KR20150029518A - Substrate inverting and conveying device - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

The objective of the present invention is to provide a device for inverting and conveying a substrate, capable of efficiently inverting a substrate during a short work time to be conveyed to a following work stage. To achieve the objective, the device comprises: an absorption conveying tool (2) to absorb a substrate (W) to be inverted and to convey the substrate (W) to an inverting tool (3); and the inverting tool (3) to invert the substrate (W) received from the absorption conveying tool (2) to be conveyed to a stage (4) of a following process. The absorption conveying tool (2) and the inverting tool (3) are formed to be moved in directions of being close and separated to/from each other, and the substrate (W) is conveyed to the inverting tool (3) from the absorption conveying tool (2) when the absorption conveying tool (2) and the inverting tool (3) are moved to a substrate conveying position where the absorption conveying tool (2) and the inverting tool (3) are close to each other. Also, absorption operation of the substrate (W) by the absorption conveying tool (2) and conveying operation of the substrate (W) to the stage (4) of the following process are performed at a position where the absorption conveying tool (2) and the inverting tool (3) are separated from each other.

Description

기판 반전 반송 장치{SUBSTRATE INVERTING AND CONVEYING DEVICE}[0001] SUBSTRATE INVERTING AND CONVEYING DEVICE [0002]

본 발명은 유리, 실리콘과 같은 취성 재료 기판이나 그 밖의 기판에 스크라이브 라인을 가공하거나 이 스크라이브 라인을 따라 기판을 분단시키거나 하는 기판 가공 장치 등에 있어서, 기판을 반전시켜 이송할 때에 이용되는 기판 반전 반송 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 전공정 (前工程) 에서 가공된 기판을 흡착하여 반송하는 흡착 반송 기구와, 흡착 반송 기구로부터 수수된 기판을 반전시켜 다음 공정의 스테이지에 재치 (載置) 하는 반전 기구를 구비한 기판 반전 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a brittle material substrate such as glass or silicon or a substrate processing apparatus for processing a scribe line on another substrate or dividing a substrate along the scribe line, ≪ / RTI > Particularly, the present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a semiconductor device, which comprises an adsorption transport mechanism for adsorbing and transporting a substrate processed in a previous process (pre-process), and an inversion mechanism for inverting the substrate received from the adsorption / To a substrate inverting transfer apparatus.

종래부터 테이블 상에 재치한 마더 기판에 대해 스크라이브 장치로 커터 휠 (스크라이빙 휠이라고도 한다) 을 전동 (轉動) 시키거나 레이저 빔을 주사하거나 하여 스크라이브 라인을 형성한 후, 마더 기판을 반전시켜 브레이크 장치의 테이블에 재치하고, 당해 스크라이브 라인 바로 위 지점에 브레이크 바를 가압하도록 하여 기판을 브레이크하는 방법이 알려져 있으며, 예를 들어 특허문헌 1 등에서 개시되어 있다.A scribing line is formed by rotating a cutter wheel (also referred to as a scribing wheel) with a scribing device or scanning a laser beam with respect to a mother substrate that has been conventionally placed on a table, A method for placing a substrate on a table of a device and pressing the brake bar at a point directly above the scribe line to break the substrate is known and disclosed in, for example, Patent Document 1.

또, 액정 패널과 같이 2 장의 유리 기판을 첩합 (貼合) 한 마더 기판을 분단시키는 경우, 먼저, 스크라이브 장치의 테이블 상의 마더 기판에 대해 커터 휠을 전동시킴으로써, 기판의 일방의 면 (A 면) 에 스크라이브 라인을 형성한다. 이어서, 마더 기판을 반전시킨 후, 브레이크 장치의 테이블 상에 재치하고, 당해 스크라이브 라인의 바로 위 지점을 브레이크 바 등으로 가압하여 기판의 A 면을 브레이크한다. 이어서, 기판의 타방의 면 (B 면) 에 스크라이브 라인을 형성하고, 기판을 반전시킨 후, 상기와 마찬가지로 브레이크 바 등으로 가압하여 기판의 B 면을 브레이크한다. 이상과 같은 순서로 브레이크하는 방법이, 예를 들어 특허문헌 2 (도 11, 도 14) 나 특허문헌 3 (도 45) 등에서 개시되어 있다.In the case of dividing a mother substrate having two glass substrates bonded together like a liquid crystal panel, first, the cutter wheel is moved relative to the mother substrate on the table of the scribing apparatus so that one side (A side) A scribe line is formed. Subsequently, the mother substrate is inverted, placed on the table of the brake apparatus, and the point immediately above the scribe line is pressed by a brake bar or the like to break the A side of the substrate. Subsequently, a scribe line is formed on the other side (B side) of the substrate, the substrate is inverted, and then the B side of the substrate is broken by pressing the substrate with a brake bar or the like. A method of breaking in the above-described order is disclosed in, for example, Patent Document 2 (FIGS. 11 and 14) and Patent Document 3 (FIG. 45).

국제 공개공보 WO2005/053925호International Publication No. WO2005 / 053925 일본 공개특허공보 2010-076957호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2010-076957 국제 공개공보 WO2002/057192호International Publication No. WO2002 / 057192

상기 서술한 어느 경우도 기판을 반전시키기 위한 반전 기구와, 이 반전 기구에 기판을 수수하기 위한 흡착 반송 기구를 필요로 한다. 그리고, 예를 들어, 스크라이브 장치에 의해 스크라이브되고, 테이블 상에 재치되어 있는 기판을 흡착 반송 기구의 흡착판으로 흡착하고, 흡착면을 상향으로 하여 대기하고 있는 반전 기구의 반전판까지 반송하여 수수하고, 그 반전판을 반전시켜, 표리 반전된 기판을 다음 공정인 브레이크 장치의 테이블 상에 재치하도록 하고 있다.In any of the above-described cases, there is a need for a reversing mechanism for reversing the substrate and an adsorption transport mechanism for transporting the substrate to the reversing mechanism. Then, for example, the substrate scribed by the scribing device, the substrate placed on the table is sucked by the sucking plate of the sucking and conveying mechanism, and the sucking surface is conveyed up to the inverting plate of the inverting mechanism, The inverted plate is inverted to place the substrate with the front and back inverted on the table of the braking device as the next process.

또 반대로, 스크라이브 장치의 테이블 상에 재치되어 있는 기판을 반전 기구의 반전판으로 흡착하여 반전시킨 후, 상향이 된 반전 기구의 반전판 상에 있는 기판을 흡착 반송 기구의 흡착판으로 흡착하여 브레이크 장치의 테이블까지 반송하는 등의 수단이 취해지고 있다.Conversely, after the substrate placed on the table of the scribing device is adsorbed by the inversion plate of the inversion mechanism and inverted, the substrate on the inversion plate of the upward inversion mechanism is adsorbed onto the adsorption plate of the adsorption transport mechanism, And a means for conveying it to the table is taken.

그러나, 종래의 방법에서는, 흡착 반송 기구가 상하로 승강하여 기판을 흡착한 후, 반전 기구까지 이동하여 기판을 수수하고, 그 후, 다시 원래의 기판 흡착 위치까지 되돌아가는 동작을 실시하는 데에 반해, 반전 기구는 단지 수취한 기판을 반전시키기만 하면 되기 때문에, 양자의 소요 작업 시간에 큰 차이가 발생한다. 따라서, 반전 기구는 기판을 반전시켜 브레이크 장치의 테이블에 수수한 후, 흡착 반송 기구가 기판을 반송해 올 때까지 대기해야만 하여, 그 동안의 시간 로스가 크다.However, in the conventional method, the adsorption transport mechanism moves upward and downward to adsorb the substrate, then moves to the reversing mechanism to transport the substrate, and then returns to the original substrate adsorption position , The inversion mechanism only needs to invert the received substrate, so that a great difference occurs in the required working time of both. Therefore, after the substrate is inverted and transferred to the table of the brake device, the inversion mechanism must wait until the adsorption transport mechanism conveys the substrate, resulting in a large time loss.

또, 후자의 경우도 마찬가지로, 흡착 반송 기구가 브레이크 장치의 테이블로부터 반전 기구까지 되돌아온 후, 반전 기구로부터 기판을 수취하여 브레이크 장치의 테이블까지 이동하는 동작에 시간이 걸린다.Also in the latter case, it takes time for the suction transport mechanism to return from the table of the brake apparatus to the inversion mechanism, then to move the substrate from the inversion mechanism to the table of the brake apparatus.

이 때문에, 대기 시간이 적은 순조로운 작업 처리를 할 수 없고, 반전시켜 이송하는 처리 전체의 택트 시간도 길어져 작업 효율이 나쁘다는 문제점이 있었다.For this reason, there is a problem in that a smooth work process with a small waiting time can not be performed, and a tact time of the entire process for carrying out the process in reverse is also long, resulting in poor working efficiency.

그래서, 본 발명은 상기한 종래 과제를 감안하여, 흡착 반송 기구와 반전 기구의 소요 작업 시간의 언밸런스를 해소하고, 짧은 작업 시간에 효율적으로 기판을 반전시켜 다음의 작업 스테이지에 수수할 수 있는 기판 반전 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems and it is an object of the present invention to provide a substrate reversing device capable of eliminating unbalance of a required operation time of a suction transporting mechanism and a reversing mechanism, And it is an object of the present invention to provide a transport apparatus.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구하였다. 즉, 본 발명의 기판 반전 반송 장치는, 반전시켜야 할 기판을 흡착하여 하기의 반전 기구에 수수하는 흡착 반송 기구와, 당해 흡착 반송 기구로부터 수취한 기판을 반전시켜 다음 공정의 스테이지 상에 수수하는 반전 기구를 구비하고, 상기 흡착 반송 기구와 상기 반전 기구는 서로 근접, 이반하는 방향으로 이동할 수 있게 형성되고, 상기 흡착 반송 기구와 상기 반전 기구가 서로 근접한 기판 수수 위치까지 이동했을 때에, 상기 흡착 반송 기구로부터 상기 반전 기구로의 기판의 수수가 행해지도록 형성되고, 상기 흡착 반송 기구와 상기 반전 기구가 서로 멀어진 위치에서, 상기 흡착 반송 기구에 의한 기판의 흡착 동작과, 상기 반전 기구로부터 다음 공정의 스테이지로의 기판의 수수 동작이 행해지도록 형성한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention takes the following technical means. That is, the substrate inverting and conveying apparatus of the present invention comprises: a suction conveying mechanism that sucks a substrate to be inverted and feeds the substrate to the following reversing mechanism; a reversing unit that reverses the substrate received from the suction conveying mechanism, Wherein when the adsorption transporting mechanism and the reversing mechanism move to a substrate transfer position close to each other, the adsorption transporting mechanism and the reversing mechanism are moved so that the adsorption transporting mechanism and the reversing mechanism move, Wherein the adsorbing and transporting mechanism moves the substrate from the reversing mechanism to the stage of the next step at a position where the adsorption transport mechanism and the reversing mechanism are distant from each other, And the substrate is transported.

여기에서, 상기 흡착 반송 기구에 의한 기판 흡착 동작과, 상기 반전 기구에 의한 기판 반전 동작이 동기하여 행해지도록 형성하는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the substrate adsorption operation by the adsorption transport mechanism and the substrate inversion operation by the inversion mechanism are performed in synchronization with each other.

또, 상기 기판을 흡착한 흡착 반송 기구가 상기 반전 기구를 향해 이동하는 동작과, 상기 반전 기구가 흡착 반송 기구를 향해 이동하는 동작이, 동기하여 행해지도록 형성하는 것이 바람직하다.It is preferable that an operation in which the adsorption transport mechanism that adsorbs the substrate toward the reversing mechanism and an operation in which the reversing mechanism moves toward the adsorption transport mechanism are performed in synchronization with each other.

본 발명은 상기와 같이 구성하였기 때문에, 흡착 반송 기구의 동작 시간과 반전 기구의 동작 시간을 거의 동일한 길이로 설정할 수 있고, 이로써, 양자의 소요 동작 시간의 언밸런스를 해소하여 작업 시간을 단축시킬 수 있다.Since the present invention is configured as described above, the operation time of the adsorption transport mechanism and the operation time of the reversing mechanism can be set to substantially the same length, thereby eliminating the unbalance of the required operation time of both and shortening the operation time .

도 1 은 본 발명에 관련된 기판 반전 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2 는 도 1 에 나타낸 기판 반전 반송 장치에 의한 작업 순서를 나타내는 설명도이다.
도 3 은 도 2 의 작업 순서의 계속을 나타내는 설명도이다.1 is a perspective view showing a schematic structure of a substrate inverting and conveying apparatus according to the present invention.
Fig. 2 is an explanatory diagram showing a work procedure by the substrate inverting and conveying apparatus shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is an explanatory diagram showing the continuation of the work procedure of Fig. 2. Fig.

이하, 본 발명에 관련된 기판 반전 반송 장치의 상세를 실시예를 나타내는 도면에 기초하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the details of a substrate inverting and conveying apparatus according to the present invention will be described with reference to drawings showing embodiments.

본 실시예에서 나타내는 기판 반전 반송 장치 (A) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 반전시켜야 할 기판 (W) 을 재치하여 반송하는 반송체 (1) 와, 운반되어 온 기판 (W) 을 흡착하여 들어올려, 하기의 반전 기구 (3) 에 수수하는 흡착 반송 기구 (2) 와, 이 흡착 반송 기구 (2) 로부터 수취한 기판 (W) 을 반전시켜 다음 공정의 스테이지 (4) 에 수수하는 반전 기구 (3) 로 이루어진다.As shown in Fig. 1, the substrate inverting and conveying apparatus A shown in this embodiment comprises a conveying body 1 for placing and transporting a substrate W to be inverted, and a substrate W A reversing mechanism 2 for reversing the substrate W received from the adsorption and transport mechanism 2 and transferring the substrate W to the next stage 4, (3).

반송체 (1) 에 의해 운반되어 오는 기판 (W) 에는, 예를 들어 스크라이브 장치 (도시 생략) 에 의해, 상면에 복수 조 (條) 의 분단용 스크라이브 라인이 형성되어 있다. 또한, 반송체 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같은 컨베이어 (1a) 대신에 스크라이브 장치의 가동 테이블로 해도 된다. 또, 반전 기구 (3) 에 의해 반전된 기판 (W) 을 수취하는 다음 공정의 스테이지 (4) 는, 본 실시예에서는 기판 (W) 을 스크라이브 라인을 따라 분단시키는 브레이크 장치 (도시 생략) 에 반송하는 컨베이어 (4a) 를 사용하고 있는데, 이것에 대해서도 컨베이어 (4a) 대신에 브레이크 장치의 가동 테이블로 해도 된다.A plurality of scribing lines for division are formed on the upper surface of the substrate W carried by the carrier 1 by a scribing device (not shown), for example. The conveying body 1 may be a movable table of a scribing device instead of the conveyor 1a as shown in Fig. The stage 4 of the next process for receiving the substrate W inverted by the inversion mechanism 3 is transported to a brake device (not shown) for dividing the substrate W along the scribe line in the present embodiment The conveyor 4a may be replaced by a movable table of a braking device instead of the conveyor 4a.

또한, 설명의 편의상, 도 1 에서는, 흡착 반송 기구 (2) 와 반전 기구 (3) 가 상대적으로 이동하는 방향을 X 방향으로 하고, X 방향과 직교하는 방향을 Y 방향으로 한다.1, the direction in which the adsorption transport mechanism 2 and the inversion mechanism 3 relatively move is the X direction, and the direction orthogonal to the X direction is the Y direction.

상기의 흡착 반송 기구 (2) 는, 기판 반전 반송 장치 (A) 의 기계틀 (5) 의 상면에서, X 방향을 따라 연장되는 좌우의 레일 (6, 6) 을 따라 이동할 수 있게 형성된 제 1 주행체 (7) 를 구비하고 있다. 제 1 주행체 (7) 는, Y 방향으로 연장되는 가이드 (8) 를 구비하고, 가이드 (8) 를 따라 이동할 수 있는 지지 부재 (9) 가 형성되어 있고, 지지 부재 (9) 에 에어 실린더 (10) 에 의해 승강하는 수평인 흡착판 (11) 이 장착되어 있다.The adsorption transport mechanism 2 described above is configured to move along the left and right rails 6 and 6 extending along the X direction on the upper surface of the mechanical frame 5 of the substrate inverting and conveying apparatus A, (7). The first traveling body 7 is provided with a guide 8 extending in the Y direction and a support member 9 capable of moving along the guide 8 is formed and the air cylinder 10, which is a horizontal lifting and lowering plate.

흡착판 (11) 은, 그 하면에 다수의 에어 흡인공이 형성되고, 도시는 생략하지만, 배관을 통해 배큐엄 펌프 등의 에어 흡인원에 접속되어 있다. 또, 제 1 주행체 (7) 는 모터를 내장하는 구동부 (12) 에 의해 구동된다.A plurality of air suction holes are formed on the bottom surface of the suction plate 11, and although not shown, they are connected to an air suction source such as a vacuum pump through a pipe. The first traveling body 7 is driven by a driving unit 12 incorporating a motor.

반전 기구 (3) 는, 레일 (6, 6) 을 따라 이동할 수 있게 형성된 제 2 주행체 (13) 를 구비하고 있고, 모터를 내장하는 구동부 (14) 에 의해 구동된다.The reversing mechanism 3 has a second traveling body 13 formed to be movable along the rails 6 and 6 and is driven by a driving unit 14 incorporating a motor.

제 2 주행체 (13) 에는 Y 방향으로 연장되는 회전축 (15) 이 형성되어 있고, 회전축 (15) 에 아암 (16, 16) 을 개재하여 반전판 (17) 이 장착되어 있다. 이 회전축 (15) 의 회동 (回動) 에 의해, 반전판 (17) 이 흡착 반송 기구 (2) 측을 향한 수평인 자세 (도 1 및 도 2(a) 참조) 로부터 스테이지 (4) 측으로 반전된 자세 (도 2(b) 참조), 그리고 그 반대 방향으로 반전 회동할 수 있도록 형성되어 있다.A rotary shaft 15 extending in the Y direction is formed in the second traveling body 13 and an inverting plate 17 is mounted on the rotary shaft 15 via arms 16 and 16. The reversing plate 17 is reversed from the horizontal posture (refer to FIG. 1 and FIG. 2 (a)) toward the adsorption and conveying mechanism 2 side by the rotation of the rotary shaft 15 (Refer to Fig. 2 (b)), and is reversely rotated in the opposite direction.

반전판 (17) 은, 흡착 반송 기구 (2) 측을 향한 수평인 자세에 있어서 그 상면에 다수의 에어 흡인공 (17a) 이 형성되어 있고, 도시는 생략하지만, 배관을 통해 배큐엄 펌프 등의 에어 흡인원에 접속되어 있다. 또, 회전축 (15) 은 모터를 내장하는 구동부 (18) 에 의해 구동된다.A plurality of air suction holes 17a are formed on the upper surface of the reversing plate 17 in a horizontal posture toward the absorption transporting mechanism 2 side. And is connected to an air suction source. The rotary shaft 15 is driven by a drive unit 18 incorporating a motor.

상기의 구성에 의해, 흡착 반송 기구 (2) 와 반전 기구 (3) 는, 서로 근접하거나 멀어지거나 하는 방향으로 이동할 수 있게 되어 있다. 그리고, 흡착 반송 기구 (2) 와 반전 기구 (3) 가 서로 근접한 위치, 즉 기판 수수 위치로 이동했을 때에 기판 (W) 의 수수가 행해지고, 서로 멀어진 위치에서 흡착 반송 기구 (2) 에 의한 기판 (W) 의 흡착 동작과, 반전 기구 (3) 에 의한 기판 (W) 의 반전 동작이 동기하여 행해지도록 되어 있다.With the above arrangement, the adsorption transport mechanism 2 and the reversing mechanism 3 can move in a direction in which they approach or move away from each other. When the adsorption transport mechanism 2 and the inversion mechanism 3 move to a position close to each other, that is, to the substrate transfer position, the substrate W is transported, and the substrate W W and the inversion operation of the substrate W by the inversion mechanism 3 are performed in synchronization with each other.

이하, 이 동작을 도 2 및 도 3 에 기초하여 설명한다.Hereinafter, this operation will be described based on Fig. 2 and Fig.

도 2(a) 는 흡착 반송 기구 (2) 와 반전 기구 (3) 가 가장 멀어진 위치에 있는 상태를 나타내고 있다. 이 때, 기판 (W) 은 반송체 (1) 에 의해 흡착 반송 기구 (2) 의 하방까지 운반되어 대기하고 있다. 또, 반전 기구 (3) 의 반전판 (17) 의 상면에는, 아직 기판 (W) 은 재치되어 있지 않다.Fig. 2 (a) shows a state in which the adsorption transport mechanism 2 and the reversing mechanism 3 are located at the most distant positions. At this time, the substrate W is carried to the lower side of the adsorption transport mechanism 2 by the transport body 1 and is standing by. On the upper surface of the reversing plate 17 of the reversing mechanism 3, the substrate W is not yet placed.

이 위치에서, 도 2(b) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 의 흡착판 (11) 의 강하와, 반전 기구 (3) 의 반전판 (17) 의 반전 동작이 동기하여 행해지고, 흡착판 (11) 에 의해 기판 (W) 이 흡착된다.2 (b), the descent of the attracting plate 11 of the attracting and conveying mechanism 2 and the reversing operation of the reversing plate 17 of the turning mechanism 3 are performed in synchronization with each other, 11).

또한, 이하에 있어서, 흡착 반송 기구 (2) 가 반송체 (1) 상의 기판 (W) 을 흡착하는 위치를「기판 흡착 위치」라고 하고, 반전 기구 (3) 의 반전판 (17) 이 반전되는 위치를「기판 반전 위치」라고 하고,「기판 흡착 위치」와「기판 반전 위치」의 중간 지점을「기판 수수 위치」라고 한다.Hereinafter, the position at which the adsorption transport mechanism 2 adsorbs the substrate W on the carrier 1 is referred to as " substrate adsorption position ", and the reverse plate 17 of the reverse mechanism 3 is reversed Quot; substrate reversing position ", and a midpoint between " substrate suction position " and " substrate reversal position "

이어서, 도 2(c) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (W) 을 흡착한 흡착 반송 기구 (2) 의 흡착판 (11) 이 상승함과 동시에 반전 기구 (3) 의 반전판 (17) 이 에어 흡인공 (17a) 을 위로 향한 자세로 복귀한다. 계속해서, 도 2(c) 및 도 2(d) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 및 반전 기구 (3) 가 서로 근접하는 방향을 향하여 이동을 개시하여, 기판 수수 위치 (Z) 까지 이동한다. 이 기판 수수 위치에서, 도 2(e) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (W) 을 흡착 반송 기구 (2) 의 흡착판 (11) 으로부터 반전 기구 (3) 의 반전판 (17) 에 수수한다.Subsequently, as shown in Fig. 2 (c), the adsorption plate 11 of the adsorption transport mechanism 2 adsorbing the substrate W rises and at the same time, the reverse plate 17 of the reverse mechanism 3, (17a) upward. Subsequently, as shown in Fig. 2 (c) and Fig. 2 (d), the adsorption transporting mechanism 2 and the reversing mechanism 3 start moving toward the direction of approaching each other, Move. At this substrate transfer position, the substrate W is transferred from the adsorption plate 11 of the adsorption transport mechanism 2 to the reverse plate 17 of the reverse mechanism 3, as shown in Fig. 2 (e).

이어서, 도 3(a) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 및 반전 기구 (3) 는 서로 이반하는 방향으로 이동을 개시하고, 도 3(b) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 는 기판 흡착 위치, 반전 기구 (3) 는 반전 위치까지 이동한다. 이 때, 반송체 (1) 에 의해 다음 기판 (W') 이 흡착 반송 기구 (2) 의 하방까지 반송되어 대기하고 있다.Subsequently, as shown in Fig. 3 (a), the adsorption transporting mechanism 2 and the reversing mechanism 3 start moving in directions opposite to each other, and as shown in Fig. 3 (b) ) Is moved to the substrate adsorption position, and the inversion mechanism (3) moves to the inversion position. At this time, the next substrate W 'is conveyed to the lower side of the adsorption transport mechanism 2 by the transporting body 1 and is waiting.

계속해서, 도 3(c) 에 나타내는 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 의 흡착판 (11) 이 강하하여 기판 (W') 을 흡착함과 함께, 동기하여 반전 기구 (3) 의 반전판 (17) 이 반전하여 선행하는 기판 (W) 을 스테이지 (4) 에 수수한다. 그 후, 도 3(d) 의 화살표에 나타내는 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 및 반전 기구 (3) 가 서로 근접하는 기판 수수 위치를 향해 이동을 개시하고, 기판 수수 위치에서 흡착 반송 기구 (2) 로부터 기판 (W') 이 반전 기구 (3) 에 수수된다. 상기의 동작을 반복함으로써, 반송체 (1) 에 의해 반송되는 기판이 순차적으로 반전되어 다음의 스테이지 (4) 에 수수된다.Subsequently, as shown in Fig. 3 (c), the attracting plate 11 of the attracting and conveying mechanism 2 is lowered to attract the substrate W ', and at the same time, the reversing plate 17 ) Is inverted to transfer the preceding substrate W to the stage 4. [ 3 (d), the adsorption transport mechanism 2 and the reversing mechanism 3 start moving toward the substrate transfer position close to each other, and the adsorption transport mechanism 2 The substrate W 'is transferred to the reversing mechanism 3 from the substrate W'. By repeating the above operation, the substrate carried by the carrying body 1 is sequentially reversed and transferred to the next stage 4.

또한, 상기한 흡착 반송 기구 (2) 및 반전 기구 (3) 의 동작은, 각각의 기구의 각 구동부를 컴퓨터 제어함으로써 행해진다.The operations of the adsorption transport mechanism 2 and the reversing mechanism 3 are performed by computer-controlling each of the driving units of the respective mechanisms.

상기한 바와 같이, 흡착 반송 기구 (2) 와 반전 기구 (3) 가 서로 근접한 위치까지 이동했을 때에, 기판 (W) 의 수수가 행해지도록 함과 함께, 흡착 반송 기구 (2) 와 반전 기구 (3) 가 서로 멀어진 위치에서, 흡착 반송 기구 (2) 에 의한 기판 (W) 의 흡착 동작과, 반전 기구 (3) 의 반전 동작이 행해지도록 형성하였기 때문에, 흡착 반송 기구 (2) 의 동작 시간과 반전 기구 (3) 의 동작 시간을 거의 동일한 길이로 설정할 수 있다. 이로써, 양자의 소요 동작 시간의 언밸런스를 해소할 수 있어, 전체적인 작업 시간을 단축시킬 수 있다.As described above, when the adsorption transport mechanism 2 and the reversing mechanism 3 move to a position close to each other, the substrate W is transported and the adsorption transport mechanism 2 and the reversing mechanism 3 The suction operation of the substrate W by the suction transport mechanism 2 and the reverse operation of the reversal mechanism 3 are performed at a position where the suction transport mechanism 2 and the suction transport mechanism 2 are apart from each other, The operation time of the mechanism 3 can be set to substantially the same length. Thereby, unbalance of the required operation time of both can be eliminated, and the whole working time can be shortened.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 반드시 상기 실시형태에 특정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 실시예에서는 제 1 주행체 (7) 와 제 2 주행체 (13) 는 공통의 레일 (6) 을 따라 주행하도록 하였지만, 각각 전용 레일을 마련하여 주행하도록 형성할 수도 있다. 그 밖에, 본 발명에서는 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.While the exemplary embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above embodiments. For example, although the first traveling body 7 and the second traveling body 13 run along the common rail 6 in the above embodiment, they may be provided so as to run with dedicated rails. In addition, it is possible in the present invention to appropriately modify or change the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention.

본 발명은 기판 상에 스크라이브 라인을 형성하여 이 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 기판 반전 반송 장치에 이용된다.The present invention is used in a substrate inverting and conveying apparatus which forms a scribe line on a substrate and breaks along the scribe line.

A : 기판 반전 반송 장치
W : 기판
1 : 반송체
2 : 흡착 반송 기구
3 : 반전 기구
4 : 다음 공정의 스테이지
5 : 기계틀
6 : 레일
11 : 흡착판
17 : 반전판A: substrate reversing conveying device
W: substrate
1:
2: Adsorption transport mechanism
3: Reversing mechanism
4: stage of next process
5: Mechanical frame
6: Rail
11: Suction plate
17: Reversing plate

Claims (3)

반전시켜야 할 기판을 흡착하여 하기의 반전 기구에 수수하는 흡착 반송 기구와, 당해 흡착 반송 기구로부터 수취한 기판을 반전시켜 다음 공정의 스테이지 상에 수수하는 반전 기구를 구비하고, 상기 흡착 반송 기구와 상기 반전 기구는 서로 근접, 이반하는 방향으로 이동할 수 있게 형성되고, 상기 흡착 반송 기구와 상기 반전 기구가 서로 근접한 기판 수수 위치까지 이동했을 때에, 상기 흡착 반송 기구로부터 상기 반전 기구로의 기판의 수수가 행해지도록 형성되고, 상기 흡착 반송 기구와 상기 반전 기구가 서로 멀어진 위치에서, 상기 흡착 반송 기구에 의한 기판의 흡착 동작과, 상기 반전 기구로부터 다음 공정의 스테이지로의 기판의 수수 동작이 행해지도록 형성한 것을 특징으로 하는 기판 반전 반송 장치.An adsorption transport mechanism for adsorbing a substrate to be inverted and delivering to an inversion mechanism described below and an inversion mechanism for inverting the substrate received from the adsorption transport mechanism and delivering the adsorbed on the stage of the next process, Wherein the reversing mechanism is formed so as to move in a direction in which the reversing mechanism approaches and separates from each other, and when the suction transporting mechanism and the reversing mechanism move to the substrate transfer position close to each other, the substrate is transferred from the absorption transporting mechanism to the reversing mechanism And the adsorption operation of the substrate by the adsorption transport mechanism and the transport operation of the substrate from the inversion mechanism to the next stage are performed at positions where the adsorption transport mechanism and the reverse mechanism are distant from each other Wherein said substrate reversing and transferring device comprises: 제 1 항에 있어서,
상기 흡착 반송 기구에 의한 기판 흡착 동작과, 상기 반전 기구에 의한 기판 반전 동작이 동기하여 행해지도록 형성한 것을 특징으로 하는 기판 반전 반송 장치.The method according to claim 1,
Wherein a substrate suction operation by the suction transport mechanism and a substrate reverse operation by the inversion mechanism are performed in synchronization with each other. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기판을 흡착한 상기 흡착 반송 기구가 상기 반전 기구를 향해 이동하는 동작과, 상기 반전 기구가 상기 흡착 반송 기구를 향해 이동하는 동작이, 동기하여 행해지도록 형성한 것을 특징으로 하는 기판 반전 반송 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the operation of moving the adsorption transporting mechanism that adsorbs the substrate toward the reversing mechanism and the operation of moving the reversing mechanism toward the adsorption transporting mechanism are performed in synchronization with each other.
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