JP4644382B2

JP4644382B2 - Exposure system

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Publication number: JP4644382B2
Application number: JP2001126103A
Authority: JP
Inventors: 誠一郎豊田
Original assignee: Hitachi Via Mechanics Ltd
Current assignee: Via Mechanics Ltd
Priority date: 2001-04-24
Filing date: 2001-04-24
Publication date: 2011-03-02
Anticipated expiration: 2021-04-24
Also published as: JP2002323777A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a carrying and inverting device which have simple structure, eliminates the need to roughly position a substrate again after inverting it, has a small number of driving sources, and needs not move together with an air pipe, etc., and to provide an exposure system using the device. SOLUTION: An inversion part 30 is provided with a carrier A2 which rotates by 90 deg. while moving the substrate and a carrier B1 which receives the substrate from the carrier A2 and rotates by 90 deg. while moving. Further, a carrier A2 and a carrier B2 which move the substrate are also included; and the carriers are provided with energizing springs A1-3, A2-3, B1-3, and B2-3 which energize holding parts that the carriers have upward and the holding parts are lowered by cylinders 11, 21, 41, and 52.

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の製造ライン中で、一つの工程から次工程に移るときに、基板の表裏面を反転させる搬送反転装置を用いて基板の両面に原版フィルムを密着して露光する露光システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、この種の装置について、各種の提案が行われている。
例えば、特許第２８９７０７３号公報には、基板を保持する保持部の移動と回転を同一の駆動源で行う反転装置が記載されている。
しかし、上記公報に記載の反転装置では、露光システムに用いる場合、反転後に再度粗位置決めを行う必要があった。
また、特開平７−２５１９２１号公報には、反転後に粗位置決めが不要な反転装置が記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述した従来の装置は、いずれも反転動作を独立して行うので、反転に必要な動作時間が露光システム全体の処理時間を長くする原因となるという問題があった。
また、特開平７−２５１９２１号公報に記載の反転装置では、装置が複雑であった。
【０００４】
本発明の課題は、反転後に基板の粗位置決めを再度行わなくてもよく、駆動源が少なく、エアー（空気）配管等を連れ回して移動することもなく、構造が簡単な露光システムを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００８】
請求項１の発明は、感光性を有する基板（Ｋ）の両面に露光を行う露光システムであって、搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部（１０）と、前記粗位置決め部によって粗位置決めされた前記基板を精密位置決めして、前記基板の第１の面（ＫＡ）を露光する第１の露光部（２０）と、前記第１の露光部により露光された前記基板を反転させる反転部（３０）と、前記反転部により反転された前記基板を精密位置決めして、前記基板の第２の面（ＫＢ）を露光する第２の露光部（４０）と、を備え、前記反転部の搬送反転装置は、基板の第１の面を保持し、第１の移動手段により移動される第１の保持手段と、前記第１の移動手段による移動位置に応じて、前記第１の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第１の回転手段と、第１の付勢手段と、を有する第１のユニットと、前記基板の第２の面を保持し、第２の移動手段により移動される第２の保持手段と、前記第２の移動手段による移動位置に応じて、前記第２の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第２の回転手段と、第２の付勢手段と、を有する第２のユニットと、前記第１の保持手段の保持面及び前記第２の保持手段の保持面が略垂直位置にある状態であって、前記基板の第１の面と第２の面とがそれぞれ前記第１の保持手段の保持面と前記第２の保持手段の保持面とに密着しているときに、前記基板の保持を前記第１の保持手段から前記第２の保持手段に切り替えるように前記第１及び第２のユニットを制御する制御部と、前記第１及び第２の回転手段は、前記第１及び第２のユニットの移動方向に沿って設けられた第１及び第２のラックギヤとかみ合い、前記第１及び第２の移動手段によって移動されることにより得た回転を、前記第１及び第２の保持手段に伝える段ギアを備えるものであって、前記第１の露光部は、前記基板の第１の面を露光するための第１の露光テーブルと、光源と、第１のアクチュエータとを備え、前記第１の保持手段に露光を完了した前記基板を渡す基板渡し部であって、前記第２の露光部は、前記基板の第２の面を露光するための第２の露光テーブルと、光源と、第２のアクチュエータとを備え、前記第２の保持手段から露光を完了した前記基板を受け取る基板受取部であって、前記第１及び第２の付勢手段は、略水平位置にあるときの前記第１及び第２の保持部の保持面を、前記第１及び第２の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢するものであって、前記第１及び第２のアクチュエータは、それぞれ前記第１及び第２の付勢手段に抗して前記第１及び第２の保持部の保持面を前記第１及び第２の基板露光テーブルに接する方向に駆動するものである、ことを特徴とする露光システムである。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の露光システムにおいて、前記基板の第１の面（ＫＡ）を保持する第３の保持手段（Ａ１−６）を有し、第３の移動手段により前記粗位置決め部（１０）から前記第１の露光部（２０）へ移動する第３のユニット（Ａ１）と、前記基板の第２の面（ＫＢ）を保持する第４の保持手段（Ｂ２−６）を有し、第４の移動手段により前記第２の露光部（４０）から搬出部（５０）へ移動する第４のユニット（Ｂ２）と、を備え、前記第１及び第２のユニット（Ａ２，Ｂ１）は、前記第１の露光部と前記第２の露光部との間に設けられていること、を特徴とする露光システムである。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項２に記載の露光システムにおいて、前記第３及び第４のユニット（Ａ１，Ｂ２）は、前記第３及び第４の保持手段（Ａ１−６，Ｂ２−６）の保持面を、前記第１及び第２の基板露光テーブル（２２，４２）から所定距離離れた位置にあるように付勢する第３及び第４の付勢手段（Ａ１−３，Ｂ２−３）を備え、前記第１及び第２のアクチュエータ（２１，４１）は、それぞれ前記第３及び第４の付勢手段に抗して前記第３及び第４の保持部の保持面を前記第１及び第２の基板露光テーブルに接する方向への駆動も行うこと、を特徴とする露光システムである。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項３に記載の露光システムにおいて、前記粗位置決め部（１０）及び前記搬出部（５０）には、それぞれ前記第３及び第４の付勢手段（Ａ１−３，Ｂ２−３）に抗して前記第３及び第４の保持手段（Ａ１−６，Ｂ２−６）の保持面を駆動する第３及び第４のアクチュエータ（１１，５１）が固定されていること、を特徴とする露光システムである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。
（第１実施形態）
図１及び図２は、本発明による搬送反転装置（反転部）と、この搬送反転装置を含む露光システムの第１実施形態の動作を説明する図である。
本実施形態における露光システムは、粗位置決め部１０，Ａ面露光部２０，反転部３０，Ｂ面露光部４０，搬出部５０を備えている。
【００１４】
粗位置決め部１０は、図示しない前工程から受け台１２上に投入された基板Ｋ（図中には、基板Ｋ１〜Ｋ４を示すが、総じて基板Ｋとする）を粗位置決めする（概ねの位置に位置決めする）部分であり、図示しない複数のピンに基板Ｋの端面を突き当てる等して、位置決めを行う。粗位置決め部１０には、シリンダ１１（第３のアクチュエータ）が設けられているが、これについての説明は、他のシリンダ２１（第１のアクチュエータ），４１（第２のアクチュエータ），５１（第４のアクチュエータ）と併せて後に行う。
【００１５】
Ａ面露光部２０は、シリンダ２１，露光テーブル（第１の基板台）２２，原版フィルム２３，光源２４を備え、露光テーブル２２に空気吸引により吸着された基板Ｋを原版フィルム２３に対して精密位置決め（以下、整合）した後に、基板ＫのＡ面（第１の面）に原版フィルム２３を密着してＡ面を光源２４により露光する第１の露光部（基板渡し部）である。
【００１６】
粗位置決め部１０とＡ面露光部２０との間には、キャリアＡ１が両者の間を往復可能に設けられている。キャリアＡ１は、基板Ｋを保持部Ａ１−６により保持して粗位置決め部１０からＡ面露光部２０へ移動するユニット（第３のユニット）である。
【００１７】
反転部３０は、ラックギア３１，３２と、キャリアＡ２，Ｂ１を備え、基板Ｋの表裏を反転する搬送反転装置である。
図３は、キャリアＡ２を拡大した図である。
図４は、キャリアＡ２を図３中の矢印Ｘ方向から見た図である。
キャリアＡ２は、ベース部Ａ２−１，上下可動部Ａ２−２，付勢ばねＡ２−３，第１ギヤＡ２−４，第２ギヤＡ２−５，保持部Ａ２−６を備えたユニット（第１のユニット）である。
ベース部Ａ２−１は、レール６０によりガイドされ、図示しない駆動部（第１の移動手段）によりレール６０に沿った方向に移動する。
上下可動部Ａ２−２は、ベース部１に対して上下方向（図３及び図４においての上下とする。以下、本実施形態の説明中において、同様に使用する）に移動可能に設けられた部材であり、付勢ばねＡ２−３によって上方向に付勢され、付勢ばねＡ２−３による付勢力以外の外力を受けない場合には、ベース部Ａ２−１に対して所定の位置に規制されている。
第１ギヤＡ２−４は、大歯車がラック３１とかみ合う位置に設けられ、小歯車に第２ギヤＡ２−５がかみ合っている段ギヤである。
保持部Ａ２−６は、基板Ｋを空気の負圧により吸引して保持する部分であり、第２ギヤＡ２−５の回転軸に対して一体で回転するように保持されている。
なお、上記各部は、図４に示すように、保持部６を中心にして、両側に同様な形態で設けられている。
【００１８】
ここで、キャリアＡ２の基本的な動作について説明する。
図３（ａ）と図４は、Ａ面露光部２０にキャリアＡ２がある状態を示しており、シリンダ２１と露光テーブル２２を併せて示している。なお、位置関係が明確になるように、図４には、ラックギヤ３１も併せて示しているが、図１〜図３に示すように、ラックギヤ３１は、反転部３０に設けられている。
露光を終えた基板Ｋを反転部３０へ移動するときには、キャリアＡ２がＡ面露光部２０に移動し、シリンダ２１の先端部が上下可動部Ａ２−２の作用部Ａ２−２ａを引き下げ、付勢ばねＡ２−３の付勢力に抗して上下可動部Ａ２−２を下降させる。上下可動部Ａ２−２が下降すると、保持部Ａ２−６も同時に下降し、基板ＫのＡ面ＫＡに保持面Ａ２−６ａが接する〔図３（ａ）の状態〕。この状態で保持部Ａ２−６の空気吸引を開始して、基板Ｋを保持部Ａ２−６に吸着し、露光テーブル２２側の吸引を解除する。そして、シリンダ２１を上昇させてやることにより、基板Ｋは、保持部Ａ２−６に保持されたまま上昇し、キャリアＡにより移動可能になる。
【００１９】
基板Ｋを保持したキャリアＡ２は、図示しない駆動部により駆動力を得て図１中右方向に移動を行う。移動開始直後の第１ギヤＡ２−４は、ラックギヤ３１とかみ合う位置にないので、保持部Ａ２−６は、略水平を保ったまま移動する（図１におけるＴ１）。そのまま移動を続けると、第１ギヤＡ２−４がラックギヤ３１とかみ合う位置に到達し、第１ギヤＡ２−４が回転を開始する（図１におけるＴ２）。図３（ｂ）には、保持部Ａ２−６が移動しながら回転する状態を示した（６−１〜６−５）。保持部Ａ２−６の回転は、ラックギヤ３１と第１ギヤＡ２−４がかみ合う範囲で９０度回転するようにラックギヤ３１，第１ギヤＡ２−４，第２ギヤＡ２−５の歯数が設定されている。したがって、保持部Ａ２−６は、略水平状態から略垂直状態まで回転する。
なお、キャリアＡ２は、第１ギヤＡ２−４とラックギヤ３１とのかみ合いが外れた後も、わずかな距離だけ移動を行う。このとき、保持部Ａ２−６は、略垂直状態のまま移動する。
【００２０】
キャリアＢ１は、キャリアＡ２と同様な形態のユニット（第２のユニット）であり、保持部Ｂ１−６の保持面Ｂ１−６ａがキャリアＡ２の保持面Ａ２−６ａと対面可能な向きに回転するように設けられており、その他のベース部Ｂ１−１，上下可動部Ｂ１−２，付勢ばねＢ１−３，第１ギヤＢ１−４，第２ギヤＢ１−５は、キャリアＡ２と同様に設けられている。
基板Ｋを反転するときには、キャリアＡ２によって９０度回転した基板Ｋを、略垂直状態でキャリアＢ１の保持面Ｂ１−６ａに密着させて（図１におけるＴ２〜Ｔ３）、キャリアＢ１側で保持させる。つぎに、キャリアＡ２側による保持を解除し、その後に、キャリアＢ１が図１中左方向に移動することにより、基板Ｋは、更に９０度回転する。以上のようにして、基板Ｋは、キャリアＡ２及びキャリアＢ１により合計１８０度回転して表裏の反転が行われる。
【００２１】
Ｂ面露光部４０は、シリンダ４１，露光テーブル（第２の基板台）４２，原版フィルム４３，光源４４を備え、露光テーブル４２に空気吸引により吸着された基板Ｋを原版フィルム４３に対して整合した後に、基板ＫのＢ面（第２の面）に原版フィルム４３を密着してＢ面を光源４４により露光する第２の露光部（基板受取部）である。
【００２２】
搬出部５０は、両面の露光が完了した基板Ｋをつぎの工程に搬出する部分であり、シリンダ５１を有している。
Ｂ面露光部４０と搬出部５０との間には、キャリアＢ２が両者の間を往復可能に設けられている。キャリアＢ２は、基板Ｋを保持部Ｂ２−６により保持してＢ面露光部４０から搬出部５０へ移動するユニット（第４のユニット）である。
【００２３】
キャリアＡ１及びキャリアＢ２は、ほぼ同様な形態のユニットであり、キャリアＡ２の保持部Ａ２−６を回転する機構を省いた構造であり、それぞれベース部Ａ１−１，Ｂ２−１，上下可動部Ａ１−２，Ｂ２−２，付勢ばねＡ１−３，Ｂ２−３を備えている。よって、キャリアＡ２，Ｂ１と同様にして、キャリアＡ１は、シリンダ１１，２１により保持部Ａ１−６が上下し、キャリアＢ２は、シリンダ４１，５１により保持部Ｂ２−６が上下する。
【００２４】
上述のキャリアＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２は、各々独立して移動するので、それぞれが独立した不図示の移動手段（第１〜４の移動手段）により移動される。本実施形態では、リニアモータを４つ設けている。
また、キャリアＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２及び粗位置決め部１０，Ａ面露光部２０，反転部３０，Ｂ面露光部４０，搬出部５０の動作は、図示しない制御部により一括して制御されている。
【００２５】
図５は、本実施形態における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。図５におけるＴ１〜Ｔ５は、図１，２におけるＴ１〜Ｔ５にそれぞれ対応している。
以下、Ｔ１〜Ｔ５の時間毎に、本実施形態における露光システム全体の動作について説明する。
【００２６】
（Ｔ１）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が基板Ｋ３を保持して粗位置決め部１０からＡ面露光部２０へ移動する。
Ａ面露光部２０：キャリアＡ２が基板Ｋ２を保持してＡ面露光部２０反転部３０へ移動する。
反転部３０：キャリアＢ１が保持面Ｂ１−６ａを垂直にして待機中。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ１と原版フィルム４３との密着を確認する。
搬出部５０：キャリアＢ２が待機中。
【００２７】
（Ｔ２）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が基板Ｋ３をＡ面露光部２０において保持を解除した後、空のキャリアＡ１がＡ面露光部２０から粗位置決め部１０へ戻る。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３をキャリアＡ１から受け取り、保持する。
反転部３０：キャリアＡ２が基板Ｋ２を保持したまま、移動を継続する。この途中で、ラックギヤ３１と第１ギヤＡ２−４とがかみ合い、基板Ｋ２を保持する保持部Ａ２−６が回転する。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ１のＢ面を露光する。
搬出部５０：キャリアＢ２が待機中。
【００２８】
（Ｔ２〜Ｔ３）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が待機中。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３を保持中。
反転部３０：基板Ｋ２がキャリアＡ２の保持部Ａ２−６に保持されたまま、キャリアＢ１の保持面Ｂ１−６ａに密着して保持され、その後に、保持部Ａ２−６による保持が解除される。これにより、基板Ｋ２がキャリアＡ２からキャリアＢ１に受け渡される。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ１のＢ面の露光が完了する。
搬出部５０：キャリアＢ２が待機中。
【００２９】
（Ｔ３）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が待機中。基板Ｋ４が新たに投入され、粗位置決めを開始する。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３を整合する。
反転部３０：空のキャリアＡ２は、戻りながら、保持部Ａ２−６が垂直から水平へ回転する。同時に、基板Ｋ２を保持したキャリアＢ１は、移動しながら、保持部Ｂ１−６が垂直から水平へ回転する。
Ｂ面露光部４０：キャリアＢ２が搬出部から移動してきて、基板Ｋ１を保持する。
搬出部５０：待機中。
【００３０】
（Ｔ４）
粗位置決め部１０：基板Ｋ４の粗位置決め中。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３と原版フィルム２３との密着を確認する。
反転部３０：キャリアＡ２は、Ａ面露光部２０に戻る手前で停止し、待機する。
Ｂ面露光部４０：キャリアＢ１から基板Ｋ２を受け取る。キャリアＢ２は、基板Ｋ１を搬出部へ移動する。
搬出部５０：待機中。
【００３１】
（Ｔ５）
粗位置決め部１０：基板Ｋ４の粗位置決め中。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３のＡ面を露光する。
反転部３０：キャリアＡ２は、待機中。キャリアＢ１は、Ｂ面露光部４０から戻り移動を行う。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ２を保持して待機中。
搬出部５０：基板Ｋ１を搬出する。
【００３２】
（Ｔ６）
粗位置決め部１０：基板Ｋ４の粗位置決め中。
Ａ面露光部２０：キャリアＡ２が反転部３０から移動してきて、基板Ｋ３を保持する。
反転部３０：キャリアＢ１が保持部Ｂ１−６を水平から垂直へ回転しながら戻る。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ２の整合を行う。
搬出部５０：待機中。
【００３３】
Ｔ６の後には、Ｔ１からの動作を繰り返す。このように、本実施形態における露光システムは、Ｔ１〜Ｔ６を１つの節（タクト）として繰り返し、複数の基板Ｋに対して同時に処理を行う。本実施形態では、この１つのタクトに要する時間（タクトタイム）は、１２秒であった。
【００３４】
（比較例）
本実施形態と比較するために、移動しながらの反転を行わない従来の手法を用いた場合のタクトタイムを求めた。
図６は、比較例とした露光システムの反転動作を説明する図である。
比較例では、キャリアＡ１が基板を保持して反転部のキャリアＢ１上に移動してくると、キャリアＡ１が下降して基板をキャリアＡ２とキャリアＢ１とにより両側から保持する。そして、そのまま１８０度回転して基板の表裏を反転させる。その後に、キャリアＢ１が基板を保持して上昇し、移動を行う。
【００３５】
図７は、比較例における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
図７に示すように、反転に要する時間が長くなり、Ａ面露光とＢ面露光の後に、待機している時間が発生しており、タクトタイムは、１８秒となっており、本実施形態のタクトタイム１２秒に比べて、５割も長く掛かっている。
【００３６】
本実施形態によれば、キャリアＡ２，Ｂ１が回転しながら移動を行い、反転動作を２つのキャリアに分担させたので、反転動作に要する時間を短くすることができる。
また、キャリアＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２の保持部の上下動作を行うシリンダを粗位置決め部１０，Ａ面露光部２０，Ｂ面露光部４０，搬出部５０に設けたので、各キャリアに保持部を上下動作用のアクチュエータを設ける必要が無く、各キャリアを駆動するときに必要な駆動力を小さくすることができると共に、保持部に必要な空気配管のみ行えばよいので、シリンダ用の配管が移動する空間が不要であり、空間を有効に利用することができ、配置の自由度を高くすることができる。
各キャリアは、独立して移動するので、キャリアの駆動源は、４つ必要であることから、各キャリアを駆動するときに必要な駆動力を小さくすることにより得られる効果は大きく、小型で低出力の駆動源を使用することにより、システム全体を小さくすることができ、必要な消費電力等も少なくすることができる。
更に、反転を行うときに、基板を吸着したまま行うので、基板の位置が安定しており、反転後に粗位置決めを行う必要もない。
【００３７】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、本実施形態では、第１ギヤＡ２−４、第２ギヤＡ２−５を用いて、減速を行う例を示したが、これに限らず、例えば、減速を行わなくてもよいし、更にギヤを追加して、減速してもよい。
また、キャリアＡ２，Ｂ１の保持部の回転は、ラックとギヤの組合わせにより行う例を示したが、これに限らず、例えば、キャリアＡ２，Ｂ１の移動に応じて、保持部が所定位置に回転移動するように、斜面や溝等及び係合部を有する案内部により回転させてもよいし、別途駆動源としてモータ等をキャリアＡ２，Ｂ１に設けてもよい。
更に、本実施形態では、搬送反転装置を露光システムに使用した例を示したが、これに限らず、搬送反転装置は、基板の反転が必要な各種システムに使用してもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項１の発明によれば、基板の第１の面を保持し、第１の回転手段を有する第１のユニットと、基板の第２の面を保持し、第２の回転手段を有する第２のユニットと、基板の保持を第１の保持手段から第２の保持手段に切り替えるように第１及び第２のユニットを制御する制御部とを備えたので、反転動作を分担して行うことができ、反転に要する動作時間を短くすることができる。
【００３９】
請求項２の発明によれば、第１及び／又は第２の回転手段は、第１及び／又は第２のラックギヤとかみ合い、回転を第１及び／又は第２の保持手段に伝えるギヤ部材を備えるので、回転専用の駆動源を設けなくてもよくすることができる。また、駆動源を第１及び第２のユニットと共に移動する必要もないので、第１及び第２のユニットの移動に必要な駆動力を小さくすることができる。
【００４０】
請求項３の発明によれば、第１及び第２のユニットは、第１及び第２の付勢手段を備え、基板渡し部及び基板受取部には、第１及び第２のアクチュエータが固定されているので、保持面の動作に必要な駆動源を移動する必要が無く、第１及び第２のユニットの移動を小さい駆動力で行うことができる。また、第１及び第２のアクチュエータに接続される動力伝達部材も移動する必要がないので、空間を有効に利用することができる。
【００４１】
請求項４の発明によれば、第１の露光部により露光された基板を反転させる請求項１又は請求項２に記載の搬送反転装置を有する反転部を備える露光システムであるので、反転部によって反転された基板について、再度の粗位置決めを省略することができる。
【００４２】
請求項５の発明によれば、第１及び第２のユニットは、第１及び第２の付勢手段を備え、第１及び第２の露光部には、第１及び第２のアクチュエータが固定されているので、保持面の動作に必要な駆動源を移動する必要が無く、第１及び第２のユニットの移動を小さい駆動力で行うことができる。また、第１及び第２のアクチュエータに接続される動力伝達部材も移動する必要がないので、空間を有効に利用することができる。
【００４３】
請求項６の発明によれば、第３のユニットと第４のユニットとを備え、第１及び第２のユニットは、第１の露光部と第２の露光部との間に設けられているので、複数の基板の処理を同時に行うことができ、効率よく処理を行うことができる。
【００４４】
請求項７の発明によれば、第３及び第４のユニットは、第３及び第４の付勢手段を備え、第１及び第２のアクチュエータは、それぞれ第３及び第４の付勢手段に抗して第３及び第４の保持部の駆動も行うので、第３及び第４のユニット専用のアクチュエータを設ける必要が無く、露光システムを小型で安価にすることができる。
【００４５】
請求項８の発明によれば、粗位置決め部及び搬出部には、第３及び第４の保持手段を駆動する第３及び第４のアクチュエータが固定されているので、粗位置決め部及び搬出部を簡単な構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による搬送反転装置（反転部）と、この搬送反転装置を含む露光システムの第１実施形態の動作を説明する図である。
【図２】本発明による搬送反転装置（反転部）と、この搬送反転装置を含む露光システムの第１実施形態の動作を説明する図である。
【図３】キャリアＡ２を拡大した図である。
【図４】キャリアＡ２を図３中の矢印Ｘ方向から見た図である。
【図５】本実施形態における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
【図６】比較例とした露光システムの反転動作を説明する図である。
【図７】比較例における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
【符号の説明】
１０粗位置決め部
１１シリンダ（第３のアクチュエータ）
２０Ａ面露光部
２１シリンダ（第１のアクチュエータ）
３０反転部
４０Ｂ面露光部
４１シリンダ（第２のアクチュエータ）
５０搬出部
５１シリンダ（第３のアクチュエータ）
Ａ１キャリア（第３のユニット）
Ａ１−６保持部
Ａ２キャリア（第１のユニット）
Ａ２−６保持部
Ｂ１キャリア（第２のユニット）
Ｂ１−６保持部
Ｂ２キャリア（第４のユニット）
Ｂ２−６保持部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The invention, in various production lines, when moving from one step to the next step, the exposure of the exposure in close contact with an original film on both surfaces of a substrate using a conveyance reversing device Ru reverses the front and back surfaces of the substrate It is about the system.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, various proposals have been made for this type of apparatus.
For example, Japanese Patent No. 2897073 describes a reversing device that moves and rotates a holding unit that holds a substrate with the same drive source.
However, in the reversing device described in the above publication, when used in an exposure system, it is necessary to perform coarse positioning again after reversing.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-251921 describes a reversing device that does not require rough positioning after reversing.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the conventional apparatuses described above all perform the reversal operation independently, there is a problem that the operation time required for the reversal causes the processing time of the entire exposure system to be increased.
Further, the reversing device described in Japanese Patent Laid-Open No. 7-251921 is complicated.
[0004]
An object of the present invention, provided it is not necessary again performed coarse positioning of the substrate after inversion, the drive source is small, air (air) that no moving co-rotation of the pipe or the like, the structure is simple EXPOSURE system It is to be.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this .
[0008]
The invention according to claim 1 is an exposure system that performs exposure on both sides of a photosensitive substrate (K), the coarse positioning unit (10) for roughly positioning the loaded substrate, and the rough positioning unit for rough positioning. has been in the substrate and precise positioning, the first exposure portion for exposing the first surface of the substrate (KA) and (20), Ru is inverted the substrate that has been exposed by the first exposure portion anti A reversing unit (30); and a second exposure unit (40) for precisely positioning the substrate reversed by the reversing unit to expose the second surface (KB) of the substrate, and the reversing The transfer reversing device of the section holds the first surface of the substrate and moves the first holding means moved by the first moving means, and the first moving means according to the movement position by the first moving means. Rotate the holding surface of the holding means between a substantially vertical position and a substantially horizontal position. A first unit having one rotating means, a first urging means, a second holding means that holds the second surface of the substrate and is moved by a second moving means, A second rotating means for rotating the holding surface of the second holding means between a substantially vertical position and a substantially horizontal position in accordance with a movement position by the second moving means; a second urging means; A first unit and a second surface of the substrate, wherein the first holding unit and the holding surface of the first holding unit and the holding surface of the second holding unit are in a substantially vertical position. Are in close contact with the holding surface of the first holding means and the holding surface of the second holding means, respectively, to hold the substrate from the first holding means to the second holding means. A controller that controls the first and second units to switch, and the first and second rotating means, The first and second rack gears provided along the moving direction of the first and second units mesh with the first and second moving means, and the rotation obtained by moving by the first and second moving means is the first rotation. And a stepped gear for transmitting to the second holding means, wherein the first exposure unit includes a first exposure table for exposing the first surface of the substrate, a light source, and a first light source. An actuator, and a substrate transfer unit that transfers the substrate that has been exposed to the first holding means, wherein the second exposure unit exposes a second surface of the substrate to the second surface. A substrate receiving section that includes an exposure table, a light source, and a second actuator, and that receives the substrate that has been exposed from the second holding means, wherein the first and second biasing means are substantially When the first and second holding portions are in the horizontal position, The holding surface is urged so as to be at a predetermined distance from the first and second substrate exposure tables, and the first and second actuators are respectively the first and second actuators. An exposure system characterized in that the holding surfaces of the first and second holding portions are driven against the urging means in a direction in contact with the first and second substrate exposure tables .
[0010]
A second aspect of the present invention, in an exposure system of claim 1, the third has a holding means (A1-6), the third moving means for holding a first surface of said substrate (KA) A third unit (A1) that moves from the rough positioning unit (10) to the first exposure unit (20) and a fourth holding unit (B2-) that holds the second surface (KB) of the substrate. 6), and a fourth unit (B2) that moves from the second exposure unit (40) to the carry-out unit (50) by a fourth moving means, and the first and second units (A2, B1) is an exposure system characterized in that it is provided between the first exposure unit and the second exposure unit.
[0011]
According to a third aspect of the present invention, in the exposure system according to the second aspect , the third and fourth units (A1, B2) include the third and fourth holding means (A1-6, B2-6). The third and fourth urging means (A1-3, B2-3) for urging the holding surface of the first and second substrate exposure tables (22, 42) so as to be located at a predetermined distance from each other. ), And the first and second actuators (21, 41) have the holding surfaces of the third and fourth holding portions against the first and second urging means, respectively, against the first and second urging means. The exposure system is also characterized in that it is driven in a direction in contact with the second substrate exposure table.
[0012]
According to a fourth aspect of the present invention, in the exposure system according to the third aspect , the rough positioning portion (10) and the carry-out portion (50) are respectively provided with the third and fourth urging means (A1-3, A1-3). The third and fourth actuators (11, 51) for driving the holding surfaces of the third and fourth holding means (A1-6, B2-6) against B2-3) are fixed. The exposure system characterized by the above.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 and FIG. 2 are diagrams for explaining the operation of the first embodiment of the transport reversing device (reversing unit) and the exposure system including this transport reversing device according to the present invention.
The exposure system in the present embodiment includes a rough positioning unit 10, an A surface exposure unit 20, a reversing unit 30, a B surface exposure unit 40, and a carry-out unit 50.
[0014]
The coarse positioning unit 10 roughly positions a substrate K (on the figure, the substrates K1 to K4 are generally shown as the substrate K) placed on the cradle 12 from a previous process (not shown). Positioning is performed by abutting the end face of the substrate K against a plurality of pins (not shown). The coarse positioning unit 10 is provided with a cylinder 11 (third actuator). The description of this will be given by the other cylinders 21 (first actuator), 41 (second actuator), 51 (first actuator). 4) and later.
[0015]
The A-side exposure unit 20 includes a cylinder 21, an exposure table (first substrate table) 22, an original film 23, and a light source 24, and the substrate K adsorbed on the exposure table 22 by air suction is precisely applied to the original film 23. After the positioning (hereinafter referred to as alignment), the original film 23 is brought into close contact with the A surface (first surface) of the substrate K, and the A surface is exposed by the light source 24.
[0016]
A carrier A1 is provided between the rough positioning unit 10 and the A-side exposure unit 20 so as to be able to reciprocate between the two. The carrier A1 is a unit (third unit) that holds the substrate K by the holding unit A1-6 and moves from the rough positioning unit 10 to the A-side exposure unit 20.
[0017]
The reversing unit 30 is a transport reversing device that includes rack gears 31 and 32 and carriers A2 and B1 and reverses the front and back of the substrate K.
FIG. 3 is an enlarged view of the carrier A2.
4 is a view of the carrier A2 as seen from the direction of the arrow X in FIG.
The carrier A2 includes a base unit A2-1, a vertically movable unit A2-2, a biasing spring A2-3, a first gear A2-4, a second gear A2-5, and a holding unit A2-6 (first unit). Unit).
The base portion A2-1 is guided by the rail 60, and moves in a direction along the rail 60 by a driving unit (first moving means) (not shown).
The vertically movable portion A2-2 is provided so as to be movable in the up and down direction (the top and bottom in FIGS. 3 and 4 are used in the following description of the present embodiment) with respect to the base portion 1. This is a member that is urged upward by the urging spring A2-3 and receives no external force other than the urging force by the urging spring A2-3, and is restricted to a predetermined position with respect to the base portion A2-1. Has been.
The first gear A2-4 is a step gear that is provided at a position where the large gear meshes with the rack 31, and the second gear A2-5 meshes with the small gear.
The holding portion A2-6 is a portion that sucks and holds the substrate K by the negative pressure of air, and is held so as to rotate integrally with the rotation shaft of the second gear A2-5.
In addition, as shown in FIG. 4, each said part is provided in the same form on both sides centering on the holding | maintenance part 6. As shown in FIG.
[0018]
Here, the basic operation of the carrier A2 will be described.
3A and 4 show a state in which the carrier A2 is present in the A-side exposure unit 20, and the cylinder 21 and the exposure table 22 are shown together. Note that the rack gear 31 is also shown in FIG. 4 so that the positional relationship is clear, but the rack gear 31 is provided in the reversing unit 30 as shown in FIGS.
When the exposed substrate K is moved to the reversing unit 30, the carrier A2 moves to the A-side exposure unit 20, and the tip of the cylinder 21 pulls down the action portion A2-2a of the up and down movable unit A2-2 to bias it. The vertically movable portion A2-2 is lowered against the urging force of the spring A2-3. When the vertically movable portion A2-2 is lowered, the holding portion A2-6 is also lowered at the same time, and the holding surface A2-6a is in contact with the A surface KA of the substrate K (state shown in FIG. 3A). In this state, air suction of the holding unit A2-6 is started, the substrate K is sucked to the holding unit A2-6, and suction on the exposure table 22 side is released. Then, by raising the cylinder 21, the substrate K rises while being held by the holding portion A2-6 and can be moved by the carrier A.
[0019]
The carrier A2 holding the substrate K obtains a driving force from a driving unit (not shown) and moves to the right in FIG. Since the first gear A2-4 immediately after the start of movement is not in a position that meshes with the rack gear 31, the holding portion A2-6 moves while maintaining substantially horizontal (T1 in FIG. 1). If the movement is continued as it is, the first gear A2-4 reaches a position where it engages with the rack gear 31, and the first gear A2-4 starts to rotate (T2 in FIG. 1). FIG. 3B shows a state where the holding portion A2-6 rotates while moving (6-1 to 6-5). The number of teeth of the rack gear 31, the first gear A2-4, and the second gear A2-5 is set so that the holding portion A2-6 rotates 90 degrees within a range in which the rack gear 31 and the first gear A2-4 are engaged. ing. Accordingly, the holding portion A2-6 rotates from a substantially horizontal state to a substantially vertical state.
Note that the carrier A2 moves only a short distance after the first gear A2-4 and the rack gear 31 are disengaged. At this time, the holding part A2-6 moves in a substantially vertical state.
[0020]
The carrier B1 is a unit (second unit) having the same form as the carrier A2, and the holding surface B1-6a of the holding part B1-6 rotates in a direction that can face the holding surface A2-6a of the carrier A2. The other base part B1-1, vertical movable part B1-2, urging spring B1-3, first gear B1-4, and second gear B1-5 are provided in the same manner as the carrier A2. ing.
When the substrate K is inverted, the substrate K rotated 90 degrees by the carrier A2 is brought into close contact with the holding surface B1-6a of the carrier B1 in a substantially vertical state (T2 to T3 in FIG. 1) and held on the carrier B1 side. Next, the holding by the carrier A2 side is released, and then the carrier B1 moves leftward in FIG. 1, whereby the substrate K further rotates 90 degrees. As described above, the substrate K is rotated 180 degrees in total by the carrier A2 and the carrier B1 and the front and back are reversed.
[0021]
The B-side exposure unit 40 includes a cylinder 41, an exposure table (second substrate stage) 42, an original film 43, and a light source 44, and aligns the substrate K adsorbed on the exposure table 42 by air suction with respect to the original film 43. Then, the original film 43 is brought into close contact with the B surface (second surface) of the substrate K, and the B surface is exposed by the light source 44 to be a second exposure unit (substrate receiving unit).
[0022]
The carry-out unit 50 is a part for carrying out the substrate K on which both-side exposure has been completed to the next process, and has a cylinder 51.
A carrier B2 is provided between the B-side exposure unit 40 and the carry-out unit 50 so as to be able to reciprocate between the two. The carrier B2 is a unit (fourth unit) that holds the substrate K by the holding unit B2-6 and moves from the B-side exposure unit 40 to the carry-out unit 50.
[0023]
The carrier A1 and the carrier B2 are substantially similar units, and have a structure in which a mechanism for rotating the holding portion A2-6 of the carrier A2 is omitted, and the base portions A1-1 and B2-1 and the vertically movable portion A1 are respectively provided. -2, B2-2, and urging springs A1-3 and B2-3 are provided. Therefore, similarly to the carriers A2 and B1, the carrier A1 is moved up and down by the cylinders 11 and 21, and the carrier B2 is moved up and down by the cylinders 41 and 51.
[0024]
Since the above-described carriers A1, A2, B1, and B2 move independently from each other, they are moved by independent moving means (first to fourth moving means) that are not shown. In this embodiment, four linear motors are provided.
The operations of the carriers A1, A2, B1, and B2, the rough positioning unit 10, the A surface exposure unit 20, the reversing unit 30, the B surface exposure unit 40, and the unloading unit 50 are collectively controlled by a control unit (not shown). Yes.
[0025]
FIG. 5 is a diagram showing the operation of each part of the exposure system in this embodiment for each time. T1 to T5 in FIG. 5 correspond to T1 to T5 in FIGS.
Hereinafter, the operation of the entire exposure system in the present embodiment will be described for each time of T1 to T5.
[0026]
(T1)
Rough positioning unit 10: The carrier A1 holds the substrate K3 and moves from the rough positioning unit 10 to the A-side exposure unit 20.
A-side exposure unit 20: The carrier A2 holds the substrate K2 and moves to the A-side exposure unit 20 reversing unit 30.
Reversing unit 30: The carrier B1 is waiting with the holding surface B1-6a vertical.
B-side exposure unit 40: Checks adhesion between the substrate K1 and the original film 43.
Unloading unit 50: Carrier B2 is waiting.
[0027]
(T2)
Coarse positioning unit 10: After the carrier A1 releases the substrate K3 from the A-side exposure unit 20, the empty carrier A1 returns from the A-side exposure unit 20 to the coarse positioning unit 10.
A-side exposure unit 20: Receives and holds the substrate K3 from the carrier A1.
Inversion unit 30: The carrier A2 continues to move while holding the substrate K2. In the middle of this, the rack gear 31 and the first gear A2-4 mesh with each other, and the holding portion A2-6 that holds the substrate K2 rotates.
B surface exposure unit 40: Exposes the B surface of the substrate K1.
Unloading unit 50: Carrier B2 is waiting.
[0028]
(T2-T3)
Coarse positioning unit 10: Carrier A1 is waiting.
A surface exposure part 20: Holding substrate K3.
Inversion unit 30: The substrate K2 is held in close contact with the holding surface B1-6a of the carrier B1 while being held by the holding unit A2-6 of the carrier A2, and thereafter the holding by the holding unit A2-6 is released. . As a result, the substrate K2 is transferred from the carrier A2 to the carrier B1.
B side exposure unit 40: The exposure of the B side of the substrate K1 is completed.
Unloading unit 50: Carrier B2 is waiting.
[0029]
(T3)
Coarse positioning unit 10: Carrier A1 is waiting. Substrate K4 is newly loaded and coarse positioning is started.
A-side exposure unit 20: aligns the substrate K3.
Reversing unit 30: While the empty carrier A2 returns, the holding unit A2-6 rotates from vertical to horizontal. At the same time, while the carrier B1 holding the substrate K2 moves, the holding part B1-6 rotates from vertical to horizontal.
B-side exposure unit 40: The carrier B2 moves from the carry-out unit and holds the substrate K1.
Unloading unit 50: Waiting.
[0030]
(T4)
Coarse positioning unit 10: During coarse positioning of the substrate K4.
A-side exposure unit 20: Checks adhesion between the substrate K3 and the original film 23.
Reversing unit 30: The carrier A2 stops before returning to the A-side exposure unit 20 and stands by.
B-side exposure unit 40: receives the substrate K2 from the carrier B1. The carrier B2 moves the substrate K1 to the carry-out unit.
Unloading unit 50: Waiting.
[0031]
(T5)
Coarse positioning unit 10: During coarse positioning of the substrate K4.
A-side exposure unit 20: Exposes the A-side of the substrate K3.
Inversion unit 30: Carrier A2 is on standby. The carrier B1 moves back from the B-side exposure unit 40.
B-side exposure unit 40: Standing by holding the substrate K2.
Unloading unit 50: Unloads the substrate K1.
[0032]
(T6)
Coarse positioning unit 10: During coarse positioning of the substrate K4.
A-side exposure unit 20: The carrier A2 moves from the reversing unit 30 and holds the substrate K3.
Inversion part 30: The carrier B1 returns while rotating the holding part B1-6 from horizontal to vertical.
B-side exposure unit 40: aligns the substrate K2.
Unloading unit 50: Waiting.
[0033]
After T6, the operation from T1 is repeated. As described above, the exposure system according to the present embodiment repeats T1 to T6 as one node (tact), and processes a plurality of substrates K simultaneously. In this embodiment, the time required for one tact (tact time) is 12 seconds.
[0034]
(Comparative example)
In order to compare with the present embodiment, the tact time in the case of using a conventional method that does not perform reversal while moving was obtained.
FIG. 6 is a view for explaining the inversion operation of the exposure system as a comparative example.
In the comparative example, when the carrier A1 holds the substrate and moves onto the carrier B1 of the reversal unit, the carrier A1 descends and holds the substrate from both sides by the carrier A2 and the carrier B1. And it rotates 180 degree | times as it is, and the front and back of a board | substrate is reversed. Thereafter, the carrier B1 moves upward while holding the substrate.
[0035]
FIG. 7 is a diagram showing the operation of each part of the exposure system in the comparative example for each time.
As shown in FIG. 7, the time required for inversion becomes longer, the waiting time occurs after the A-side exposure and the B-side exposure, and the tact time is 18 seconds. It takes 50% longer than the tact time of 12 seconds.
[0036]
According to the present embodiment, since the carriers A2 and B1 move while rotating and the reversing operation is shared by the two carriers, the time required for the reversing operation can be shortened.
Further, since the cylinders that perform the vertical movements of the holding parts of the carriers A1, A2, B1, and B2 are provided in the rough positioning part 10, the A-side exposure part 20, the B-side exposure part 40, and the carry-out part 50, the holding parts are provided in each carrier. It is not necessary to provide an actuator for vertical movement, and the driving force required to drive each carrier can be reduced, and only the air piping required for the holding part needs to be provided, so the cylinder piping moves. The space to be used is unnecessary, the space can be used effectively, and the degree of freedom in arrangement can be increased.
Since each carrier moves independently, four carrier driving sources are required. Therefore, the effect obtained by reducing the driving force required to drive each carrier is large, and the size is small and low. By using the output drive source, the entire system can be reduced, and the necessary power consumption can be reduced.
Furthermore, since the substrate is attracted when reversing, the position of the substrate is stable, and it is not necessary to perform rough positioning after reversing.
[0037]
(Deformation)
The present invention is not limited to the embodiment described above, and various modifications and changes are possible, and these are also within the equivalent scope of the present invention.
For example, in this embodiment, although the example which performs deceleration using 1st gear A2-4 and 2nd gear A2-5 was shown, it is not restricted to this, For example, it is not necessary to perform deceleration, You may slow down by adding gears.
Moreover, although the example which performs rotation of the holding | maintenance part of carrier A2, B1 by the combination of a rack and a gear was shown, it does not restrict to this, For example, according to the movement of carrier A2, B1, a holding | maintenance part will be in a predetermined position. It may be rotated by a guide portion having an inclined surface, a groove or the like and an engaging portion so as to rotate, or a motor or the like may be provided on the carriers A2 and B1 as a separate drive source.
Furthermore, in the present embodiment, an example in which the transport reversing device is used in the exposure system has been described. However, the present invention is not limited to this, and the transport reversing device may be used in various systems that require the substrate to be reversed.
[0038]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the first aspect of the invention, the first surface of the substrate is held, the first unit having the first rotating means, the second surface of the substrate is held, Since the second unit having two rotating means and the control unit for controlling the first and second units so as to switch the holding of the substrate from the first holding means to the second holding means, the inversion is provided. The operation can be shared and the operation time required for inversion can be shortened.
[0039]
According to the invention of claim 2, the first and / or second rotating means meshes with the first and / or second rack gear, and the gear member for transmitting the rotation to the first and / or second holding means. Since it is provided, it is not necessary to provide a drive source dedicated to rotation. In addition, since it is not necessary to move the driving source together with the first and second units, the driving force required to move the first and second units can be reduced.
[0040]
According to a third aspect of the present invention, the first and second units include first and second urging means, and the first and second actuators are fixed to the substrate transfer portion and the substrate receiving portion. Therefore, it is not necessary to move the driving source necessary for the operation of the holding surface, and the first and second units can be moved with a small driving force. Further, since the power transmission member connected to the first and second actuators does not need to move, the space can be used effectively.
[0041]
According to invention of Claim 4, since it is an exposure system provided with the inversion part which has the conveyance inversion apparatus of Claim 1 or Claim 2 which inverts the board | substrate exposed by the 1st exposure part, By an inversion part The rough positioning again can be omitted for the inverted substrate.
[0042]
According to the invention of claim 5, the first and second units include first and second urging means, and the first and second actuators are fixed to the first and second exposure sections. Therefore, it is not necessary to move the driving source necessary for the operation of the holding surface, and the first and second units can be moved with a small driving force. Further, since the power transmission member connected to the first and second actuators does not need to move, the space can be used effectively.
[0043]
According to the sixth aspect of the present invention, the third unit and the fourth unit are provided, and the first and second units are provided between the first exposure unit and the second exposure unit. Therefore, a plurality of substrates can be processed at the same time, and the processing can be performed efficiently.
[0044]
According to the seventh aspect of the present invention, the third and fourth units include third and fourth urging means, and the first and second actuators are provided as the third and fourth urging means, respectively. In contrast, since the third and fourth holding units are also driven, there is no need to provide actuators dedicated to the third and fourth units, and the exposure system can be made small and inexpensive.
[0045]
According to invention of Claim 8, since the 3rd and 4th actuator which drives the 3rd and 4th holding means is being fixed to the rough positioning part and the carrying-out part, the rough positioning part and the carrying-out part are A simple configuration can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view for explaining the operation of a first embodiment of a transport reversing device (reversing unit) and an exposure system including the transport reversing device according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of a first embodiment of a transport reversing device (reversing unit) and an exposure system including the transport reversing device according to the present invention.
FIG. 3 is an enlarged view of a carrier A2.
4 is a view of carrier A2 as seen from the direction of arrow X in FIG.
FIG. 5 is a view showing the operation of each part of the exposure system in this embodiment for each time.
FIG. 6 is a view for explaining a reversal operation of an exposure system as a comparative example.
FIG. 7 is a diagram showing the operation of each part of the exposure system in the comparative example for each time.
[Explanation of symbols]
10 Coarse positioning part 11 Cylinder (third actuator)
20 A-side exposure unit 21 Cylinder (first actuator)
30 Reversing unit 40 B-side exposure unit 41 Cylinder (second actuator)
50 Unloading part 51 Cylinder (third actuator)
A1 carrier (third unit)
A1-6 holder A2 carrier (first unit)
A2-6 Holding part B1 Carrier (second unit)
B1-6 holder B2 carrier (fourth unit)
B2-6 Holding part

Claims

An exposure system that exposes both sides of a photosensitive substrate,
A coarse positioning unit for coarsely positioning the loaded substrate;
A first exposure unit that precisely positions the substrate roughly positioned by the rough positioning unit and exposes a first surface of the substrate;
A reversal portion that inverts the substrate that has been exposed by the first exposure unit,
A second exposure unit that precisely positions the substrate inverted by the inversion unit and exposes the second surface of the substrate ;
The conveyance reversing device of the reversing unit is
The first holding means that holds the first surface of the substrate and is moved by the first moving means, and the holding surface of the first holding means is substantially corresponding to the movement position by the first moving means. A first unit having a first rotating means for rotating between a vertical position and a substantially horizontal position; and a first biasing means;
The second holding means that holds the second surface of the substrate and is moved by the second moving means, and the holding surface of the second holding means is changed according to the movement position by the second moving means. A second unit having a second rotating means for rotating between a substantially vertical position and a substantially horizontal position; and a second urging means;
The holding surface of the first holding means and the holding surface of the second holding means are in a substantially vertical position, and the first surface and the second surface of the substrate are respectively in the first holding state. The first and second holding means for switching the holding of the substrate from the first holding means to the second holding means when in close contact with the holding surface of the means and the holding surface of the second holding means. A control unit for controlling the two units;
The first and second rotating means mesh with first and second rack gears provided along the moving direction of the first and second units, and are moved by the first and second moving means. A step gear for transmitting the rotation obtained by the above to the first and second holding means,
The first exposure unit includes a first exposure table for exposing the first surface of the substrate, a light source, and a first actuator, and the first holding unit has completed exposure. A board transfer section for transferring a board;
The second exposure unit includes a second exposure table for exposing the second surface of the substrate, a light source, and a second actuator, and has completed exposure from the second holding unit. A board receiving part for receiving a board;
The first and second urging means place the holding surfaces of the first and second holding portions when they are in a substantially horizontal position at a position away from the first and second substrate exposure tables by a predetermined distance. It is energized as it is,
The first and second actuators contact the holding surfaces of the first and second holding portions against the first and second substrate exposure tables, respectively, against the first and second urging means. Drive in the direction,
An exposure system characterized by that .

The exposure system according to claim 1 ,
Third holding means for holding the first surface of the substrate;
A third unit that moves from the rough positioning portion to the first exposure portion by a third moving means;
A fourth unit having a fourth holding means for holding the second surface of the substrate and moving from the second exposure unit to the carry-out unit by a fourth moving unit;
The first and second units are provided between the first exposure unit and the second exposure unit;
An exposure system characterized by this.

The exposure system according to claim 2 , wherein
The third and fourth units urge the holding surfaces of the third and fourth holding portions so as to be located at a predetermined distance from the first and second substrate exposure tables. Comprising a fourth biasing means;
The first and second actuators contact the holding surfaces of the third and fourth holding means against the first and second substrate exposure tables, respectively, against the third and fourth biasing means. Driving in the direction,
An exposure system characterized by this.

The exposure system according to claim 3 , wherein
Third and fourth actuators for driving the holding surfaces of the third and fourth holding means against the third and fourth urging means are fixed to the rough positioning portion and the carry-out portion, respectively. is being done,
An exposure system characterized by this.