KR102096981B1 - Cassette, apparatus for loading substrate, apparatus for unloading substrate, and system and method for moving the substrate using the same - Google Patents

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Abstract

기판 반입 장치, 기판 반출 장치와 이를 이용한 기판 이송 시스템 및 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트는, 내부에 공기 유로가 형성되는 하나 이상의 공기 배관; 상기 공기 배관에 형성되며, 상기 공기 배관의 상측에 적재되는 기판을 흡착할 수 있는 하나 이상의 흡착 구멍; 및 상기 공기 배관의 일측에 배치되며, 상기 공기 배관의 내부와 연결되는 커플러를 포함하고, 상기 커플러는, 상기 흡착 구멍에서 상기 기판을 흡착할 수 있도록 상기 공기 배관의 내부에 존재하는 공기를 흡입할 수 있는 공기 펌프와 연결된다.Disclosed is a substrate carrying device, a substrate carrying device, and a substrate transport system and method using the same. Cassette according to an embodiment of the present invention, one or more air piping is formed with an air flow path therein; One or more adsorption holes formed in the air pipe and capable of adsorbing a substrate loaded on an upper side of the air pipe; And a coupler disposed on one side of the air pipe and connected to the interior of the air pipe, wherein the coupler sucks air existing in the air pipe so as to adsorb the substrate from the suction hole. Can be connected to the air pump.

Description

카세트, 기판 반입 장치, 기판 반출 장치와 이를 이용한 기판 이송 시스템 및 방법{CASSETTE, APPARATUS FOR LOADING SUBSTRATE, APPARATUS FOR UNLOADING SUBSTRATE, AND SYSTEM AND METHOD FOR MOVING THE SUBSTRATE USING THE SAME}Cassette, board carrying device, board carrying device and board transport system and method using the same

본 발명의 실시예들은 기판을 효율적으로 반입 및 반출시킴으로써 기판을 손쉽게 이송시키는 기술에 관한 것이다.
Embodiments of the present invention relates to a technique for easily transporting a substrate by efficiently bringing in and taking out the substrate.

최근 들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP), 전계 발광 표시 장치(Electroluminiscent display : ELD), 진공 형광 표시 장치(Vacuum Fluorescent Display : VFD) 등의 평판 디스플레이 장치에 대한 사용이 증가하고 있다. 특히, 액정표시장치는 저전력이 소비되고, 무게가 가볍기 때문에 그 수요가 점차 증가하는 추세이다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 그 제조 과정에 있어서 다수의 공정을 거치게 되는데, 핵심부품인 유리 기판을 안정적으로 적재 및 운반하는 작업이 필요하다. 일반적으로, 유리 기판은 유리 용해로(Glass Melting Furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되고, 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되며, 컨베이어 시스템에 의해 가공라인으로 운반된다. 이 과정에서, 유리 기판은 카세트 또는 트레이 등에 적재되어 다음 공정으로 운반된다. 그러나, 종래에는 기판의 운반 과정에서 카세트 또는 트레이가 기울어질 경우, 유리 기판이 카세트 또는 트레이 외부로 쏟아지게 되는 문제점이 있었다. 또한, 카세트 또는 트레이에 적재된 복수의 유리 기판 중 일부 유리 기판에 얼룩 등의 결함이 발견될 경우, 결함이 발견된 유리 기판만을 선택적으로 취출하는데 어려움이 있었다. 아울러, 기판을 카세트 내부로 반입시키거나 외부로 반출시키는 경우, 별도의 반입 장치 또는 반출 장치를 사용하여 기판을 차례로 카세트 내부로 반입시키거나 외부로 반입시켜야 하는 번거로움이 있었다.
Recently, flat panels such as liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), electroluminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent displays (VFDs) The use of display devices is increasing. In particular, the demand for a liquid crystal display device is gradually increasing due to low power consumption and light weight. The flat panel display device undergoes a number of processes in its manufacturing process, and it is necessary to stably load and transport the glass substrate, which is a core component. In general, a glass substrate is manufactured by supplying a glass melted material in a glass melting furnace to a melting molding machine, and is cut to meet the first standard by a cutting machine and transported to a processing line by a conveyor system. In this process, the glass substrate is loaded on a cassette or tray, etc., and is transported to the next process. However, in the related art, when the cassette or tray is inclined in the process of transporting the substrate, there is a problem that the glass substrate is poured out of the cassette or tray. In addition, when defects such as stains are found in some glass substrates among the plurality of glass substrates loaded in the cassette or tray, there is difficulty in selectively taking out only the glass substrates in which defects are found. In addition, when the substrate is carried into or out of the cassette, there is a hassle of bringing the substrate in or out of the cassette in turn using a separate carrying device or carrying device.

한국등록특허 제10-0710160호 (2004.04.14)Korean Registered Patent No. 10-0710160 (2004.04.14) 한국등록특허 제10-0576119호 (2006.05.15)Korean Registered Patent No. 10-0576119 (2006.05.15)

본 발명의 실시예들은 카세트가 기울어지더라도 카세트에 적재된 기판이 쏟아지지 않도록 하며, 적재된 복수의 기판 중 특정 기판을 선택적으로 반출시킴으로써 공정 간 기판의 이송을 효율적으로 수행하기 위한 것이다.
Embodiments of the present invention is to prevent the substrate loaded in the cassette does not spill even if the cassette is inclined, by selectively carrying out a specific substrate among a plurality of loaded substrate to efficiently perform the transfer of substrates between processes.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트는, 상술한 상기 카세트는, 내부에 공기 유로가 형성되는 하나 이상의 공기 배관; 상기 공기 배관에 형성되며, 상기 공기 배관의 상측에 적재되는 기판을 흡착할 수 있는 하나 이상의 흡착 구멍; 및 상기 공기 배관의 일측에 배치되며, 상기 공기 배관의 내부와 연결되는 커플러를 포함하고, 상기 커플러는, 상기 흡착 구멍에서 상기 기판을 흡착할 수 있도록 상기 공기 배관의 내부에 존재하는 공기를 흡입할 수 있는 공기 펌프와 연결된다.Cassette according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, the above-described cassette, one or more air pipes are formed with an air flow path therein; One or more adsorption holes formed in the air pipe and capable of adsorbing a substrate loaded on an upper side of the air pipe; And a coupler disposed on one side of the air pipe and connected to the interior of the air pipe, wherein the coupler sucks air existing in the air pipe so as to adsorb the substrate from the suction hole. Can be connected to the air pump.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템은, 상술한 카세트를 이용한 기판 이송 시스템으로서, 상기 기판 이송 시스템은, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 기판 반입 장치; 및 상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 카세트에 적재된 기판 중 적어도 하나의 기판을 외부로 반출하는 기판 반출 장치를 포함한다.On the other hand, the substrate transfer system according to an embodiment of the present invention for solving the above problem is a substrate transfer system using the above-described cassette, the substrate transfer system, the plurality of substrates to move the cassette up and down A substrate carrying device that carries the substrate transferred from the outside by making it; And a substrate discharging device for discharging at least one of the substrates loaded on the cassette to the outside by tilting the cassette at a predetermined angle.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법은, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 단계; 상기 카세트에 반입된 복수의 기판 중 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 카세트 내부에 형성되는 흡착 구멍에 흡착시키는 단계; 및 상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계를 포함한다.On the other hand, the substrate transfer method according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, the step of bringing a substrate to be transferred from the outside by moving the cassette that can be loaded a plurality of substrates up and down; Adsorbing the remaining substrates of the plurality of substrates carried in the cassette, excluding the ones to be carried out, into the adsorption holes formed inside the cassettes; And carrying out the substrate to be carried out by tilting the cassette at a predetermined angle.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반입 장치는, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트가 삽입될 수 있는 로딩 베이스; 및 상기 로딩 베이스 내부에 배치되며, 상기 카세트의 하면을 지지함과 동시에 상기 카세트를 상하로 이동시킬 수 있는 반입 유도 장치를 포함한다.On the other hand, the substrate carrying apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problem, a loading base into which a cassette into which a plurality of substrates can be loaded can be inserted; And a loading guide device disposed inside the loading base and supporting the lower surface of the cassette while simultaneously moving the cassette up and down.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반출 장치는, 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 지지하는 언로딩 베이스; 및 상기 언로딩 베이스 내부의 일측에 배치되며, 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는 반출 유도 장치를 포함한다.
On the other hand, the substrate carrying apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, an unloading base for supporting a cassette on which a plurality of substrates can be loaded; And it is disposed on one side of the inside of the unloading base, and includes a dispensing guide device for tilting the cassette at a predetermined angle.

본 발명의 실시예들에 의하면 카세트를 상하로 이동시킴으로써 이송되는 기판을 손쉽게 카세트 내부로 반입할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the substrate to be transferred can be easily brought into the cassette by moving the cassette up and down.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 카세트 내부에 형성되는 흡착 구멍에 흡착시킨 후, 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 반출시키고자 하는 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.In addition, according to embodiments of the present invention, after the substrate except for the substrate to be carried out is adsorbed to the adsorption hole formed in the cassette, the substrate to be taken out can be easily taken out by tilting the cassette at an angle. You can.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판을 선택적으로 반출시킬 수 있도록 함으로써 공정 간 이송의 효율성을 증가시킬 수 있다.
In addition, according to embodiments of the present invention, it is possible to selectively carry out a substrate to be carried out, thereby increasing the efficiency of transfer between processes.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트의 배면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트를 이용한 기판 이송 시스템을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a front view of a cassette according to an embodiment of the present invention.
2 is a rear view of a cassette according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining a substrate transfer system using a cassette according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시적 실시예에 불과하며 본 발명은 이에 한정되지 않는다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, this is only an exemplary embodiment, and the present invention is not limited thereto.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted. In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to a user's or operator's intention or practice. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.

본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 진보적인 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
The technical spirit of the present invention is determined by the claims, and the following examples are merely means for effectively explaining the technical spirit of the present invention to those skilled in the art to which the present invention pertains.

도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100)의 정면도 및 배면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100)는 복수의 기판을 적재하기 위한 장치로서, 공기 배관(102), 흡착 구멍(104) 및 커플러(106)를 포함한다. 여기서, 기판은 예를 들어 LCD, OLED 등의 제조에 사용되는 유리기판이 될 수 있다. 기판은 그 종류에 따라 수 mm2 ~ 수백만 mm2 크기의 면적을 가질 수 있다. 카세트(100)는 적재되는 기판의 크기에 따라 그 부피가 달라질 수 있다. 카세트(100)는 예를 들어, 육면체 박스 형상으로 구성될 수 있으며, 일측면이 개방될 수 있다. 카세트(100)는 개방된 일측면을 통해 내부 공간으로 기판을 반입시킬 수 있다. 이때, 카세트(100)는 컨베이어를 통해 기판을 반입시킬 수 있다.1 and 2 are a front view and a rear view of the cassette 100 according to an embodiment of the present invention. The cassette 100 according to an embodiment of the present invention is a device for loading a plurality of substrates, and includes an air pipe 102, an adsorption hole 104 and a coupler 106. Here, the substrate may be, for example, a glass substrate used for manufacturing LCDs, OLEDs, and the like. The substrate may have a number ~ millions mm 2 mm 2 area of the size depending on the type. The volume of the cassette 100 may vary depending on the size of the substrate to be loaded. The cassette 100 may be configured, for example, in a hexahedral box shape, and one side may be opened. The cassette 100 may bring the substrate into the internal space through one open side. At this time, the cassette 100 may carry a substrate through a conveyor.

공기 배관(102)은 내부에 공기 유로가 형성되는 배관으로서, 예를 들어 ㄷ자 형상으로 이루어질 수 있다. 공기 배관(102)이 형성되지 않은 카세트(100)의 측면은 기판이 반입되거나 반출되는 출입구로 사용될 수 있다. 카세트(100)는 내부에 하나 이상의 공기 배관(102)을 포함하며, 각 공기 배관(102)은 카세트(100) 내부에서 지면과 평행하게 배치될 수 있다. 이때, 공기 배관(102)의 상측에는 반입된 기판이 적재된다. 각 공기 배관(102)은 카세트(100) 내부에서 상호 일정 간격 이격되어 구성되기 때문에, 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판들 또한 상호 일정 간격 이격되어 카세트(100)에 적재된다. 한편, 공기 배관(102)의 모서리 부분에는 하나 이상의 흡착 구멍(104)이 형성되며, 공기 배관(102)의 일측에는 공기 배관(102)의 내부와 공기 펌프(미도시)를 연결할 수 있는 커플러(106)가 배치된다.The air pipe 102 is a pipe through which an air flow path is formed, and may be formed in a U-shape, for example. The side surface of the cassette 100 in which the air pipe 102 is not formed may be used as an entrance through which the substrate is carried in or out. The cassette 100 includes one or more air pipes 102 therein, and each air pipe 102 may be disposed parallel to the ground inside the cassette 100. At this time, the substrate carried in is loaded on the upper side of the air pipe 102. Since each air pipe 102 is configured to be spaced apart from each other within the cassette 100, the substrates loaded on the upper side of the air pipe 102 are also spaced apart from each other to be loaded into the cassette 100. On the other hand, one or more adsorption holes 104 are formed in the corner portion of the air pipe 102, and on one side of the air pipe 102, a coupler that can connect the inside of the air pipe 102 and an air pump (not shown) ( 106) is deployed.

흡착 구멍(104)은 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판을 흡착하기 위한 구멍이다. 여기서는, 흡착 구멍(104)이 공기 배관(102)의 모서리 부분에 형성되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 흡착 구멍(104)은 공기 배관(102)의 모서리 부분이 아닌 다른 지점에 형성될 수도 있다. 흡착 구멍(104)의 크기 및 개수는 적재되는 기판의 종류 및 크기에 따라 달라질 수 있다. 공기 배관(102)에 형성되는 흡착 구멍(104)의 개수가 많아지거나 흡착 구멍(104)의 크기가 커질수록 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판을 흡착하는 흡착력 또한 강해지게 된다. The adsorption hole 104 is a hole for adsorbing the substrate loaded on the upper side of the air pipe 102. Here, although the adsorption hole 104 is illustrated as being formed at the corner portion of the air pipe 102, it is not limited thereto. The adsorption hole 104 may be formed at a point other than the corner portion of the air pipe 102. The size and number of the adsorption holes 104 may vary depending on the type and size of the substrate to be loaded. As the number of adsorption holes 104 formed in the air piping 102 increases or the size of the adsorption holes 104 increases, the adsorption force for adsorbing the substrate loaded on the upper side of the air piping 102 also increases.

커플러(106)는 공기 배관(102)의 일측에 배치되며, 공기 배관(102)의 내부와 연결된다. 커플러(106)는 예를 들어, 카세트(100)가 진입단(미도시)으로 로딩되었을 때, 물리적 접촉에 의해 특정 포트에 장착되어 공기 펌프(미도시) 및 제어부(미도시)와 연결될 수 있다. The coupler 106 is disposed on one side of the air pipe 102 and is connected to the interior of the air pipe 102. The coupler 106 may be connected to an air pump (not shown) and a control unit (not shown), for example, when the cassette 100 is loaded into an entry end (not shown) and mounted in a specific port by physical contact. .

커플러(106)는 흡착 구멍(104)에서의 흡착을 온/오프할 수 있는 밸브부(미도시)를 내부에 포함하며, 밸브부의 온/오프에 따라 흡착 구멍(104)에서의 흡착이 온/오프된다. 커플러(106)에 포함된 밸브부는 제어부에 의해 온/오프될 수 있다. The coupler 106 includes a valve portion (not shown) capable of turning on / off adsorption in the adsorption hole 104, and adsorption in the adsorption hole 104 is turned on / off according to on / off of the valve portion. Is off. The valve part included in the coupler 106 may be turned on / off by a control unit.

커플러(106)가 공기 펌프 및 제어부와 연결된 후 밸브부의 전원이 온 상태가 되는 경우, 커플러(106)는 공기 배관(102)의 내부와 연결된다. 이때, 공기 펌프는 공기 배관(102) 내부의 공기를 흡입할 수 있다. 이에 따라, 공기 배관(102) 내부의 공기는 공기 펌프 방향으로 이동하게 되며, 공기 배관(102) 내부의 압력은 대기압보다 작아지게 된다. 따라서, 공기 배관(102)의 상면에 적재된 기판은 공기 배관(102)의 내부와 외부와의 압력 차이에 의해 흡착 구멍(104)에 흡착된다. 밸브부의 전원이 오프 상태가 되는 경우, 커플러(106)와 공기 배관(102)의 내부와의 연결은 차단된다. 이때, 공기 배관(102)은 흡착 구멍(104)을 통해 외부와 연결되며, 공기 배관(102) 내부의 압력은 대기압과 동일하게 유지된다. 따라서, 공기 배관(102)의 상면에 적재된 기판은 흡착 구멍(104)에 흡착되지 않는다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 커플러(106)의 밸브부가 제어부에 의해 온/오프됨으로써 흡착 구멍(104)에서의 기판의 흡착이 온/오프될 수 있다. 한편, 여기서는 커플러(106)가 공기 배관(102)의 중앙에 배치되는 것으로 도시하였으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며 커플러(106)는 공기 배관(102)의 다른 위치에 배치될 수도 있다. When the power of the valve unit is turned on after the coupler 106 is connected to the air pump and the control unit, the coupler 106 is connected to the inside of the air pipe 102. At this time, the air pump may suck air inside the air pipe 102. Accordingly, the air inside the air pipe 102 moves in the air pump direction, and the pressure inside the air pipe 102 becomes smaller than the atmospheric pressure. Therefore, the substrate loaded on the upper surface of the air pipe 102 is adsorbed to the suction hole 104 by a pressure difference between the inside and the outside of the air pipe 102. When the power of the valve unit is turned off, the connection between the coupler 106 and the inside of the air pipe 102 is cut off. At this time, the air pipe 102 is connected to the outside through the adsorption hole 104, and the pressure inside the air pipe 102 is maintained at the same pressure as the atmospheric pressure. Therefore, the substrate loaded on the upper surface of the air pipe 102 is not adsorbed by the adsorption hole 104. That is, according to embodiments of the present invention, the valve portion of the coupler 106 is turned on / off by the control unit, whereby the adsorption of the substrate in the suction hole 104 can be turned on / off. Meanwhile, the coupler 106 is illustrated as being disposed at the center of the air pipe 102, but this is only one embodiment, and the coupler 106 may be disposed at another location of the air pipe 102.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 카세트(100) 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부가 제어부에 의해 선택적으로 온/오프될 수 있다. 예를 들어, 제어부에 의해 카세트(100) 내의 모든 커플러에 포함된 밸브부의 전원이 온 상태로 유지되는 경우, 카세트(100)에 적재된 모든 기판들은 각 흡착 구멍(104)에 흡착된다. 이때, 제어부에 의해 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부의 전원이 오프되는 경우, 상기 전원 오프된 밸브부를 포함하는 커플러(106)와 연결된 공기 배관(102) 내부는 공기 펌프와의 연결이 차단되며, 일정 시간 경과 후 더 이상 진공 상태가 유지되지 않는다. 이에 따라, 전원 오프된 밸브부를 포함하는 커플러(106)와 연결된 공기 배관(102)의 내부와 외부는 압력 차이가 발생하지 않게 된다. 만약, 이 상태에서 카세트(100)가 기울어지는 경우, 전원 오프된 밸브부를 포함하는 커플러(106)는 공기 배관(102) 내부와의 연결이 차단되며, 상기 공기 배관(102)의 상측에 적재된 기판은 중력에 의해 외부로 반출된다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판, 예를 들어 얼룩 등의 결함이 발견된 기판을 선택적으로 반출시킬 수 있도록 함으로써 공정 간 이송의 효율성을 증가시킬 수 있다.
In addition, according to embodiments of the present invention, a valve part included in a specific coupler 106 among a plurality of couplers formed inside the cassette 100 may be selectively turned on / off by a control unit. For example, when the power of the valve unit included in all the couplers in the cassette 100 is maintained by the control unit, all the substrates loaded in the cassette 100 are adsorbed to each suction hole 104. At this time, when the power of the valve part included in the specific coupler 106 among the plurality of couplers is turned off by the control unit, the inside of the air pipe 102 connected to the coupler 106 including the power-off valve part is connected to the air pump. The connection is cut off and the vacuum is no longer maintained after a certain period of time. Accordingly, a pressure difference does not occur between the inside and the outside of the air pipe 102 connected to the coupler 106 including the power-off valve unit. If, in this state, the cassette 100 is inclined, the coupler 106 including the power-off valve part is blocked from being connected to the inside of the air pipe 102, and is loaded on the upper side of the air pipe 102. The substrate is carried out by gravity. That is, according to the embodiments of the present invention, the efficiency of inter-process transfer can be increased by selectively carrying out a substrate to be carried out, for example, a substrate having defects such as stains.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100)를 이용한 기판 이송 시스템(300)을 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 시스템(300)은 기판 반입 장치(302) 및 기판 반출 장치(304)를 포함한다. 3 is a view for explaining a substrate transfer system 300 using a cassette 100 according to an embodiment of the present invention. The substrate transport system 300 according to an embodiment of the present invention includes a substrate carrying device 302 and a substrate carrying device 304.

기판 반입 장치(302)는 복수의 기판을 카세트(100)로 반입시키기 위한 장치로서, 로딩 베이스(306) 및 반입 유도 장치(308)를 포함한다.The substrate carrying device 302 is a device for carrying a plurality of substrates into the cassette 100, and includes a loading base 306 and a carrying guide device 308.

로딩 베이스(306)는 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트(100)가 삽입되는 장치이다. 로딩 베이스(306)의 내부에는 카세트(100)를 상하로 이동시키는 반입 유도 장치(308)가 배치된다. 카세트(100)는 반입 유도 장치(308)에 의해 상하로 이동하면서 로딩 베이스(306) 내부로 삽입되거나 로딩 베이스(306) 외부로 돌출될 수 있다.The loading base 306 is a device into which a cassette 100 into which a plurality of substrates can be loaded is inserted. A loading guide device 308 for moving the cassette 100 up and down is disposed inside the loading base 306. The cassette 100 may be inserted into the loading base 306 or projected out of the loading base 306 while moving up and down by the carry-in guide device 308.

반입 유도 장치(308)는 복수의 기판을 카세트(100)로 반입시키기 위해 카세트(100)를 상하로 이동시키는 장치이다. 반입 유도 장치(308)는 로딩 베이스(306) 내부에 배치된다. 반입 유도 장치(308)는 카세트(100)의 하면을 지지함과 동시에 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. 반입 유도 장치(308)는 예를 들어, 압력 펌프(미도시)와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 공압 또는 유압을 전달받아 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. 또한, 반입 유도 장치(308)는 예를 들어, 모터(미도시)와 연결되며, 상기 모터에 의해 동력을 전달받아 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. 즉, 반입 유도 장치(308)가 카세트(100)를 상측으로 이동시키고자 할 경우, 반입 유도 장치(308)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시킬 수 있다. 반대로, 반입 유도 장치(308)가 카세트(100)를 하측으로 이동시키고자 할 경우, 반입 유도 장치(308)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 감소시킬 수 있다. 카세트(100)로 기판을 반입시키고자 하는 경우, 반입 유도 장치(308)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시켜 카세트(100)를 상측으로 이동시킨 후, 카세트(100)에 기판이 하나씩 적재될 때마다 상기 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 감소시켜 카세트(100)를 하측으로 이동시킬 수 있다. 이때, 카세트(100)는 카세트(100)에 적재된 기판들 간의 간격만큼 상하로 이동할 수 있다. 이와 달리 카세트(100)가 로딩 베이스(306) 내부에 삽입된 상태에서 카세트(100)에 기판이 하나씩 적재될 때마다, 반입 유도 장치(308)가 카세트(100)를 상측으로 이동시킬 수도 있다. 이 경우, 기판은 카세트(100)가 상측으로 이동함에 따라 카세트(100)에 적재된다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 반입 유도 장치(308)에 의해 카세트(100)를 상하로 이동시킴으로써 기판을 손쉽게 카세트(100) 내부로 반입시킬 수 있다. 한편, 카세트(100)로 반입되는 기판은 컨베이어(314)를 통해 카세트(100) 방향으로 이송될 수 있다.The carrying induction device 308 is a device that moves the cassette 100 up and down to carry a plurality of substrates into the cassette 100. The carry-in guide device 308 is disposed inside the loading base 306. The carrying induction device 308 may support the lower surface of the cassette 100 and simultaneously move the cassette 100 up and down. The carrying induction device 308 is connected to, for example, a pressure pump (not shown), and can receive the pneumatic or hydraulic pressure by the pressure pump to move the cassette 100 up and down. In addition, the carrying induction device 308 is connected to, for example, a motor (not shown), and can receive power by the motor to move the cassette 100 up and down. That is, when the carry-induction device 308 wants to move the cassette 100 upward, the carry-induction device 308 can increase the magnitude of the power transmitted from the motor or the pneumatic or hydraulic pressure delivered from the pressure pump. . Conversely, when the carry-in guide device 308 wants to move the cassette 100 downward, the carry-in guide device 308 can reduce the magnitude of the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the power or pressure pump transmitted from the motor. . When the substrate is to be brought into the cassette 100, the induction guide device 308 increases the size of the power transmitted from the motor or the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the pressure pump, and then moves the cassette 100 upward, Whenever the substrate is loaded one by one in the cassette 100, the size of the power transmitted from the motor or the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the pressure pump can be reduced to move the cassette 100 downward. At this time, the cassette 100 may move up and down by an interval between the substrates loaded on the cassette 100. Alternatively, whenever the cassette 100 is loaded into the cassette 100 one by one while the cassette 100 is inserted inside the loading base 306, the carrying induction device 308 may move the cassette 100 upward. In this case, the substrate is loaded on the cassette 100 as the cassette 100 moves upward. That is, according to embodiments of the present invention, the substrate 100 can be easily carried into the cassette 100 by moving the cassette 100 up and down by the carrying induction device 308. Meanwhile, the substrate carried into the cassette 100 may be transferred to the cassette 100 through the conveyor 314.

기판 반출 장치(304)는 복수의 기판을 카세트(100) 외부로 반출시키기 위한 장치로서, 언로딩 베이스(310) 및 반출 유도 장치(312)를 포함한다.The substrate carrying device 304 is a device for carrying a plurality of substrates out of the cassette 100, and includes an unloading base 310 and a carrying guide device 312.

언로딩 베이스(310)는 복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트(100)를 지지하는 장치이다. 언로딩 베이스(310)의 내부의 일측에는 카세트(100)를 상하로 이동시키는 반출 유도 장치(312)가 배치된다. 카세트(100)는 반출 유도 장치(312)에 의해 소정 각도로 기울어질 수 있다.The unloading base 310 is a device that supports the cassette 100 on which a plurality of substrates can be loaded. On one side of the inside of the unloading base 310, a carry-out guide device 312 for moving the cassette 100 up and down is disposed. The cassette 100 may be inclined at a predetermined angle by the carry-out guide device 312.

반출 유도 장치(312)는 복수의 기판을 카세트(100) 외부로 반출시키기 위해 카세트(100)를 소정의 각도로 기울이는 장치이다. 반출 유도 장치(312)는 언로딩 베이스(306) 내부의 일측에 배치된다. 반출 유도 장치(312)는 카세트(100)의 하면의 일측에서 카세트(100)를 소정의 각도로 기울인다. 반출 유도 장치(312)는 예를 들어, 압력 펌프(미도시)와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 공압 또는 유압을 전달받아 카세트(100)를 소정의 각도로 기울일 수 있다. 또한, 반출 유도 장치(312)는 예를 들어, 모터(미도시)와 연결되며, 상기 모터에 의해 동력을 전달받아 카세트(100)를 소정의 각도로 기울일 수 있다. 여기서, 소정의 각도란 예를 들어 15°, 30° 등과 같이 기판이 중력에 의해 낙하할 수 있을 정도의 경사각을 의미한다. 반출 유도 장치(312)가 기판을 카세트(100) 외부로 반출시키고자 할 경우, 반출 유도 장치(312)는 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시킬 수 있다. 반출 유도 장치(312)가 모터로부터 전달되는 동력 또는 압력 펌프로부터 전달되는 공압 또는 유압의 크기를 증가시켜 카세트(100)를 소정의 각도로 기울이면, 카세트(100)에 적재된 기판은 중력에 의해 기판 이송판(316)을 통해 카세트(100) 외부로 반출된다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 카세트(100)를 기울임으로써 카세트(100) 내부에 적재된 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.The carrying out induction device 312 is a device that inclines the cassette 100 at a predetermined angle to carry a plurality of substrates out of the cassette 100. The take-out guide device 312 is disposed on one side inside the unloading base 306. The carrying out induction device 312 inclines the cassette 100 at a predetermined angle on one side of the lower surface of the cassette 100. The take-out induction device 312 is connected to, for example, a pressure pump (not shown), and can receive the pneumatic or hydraulic pressure by the pressure pump to incline the cassette 100 at a predetermined angle. In addition, the take-out induction device 312 is connected to, for example, a motor (not shown), and receives power by the motor to incline the cassette 100 at a predetermined angle. Here, the predetermined angle means an inclination angle such that, for example, 15 °, 30 °, etc., the substrate can fall by gravity. When the take-out inducing device 312 wants to take the substrate out of the cassette 100, the take-out inducing device 312 may increase the magnitude of the power transmitted from the motor or the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the pressure pump. When the take-out induction device 312 increases the size of the power transmitted from the motor or the pneumatic or hydraulic pressure transmitted from the pressure pump to incline the cassette 100 at a predetermined angle, the substrate loaded in the cassette 100 is gravity It is carried out of the cassette 100 through the substrate transfer plate 316. That is, according to embodiments of the present invention, the substrate loaded inside the cassette 100 can be easily taken out to the outside by tilting the cassette 100.

한편, 상술한 바와 같이, 카세트(100)가 소정 각도로 기울어지더라도, 카세트(100)에 적재된 기판은 흡착 구멍(104)에 흡착되어 카세트(100) 외부로 반출되지 않을 수 있다. 구체적으로, 카세트(100) 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부가 제어부에 의해 선택적으로 온/오프될 수 있다. 밸브부가 오프된 커플러(106)와 연결되는 공기 배관(102)은 내부와 외부의 압력 차이가 생기지 않기 때문에, 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판은 더 이상 흡착 구멍(104)에 흡착되지 않는다. 따라서, 상기 공기 배관(102)의 상측에 적재되는 기판은 카세트(100)가 소정 각도로 기울어짐에 따라 카세트(100) 외부로 반출된다.
On the other hand, as described above, even if the cassette 100 is inclined at a predetermined angle, the substrate loaded on the cassette 100 may not be taken out of the cassette 100 by being adsorbed by the suction hole 104. Specifically, a valve part included in a specific coupler 106 among a plurality of couplers formed inside the cassette 100 may be selectively turned on / off by a control unit. Since the air pipe 102 connected to the coupler 106 with the valve portion turned off does not generate a pressure difference between the inside and the outside, the substrate loaded on the upper side of the air pipe 102 is no longer adsorbed by the suction hole 104 Does not. Therefore, the substrate loaded on the upper side of the air pipe 102 is taken out of the cassette 100 as the cassette 100 is inclined at a predetermined angle.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트(100), 기판 반입 장치(302) 및 기판 반출 장치(304)를 이용한 기판 이송 방법, 즉 카세트(100) 내부로 기판을 반입시키고, 카세트(100) 외부로 기판을 반출시키는 방법에 대해 설명하기로 한다.
Hereinafter, a substrate transfer method using a cassette 100, a substrate carrying device 302, and a substrate carrying device 304 according to an embodiment of the present invention, that is, carrying a substrate into the cassette 100, the cassette 100 ) The method of taking the substrate out will be described.

1. 카세트 내부로 기판 반입
1. Carrying the substrate inside the cassette

먼저, 첫 번째 기판이 컨베이어(314)를 통해 카세트(100) 방향으로 이송된다. 이때, 카세트(100)는 반입 유도 장치(308)에 의해 로딩 베이스(306) 밖으로 최대한 돌출되어 있다. First, the first substrate is transferred to the cassette 100 through the conveyor 314. At this time, the cassette 100 protrudes out of the loading base 306 as much as possible by the carry-in guide device 308.

컨베이어(314)를 통해 이송된 첫 번째 기판은 카세트(100) 내부의 공기 배관(102)의 상측에 적재된다. 상술한 바와 같이, 카세트(100)는 일정 간격 이격된 복수의 공기 배관(102)을 내부에 구비한다. The first substrate transferred through the conveyor 314 is loaded on the upper side of the air pipe 102 inside the cassette 100. As described above, the cassette 100 is provided with a plurality of air pipes 102 spaced apart at regular intervals therein.

첫 번째 기판이 공기 배관(102) 상에 적재된 후, 반입 유도 장치(308)는 카세트(100) 내부의 복수의 공기 배관(102) 사이의 간격만큼 카세트(100)를 로딩 베이스(306)의 하측으로 하강시킨다. 상술한 바와 같이, 반입 유도 장치(308)는 예를 들어, 외부의 모터에 의해 동력을 전달받아 카세트(100)를 상하로 이동시키거나 유압 또는 공압에 의해 카세트(100)를 상하로 이동시킬 수 있다. After the first substrate is loaded on the air pipe 102, the carry-in guide device 308 loads the cassette 100 by the gap between the plurality of air pipes 102 inside the cassette 100 of the loading base 306. It descends to the lower side. As described above, the carrying induction device 308 may move the cassette 100 up and down, for example, by receiving power by an external motor, or move the cassette 100 up and down by hydraulic or pneumatic. have.

반입 유도 장치(308)에 의해 카세트(100)가 로딩 베이스(306)에 일부 삽입된 후, 두 번째 기판이 컨베이어(314)를 통해 카세트(100) 방향으로 이송되어 카세트(100)에 적재된다. 이후 상술한 과정이 반복적으로 수행된다. 즉, 기판이 카세트(100) 내부에 적재될 때마다, 카세트(100)가 로딩 베이스(306) 하측으로 이동한다. 본 발명의 실시예들에 의하면 반입 유도 장치(308)에 의해 카세트(100)를 상하로 이동시킴으로써 기판을 손쉽게 카세트(100) 내부로 반입시킬 수 있다.
After the cassette 100 is partially inserted into the loading base 306 by the delivery guide device 308, the second substrate is transferred to the cassette 100 through the conveyor 314 and loaded in the cassette 100. Thereafter, the above-described process is repeatedly performed. That is, whenever the substrate is loaded inside the cassette 100, the cassette 100 moves under the loading base 306. According to embodiments of the present invention, the substrate 100 can be easily brought into the cassette 100 by moving the cassette 100 up and down by the carrying induction device 308.

2. 카세트 외부로 기판 반출
2. Carrying the substrate out of the cassette

상술한 바와 같이, 커플러(106)는 예를 들어, 카세트(100)가 진입단으로 로딩되었을 때, 공기 펌프 및 제어부와 연결될 수 있으며, 제어부에 의해 커플러(106)에 포함된 밸브부가 온/오프될 수 있다. 커플러(106)가 공기 펌프 및 제어부와 연결된 후, 제어부에 의해 밸브부의 전원을 온 상태로 동작시키는 경우, 공기 펌프는 공기 배관(102) 내부의 공기를 흡입하게 되며, 공기 배관(102) 내부는 일정 시간 경과 후 진공 상태가 된다. 이때, 공기 배관(102)의 상면에 적재된 기판은 공기 배관(102)의 내부와 외부와의 압력 차이에 의해 흡착 구멍(104)에 흡착된다. 즉, 제어부에 의해 밸브부의 전원이 오프 상태로 동작시키지 않는 한, 카세트(100)에 적재된 기판은 흡착 구멍(104)에 의해 흡착된 상태를 유지하게 된다. As described above, the coupler 106 may be connected to an air pump and a control unit, for example, when the cassette 100 is loaded to the entry stage, and a valve unit included in the coupler 106 is turned on / off by the control unit Can be. After the coupler 106 is connected to the air pump and the control unit, when the power of the valve unit is operated by the control unit, the air pump sucks air inside the air pipe 102, and the air pipe 102 inside After a certain period of time, it becomes a vacuum. At this time, the substrate loaded on the upper surface of the air pipe 102 is adsorbed to the suction hole 104 by a pressure difference between the inside and the outside of the air pipe 102. That is, unless the power of the valve unit is turned off by the control unit, the substrate loaded in the cassette 100 is maintained in the adsorbed state by the suction hole 104.

다음으로, 제어부에 의해 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착을 오프시킬 수 있다. 상술한 바와 같이, 제어부에 의해 카세트(100) 내부에 형성되는 복수의 커플러 중 특정 커플러(106)에 포함된 밸브부가 선택적으로 온/오프될 수 있으므로, 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착만을 선택적으로 오프시킬 수 있다. Next, the adsorption in the adsorption hole to which the substrate to be taken out is adsorbed can be turned off by the control unit. As described above, since a valve part included in a specific coupler 106 may be selectively turned on / off among a plurality of couplers formed inside the cassette 100 by the control unit, in the adsorption hole where the substrate to be taken out is adsorbed Only adsorption of can be selectively turned off.

이후, 반출 유도 장치(312)는 카세트(100)를 소정 각도로 기울인다. 반출시키고자 하는 기판은 더 이상 흡착 구멍(104)에 흡착되지 않으므로 중력에 의해 기판 이송판(316)을 따라 카세트(100) 외부로 반출된다. 반출 유도 장치(312)는 예를 들어, 외부의 모터에 의해 동력을 전달받거나 유압 또는 공압에 의해 카세트(100)를 소정 각도로 기울일 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의하면 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 카세트(104)에 흡착시킨 후, 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 반출시키고자 하는 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.
Thereafter, the carrying out induction device 312 inclines the cassette 100 at a predetermined angle. Since the substrate to be taken out is no longer adsorbed by the adsorption hole 104, it is taken out of the cassette 100 along the substrate transfer plate 316 by gravity. The take-out induction device 312 may receive power by an external motor, or tilt the cassette 100 at a predetermined angle by hydraulic or pneumatic, for example. That is, according to embodiments of the present invention, after the substrates except for the substrate to be carried out are adsorbed to the cassette 104, the substrate to be taken out can be easily taken out by tilting the cassette at an angle.

이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 전술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
The present invention has been described in detail through exemplary embodiments above, but those skilled in the art to which the present invention pertains are capable of various modifications within the limits of the embodiments described above without departing from the scope of the present invention. Will understand. Therefore, the scope of rights of the present invention should not be limited to the described embodiments, and should be determined not only by the claims to be described later, but also by the claims and equivalents.

100 : 카세트 102 : 공기 배관
104 : 흡착 구멍 106 : 커플러
300 : 기판 이송 시스템 302 : 기판 반입 장치
304 : 기판 반출 장치 306 : 로딩 베이스
308 : 반입 유도 장치 310 : 언로딩 베이스
312 : 반출 유도 장치 314 : 컨베이어
316 : 기판 이송판100: cassette 102: air piping
104: adsorption hole 106: coupler
300: substrate transfer system 302: substrate transfer device
304: substrate carrying device 306: loading base
308: carrying induction device 310: unloading base
312: carrying induction device 314: conveyor
316: substrate transfer plate

Claims (23)

복수의 기판이 각각 적재되는 복수의 공기배관으로서, 상기 복수의 기판의 둘레와 대응되게 형성되어 그 내부에 상호 독립된 공기 유로가 형성되는 복수의 공기 배관;
상기 복수의 공기 배관에 각각 형성되며, 상기 복수의 공기 배관의 상측에 적재되는 기판을 흡착할 수 있는 적어도 하나의 흡착 구멍; 및
상기 복수의 공기 배관의 일측에 각각 배치되며, 상기 복수의 공기 배관의 내부와 연결되는 복수의 커플러로서, 상기 적어도 하나의 흡착 구멍에서 상기 복수의 공기 배관마다 기판을 선택적으로 흡착할 수 있도록, 상기 복수의 공기배관의 내부에 존재하는 공기를 흡입하도록 구성되는 복수의 커플러;를 포함하는 카세트.
A plurality of air pipes on which a plurality of substrates are respectively loaded, a plurality of air pipes formed to correspond to the circumference of the plurality of substrates and having independent air flow paths therein;
At least one adsorption hole formed on each of the plurality of air pipes and capable of adsorbing a substrate mounted on an upper side of the plurality of air pipes; And
As a plurality of couplers disposed on one side of the plurality of air pipes and connected to the interior of the plurality of air pipes, the substrate can be selectively adsorbed for each of the plurality of air pipes in the at least one suction hole. Cassette comprising; a plurality of couplers configured to suck the air present in the interior of the plurality of air pipes.
제1항에 있어서,
상기 복수의 커플러는, 상기 흡착 구멍에서의 상기 흡착을 온/오프할 수 있는 밸브부를 포함하고, 상기 밸브부의 온/오프에 따라 상기 흡착 구멍에서의 상기 흡착이 온/오프되는, 카세트.
According to claim 1,
The plurality of couplers include a valve portion capable of turning on / off the adsorption at the adsorption hole, and the adsorption at the adsorption hole is turned on / off according to the on / off of the valve portion.
제2항에 있어서,
제어부에 의해 상기 카세트 내부에 형성되는 상기 복수의 커플러 중 특정 커플러에 포함된 밸브부가 선택적으로 온/오프되는, 카세트.
According to claim 2,
Among the plurality of couplers formed inside the cassette by the control unit, a valve part included in a specific coupler is selectively turned on / off, a cassette.
제1항의 카세트를 이용한 기판 이송 시스템으로서,
상기 기판 이송 시스템은,
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 기판 반입 장치; 및
상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 카세트에 적재된 기판 중 적어도 하나의 기판을 외부로 반출하는 기판 반출 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
A substrate transfer system using the cassette of claim 1,
The substrate transfer system,
A substrate carrying device that carries a substrate transferred from the outside by moving a cassette on which a plurality of substrates can be loaded up and down; And
And a substrate transporting device that transports at least one of the substrates loaded on the cassette to the outside by tilting the cassette at a predetermined angle.
제4항에 있어서,
상기 기판 반입 장치는,
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트가 삽입될 수 있는 로딩 베이스; 및
상기 로딩 베이스 내부에 배치되며, 상기 카세트의 하면을 지지함과 동시에 상기 카세트를 상하로 이동시킬 수 있는 반입 유도 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
According to claim 4,
The substrate carrying device,
A loading base into which a cassette into which a plurality of substrates can be loaded can be inserted; And
It is disposed inside the loading base, while supporting the lower surface of the cassette and at the same time including a carry-induction device capable of moving the cassette up and down, the substrate transfer system.
제5항에 있어서,
상기 반입 유도 장치는,
압력 펌프와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 시스템.
The method of claim 5,
The carrying induction device,
A substrate transfer system connected to a pressure pump and moving the cassette up and down by pneumatic or hydraulic pressure delivered by the pressure pump.
제5항에 있어서,
상기 반입 유도 장치는,
모터와 연결되며, 상기 모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 시스템.
The method of claim 5,
The carrying induction device,
A substrate transfer system that is connected to a motor and moves the cassette up and down by power transmitted by the motor.
제4항에 있어서,
상기 기판 반출 장치는,
복수의 기판이 적재될 수 있는 카세트를 지지하는 언로딩 베이스; 및
상기 언로딩 베이스 내부의 일측에 배치되며, 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는 반출 유도 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
According to claim 4,
The substrate carrying device,
An unloading base supporting a cassette on which a plurality of substrates can be loaded; And
It is disposed on one side of the inside of the unloading base, and includes a transfer guide device for tilting the cassette at a predetermined angle, the substrate transfer system.
제8항에 있어서,
상기 반출 유도 장치는,
압력 펌프와 연결되며, 상기 압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 시스템.
The method of claim 8,
The export guide device,
A substrate transfer system connected to a pressure pump and tilting the cassette at a predetermined angle by pneumatic or hydraulic pressure delivered by the pressure pump.
제8항에 있어서,
상기 반출 유도 장치는,
모터와 연결되며, 상기 모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 시스템.
The method of claim 8,
The export guide device,
A substrate transfer system connected to a motor and tilting the cassette at a predetermined angle by power transmitted by the motor.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 4 항의 기판 이송 시스템을 이용한 기판 이송 방법으로서,
복수의 기판이 적재될 수 있는 상기 카세트를 상하로 이동시킴으로써 외부로부터 이송되는 기판을 반입하는 단계;
상기 카세트에 반입된 복수의 기판 중 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 카세트 내부에 형성되는 상기 흡착 구멍에 흡착시키는 단계; 및
상기 카세트를 소정 각도로 기울임으로써 상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계를 포함하는, 기판 이송 방법.
A substrate transfer method using the substrate transfer system of claim 4,
Bringing the substrate transferred from the outside by moving the cassette up and down where a plurality of substrates can be loaded;
Adsorbing the remaining substrates of the plurality of substrates carried in the cassette, excluding the ones to be carried out, into the adsorption holes formed inside the cassettes; And
And carrying out the substrate to be carried out by tilting the cassette at a predetermined angle.
제17항에 있어서,
상기 이송되는 기판을 반입하는 단계는,
압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 방법.
The method of claim 17,
The step of bringing in the transferred substrate,
A method for transporting a substrate by moving the cassette up and down by pneumatic or hydraulic pressure delivered by a pressure pump.
제17항에 있어서,
상기 이송되는 기판을 반입하는 단계는,
모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 상하로 이동시키는, 기판 이송 방법.
The method of claim 17,
The step of bringing in the transferred substrate,
The substrate transfer method of moving the cassette up and down by the power transmitted by the motor.
제17항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 흡착 구멍에 흡착시키는 단계는,
상기 카세트에 반입된 복수의 기판이 상기 카세트 내부에 형성되는 상기 복수의 공기 배관의 상측에 각각 적재되는 단계;
공기 펌프에서 상기 복수의 공기 배관 각각의 내부에 존재하는 공기를 흡입함으로써 상기 복수의 공기 배관 각각에 형성된 흡착 구멍에 상기 복수의 기판이 흡착되는 단계; 및
상기 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착을 오프시키는 단계를 포함하는, 기판 이송 방법.
The method of claim 17,
The step of adsorbing the remaining substrates except for the substrate to be carried out to the adsorption hole,
A step in which a plurality of substrates carried into the cassette are respectively loaded above the plurality of air pipes formed in the cassette;
Adsorbing the air present in each of the plurality of air pipes in an air pump to adsorb the plurality of substrates to suction holes formed in each of the plurality of air pipes; And
And turning off adsorption in the adsorption hole where the substrate to be carried out is adsorbed.
제20항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍에서의 흡착을 오프시키는 단계는,
상기 복수의 공기 배관 중 상기 반출시키고자 하는 기판이 흡착된 흡착 구멍과 연결되는 공기 배관의 일측에 배치되는 커플러의 밸브부를 오프시키는, 기판 이송 방법.
The method of claim 20,
The step of turning off the adsorption in the adsorption hole in which the substrate to be carried out is adsorbed,
A substrate transfer method of turning off a valve portion of a coupler disposed on one side of an air pipe connected to an adsorption hole to which the substrate to be taken out of the plurality of air pipes is adsorbed.
제17항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계는,
압력 펌프에 의해 전달되는 공압 또는 유압에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 방법.
The method of claim 17,
The step of taking out the substrate to be carried out to the outside,
A method of transferring a substrate, wherein the cassette is tilted at a predetermined angle by pneumatic or hydraulic pressure delivered by a pressure pump.
제17항에 있어서,
상기 반출시키고자 하는 기판을 외부로 반출하는 단계는,
모터에 의해 전달되는 동력에 의해 상기 카세트를 소정 각도로 기울이는, 기판 이송 방법.
The method of claim 17,
The step of taking out the substrate to be carried out to the outside,
A method for transferring a substrate, wherein the cassette is tilted at a predetermined angle by power transmitted by a motor.
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