KR20240003890A - Raw material division open mask assembly capable of modulating position of interstitial sheet - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 오픈 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 마스크 프레임상 마스크 프레임과 오픈 마스크 사이에 접합되어 오픈 마스크를 지지하는 틈새 시트가 설치되는 마스크 프레임상 프레임 그루부의 폭을 틈새 시트를 이루는 틈새 스틱의 폭보다 넓게 형성시키는 것을 통해 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트의 접합면을 가리는 가림막 역할을 하는 틈새 스틱의 위치를 미세 조정할 수 있도록 하여 보다 정확한 조립체 제작이 가능하도록 한다. According to one embodiment of the present invention, in manufacturing an open mask assembly to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, a gap sheet is bonded between the mask frame and the open mask on the mask frame to support the open mask. By forming the width of the frame groove on the mask frame on which it is installed to be wider than the width of the gap stick forming the gap sheet, the position of the gap stick that serves as a screen to cover the joint surfaces of the plurality of raw material split sheets forming the open mask can be finely adjusted. This allows for more accurate assembly production.
Description
본 발명은 박막 공정용 마스크 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 오픈 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 마스크 프레임상 마스크 프레임과 오픈 마스크 사이에 접합되어 오픈 마스크를 지지하는 틈새 시트가 설치되는 마스크 프레임상 프레임 그루부의 폭을 틈새 시트를 이루는 틈새 스틱의 폭보다 넓게 형성시키는 것을 통해 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트의 접합면을 가리는 가림막 역할을 하는 틈새 스틱의 위치를 미세 조정할 수 있도록 하여 보다 정확한 조립체 제작이 가능하도록 하는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a mask assembly for a thin film process. More specifically, in manufacturing an open mask assembly to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, a mask is bonded between the mask frame and the open mask on the mask frame. On the mask frame where the gap sheet supporting the open mask is installed, the width of the frame groove is made wider than the width of the gap stick forming the gap sheet, thereby serving as a screen to hide the joint surface of the plurality of raw material split sheets forming the open mask. This relates to a gap sheet position variable raw material split open mask assembly that allows for fine adjustment of the position of the gap stick to enable more accurate assembly production.
일반적으로, OLED 제조 공정에서 오픈 마스크 또는 FMM 등을 생산하는데 사용되는 원자재로 인바가 사용되고 있다. Generally, Invar is used as a raw material used to produce open masks or FMMs in the OLED manufacturing process.
그러나, 이러한 인바는 제조상 한계로 인해 최대폭이 1020~1040mm 범위로 제한되어 있는데, 8세대 풀사이즈의 유리기판의 경우 인바를 원장으로 제작하는 것이 불가능하다.However, the maximum width of this Invar is limited to the range of 1020 to 1040 mm due to manufacturing limitations, and in the case of 8th generation full-size glass substrates, it is impossible to manufacture Invar as a raw material.
이에 따라, 8세대 풀사이즈용 오픈 마스크 조립체에 사용되는 OLED용 오픈 마스크를 제작하기 위해서는 원자재인 인바를 일정 길이로 재단한 복수의 원자재 분할 시트를 접합하는 방식이 제안되고 있다.Accordingly, in order to manufacture an open mask for OLED used in the 8th generation full-size open mask assembly, a method of joining a plurality of split sheets of raw material, Invar, cut to a certain length, has been proposed.
한편, 위와 같이 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 대면적 오픈 마스크 등을 이용하여 오픈 마스크 조립체를 제작하는 경우, 마스크 프레임과 오픈 마스크 사이에 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트의 접합면을 가려주는 틈새 시트가 필요하게 된다.On the other hand, when manufacturing an open mask assembly using a large-area open mask by joining a plurality of raw material split sheets as above, the joint surface of the plurality of raw material split sheets forming an open mask is hidden between the mask frame and the open mask. A gap sheet is required.
이때, 위와 같은 틈새 시트는 마스크 프레임상 단변과 장변상 격자로 배열되는 틈새 스틱(stick)과 장변 스틱 등으로 구성될 수 있으며, 각 스틱은 도 1에서 보여지는 바와 같이 마스크 프레임(150)이 형성된 프레임 그루부(frame groove)(110)에 삽입되어 마스크 프레임에 용접을 통해 접합되게 된다.At this time, the above gap sheet may be composed of gap sticks and long side sticks arranged in a grid on the short and long sides of the mask frame, and each stick is formed with the mask frame 150 as shown in FIG. 1. It is inserted into the frame groove 110 and joined to the mask frame through welding.
그러나, 이러한 프레임 그루부는 스틱의 폭과 일치하도록 구현되어 마스크 프레임상에서 스틱의 위치를 미세 조절하는 것이 불가능하였다. 따라서 원자재 분할 시트의 접합으로 이루어진 오픈 마스크를 이용한 마스크 조립체 제작시 스틱을 접합면에 정확히 위치시키기 위해 미세 조절이 필요한 경우, 이러한 미세 조절이 불가능한 문제점이 있다. However, these frame grooves were implemented to match the width of the stick, making it impossible to finely adjust the position of the stick on the mask frame. Therefore, when manufacturing a mask assembly using an open mask made by joining split sheets of raw materials, if fine adjustment is required to accurately position the stick on the joint surface, there is a problem that such fine adjustment is impossible.
따라서, 본 발명의 목적은 OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 오픈 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 마스크 프레임상 마스크 프레임과 오픈 마스크 사이에 접합되어 오픈 마스크를 지지하는 틈새 시트가 설치되는 마스크 프레임상 프레임 그루부의 폭을 틈새 시트를 이루는 틈새 스틱의 폭보다 넓게 형성시키는 것을 통해 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트의 접합면을 가리는 가림막 역할을 하는 틈새 스틱의 위치를 미세 조정할 수 있도록 하여 보다 정확한 조립체 제작이 가능하도록 하는 틈새 시트 위치 가변형 대면적 원자재 분할 오픈 마스크 조립체을 제공하는 것이다.Therefore, the purpose of the present invention is to manufacture an open mask assembly to be used on a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, and a gap sheet is installed between the mask frame and the open mask on the mask frame to support the open mask. By forming the width of the frame groove on the mask frame to be wider than the width of the gap stick forming the gap sheet, the position of the gap stick that serves as a screen to cover the joint surfaces of the plurality of raw material split sheets forming the open mask can be finely adjusted. The aim is to provide a large-area raw material split open mask assembly with variable gap sheet position that enables more accurate assembly production.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다. The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention that are not mentioned can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Additionally, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention can be realized by the means and combinations thereof indicated in the patent claims.
본 발명에 따른 틈새 시트 위치 가변형 대면적 원자재 분할 오픈 마스크 조립체는, 제1폭과 제1 길이를 가지며 마스크 프레임의 단변을 가로질러 배치되는 복수의 제1 스틱과 제2 폭과 제2 길이를 가지며 마스크 프레임의 장변을 가로질러 배치되는 복수의 제2 스틱이 격자로 배열된 형태로 형성되는 틈새 시트와, 상기 제1 스틱이 안착되는 제1 프레임 그루브와 상기 제2 스틱이 안착되는 제2 프레임 그루브가 형성되는 마스크 프레임과, 상기 틈새 시트의 상부에 접합되며, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 상기 마스크 프레임에 적용되는 타겟 유리기판의 면적에 대응되는 원장으로 형성되는 오픈 마스크 시트를 포함하며, 상기 제1 스틱은, 각 원자재 분할 시트의 접합면에 위치하고, 상기 제1 프레임 그루부의 폭은 상기 제1 스틱의 제1폭보다 크고 제1폭의 2배보다 작은 제3폭으로 형성되며, 상기 제2 스틱은, 기설정된 일정 간격으로 상기 제1 스틱이 안착되는 체결홈이 형성되며, 상기 제1 스틱은, 상기 체결홈을 통과하여 상기 제1 프레임 그루부에 안착되며, 스틱 클램프에 의해 인장된 상태에서 상기 제1 프레임 그루부의 내부에서 이동되면서 상기 복수의 원자재 분할 시트의 접합면에 위치되도록 정렬될 수 있다.The gap sheet position variable large-area raw material split open mask assembly according to the present invention has a plurality of first sticks having a first width and a first length and disposed across the short side of the mask frame, and a second width and a second length. A gap sheet in which a plurality of second sticks arranged across the long side of the mask frame are arranged in a grid, a first frame groove in which the first stick is seated, and a second frame groove in which the second stick is seated. A mask frame is formed, and an open mask sheet is bonded to the upper part of the gap sheet and formed into a ledger corresponding to the area of the target glass substrate applied to the mask frame by bonding a plurality of raw material split sheets, The first stick is located on the joint surface of each raw material split sheet, and the width of the first frame groove is formed into a third width that is larger than the first width of the first stick and less than twice the first width, 2 The stick is formed with a fastening groove into which the first stick is seated at a preset regular interval, and the first stick passes through the fastening groove and is seated in the first frame groove, and is tensioned by a stick clamp. In this state, it may be aligned to be positioned on the joint surface of the plurality of raw material split sheets while being moved inside the first frame groove.
또한, 상기 체결홈은, 상기 제2 스틱의 깊이 방향으로 상기 제2 스틱의 제2 두께의 1/2 만큼 하프 식각하고, 상기 제2 스틱의 길이 방향으로 상기 제3 폭만큼 식각하여 형성될 수 있다.Additionally, the fastening groove may be formed by half-etching an amount equal to 1/2 of the second thickness of the second stick in the depth direction of the second stick and etching an amount equal to the third width in the longitudinal direction of the second stick. there is.
또한, 상기 마스크 프레임상 상기 제2 프레임 그루부에는, 상기 체결홈과 상기 제1 프레임 그루부간 정렬을 위한 제1 얼라인 키가 형성되며, 상기 제2 스틱의 일측 끝단에는 상기 제1 얼라인 키와 정렬되는 제2 얼라인 키가 형성되며, 상기 제2 얼라인 키는, 상기 제1 얼라인 키와 정렬되는 경우, 상기 제1 프레임 그루부와 상기 체결홈이 정렬되도록 하는 상기 제2 스틱의 일측 끝단상 타겟 위치에 형성될 수 있다.In addition, a first align key for alignment between the fastening groove and the first frame groove is formed in the second frame groove on the mask frame, and the first align key is located at one end of the second stick. A second align key is formed that is aligned with the first align key, and when aligned with the first align key, the second align key aligns the first frame groove with the fastening groove of the second stick. It can be formed at the target position on one end.
또한, 상기 제2 얼라인 키는, 상기 제2 스틱상 상기 타겟 위치를 레이저로 관통시켜 생성할 수 있다.Additionally, the second align key can be generated by penetrating the target position on the second stick with a laser.
또한, 상기 제2 스틱은, 마스크 프레임상 스틱 클램프에 의해 인장된 상태에서 상기 제2 프레임 그루브 사이에서 전후로 이동되면서 상기 제2 얼라인 키가 상기 제1 얼라인 키에 정렬될 수 있다.Additionally, the second stick may be moved back and forth between the second frame grooves while being tensioned by a stick clamp on the mask frame, thereby aligning the second align key with the first align key.
또한, 상기 제1 스틱의 제1 두께는, 상기 제2 두께의 1/2배로 형성되고, 상기 제1 프레임 그루부의 제1 깊이는, 상기 제2 프레임 그루부의 제2 깊이의 1/2배로 형성되어, 상기 제1 스틱과 상기 제2 스틱이 격자로 배열된 상기 틈새 시트의 평면이 평탄화될 수 있다.In addition, the first thickness of the first stick is formed to be 1/2 times the second thickness, and the first depth of the first frame groove is formed to be 1/2 times the second depth of the second frame groove. Thus, the plane of the gap sheet where the first stick and the second stick are arranged in a grid can be flattened.
또한, 상기 제1 프레임 그루부는, 좌우 측면부가 상기 제1 프레임 그루부의 정중앙 위치로 갈수록 좌우 대칭적으로 점차 돌출되어 상기 정중앙 위치의 타겟 폭이 상기 제3 폭보다 좁게 형성되어 상기 제1 스틱의 정렬이 용이하도록 할 수 있다.In addition, the left and right side parts of the first frame groove gradually protrude symmetrically as they move toward the center position of the first frame groove, so that the target width at the center position is narrower than the third width, thereby aligning the first stick. This can be made easy.
본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 오픈 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 마스크 프레임상 마스크 프레임과 오픈 마스크 사이에 접합되어 오픈 마스크를 지지하는 틈새 시트가 설치되는 마스크 프레임상 프레임 그루부의 폭을 틈새 시트를 이루는 틈새 스틱의 폭보다 넓게 형성시키는 것을 통해 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트의 접합면을 가리는 가림막 역할을 하는 틈새 스틱의 위치를 미세 조정할 수 있도록 하여 보다 정확한 조립체 제작이 가능하도록 한다.According to one embodiment of the present invention, in manufacturing an open mask assembly to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, a gap sheet is bonded between the mask frame and the open mask on the mask frame to support the open mask. By forming the width of the frame groove on the mask frame on which it is installed to be wider than the width of the gap stick forming the gap sheet, the position of the gap stick that serves as a screen to cover the joint surfaces of the plurality of raw material split sheets forming the open mask can be finely adjusted. This allows for more accurate assembly production.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다. In addition to the above-described effects, specific effects of the present invention are described below while explaining specific details for carrying out the invention.
도 1은 일반적인 마스크 프레임 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 프레임 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 단변 스틱과 장변 스틱으로 구성된 틈새 시트가 안착된 마스크 프레임 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 하프 식각된 제2 스틱과 제1 스틱 프레임 그루부가 정렬된 상태와 제1 스틱의 위치 조절 개념을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모델별 틈새 스틱의 폭을 변경하여 위치를 조절하는 개념을 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 원자재 분할 오픈 마스크 조립체의 분리 사시도이다.1 is a plan view of a general mask frame.
Figure 2 is a perspective view of a mask frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view of a mask frame on which a gap sheet consisting of a short-side stick and a long-side stick is seated according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 illustrates the alignment of the half-etched second stick and the first stick frame groove and the concept of positioning the first stick according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 illustrates the concept of adjusting the position by changing the width of the gap stick for each model according to another embodiment of the present invention.
Figure 6 is an exploded perspective view of a large-area raw material split open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 동작 원리를 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the operating principle of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In the following description of the present invention, if a detailed description of a known function or configuration is judged to unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. The terms described below are defined in consideration of the functions in the present invention, and may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 프레임 사시도이다.Figure 2 is a perspective view of a mask frame according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 단변 스틱과 장변 스틱으로 구성된 틈새 시트가 안착된 마스크 프레임 사시도이다.Figure 3 is a perspective view of a mask frame on which a gap sheet consisting of a short-side stick and a long-side stick is seated according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 하프 식각된 제2 스틱과 제1 스틱 프레임 그루부가 정렬된 상태와 제1 스틱의 위치 조절 개념을 도시한 것이다.FIG. 4 illustrates the alignment of the half-etched second stick and the first stick frame groove and the concept of positioning the first stick according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모델별 틈새 스틱의 폭을 변경하여 위치를 조절하는 개념을 도시한 것이다.Figure 5 illustrates the concept of adjusting the position by changing the width of the gap stick for each model according to another embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 원자재 분할 오픈 마스크 조립체의 분리 사시도이다.Figure 6 is an exploded perspective view of a large-area raw material split open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 틈새 시트 위치 가변형 대면적 원자재 분할 오픈 마스크 조립체의 각 구성요소에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, each component of the gap sheet position variable large-area raw material split open mask assembly according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 5.
먼저, 일반적인 마스크 프레임의 구조에서는 틈새 시트의 틈새 스틱으로 사용되는 단변 스틱과 장변 스틱이 삽입되는 마스크 프레임상 프레임 그루부가 각 스틱의 폭과 일치하거나 미세하게 조금 더 넓은 폭으로 형성되어 스틱이 프레임 그루부상에서 거의 움직일 수 없으므로 스틱의 위치를 조절하는 것이 불가능하였음은 전술한 바와 같다.First, in the structure of a general mask frame, the frame grooves on the mask frame into which the short-side stick and long-side stick, which are used as gap sticks of the gap sheet, are inserted, are formed to match the width of each stick or to be slightly wider, so that the sticks fit into the frame groove. As mentioned above, it was impossible to adjust the position of the stick because the patient could barely move due to the injury.
이에 따라, 본 발명에서는 도 2에서 보여지는 바와 같이, 원자재 분할 시트의 하부에서 접합면에 대한 가림막 역할을 하는 단변 스틱(이하, “제1 스틱”이라 함)(312)에 대해서는 마스크 프레임(250)상 제1 스틱(312)이 삽입되는 제1 스틱 프레임 그루부(275)의 폭을 제1 스틱의 제1 폭보다 상대적으로 넓게 형성하여 제1 스틱(312)이 제1 스틱 프레임 그루부(275)의 내부에서 일정 정도 이동 가능하게 함으로써 접합면의 위치 변경에 따라 제1 스틱의 위치도 변경 가능하도록 한다.Accordingly, in the present invention, as shown in FIG. 2, the mask frame 250 is used for the short-sided stick (hereinafter referred to as “first stick”) 312, which serves as a screen for the joint surface at the bottom of the raw material split sheet. ), the width of the first stick frame groove 275 into which the first stick 312 is inserted is formed to be relatively wider than the first width of the first stick, so that the first stick 312 is inserted into the first stick frame groove ( 275), so that the position of the first stick can be changed according to the change in the position of the joint surface by allowing it to move to a certain extent within the joint.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 단변 스틱과 장변 스틱으로 구성된 틈새 시트가 안착된 마스크 프레임 사시도이다.Figure 3 is a perspective view of a mask frame on which a gap sheet consisting of a short-side stick and a long-side stick is seated according to an embodiment of the present invention.
8세대 풀사이즈에 대응하는 대면적 원자재 분할 오픈 마스크 조립체에서는 도 3에서 보여지는 바와 같이 마스크 프레임(250)과 오픈 마스크 (670)사이에 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트(610)의 접합면(630)을 가려주는 틈새 시트(330)가 마스크 프레임(250)에 안착된 후 레이저 스폿 용접 등을 통해 접합된다.In the large-area raw material split open mask assembly corresponding to the 8th generation full size, as shown in FIG. 3, the joint surface of a plurality of raw material split sheets 610 forming an open mask between the mask frame 250 and the open mask 670 The gap sheet 330 that covers 630 is placed on the mask frame 250 and then joined through laser spot welding, etc.
즉, 제1 스틱(312)은 원자재 분할 시트의 접합면을 가려주는 틈새 스틱을 의미하며, 이러한 제1 스틱은 예를 들어 제1 폭과 제1 길이를 가지며, 마스크 프레임(250)의 단변(220)을 가로질러 배치될 수 있다.That is, the first stick 312 refers to a gap stick that masks the joint surface of the raw material split sheet, and this first stick has, for example, a first width and a first length, and a short side of the mask frame 250 ( 220) can be placed across.
또한, 제1 스틱은 마스크 프레임상 단변에 형성된 제1 스틱 프레임 그루부(275)에 안착되어 마스크 프레임에 접합될 수 있다.Additionally, the first stick may be attached to the mask frame by being seated in the first stick frame groove 275 formed on a short side of the mask frame.
마스크 프레임상 장변 스틱(이하, “제2 스틱” 이라 함)(314)은 예를 들어 제2 폭과 제2 길이를 가지며, 마스크 프레임의 장변(230)을 가로질러 배치될 수 있다. 이러한, 제2 스틱(314)은 마스크 프레임상 장변에 형성된 제2 스틱 프레임 그루부(270)에 안착되어 마스크 프레임에 접합될 수 있다.The long side stick (hereinafter referred to as “second stick”) 314 on the mask frame has, for example, a second width and a second length, and may be disposed across the long side 230 of the mask frame. The second stick 314 may be seated in the second stick frame groove 270 formed on the long side of the mask frame and bonded to the mask frame.
위와 같이 마스크 프레임상 제1 스틱(312)과 제2 스틱(314)으로 구성되는 틈새 시트(330)가 접합된 이후, 도 6에서 보여지는 바와 같이 복수의 원자재 분할 시트(610)가 접합되어 원장으로 제작되는 원자재 분할 오픈 마스크 시트(670)와 얼라인 시트(680)가 틈새 시트의 상부에 접합된다.After the gap sheet 330 consisting of the first stick 312 and the second stick 314 on the mask frame is bonded as above, a plurality of raw material split sheets 610 are bonded as shown in FIG. 6 to form a ledger. The split open mask sheet 670 and the alignment sheet 680, which are made of raw materials, are joined to the upper part of the gap sheet.
이때, 본 발명의 실시예에서는 도 3에서 보여지는 바와 같이 제1 스틱 프레임 그루부(275)의 제3폭(w3)은 제1 스틱(312)의 제1 폭(w1)과 비교해서 상대적으로 넓게 형성되어 제1 스틱이 제1 스틱 프레임 그루부 내에서 일정 정도 유격을 가지면서 위치 조정이 가능하도록 한다. At this time, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, the third width (w3) of the first stick frame groove 275 is relatively small compared to the first width (w1) of the first stick 312. It is formed widely so that the position of the first stick can be adjusted while having a certain amount of clearance within the first stick frame groove.
여기서, 제1 스틱 프레임 그루부의 제3 폭(w3)은 예를 들어 제1 폭(w1)보다 크고 제1 폭의 2배보다는 작게 설정되는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니다. Here, the third width w3 of the first stick frame groove is preferably set to be larger than the first width w1 and smaller than twice the first width, but is not limited thereto.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 하프 식각된 제2 스틱과 제1 스틱 프레임 그루부가 정렬된 상태와 제1 스틱의 위치 조절 개념을 도시한 것이다.FIG. 4 illustrates the alignment of the half-etched second stick and the first stick frame groove and the concept of positioning the first stick according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예에서와 같이 제1 폭의 제1 스틱이 상대적으로 넓은 폭인 제3 폭으로 형성된 제1 스틱 프레임 그루부내에서 위치 조정이 가능하기 위해서는, 제2 스틱(314)상 제1 스틱 프레임 그루부와 직선으로 정렬되는 대응 위치(450)에 형성되어 제1 스틱이 격자 형태로 안착되는 체결홈(465)도 제1 폭보다 상대적으로 넓게 형성되는 것이 필요하며, 이러한 체결홈은 제1 스틱 프레임 그루부의 제3 폭과 동일한 폭으로 형성될 수 있다.In order to be able to adjust the position of the first stick of the first width within the first stick frame groove formed of the relatively wide third width as in the embodiment of the present invention, the first stick frame on the second stick 314 The fastening groove 465 formed at the corresponding position 450 aligned with the groove in a straight line and into which the first stick is seated in a grid shape must also be formed relatively wider than the first width, and this fastening groove is formed at the first stick It may be formed to have the same width as the third width of the frame groove.
이에 따라, 도 4에서 보여지는 바와 같이 제1 스틱이 양측에서 제1 스틱을 인장시키는 스틱 클램프(clamp)(697)에 의해 홀딩된 상태에서 원자재 분할 시트의 접합면의 위치에 정렬되는 과정에서 제1 스틱 프레임 그루부 내에서 좌우방향으로 이동될 때 제2 스틱의 체결홈 내에서도 이동이 가능하게 되어 위치 조절이 가능하게 되는 것이다.Accordingly, as shown in FIG. 4, in the process of aligning the first stick to the position of the joint surface of the raw material split sheet while being held by stick clamps 697 that tension the first stick on both sides, 1 When the stick is moved in the left and right directions within the frame groove, movement is possible within the fastening groove of the second stick, allowing position adjustment.
한편, 이러한 체결홈은 제1 스틱과 격자 배열로 결합되는 위치마다 제2 스틱상 일정 간격으로 형성될 수 있다. 또한, 제1 스틱과 제2 스틱이 격자로 배열된 상태에서 틈새 시트(330)가 평탄화되도록 제1 스틱(312)의 두께가 제1 두께인 경우, 제1 두께는 제2 스틱(314)의 제2 두께의 1/2배로 형성되고, 체결홈(465)은 제2 스틱의 깊이 방향으로 상기 제2 스틱의 제2 두께의 1/2 만큼 하프 식각(half etching)되어 형성될 수 있다. Meanwhile, these fastening grooves may be formed at regular intervals on the second stick at each position where the first stick is coupled to the first stick in a grid arrangement. In addition, when the thickness of the first stick 312 is the first thickness so that the gap sheet 330 is flattened while the first stick and the second stick are arranged in a grid, the first thickness is that of the second stick 314. It is formed to be 1/2 the second thickness, and the fastening groove 465 may be formed by half etching as much as 1/2 the second thickness of the second stick in the depth direction of the second stick.
또한, 제1 스틱과 제2 스틱이 각각 제1 스틱 프레임 그루부와 제2 스틱 프레임 그루부에 접합된 상태에서 틈새 시트가 평탄화되도록 제1 프레임 그루부의 제1 깊이는 제2 프레임 그루부의 제2 깊이의 1/2배로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, in a state where the first stick and the second stick are joined to the first stick frame groove and the second stick frame groove, respectively, the first depth of the first frame groove is the second depth of the second frame groove so that the gap sheet is flattened. It may be formed to be 1/2 the depth, but is not limited to this.
또한, 마스크 프레임상 제2 프레임 그루부에는 체결홈과 제1 프레임 그루부가 제1 스틱의 설치 방향에 맞게 잘 정렬되도록 하기 위한 제1 얼라인 키(도시되지 않음)가 형성될 수 있고, 제2 스틱의 일측 끝단에는 제1 얼라인 키와 정렬되는 제2 얼라인 키가 형성될 수 있다.In addition, a first alignment key (not shown) may be formed in the second frame groove on the mask frame to ensure that the fastening groove and the first frame groove are well aligned in the installation direction of the first stick, and a second alignment key (not shown) may be formed in the second frame groove on the mask frame. A second alignment key that is aligned with the first alignment key may be formed at one end of the stick.
이때, 이러한 제2 얼라인 키는 제1 얼라인 키와 정렬되는 경우 제1 프레임 그루부(275)와 체결홈(465)이 일직선상에 정렬되도록 하는 제2 스틱의 일측 끝단상 타겟 위치에 형성될 수 있으며, 또한, 제2 얼라인 키는 제2 스틱상 상기 타겟 위치를 레이저로 관통시켜 생성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.At this time, this second align key is formed at a target position on one end of the second stick so that the first frame groove 275 and the fastening groove 465 are aligned in a straight line when aligned with the first align key. In addition, the second align key may be created by penetrating the target position on the second stick with a laser, but is not limited to this.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따라 제1 프레임 그루부는 좌우 측면부가 제1 프레임 그루부의 정중앙 위치로 갈수록 좌우 대칭적으로 점차 돌출되어 정중앙 위치의 타겟 폭이 제3 폭보다 좁게 형성되어 제1 스틱의 정렬이 용이하도록 할 수도 있다.In addition, according to another embodiment of the present invention, the left and right side parts of the first frame groove gradually protrude symmetrically as they move toward the center position of the first frame groove, so that the target width at the center position is narrower than the third width, thereby forming the first stick. Sorting can also be facilitated.
한편, 본 발명의 일실시예에서는 제1 스틱의 제1 폭 보다 프레임 그루부의 제3 폭을 상대적으로 크게 형성하여 제1 스틱이 제1 스틱 프레임 그루부에서 일정 정도 유격을 가질 수 있도록 하였으나, 모델에 따라서 도 5에서 보여지는 바와 같이 제1 스틱의 제1 폭을 일정 정도로 작게 형성하여 제1 스틱 프레임 그루부의 폭을 제1 폭으로 동일하게 형성한 상태에서도 제1 스틱이 일정 정도 유격을 가질 수 잇다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the third width of the frame groove is formed to be relatively larger than the first width of the first stick so that the first stick can have a certain amount of clearance in the first stick frame groove, but the model Accordingly, as shown in FIG. 5, the first stick can have a certain amount of clearance even when the first width of the first stick is formed to be small to a certain extent and the width of the first stick frame groove is formed to be the same as the first width. connect.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 오픈 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 마스크 프레임상 마스크 프레임과 오픈 마스크 사이에 접합되어 오픈 마스크를 지지하는 틈새 시트가 설치되는 마스크 프레임상 프레임 그루부의 폭을 틈새 시트를 이루는 틈새 스틱의 폭보다 넓게 형성시키는 것을 통해 오픈 마스크를 이루는 복수의 원자재 분할 시트의 접합면을 가리는 가림막 역할을 하는 틈새 스틱의 위치를 미세 조정할 수 있도록 하여 보다 정확한 조립체 제작이 가능하도록 한다.As described above, according to an embodiment of the present invention, in manufacturing an open mask assembly to be used for a large-area 8th generation full-size glass substrate in the OLED manufacturing process, the open mask is bonded between the mask frame and the open mask on the mask frame. A gap stick that serves as a screen to hide the joint surface of a plurality of raw material split sheets forming an open mask by forming the width of the frame groove on the mask frame on which the gap sheet supporting the is installed to be wider than the width of the gap stick forming the gap sheet. By allowing fine adjustment of the position, more accurate assembly production is possible.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrative drawings, but the present invention is not limited to the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that transformation can occur. In addition, although the operational effects according to the configuration of the present invention were not explicitly described and explained while explaining the embodiments of the present invention above, it is natural that the predictable effects due to the configuration should also be recognized.
250 : 마스크 프레임 220 : 단변
230 : 장변 275 : 제1 스틱 프레임 그루부
270 : 제2 스틱 프레임 그루부 169 : 플레임 그루부
312 : 제1 스틱 314 : 제2 스틱
330 : 틈새 시트 465 : 체결홈250: Mask frame 220: Short side
230: Long side 275: First stick frame groove
270: Second stick frame groove 169: Flame groove
312: first stick 314: second stick
330: gap sheet 465: fastening groove
Claims (7)
제1폭과 제1 길이를 가지며 마스크 프레임의 단변을 가로질러 배치되는 복수의 제1 스틱과 제2 폭과 제2 길이를 가지며 마스크 프레임의 장변을 가로질러 배치되는 복수의 제2 스틱이 격자로 배열된 형태로 형성되는 틈새 시트와,
상기 제1 스틱이 안착되는 제1 프레임 그루브와 상기 제2 스틱이 안착되는 제2 프레임 그루브가 형성되는 마스크 프레임과,
상기 틈새 시트의 상부에 접합되며, 복수의 원자재 분할 시트를 접합하여 상기 마스크 프레임에 적용되는 타겟 유리기판의 면적에 대응되는 원장으로 형성되는 오픈 마스크 시트를 포함하며,
상기 제1 스틱은,
각 원자재 분할 시트의 접합면에 위치하고,
상기 제1 프레임 그루부의 폭은 상기 제1 스틱의 제1폭보다 크고 제1폭의 2배보다 작은 제3폭으로 형성되며,
상기 제2 스틱은,
기설정된 일정 간격으로 상기 제1 스틱이 안착되는 체결홈이 형성되며,
상기 제1 스틱은,
상기 체결홈을 통과하여 상기 제1 프레임 그루부에 안착되며, 스틱 클램프에 의해 인장된 상태에서 상기 제1 프레임 그루부의 내부에서 이동되면서 상기 복수의 원자재 분할 시트의 접합면에 위치되도록 정렬되는
틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체.A gap sheet position variable raw material split open mask assembly,
A plurality of first sticks having a first width and a first length and arranged across the short side of the mask frame and a plurality of second sticks having a second width and a second length and arranged across the long side of the mask frame are formed into a grid. Interstitial sheets formed in an arranged form,
a mask frame in which a first frame groove in which the first stick is seated and a second frame groove in which the second stick is seated are formed;
It is bonded to the upper part of the gap sheet and includes an open mask sheet formed into a ledger corresponding to the area of the target glass substrate applied to the mask frame by bonding a plurality of raw material split sheets,
The first stick is,
Located on the joint surface of each raw material split sheet,
The width of the first frame groove is formed as a third width that is larger than the first width of the first stick and less than twice the first width,
The second stick is,
Fastening grooves into which the first stick is seated are formed at preset regular intervals,
The first stick is,
It passes through the fastening groove and is seated in the first frame groove, and moves inside the first frame groove while being tensioned by a stick clamp, and is aligned to be positioned on the joint surface of the plurality of raw material split sheets.
Gap sheet position variable raw material split open mask assembly.
상기 체결홈은,
상기 제2 스틱의 깊이 방향으로 상기 제2 스틱의 제2 두께의 1/2 만큼 하프 식각하고, 상기 제2 스틱의 길이 방향으로 상기 제3 폭만큼 식각하여 형성되는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체.According to claim 1,
The fastening groove is,
A gap sheet position variable raw material division open mask formed by half etching the second thickness of the second stick in the depth direction of the second stick and etching the third width in the longitudinal direction of the second stick. assembly.
상기 마스크 프레임상 상기 제2 프레임 그루부에는,
상기 체결홈과 상기 제1 프레임 그루부간 정렬을 위한 제1 얼라인 키가 형성되며,
상기 제2 스틱의 일측 끝단에는 상기 제1 얼라인 키와 정렬되는 제2 얼라인 키가 형성되며,
상기 제2 얼라인 키는,
상기 제1 얼라인 키와 정렬되는 경우, 상기 제1 프레임 그루부와 상기 체결홈이 정렬되도록 하는 상기 제2 스틱의 일측 끝단상 타겟 위치에 형성되는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체.According to claim 2,
In the second frame groove on the mask frame,
A first alignment key is formed for alignment between the fastening groove and the first frame groove,
A second align key is formed at one end of the second stick and is aligned with the first align key,
The second align key is,
A gap sheet position variable raw material split open mask assembly formed at a target position on one end of the second stick such that the first frame groove and the fastening groove are aligned when aligned with the first align key.
상기 제2 얼라인 키는,
상기 제2 스틱상 상기 타겟 위치를 레이저로 관통시켜 생성하는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체.According to claim 3,
The second align key is,
A gap sheet position variable raw material split open mask assembly created by penetrating the target position on the second stick with a laser.
상기 제2 스틱은,
마스크 프레임상 스틱 클램프에 의해 인장된 상태에서 상기 제2 프레임 그루브 사이에서 전후로 이동되면서 상기 제2 얼라인 키가 상기 제1 얼라인 키에 정렬되는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체.According to claim 4,
The second stick is,
A gap sheet position variable raw material split open mask assembly in which the second align key is aligned with the first align key while being moved back and forth between the second frame grooves while being tensioned by a stick clamp on the mask frame.
상기 제1 스틱의 제1 두께는,
상기 제2 두께의 1/2배로 형성되고,
상기 제1 프레임 그루부의 제1 깊이는,
상기 제2 프레임 그루부의 제2 깊이의 1/2배로 형성되어, 상기 제1 스틱과 상기 제2 스틱이 격자로 배열된 상기 틈새 시트의 평면이 평탄화되는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체.According to claim 2,
The first thickness of the first stick is,
It is formed to be 1/2 times the second thickness,
The first depth of the first frame groove is,
A gap sheet position variable raw material split open mask assembly is formed to be 1/2 the second depth of the second frame groove, and the plane of the gap sheet in which the first stick and the second stick are arranged in a grid is flattened.
상기 제1 프레임 그루부는,
좌우 측면부가 상기 제1 프레임 그루부의 정중앙 위치로 갈수록 좌우 대칭적으로 점차 돌출되어 상기 정중앙 위치의 타겟 폭이 상기 제3 폭보다 좁게 형성되어 상기 제1 스틱의 정렬이 용이하도록 하는 틈새 시트 위치 가변형 원자재 분할 오픈 마스크 조립체. According to claim 1,
The first frame groove,
A gap sheet position variable raw material in which the left and right side parts gradually protrude symmetrically toward the center position of the first frame groove so that the target width at the center position is narrower than the third width to facilitate alignment of the first stick. Split open mask assembly.
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| KR1020220081718A KR20240003890A (en) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | Raw material division open mask assembly capable of modulating position of interstitial sheet |
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|---|---|---|---|---|
| KR20150071321A (en) | 2013-12-18 | 2015-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | Open mask assembly |
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