four overlapping corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140, so that the four corners between the mask sheet 120 and the mask frame 140 are primarily formed. By fixing, the mask sheet 120 seated on the mask frame 140 is prevented from being deformed or distorted by stress.

이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 응력이 집중되는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분에만 선택적으로 보강 용접 라인(180)을 형성하는 것에 의해, 마스크 시트(120)에 변형이나 뒤틀림의 발생으로 인하여 마스크 시트(120)가 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생하는 것을 미연에 방지하여 위치 정확도를 개선할 수 있게 된다.As described above, in the embodiment of the present invention, by selectively forming the reinforcing welding line 180 only at the overlapping four corners of the mask sheet 120 and the mask frame 140 where stress is concentrated, the mask sheet 120 Due to the occurrence of deformation or distortion, the mask sheet 120 is prevented from being pushed out of the seating position and misalignment occurs, thereby improving positioning accuracy.

이러한 1차 용접은 6.5 ~ 9J의 전압 및 600 ~ 950㎛의 너겟 사이즈 조건으로 실시하는 것이 바람직하다. 1차 용접시, 전압이 6.5J 미만일 경우에는 보강 용접 라인을 형성하는데 과도한 시간을 필요로 할 수 있으므로, 바람직하지 못하다. 반대로, 1차 용접시, 전압이 9J을 초과할 경우에는 효과 상승 없이 과도한 에너지를 필요로 하므로, 경제적이지 못하다.This primary welding is preferably carried out under conditions of a voltage of 6.5 ~ 9J and a nugget size of 600 ~ 950㎛. In the case of primary welding, if the voltage is less than 6.5J, it may take an excessive amount of time to form a reinforcing welding line, which is not preferable. Conversely, in the case of primary welding, if the voltage exceeds 9J, it is not economical because it requires excessive energy without increasing the effect.

다음으로, 도 13에 도시된 바와 같이, 2차 용접 단계에서는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 가장자리를 둘러싸도록 2차 용접하여 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)을 2차 용접시키는 메인 용접 라인(160)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 13, in the second welding step, the mask sheet 120 and the mask frame 140 are secondarily welded to surround the four overlapped edges of the mask sheet 120 and the mask frame 140. A main welding line 160 for secondary welding is formed.

이러한 2차 용접은, 1차 용접과 마찬가지로, 6.5 ~ 9J의 전압 및 600 ~ 950㎛의 너겟 사이즈(Nugget Size) 조건으로 실시하는 것이 바람직하다.Like the primary welding, such secondary welding is preferably performed under conditions of a voltage of 6.5 to 9 J and a nugget size of 600 to 950 μm.

이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 모서리 부분을 1차 용접하여 보강 용접 라인(180)을 형성시킨 상태에서, 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 중첩된 네 가장자리를 둘러싸도록 2차 용접하여 메인 용접 라인(160)을 형성하게 된다.As described above, in the embodiment of the present invention, in the state in which the reinforcing welding line 180 is formed by first welding the overlapped four corner portions of the mask sheet 120 and the mask frame 140, the mask sheet 120 and the mask The main welding line 160 is formed by secondary welding so as to surround the four overlapped edges of the frame 140.

이에 따라, 본 발명의 실시예에서는 마스크 시트(120)와 마스크 프레임(140)의 응력 집중 부분이 보강 용접 라인(180)에 의해 안정적으로 고정되어 있는 상태에서, 2차 용접이 실시되기 때문에 2차 용접 과정 중 마스크 시트의 네 모서리 부분으로 응력이 집중될 염려가 없어 마스크 시트(120)가 변형되거나 뒤틀리는 문제를 미연에 방지할 수 있게 된다.Accordingly, in the embodiment of the present invention, secondary welding is performed while the stress concentration portion of the mask sheet 120 and the mask frame 140 is stably fixed by the reinforcing welding line 180. During the welding process, there is no fear of stress concentration at the four corners of the mask sheet, so that a problem in which the mask sheet 120 is deformed or distorted can be prevented in advance.

이 결과, 본 발명의 실시예에서는 마스크 시트(120)가 마스크 프레임(140) 상의 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생될 염려가 없으므로 위치 정확도를 개선할 수 있게 된다.As a result, in the embodiment of the present invention, since there is no fear that the mask sheet 120 is pushed out of the seating position on the mask frame 140 and misalignment occurs, it is possible to improve the positional accuracy.

이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.Although the above has been described with reference to the embodiments of the present invention, various changes or modifications can be made at the level of those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Such changes and modifications may be said to belong to the present invention as long as they do not depart from the scope of the technical idea provided by the present invention. Therefore, the scope of the present invention should be determined by the claims set forth below.

100 : 메탈 마스크 조립체 120 : 마스크 시트
120a : 마스크 시트의 제1 면 120b : 마스크 시트의 제2 면
125 : 마스크 패턴 140 : 마스크 프레임
140a : 마스크 프레임의 상면 140b : 마스크 프레임의 하면
142 : 마스크 프레임의 단변 144 : 마스크 프레임의 장변
160 : 메인 용접 라인 180 : 보강 용접 라인
MA : 마스크 셀 영역 DA : 더미 영역100: metal mask assembly 120: mask sheet
120a: first surface of the mask sheet 120b: second surface of the mask sheet
125: mask pattern 140: mask frame
140a: upper surface of the mask frame 140b: lower surface of the mask frame
142: the short side of the mask frame 144: the long side of the mask frame
160: main welding line 180: reinforcing welding line
MA: mask cell area DA: dummy area

Claims (10)

복수의 마스크 패턴이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치되는 더미 영역을 갖고, 상기 마스크 셀 영역에는 복수의 마스크 패턴을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브를 구비하는 마스크 시트;
상기 마스크 시트의 하부에 배치되며, 상기 마스크 시트의 네 가장자리 부분을 지지하기 위해 사각테 형상을 갖는 마스크 프레임;
상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리 부분을 둘러싸도록 배치되어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 용접시키는 메인 용접 라인;
상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 접합력을 보강하기 위한 보강 용접 라인; 및
상기 마스크 시트의 복수의 리브와 대응되는 위치의 더미 영역에 배치된 응력 완화 패턴;을 포함하는 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체로서,
상기 메인 용접 라인 및 보강 용접 라인 각각은 적어도 1줄 이상이 일정한 간격으로 이격 배치되는 띠 형태로 형성되고,
상기 보강 용접 라인은 메인 용접 라인의 내측에 배치되어, 상기 메인 용접 라인 보다 복수의 마스크 패턴과 가깝게 떨어져 배치된 제1 보강 용접 라인과, 상기 메인 용접 라인의 외측에 배치되어, 상기 메인 용접 라인 보다 복수의 마스크 패턴과 멀리 떨어져 배치된 제2 보강 용접 라인을 갖고,
상기 제1 및 제2 보강 용접 라인 각각은 상기 메인 용접 라인과 1 ~ 3mm의 간격으로 이격 배치되며, 상기 제1 및 제2 보강 용접 라인 각각은 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 배치되며,
상기 응력 완화 패턴은 마스크 시트의 제1 면 및 제2 면을 관통하며, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리 중앙 부분에 배치되어, 상기 보강 용접 라인과 함께 상기 복수의 리브 부분에 집중되는 응력을 완화시켜, 상기 마스크 시트의 변형 또는 뒤틀림에 의해 마스크 시트가 마스크 프레임의 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생하는 것을 차단하며,
상기 메탈 마스크 조립체는 7 ~ 15kgf의 용접 접합강도를 갖는 것을 특징으로 하는 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체.
A mask having a mask cell area in which a plurality of mask patterns are disposed, a dummy area disposed outside the mask cell area, and having a plurality of ribs arranged in a lattice structure surrounding a plurality of mask patterns in the mask cell area Sheet;
A mask frame disposed under the mask sheet and having a rectangular frame shape to support four edge portions of the mask sheet;
A main welding line disposed to surround the overlapped four edge portions of the mask sheet and the mask frame, and weld the mask sheet and the mask frame;
Reinforcing welding lines disposed at four overlapping corner portions of the mask sheet and the mask frame, respectively, to reinforce the bonding force between the mask sheet and the mask frame; And
A metal mask assembly for OLED deposition comprising a stress relief pattern disposed in a dummy region at a position corresponding to a plurality of ribs of the mask sheet,
Each of the main welding line and the reinforcing welding line is formed in a strip shape in which at least one line is spaced apart at regular intervals,
The reinforcing welding line is disposed inside the main welding line, the first reinforcing welding line is disposed closer to the plurality of mask patterns than the main welding line, and is disposed outside the main welding line, and is more than the main welding line. Having a plurality of mask patterns and a second reinforcing welding line disposed far apart,
Each of the first and second reinforcing welding lines is spaced apart from the main welding line at an interval of 1 to 3 mm, and each of the first and second reinforcing welding lines includes four overlapping corners of the mask sheet and the mask frame. In addition, the mask sheet and the mask frame are disposed at the center portions of the long and short sides, respectively,
The stress relief pattern penetrates the first and second surfaces of the mask sheet, and is disposed at a central portion of the overlapped four edges of the mask sheet and the mask frame, and is concentrated on the plurality of rib portions together with the reinforcing welding line. By reducing the stress, the mask sheet is pushed out of the seating position of the mask frame due to deformation or distortion of the mask sheet to prevent misalignment from occurring,
The metal mask assembly is an OLED deposition metal mask assembly with improved positional accuracy and welding bonding strength, characterized in that it has a welding bonding strength of 7 ~ 15kgf.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete (a) 사각테 형상을 갖는 마스크 프레임 상에 복수의 마스크 패턴이 형성된 마스크 시트를 안착시키는 단계;
(b) 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분을 1차 용접하여 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 1차 용접시키는 보강 용접 라인을 형성하는 단계; 및
(c) 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리를 둘러싸도록 2차 용접하여 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 2차 용접시키는 메인 용접 라인을 형성하는 단계;를 포함하는 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법으로서,
상기 (a) 단계에서, 상기 마스크 시트는 복수의 마스크 패턴이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치되는 더미 영역을 갖고, 상기 마스크 셀 영역에는 복수의 마스크 패턴을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브를 구비하고, 상기 마스크 시트의 복수의 리브와 대응되는 위치의 더미 영역에는 마스크 시트의 제1 면 및 제2 면을 관통하는 응력 완화 패턴이 더 배치되어 있으며,
상기 (b) 단계에서, 상기 메인 용접 라인 및 보강 용접 라인 각각은 적어도 1줄 이상이 일정한 간격으로 이격 배치되는 띠 형태로 형성되고, 상기 보강 용접 라인은 메인 용접 라인의 내측에 배치되어, 상기 메인 용접 라인 보다 복수의 마스크 패턴과 가깝게 떨어져 배치된 제1 보강 용접 라인과, 상기 메인 용접 라인의 외측에 배치되어, 상기 메인 용접 라인 보다 복수의 마스크 패턴과 멀리 떨어져 배치된 제2 보강 용접 라인을 갖고,
상기 제1 및 제2 보강 용접 라인 각각은 상기 메인 용접 라인과 1 ~ 3mm의 간격으로 이격 배치되며, 상기 제1 및 제2 보강 용접 라인 각각은 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 모서리 부분과 더불어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 장변 및 단변의 중앙 부분에도 각각 배치되며,
상기 (b) 단계에서, 상기 제1 및 제2 보강 용접 라인 각각은 상기 마스크 시트와 마스크 프레임의 용접 접합강도를 보강함과 더불어, 상기 마스크 시트와 마스크 프레임을 1차 용접으로 고정시켜 위치 정확도를 확보하며, 상기 응력 완화 패턴은 마스크 시트와 마스크 프레임의 중첩된 네 가장자리 중앙 부분에 배치되어, 상기 보강 용접 라인과 함께 상기 복수의 리브 부분에 집중되는 응력을 완화시켜, 상기 마스크 시트의 변형 또는 뒤틀림에 의해 마스크 시트가 마스크 프레임의 안착 위치에서 밀려나 미스 얼라인이 발생하는 것을 차단하며,
상기 (c) 단계 이후, 상기 메탈 마스크 조립체는 7 ~ 15kgf의 용접 접합강도를 갖는 것을 특징으로 하는 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
(a) mounting a mask sheet having a plurality of mask patterns formed on a mask frame having a rectangular frame shape;
(b) forming a reinforcing welding line for primary welding the mask sheet and the mask frame by first welding the overlapped four corner portions of the mask sheet and the mask frame; And
(c) forming a main welding line for secondary welding the mask sheet and the mask frame by secondary welding to surround the overlapped four edges of the mask sheet and the mask frame; manufacturing a metal mask assembly for OLED deposition comprising: As a method,
In the step (a), the mask sheet has a mask cell area in which a plurality of mask patterns are disposed, a dummy area disposed outside the mask cell area, and a grid surrounding a plurality of mask patterns in the mask cell area A plurality of ribs arranged in a structure, and a stress relaxation pattern penetrating through the first and second surfaces of the mask sheet is further disposed in a dummy region at a position corresponding to the plurality of ribs of the mask sheet,
In the step (b), each of the main welding line and the reinforcing welding line is formed in a strip shape in which at least one or more lines are spaced apart at regular intervals, and the reinforcing welding line is disposed inside the main welding line, A first reinforcing welding line disposed closer to a plurality of mask patterns than a welding line, and a second reinforcing welding line disposed outside the main welding line and disposed farther away from the plurality of mask patterns than the main welding line. ,
Each of the first and second reinforcing welding lines is spaced apart from the main welding line at an interval of 1 to 3 mm, and each of the first and second reinforcing welding lines includes four overlapping corners of the mask sheet and the mask frame. In addition, the mask sheet and the mask frame are disposed at the center portions of the long and short sides, respectively,
In the step (b), each of the first and second reinforcing welding lines reinforces the weld joint strength between the mask sheet and the mask frame, and fixes the mask sheet and the mask frame by primary welding to improve positional accuracy. And the stress relief pattern is disposed at the center of the four overlapping edges of the mask sheet and the mask frame to relieve stress concentrated on the plurality of ribs along with the reinforcing welding line, thereby deforming or twisting the mask sheet. Prevents misalignment due to the mask sheet being pushed out of the seating position of the mask frame.
After the step (c), the metal mask assembly has a welding bonding strength of 7 ~ 15kgf, characterized in that the improved position accuracy and welding bonding strength OLED deposition metal mask assembly manufacturing method.
 삭제delete 삭제delete 제7항에 있어서,
상기 1차 및 2차 용접 각각은
6.5 ~ 9J의 전압 및 600 ~ 950㎛의 너겟 사이즈 조건으로 실시하는 것을 특징으로 하는 위치 정확도 및 용접 접합강도를 향상시킨 OLED 증착용 메탈 마스크 조립체 제조 방법.The method of claim 7,
Each of the first and second welding
A method of manufacturing a metal mask assembly for OLED deposition with improved positional accuracy and welding bonding strength, characterized in that conducted under conditions of a voltage of 6.5 ~ 9J and a nugget size of 600 ~ 950㎛.
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