KR20150034915A - 잉크젯 프린팅 증착장치 - Google Patents
잉크젯 프린팅 증착장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20150034915A KR20150034915A KR20130114872A KR20130114872A KR20150034915A KR 20150034915 A KR20150034915 A KR 20150034915A KR 20130114872 A KR20130114872 A KR 20130114872A KR 20130114872 A KR20130114872 A KR 20130114872A KR 20150034915 A KR20150034915 A KR 20150034915A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- head
- substrate
- nozzle head
- nozzle
- ink
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
본 발명은 잉크젯 프린팅 증착장치에 관한 것이다. 본 발명은 기판이 로딩된 상태로 이동가능한 기판 스테이지; 상기 기판으로 잉크를 적하하는 잉크젯 노즐이 구비되는 노즐 헤드; 및 상기 노즐 헤드의 외측에 장착되어, 상기 노즐 헤드와의 사이에 상기 기판 주위에 형성된 기류가 유입되는 유입로를 형성하는 헤드 커버를 포함할 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 노즐 헤드에 장착되는 헤드 커버에 기판 주위에 생성된 기류가 유입되는 유입로가 형성됨으로써, 적하되는 잉크가 경로를 방해하지 않고 수직방향으로 기판의 정위치에 적하될 수 있다.
Description
본 발명은 잉크젯 프린팅 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판이 로딩된 스테이지가 이동되는 과정에서 잉크 액적이 정위치에 토출되어 패턴의 균일성을 향상시킬 수 있는 잉크젯 프린팅 증착장치에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.
이러한 평판표시장치 중 특히 유기 전계 발광소자는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광소자를 이용하여 평판표시장치를 제조하는 방법으로서 잉크젯 프린팅 증착 방법이 있다. 일반적으로 잉크젯 프린팅 증착 방법은 기판이 로딩된 스테이지가 이동하게 되고, 상부에서 기판을 향하여 잉크 액적을 토출하게 된다. 이때, 스테이지가 이동하는 과정에서 이동 방향을 따라 기류가 형성되고, 이와 같이 형성된 기류는 잉크 액적이 기판에 수직한 방향으로 토출되지 못하도록 영향을 미치는 문제가 있다. 즉, 잉크 액적이 기판에 수직한 방향으로 토출되지 않으면(정위치에 토출되지 않으면) 패턴이 균일하게 형성되지 않아 제품의 품질이 저하될 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판이 로딩된 스테이지가 이동되는 과정에서 잉크 액적이 정위치에 토출되어 패턴의 균일성을 향상시킬 수 있는 잉크젯 프린팅 증착장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은 기판이 로딩된 상태로 이동가능한 기판 스테이지; 상기 기판으로 잉크를 적하하는 잉크젯 노즐이 구비되는 노즐 헤드; 및 상기 노즐 헤드의 외측에 장착되어, 상기 노즐 헤드와의 사이에 상기 기판 주위에 형성된 기류가 유입되는 유입로를 형성하는 헤드 커버를 포함할 수 있다.
상기 헤드 커버는 상기 노즐 헤드를 전체적으로 감싸도록 장착될 수 있다.
상기 헤드 커버의 하단부에는 외측을 향하여 경사지게 가이드부가 형성될 수 있다.
상기 헤드 커버에는 상기 유입로로 유입된 기류가 빠져나가기 위한 배출구가 형성될 수 있다.
상기 노즐 헤드를 수평방향으로 이동되도록 지지하는 헤드 지지대를 더 포함할 수 있다.
상기 노즐 헤드를 상기 헤드 지지대에 장착시키는 지지유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 지지유닛은, 상기 헤드 지지대에 수평 및 수직 방향으로 이동가능하게 장착되는 헤드 이동부; 상기 헤드 이동부에 장착되어 수직축에 대하여 회전되는 회전부; 및 상기 회전부에 장착되어 상기 노즐 헤드와 연결되고, 수평축에 대하여 회전되는 틸팅부를 포함할 수 있다.
상기 노즐 헤드의 내부에는 상기 잉크를 직진으로 적하시키기 위한 전기 링이 구비될 수 있다.
상기 기판 스테이지에는 상기 잉크를 가경화시키기 위한 가열부가 구비될 수 있다.
본 발명에 의하면, 노즐 헤드에 장착되는 헤드 커버에 기판 주위에 생성된 기류가 유입되는 유입로가 형성됨으로써, 적하되는 잉크가 경로를 방해하지 않고 수직방향으로 기판의 정위치에 적하될 수 있다.
또한, 기판 스테이지에 가열부가 구비됨으로써, 기판으로 적하된 잉크가 흐르지 않고 가경화될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 증착장치를 보인 측면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 증착장치를 보인 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 증착장치를 보인 정면도.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서는 본 발명에 의한 잉크젯 프린팅 증착장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 증착장치를 보인 측면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 증착장치를 보인 정면도이다.
이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 잉크젯 프린팅 증착장치는 기판(14)이 로딩된 상태로 이동가능한 기판 스테이지(10); 상기 기판(14)으로 잉크를 적하하는 잉크젯 노즐(22)이 구비되는 노즐 헤드(20); 및 상기 노즐 헤드(20)의 외측에 장착되어, 상기 노즐 헤드(20)와의 사이에 상기 기판(14) 주위에 형성된 기류가 유입되는 유입로(32)를 형성하는 헤드 커버(30)를 포함할 수 있다.
기판 스테이지(10)는 도 1에 도시된 화살표 방향(이하에서는 'Y축 방향' 이라 한다.)으로 이동이 가능하다. 기판 스테이지(10)의 상면에는 증착을 위한 기판(14)이 로딩될 수 있으며, 기판 스테이지(10)에는 가열부(12)가 구비될 수 있다. 가열부(12)는 잉크젯 노즐(22)에서 적하된 잉크가 흐르지 않고 기판(14)의 표면에 가경화되도록 하는 역할을 한다.
노즐 헤드(20)는 대략 상하로 소정 길이를 가진 중공의 원통 형상이며, 하부는 잉크의 적하를 위해 개구된다. 본 실시예에서는 노즐 헤드(20)를 하나만 도시하였지만, 이에 제한되는 것은 아니고 노즐 헤드(20)는 Y축 방향을 따라 복수개가 구비될 수 있다.
잉크젯 노즐(22)은 기판(14)에 형성된 픽셀로 잉크를 적하한다. 본 실시예에서 적하되는 잉크는 고분자물질(polymer)을 포함하며, 특히 평판표시장치 중 유기 전계 발광소자에 형성되는 발광층일 수 있다.
또한, 노즐 헤드(20)의 내부에는 잉크가 적하되는 경로 상에 전기 링(24)이 구비될 수 있다. 전기 링(24)은 전기장을 형성하여 잉크가 직진성을 가지고 기판(14)에 수직방향으로 적하될 수 있도록 한다.
한편, 헤드 커버(30)는 노즐 헤드(20)를 전체적으로 감싸도록 장착된다. 헤드 커버(30)는 도 1에 잘 도시된 바와 같이 노즐 헤드(20)와 소정의 공간을 가지도록 장착된다. 따라서, 노즐 헤드(20)와 헤드 커버(30)의 사이에 형성된 공간에 유입로(32)가 자연스럽게 형성되고, 유입로(32)를 통해 기판(14) 주위에 형성된 기류가 유입될 수 있다.
본 실시예에서 헤드 커버(30)는 노즐 헤드(20)를 전체적으로 감싸도록 장착되는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고 노즐 헤드(20)의 외면에 소정의 유입로(32)를 형성하는 복수개의 튜브 형상으로 형성될 수도 있다.
본 실시예에서와 같이 기판 스테이지(10)가 Y축 방향으로 이동되는 과정에서 노즐 헤드(20)와의 사이에 기류가 생성될 수 있다. 이렇게 생성된 기류는 잉크젯 노즐(22)에서 적하되는 잉크의 직진성을 방해할 수 있다. 즉, 잉크가 수직방향으로 적하되지 못하여 정위치를 벗어날 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 노즐 헤드(20)와 헤드 커버(30) 사이에 유입로(32)를 형성하여 생성된 기류가 유입로(32)로 유입될 수 있도록 한 것이다. 이와 같이 기판(14)의 표면에 생성된 기류가 유입로(32)로 유입되면서 제거되기 때문에 잉크가 수직방향으로 정위치에 적하될 수 있다.
또한, 기류가 유입로(32)로 원활하게 유입될 수 있도록 하기 위해 유입로(32) 상에 흡입수단(미도시)이 구비될 수도 있다. 이때, 흡입수단은 기판(14)에 적하되는 잉크의 경로를 방해하지 않을 정도의 세기로 기류를 흡입할 수 있도록 설계되어야 할 것이다.
한편, 헤드 커버(30)에는 기류가 유입로(32)로 쉽게 유입될 수 있도록 하단부에 가이드부(34)가 형성된다. 본 실시예에서 가이드부(34)는 테이퍼지게 즉, 외측을 향하여 경사지게 형성되나, 이에 제한되는 것은 아니고 다양한 형태로 형성될 수 있다.
또한, 헤드 커버(30)에는 유입로(32)로 유입된 기류가 빠져나가기 위한 배출구(36)가 형성된다. 배출구(36)는 유입로(32)로 유입된 기류가 상승하면서 쉽게 빠져나갈 수 있도록 헤드 커버(30)의 상부에 형성될 수 있다.
다음으로, 도 2를 참조하면, 지지 플레이트(1) 상에 헤드 지지대(3)가 설치된다. 헤드 지지대(3)는 지지 플레이트(1)에 직립하게 설치된 한 쌍의 수직부와, 상기 수직부의 상단을 연결하는 수평부를 포함하고, 수평부 상에 노즐 헤드(20)가 수평 및 수직방향(도 2의 X축 및 도 1의 Z축방향)으로 이동가능하게 설치된다.
그리고, 노즐 헤드(20)는 헤드 지지대(3)에 지지유닛(40)에 의해 장착된다. 지지유닛(40)은 상기 헤드 지지대(3)에 수평 및 수직방향으로 이동가능하게 장착되는 헤드 이동부(42); 상기 헤드 이동부(42)에 장착되어 수직축에 대하여 회전되는 회전부(44); 및 상기 회전부(44)에 장착되어 상기 노즐 헤드(20)와 연결되고, 수평축에 대하여 회전되는 틸팅부(46)를 포함할 수 있다. 이와 같이 지지유닛(40)은 헤드 이동부(42), 회전부(44) 및 틸팅부(46)를 포함하고 있어 다양한 위치 및 각도로 노즐 헤드(20)가 제어될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 다양한 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1 : 지지 플레이트 3 : 헤드 지지대
10 : 기판 스테이지 12 : 가열부
14 : 기판 20 : 노즐 헤드
22 : 잉크젯 노즐 24 : 전기 링
30 : 헤드 커버 32 : 유입로
34 : 가이드부 36 : 배출구
40 : 지지유닛 42 : 헤드 이동부
44 : 회전부 46 : 틸팅부
10 : 기판 스테이지 12 : 가열부
14 : 기판 20 : 노즐 헤드
22 : 잉크젯 노즐 24 : 전기 링
30 : 헤드 커버 32 : 유입로
34 : 가이드부 36 : 배출구
40 : 지지유닛 42 : 헤드 이동부
44 : 회전부 46 : 틸팅부
Claims (9)
- 기판이 로딩된 상태로 이동가능한 기판 스테이지;
상기 기판으로 잉크를 적하하는 잉크젯 노즐이 구비되는 노즐 헤드; 및
상기 노즐 헤드의 외측에 장착되어, 상기 노즐 헤드와의 사이에 상기 기판 주위에 형성된 기류가 유입되는 유입로를 형성하는 헤드 커버를 포함하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 헤드 커버는 상기 노즐 헤드를 전체적으로 감싸도록 장착되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 헤드 커버의 하단부에는 외측을 향하여 경사지게 가이드부가 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 헤드 커버에는 상기 유입로로 유입된 기류가 빠져나가기 위한 배출구가 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 노즐 헤드를 수평방향으로 이동되도록 지지하는 헤드 지지대를 더 포함하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 노즐 헤드를 상기 헤드 지지대에 장착시키는 지지유닛을 더 포함하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 6 항에 있어서, 상기 지지유닛은,
상기 헤드 지지대에 수평 및 수직 방향으로 이동가능하게 장착되는 헤드 이동부;
상기 헤드 이동부에 장착되어 수직축에 대하여 회전되는 회전부; 및
상기 회전부에 장착되어 상기 노즐 헤드와 연결되고, 수평축에 대하여 회전되는 틸팅부를 포함하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 노즐 헤드의 내부에는 상기 잉크를 직진으로 적하시키기 위한 전기 링이 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 증착장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 기판 스테이지에는 상기 잉크를 가경화시키기 위한 가열부가 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 증착장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130114872A KR102150454B1 (ko) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 잉크젯 프린팅 증착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130114872A KR102150454B1 (ko) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 잉크젯 프린팅 증착장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150034915A true KR20150034915A (ko) | 2015-04-06 |
| KR102150454B1 KR102150454B1 (ko) | 2020-09-01 |
Family
ID=53030002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020130114872A KR102150454B1 (ko) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 잉크젯 프린팅 증착장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102150454B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190067291A (ko) * | 2017-12-06 | 2019-06-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09207355A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-12 | Toshiba Corp | 画像形成装置および画像形成方法 |
| KR20070068832A (ko) | 2005-12-27 | 2007-07-02 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 장치 |
| JP2009082816A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Seiko Epson Corp | パターン形成装置 |
| JP2010162800A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Sharp Corp | インクジェットヘッド取付け位置調整方法、及びインクジェット装置のヘッド位置制御方法 |
| JP2010221552A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-10-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 印刷装置及び印刷方法並びに枚葉印刷機と輪転印刷機 |
-
2013
- 2013-09-27 KR KR1020130114872A patent/KR102150454B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09207355A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-12 | Toshiba Corp | 画像形成装置および画像形成方法 |
| KR20070068832A (ko) | 2005-12-27 | 2007-07-02 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 장치 |
| JP2009082816A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Seiko Epson Corp | パターン形成装置 |
| JP2010162800A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Sharp Corp | インクジェットヘッド取付け位置調整方法、及びインクジェット装置のヘッド位置制御方法 |
| JP2010221552A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-10-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 印刷装置及び印刷方法並びに枚葉印刷機と輪転印刷機 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190067291A (ko) * | 2017-12-06 | 2019-06-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102150454B1 (ko) | 2020-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI613933B (zh) | 噴墨印頭以及使用此噴墨印頭製造有機發光顯示器之設備及方法 | |
| CN1263606C (zh) | 液滴喷出装置、电光装置及其制造方法、电子仪器 | |
| TWI442461B (zh) | 處理液排出裝置 | |
| CN1660584A (zh) | 擦拭装置和液滴喷出装置、电光装置及其制法、电子仪器 | |
| JP2008264608A (ja) | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 | |
| US7485347B2 (en) | Method of forming a film with linear droplets and an applied temperature gradient | |
| KR20190069538A (ko) | 도포 방법, 도포 기기 및 발광 소자 | |
| JP2011251231A (ja) | インクジェットヘッドおよびそれを搭載したインクジェット装置 | |
| JP5037145B2 (ja) | カラーフィルタ製造方法 | |
| JP5012641B2 (ja) | 液体塗布方法 | |
| JP2005131498A (ja) | 液滴塗布方法と液滴塗布装置及びデバイス並びに電子機器 | |
| CN101314278A (zh) | 液滴喷出头的配置方法、喷头单元及液滴喷出装置 | |
| JP2006088070A (ja) | インクジェット塗布方法及び表示デバイスの製造方法 | |
| KR20150034915A (ko) | 잉크젯 프린팅 증착장치 | |
| JP2013101780A (ja) | インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法 | |
| JP2012133137A (ja) | 配向膜形成液の塗布装置および塗布方法 | |
| KR100738106B1 (ko) | 컬러 필터의 제조장치 | |
| JP2006289322A (ja) | 複合型インクジェットヘッド | |
| JP2006133671A (ja) | 表示装置の製造方法及び薄膜の成膜方法 | |
| KR20220018227A (ko) | 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
| KR20130058835A (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
| KR20080095490A (ko) | 잉크젯 방식을 이용하여 프린팅 패턴을 인쇄하는 프린팅장치 및 프린팅 패턴의 인쇄 방법 | |
| KR101866796B1 (ko) | 잉크 분사 유닛 및 이를 포함하는 화소 형성 장치 | |
| KR101878287B1 (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
| JP2003255848A (ja) | 機能性素子基板の製造装置および機能性素子基板、ならびに該機能性素子基板を用いた画像表示装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| G170 | Publication of correction |