KR20150024450A - Cassette, apparatus for loading substrate, apparatus for unloading substrate, and system and method for moving the substrate using the same - Google Patents

Cassette, apparatus for loading substrate, apparatus for unloading substrate, and system and method for moving the substrate using the same Download PDF

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KR20150024450A KR20130099413A KR20130099413A KR20150024450A KR 20150024450 A KR20150024450 A KR 20150024450A KR 20130099413 A KR20130099413 A KR 20130099413A KR 20130099413 A KR20130099413 A KR 20130099413A KR 20150024450 A KR20150024450 A KR 20150024450A
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Abstract

An apparatus for loading a substrate, an apparatus for unloading a substrate, and a system and a method for carrying a substrate using the same are disclosed. A cassette according to an embodiment of the present invention comprises: one or more air pipes having an air passage inside; one or more absorption holes formed in the air pipes to absorb a substrate loaded on the top of the air pipes; and a coupler which is arranged on one side of the air pipes and is connected to the inside of the air pipes. The coupler is connected to an air pump for sucking the air inside the air pipes to absorb the substrate using the absorption holes.

Description

카세트, 기판 반입 장치, 기판 반출 장치와 이를 이용한 기판 이송 시스템 및 방법{CASSETTE, APPARATUS FOR LOADING SUBSTRATE, APPARATUS FOR UNLOADING SUBSTRATE, AND SYSTEM AND METHOD FOR MOVING THE SUBSTRATE USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a cassette, a substrate carrying device, a substrate carrying device, and a substrate transfer system and method using the cassette,

본 발명의 실시예들은 기판을 효율적으로 반입 및 반출시킴으로써 기판을 손쉽게 이송시키는 기술에 관한 것이다.
Embodiments of the present invention relate to a technique for easily transporting a substrate by efficiently loading and unloading the substrate.

최근 들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP), 전계 발광 표시 장치(Electroluminiscent display : ELD), 진공 형광 표시 장치(Vacuum Fluorescent Display : VFD) 등의 평판 디스플레이 장치에 대한 사용이 증가하고 있다. 특히, 액정표시장치는 저전력이 소비되고, 무게가 가볍기 때문에 그 수요가 점차 증가하는 추세이다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 그 제조 과정에 있어서 다수의 공정을 거치게 되는데, 핵심부품인 유리 기판을 안정적으로 적재 및 운반하는 작업이 필요하다. 일반적으로, 유리 기판은 유리 용해로(Glass Melting Furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되고, 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되며, 컨베이어 시스템에 의해 가공라인으로 운반된다. 이 과정에서, 유리 기판은 카세트 또는 트레이 등에 적재되어 다음 공정으로 운반된다. 그러나, 종래에는 기판의 운반 과정에서 카세트 또는 트레이가 기울어질 경우, 유리 기판이 카세트 또는 트레이 외부로 쏟아지게 되는 문제점이 있었다. 또한, 카세트 또는 트레이에 적재된 복수의 유리 기판 중 일부 유리 기판에 얼룩 등의 결함이 발견될 경우, 결함이 발견된 유리 기판만을 선택적으로 취출하는데 어려움이 있었다. 아울러, 기판을 카세트 내부로 반입시키거나 외부로 반출시키는 경우, 별도의 반입 장치 또는 반출 장치를 사용하여 기판을 차례로 카세트 내부로 반입시키거나 외부로 반입시켜야 하는 번거로움이 있었다.
2. Description of the Related Art Recently, a flat panel display device such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an electroluminescence display (ELD), a vacuum fluorescent display (VFD) The use of display devices is increasing. Particularly, since the liquid crystal display device consumes low power and is light in weight, the demand thereof is gradually increasing. Such a flat panel display device is subjected to a number of processes in its manufacturing process, and it is necessary to stably load and transport a glass substrate, which is a core component. Generally, a glass substrate is prepared by feeding molten glass from a glass melting furnace to a melt-molding machine, cut to a primary specification by a cutting machine, and conveyed to a processing line by a conveyor system. In this process, the glass substrate is loaded onto a cassette or a tray and carried to the next process. However, conventionally, when the cassette or the tray is tilted during the transportation of the substrate, there is a problem that the glass substrate is poured to the outside of the cassette or the tray. Further, when defects such as spots are found on some glass substrates among a plurality of glass substrates mounted on a cassette or a tray, it is difficult to selectively take out glass substrates on which defects are found. In addition, when the substrate is carried into the cassette or taken out to the outside, it is troublesome to bring the substrate into the cassette in order or carry it out to the outside by using a separate loading or unloading apparatus.

한국등록특허 제10-0710160호 (2004.04.14)Korean Patent No. 10-0710160 (Apr. 14, 2004) 한국등록특허 제10-0576119호 (2006.05.15)Korean Patent No. 10-0576119 (2006.05.15)

본 발명의 실시예들은 카세트가 기울어지더라도 카세트에 적재된 기판이 쏟아지지 않도록 하며, 적재된 복수의 기판 중 특정 기판을 선택적으로 반출시킴으로써 공정 간 기판의 이송을 효율적으로 수행하기 위한 것이다.
Embodiments of the present invention are intended to prevent the substrate loaded on the cassette from spilling out even if the cassette is inclined, and to efficiently transfer the substrate between the processes by selectively carrying out a specific one of the plurality of substrates stacked.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트는, 상술한 상기 카세트는, 내부에 공기 유로가 형성되는 하나 이상의 공기 배관; 상기 공기 배관에 형성되며, 상기 공기 배관의 상측에 적재되는 기판을 흡착할 수 있는 하나 이상의 흡착 구멍; 및 상기 공기 배관의 일측에 배치되며, 상기 공기 배관의 내부와 연결되는 커플러를 포함하고, 상기 커플러는, 상기 흡착 구멍에서 상기 기판을 흡착할 수 있도록 상기 공기 배관의 내부에 존재하는 공기를 흡입할 수 있는 공기 펌프와 연결된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cassette comprising: at least one air pipe in which an air flow path is formed; At least one adsorption hole formed in the air piping and capable of adsorbing a substrate to be loaded on the air piping; And a coupler disposed at one side of the air pipe and connected to the inside of the air pipe, wherein the coupler sucks air existing in the air pipe so as to suck the substrate from the suction hole And is connected to an air pump.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템은, 상술한 카세트를 이용한 기판 이송 시스템으로서, 상기 기판 이송 시스템은, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 기판 반입 장치; 및 상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 카세트에 적재된 기판 중 적어도 하나의 기판을 외부로 반출하는 기판 반출 장치를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer system using the above-described cassette, wherein the substrate transfer system is configured to move a cassette on which a plurality of substrates can be loaded up and down A substrate carrying apparatus for carrying a substrate to be transferred from the outside; And a substrate transporting device for transporting at least one of the substrates stacked on the cassette to the outside by tilting the cassette at a predetermined angle.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법은, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 단계; 상기 카세트에 반입된 복수의 기판 중 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 카세트 내부에 형성되는 흡착 구멍에 흡착시키는 단계; 및 상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for transferring a substrate, the method comprising: transferring a substrate transferred from the outside by vertically moving a cassette on which a plurality of substrates can be loaded; A step of adsorbing a substrate other than a substrate to be carried out among a plurality of substrates carried in the cassette to a suction hole formed in the cassette; And tilting the cassette at a predetermined angle to carry the substrate to be carried out to the outside.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반입 장치는, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트가 삽입될 수 있는 로딩 베이스; 및 상기 로딩 베이스 내부에 배치되며, 상기 카세트의 하면을 지지함과 동시에 상기 카세트를 상하로 이동시킬 수 있는 반입 유도 장치를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate loading apparatus comprising: a loading base into which a cassette on which a plurality of substrates can be loaded can be inserted; And a carry-in inducing device disposed inside the loading base, capable of supporting the lower surface of the cassette and moving the cassette up and down.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반출 장치는, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 지지하는 언로딩 베이스; 및 상기 언로딩 베이스 내부의 일측에 배치되며, 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는 반출 유도 장치를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate transport apparatus including: an unloading base for supporting a cassette on which a plurality of substrates can be stacked; And an unloading guide disposed at one side of the unloading base to tilt the cassette at a predetermined angle.

본 발명의 실시예들에 의하면 카세트를 상하로 이동시킴으로써 이송되는 기판을 손쉽게 카세트 내부로 반입할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the substrate to be transferred can be easily carried into the cassette by moving the cassette up and down.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 카세트 내부에 형성되는 흡착 구멍에 흡착시킨 후, 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 반출시키고자 하는 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the substrate other than the substrate to be carried out is attracted to the suction hole formed in the cassette, and then the substrate to be carried out is easily taken out by tilting the cassette at a predetermined angle .

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판을 선택적으로 반출시킬 수 있도록 함으로써 공정 간 이송의 효율성을 증가시킬 수 있다.
In addition, according to the embodiments of the present invention, it is possible to selectively carry out the substrate to be carried out, thereby increasing the efficiency of inter-process transfer.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트의 배면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트를 이용한 기판 이송 시스템을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a front view of a cassette according to an embodiment of the present invention.
2 is a rear view of a cassette according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining a substrate transport system using a cassette according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시적 실시예에 불과하며 본 발명은 이에 한정되지 않는다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, this is an exemplary embodiment only and the present invention is not limited thereto.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to the intention or custom of the user, the operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 진보적인 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
The technical idea of the present invention is determined by the claims, and the following embodiments are merely a means for efficiently describing the technical idea of the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100)의 정면도 및 배면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100)는 복수의 기판을 적재하기 위한 장치로서, 공기 배관(102), 흡착 구멍(104) 및 커플러(106)를 포함한다. 여기서, 기판은 예를 들어 LCD, OLED 등의 제조에 사용되는 유리기판이 될 수 있다. 기판은 그 종류에 따라 수 mm2 ~ 수백만 mm2 크기의 면적을 가질 수 있다. 카세트(100)는 적재되는 기판의 크기에 따라 그 부피가 달라질 수 있다. 카세트(100)는 예를 들어, 육면체 박스 형상으로 구성될 수 있으며, 일측면이 개방될 수 있다. 카세트(100)는 개방된 일측면을 통해 내부 공간으로 기판을 반입시킬 수 있다. 이때, 카세트(100)는 컨베이어를 통해 기판을 반입시킬 수 있다.1 and 2 are a front view and a rear view of a cassette 100 according to an embodiment of the present invention. A cassette 100 according to an embodiment of the present invention is an apparatus for loading a plurality of substrates, and includes an air pipe 102, a suction hole 104, and a coupler 106. Here, the substrate may be, for example, a glass substrate used for manufacturing an LCD, an OLED, or the like. The substrate may have a number ~ millions mm 2 mm 2 area of the size depending on the type. The volume of the cassette 100 may vary depending on the size of the substrate to be loaded. The cassette 100 may be configured, for example, in a hexahedral box shape, and one side may be open. The cassette 100 can bring the substrate into the inner space through one open side. At this time, the cassette 100 can carry the substrate through the conveyor.

공기 배관(102)은 내부에 공기 유로가 형성되는 배관으로서, 예를 들어 ㄷ자 형상으로 이루어질 수 있다. 공기 배관(102)이 형성되지 않은 카세트(100)의 측면은 기판이 반입되거나 반출되는 출입구로 사용될 수 있다. 카세트(100)는 내부에 하나 이상의 공기 배관(102)을 포함하며, 각 공기 배관(102)은 카세트(100) 내부에서 지면과 평행하게 배치될 수 있다. 이때, 공기 배관(102)의 상측에는 반입된 기판이 적재된다. 각 공기 배관(102)은 카세트(100) 내부에서 상호 일정 간격 이격되어 구성되기 때문에, 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판들 또한 상호 일정 간격 이격되어 카세트(100)에 적재된다. 한편, 공기 배관(102)의 모서리 부분에는 하나 이상의 흡착 구멍(104)이 형성되며, 공기 배관(102)의 일측에는 공기 배관(102)의 내부와 공기 펌프(미도시)를 연결할 수 있는 커플러(106)가 배치된다.The air piping 102 is a piping in which an air flow path is formed, and may be formed in, for example, a U-shape. The side surface of the cassette 100 in which the air piping 102 is not formed can be used as an entrance through which the substrate is carried in or out. The cassette 100 includes at least one air piping 102 therein and each air piping 102 may be disposed within the cassette 100 in parallel with the ground. At this time, the loaded substrate is loaded on the upper side of the air pipe 102. Since the air pipes 102 are spaced apart from each other in the cassette 100, the substrates mounted on the air pipe 102 are also spaced apart from each other and loaded on the cassette 100. One or more suction holes 104 are formed in corners of the air piping 102 and a coupler (not shown) capable of connecting the inside of the air piping 102 and an air pump 106 are disposed.

흡착 구멍(104)은 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판을 흡착하기 위한 구멍이다. 여기서는, 흡착 구멍(104)이 공기 배관(102)의 모서리 부분에 형성되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 흡착 구멍(104)은 공기 배관(102)의 모서리 부분이 아닌 다른 지점에 형성될 수도 있다. 흡착 구멍(104)의 크기 및 개수는 적재되는 기판의 종류 및 크기에 따라 달라질 수 있다. 공기 배관(102)에 형성되는 흡착 구멍(104)의 개수가 많아지거나 흡착 구멍(104)의 크기가 커질수록 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판을 흡착하는 흡착력 또한 강해지게 된다. The suction hole 104 is a hole for sucking the substrate to be mounted on the air pipe 102. In this embodiment, the suction holes 104 are formed at the corners of the air pipe 102, but the present invention is not limited thereto. The suction hole 104 may be formed at a position other than an edge portion of the air pipe 102. [ The size and the number of the suction holes 104 may vary depending on the type and size of the substrate to be loaded. As the number of the suction holes 104 formed in the air pipe 102 increases or the size of the suction hole 104 increases, the attraction force for attracting the substrate loaded on the air pipe 102 also becomes stronger.

커플러(106)는 공기 배관(102)의 일측에 배치되며, 공기 배관(102)의 내부와 연결된다. 커플러(106)는 예를 들어, 카세트(100)가 진입단(미도시)으로 로딩되었을 때, 물리적 접촉에 의해 특정 포트에 장착되어 공기 펌프(미도시) 및 제어부(미도시)와 연결될 수 있다. The coupler 106 is disposed at one side of the air pipe 102 and connected to the inside of the air pipe 102. The coupler 106 may be mounted to a specific port by physical contact and connected to an air pump (not shown) and a control (not shown), for example, when the cassette 100 is loaded at an entry end (not shown) .

커플러(106)는 흡착 구멍(104)에서의 흡착을 온/오프할 수 있는 밸브부(미도시)를 내부에 포함하며, 밸브부의 온/오프에 따라 흡착 구멍(104)에서의 흡착이 온/오프된다. 커플러(106)에 포함된 밸브부는 제어부에 의해 온/오프될 수 있다. The coupler 106 includes a valve unit (not shown) that can turn on / off the adsorption in the adsorption hole 104, and adsorption in the adsorption hole 104 is turned on / Off. The valve unit included in the coupler 106 can be turned on / off by the control unit.

커플러(106)가 공기 펌프 및 제어부와 연결된 후 밸브부의 전원이 온 상태가 되는 경우, 커플러(106)는 공기 배관(102)의 내부와 연결된다. 이때, 공기 펌프는 공기 배관(102) 내부의 공기를 흡입할 수 있다. 이에 따라, 공기 배관(102) 내부의 공기는 공기 펌프 방향으로 이동하게 되며, 공기 배관(102) 내부의 압력은 대기압보다 작아지게 된다. 따라서, 공기 배관(102)의 상면에 적재된 기판은 공기 배관(102)의 내부와 외부와의 압력 차이에 의해 흡착 구멍(104)에 흡착된다. 밸브부의 전원이 오프 상태가 되는 경우, 커플러(106)와 공기 배관(102)의 내부와의 연결은 차단된다. 이때, 공기 배관(102)은 흡착 구멍(104)을 통해 외부와 연결되며, 공기 배관(102) 내부의 압력은 대기압과 동일하게 유지된다. 따라서, 공기 배관(102)의 상면에 적재된 기판은 흡착 구멍(104)에 흡착되지 않는다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 커플러(106)의 밸브부가 제어부에 의해 온/오프됨으로써 흡착 구멍(104)에서의 기판의 흡착이 온/오프될 수 있다. 한편, 여기서는 커플러(106)가 공기 배관(102)의 중앙에 배치되는 것으로 도시하였으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며 커플러(106)는 공기 배관(102)의 다른 위치에 배치될 수도 있다. When the power of the valve unit is turned on after the coupler 106 is connected to the air pump and the control unit, the coupler 106 is connected to the inside of the air pipe 102. At this time, the air pump can suck air in the air piping 102. Accordingly, the air inside the air pipe 102 moves toward the air pump 102, and the pressure inside the air pipe 102 becomes smaller than the atmospheric pressure. Therefore, the substrate loaded on the upper surface of the air pipe 102 is adsorbed to the suction hole 104 by a pressure difference between the inside and the outside of the air pipe 102. When the power source of the valve unit is turned off, the connection between the coupler 106 and the inside of the air pipe 102 is cut off. At this time, the air pipe 102 is connected to the outside through the suction hole 104, and the pressure inside the air pipe 102 is kept equal to the atmospheric pressure. Therefore, the substrate loaded on the upper surface of the air pipe 102 is not adsorbed to the suction hole 104. [ That is, according to the embodiments of the present invention, the valve portion of the coupler 106 can be turned on / off by the control portion, whereby the adsorption of the substrate in the adsorption hole 104 can be turned on / off. Although the coupler 106 is illustrated as being disposed at the center of the air pipe 102, this is merely an example, and the coupler 106 may be disposed at another position of the air pipe 102.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 카세트(100) 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부가 제어부에 의해 선택적으로 온/오프될 수 있다. 예를 들어, 제어부에 의해 카세트(100) 내의 모든 커플러에 포함된 밸브부의 전원이 온 상태로 유지되는 경우, 카세트(100)에 적재된 모든 기판들은 각 흡착 구멍(104)에 흡착된다. 이때, 제어부에 의해 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부의 전원이 오프되는 경우, 상기 전원 오프된 밸브부를 포함하는 커플러(106)와 연결된 공기 배관(102) 내부는 공기 펌프와의 연결이 차단되며, 일정 시간 경과 후 더 이상 진공 상태가 유지되지 않는다. 이에 따라, 전원 오프된 밸브부를 포함하는 커플러(106)와 연결된 공기 배관(102)의 내부와 외부는 압력 차이가 발생하지 않게 된다. 만약, 이 상태에서 카세트(100)가 기울어지는 경우, 전원 오프된 밸브부를 포함하는 커플러(106)는 공기 배관(102) 내부와의 연결이 차단되며, 상기 공기 배관(102)의 상측에 적재된 기판은 중력에 의해 외부로 반출된다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판, 예를 들어 얼룩 등의 결함이 발견된 기판을 선택적으로 반출시킬 수 있도록 함으로써 공정 간 이송의 효율성을 증가시킬 수 있다.
In addition, according to the embodiments of the present invention, the valve unit included in the specific coupler 106 among the plurality of couplers formed in the cassette 100 can be selectively turned on / off by the control unit. For example, when the power of the valve unit included in all the couplers in the cassette 100 is kept on by the control unit, all substrates loaded on the cassette 100 are adsorbed to the respective adsorption holes 104. In this case, when the power of the valve unit included in the specific coupler 106 among the plurality of couplers is turned off by the control unit, the inside of the air pipe 102 connected to the coupler 106 including the power- The connection is cut off, and the vacuum state is no longer maintained after a certain time has elapsed. Accordingly, a pressure difference does not occur between the inside and the outside of the air pipe 102 connected to the coupler 106 including the valve part turned off. When the cassette 100 is tilted in this state, the coupler 106 including the power-off valve portion is disconnected from the inside of the air pipe 102, The substrate is carried to the outside by gravity. That is, according to the embodiments of the present invention, it is possible to selectively carry out a substrate to be carried out, for example, a substrate on which defects such as spots are found, thereby increasing the efficiency of inter-process transfer.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100)를 이용한 기판 이송 시스템(300)을 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템(300)은 기판 반입 장치(302) 및 기판 반출 장치(304)를 포함한다. 3 is a view for explaining a substrate transport system 300 using a cassette 100 according to an embodiment of the present invention. The substrate transfer system 300 according to an embodiment of the present invention includes a substrate transfer apparatus 302 and a substrate transfer apparatus 304. [

기판 반입 장치(302)는 복수의 기판을 카세트(100)로 반입시키기 위한 장치로서, 로딩 베이스(306) 및 반입 유도 장치(308)를 포함한다.The substrate carry-in apparatus 302 is an apparatus for bringing a plurality of substrates into the cassette 100, and includes a loading base 306 and a carry-in inducing apparatus 308.

로딩 베이스(306)는 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트(100)가 삽입되는 장치이다. 로딩 베이스(306)의 내부에는 카세트(100)를 상하로 이동시키는 반입 유도 장치(308)가 배치된다. 카세트(100)는 반입 유도 장치(308)에 의해 상하로 이동하면서 로딩 베이스(306) 내부로 삽입되거나 로딩 베이스(306) 외부로 돌출될 수 있다.The loading base 306 is a device in which a cassette 100 into which a plurality of substrates can be loaded is inserted. In the loading base 306, a carry-in inducing device 308 for moving the cassette 100 up and down is disposed. The cassette 100 may be inserted into the loading base 306 or protruding outside the loading base 306 while moving up and down by the loading inducing device 308. [

반입 유도 장치(308)는 복수의 기판을 카세트(100)로 반입시키기 위해 카세트(100)를 상하로 이동시키는 장치이다. 반입 유도 장치(308)는 로딩 베이스(306) 내부에 배치된다. 반입 유도 장치(308)는 카세트(100)의 하면을 지지함과 동시에 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. 반입 유도 장치(308)는 예를 들어, 압력 펌프(미도시)와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 공압 또는 유압을 전달받아 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. 또한, 반입 유도 장치(308)는 예를 들어, 모터(미도시)와 연결되며, 상기 모터에 의해 동력을 전달받아 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. 즉, 반입 유도 장치(308)가 카세트(100)를 상측으로 이동시키고자 할 경우, 반입 유도 장치(308)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시킬 수 있다. 반대로, 반입 유도 장치(308)가 카세트(100)를 하측으로 이동시키고자 할 경우, 반입 유도 장치(308)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 감소시킬 수 있다. 카세트(100)로 기판을 반입시키고자 하는 경우, 반입 유도 장치(308)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시켜 카세트(100)를 상측으로 이동시킨 후, 카세트(100)에 기판이 하나씩 적재될 때마다 상기 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 감소시켜 카세트(100)를 하측으로 이동시킬 수 있다. 이때, 카세트(100)는 카세트(100)에 적재된 기판들 간의 간격만큼 상하로 이동할 수 있다. 이와 달리 카세트(100)가 로딩 베이스(306) 내부에 삽입된 상태에서 카세트(100)에 기판이 하나씩 적재될 때마다, 반입 유도 장치(308)가 카세트(100)를 상측으로 이동시킬 수도 있다. 이 경우, 기판은 카세트(100)가 상측으로 이동함에 따라 카세트(100)에 적재된다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 반입 유도 장치(308)에 의해 카세트(100)를 상하로 이동시킴으로써 기판을 손쉽게 카세트(100) 내부로 반입시킬 수 있다. 한편, 카세트(100)로 반입되는 기판은 컨베이어(314)를 통해 카세트(100) 방향으로 이송될 수 있다.The carry-in inducing device 308 is a device for moving the cassette 100 up and down to bring the plurality of substrates into the cassette 100. [ The carry-in inducing device 308 is disposed inside the loading base 306. The carry-in apparatus 308 supports the lower surface of the cassette 100 and can move the cassette 100 up and down. The carry-in inducing device 308 is connected to a pressure pump (not shown), for example, and receives the pneumatic or hydraulic pressure by the pressure pump to move the cassette 100 up and down. In addition, the carry-in inducing device 308 is connected to a motor (not shown), for example, and receives power from the motor to move the cassette 100 up and down. That is, when the carry-in inducing device 308 is to move the cassette 100 upward, the carry-in inducing device 308 can increase the magnitude of the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the power pump or the pressure pump from the motor . Conversely, if the carry-in device 308 is to move the cassette 100 downward, the carry-in device 308 can reduce the magnitude of the pneumatic or hydraulic pressure delivered from the power pump or pressure pump from the motor . When the substrate is to be carried into the cassette 100, the carry-in inducing device 308 increases the size of the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the motor or the pressure pump to move the cassette 100 upward, Each time a substrate is loaded on the cassette 100, the power transmitted from the motor or the size of pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the pressure pump can be reduced to move the cassette 100 downward. At this time, the cassette 100 can move up and down by the distance between the substrates mounted on the cassette 100. [ Alternatively, each time the substrate is loaded in the cassette 100 while the cassette 100 is inserted into the loading base 306, the carry-in inducing device 308 may move the cassette 100 upward. In this case, the substrate is loaded on the cassette 100 as the cassette 100 moves upward. In other words, according to the embodiments of the present invention, the substrate can be easily carried into the cassette 100 by moving the cassette 100 up and down by the carry-in inducing apparatus 308. On the other hand, the substrate to be carried into the cassette 100 can be conveyed in the direction of the cassette 100 through the conveyor 314. [

기판 반출 장치(304)는 복수의 기판을 카세트(100) 외부로 반출시키기 위한 장치로서, 언로딩 베이스(310) 및 반출 유도 장치(312)를 포함한다.The substrate carry-out device 304 is an apparatus for carrying out a plurality of substrates out of the cassette 100, and includes an unloading base 310 and a carry-out induction device 312.

언로딩 베이스(310)는 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트(100)를 지지하는 장치이다. 언로딩 베이스(310)의 내부의 일측에는 카세트(100)를 상하로 이동시키는 반출 유도 장치(312)가 배치된다. 카세트(100)는 반출 유도 장치(312)에 의해 소정 각도로 기울어질 수 있다.The unloading base 310 is a device for supporting the cassette 100 on which a plurality of substrates can be stacked. An unloading guide device 312 for moving the cassette 100 up and down is disposed at one side of the unloading base 310. The cassette 100 can be inclined at a predetermined angle by the take-out inducing device 312. [

반출 유도 장치(312)는 복수의 기판을 카세트(100) 외부로 반출시키기 위해 카세트(100)를 소정의 각도로 기울이는 장치이다. 반출 유도 장치(312)는 언로딩 베이스(306) 내부의 일측에 배치된다. 반출 유도 장치(312)는 카세트(100)의 하면의 일측에서 카세트(100)를 소정의 각도로 기울인다. 반출 유도 장치(312)는 예를 들어, 압력 펌프(미도시)와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 공압 또는 유압을 전달받아 카세트(100)를 소정의 각도로 기울일 수 있다. 또한, 반출 유도 장치(312)는 예를 들어, 모터(미도시)와 연결되며, 상기 모터에 의해 동력을 전달받아 카세트(100)를 소정의 각도로 기울일 수 있다. 여기서, 소정의 각도란 예를 들어 15°, 30° 등과 같이 기판이 중력에 의해 낙하할 수 있을 정도의 경사각을 의미한다. 반출 유도 장치(312)가 기판을 카세트(100) 외부로 반출시키고자 할 경우, 반출 유도 장치(312)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시킬 수 있다. 반출 유도 장치(312)가 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시켜 카세트(100)를 소정의 각도로 기울이면, 카세트(100)에 적재된 기판은 중력에 의해 기판 이송판(316)을 통해 카세트(100) 외부로 반출된다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 카세트(100)를 기울임으로써 카세트(100) 내부에 적재된 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.The carry-out induction device 312 is a device that tilts the cassette 100 at a predetermined angle so as to take out a plurality of substrates out of the cassette 100. The take-out inducing device 312 is disposed on one side inside the unloading base 306. The carry-in guiding device 312 tilts the cassette 100 at a predetermined angle at one side of the lower surface of the cassette 100. [ The take-out induction device 312 is connected to, for example, a pressure pump (not shown), and can receive pneumatic or hydraulic pressure by the pressure pump to tilt the cassette 100 at a predetermined angle. In addition, the carry-out induction device 312 is connected to a motor (not shown), for example, and receives power from the motor to tilt the cassette 100 at a predetermined angle. Here, the predetermined angle means an inclination angle at which the substrate can fall by gravity, such as 15 deg., 30 deg. When the carry-out induction device 312 intends to carry the substrate out of the cassette 100, the carry-out induction device 312 can increase the magnitude of the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the motor or pressure pump from the motor. When the carry-in guiding device 312 increases the magnitude of the pneumatic pressure or the hydraulic pressure transmitted from the motor or the pressure pump to tilt the cassette 100 at a predetermined angle, the substrate loaded on the cassette 100 is moved by gravity And is transported to the outside of the cassette 100 through the substrate transfer plate 316. That is, according to the embodiments of the present invention, the substrate loaded in the cassette 100 can be easily taken out to the outside by tilting the cassette 100.

한편, 상술한 바와 같이, 카세트(100)가 소정 각도로 기울어지더라도, 카세트(100)에 적재된 기판은 흡착 구멍(104)에 흡착되어 카세트(100) 외부로 반출되지 않을 수 있다. 구체적으로, 카세트(100) 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부가 제어부에 의해 선택적으로 온/오프될 수 있다. 밸브부가 오프된 커플러(106)와 연결되는 공기 배관(102)은 내부와 외부의 압력 차이가 생기지 않기 때문에, 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판은 더 이상 흡착 구멍(104)에 흡착되지 않는다. 따라서, 상기 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판은 카세트(100)가 소정 각도로 기울어짐에 따라 카세트(100) 외부로 반출된다.
As described above, even if the cassette 100 is inclined at a predetermined angle, the substrate loaded on the cassette 100 may not be carried to the outside of the cassette 100 by being attracted to the suction holes 104. Specifically, the valve unit included in the specific coupler 106 among the plurality of couplers formed inside the cassette 100 can be selectively turned on / off by the control unit. Since the pressure difference between the inside and the outside of the air piping 102 connected to the coupler 106 with the valve section turned off does not occur, the substrate mounted on the air piping 102 is no longer adsorbed to the adsorption hole 104 Do not. Therefore, the substrate mounted on the air piping 102 is taken out of the cassette 100 as the cassette 100 is tilted at a predetermined angle.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100), 기판 반입 장치(302) 및 기판 반출 장치(304)를 이용한 기판 이송 방법, 즉 카세트(100) 내부로 기판을 반입시키고, 카세트(100) 외부로 기판을 반출시키는 방법에 대해 설명하기로 한다.
A substrate transfer method using the cassette 100, the substrate carry-in apparatus 302 and the substrate carry-out apparatus 304 according to an embodiment of the present invention, that is, a method of transferring a substrate into the cassette 100, ) A method of carrying the substrate out to the outside will be described.

1. 카세트 내부로 기판 반입
1. Bringing the substrate into the cassette

먼저, 첫 번째 기판이 컨베이어(314)를 통해 카세트(100) 방향으로 이송된다. 이때, 카세트(100)는 반입 유도 장치(308)에 의해 로딩 베이스(306) 밖으로 최대한 돌출되어 있다. First, the first substrate is conveyed in the direction of the cassette 100 through the conveyor 314. At this time, the cassette 100 is protruded to the maximum extent out of the loading base 306 by the carry-in inducing device 308.

컨베이어(314)를 통해 이송된 첫 번째 기판은 카세트(100) 내부의 공기 배관(102)의 상측에 적재된다. 상술한 바와 같이, 카세트(100)는 일정 간격 이격된 복수의 공기 배관(102)을 내부에 구비한다. The first substrate conveyed through the conveyor 314 is loaded on the upper side of the air piping 102 inside the cassette 100. As described above, the cassette 100 has a plurality of air pipes 102 spaced apart from each other by a predetermined distance.

첫 번째 기판이 공기 배관(102) 상에 적재된 후, 반입 유도 장치(308)는 카세트(100) 내부의 복수의 공기 배관(102) 사이의 간격만큼 카세트(100)를 로딩 베이스(306)의 하측으로 하강시킨다. 상술한 바와 같이, 반입 유도 장치(308)는 예를 들어, 외부의 모터에 의해 동력을 전달받아 카세트(100)를 상하로 이동시키거나 유압 또는 공압에 의해 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. After the first substrate is loaded on the air line 102, the carry-in inducing device 308 moves the cassette 100 by a distance between the plurality of air lines 102 inside the cassette 100, Downward. As described above, the carry-in inducing device 308 can receive the power by an external motor to move the cassette 100 up or down, or move the cassette 100 up or down by hydraulic or pneumatic pressure, for example. have.

반입 유도 장치(308)에 의해 카세트(100)가 로딩 베이스(306)에 일부 삽입된 후, 두 번째 기판이 컨베이어(314)를 통해 카세트(100) 방향으로 이송되어 카세트(100)에 적재된다. 이후 상술한 과정이 반복적으로 수행된다. 즉, 기판이 카세트(100) 내부에 적재될 때마다, 카세트(100)가 로딩 베이스(306) 하측으로 이동한다. 본 발명의 실시예들에 의하면 반입 유도 장치(308)에 의해 카세트(100)를 상하로 이동시킴으로써 기판을 손쉽게 카세트(100) 내부로 반입시킬 수 있다.
After the cassette 100 is partially inserted into the loading base 306 by the loading inducing device 308, the second substrate is conveyed in the direction of the cassette 100 through the conveyor 314 and loaded on the cassette 100. [ Then, the above-described process is repeatedly performed. That is, each time the substrate is loaded inside the cassette 100, the cassette 100 moves to the lower side of the loading base 306. According to the embodiments of the present invention, the substrate can be easily carried into the cassette 100 by moving the cassette 100 up and down by the carry-in inducing apparatus 308.

2. 카세트 외부로 기판 반출
2. Take out the substrate from the cassette

상술한 바와 같이, 커플러(106)는 예를 들어, 카세트(100)가 진입단으로 로딩되었을 때, 공기 펌프 및 제어부와 연결될 수 있으며, 제어부에 의해 커플러(106)에 포함된 밸브부가 온/오프될 수 있다. 커플러(106)가 공기 펌프 및 제어부와 연결된 후, 제어부에 의해 밸브부의 전원을 온 상태로 동작시키는 경우, 공기 펌프는 공기 배관(102) 내부의 공기를 흡입하게 되며, 공기 배관(102) 내부는 일정 시간 경과 후 진공 상태가 된다. 이때, 공기 배관(102)의 상면에 적재된 기판은 공기 배관(102)의 내부와 외부와의 압력 차이에 의해 흡착 구멍(104)에 흡착된다. 즉, 제어부에 의해 밸브부의 전원이 오프 상태로 동작시키지 않는 한, 카세트(100)에 적재된 기판은 흡착 구멍(104)에 의해 흡착된 상태를 유지하게 된다. As described above, the coupler 106 can be connected to the air pump and the control unit when, for example, the cassette 100 is loaded into the entry end, and the valve unit included in the coupler 106 is turned on / . When the power source of the valve unit is turned on by the control unit after the coupler 106 is connected to the air pump and the control unit, the air pump sucks air inside the air pipe 102, and the inside of the air pipe 102 After a certain period of time, the vacuum state is established. At this time, the substrate mounted on the upper surface of the air pipe 102 is sucked into the suction hole 104 by a pressure difference between the inside and the outside of the air pipe 102. That is, as long as the control unit does not operate the valve unit in the off state, the substrate loaded on the cassette 100 is maintained in the state of being attracted by the suction holes 104. [

다음으로, 제어부에 의해 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착을 오프시킬 수 있다. 상술한 바와 같이, 제어부에 의해 카세트(100) 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부가 선택적으로 온/오프될 수 있으므로, 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착만을 선택적으로 오프시킬 수 있다. Next, the substrate to be carried out by the control unit can be turned off in the adsorption holes to be adsorbed. As described above, since the valve unit included in the specific coupler 106 among the plurality of couplers formed in the cassette 100 by the control unit can be selectively turned on / off, the substrate to be carried out is attracted to the adsorption hole It is possible to selectively turn off only the adsorption of the adsorbent.

이후, 반출 유도 장치(312)는 카세트(100)를 소정 각도로 기울인다. 반출시키고자 하는 기판은 더 이상 흡착 구멍(104)에 흡착되지 않으므로 중력에 의해 기판 이송판(316)을 따라 카세트(100) 외부로 반출된다. 반출 유도 장치(312)는 예를 들어, 외부의 모터에 의해 동력을 전달받거나 유압 또는 공압에 의해 카세트(100)를 소정 각도로 기울일 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 카세트(104)에 흡착시킨 후, 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 반출시키고자 하는 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.
Then, the carry-out induction apparatus 312 tilts the cassette 100 at a predetermined angle. The substrate to be carried out is no longer attracted to the suction holes 104 and is carried out of the cassette 100 along the substrate transfer plate 316 by gravity. The carry-out induction device 312 can receive power by an external motor, for example, or can tilt the cassette 100 at a predetermined angle by hydraulic pressure or pneumatic pressure. In other words, according to the embodiments of the present invention, after the substrate other than the substrate to be carried out is attracted to the cassette 104, the substrate to be carried out can be easily carried out by tilting the cassette at a predetermined angle.

이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 전술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, I will understand. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by equivalents to the appended claims, as well as the appended claims.

100 : 카세트 102 : 공기 배관
104 : 흡착 구멍 106 : 커플러
300 : 기판 이송 시스템 302 : 기판 반입 장치
304 : 기판 반출 장치 306 : 로딩 베이스
308 : 반입 유도 장치 310 : 언로딩 베이스
312 : 반출 유도 장치 314 : 컨베이어
316 : 기판 이송판100: cassette 102: air piping
104: suction hole 106: coupler
300: substrate transport system 302: substrate transport system
304: Substrate removal device 306: Loading base
308: carry-in device 310: unloading base
312: Discharge guiding device 314: Conveyor
316: substrate transfer plate

Claims (23)

내부에 공기 유로가 형성되는 하나 이상의 공기 배관;
상기 공기 배관에 형성되며, 상기 공기 배관의 상측에 적재되는 기판을 흡착할 수 있는 하나 이상의 흡착 구멍; 및
상기 공기 배관의 일측에 배치되며, 상기 공기 배관의 내부와 연결되는 커플러를 포함하고,
상기 커플러는, 상기 흡착 구멍에서 상기 기판을 흡착할 수 있도록 상기 공기 배관의 내부에 존재하는 공기를 흡입할 수 있는 공기 펌프와 연결되는, 카세트.
At least one air piping in which an air flow path is formed;
At least one adsorption hole formed in the air piping and capable of adsorbing a substrate to be loaded on the air piping; And
And a coupler disposed at one side of the air pipe and connected to the inside of the air pipe,
Wherein the coupler is connected to an air pump capable of sucking air existing in the air pipe so as to allow the substrate to be adsorbed in the suction hole.
제1항에 있어서,
상기 커플러는, 상기 흡착 구멍에서의 상기 흡착을 온/오프할 수 있는 밸브부를 포함하고, 상기 밸브부의 온/오프에 따라 상기 흡착 구멍에서의 상기 흡착이 온/오프되는, 카세트.
The method according to claim 1,
Wherein the coupler includes a valve portion capable of turning on / off the suction in the suction hole, and the suction in the suction hole is turned on / off according to ON / OFF of the valve portion.
제2항에 있어서,
제어부에 의해 상기 카세트 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러에 포함된 밸브부가 선택적으로 온/오프되는, 카세트.
3. The method of claim 2,
And a valve unit included in a specific coupler among the plurality of couplers formed inside the cassette by the control unit is selectively turned on / off.
제1항의 카세트를 이용한 기판 이송 시스템으로서,
상기 기판 이송 시스템은,
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 기판 반입 장치; 및
상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 카세트에 적재된 기판 중 적어도 하나의 기판을 외부로 반출하는 기판 반출 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
A substrate transport system using the cassette of claim 1,
The substrate transfer system comprising:
A substrate carrying device for carrying a substrate to be transferred from the outside by moving a cassette on which a plurality of substrates can be stacked; And
And a substrate transporting device for transporting at least one substrate out of the substrates loaded on the cassette by tilting the cassette at a predetermined angle.
제4항에 있어서,
상기 기판 반입 장치는,
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트가 삽입될 수 있는 로딩 베이스; 및
상기 로딩 베이스 내부에 배치되며, 상기 카세트의 하면을 지지함과 동시에 상기 카세트를 상하로 이동시킬 수 있는 반입 유도 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
5. The method of claim 4,
The substrate carry-
A loading base into which a cassette onto which a plurality of substrates can be loaded can be inserted; And
And a carry-in inducing device disposed inside the loading base, capable of supporting the lower surface of the cassette and moving the cassette up and down.
제5항에 있어서,
상기 반입 유도 장치는,
압력 펌프와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 시스템.
6. The method of claim 5,
Wherein the carry-
Wherein the cassette is connected to a pressure pump and moves the cassette up and down by pneumatic or hydraulic pressure transmitted by the pressure pump.
제5항에 있어서,
상기 반입 유도 장치는,
모터와 연결되며, 상기 모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 시스템.
6. The method of claim 5,
Wherein the carry-
Wherein the cassette is connected to a motor and moves the cassette up and down by the power transmitted by the motor.
제4항에 있어서,
상기 기판 반출 장치는,
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 지지하는 언로딩 베이스; 및
상기 언로딩 베이스 내부의 일측에 배치되며, 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는 반출 유도 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
5. The method of claim 4,
Wherein the substrate carry-
An unloading base for supporting a cassette on which a plurality of substrates can be loaded; And
And an unloading guide disposed at one side of the unloading base and tilting the cassette at a predetermined angle.
제8항에 있어서,
상기 반출 유도 장치는,
압력 펌프와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 시스템.
9. The method of claim 8,
The take-
Wherein the cassette is connected to a pressure pump and tilts the cassette at a predetermined angle by pneumatic or hydraulic pressure transmitted by the pressure pump.
제8항에 있어서,
상기 반출 유도 장치는,
모터와 연결되며, 상기 모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 시스템.
9. The method of claim 8,
The take-
And wherein the cassette is tilted at a predetermined angle by a power transmitted by the motor.
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트가 삽입될 수 있는 로딩 베이스; 및
상기 로딩 베이스 내부에 배치되며, 상기 카세트의 하면을 지지함과 동시에 상기 카세트를 상하로 이동시킬 수 있는 반입 유도 장치를 포함하는, 기판 반입 장치.
A loading base into which a cassette onto which a plurality of substrates can be loaded can be inserted; And
And a carry-in inducing device disposed inside the loading base, capable of supporting the lower surface of the cassette and moving the cassette up and down.
제11항에 있어서,
상기 반입 유도 장치는,
압력 펌프와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 반입 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the carry-
Wherein the cassette is connected to a pressure pump and moves the cassette up and down by pneumatic or hydraulic pressure transmitted by the pressure pump.
제11항에 있어서,
상기 반입 유도 장치는,
모터와 연결되며, 상기 모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 반입 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the carry-
And moves the cassette up and down by a power transmitted by the motor.
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 지지하는 언로딩 베이스; 및
상기 언로딩 베이스 내부의 일측에 배치되며, 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는 반출 유도 장치를 포함하는, 기판 반출 장치.
An unloading base for supporting a cassette on which a plurality of substrates can be loaded; And
And an unloading guide disposed at one side of the unloading base and tilting the cassette at a predetermined angle.
제14항에 있어서,
상기 반출 유도 장치는,
압력 펌프와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 반출 장치.
15. The method of claim 14,
The take-
Wherein the cassette is connected to a pressure pump and tilts the cassette at a predetermined angle by a pneumatic or hydraulic pressure transmitted by the pressure pump.
제14항에 있어서,
상기 반출 유도 장치는,
모터와 연결되며, 상기 모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 반출 장치.
15. The method of claim 14,
The take-
And is connected to a motor, and tilts the cassette at a predetermined angle by a power transmitted by the motor.
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 단계;
상기 카세트에 반입된 복수의 기판 중 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 카세트 내부에 형성되는 흡착 구멍에 흡착시키는 단계; 및
상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계를 포함하는, 기판 이송 방법.
Transporting a substrate to be transported from the outside by moving a cassette on which a plurality of substrates can be stacked;
A step of adsorbing a substrate other than a substrate to be carried out among a plurality of substrates carried in the cassette to a suction hole formed in the cassette; And
And tilting the cassette at a predetermined angle to carry the substrate to be carried out to the outside.
제17항에 있어서,
상기 이송되는 기판을 반입하는 단계는,
압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the step of transporting the transported substrate comprises:
Wherein the cassette is moved up and down by a pneumatic or hydraulic pressure transmitted by a pressure pump.
제17항에 있어서,
상기 이송되는 기판을 반입하는 단계는,
모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the step of transporting the transported substrate comprises:
And the cassette is moved up and down by the power transmitted by the motor.
제17항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 흡착 구멍에 흡착시키는 단계는,
상기 카세트에 반입된 복수의 기판이 상기 카세트 내부에 형성되는 복수의 공기 배관의 상측에 각각 적재되는 단계;
공기 펌프에서 상기 복수의 공기 배관 각각의 내부에 존재하는 공기를 흡입함으로써 상기 복수의 공기 배관 각각에 형성된 흡착 구멍에 상기 복수의 기판이 흡착되는 단계; 및
상기 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착을 오프시키는 단계를 포함하는, 기판 이송 방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the step of adsorbing the remaining substrate excluding the substrate to be carried out to the suction holes comprises:
A plurality of substrates carried in the cassette are stacked on top of a plurality of air pipes formed in the cassette, respectively;
Sucking the plurality of substrates into an adsorption hole formed in each of the plurality of air pipes by sucking air existing in each of the plurality of air pipes in the air pump; And
And a step of turning off the adsorption at the adsorption hole where the substrate to be carried out is adsorbed.
제20항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착을 오프시키는 단계는,
상기 복수의 공기 배관 중 상기 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍과 연결되는 공기 배관의 일측에 배치되는 커플러의 밸브부를 오프시키는, 기판 이송 방법.
21. The method of claim 20,
Wherein the step of turning off adsorption in the adsorption holes to which the substrate to be carried out is adsorbed comprises:
And the valve portion of the coupler disposed at one side of the air pipe connected to the suction hole where the substrate to be carried out is attracted out of the plurality of air pipes is turned off.
제17항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계는,
압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the step of transporting the substrate to be carried out includes:
Wherein the cassette is tilted at a predetermined angle by pneumatic or hydraulic pressure transmitted by a pressure pump.
제17항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계는,
모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the step of transporting the substrate to be carried out includes:
And the cassette is tilted at a predetermined angle by the power transmitted by the motor.
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