JP2010182965A

JP2010182965A - Cassette

Info

Publication number: JP2010182965A
Application number: JP2009026607A
Authority: JP
Inventors: Akio Matsuyama; 章男松山
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2009-02-06
Filing date: 2009-02-06
Publication date: 2010-08-19

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cassette structure that can simply close and open the bottom surface. <P>SOLUTION: The cassette 100 is used for storing substrates 40. The cassette includes a cassette body 10 in which the substrates 40 are internally arranged, a cassette opening 12 formed at the side face of the cassette body 10, a bottom-surface opening 14 formed at the bottom surface 15 of the cassette body 10, and a bottom plate 20 that closes the bottom-surface opening 14. The bottom plate 20 and the cassette body 10 are separable from each other. The cassette body 10 is arranged on a stand 30 having a recess 32 below the bottom-surface opening 14. The recess 32 stores the bottom plate 20 therein when the cassette body 10 is arranged on the stand 30. A bottom-plate base 34 is formed at a part of the recess 32. The cassette 100 has such a configuration. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板を収納するカセットに関し、特に、フラットパネルディスプレイ（例えば、液晶パネル）の製造方法に用いる薄型の基板（例えば、ガラス基板）を収納するカセットに関する。 The present invention relates to a cassette for storing a substrate, and more particularly to a cassette for storing a thin substrate (for example, a glass substrate) used in a method for manufacturing a flat panel display (for example, a liquid crystal panel).

液晶表示装置の構成部品である液晶パネルは、一対のガラス基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。液晶パネルの大型化・量産化に伴って、液晶パネル用のガラス基板は年々大型化している。このような次世代の大型液晶ガラス基板を搬送する基板搬送システムでは、液晶ガラス基板を多段収納する収納カセットが用いられる（例えば、特許文献１〜３など）。 A liquid crystal panel, which is a component of a liquid crystal display device, has a structure in which a pair of glass substrates are opposed to each other with a predetermined gap secured. With the increase in size and mass production of liquid crystal panels, glass substrates for liquid crystal panels are becoming larger year by year. In such a next-generation large-sized liquid crystal glass substrate, a substrate transport system that transports liquid crystal glass substrates in multiple stages is used (for example, Patent Documents 1 to 3).

ガラス基板を収納した収納カセットは、クリーンルーム内の製造工程において液晶パネル製造装置の載置部から別の製造装置の載置部へガラス基板を搬送したり保管したりするのに用いられる。また、収納カセットは、液晶パネル製造装置の載置部とカセット保管庫の保管部との間でガラス基板を搬送・保管したりすることにも用いられる。 The storage cassette storing the glass substrate is used for transporting and storing the glass substrate from the mounting portion of the liquid crystal panel manufacturing apparatus to the mounting portion of another manufacturing apparatus in the manufacturing process in the clean room. The storage cassette is also used for transporting and storing a glass substrate between a placement unit of a liquid crystal panel manufacturing apparatus and a storage unit of a cassette storage.

クリーンルーム内の雰囲気は十分な空気清浄度が確保されているが、収納カセットの搬送・保管時に作業者や床面などから飛散したゴミなどの異物が基板表面に付着したり、基板処理時の有機ガスなどのミストがクリーンルーム内を浮遊して基板表面に付着することがある。そして、異物やミストが付着したまま、基板をプロセス処理すると液晶パネルの品質が低下するおそれがある。そのため、ガラス基板は、収納カセットの中で遮蔽された状態にして、異物などが付着しないよう搬送・保管を行うようにされている。 The atmosphere in the clean room has sufficient air cleanliness, but foreign substances such as dust scattered from the operator and floor surface when transporting and storing the storage cassette adhere to the substrate surface, and organics during substrate processing A mist such as gas may float in the clean room and adhere to the substrate surface. If the substrate is processed with foreign matter or mist attached, the quality of the liquid crystal panel may be deteriorated. For this reason, the glass substrate is transported and stored in a state where it is shielded in the storage cassette so that no foreign matter adheres.

特開平９−１１５９９７号公報JP-A-9-115997

特開２００５−１４２４８０号公報JP 2005-142480 A

特開２００５−１４５６２８号公報JP 2005-145628 A

近年のガラス基板の大型化に伴って、棚片の張り出し形式の収納カセットでは、ガラス基板を支持する棚片の面積が小さいために、大型のガラス基板を収納する場合には、その重量によってガラス基板に歪みが発生する場合がある。したがって、そのような形式の収納カセットでは、大型のガラス基板に使用することができない。 Along with the recent increase in the size of glass substrates, the shelf-type storage cassette has a small area for supporting the glass substrate. The substrate may be distorted. Therefore, such a storage cassette cannot be used for a large glass substrate.

そこで、最近では、大型のガラス基板を収納・搬送する場合、そのような歪みを抑制する上で、収納カセットの内壁に前後並列してワイヤーを多段的に配置したワイヤーカセットが用いられることがある。 Therefore, recently, when storing and transporting a large glass substrate, in order to suppress such distortion, a wire cassette in which wires are arranged in multiple stages in parallel with the inner wall of the storage cassette may be used. .

しかしながら、ワイヤーカセットを用いてガラス基板を収納・搬送する場合、ワイヤーカセットの下面には、ローラーコンベアを挿入するための開口部があり、それゆえに、密閉性が確保されていない。ガラス基板を収容したワイヤーカセットを常にクリーンルームに置いておく場合には、ワイヤーカセットの下面が密閉していない点の問題は少ないが、ガラス基板を搬送する点でいえば、常時、クリーンルーム中だけでワイヤーカセットを用いることができない場合もある。そのような状況の中、ワイヤーカセットの底面の開口を簡単に密閉できる構造は技術的に大きな価値を提供することができる。 However, when a glass substrate is stored and transported using a wire cassette, there is an opening for inserting a roller conveyor on the lower surface of the wire cassette, and thus sealing is not ensured. When a wire cassette containing a glass substrate is always placed in a clean room, there is little problem that the bottom surface of the wire cassette is not sealed, but in terms of transporting the glass substrate, it is always only in the clean room. In some cases, a wire cassette cannot be used. Under such circumstances, a structure that can easily seal the opening at the bottom of the wire cassette can provide great technical value.

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、底面を簡便に密閉及び開放できるカセット構造を提供することにある。 This invention is made | formed in view of this point, The main objective is to provide the cassette structure which can seal and open | release a bottom face simply.

本発明に係るカセットは、基板を収納するカセットであり、内部に基板が配置されるカセット本体部と、前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、前記カセット本体部の底面に配置されて、前記底面開口部を塞ぐ底板とを備え、前記底板と前記カセット本体部とは互いに分離可能であり、前記カセット本体部は、前記底面開口部の下方に位置する置台の上に配置され、前記置台は、前記底面開口部の下方に凹部を有しており、前記凹部は、前記カセット本体部が置台の上に配置された際に前記底板を収納可能であり、且つ、前記凹部の一部には、前記底板を支える底板台が形成されている。
ある好適な実施形態では、前記凹部において、前記底板台の下方には、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入される空間が設けられている。
ある好適な実施形態において、前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、前記基板は、ガラス基板であり、前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させるローラーコンベアが挿入される。 The cassette according to the present invention is a cassette for storing a substrate, a cassette main body portion in which the substrate is disposed, a cassette opening formed on a side surface of the cassette main body portion, in which the substrate is taken in and out, and the cassette A bottom opening formed on the bottom surface of the main body, and a bottom plate disposed on the bottom surface of the cassette main body to close the bottom opening, the bottom plate and the cassette main body being separable from each other; The cassette main body is disposed on a table positioned below the bottom opening, the table has a recess below the bottom opening, and the cassette main body is mounted on the cassette. The bottom plate can be stored when placed on the bottom, and a bottom plate base for supporting the bottom plate is formed in a part of the recess.
In a preferred embodiment, in the concave portion, a space into which an elevating arm for elevating and lowering the cassette main body is inserted is provided below the bottom plate base.
In a preferred embodiment, a plurality of wires are arranged inside the cassette body, the substrate is a glass substrate, the glass substrate is supported by the wires, and is formed in the bottom opening. A roller conveyor for moving the glass substrate is inserted.

本発明に係るカセットによれば、カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、底面開口部を塞ぐ底板とを備え、カセット本体部が配置される置台の凹部は底板を収納可能であり、凹部の一部には底板台が形成されている。それゆえ、カセット本体部を置台の上に載せることによって、カセット本体部の底面開口部を簡便に密閉および開放できるカセット構造を実現することができる。 The cassette according to the present invention includes a bottom opening formed on the bottom surface of the cassette body and a bottom plate that closes the bottom opening, and the recessed portion of the table on which the cassette body is disposed can store the bottom plate. A bottom plate base is formed in a part of the recess. Therefore, it is possible to realize a cassette structure that can easily seal and open the bottom opening of the cassette body by placing the cassette body on the mounting table.

本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の斜視図である。It is a perspective view of the wire cassette 100 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の側面構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the side structure of the wire cassette 100 which concerns on embodiment of this invention. ワイヤーカセット１００の底面構成を示す図である。It is a figure which shows the bottom face structure of the wire cassette. 底面周縁部位１５ａと底板２０の周辺を拡大した図である。It is the figure which expanded the periphery of the bottom face peripheral part 15a and the baseplate 20. FIG. ワイヤーカセット１００の搬送ステップを説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the conveyance step of the wire cassette. ワイヤーカセット１００を運ぶ搬送ビークル７０の模式図である。It is a schematic diagram of the conveyance vehicle 70 which carries the wire cassette 100. FIG. ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための工程断面図である。It is process sectional drawing for demonstrating the step which carries out the board | substrate 40 from the wire cassette. ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための工程断面図である。It is process sectional drawing for demonstrating the step which carries out the board | substrate 40 from the wire cassette. 比較例のワイヤーカセット１１００の断面図である。It is sectional drawing of the wire cassette 1100 of a comparative example. 比較例のワイヤーカセット１２００の断面図である。It is sectional drawing of the wire cassette 1200 of a comparative example.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, components having substantially the same function are denoted by the same reference numerals for the sake of brevity. In addition, this invention is not limited to the following embodiment.

まず、図１から図４を参照しながら、本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００について説明する。 First, the wire cassette 100 which concerns on embodiment of this invention is demonstrated, referring FIGS. 1-4.

図１は、本実施形態のワイヤーカセット１００の全体構成を模式的に示す斜視図である。本実施形態のワイヤーカセット１００は、ワイヤーによって基板４０を支持することによって、基板４０を収納することができる収納カセットである。なお、図１においては、ワイヤーは図示していない。また、矢印５０は重力方向（鉛直方向）を表している。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing the overall configuration of the wire cassette 100 of the present embodiment. The wire cassette 100 of the present embodiment is a storage cassette that can store the substrate 40 by supporting the substrate 40 with a wire. In FIG. 1, the wire is not shown. An arrow 50 indicates the direction of gravity (vertical direction).

本実施形態の基板４０は、例えば、液晶パネル用のガラス基板である。このガラス基板４０は、液晶パネルの寸法に切り出す前のマザーガラスであってもよいし、切り出した後の液晶パネルのサイズのガラスであってもよい。さらに、ガラス基板４０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が作製されるアレイ基板（またはその作製途中のもの）であってもよいし、カラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板（またはその作製途中のもの）であってもよい。 The board | substrate 40 of this embodiment is a glass substrate for liquid crystal panels, for example. The glass substrate 40 may be a mother glass before being cut out to the dimensions of the liquid crystal panel, or may be a glass having the size of the liquid crystal panel after being cut out. Further, the glass substrate 40 may be an array substrate on which a thin film transistor (TFT) is manufactured (or a product in the middle of manufacturing), or a CF substrate on which a color filter (CF) is formed (or a device in the middle of manufacturing thereof). ).

また、基板４０は、ガラス基板の他、ウェハのような他の薄板であっても構わない。加えて、液晶パネル用の基板４０に限らず、ＰＤＰ、有機ＥＬパネル、その他フラットパネルディスプレイを製作する上での薄型の基板（ガラスに限らず、シート状のものでワイヤーカセットに保管され得るもの）であってもよい。 The substrate 40 may be another thin plate such as a wafer in addition to a glass substrate. In addition, it is not limited to the liquid crystal panel substrate 40, but a thin substrate for manufacturing a PDP, an organic EL panel, and other flat panel displays (not limited to glass, but in a sheet form that can be stored in a wire cassette ).

本実施形態のワイヤーカセット１００は、カセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とから構成されている。カセット本体部１０の内部には、基板４０を配置することができる。また、カセット開口部１２からは、基板４０を出し入れすることができる。なお、カセット開口部１２には、その開口を塞ぐパネル（不図示）を配置することができる。 The wire cassette 100 of the present embodiment includes a cassette body 10, a cassette opening 12 formed on the side surface of the cassette body 10, a bottom opening 14 formed on the bottom surface of the cassette body 10, and a bottom opening. 14 and a bottom plate 20 that closes 14. A substrate 40 can be disposed inside the cassette body 10. Further, the substrate 40 can be taken in and out from the cassette opening 12. Note that a panel (not shown) for closing the opening can be disposed in the cassette opening 12.

底板２０は、カセット本体部１０の底面１５に配置される。また、底板２０は、カセット本体部１０とは分離可能な状態である。具体的には、底板２０とカセット本体部１０とは、接着や溶接などの手段によって一体化されておらず、底板２０の底に置台または地面が存在している場合、あるいは、底板２０の底が、カセット本体部１０の搬送用のアームなどによって支えられている場合に、カセット本体部１０の底面１５に底板２０が位置付けられる。 The bottom plate 20 is disposed on the bottom surface 15 of the cassette body 10. Further, the bottom plate 20 is in a state where it can be separated from the cassette body 10. Specifically, the bottom plate 20 and the cassette body 10 are not integrated by means such as adhesion or welding, and when a table or the ground exists on the bottom of the bottom plate 20, or the bottom of the bottom plate 20 However, the bottom plate 20 is positioned on the bottom surface 15 of the cassette body 10 when it is supported by a transfer arm or the like of the cassette body 10.

図２は、本実施形態のワイヤーカセット１００の側面構成を模式的に示す断面図である。図２に示した例では、カセット本体部１０の内部には、基板４０を支持するワイヤー６０が配列されている。具体的には、一枚の基板４０を複数本のワイヤー６０で支持し、その複数本のワイヤー６０が多段に配列されている。ワイヤー６０が多段に配列されていることによって、カセット本体部１０の内部にガラス基板４０を多段に収納することができる。 FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a side configuration of the wire cassette 100 of the present embodiment. In the example shown in FIG. 2, wires 60 that support the substrate 40 are arranged inside the cassette body 10. Specifically, one substrate 40 is supported by a plurality of wires 60, and the plurality of wires 60 are arranged in multiple stages. By arranging the wires 60 in multiple stages, the glass substrates 40 can be accommodated in multiple stages inside the cassette body 10.

この例では、基板４０を４段収納しているが、基板４０の収納の枚数は、ワイヤー６０の段数に対応し、その段数は適宜好適なものを設定することができる。また、ワイヤー６０は、カセット本体部１０の内部の対向する壁面（内壁）の間に張られており、その張力で基板４０を支持している。 In this example, four stages of substrates 40 are accommodated, but the number of substrates 40 accommodated corresponds to the number of stages of the wires 60, and the number of stages can be set as appropriate. The wire 60 is stretched between opposing wall surfaces (inner walls) inside the cassette body 10 and supports the substrate 40 with the tension.

図３は、ワイヤーカセット１００を底面側から見た模式図である。ワイヤーカセット１００のカセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４は、図３に示すように底板２０によって塞がれ得る。また、底板２０は、昇降アーム３５によって支えられる。なお、底面開口部１４には、底板２０が外された時には、基板４０を出し入れするローラーコンベア（不図示）を挿入することができる。ローラーコンベアは、ワイヤー６０の間から基板４０に接触して、そして、基板４０をカセット開口部１２から払い出す機能を有している。 FIG. 3 is a schematic view of the wire cassette 100 as viewed from the bottom side. The bottom opening 14 formed on the bottom surface of the cassette body 10 of the wire cassette 100 can be blocked by the bottom plate 20 as shown in FIG. Further, the bottom plate 20 is supported by the lifting arm 35. In addition, when the bottom plate 20 is removed, a roller conveyor (not shown) for taking in and out the substrate 40 can be inserted into the bottom opening 14. The roller conveyor has a function of contacting the substrate 40 from between the wires 60 and discharging the substrate 40 from the cassette opening 12.

再び図２を参照する。本実施形態のカセット本体部１０は、置台３０の上に配置される。具体的には、カセット本体部の底面１５のうち底面開口部１４を除く部位（底面周縁部位）１５ａが置台３０の上面３０ａに接触する。置台３０は、カセット本体部１０の底面開口部１４の下方に凹部３２を有している。 Refer to FIG. 2 again. The cassette body 10 of this embodiment is disposed on the mounting table 30. Specifically, a portion (bottom surface peripheral portion) 15 a of the bottom surface 15 of the cassette main body excluding the bottom surface opening 14 contacts the top surface 30 a of the mounting table 30. The mounting table 30 has a recess 32 below the bottom opening 14 of the cassette body 10.

本実施形態では、凹部３２の開口幅Ｗ１が底板２０の幅Ｗ２よりも大きくなるように、凹部３２は構成されている。したがって、底板２０（図２中の「２０Ａ」）を介してカセット本体部１０を支えていた昇降アーム３５（図２中の「３５Ａ」）が、矢印５１のように下方に移動すると、昇降アーム３５の上に乗っていた底板２０もあわせて下方に移動する。すなわち、底板２０は、凹部３２の開口内を下降していく。 In the present embodiment, the concave portion 32 is configured such that the opening width W1 of the concave portion 32 is larger than the width W2 of the bottom plate 20. Therefore, when the lifting arm 35 ("35A" in FIG. 2) supporting the cassette body 10 via the bottom plate 20 ("20A" in FIG. 2) moves downward as indicated by the arrow 51, the lifting arm The bottom plate 20 on the 35 also moves downward. That is, the bottom plate 20 descends in the opening of the recess 32.

置台３０の凹部３２の一部には、下降してくる底板２０を支える底板台３４が形成されている。この例の底板台３４は、凹部３２の壁面から延びた板状部材である。また、図２に示した例の底板台３４ａは、凹部３２の壁面から水平方向に延び、底板２０の端部を支持する板状部材である。本実施形態の構成においては、底板台３４ａ同士の間隔Ｗ３よりも、底板２０の幅Ｗ２の方が大きくされている。それゆえ、昇降アーム３５によって底板２０を下降させるだけで、底板台３４（３４ａ）にて底板２０（図２中の２０Ｂ）を支持することができる。すなわち、昇降アーム３５を底板台３４の上面よりも下方に移動させると（図中の「昇降アーム３５Ｂ」参照）、底板２０（２０Ｂ）は、底板台３４にて受けとめられ、その結果、底板２０は凹部３２内に収納される。 A part of the recess 32 of the mounting table 30 is formed with a bottom plate base 34 that supports the bottom plate 20 that descends. The bottom plate base 34 in this example is a plate-like member extending from the wall surface of the recess 32. 2 is a plate-like member that extends in the horizontal direction from the wall surface of the recess 32 and supports the end portion of the bottom plate 20. In the example shown in FIG. In the configuration of the present embodiment, the width W2 of the bottom plate 20 is made larger than the interval W3 between the bottom plate bases 34a. Therefore, the bottom plate 20 (20B in FIG. 2) can be supported by the bottom plate base 34 (34a) simply by lowering the bottom plate 20 by the lifting arm 35. That is, when the lifting arm 35 is moved downward from the upper surface of the bottom plate base 34 (see “lifting arm 35B” in the figure), the bottom plate 20 (20B) is received by the bottom plate base 34. As a result, the bottom plate 20 Is housed in the recess 32.

本実施形態では、底板２０の端部を支える底板台３４ａの間に、底板２０の中央部を支持する底板台３４ｂも配置している。昇降アーム３５が底板２０から離れた時に、底板２０が大きく撓む場合には、底板２０の中央部を支える底板台３４ｂによって、底板２０の撓みを抑制することができる。 In the present embodiment, a bottom plate base 34 b that supports the central portion of the bottom plate 20 is also disposed between the bottom plate bases 34 a that support the end portions of the bottom plate 20. When the bottom plate 20 is greatly bent when the lifting arm 35 is separated from the bottom plate 20, the bottom plate 20 can be prevented from being bent by the bottom plate base 34 b that supports the central portion of the bottom plate 20.

本実施形態の昇降アーム３５は、凹部３２内を昇降する時は、底板台３４ａの間隔Ｗ３内の領域で移動する。図２に示した構成では、壁面から延びた底板台３４ａに加えて、底板台３４ｂも設けられているので、昇降アーム３５は、底板台３４ａと底板台３４ｂの間の領域を昇降移動する。 The lifting arm 35 of the present embodiment moves in a region within the interval W3 of the bottom plate base 34a when moving up and down in the recess 32. In the configuration shown in FIG. 2, since the bottom plate base 34b is also provided in addition to the bottom plate base 34a extending from the wall surface, the lifting arm 35 moves up and down in the region between the bottom plate base 34a and the bottom plate base 34b.

また、カセット本体部１０の底面１５の幅Ｗ４は、凹部３２の開口幅Ｗ１よりも大きくされている。したがって、カセット本体部１０の底面１５を置台３０の上に載せたときは、カセット本体部１０の底面１５は、置台３０の上面３０ａによって支えられるので、カセット本体部１０自体が凹部３２の開口に入ることがない。 Further, the width W4 of the bottom surface 15 of the cassette body 10 is larger than the opening width W1 of the recess 32. Therefore, when the bottom surface 15 of the cassette body 10 is placed on the mounting table 30, the bottom surface 15 of the cassette body 10 is supported by the upper surface 30 a of the mounting table 30, so that the cassette body 10 itself is in the opening of the recess 32. Never enter.

さらに、カセット本体部１０の底面開口部１４の開口幅Ｗ５よりも、底板２０の幅Ｗ２は大きくされている。したがって、カセット本体部１０の底面１５に底板２０を接触させることにより（図２中の「２０Ａ」参照）、カセット本体部１０の底面開口部１４を底板２０によって簡便に塞ぐことができる。 Furthermore, the width W2 of the bottom plate 20 is made larger than the opening width W5 of the bottom opening 14 of the cassette body 10. Therefore, by contacting the bottom plate 20 with the bottom surface 15 of the cassette body 10 (see “20A” in FIG. 2), the bottom opening 14 of the cassette body 10 can be easily closed by the bottom plate 20.

加えて、カセット本体部１０の底面開口部１４の開口幅Ｗ５よりも、凹部３２の開口幅Ｗ１を大きくする構成を採用することができる。このような構成にした場合、ワイヤーカセット１００のカセット本体部１０の設計に変更を行わずに（あるいは、大幅な変更を行わずに）、ワイヤーカセット１００を使用することができる。すなわち、置台３０の凹部３２内において、基板４０を出し入れするローラーコンベア（不図示）を底面開口部１４から挿入する際に、凹部３２の壁面によって、底面開口部１４の開放領域が遮られることがない。したがって、本実施形態の構成によれば、置台３０の凹部３２内でも、既存のローラーコンベアの動作を同様に実行することが可能となる。 In addition, a configuration in which the opening width W1 of the recess 32 is larger than the opening width W5 of the bottom opening 14 of the cassette body 10 can be employed. In such a configuration, the wire cassette 100 can be used without changing the design of the cassette body 10 of the wire cassette 100 (or without making a significant change). That is, when a roller conveyor (not shown) for taking in and out the substrate 40 is inserted from the bottom opening 14 in the recess 32 of the mounting table 30, the open area of the bottom opening 14 may be blocked by the wall surface of the recess 32. Absent. Therefore, according to the configuration of the present embodiment, the operation of the existing roller conveyor can be similarly executed even in the recess 32 of the mounting table 30.

図４は、カセット本体部１０の底面周縁部位１５ａと底板２０の周辺を拡大した断面図である。底面周縁部位１５ａは、カセット本体部１０の底面１５のうちの底面開口部１４を除く部位であり、底面１５の周縁領域に位置している。図４に示すように、昇降アーム３５によってカセット本体部１０が置台３０の上面３０ａに配置された瞬間は、底面周縁部位１５ａは、底板２０に接した状態にて、置台３０の上面３０ａに接する。 FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the bottom surface peripheral portion 15a of the cassette main body 10 and the periphery of the bottom plate 20. The bottom surface peripheral part 15 a is a part of the bottom surface 15 of the cassette body 10 excluding the bottom surface opening 14, and is located in the peripheral region of the bottom surface 15. As shown in FIG. 4, at the moment when the cassette body 10 is disposed on the upper surface 30 a of the mounting table 30 by the elevating arm 35, the bottom peripheral edge portion 15 a contacts the upper surface 30 a of the mounting table 30 while being in contact with the bottom plate 20. .

本実施形態の構成の例示的な寸法を示すと次の通りである。ここでは、液晶パネル用のガラス基板４０の寸法が３ｍ×３ｍ程度の場合を想定したときものを例として示しているが、各寸法は条件にあわせて適宜改変可能である。カセット本体部１０の全幅Ｗ６は、３５００ｍｍである。基板４０の幅Ｗ７は、３０００ｍｍである。カセット本体部１０の内面と基板４０の側面との間の間隔（マージン）Ｌ１は、１００ｍｍである。また、底面周縁部位１５ａの寸法Ｌ２は２８０ｍｍである。カセット本体部１０の外面を基準にして底板２０の側面までの距離Ｌ３は２３０ｍｍである。また、底板２０の厚さＴ１は、例えば、２ｍｍ〜３ｍｍ程度である。カセット本体部１０の底面１５および底面周縁部位１５ａの厚さＴ２は、８０ｍｍである。 Exemplary dimensions of the configuration of the present embodiment are as follows. Here, the case where the dimension of the glass substrate 40 for a liquid crystal panel is assumed to be about 3 m × 3 m is shown as an example, but each dimension can be appropriately modified according to the conditions. The total width W6 of the cassette body 10 is 3500 mm. The width W7 of the substrate 40 is 3000 mm. An interval (margin) L1 between the inner surface of the cassette body 10 and the side surface of the substrate 40 is 100 mm. Further, the dimension L2 of the bottom peripheral edge portion 15a is 280 mm. A distance L3 from the outer surface of the cassette body 10 to the side surface of the bottom plate 20 is 230 mm. Further, the thickness T1 of the bottom plate 20 is, for example, about 2 mm to 3 mm. A thickness T2 of the bottom surface 15 and the bottom peripheral edge portion 15a of the cassette body 10 is 80 mm.

なお、図２に示した凹部３２の開口幅Ｗ１は、３１４０ｍｍである。底板２０の幅Ｗ２は、３０４０ｍｍである。また、底板台３４ａの間隔Ｗ３は、２８００ｍである。加えて、凹部３２の開口深さＨ１は、６００ｍｍである。また、置台３０の上面３０ａから底板台３４の上面までの深さＨ２は１００ｍｍである。そして、底板台３４の上面から凹部３２の底面までの深さＨ３は５００ｍｍである。 In addition, the opening width W1 of the recessed part 32 shown in FIG. 2 is 3140 mm. The width W2 of the bottom plate 20 is 3040 mm. The interval W3 between the bottom plate bases 34a is 2800 m. In addition, the opening depth H1 of the recess 32 is 600 mm. The depth H2 from the upper surface 30a of the mounting table 30 to the upper surface of the bottom plate base 34 is 100 mm. And the depth H3 from the upper surface of the baseplate stand 34 to the bottom face of the recessed part 32 is 500 mm.

また、本実施形態のカセット本体部１０は、箱形形状を有している。例えば、カセット本体部１０の辺の部分をフレーム構造で作製して、カセット本体部１０の面の部分をパネル構造で作製することができる。その場合、フレーム構造の部分は、金属（例えば、アルミ、鉄、ステンレスなど）から構成され、パネル構造の部分は、樹脂板、金属板（例えば、アルミ板）などから構成され得る。 Further, the cassette body 10 of the present embodiment has a box shape. For example, the side part of the cassette body 10 can be made with a frame structure, and the surface part of the cassette body 10 can be made with a panel structure. In that case, the frame structure portion may be made of metal (for example, aluminum, iron, stainless steel, etc.), and the panel structure portion may be made of a resin plate, a metal plate (for example, aluminum plate), or the like.

なお、図３に示した底面構成の例では、昇降アーム３５がカセット本体部１０を支えて持つ構成となっている。つまり、底板２０は昇降アーム３５とカセット本体部１０との間に挟まれる構成となっている。したがって、この構成においては、強度は、昇降アーム３５とカセット本体部１０とによって考えればよく、昇降アーム３５は、カセット本体部１０との関係で保持位置を決定し、この例での底板２０の強度は特段考慮する必要はない。より詳細に述べると、底板２０は、カセット本体部１０と昇降アーム３５（又は置台３０）との間に挟まれる圧縮力に耐えることができる強度があれば十分である。また、その圧縮力に耐えることができる強度を持った底板２０であれば、カセット本体部１０の底面における底板２０の配置は、図３に示したものに限定されるものではなく、適宜好適なものを採用すればよい。一方で、底板２０とカセット本体部１０との引っ掛かり部位（図２中の「Ｗ２−Ｗ５」）の強度、および、底板２０の強度が十分大きければ、それらの強度によってもカセット本体部１０を支えることも可能である。その場合には、昇降アーム３５は、底板２０を挟んでカセット本体部１０の辺から辺までわたるように支える場合の他、例えば底板２０の中央付近を支えてカセット本体部１０を持ち上げることが可能な場合もある。 In the example of the bottom configuration shown in FIG. 3, the lifting arm 35 supports the cassette body 10. That is, the bottom plate 20 is configured to be sandwiched between the lifting arm 35 and the cassette body 10. Therefore, in this configuration, the strength may be considered by the lifting arm 35 and the cassette body 10, and the lifting arm 35 determines the holding position in relation to the cassette body 10, and the bottom plate 20 in this example There is no need to consider the strength. More specifically, it is sufficient for the bottom plate 20 to have a strength capable of withstanding the compressive force sandwiched between the cassette body 10 and the lifting arm 35 (or the mounting table 30). Further, if the bottom plate 20 has a strength capable of withstanding the compressive force, the arrangement of the bottom plate 20 on the bottom surface of the cassette body 10 is not limited to that shown in FIG. What is necessary is just to adopt. On the other hand, if the strength of the hooked portion ("W2-W5" in FIG. 2) between the bottom plate 20 and the cassette main body 10 and the strength of the bottom plate 20 are sufficiently large, the cassette main body 10 is supported by these strengths. It is also possible. In that case, the lifting / lowering arm 35 can lift the cassette body 10 by supporting the vicinity of the center of the bottom plate 20, for example, in addition to supporting the cassette body 10 across the bottom plate 20. In some cases.

また、図１及び図２に示した構成例では、カセット本体部１０の骨格はフレーム構造を有しており、そして、カセット本体部１０の側面（左面・右面）１１Ａおよび上面１１Ｂはパネル構造（例えば、金属板）によって覆われている。この例では、カセット開口部１２は、カセット本体部１０の前面に形成されているが、前面に加えて後面に形成してもよい。カセット本体部１０の前面と後面との両方にカセット開口部１２を形成した場合には、前後の両方から基板４０を出し入れすることが可能となる。 1 and FIG. 2, the skeleton of the cassette body 10 has a frame structure, and the side surface (left surface / right surface) 11A and the upper surface 11B of the cassette body 10 have a panel structure ( For example, it is covered with a metal plate. In this example, the cassette opening 12 is formed on the front surface of the cassette body 10, but may be formed on the rear surface in addition to the front surface. When the cassette opening 12 is formed on both the front surface and the rear surface of the cassette body 10, the substrate 40 can be taken in and out from both the front and rear.

なお、必ずしも、カセット開口部１２以外のカセット本体部１０の側面のすべてにパネルを設けなくてもよい。例えば、カセット本体部１０の側面にパネルがない形態において、底板２０が設けられている構成であっても、カセット本体部１０を載せたカセット搬送車が走行したときのエア（ダスト）の巻き上がりを抑制する効果が得られる。 Note that it is not always necessary to provide a panel on all of the side surfaces of the cassette body 10 other than the cassette opening 12. For example, even in a configuration in which the bottom plate 20 is provided in a form in which there is no panel on the side surface of the cassette body 10, air (dust) rolls up when the cassette transport vehicle carrying the cassette body 10 travels. The effect which suppresses is acquired.

カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２には、その開口を塞ぐための閉塞板を設けることができる。なお、カセット開口部１２を塞ぐことができる構成であれば、閉塞板は、種々の構成をとることができる。加えて、上述したように、閉塞板を設けない構成でも、本実施形態の底板２０を設けたことによる効果を得ることができる。 The cassette opening 12 formed on the side surface of the cassette body 10 can be provided with a closing plate for closing the opening. As long as the cassette opening 12 can be closed, the closing plate can take various configurations. In addition, as described above, even when the closing plate is not provided, the effect obtained by providing the bottom plate 20 of the present embodiment can be obtained.

次に、図５及び図６を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００の搬送ステップについて説明する。図４は、ワイヤーカセット１００の搬送ステップを説明するための平面図である。図５は、ワイヤーカセット１００を運ぶ搬送ビークル７０の模式図である。 Next, the conveyance step of the wire cassette 100 of this embodiment is demonstrated, referring FIG.5 and FIG.6. FIG. 4 is a plan view for explaining a conveyance step of the wire cassette 100. FIG. 5 is a schematic diagram of a transport vehicle 70 that carries the wire cassette 100.

まず、図５に示すように、ワイヤーカセット１００は、搬送ビークル７０の荷台に載せられて、工場内の所定位置に移動して配置される。搬送ビークル７０には車輪７２が設けられており、任意位置に移動可能である。また、搬送ビークル７０には、図６に示すように、ワイヤーカセット１００を移動させるためのアーム３５が搭載されている。このアーム３５は、ワイヤーカセット１００（又はカセット本体部１０）を乗せたまま、矢印５２に示すように上下方向に移動可能であり、昇降アームとして機能する。また、アーム３５は、ワイヤーカセット１００を乗せたまま、矢印５４に示すように水平方向にも移動可能である。 First, as shown in FIG. 5, the wire cassette 100 is placed on the loading platform of the transport vehicle 70 and moved to a predetermined position in the factory. The transport vehicle 70 is provided with wheels 72 and can be moved to an arbitrary position. Further, as shown in FIG. 6, an arm 35 for moving the wire cassette 100 is mounted on the transport vehicle 70. The arm 35 can move in the vertical direction as indicated by an arrow 52 with the wire cassette 100 (or the cassette body 10) placed thereon, and functions as a lifting arm. Further, the arm 35 can be moved in the horizontal direction as indicated by an arrow 54 while the wire cassette 100 is placed thereon.

ワイヤーカセット１００は、アーム３５の動作によって、図５に示すように搬送ビークル７０から置台３０の上に移される（矢印９１参照）。置台３０には、図２にも示したように、凹部３２が形成されており、そして、凹部３２の一部には底板台３４が設けられている。図２に示した置台３０の構成は、図５中の底板抜き取り領域８０において設置されており、この領域８０に底板台３４が設けられている。 The wire cassette 100 is moved from the transport vehicle 70 onto the mounting table 30 as shown in FIG. 5 by the operation of the arm 35 (see arrow 91). As shown in FIG. 2, a recess 32 is formed in the mounting table 30, and a bottom plate base 34 is provided in a part of the recess 32. The configuration of the table 30 shown in FIG. 2 is installed in the bottom plate extraction region 80 in FIG. 5, and the bottom plate base 34 is provided in this region 80.

底板抜き取り領域８０においては、図２にて説明した動作によって、ワイヤーカセット１００の底板２０の抜き取りが行われる。すなわち、昇降アーム３５は、底板２０の上にカセット本体部１０を乗せた状態で、底板抜き取り領域８０における置台３０の上に移動し、次いで、昇降アーム３５は矢印５１のように凹部３２の中に下降していく。すると、カセット本体部１０は置台３０の上面３０ａの上に乗ったまま、底板２０は昇降アーム３５とともに下降していく。その後、底板２０は、底板台３４の上に載置される。続いて、底板２０を乗せていない昇降アーム３５は、図２中の深さ範囲Ｈ３の領域内において、矢印５４のように水平方向に移動し、再び、搬送ビークル７０の方に収納される。 In the bottom plate extraction region 80, the bottom plate 20 of the wire cassette 100 is extracted by the operation described in FIG. That is, the elevating arm 35 moves onto the table 30 in the bottom plate extraction area 80 with the cassette body 10 placed on the bottom plate 20, and then the elevating arm 35 moves in the recess 32 as indicated by an arrow 51. To descend. Then, the bottom plate 20 moves down together with the lifting arm 35 while the cassette body 10 is on the upper surface 30 a of the mounting table 30. Thereafter, the bottom plate 20 is placed on the bottom plate base 34. Subsequently, the raising / lowering arm 35 on which the bottom plate 20 is not placed moves in the horizontal direction as indicated by an arrow 54 in the region of the depth range H3 in FIG. 2 and is accommodated in the transport vehicle 70 again.

底板２０が取り外されて、底面開口部１４が開放状態になったワイヤーカセット１００は、矢印９２に示すように、領域８０から領域８２へと移動する。この例では、置台３０の上面に、ワイヤーカセット１００を水平方向に移動可能なローラーコンベアが設けられている。領域８２は、ワイヤーカセット１００から基板４０の払い出しを実行するための作業領域である。この領域８２には、基板４０を払い出すためのローラーコンベアを備えた昇降ポートが配置されている。 The wire cassette 100 in which the bottom plate 20 is removed and the bottom opening 14 is in an open state moves from the region 80 to the region 82 as indicated by an arrow 92. In this example, a roller conveyor capable of moving the wire cassette 100 in the horizontal direction is provided on the upper surface of the mounting table 30. The area 82 is a work area for executing the discharge of the substrate 40 from the wire cassette 100. In this area 82, an elevating port provided with a roller conveyor for delivering the substrate 40 is arranged.

また、ワイヤーカセット１００を領域８２から領域８０に移動させて、先ほど説明した逆の動作を実行すると、ワイヤーカセット１００の底面開口部１４を底板２０で覆うことができる。続いて、ワイヤーカセット１００を昇降アーム３５に乗せて、搬送ビークル７０に移動させることも可能である。 Further, when the wire cassette 100 is moved from the region 82 to the region 80 and the reverse operation described above is performed, the bottom opening 14 of the wire cassette 100 can be covered with the bottom plate 20. Subsequently, the wire cassette 100 can be placed on the lifting arm 35 and moved to the transport vehicle 70.

次に、図７及び図８を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップについて説明する。 Next, the step of carrying out the substrate 40 from the wire cassette 100 of this embodiment will be described with reference to FIGS.

まず、図５に示した領域８０においてワイヤーカセット１００から底板２０を取り外し、次いで、領域８２に移動させる。この状態で、図７に示すように、底面開口部１４に基板搬出用のローラーコンベア６１を挿入する。図５に示した構成例では、カセット本体部１０を固定し、ローラーコンベア６１を上方させて底面開口部１４内に挿入させている。一方で、カセット本体部１０を下方に移動させることができる構成の場合には、カセット本体部１０を下降させて、底面開口部１４内にローラーコンベア６１を挿入することもできる。 First, the bottom plate 20 is removed from the wire cassette 100 in the region 80 shown in FIG. 5, and then moved to the region 82. In this state, as shown in FIG. 7, a roller conveyor 61 for carrying out the substrate is inserted into the bottom opening 14. In the configuration example shown in FIG. 5, the cassette body 10 is fixed, and the roller conveyor 61 is moved upward to be inserted into the bottom opening 14. On the other hand, in the case where the cassette body 10 can be moved downward, the cassette body 10 can be lowered and the roller conveyor 61 can be inserted into the bottom opening 14.

次に、図８に示すように、ローラーコンベア６１を更に上昇させて、ワイヤー６０の間に通して、ローラーコンベア６１と基板４０とを接触させ、次いで、ローラーコンベア６１によって基板４０を持ち上げる。続いて、基板４０とワイヤー６０とを離した状態で、ローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０を水平方向に移動させる。それにより、基板４０は、カセット開口部１２から払い出され、ワイヤーカセット１００の外に位置する搬送装置６４の上に移動する。その後は、基板４０は必要な工程に供されたり、必要な場所に保管されたりする。 Next, as shown in FIG. 8, the roller conveyor 61 is further raised, passed between the wires 60, the roller conveyor 61 and the substrate 40 are brought into contact with each other, and then the substrate 40 is lifted by the roller conveyor 61. Subsequently, in a state where the substrate 40 and the wire 60 are separated, the roller portion of the roller conveyor 61 is rotated to move the substrate 40 in the horizontal direction. As a result, the substrate 40 is paid out from the cassette opening 12 and moves onto the transfer device 64 located outside the wire cassette 100. Thereafter, the substrate 40 is subjected to a necessary process or stored in a necessary place.

一番下の段の基板４０の払い出しが終了すると、次に、その上の基板４０の払い出しが実行される。具体的には、ローラーコンベア６１を更に上昇させて、ワイヤー６０の間に通し、そのローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０（下から２番目の基板４０）をカセット開口部１２から払い出しする。この工程を順次繰り返して、全ての段の基板４０の払い出しを完了する。 When the payout of the lowermost substrate 40 is completed, the payout of the upper substrate 40 is then executed. Specifically, the roller conveyor 61 is further raised, passed between the wires 60, the roller portion of the roller conveyor 61 is rotated, and the substrate 40 (second substrate 40 from the bottom) is removed from the cassette opening 12. Pay out. This process is sequentially repeated to complete the dispensing of the substrates 40 at all stages.

本実施形態のワイヤーカセット１００によれば、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とを備え、カセット本体部１０が配置される置台３０の凹部３２は底板２０を収納可能であり、凹部３２の一部には底板台３４が形成されている。したがって、ワイヤーカセット１００のカセット本体部１０を置台の上に載せることによって、カセット本体部１０の底面開口部１４を簡便に密閉および開放できるワイヤーカセット構造を実現することができる。 According to the wire cassette 100 of the present embodiment, the mounting base 30 is provided with a bottom surface opening 14 formed on the bottom surface of the cassette body 10 and a bottom plate 20 that closes the bottom surface opening 14. The recess 32 can accommodate the bottom plate 20, and a bottom plate base 34 is formed in a part of the recess 32. Therefore, by placing the cassette body 10 of the wire cassette 100 on the mounting table, a wire cassette structure that can easily seal and open the bottom opening 14 of the cassette body 10 can be realized.

ここで、本実施形態のワイヤーカセット１００と、他のワイヤーカセット（比較例）とを比較して検討してみる。 Here, the wire cassette 100 of this embodiment and the other wire cassette (comparative example) are compared and examined.

図９は、摺動部１２５を備えたスライド式構造の底面カバー１２０を備えたワイヤーカセット１１００（比較例）を示している。なお、図９に示したワイヤーカセット１１００では、基板４０が出し入れされるカセット開口部１１２を前面カバー１１５で覆っている。 FIG. 9 shows a wire cassette 1100 (comparative example) including a bottom cover 120 having a sliding structure including a sliding portion 125. In the wire cassette 1100 shown in FIG. 9, the cassette opening 112 in which the substrate 40 is taken in and out is covered with the front cover 115.

カセット本体部１１０の底面開口部１１４には、スライド構造（摺動部）１２５が設けられている。そして、底面開口部１１４を塞ぐ底面カバー１２０は、スライド構造１２５で摺動しながら水平動作（矢印１５４）を行う。この場合、基板４０が収納されているカセット本体部１１０の内部の近傍において、そのスライド構造１２５がダスト発生源となる。したがって、これではクリーンルームでの使用に適さない。 A slide structure (sliding portion) 125 is provided in the bottom opening 114 of the cassette body 110. The bottom cover 120 that closes the bottom opening 114 performs a horizontal operation (arrow 154) while sliding on the slide structure 125. In this case, the slide structure 125 becomes a dust generation source in the vicinity of the inside of the cassette body 110 in which the substrate 40 is stored. Therefore, this is not suitable for use in a clean room.

また、図１０は、底面カバー１２１が扉開閉構造１２７を有する形態のワイヤーカセット１２００を示している。図１０に示した扉開閉構造１２７を持ったワイヤーカセット１２００の場合、底面カバー１２１の開閉において回動スペース（１５６）を確保しておく必要があり、それゆえに、多くの占有面積が必要なカセットとなってしまう。したがって、この構成では、占有面積の小さい開閉構造を有するワイヤーカセットにはならない。 FIG. 10 shows a wire cassette 1200 in which the bottom cover 121 has a door opening / closing structure 127. In the case of the wire cassette 1200 having the door opening / closing structure 127 shown in FIG. 10, it is necessary to secure a rotation space (156) for opening and closing the bottom cover 121, and therefore a cassette that requires a large occupied area. End up. Therefore, with this configuration, the wire cassette does not have an opening / closing structure with a small occupation area.

以上のように、本実施形態のワイヤーカセット１００と比較して、ワイヤーカセット１１００及び１２００は何れも欠点があり、構造上、その欠点を解決するのが困難である。一方、本実施形態のワイヤーカセット１００は、そのような欠点を回避することができる。また、比較例のワイヤーカセット１１００及び１２００では、底面カバー（１２０、１２１）を開閉する上で独自の機構（１２５、１２７）を取り付けなければならないのに対し、本実施形態のワイヤーカセット１００では、そのような独自の機構を取り付けなくても、カセット本体部１０の昇降動作によって、カセット本体部１０の底面開口部１４の開閉を簡便に実行することができる。その点においても、本実施形態の構成は技術的に大きな価値を有する。 As described above, compared to the wire cassette 100 of the present embodiment, both the wire cassettes 1100 and 1200 have drawbacks, and it is difficult to solve the drawbacks due to the structure. On the other hand, the wire cassette 100 of this embodiment can avoid such a fault. Further, in the wire cassettes 1100 and 1200 of the comparative example, an original mechanism (125, 127) must be attached to open and close the bottom cover (120, 121), whereas in the wire cassette 100 of the present embodiment, Even without attaching such a unique mechanism, the bottom opening 14 of the cassette body 10 can be easily opened and closed by the raising and lowering operation of the cassette body 10. Also in that respect, the configuration of the present embodiment has great technical value.

以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。例えば、底板２０に発生するたわみが大きい場合には、底板２０の表面の少なくとも一部に（例えば、底板２０の周縁領域以外の部分に）、補強材（例えば、Ｌ字アングル）を設けることも可能である。また、カセット本体部１０と底板２０とが接触する箇所（特に、底面周縁部位１５ａの底面と底板２０の周縁部との接触箇所）に、摩擦度が高い材料（例えば、樹脂）を用いた場合には、ワイヤーカセット１００の搬送の加速や振動に対して底板２０がずれることを抑制する効果を得ることもできる。さらに、本実施形態では、複数のワイヤーによって基板４０を収納可能なワイヤーカセットの構成例について説明したが、底板２０によって底面開口部１４を簡便に密閉・開放できる本実施形態の技術はワイヤーカセットに限らず、ワイヤー以外の手段で基板４０を収納する基板収納カセットに適用可能なものである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated by suitable embodiment, such description is not a limitation matter and of course various modifications are possible. For example, when the deflection generated in the bottom plate 20 is large, a reinforcing material (for example, an L-shaped angle) may be provided on at least a part of the surface of the bottom plate 20 (for example, a portion other than the peripheral region of the bottom plate 20). Is possible. Further, when a material (for example, resin) having a high degree of friction is used at a location where the cassette body 10 and the bottom plate 20 are in contact (particularly, a contact location between the bottom surface of the bottom surface peripheral portion 15a and the peripheral portion of the bottom plate 20). In addition, it is possible to obtain an effect of suppressing the displacement of the bottom plate 20 with respect to the acceleration and vibration of the conveyance of the wire cassette 100. Furthermore, in this embodiment, although the structural example of the wire cassette which can accommodate the board | substrate 40 with a some wire was demonstrated, the technique of this embodiment which can seal and open | release the bottom face opening part 14 with the baseplate 20 easily is a wire cassette. The present invention is not limited to this, and can be applied to a substrate storage cassette that stores the substrate 40 by means other than wires.

本発明によれば、底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the cassette structure which can seal and open | release a bottom face simply can be provided.

１０カセット本体部
１２カセット開口部
１４底面開口部
１５底面
１５ａ底面周縁部位
２０底板
３０置台
３０ａ上面
３２凹部
３４底板台
３５昇降アーム
４０基板（ガラス基板）
６０ワイヤー
６１ローラーコンベア
６４搬送装置
７０搬送ビークル
７２車輪
１００ワイヤーカセット
１１００，１２００ワイヤーカセット DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cassette main-body part 12 Cassette opening part 14 Bottom surface opening part 15 Bottom surface 15a Bottom surface peripheral part 20 Bottom plate 30 Mounting base 30a Top surface 32 Recessed part 34 Bottom plate base 35 Lifting arm 40 Substrate (glass substrate)
60 Wire 61 Roller conveyor 64 Conveying device 70 Conveying vehicle 72 Wheel 100 Wire cassette 1100, 1200 Wire cassette

Claims

A cassette for storing substrates,
A cassette main body in which a substrate is arranged;
A cassette opening formed on a side surface of the cassette main body, and the substrate is taken in and out;
A bottom opening formed on the bottom of the cassette body,
A bottom plate disposed on the bottom surface of the cassette body and closing the bottom opening;
The bottom plate and the cassette body can be separated from each other,
The cassette body is disposed on a table located below the bottom opening,
The mounting table has a recess below the bottom opening,
The recess is capable of storing the bottom plate when the cassette body is disposed on a table, and
A cassette in which a bottom plate base for supporting the bottom plate is formed in a part of the recess.

2. The cassette according to claim 1, wherein in the concave portion, a space into which an elevating arm for elevating and lowering the cassette main body is inserted is provided below the bottom plate base.

A plurality of wires are arranged inside the cassette body,
The substrate is a glass substrate;
The glass substrate is supported by the wire,
The cassette according to claim 1 or 2, wherein a roller conveyor for moving the glass substrate is inserted into the bottom opening.