KR20150018361A

KR20150018361A - 고압용 자동 다이어프램 밸브

Info

Publication number: KR20150018361A
Application number: KR1020140057899A
Authority: KR
Inventors: 히사노부 이이즈카
Original assignee: 가부시키가이샤 깃츠 에스시티
Priority date: 2013-08-08
Filing date: 2014-05-14
Publication date: 2015-02-23
Also published as: JP6261593B2; WO2015020209A1; KR102198044B1; KR20160040134A; JPWO2015020209A1

Abstract

밸브체를 가압하는 압압력이 높으므로, 밸브 시트에 항상 큰 부하가 걸려 있는 고압용 자동 NC 다이어프램 밸브에 있어서, 사용 시까지 밸브의 성능을 유지한 채로 보관을 가능하게 하고, 장기간의 보관을 할 수 있는 고압용 자동 다이어프램 밸브를 제공하는 것이다. 보디 내에 설치한 액추에이터 내부의 피스톤 기구로 다이어프램을 압압하고 밸브를 폐쇄하는 다이어프램 밸브에 있어서, 상기 액추에이터의 케이싱에 고정측 걸림부를 형성하고, 또한 상기 피스톤 기구의 적절한 위치에 가동측 걸림부를 형성하고, 상기 피스톤 기구를 상방향의 해제측으로 움직였을 때, 상기 고정측 걸림부와 상기 가동측 걸림부의 걸림 위치를 일치시키고, 또한 상기 케이싱의 외측으로부터 삽통된 유지 부재로 상기 고정측 걸림부와 가동측 걸림부를 걸리게 하는 구조의 고압 자동 다이어프램 밸브이다.

Description

고압용 자동 다이어프램 밸브{AUTOMATIC DIAPHRAGM VALVE FOR HIGH PRESSURE}

본 발명은, 사용 시 또는 교환 시까지, 밸브의 성능을 전혀 손상시키지 않고, 밸브 성능을 유지한 채로의 상태로 보관을 가능하게 한 고압용 자동 NC(노멀 클로즈) 다이어프램 밸브에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에 있어서는, 인화 폭발성, 분해 폭발성, 부식성, 독성 등의 각종 특수 가스, 예를 들면, 포스핀이나 아르신, 실란 등을 사용한다. 일반적으로 이와 같은 특수 재료 가스는, 수십 기압에서 100 기압 이상의 고압력으로 가스 봄베에 충전하여 두고, 밀폐된 청정실 내에 그 가스 봄베를 설치하고, 배관 도중에 배치된 밸브를 통하여 반도체 제조장치에 공급되거나, 또는 상기 장치로부터 배기된다.

최근, 반도체 기판의 고집적화에 따라, 반도체 소자의 고속화 및 소형화가 현저하게 진행되어 있고, 그에 따라, 베이스가 되는 실리콘 웨이퍼도 고순도, 고품질의 것이 요구되므로, 그 제조 공정에 있어서 사용되는 상기와 같은 각종 특수한 가스 유체(流體)의 유량 제어 정밀도에도, 현저하게 높은 정밀도가 요구되고 있다.

이와 같이 하여 반도체 제조 공정에 설치되는 유체 제어 장치로서의 밸브의 밸브체 이동의 정밀도에는, 높은 변위 정밀도가 요구되므로, 특히, 그 거리 제어와 물리적으로 직접 관련된 부재인 밸브 시트 상태를 고품질로 유지할 필요가 있다.

한편, 반도체 제조 공정에 있어서는, 부식성 유체 등의 영향으로 밸브가 열화되기 쉬워, 수명이 짧아지기 쉽다. 밸브 보디 내부의 밸브실 내의 가스가 체류하기 쉬운 데드 스페이스가 커지는 경우, 고압, 고농도의, 예를 들면, 불소 가스를 밸브실 내에 도입하면, 단열 압축에 의해 밸브실 내의 온도가 상승하기 쉽다. 밸브실 내의 온도가 상승하면, 밸브실 내의 표면 부식이나 수지 재질의 열화가 생기기 쉽게 된다. 그 결과, 표면 부식에 의한 생성물이 밸브실 내(특히 밸브 시트부)에 부착되고, 부식에 의한 생성물이 원인으로, 기밀(氣密) 형태가 불량하게 되어, 리크되기 쉬워지므로, 밸브의 품질이 열화되어 버린다. 또한, 불소 가스 등의 할로겐을 포함하는 부식성이 높은 가스는, 밸브실 내부의 표면 부식을 일으키기 쉽기 때문에, 생성된 부식물이 밸브 시트 표면부에 부착되어, 밸브 시트를 열화시켜, 유량 제어 기능을 손상시키는 주된 원인으로 된다.

이와 같이 하여 반도체 제조 공정에 사용되는 밸브는 수명이 짧아져, 상기와 같은 양호한 정밀도의 유량 제어 능력을 유지시키기 위해서는, 자주 밸브를 신품의 밸브로 교환하지 않으면 안된다.

따라서, 제조 관리자 또는 사용자는, 신품의 밸브를 교환용으로서 장기간에 걸쳐 재고로 보관하여 둘 필요가 있었다.

여기서, 밸브가 NC(노멀 클로즈 타입) 다이어프램 밸브로서, 고압 유체용의 경우에는, 밸브는 상시 폐쇄 상태이므로, 밸브체에 의한 밸브 시트로의 압압(押壓) 부하가 상시 가해지고 있어, 고압 유체의 제어 때문에 밸브체를 가압하는 압압력(押壓力)도 높다. 상기한 바와 같이 장기간 재고나 보관하고 있는 동안, 피스톤에 의해 다이어프램을 통하여 압압되는 밸브 시트에는 항상 큰 부하가 계속하여 가해지는 상태로 되어, 밸브 시트가 그 부하에 의해 손상되는 현상이 생긴다. 특히, 배력(倍力) 기구(機構)를 구비하여 밸브체를 구동시키는 밸브에서는, 구동원의 압압력이 몇배나 배증(倍增)되어 있으므로, 그와 같은 현상이 현저하게 생긴다.

이와 같이 하여 생기는 밸브 시트의 손상은, 직접적으로 밸브 스트로크를 증대시키는 결과를 초래한다. 그러므로, 증대한 밸브 스트로크분에 따라, 밸브 시트에 대한 피스톤의 밸브체의 압압력을 약하게 할 수 있다. 피스톤의 압압력을 약하게 할 수 있으면, 기밀을 유지하기 위한 압압력이 저감되고, 높은 압력의 유체에 대항하여 밸브체의 변위를 제어함으로써 고정밀도의 유량 제어를 실현하는 밸브의 유량 제어 능력을 충분히 발휘할 수 없게 된다. 그 결과, 장기간 보관된 고압 유체용 자동 NC 다이어프램 밸브는, 신품으로서의 사용 개시 시로부터 필요한 유량 제어 능력을 발휘할 수 없게 되어, 사용 가능 기간이 짧아지는 문제점이 있다.

이와 같은 고도의 유량 제어 능력의 열화된 밸브를 사용하면, 고정밀도의 품질이 요구되는 반도체 제품의 품질을 유지할 수 없게 되어, 수율을 감소시켜 생산 효율이 악화되기 때문에, 이 문제점의 해결은 매우 중요한 과제이다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단은, 아직도 제안되어 있지 않지만, 종래부터 밸브의 개도(開度)를 일정하게 유지하는 수단은 많이 알려져 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에서는, 사용의 목적으로 공압(空壓) 작동식 제어기의 유로를 수동으로 해방할 수 있어, 개방의 정도를 장시간에 걸쳐서 유지할 수 있는 수동 작동 장치 등이 개시되어 있다. 특허 문헌 2에서는, 상시 밸브 폐쇄를 강제 밸브 개방하여 사용에 제공하는 강제 밸브 개방 장치 등이 개시되어 있다.

그러나, 특허 문헌 1에 있어서는, 샤프트의 상단부에 설치되는 특정 구조의 고정부 및 상기 고정부의 연장봉(延長棒)에 끼워넣을 수 있는 절결부(切缺部)를 구비한 특정 구조의 조작부로 이루어지는 기구가 필요하게 되어 있고, 또한 유로를 강제적으로 해방시킨 상태에 사용에 제공하는 것이다. 따라서, 고압용 밸브에 적용할 수 없을뿐만아니라, 사용을 목적으로 밸브를 개방하는 장치로서, 사용 시까지 성능을 유지하는 착상(着想)이나 시사는 존재하지 않는다.

특허 문헌 2에 있어서는, 밸브를 개방시키기 위한 기구는, 특정 구조의 매뉴얼 밸브 개방 지그 및 그에 대응한 특정 구조를 구비한 상시 밸브 폐쇄로 이루어지는 기구를 필요로 하므로, 또한 특허 문헌 1과 마찬가지로, 유로를 강제적으로 해방시킨 상태에서 사용에 제공하는 것이다. 따라서, 고압용 밸브에 적용할 수 없을뿐만아니라, 사용 시까지 성능을 유지하는 착상이나 시사는 전혀 존재하지 않는다.

일본 공개특허 제1999―311365호 일본 공개특허 제2002―195448호

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 밸브체를 가압하는 압압력이 높으므로, 밸브 시트에 항상 큰 부하가 걸려 있는 고압용 자동 NC 다이어프램 밸브에 있어서, 사용 시까지 밸브의 성능을 유지한 채로 보관을 가능하게 하고, 장기간 보관할 수 있는 고압용 자동 NC 다이어프램 밸브를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 1에 관한 발명은, 보디 내에 설치한 밸브 시트에 다이어프램을 압압하여 밸브를 폐쇄하는 다이어프램 밸브에 있어서, 상기 보디에 설치한 액추에이터 내의 피스톤 기구로 상기 다이어프램을 압압하거나 또는 압압을 해제하는 동시에, 상기 액추에이터의 케이싱에 고정측 걸림부를 형성하고, 또한 상기 피스톤 기구의 적절한 위치에 가동측 걸림부를 형성하고, 상기 피스톤 기구를 상방향의 해제측으로 움직였을 때, 상기 고정측 걸림부와 상기 가동측 걸림부의 걸림 위치를 일치시키고, 또한 상기 케이싱의 외측으로부터 삽통된 유지 부재로 상기 고정측 걸림부와 가동측 걸림부를 걸리게 하여 상기 밸브 시트에 부하를 걸지 않고 장기 보존을 가능하게 하고, 밸브 사용 시에는, 상기 유지 부재를 상기 케이싱의 외측으로부터 분리하여 밸브를 사용 가능하게 한 것을 특징으로 하는 고압용 자동 다이어프램 밸브이다.

청구항 2에 관한 발명은, 상기 피스톤 기구는, 에어를 공급하여 피스톤을 상방향으로 이동시켜 상기 다이어프램을 자력에 의해 상방향으로 변형 이동시키는 동시에, 전폐(全閉) 시에, 배력 기구를 통하여 스프링의 탄발력으로 아래쪽에 부하를 부여하는 구조를 가지고, 피스톤을 위쪽으로 이동시켰을 때, 상기 유지 부재로 피스톤 기구가 내려가는 것을 방지한 청구항 1에 기재된 고압용 자동 다이어프램 밸브이다.

청구항 3항 관한 발명은, 상기 피스톤 기구에 에어를 공급하고, 피스톤을 상사점으로 이동시켜 상기 고정측 걸림부인 걸림 구멍 부분에 상기 가동측 걸림부인 걸림홈의 위치를 일치시키고, 일치한 양쪽의 구멍에 외측으로부터 유지 부재인 유지핀을 꽂고, 사용 시에는 상기 유지핀을 외측으로부터 빼내어 밸브를 사용 가능하게 한 청구항 1 또는 2에 기재된 고압용 자동 다이어프램 밸브이다.

청구항 4에 관한 발명은, 상기 고정측 걸림부인 2개의 걸림 구멍 부분에 상기 가동측 걸림부인 반원형 걸림홈 또는 걸림 구멍의 위치를 일치시키고, 일치시킨 걸림 구멍 부분에 외측으로부터 유지 부재인 유지핀을 꽂고, 사용 시에는 상기 유지핀을 외측으로부터 빼내어 밸브를 사용 가능하게 한 청구항 1 또는 2에 기재된 고압용 자동 다이어프램 밸브이다.

따라서 본 발명에 의하면, 고압용 NC 밸브가 장기간 보관되어 있는 동안, 높은 가압력의 피스톤에 의한 밸브 시트로의 압압이 가해지는 것을 간단하게 방지하고, 또한 간단하게 해제할 수 있는 구조를 구비하였으므로, 고압용 NC 밸브를 사용 시까지 그 성능을 유지한 채로의 장기 보관을 할 수 있는 동시에, 사용자가 보관에 의한 성능 열화를 염려하지 않고 보관 부품을 재고 관리할 수 있으므로, 사용 시에는 간단하게 그 방지 구조를 해제할 수 있으므로, 만일 밸브가 고장난 경우에는, 사용자는, 보관하고 있었던 밸브를 즉시 교환하여 사용할 수 있는 상태로 할 수 있는 등의 효과를 가진다.

도 1은 본 발명의 고압용 자동 다이어프램 밸브의 제1 실시 형태를 나타낸 단면도(斷面圖)이다.
도 2는 도 1에서의, 밸브 폐쇄 상태를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 고압용 자동 다이어프램 밸브의 제2 실시 형태를 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 3에서의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 고압용 자동 다이어프램 밸브의 제3 실시형태를 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 5에서의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 고압용 자동 다이어프램 밸브의 제4 실시형태의 주요부를 나타낸 일부 절결(切缺) 단면도이다.
도 8은 도 7에서의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 고압용 자동 다이어프램 밸브의 제5 실시형태의 주요부를 나타낸 일부 절결 단면도이다.
도 10은 도 9에서의 평면도이다.

이하에, 본 발명에서의 고압용 자동 다이어프램 밸브의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이 실시형태에 있어서의 본 발명의 고압용 자동 다이어프램 밸브로서, 도 1, 도 2는 제1 실시 형태를, 도 3, 도 4는 제2 실시 형태를, 도 5, 도 6은 제3 실시형태를 각각 나타내고 있다.

도 1, 도 2에 나타낸 본 발명의 제1 실시 형태에서는, 밸브용 액추에이터(이하, 액추에이터라고 함)(1a)는, 케이싱(2a)과, 이 케이싱(2a)에 끼워지는 베이스체(3)를 가지는 보디(4)를 구비하고, 이 보디(4) 내에, 테이퍼면형부(5)를 형성한 테이퍼면형부면(6), 고정 디스크(7)에 형성된 테이퍼면으로 이루어지는 고정 디스크면(8), 이동 부재인 볼(9)을 가지는 배력 기구(10)를 구비하고 있다. 또한, 액추에이터(1a)에는, 밸브 구동용 출력축부(11), 디스크(12)가 설치되고, 이 액추에이터(1a)에 의해, 다이어프램(13)을 압압 가능하게 되어 있다.

액추에이터(1a)는, 피스톤(14)의 배면에 장착한 스프링(15)의 탄발력에 의해, 추진력 부재(16)가 다이어프램(13)을 폐지(閉止)하는 구조로서, 스프링(15)의 추진력을 배력 기구(10)에 의해 출력축부(11)에 확대하여 출력하는 구조의 노멀리 클로즈 타입의 공기압 작동 액추에이터로서 구성되어 있다.

배력 기구(10)는, 스프링(15)이 추진력 부재(16)를 통하여 다이어프램(13)을 압압하는 힘을 확대하기 위한 기구이다. 이 배력 기구(10)에는, 테이퍼면형부면(6)의 내측에 설치되고, 출력축부(11)의 상부에 설치한 디스크(12)면 상의 볼 탑재부(17)에 복수 개의 볼(9)이 배치되고, 이들 볼(9)이 고정 디스크면(8)과 테이퍼면형부면(6)과의 사이에 협지됨으로써 구성되어 있다. 케이싱(2a)과 베이스체(3)는, 밀봉 상태로 나사장착되어 액추에이터(1a)로서 일체화된다. 볼(9)은, 예를 들면, 강구(鋼球)로 이루어지고, 배력 기구(10)의 내부에 복수 개 배치된다. 볼(9)은 적절한 수이면 되지만, 적어도 3개 이상 설치하는 것이 바람직하고, 예를 들면, 8∼12개 정도로 하면 된다. 이 경우, 출력축부(11)와 고정 디스크(7)가 안정된 상태로 된다.

고정 디스크(7)는, 샤프트(19)를 통하여 액추에이터(1a)의 상부에 고정된다. 이 때, 고정 디스크(7)는, 샤프트(19)에 형성된 수나사부(20)와 커버(22)에 형성된 암나사부(21)와의 나사장착에 의해 출력축부(11)와 대향하도록 배치된다. 이 나사장착 구조에 의해 샤프트(19)를 상하로 이동시켜 그 위치를 조정할 수 있어, 고정 디스크(7)의 위치를 조정 가능하게 되어 있다.

샤프트(19)의 내부에는, 액추에이터(1a)의 외부와, 추진력 부재(16)와 베이스체(3)와의 사이를 연통시키는 흡배기구(23)가 형성되어 있다. 이 흡배기구(23)를 통하여 액추에이터(1a)의 외부로부터 피스톤(14)과 실린더(24)와의 사이의 에어 조작실(25) 내에 압축 에어가 공급 가능하게 되어 있다. 또한, 에어 조작실 내의 에어의 배기도, 이 흡배기구(23)로부터 행해진다.

추진력 부재(16)는 대략 원통형으로 형성되고, 이 1개의 추진력 부재(16)가 케이싱(2a) 내에 왕복 이동 가능하게 수납되어 있고, 내외주 측에는, O링(27)이 장착되어 있다. 추진력 부재(16)는, 본 예에서는 1단(段)이지만, 복수 단이라도 된다.

출력축부(11)는, 다이어프램 피스(29)의 상부에 설치되고, 이 다이어프램 피스(29)는 액추에이터(1a)에 장착한 밸브(30)의 다이어프램(13)에 직접 접촉하여 구동시키기 위해 설치되어 있다. 출력축부(11)의 고정 디스크(7)와의 대향하는 측에는 디스크(12)가 설치되고, 이 디스크(12)면 상에는 볼 탑재부(17)가 형성되어 있다. 출력축부(11)의 하부에는 축부(軸部)(31)가 형성되고, 이 축부(31)는, 베이스체(3)에 형성된 장착공(32)에 삽입되어 있고, 이로써, 출력축부(11) 전체가 베이스체(3)에 대하여 구동이 가능하게 되어 있다. 출력축부(11)와 베이스체(3)와의 사이에는 코일 스프링(33)이 장착되어 있다. 출력축부(11)는, 코일 스프링(33)에 의해, 도 1에 있어서 상방향으로 탄발(彈發) 가압되고 있다. 축부(31)의 외주에는 O링(34)이 장착되고, 이 O링(34)에 의해 축부(31)와 베이스체(3)와의 사이가 실링된다.

베이스체(3)에는, 전술한 바와 같이 출력축부(11)의 축부(31)가 삽입 가능한 장착공(32)이 형성되고, 이 장착공(32)에 의해, 출력축부(11)가 상하 방향으로 안내된다. 베이스체(3)의 케이싱측 외주에는 수나사부(35)가 형성되고, 이 수나사부(35)는, 케이싱(2a)에 형성된 암나사부(36)와 실링 부재(37)를 통하여 밀봉 실링 가능하게 나사장착 접합되어 있다. 베이스체(3)의 밸브 장착측에는 수나사(38)가 형성되고, 이 수나사(38)를 통하여 액추에이터(1a)가 밸브(30)에 착탈된다.

밸브(30)는 다이어프램 밸브이며, 도 1, 도 2, 도 3, 도 5에 나타낸 구조는, 그 일례이다. 이 밸브(30)는, 1차측 유로(39), 2차측 유로(40)를 가지는 밸브 케이스(41), 다이어프램(13), 밸브 시트(42), 다이어프램 피스(29), 보닛(43)을 가지고 있다. 다이어프램(13)은, 밸브 케이스(41)의 소정 위치에 설치되고, 그 상부에 압압용(押壓用)의 압력 부재로서의 다이어프램 피스(29)가 구동 가능하게 보닛(43)에 의해 장착되어 있다. 밸브(30)의 액추에이터(1a)와의 접속측에는, 수나사(38)와 나사결합 가능한 암나사(44)가 형성되고, 이 암나사(44)와 수나사(38)를 나사결합시킴으로써, 내부에 배력 기구(10)를 내장한 액추에이터(1a)와 밸브(30)를 착탈할 수 있다.

다이어프램 피스(29)는, 액추에이터(1a)의 출력축부(11)의 축방향으로의 출력에 의해 구동한다. 이 다이어프램 피스(29)의 구동에 의해 다이어프램(13)이 밸브 시트(42)에 근접 및 이격되고, 1차측 유로(39)와 2차측 유로(40)가 개폐 가능하게 된다. 고압용 밸브에서는, 다이어프램 피스(29)가 밸브 시트(42)를 압압하는 힘은, 밸브의 사이즈에 의해 2000N 정도로부터 10000N 정도에 이른다.

본 예에 있어서는, 추진력 부재(16)의 외주측 면의 적절한 위치에는, 가동측 걸림부(45)로서 단면(斷面)이 반원 형상의 걸림홈(45a)이 형성되고, 액추에이터(1a)의 케이싱(2a)에는, 고정측 걸림부(46)로서 걸림 구멍 부분(46a)이, 추진력 부재(16)가 걸림 위치로 되었을 때 상기 걸림홈(45a)과 상기 걸림 구멍 부분(46a)의 위치가 일치하도록 설치된다. 도 1에 있어서는, 고정측 걸림부(46)가 2개소 설치되어 어느 1개소에 유지핀(47a) 1개를 삽입하고 있는 상태를 나타내고 있지만, 보다 안정화를 위해 양쪽에 2개 삽입할 수도 있다. 또한, 상기 걸림 구멍 부분(46a)을 케이싱(2a)에 복수 개소 형성한 후, 복수 개의 유지핀(47a)을 삽입하여 추진력 부재(16)의 유지를 해도 된다.

또한, 가동측 걸림부(45)를, 도시하지 않은 걸림 구멍(45a)으로 할 수도 있다. 걸림 구멍(45a)은, 추진력 부재(16)의 외주측 면에 원통형 액추에이터(1a)의 구심(求心) 방향으로 뚫린 구멍이며, 액추에이터(1a)의 케이싱(2a)에는, 고정측 걸림부(46)로서 걸림 구멍 부분(46a)이, 추진력 부재(16)가 걸림 위치로 되었을 때 상기 걸림 구멍(45a)과 상기 걸림 구멍 부분(46a)의 위치가 일치하도록 설치된다. 이 경우, 추진력 부재(16)에는, 도시하지 않지만, 회전 방향의 힘이 작용하여 회전함으로써 걸림 구멍 부분(46a)과 걸림 구멍(45a)의 위치가 원주 방향으로 어긋나는 것을 방지하기 위한 적당한 회전 방지 수단을 설치하는 것이 바람직하다.

본 예에서는, 걸림홈(45a)은 추진력 부재(16)의 외주측 면을 일주(一周)하여 절결한 홈으로서 형성되어 있고, 유지 부재(47)로서의 유지핀(47a)의 선단부(56)가, 걸림 구멍 부분(46a)을 관통하여 걸림홈(45a)에 착탈(着脫) 가능하게 걸어맞추어질 수 있다. 또한, 걸림 구멍(45a)은 추진력 부재(16)의 외주측 면에, 원통형 액추에이터(1a)의 구심 방향으로 깎여진 구멍으로서 형성되어 있고, 유지 부재(47)로서의 유지핀(47a)의 선단부(56)가, 걸림 구멍 부분(46a)을 관통하여 걸림 구멍(45a)에 착탈 가능하게 끼워맞추어 질 수 있다.

추진력 부재(16)에 형성되는 걸림홈(45a) 또는 걸림 구멍(45a)의 위치는, 추진력 부재(16)의 구동이나 밸브의 기능에 지장이 없는 위치이면 되고, 추진력 부재(16) 이외의 위치라도, 실시에 따라, 임의의 위치를 취할 수 있다.

추진력 부재(16)의 걸림 위치는, 추진력 부재(16)가 다이어프램(13)을 통하여 밸브 시트(42)를 압압하는 위치 이외이면, 임의의 위치를 취할 수 있다. 단, 걸림 위치는, 피스톤의 최대 변위 위치인 상사점인 것이 바람직하다.

고정측 걸림부(46)로서의 걸림 구멍 부분(46a)의 위치는, 전술한 추진력 부재(16)의 걸림 위치에서의 걸림홈(45a)의 위치와 일치하는 위치에 대하여, 케이싱(2a)의 외주측 면에 설치된다.

유지핀(47a)은, 오퍼레이터가 손으로 잡는 손잡이부(55)와, 고정측 걸림부(46)인 케이싱(2a)의 걸림 구멍 부분(46a)에 삽입되는 선단부(56)로 이루어진다.

다음에 도 1, 도 2에 기초하여, 제1 실시 형태에 있어서, 유지핀(47a)을 삽통(揷通)하여 피스톤(14)의 가동측 걸림부(45)를 케이싱(2a)의 고정측 걸림부(46)에 거는 동작 및 그 걸림을 해제하는 동작을 설명한다.

본 예에서는, 추진력 부재(16)의 구동원의 일례로서, 에어 조작실(25)과 흡배기구(23)로 이루어지는 에어 구동원을 가지고 있다. 샤프트(19)에 형성된 흡배기구(23)로부터 압축 에어가 공급되면, 공급된 압축 에어는 분기구(分岐口)(48)를 통하여 에어 조작실(25)에 유입되고, 이로써, 에어 조작실(25) 내부의 공기압이 상승하고, 스프링(15)에 의한 가압력보다 우세하여 피스톤(14)을, 다이어프램(13)의 압압을 해제하는 상방향으로 밀어올린다.

추진력 부재(16)는, 피스톤(14)과 연동하여 구동하는 구조로 되어 있으므로, 상기 피스톤(14)의 해제측인 상방향 이동에 연동하여, 추진력 부재(16)도 상방향으로 이동하고, 가동측 걸림부(45)인 걸림홈(45a)과 고정측 걸림부(46)인 걸림 구멍 부분(46a)의 위치가 일치하는 걸림 위치에서 정지시킨다. 이 걸림 위치는, 전술한 바와 같이, 추진력 부재(16)의 상사점의 위치이며, 이 위치인 것이 바람직하다.

추진력 부재(16)가 상방향 이동하면, 추진력 부재(16)의 볼(9)을 통한 디스크(12)에 대한 다이어프램(13)을 압압하는 하방향으로의 압압력이 없어져, 코일 스프링(33)에 의한 상방향으로의 가압력에 의해 디스크(12)는 상방향으로 가압된다. 그러므로, 추진력 부재(16)의 상방향 이동과 연동하여, 디스크(12)와 일체의 출력축부(11)도 상방향으로 이동하여, 다이어프램 피스(29)에 의한 다이어프램(13)으로의 압압력이 없어진다.

다이어프램 피스(29)가 다이어프램(13)으로부터 이격되면, 다이어프램(13)은, 자체의 반력에 의해 상방향으로 변형 이동하고, 밸브 시트(42)로부터 이격된 구위(舊位)의 형상으로 된다. 이 형상은, 다이어프램(13)이 밸브실 내부에 장착되고 외력이 작용하고 있지 않을 때의 형상이다. 다이어프램(13)이 이 형상으로 되어 있을 때, 다이어프램(13)과 밸브 시트(42)의 사이의 이격 거리는, 본 예에 있어서는, 0.3㎜ 내지 0.4㎜ 정도이다.

이와 같이 하여 추진력 부재(16)가 걸림 위치에 정지하여 밸브가 개방되었을 때, 가동측 걸림부(45)로서 추진력 부재(16)에 형성된 걸림홈(45a)과, 고정측 걸림부(46)로서 케이싱(2a)에 형성된 걸림 구멍 부분(46a)의 위치가, 서로 일치하는 위치로 된다. 이 상태에서, 유지 부재인 유지핀(47a)의 선단부(56)를 케이싱(2a)의 외측에서 원통형 액추에이터(1a)의 구심 방향으로 삽입하여, 걸림 구멍 부분(46a)을 관통시켜 걸림홈(45a)에 걸어맞춤으로써, 가동 부재인 추진력 부재(16)와 고정 부재인 케이싱(2a)을 서로 걸리게 할 수 있게 된다. 도 1은, 이와 같이 유지핀(47a)을 삽입하여, 추진력 부재(16)를 걸림 위치에 걸린 상태를 나타낸다.

추진력 부재(16)가 걸린 후, 에어 조작실(25)에 공급되고 있는 에어를 배기한다. 조작 에어실(25)의 에어 배기는, 전술한 에어 공급의 경우와 반대로, 샤프트(19)에 형성된 분기구(48)로부터 샤프트(19) 내부를 통하여 흡배기구(23)로부터 배기된다. 에어가 배기되면, 에어 조작실(25) 내부의 기압이 없어져, 스프링(15)에 의한 다이어프램(13)을 압압하는 방향으로의 가압력이 추진력 부재(16)에 작용하지만, 전술한 유지핀(47a)의 삽입에 의해 추진력 부재(16)가 케이싱(2a)에 걸려져 있으므로, 다이어프램(13)이 밸브 시트(42)를 압압하는 것이 방지된다.

이어서, 전술한 바와 같이 유지핀(47a)이 삽입되어 추진력 부재(16)가 걸려져 있는 본 예에 있어서, 추진력 부재(16)의 걸림을 해제하기 위해서는, 유지핀(47a)을 외측으로부터 분리해내면 된다. 유지핀(47a)의 손잡이부(55)를 손으로 잡아 케이싱(2a)으로부터 빼내면, 추진력 부재(16)의 케이싱(2a)에 대한 걸림이 해제된다.

이 경우, 상기한 바와 같이 유지핀(47a)을 빼내어 추진력 부재의 걸림을 해제하기 전에, 미리 조작 에어실(25)에 소정량의 에어를 공급하여 공기압을 주고 스프링(15)에 의한 가압력을 약하게 함으로써, 유지핀(47a)을 외측으로부터 확실하게 인출할 수 있도록 할 수도 있다.

걸림이 해제되면, 스프링(15)의 가압력에 의해, 피스톤(14)이 다이어프램(13)을 압압하는 방향으로 가압되어 구동하고, 그에 연동하여 추진력 부재(16)도 구동하고, 볼(9)을 통하여 밸브 구동용 출력축부(11)도 구동하고, 다이어프램 피스(29)가 다이어프램(13)을 압압하여 밸브 시트(42)에 압착(壓着)되어, 도 2에 나타낸 밸브 폐쇄 상태로 된다. 이와 같이 하여, 밸브(30)의 사용이 개시된다.

그리고, 본 예의 경우, 유지핀(47a)의 손잡이부(55)가, 케이싱(2a) 표면에 대하여 수직 방향으로 돌출되어 있으므로, 오퍼레이터의 손에 의한 인출 또는 삽입 조작을 행하기 용이하다.

도 3은, 본 발명의 제2 실시 형태를 나타낸다. 제2 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태와 동일 부분은 동일 부호를 나타내고, 이후 실시형태에 있어서는 설명을 생략한다.

본 예에 있어서는, 추진력 부재(16)의 외주측 면의 적절한 위치에는, 가동측 걸림부(45)로서 단면이 반원 형상의 걸림홈(45a)이 형성되고, 액추에이터(1a)의 케이싱(2a)에는, 고정측 걸림부(46)로서 걸림 구멍 부분(46b)이, 한 쌍의 서로 대항하는 위치에 2개소 형성되고, 그 한 쌍이 2조 형성되어 있다. 추진력 부재(16)가 걸림 위치로 되었을 때, 상기 걸림홈(45a)과 상기 2조의 걸림 구멍 부분(46b)의 위치가 일치한다. 도 3, 도 4에 있어서는, 고정측 걸림부(46)는, 2조의 걸림 구멍 부분(46b)이 4개소 설치되고, 어느 1조에 유지핀(47b) 1개를 삽입하여 다른 쪽의 걸림 구멍 부분(46b)으로부터 관통시키고 있는 상태를 나타내고 있지만, 보다 안정화를 위해 양쪽의 조에 2개 삽입하여 관통시킬 수도 있다.

본 예에서는, 걸림홈(45a)은 추진력 부재(16)의 외주측 면을 일주하여 절결한 홈으로서 형성되어 있고, 유지 부재(47)로서의 유지핀(47b)의 선단부(56)가, 한 쌍의 걸림 구멍 부분(46b)의 한쪽을 관통하고, 걸림홈(45a)을 따라 추진력 부재(16)와 걸어맞추어지면서 진입하고, 다른 쪽의 걸림 구멍 부분(46b)으로부터 관통하여 돌출되어 있다. 본 예에 의하면, 유지핀(47b)과 추진력 부재(16)와의 접촉 면적은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 실시 형태에 있어서의 접촉 면적보다 크다. 또한, 유지핀(47b)은, 케이싱(2)과 2개소의 걸림 구멍 부분(46b)에서 관통한 상태로 유지되어 있으므로, 제1 실시 형태에 있어서의 추진력 부재(16)의 걸림과 비교하여, 추진력 부재(16)의 유지를, 더욱 안정되고 견고한 것으로 할 수 있다.

본 예에서는, 걸림홈(45a)은 추진력 부재(16)의 외주측 면을 일주하여 절결한 홈으로서 형성되어 있고, 유지 부재(47)로서의 유지핀(47b)의 선단부(56)가, 1조의 걸림 구멍 부분(46b)의 양쪽을 관통하여 걸림홈(45a)에 착탈 가능하게 걸어맞출 수 있다.

추진력 부재(16)에 형성되는 걸림홈(45a)의 위치는, 추진력 부재(16)의 구동이나 밸브의 기능에 지장이 없는 위치이면 되고, 추진력 부재(16) 이외의 위치라도, 실시에 따라, 임의의 위치를 취할 수 있다.

고정측 걸림부(46)로서의 걸림 구멍 부분(46b)의 위치는, 전술한 추진력 부재(16)의 걸림 위치에서의 걸림홈(45a)의 위치와 일치하는 위치에 대하여, 케이싱(2a)의 외주측 면에 형성된다.

본 예에서의 유지핀(47b)을 삽통하여 추진력 부재(16)의 가동측 걸림부(45)를 케이싱(2a)의 고정측 걸림부(46)에 거는 동작 및 그 걸림을 해제하는 동작은, 전술한 제1 실시 형태와 마찬가지이다.

도 5는, 본 발명의 제3 실시형태를 나타낸다. 본 예에 있어서도, 제1 실시 형태와 동일 부분은 동일 부호를 나타내고, 이후 실시형태에 있어서는 설명을 생략한다.

본 예에 있어서는, 추진력 부재(16)의 외주측 면의 적절한 위치에는, 가동측 걸림부(45)로서 원통형 액추에이터(1a)의 구심 방향 이외의 방향으로 직선형으로 뚫린 구멍 또는 관통된 구멍인 걸림 구멍(45c)이 형성되고, 액추에이터(1a)의 케이싱(2a)에는, 고정측 걸림부(46)로서 걸림 구멍 부분(46c)이, 상기 걸림 구멍(45c)이 뚫린 구멍의 경우에는 1개소, 상기 걸림 구멍(45c)이 관통된 구멍의 경우에는 한 쌍의 서로 대항하는 위치에 2개소 형성되어 있다. 추진력 부재(16)가 걸림 위치로 되었을 때, 상기 걸림 구멍(45c)의 개구부(50)로 상기 1개소 또는 1조의 걸림 구멍 부분(46c)의 위치가 일치한다. 도 5, 도 6에 있어서는, 관통된 구멍인 걸림 구멍(45c)이 1개소 설치되어 걸림 구멍 부분(46c)이 1조 형성되어 유지핀(47c) 1개를 삽입하여 추진력 부재(16) 및 케이싱(2a)을 관통하고 있는 상태를 나타내고 있다.

상기 걸림 구멍(45c)이 뚫린 구멍인 경우에는, 유지핀(47c)의 선단부(56)가, 상기 걸림 구멍 부분(46c)을 관통하여 유지핀(47c)과 착탈 가능하게 끼워맞추어질 수 있고, 상기 걸림 구멍(45c)이 관통된 구멍인 경우에는, 유지핀(47c)의 선단부(56)가, 1조의 걸림 구멍 부분(46c)의 한쪽을 관통하여 유지핀(47c)과 착탈 가능하게 끼워맞추어지는 것이 가능하다. 이 경우에는 선단부(56)를 걸림 구멍 부분(46c)의 다른 쪽으로부터 더 관통시켜 외측으로 돌출시켜도 되고, 관통시키지 않고 새로운 유지핀의 선단부(56)를 상기 걸림 구멍 부분(46c)의 다른 쪽에 관통시켜, 유지핀(47c)을 상기 걸림 구멍(45c)과 착탈 가능하게 끼워맞추어도 된다.

또한, 상기 걸림 구멍(45c)은 2개소 이상 형성해도 되고, 그에 대응하여 상기 걸림 구멍 부분(46c)도 복수 개소 형성하고 유지핀(47c)도 복수 개 사용해도 된다.

또한 본 예에 있어서는, 추진력 부재(16)에는, 도시하지 않지만, 회전 방향의 힘이 작용하여 회전함으로써 걸림 구멍 부분(46c)과 걸림 구멍(45c)의 위치가 원주 방향으로 어긋나는 것을 방지하기 위한 적당한 회전 방지 수단을 설치하는 것이 바람직하다.

본 예에서는, 추진력 부재(16)의 걸림 구멍(45c)에 유지핀(47c)의 선단부(56)가 삽입 또는 관통되어 있으므로, 유지핀(47c)과 추진력 부재(16)와의 접촉 면적은 제2 실시 형태에 있어서의 접촉 면적보다 크기 때문에, 제2 실시 형태에 있어서의 추진력 부재(16)의 걸림과 비교하여, 추진력 부재(16)의 유지를, 더욱 안정적이고 견고한 것으로 할 수 있다. 특히 유지핀(47c)의 선단부가 추진력 부재(16)를 관통하고 있는 경우에는, 그 효과가 크다.

추진력 부재(16)에 형성되는 걸림 구멍(45c)의 위치는, 추진력 부재(16)의 구동이나 밸브의 기능에 지장이 없는 위치이면 되고, 추진력 부재(16) 이외의 위치라도, 실시에 따라, 임의의 위치를 취할 수 있다.

고정측 걸림부(46)로서의 걸림 구멍 부분(46c)의 위치는, 전술한 추진력 부재(16)의 걸림 위치에서의 걸림 구멍(45c)의 개구부(50)의 위치와 일치하는 위치에 대하여, 케이싱(2a)의 외주측 면에 설치된다.

본 예에서의 유지핀(47c)을 삽통하여 추진력 부재(16)의 가동측 걸림부(45)를 케이싱(2a)의 고정측 걸림부(46)에 거는 동작 및 그 걸림을 해제하는 동작은, 전술한 제1 실시 형태와 마찬가지이다.

도 7, 도 8은 제4 실시형태를, 도 9, 10은 제5 실시형태를 나타내고 있다. 이들 실시형태는, 상기 실시형태와는 다른 구조의 액추에이터(1b)에 본 발명을 적용한 고압용 자동 다이어프램 밸브의 실시형태이다.

도 7은, 본 발명의 제4 실시형태를 나타낸다. 도 7의 중앙 종선보다 좌측은, 유지핀이 삽입되어 피스톤이 걸린 상태를, 중앙 종선보다 우측은, 유지핀이 인출되어 피스톤의 걸림이 해제된 상태를 나타낸다.

액추에이터(1b)는, 케이싱(2b) 내에 설치되어 구동하는 피스톤(14)을 가압하는 스프링(15)을 가지고, 상기 실시형태와 마찬가지로, 밸브체인 다이어프램을 압압하는 하방향으로 피스톤(14)을 가압하고 있다.

본 예에 있어서는, 피스톤(14)의 적절한 위치에는, 가동측 걸림부(45)로서 걸림 구멍(45d)이 한 쌍의 서로 대항하는 위치에 2개소 형성되고, 액추에이터(1b)의 케이싱(2b)에는, 고정측 걸림부(46)로서 걸림 구멍 부분(46d)이 한 쌍의 서로 대항하는 위치에 2개소 형성되고, 추진력 부재(16)가 걸림 위치로 되었을 때, 상기 걸림 구멍(45d)과 상기 걸림 구멍 부분(46d)의 위치가 일치하도록 설치한다. 도 7에 있어서는, 고정측 걸림부(46)는, 본 예에서는 2개소 설치하여, 그 한쪽에 유지 부재(47)인 유지핀(47d)을 1개 삽입하고 있지만, 피스톤(14)의 걸림을 더욱 안정시키기 위해 양쪽의 고정측 걸림부(46)에 유지핀(47d)을 2개 삽입해도 된다.

본 예에 있어서도, 전술한 제1 실시 형태와 마찬가지로, 피스톤(14)의 위치가 걸림 위치로 되어 있을 때, 유지 부재인 유지핀(47d)의 선단부(56)를 케이싱(2b)의 외측에서 원통형 액추에이터(1b)의 구심 방향으로 삽입하여, 걸림 구멍 부분(46d)을 관통시켜 걸림 구멍(45d)에 끼워맞춤으로써, 가동 부재인 피스톤(14)과 고정 부재인 케이싱(2b)을 서로 걸리게 할 수 있게 된다. 도 8은, 이와 같이 유지핀(47d)을 2개 삽입하여, 피스톤(14)을 걸림 위치에 걸린 상태를 나타낸다. 또한, 피스톤(14)의 걸림을 해제하기 위해서는, 유지핀(47d)을 외측으로부터 분리해내면 된다. 유지핀(47d)의 손잡이부(55)를 손으로 잡아 케이싱(2b)으로부터 빼내면, 피스톤(14)의 케이싱(2b)에 대한 걸림이 해제된다.

피스톤(14)에 형성되는 걸림 구멍(45d)의 위치는, 피스톤(14)의 구동이나 밸브의 기능에 지장이 없는 위치이면 되고, 피스톤(14) 이외의 위치라도, 실시에 따라, 임의의 위치를 취할 수 있다.

피스톤(14)의 걸림 위치는, 피스톤(14)이 다이어프램을 통하여 밸브 시트를 압압하는 위치 이외이면, 임의의 위치를 취할 수 있다. 단, 걸림 위치는, 피스톤의 최대 변위 위치인 상사점인 것이 바람직하다.

고정측 걸림부(46)로서의 걸림 구멍 부분(46d)의 위치는, 전술한 피스톤(14)의 걸림 위치에서의 걸림 구멍(45d)의 개구부(50)의 위치와 일치하는 위치에 대하여, 케이싱(2b)의 외주측 면에 설치된다.

본 예에 의하면, 도 8에 나타낸 바와 같이 2개의 유지핀으로 피스톤(14)을 걸리게 하고 있으므로, 1개의 유지핀(47a)과 추진력 부재(16)를 유지하는 제1 실시 형태에 있어서의 경우와 비교하여, 유지핀에 가해지는 피스톤의 가압력이 분산되어 양호한 밸런스로 유지하게 할 수 있으므로, 피스톤(14)이나 케이싱(2b)의 형상 등을 손상시키지 않고 더욱 안정적으로 장기적으로 걸리게 할 수 있다. 또한, 유지핀(47d)을 2개 가지므로, 뜻하지 않게 한쪽의 1개가 벗어나도, 다른 쪽의 1개의 유지핀으로 피스톤(14)의 걸림을 지속할 수 있다.

도 9는, 제5 실시형태를 나타낸다. 중앙 종선보다 좌측은, 유지핀(54)이 삽입되고 피스톤(52)이 걸린 상태를, 중앙 종선보다 우측은, 유지핀(54)이 인출되어 피스톤(52)의 걸림이 해제된 상태를 나타낸다. 본 예에 있어서는, 제4 실시형태와 동일 부분은 동일 부호를 나타내고, 설명을 생략한다.

본 예에 있어서는, 피스톤(14)의 적절한 위치에는, 가동측 걸림부(45)로서 반원 형상으로 피스톤(14)의 외주측 면을 절결한 걸림홈(45e)이 형성되고, 액추에이터(1b)의 케이싱(2b)에는, 고정측 걸림부(46)로서 걸림 구멍 부분(46e)이 한 쌍의 서로 대항하는 위치에 2개소 설치되고, 그 한 쌍이 2조 형성되어 있고, 피스톤(14)이 걸림 위치로 되었을 때, 상기 걸림홈(45e)과 상기 걸림 구멍 부분(46e)의 위치가 일치하도록 형성한다. 도 9에 있어서는, 고정측 걸림부(46)는, 본 예에서는 2조 설치하여, 그 한쪽에 유지 부재(47)인 유지핀(47e)을 1개 삽입하고 있지만, 피스톤(14)의 걸림을 더욱 안정시키기 위해 양쪽의 고정측 걸림부(46)에 유지핀(47e)을 2개 삽입해도 된다.

본 예에 있어서도, 전술한 제2 실시 형태와 마찬가지로, 피스톤(14)의 위치가 걸림 위치로 되어 있을 때, 유지 부재인 유지핀(47e)의 선단부(56)를 케이싱(2b)에 삽입하여, 걸림 구멍 부분(46e)을 관통시켜 걸림홈(45e)에 걸어맞춤으로써, 가동 부재인 피스톤(14)과 고정 부재인 케이싱(2b)을 서로 걸리게 할 수 있게 된다. 도 10은, 이와 같이 유지핀(47e)을 2개 삽입하여, 피스톤(14)을 걸림 위치에 걸린 상태를 나타낸다. 또한, 피스톤(14)의 걸림을 해제하기 위해서는, 유지핀(47e)을 외측으로부터 분리해내면 된다. 유지핀(47e)의 손잡이부(55)를 손으로 잡아 케이싱(2b)으로부터 빼내면, 피스톤(14)의 케이싱(2b)에 대한 걸림이 해제된다.

피스톤(14)에 형성되는 걸림 구멍(45e)의 위치는, 피스톤(14)의 구동이나 밸브의 기능에 지장이 없는 위치이면 되고, 피스톤(14) 이외의 위치라도, 실시에 따라, 임의의 위치를 취할 수 있다.

고정측 걸림부(46)로서의 걸림 구멍 부분(46e)의 위치는, 전술한 피스톤(14)의 걸림 위치에서의 걸림홈(45e)의 위치와 일치하는 위치에 대하여, 케이싱(2b)의 외주측 면에 설치된다.

본 실시형태에 의하면, 도 10에 나타낸 바와 같이 2개의 유지핀으로 피스톤(14)을 걸리게 하고 있으므로, 1개의 유지핀(47b, 47c)으로 추진력 부재(16)를 유지하는 제2, 제3 실시형태에 있어서의 경우와 비교하여, 유지핀에 가해지는 피스톤의 가압력이 분산되어 양호한 밸런스로 유지하게 할 수 있으므로, 피스톤(14)이나 케이싱(2b)의 형상 등을 손상시키지 않고 더욱 안정적으로 장기적으로 걸리게 할 수 있다. 또한, 유지핀(47e)을 2개 가지므로, 뜻하지 않게 한쪽의 1개가 벗어나도, 다른 쪽의 1개의 유지핀으로 피스톤(14)의 걸림을 지속할 수 있다.

1a, 1b 액추에이터
2a, 2b 케이싱
4 보디
10 배력 기구
13 다이어프램
14 피스톤
15 스프링
16 추진력 부재
42 밸브 시트
45 가동측 걸림부
45a, 45b, 45e 걸림홈
45c, 45d 걸림 구멍
46 고정측 걸림부
46a, 46b, 46c, 46d, 46e 걸림 구멍 부분
47 유지 부재
47a, 47b, 47c, 47d, 47e 유지핀

Claims

보디 내에 설치한 밸브 시트에 다이어프램을 압압(押壓)하여 밸브를 폐쇄하는 다이어프램 밸브에 있어서,
상기 보디에 설치한 액추에이터 내의 피스톤 기구(機構)로 상기 다이어프램을 압압하거나 또는 압압을 해제하는 동시에, 상기 액추에이터의 케이싱에 고정측 걸림부를 형성하고, 또한 상기 피스톤 기구의 적절한 위치에 가동측 걸림부를 형성하고, 상기 피스톤 기구를 상방향의 해제측으로 이동시켰을 때, 상기 고정측 걸림부와 상기 가동측 걸림부의 걸림 위치를 일치시키고, 또한 상기 케이싱의 외측으로부터 삽통(揷通)된 유지 부재로 상기 고정측 걸림부와 상기 가동측 걸림부를 걸리게 하여 상기 밸브 시트에 부하를 걸지 않고 장기 보존을 가능하게 하고, 상기 밸브의 사용 시에는, 상기 유지 부재를 상기 케이싱의 외측으로부터 분리해내어 밸브를 사용 가능하게 한,
고압용 자동 다이어프램 밸브.
제1항에 있어서,
상기 피스톤 기구는, 에어를 공급하여 피스톤을 상방향으로 이동시켜 상기 다이어프램을 자력에 의해 상방향으로 변형 이동시키는 동시에, 전폐(全閉) 시에, 배력(倍力) 기구를 통하여 스프링의 탄발력으로 아래쪽에 부하를 부여하는 구조를 가지고, 상기 피스톤을 위쪽으로 이동시켰을 때, 상기 유지 부재로 상기 피스톤 기구가 내려가는 것을 방지하는, 고압용 자동 다이어프램 밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 피스톤 기구에 에어를 공급하고, 상기 피스톤을 상사점으로 이동시켜 상기 고정측 걸림부인 걸림 구멍 부분에 상기 가동측 걸림부인 걸림홈의 위치를 일치시키고, 일치한 양쪽의 구멍에 외측으로부터 유지 부재인 유지핀을 꽂고, 사용 시에는 상기 유지핀을 외측으로부터 빼내어 밸브를 사용 가능하게 한, 고압용 자동 다이어프램 밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 고정측 걸림부인 2개의 걸림 구멍 부분에 상기 가동측 걸림부인 반원형 걸림홈 또는 걸림 구멍의 위치를 일치시키고, 일치시킨 걸림 구멍 부분에 외측으로부터 유지 부재인 유지핀을 꽂고, 사용 시에는 상기 유지핀을 외측으로부터 빼내어 밸브를 사용 가능하게 한, 고압용 자동 다이어프램 밸브.