JP4124813B2

JP4124813B2 - 誤動作防止手動弁

Info

Publication number: JP4124813B2
Application number: JP2004096620A
Authority: JP
Inventors: 達人青山; 孝視矢島; 雅義森本
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2003-10-15
Filing date: 2004-03-29
Publication date: 2008-07-23
Anticipated expiration: 2024-03-29
Also published as: JP2005140319A

Description

本発明は、流体制御用の手動弁に関し、特にオペレータが操作するとき以外に弁が開閉してしまわないようにロック機構などを設ける一方で、弁の開閉を行うのに際して操作性を損なうことがないようにした誤動作防止手動弁に関する。

例えば、半導体製造装置などにはプロセスガスをチャンバーへ供給するのに集積弁が使用され、その中には手動によって弁の開閉を制御する手動弁も搭載されている。図１７及び図１８は、そうした集積弁を構成する一つの手動弁を示した断面図であり、特開平９−２６４４５１号公報に記載されているものである。図１７は閉弁状態を示し、図１８は開弁状態を示している。

手動弁２００は、弁体２０１がコイルスプリング２０２によって下方へ付勢され、ダイアフラム２０３が弁座２１１へ押し付けられて閉弁している。そのため、入力ポート２５１から入力側流路２５２へ流入した流体は、ダイアフラム２０３によって流れが遮断されている。そこで、オペレータがハンドル２２１を反時計方向へ９０゜回転させると、そのハンドル２２１と一体に固定されたカム２０５も同じように９０゜回転する。

ここで、図１９は、カム２０５を示した平面図であり、図２０は、図１９に示したカム２０５のＡ−Ａ断面図であり、図２１は、カム２０５を示した展開図である。カム２０５は、中心にセンターロッド２０４を差し込む貫通孔２４１が穿設された円筒状のものであり、その上面には一対のラジアルベアリング２３１，２３１が転がる波形の転動面２３５が形成されている。波形の転動面２３５には、一対のラジアルベアリング２３１，２３１がはまり込んで位置決めできるように、高い位置の上溝２３３，２３３と低い位置の下溝２３４，２３４とが形成されている。

よって、図１７に示す閉弁状態の手動弁２００が、オペレータによってハンドル２２１を回されると、ハンドル２２１に従ってカム２０５が回転し、ラジアルベアリング２３１が下溝２３４から外れて転動面２３５を転がる。この時、ラジアルベアリング２３１は転動面２３５の斜面を昇るように転がって上溝２３３にはまり込み、その結果、下溝２３４から上溝２３３まで高さだけ平行ピン２０６を介してセンターロッド２０４が持ち上げられる。この時、センターロッド２０４は、平行ピン２０７によって回転が禁止されているため、軸方向にのみ移動して回転することはない。
センターロッド２０４下端の弁体２０１が上昇すると、それまで弁体２０１によって押さえつけられていたダイアフラム２０３が解放されて弁座２１１から離間する。こうして弁が開けられると、入力ポート２５１から流入した流体が弁座２１１の弁孔から弁室２５３へ流入し、更に出力側流路２５４を通って出力ポート２５５から流出する。

一方、図１８に示す開弁状態の手動弁２００が、オペレータによってハンドル２２１を９０度逆向きに回転されると、カム２０５が回転してラジアルベアリング２３１が上溝２３３から外れて下溝２３４へはまる。このとき弁体２０１は、コイルスプリング２０２の付勢力によってセンターロッド２０４とともに押し下げられ、ダイアフラム２０３が弁座２１１へ押し付けられて図１７に示す閉弁状態に戻る。
特開平９−２６４４５１号公報（第４−５頁、図１−図５）特開２０００−９７３６８号公報（第３−５頁、図４、図５）特開２００２−３２３１６７号公報（第３−４頁、図１、図２、図８）

ところで、特許文献１として挙げた前記従来例の手動弁２００が集積弁の一部として搭載された場合、集積弁は弁同士の間隔が狭いため、オペレータが他の弁の開閉を操作しようとしたときなど、手がハンドル２２１に当たることがよくある。そしてこうした時、はずみでハンドル２２１が回ってしまい、誤って弁の開閉が行われることがある。従って、手動弁２００を搭載した集積弁が半導体製造装置に使用されると、誤動作して開いてしまった手動弁から不要なプロセスガスがチャンバーへ送り込まれて、製造不良が生じたりしてしまう。そのため、手動弁のこうした誤動作は避けなければならない。

この点、従来より手動弁にロック機構を設けたものが存在する。例えば、特開２０００−９７３６８号公報には、図２２に示すように、内部に弁座が形成された本体３０３にＬ字形状のロック部材３０１が固定されたものが記載されている。ロック部材３０１には、弁体と連結したハンドル３０２の下部外周を囲む割りが形成されており、ロックボルト３０４を締めることによりハンドル３０２を本体３０３に対して動かなくしている。また、本願出願人が以前に提案した特開２００２−３２３１６７号公報に開示された発明は、南京錠を取り付けて弁の開閉を禁止する手動弁である。しかし、こうしたロック付きの手動弁であれば確実に誤動作を防止できるが、その一方でロックの取り外しに手間がかかりすぎてしまい取り扱いが非常に面倒なものになってしまっていた。

そこで本発明は、かかる課題を解決すべく、誤動作を防止する一方で弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにした誤動作防止手動弁を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために請求項１に係る発明では、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、ハウジング側に螺設されてハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルからロッドにかけて回転を伝達して螺進するロッドを上下方向に運動させる動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間するようにした弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、前記ロック機構は、ハウジングに対して回らないように設けられた回転止部材と、その回転止部材に係合する前記ハンドルに設けられた係合部材とを有し、その回転止部材または係合部材が付勢部材によって付勢され、係合部材が回転止部材に係合してハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項２に係る発明では、請求項１に記載する誤動作防止手動弁において、前記回転止部材は、前記ハウジング内を径方向に掛け渡して固定された平行ピンであり、前記係合係部材は、上方の前記ハンドルに対して前記平行ピンを跨ぐようにしてその下方に固定されたサブハンドルであって、前記ハンドル及びサブハンドルは付勢部材によって上方に付勢され、サブハンドルの上面に形成されたロック溝に前記平行ピンが入り込み、前記ハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項３に係る発明では、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、ハウジング側に螺設されて前記ハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルから前記ロッドにかけて回転を伝達して螺進するロッドを上下方向に運動させる動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間する弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、ハウジングに対して回らないように設けられる回転止部材と、前記ハンドルに設けられ前記回転止部材が挿入されるカム溝と、前記ハンドルと一体であって付勢部材によって付勢される前記動力伝達機構とからなる前記ロック機構を有することを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項４に係る発明では、請求項３に記載する誤動作防止手動弁において、前記回転止部材は、前記ハウジングの径方向に対をなして前記ハウジングに固定された平行ピンであり、前記カム溝は下方に開口する略コの字型で形成され、前記動力伝達機構は前記ロッドと上下方向においては遊離できるものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項５に係る発明では、請求項３に記載する誤動作防止手動弁において、前記ロッドは第１ロッドと第２ロッドから構成され、前記第１ロッドと前記第２ロッドは軸方向に嵌合および遊離するものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項６に係る発明では、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、そのハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルからロッドにかけて回転を上下方向の運動に変換して伝達する動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間するようにした弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、前記ロック機構は、ハウジングに対して回らないように設けられた回転止部材と、その回転止部材に係合する前記ハンドルに設けられた係合部材とを有し、その回転止部材または係合部材が付勢部材によって付勢され、係合部材が回転止部材に係合してハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項７に係る発明では、請求項６に記載する誤動作防止手動弁において、前記回転止部材は、回転が制限され前記付勢部材によって前記ハンドルの下端面に突き当てられたロックプレートであり、前記係合部材は、前記ハンドルの下面から突き出したロックピンであって、ロックプレートに形成されたロック孔にロックピンが差し込まれ、前記ハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項８に係る発明では、請求項６に記載する誤動作防止手動弁において、前記回転止部材は、前記ハンドルの下でハウジングに固定されたロックプレートであり、前記係合部材は、前記ハンドルを上下に突き抜けて前記付勢部材によって下方に付勢されたロックピンであって、付勢されたロックピンが、前記ロックプレートに形成されたロック孔に差し込まれ、前記ハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項９に係る発明では、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、そのハンドルの回転軸上を上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルからロッドにかけて回転を上下方向の運動に変換して伝達する動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間するようにした弁部とを有する手動弁であって、前記ハウジングの上端面から突き出た前記ロッドに対し、径方向に貫通したピンによって板状のハンドルが倒伏可能に軸支されたものであることを特徴とする。

前記目的を達成するために請求項１０に係る発明では、請求項９に記載する誤動作防止手動弁において、前記ハウジングの上端面には、前記ハンドルの回転を禁止する突起部が形成されたものであることを特徴とする。

本発明は、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、ハウジング側に螺設されてハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルからロッドにかけて回転を伝達して螺進するロッドを上下方向に運動させる動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間するようにした弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、前記ロック機構は、ハウジングに対して回らないように設けられた回転止部材と、その回転止部材に係合する前記ハンドルに設けられた係合部材とを有し、その回転止部材または係合部材が付勢部材によって付勢され、係合部材が回転止部材に係合してハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。さらに、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

本発明は、さらに、前記回転止部材は、前記ハウジング内を径方向に掛け渡して固定された平行ピンであり、前記係合係部材は、上方の前記ハンドルに対して前記平行ピンを跨ぐようにしてその下方に固定されたサブハンドルであって、前記ハンドル及びサブハンドルは付勢部材によって上方に付勢され、サブハンドルの上面に形成されたロック溝に前記平行ピンが入り込み、前記ハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものである
ので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。さらに、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

本発明は、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、ハウジング側に螺設されて前記ハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルから前記ロッドにかけて回転を伝達して螺進するロッドを上下方向に運動させる動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間する弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、ハウジングに対して回らないように設けられる回転止部材と、前記ハンドルに設けられ前記回転止部材が挿入されるカム溝と、前記ハンドルと一体であって付勢部材によって付勢される前記動力伝達機構とからなる前記ロック機構を有するので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわず、かつ確実な開閉弁状態を行うことが可能になった。さらに、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

本発明は、さらに、前記回転止部材は、前記ハウジングの径方向に対をなして前記ハウジングに固定された平行ピンであり、前記カム溝は下方に開口する略コの字型で形成され、前記動力伝達機構は前記ロッドと上下方向においては遊離できるものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわず、かつ確実な開閉弁状態を行うことが可能になった。さらに、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

本発明は、さらに、前記ロッドは第１ロッドと第２ロッドから構成され、前記第１ロッドと前記第２ロッドは軸方向に嵌合および遊離するものであるので、弁座にはスプリングの不勢力のみが加わり弁座が破損するおそれがなくなった。

本発明は、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、そのハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルからロッドにかけて回転を上下方向の運動に変換して伝達する動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間するようにした弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、前記ロック機構は、ハウジングに対して回らないように設けられた回転止部材と、その回転止部材に係合する前記ハンドルに設けられた係合部材とを有し、その回転止部材または係合部材が付勢部材によって付勢され、係合部材が回転止部材に係合してハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。

本発明は、さらに、前記回転止部材は、回転が制限され前記付勢部材によって前記ハンドルの下端面に突き当てられたロックプレートであり、前記係合部材は、前記ハンドルの下面から突き出したロックピンであって、ロックプレートに形成されたロック孔にロックピンが差し込まれ、前記ハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。

本発明は、さらに、前記回転止部材は、前記ハンドルの下でハウジングに固定されたロックプレートであり、前記係合部材は、前記ハンドルを上下に突き抜けて前記付勢部材によって下方に付勢されたロックピンであって、付勢されたロックピンが、前記ロックプレートに形成されたロック孔に差し込まれ、前記ハンドルの回転を禁止するロック状態が維持されるようにしたものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。

本発明は、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、そのハンドルの回転軸上を上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルからロッドにかけて回転を上下方向の運動に変換して伝達する動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間するようにした弁部とを有する手動弁であって、前記ハウジングの上端面から突き出た前記ロッドに対し、径方向に貫通したピンによって板状のハンドルが倒伏可能に軸支されたものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。

本発明は、さらに、前記ハウジングの上端面には、前記ハンドルの回転を禁止する突起部が形成されたものであるので、誤って弁が開閉してしまう誤動作の防止が可能になり、また、弁を開閉させる際の操作性を損なわないようにすることが可能になった。

次に、本発明に係る誤動作防止手動弁について、その一実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。
なお、用語として「上方」とはハンドル側、「下方」とはバルブボディ側を意味するものとする。

次に、本発明に係る誤動作防止手動弁の第１実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。図１は、本実施形態の誤動作防止手動弁１を示した断面図であり、右半分がロック状態であり、左半分がロック解除状態である。
この誤動作防止手動弁１は、入力側流路５１及び出力側流路５２の形成されたバルブボディ５０が不図示のベースブロックなどの上に搭載され、上端のハンドル７２の回転によって弁の開閉が行われるものである。

バルブボディ５０は、ベースブロックなどの上に搭載可能なブロック体であって、入力側流路５１及び出力側流路５２が下面にポートをあけて穿設されている。バルブボディ５０の上部に開設された凹部には、その底部にダイアフラム５３が装填され、入力側流路５１及び出力側流路５２が連通する弁室５４が構成されている。入力側流路５１は、弁室５４の中央に設けられた弁座５５の内側の弁孔５６に接続されており、出力側流路５２は、その弁座１５の外側の弁室５４に直接接続されている。

バルブボディ５０には、上方から凹部内にアダプタ５８が挿入および螺設され一体になっている。このときダイアフラム５３は、その周縁部分がバルブボディ５０とホルダ５９によって挟み込まれ、螺設されたアダプタ５８が上方から押え込んでいる。従って、このダイアフラム５３によって、入力側流路５１から出力側流路５２へ流れる流体が漏れない気密な空間の弁室５４内がつくられている。
ホルダ５９の中にはステム６１が上下に摺動するように装填されている。ステム６１が上から押し下げられてない場合には、ダイアフラム５３がそのバネ力によって弁座５５から離間し、そのステム６１を上方に持ち上げている。

アダプタ５８には外側からガイド押え６２が螺合され、それによって内部にロッドガイド６３が位置決め固定されている。ロッドガイド６３にはロッド６４が上下方向に摺動可能に挿入され、ロッド６４に形成された雄ネジとアダプタ５８に形成された雌ネジとが螺設されている。すなわち、この誤動作防止手動弁１は、ロッド６４に回転が与えられるとその雄ネジが雌ネジに沿って螺進し、これによりロッド６４が軸方向に上下することによりステム６１が押さえ付けられ、また解放されて弁の開閉が行われるようになっている。

ガイド押え６２にはハウジング７１が固定され、その上部にはハンドル７２が設けられている。そして、このハンドル７２の回転がロッド６４にまで伝えられるよう構成されている。ハウジング７１には、回転軸と交差するように平行ピン７５が固定されており、ハンドル７２は、その平行ピン７５の下側に配置されたサブハンドル７３とボルト７６によって連結されている。ここで、図２は、サブハンドル７３を示した斜視図である。サブハンドル７３は、その上面に十字のロック溝８１が形成され、このロック溝８１に平行ピン７５が入り込むようになっている。サブハンドル７３の回転範囲は９０度であり、その範囲でボルト７２が平行ピン７５と干渉しないように、２本のボルト７６が図示するボルト穴８２，８２の位置で、ハンドル７２とサブハンドル７３と連結している。

サブハンドル７３にはフランジ８３が形成され、図１に示すようにロックバネ７７によって上方に付勢されている。従って、この誤動作防止手動弁１は、通常、ロックバネ７７によってサブハンドル７３が押し上げられており、そのロック溝８１に平行ピン７５が入り込み、ロック状態が維持されるように構成されている。
図１に戻って、ロッド６４の上部には固定リング６５が設けられ、そこには２本の回転伝達ピン６６，６６が軸方向に圧入されている。そして、サブハンドル７３には、この回転伝達ピン６６，６６に対応した回転伝達穴８４，８４が形成されている。従って、この回転伝達穴８４，８４に回転伝達ピン６６，６６が入り込むことによって、ハンドル７２の回転がロッド６４にまで伝達されるようになっている。

次に、本実施形態の誤動作防止手動弁１の作用について説明する。誤動作防止手動弁１は、開弁又は閉弁のいずれの場合にも関わらず、図１の右半分に示すように、ロックバネ７７によってサブハンドル７３が押し上げられ、そのロック溝８１に平行ピン７５が入り込んでサブハンドル７３の回転が禁止されている。そのため、サブハンドル７３にボルト７６を介して連結されたハンドル７２も同じように回転が禁止されているため、この状態でハンドル７２に回転方向の力が加わっても弁の開閉が行われることはない。すなわち、通常時の誤動作防止手動弁１は、ロックバネ７７によってロックのかかった状態で開閉しているため、例えばオペレータが隣の手動弁を操作する際、誤ってハンドル７２が回ってしまい、弁の開閉が切り換えられてしまうことはない。

一方、オペレータがこの誤動作防止手動弁１の開閉を操作する場合には、図１の左半分に示すようにハンドル７２をロックバネ７７の付勢力に抗して押し下げる。これにより、サブハンドル７３のロック溝８１から平行ピン７５が外れ、ハンドル７２の回転が可能になる。また、サブハンドル７３の下降により回転伝達穴８４に回転伝達ピン６６が入り込み、ハンドル７２の回転伝達が可能な状態になる。従って、押し下げた状態でハンドル７２が９０度回転されると、その回転がボルト７６を介してサブハンドル７３へ、そして回転伝達穴８４に挿入した回転伝達ピン６６を介してロッド６４へと伝えられる。

ロッド６４に回転が与えられると、ロッド６４は、アダプタ５８との間で螺合し、そのネジ部によって軸方向に上下動する。ロッド６４とサブハンドル７３とは、回転伝達穴８４及び回転伝達ピン６６によって連結しているため、ロッド６４は軸方向に自由に上下することができる。そして、下降した場合にはステム６１を介してダイアフラム５３が弁座５５に押し付けられて閉弁し、上昇した場合にはステム６１がロッド６４から解放されるため、ダイアフラム５３がその弾性によってステム６１を持ち上げるようにして弁座５５から離間して開弁する。

よって、本実施形態の誤動作防止手動弁１によれば、ロックバネ７７に付勢されたサブハンドル７３のロック溝８１に平行ピン７５が入り込む構成のロック機構を備えるので、オペレータがロック解除動作を行わなければ誤動作によって開閉することがなくなった。従って、誤動作防止手動弁１を集積弁の一部として搭載した場合、他の弁の開閉を操作する際に誤ってこの誤動作防止手動弁１を開閉させることがなくなった。
そして、本実施形態の誤動作防止手動弁１は、オペレータがハンドル７２を押し下げるだけでロックを解除することができ、開閉位置では手を離すだけでロックバネ７７によってロック状態になる。従って、特別な工具を用いることなく、しかも片手でできる非常に操作性の良いものとなった。
また、ロッド６４をアダプタ５８との間で螺合させることにより、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

次に、本発明に係る誤動作防止手動弁の第２実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。
図３乃至図６は、第２実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図である。このうち図３及び図４は開弁状態を示しており、更に図３はロック状態を示し、図４はロック解除状態を示している。また図５及び図６は閉弁状態を示しており、更に図５はロック解除状態を示し、図６がロック状態を示している。
この誤動作防止手動弁２は、入力側流路１５１及び出力側流路１５２の形成されたバルブボディ１５０が不図示のベースブロックなどの上に搭載され、上端のハンドル１７２の回転によって弁の開閉が行われるものである。

バルブボディ１５０は、ベースブロックなどの上に搭載可能なブロック体であって、入力側流路１５１及び出力側流路１５２が下面にポートをあけて穿設されている。バルブボディ１５０の上部に開設された凹部には、その底部にダイアフラム弁体１５３が装填され、入力側流路１５１及び出力側流路１５２が連通する弁室１５４が構成されている。入力側流路１５１は、弁室１５２の中央に設けられた弁座１５５の内側の弁孔１５６に接続されており、出力側流路１５２は、その弁座１５５の外側の弁室１５４に直接接続されている。

バルブボディ１５０には、上方から凹部内にベース１５８が挿入および螺設され一体になっている。このときダイアフラム弁体１５３は、その周縁部分がバルブボディ１５０とホルダ１５９によって挟み込まれ、螺設されたベース１５８が上方から押え込んでいる。従って、このダイアフラム弁体１５３によって、入力側流路１５１から出力側流路１５２へ流れる流体が漏れない気密な空間の弁室１５４内がつくられている。
ホルダ１５９の中にはステム１６１が上下に摺動するように装填されている。ステム１６１が上から押し下げられてない場合には、ダイアフラム弁体１５３がそのバネ力によって弁座１５５から離間し、そのステム１６１を上方に持ち上げている。

ベース１５８には内側からロッドガイド１６２が螺合され、それによって内部にロッドガイド１６２が位置決め固定されている。ロッドガイド１６２にはブッシュ１９４を介してロッド１６４が上下方向に摺動可能に挿入されている。
ロッド１６４の上方にはロッド１６４と嵌合するハンドルロッド１６６が設けられている。ロッド１６４とハンドルロッド１６６は嵌合しているが、軸方向にクリアランスが存在し、そのクリアランス分ロッド１６４とハンドルロッド１６６は軸方向に遊離することできる。ハンドルロッド１６６に形成された雄ネジとロッドガイド１６２に形成された雌ネジとは螺設されている。
ロッド１６４の下方にはスプリング受け１９１があり、ロッドガイド１６２とスプリング受け１９１の間にはスプリング１９２が配設され、スプリング１９２の付勢力に対抗しうるようスプリング受け１９１は、ロッド１６４内に挿入された平行ピン１９３で支えられている。
すなわち、この誤動作防止手動弁２は、ハンドルロッド１６６に回転が与えられるとその雄ネジが雌ネジに沿って螺進し、これによりハンドルロッド１６６及びロッド１６４が軸方向に上下することによりステム１６１が押さえ付けられ、また解放されて弁の開閉が行われるようになっている。

ロッドガイド１６２の上方にはハンドル１７２が設けられている。ハウジング１７１には、径方向にスプリングピン１７５が固定されており、スプリングピン１７５はハンドル１７２のカム溝１７２ａに挿入されている。ハンドル１７２は、その内部のサブハンドル１７３とボルト１７６によって連結されている。
ここで、図８は、ハンドル１７２、サブハンドル１７３、ハンドルロッド１６６により構成されるロック機構の概要図を示す。

次に、本実施形態の誤動作防止手動弁２の作用について説明する。誤動作防止手動弁２は、開弁又は閉弁のいずれの場合にも関わらず、図３または図６に示すように、スプリング１７７によってサブハンドル１７３を介してハンドル１７２が押し上げられ、図９に示すようなハンドル１７２のカム溝１７２ａのロック部分１７２ｂにハウジング１７１に固定されたスプリングピン１７５が位置し、ハンドル１７２の回転が禁止されている。そのため、この状態でハンドル１７２に回転方向の力が加わっても弁の開閉が行われることはない。すなわち、通常時の誤動作防止手動弁２は、スプリング１７７によってロックのかかった状態で開閉しているため、例えばオペレータが隣の手動弁を操作する際、誤ってハンドル１７２が回って弁の開閉が切り換ることはない。

一方、オペレータがこの誤動作防止手動弁２の開閉を操作する場合には、図４及び図５に示すようにハンドル１７２をスプリング１７７の付勢力に抗して押し下げる。これにより、ハンドル１７２のカム溝１７２ａのロック部分１７２ｂからロック解除部分１７２ｃにハウジング１７１に固定されたスプリングピン１７５が位置することになり、ハンドル１７２の回転が可能になる。
ここで、図８に示すようにサブハンドル１７３とハンドルロッド１６６とは、軸方向の動きには互いに干渉しないが、周方向の動きには同じ回転位相で回転するように連結されている。
従って、押し下げた状態でハンドル１７２を回転すると、その回転がサブハンドル１７３を介してハンドルロッド１６６へと伝えられる。

ハンドルロッド１６６に回転が与えられると、ハンドルロッド１６６はロッドガイド１６２との間で螺合し、そのネジ部によって軸方向に上下動する。すると、ハンドルロッド１６６に嵌合するロッド１６４も軸方向に上下動する。

図３の開弁状態から図４のように押し下げた状態でハンドル１７２を右回りに回転させハンドルロッド１６６を下方に移動させた場合には、ハンドルロッド１６６と嵌合していたロッド１６４はハンドルロッド１６６と遊離する。ハンドルロッド１６６と遊離したロッド１６４は、スプリング受け１９１を介して伝えられるスプリング１９２の不勢力により下方へ移動する。ロッド１６４が下方へ移動することにより、図５のようにステム１６１を介してダイアフラム弁体１５３が弁座１５５に押し付けられて閉弁する。この状態でハンドル１７２から手を離せば、サブハンドル１７３を介したスプリング１７７の不勢力により、ハンドル１７２は上方へ移動し、図６の状態になる。

ここで、図９に示すハンドル１７２のカム溝１７２ａのロック解除部分１７２ｃは実際に開閉弁状態になる位置よりも余裕をみてその長さを形成している。そのため、ハンドル１７２を回転しきった状態でハンドル１７２を押し下げるのを解除させると、スプリングピン１７５がロック部分１７２ｂに位置することになるが、このとき弁部は確実に図３または図６に示すような開閉弁状態になっている。

一方、図６の閉弁状態から図５のように押し下げた状態でハンドル１７２を左回りに回転させハンドルロッド１６６を上方に移動させた場合には、ハンドルロッド１６６と遊離していたロッド１６４はハンドルロッド１６６と嵌合する。ハンドルロッド１６６と嵌合したロッド１６４は、スプリング受け１９１を介して伝えられるスプリング１９２の不勢力に対抗して上方へ移動する。ロッド１６４が上方へ移動することにより、図４のようにステム１６１がロッド１６４から解放されるため、ダイアフラム弁体１５３がその弾性によってステム１６１を持ち上げるようにして弁座１５５から離間して開弁する。この状態でハンドル１７２から手を離せば、サブハンドル１７３を介したスプリング１７７の不勢力により、ハンドル１７２は上方へ移動し、図３の状態になる。

また、誤動作防止手動弁２にはハンドル１７２に施錠孔１９５が設けられている。施錠孔１９５に例えば南京錠を取り付けることにより、ハンドルロッド１６６と南京錠が干渉し、ハンドル１７２を押し下げることが出来なくなる。そのため、弁部の閉弁状態あるいは開弁状態を確実に維持することができる。

よって、本実施形態の誤動作防止手動弁２によれば、弁の開閉を操作するための回転可能なハンドル１７２と、ハウジング１７１側に螺設されて前記ハンドル１７２の回転軸に沿って上下方向に移動可能なハンドルロッド１６６およびロッド１６４と、ハンドル１７２からロッド１６４にかけて回転を伝達して螺進するハンドルロッド１６６を上下方向に運動させるサブハンドル１７３と、ロッド１６４の上下運動によってダイアフラム弁体１５３が弁座１５５に対して当接離間する弁部と、ハンドル１７２の回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、ハウジング１７１に対して回らないように設けられるスプリングピン１７５と、ハンドル１７２に設けられスプリングピン１７５が挿入されるカム溝１７２ａと、ハンドル１７２と一体であってスプリング１７７によって付勢されるサブハンドル１７３とからなるロック機構を有するので、オペレータがロック解除動作を行わない限り開閉することがなくなった。従って、誤動作防止手動弁２を集積弁の一部として搭載した場合、他の弁の開閉を操作する際に誤ってこの誤動作防止手動弁２を開閉させることがなくなった。
そして、本実施形態の誤動作防止手動弁２は、オペレータがハンドル１７２を押し下げるだけでロックを解除することができ、開閉位置では手を離すだけでスプリング１７７によってロック状態になる。従って、特別な工具を用いることなく、しかも片手でできる非常に操作性の良いものとなった。
また、ハンドル１７２のカム溝１７２ａのロック解除部分１７２ｃは実際に開閉弁状態になる位置よりも余裕をみてその長さを形成している。従って、ハンドル１７２を回転しきった状態でハンドル１７２を押し下げるのを解除させると、弁部は確実に開閉弁状態になるものとなった。その開閉弁状態は、施錠孔１９５に例えば南京錠を取り付けることにより確実に維持することができるようになった。
さらに、ハンドルロッド１６６を螺進させることにより、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

また、本実施形態の誤動作防止手動弁２によれば、さらにスプリングピン１７５は、ハウジング１７１の径方向に対をなしてハウジング１７１に固定された平行ピンであり、カム溝１７２ａは下方に開口する略コの字型で形成され、サブハンドル１７３はハンドルロッド１６６と上下方向においては遊離できるものであるので、オペレータがロック解除動作を行わない限り開閉することがなくなった。従って、誤動作防止手動弁２を集積弁の一部として搭載した場合、他の弁の開閉を操作する際に誤ってこの誤動作防止手動弁２を開閉させることがなくなった。
そして、本実施形態の誤動作防止手動弁２は、オペレータがハンドル１７２を押し下げるだけでロックを解除することができ、開閉位置では手を離すだけでスプリング１７７によってロック状態になる。従って、特別な工具を用いることなく、しかも片手でできる非常に操作性の良いものとなった。
また、ハンドル１７２のカム溝１７２ａのロック解除部分１７２ｃは実際に開閉弁状態になる位置よりも余裕をみてその長さを形成している。従って、ハンドル１７２を回転しきった状態でハンドル１７２を押し下げるのを解除させると、弁部は確実に開閉弁状態になるものとなった。その開閉弁状態は、施錠孔１９５に例えば南京錠を取り付けることにより確実に維持することができるようになった。
さらに、ハンドルロッド１６６を螺進させることにより、ゆっくりとした開閉弁の動作を実現することが可能になった。

また、本実施形態の誤動作防止手動弁２によれば、さらにハンドルロッド１６６とロッド１６４は上下方向に嵌合および遊離するものであるので、弁座１５５にはスプリング１７７の付勢力のみが加わり弁座１５５が破損するおそれがなくなった。

図１０乃至図１３は、第３実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図である。このうち図１０及び図１１は開弁状態を示しており、更に図１０はロック状態を示し、図１１はロック解除状態を示している。また図１２及び図１３は閉弁状態を示しており、更に図１２はロック状態を示し、図１３がロック解除状態を示している。
この誤動作防止手動弁３は、入力側流路１１及び出力側流路１２が形成されたバルブボディ１０に弁部が構成され、ハンドル３１を回転させてセンターロッド２１を上下させることによって弁の開閉を操作するものである。

誤動作防止手動弁３は、集積弁の一部を構成するように、そのバルブボディ１０が不図示のベースブロック上に搭載可能なブロック体であって、入力側流路１１及び出力側流路１２が下面にポートをあけて穿設されている。バルブボディ１０の上方に開設された凹部には、その底部にダイアフラム１３が入れられ、そのダイアフラム１３下の空間は入力側流路１１と出力側流路１２とが連通する弁室１４として構成されている。入力側流路１１は、弁室１４の中央に設けられた弁座１５の内側の弁孔１６に接続されており、出力側流路１２は、弁座１５外側の弁室１４に直接接続されている。

このバルブボディ１０には、上方から筒状のハウジング２２が差し込まれ、ホルダナット２３の締め付けによってそのハウジング２２が一体になっている。このとき、ダイアフラム１３は、ハウジング２２に周縁部分が押さえ付けられ、弁室１４は、流体がセンターロッド２１側へ漏れ出ないように気密な状態になっている。センターロッド２１は、このハウジング２２を上方に突き抜け、軸芯に沿って上下方向に移動できるように挿入されている。そして、このセンターロッド２１は、下端にフランジ部が形成され、そこにはハウジング２２内に装填されたスプリング２４が当てられている。従って、センターロッド２１は、スプリング２４によって常に下方へ付勢され、その球面状の下端面でダイアフラム１３を弁座１５に押し付けるようになっている。

次に、ハウジング２２にはバネ受け３２がネジ止めされ、その上方からバネ受け３２の凹部にロックプレート３３の凸部が嵌まり込んでいる。ロックプレート３３は、ハウジング２２の外周を上下に摺動可能であり、特にバネ受け３２に突設された回止めピン３４によって回転が制限される一方、上下方向の移動が案内されている。また、バネ受け３２との間にはスプリング３５が設けられ、ロックプレート３３が常に上方に付勢されている。そのため、ロックプレート３３の上端は、上方に配置されたハンドル３１の下端面に突き当てられているが、そのハンドル３１には、下端面からロックピン３６が下方に突設され、ロックプレート３３のロック穴３７に差し込まれるようになっている。

ハンドル３１内には、カム２５がネジ止めされ、その上方には一対のラジアルベアリング２６，２６が、下方にはスラストベアリング２７が配置されている。カム２５は、図１９乃至図２１に示したカム２０５と同様に構成され、中心にセンターロッド２１が差し込まれる円筒状のものであり、その上面には一対のラジアルベアリング２６，２６が転がる波形の転動面２３５が形成されている。そして、波形の転動面２３５には、一対のラジアルベアリング２６，２６がはまり込んで位置決めされる、高い位置の上溝２３３，２３３と低い位置の下溝２３４，２３４とが形成されている。

一対のラジアルベアリング２６，２６は、センターロッド２１を貫通した平行ピン２８の両端に取り付けられ、軸芯を中心にして１８０度ずれた位置に対称的に配置されている。ハンドル３１の操作によって回転するカム２５に対し、ラジアルベアリング２６，２６は、回転しないセンターロッド２１によって一定の位置で転動するようになっている。すなわち、センターロッド２１にはスラストベアリング２７の位置に平行ピン２９が固定され、ハウジング２２から突き出た部分に形成された溝３０内に入り込んでいる。これによってカム２５の回転は、平行ピン２９に止められてセンターロッド２１には伝わらないようになっている。

次に、本実施形態の誤動作防止手動弁３の作用について説明する。この誤動作防止手動
弁３は、開弁又は閉弁のいずれの場合でも通常は図１０及び図１２に示すようにロック状態になっている。すなわち、ロックバネ３５に付勢されたロックプレート３３がハンドル３１に突き当てられ、そのハンドル３１の回転が禁止されて誤動作防止状態になっている。つまり、ロックプレート３３には不動の案内ピン３４が差し込まれているため回転が禁止され、更にその回転が禁止されたロックプレート３３のロック穴３７に入り込んだロックピン３６がハンドル３１に固定されているため、そのハンドル３１の回転も禁止される。
従って、オペレータがこの誤動作防止手動弁３の開閉を操作する以外は、ロックバネ３５によって常にこの状態が保たれているため、隣の手動弁の開閉を操作する際に誤ってハンドル３１が回ってしまうことはなく、弁の開閉が切り換えられてしまうこともない。

一方、オペレータがこの誤動作防止手動弁３の開閉を操作する場合には、図１１及び図１３に示すようにロックプレート３３をロックバネ３５の付勢力に抗して押し下げる。ここで、図１４は、誤動作防止手動弁３の上方を示した斜視図であり、図１４（ａ）はロック状態を示し、図１４（ｂ）はロック解除状態を示している。
例えばオペレータは、図１４（ａ）に示す状態のハンドル３１を手で覆うようにして握り、指先でロックプレート３３を下方に押す。すると図１４（ｂ）に示すようにロックプレート３３が下降してハンドル３１から下方に突設されたロックピン３６が、ロックプレート３３のロック穴３７から外れる。これによってロックが解除されるため、オペレータはロックプレート３３を押し下げたままハンドル３１を９０度回転させる。

ハンドル３１を９０度回転させたロックピン３６の位置には、ロックプレート３３に別のロック穴３７が形成されている。そのため、ロックプレート３３の押えを外すと、ロックバネ３５に押し上げられたロックプレート３３は、そのロック穴３７にロックピン３６が入り込んで再びロック状態となる。こうして本実施形態の誤動作防止手動弁３では、ハンドル３１を９０度回転させることにより弁の開閉が操作できるが、その開閉いずれの状態においてもロック状態となるようになっている。

誤動作防止手動弁３における弁の開閉は、次のような動作によって行われる。先ず、図１０及び図１１に示す状態の誤動作防止手動弁３は、ラジアルベアリング２６，２６がカム２５の上溝２３３，２３３（カム２５に関し、適宜、図１９乃至図２１に記載された同じ構成のカム２０５を参照）にあるため、センターロッド２１がスプリング２４の付勢力に抗して持ち上げられている。そのため、ダイアフラム１３は図示するように上方に撓んで弁座１５から離間し、誤動作防止手動弁３は開弁状態になっている。そこで、前述したようにロックを解除してハンドル３１を回転させるとカム２５も同時に回転し、上溝２３３，２３３から外れたラジアルベアリング２６，２６が転動面２３５を転がる。

そして、ラジアルベアリング２６，２６は下溝２３４，２３４にはまり込み、図１２及び図１３に示すように低い位置に移る。このとき。センターロッド２１がスプリング２４によって下方へ付勢され、その付勢力によってダイアフラム１３が弁座１５に押し付けられる。こうして弁孔１６がダイアフラム１３によって遮断され、誤動作防止手動弁３は閉弁状態になる。また、その状態から逆にハンドル３１が回転されると、スプリング２４の付勢力に抗してセンターロッド２１が引き上げられ、再び図１０及び図１１に示すようにダイアフラム１３が解放されて上方に撓み、誤動作防止手動弁３は開弁状態になる。

以上、本実施形態の誤動作防止手動弁３では、通常、ロックバネ３５の付勢力によって、回転が制限されたロックプレート３３にロックピン３６を差し込んでロック状態になるように構成したので、誤動作によって弁が開閉してしまうことがなくなった。従って、誤動作防止手動弁３を集積弁の一部として搭載した場合に、他の弁の開閉を操作する際、誤ってこの弁を開閉させることがなくなった。
そして、本実施形態の誤動作防止手動弁３は、オペレータがハンドル３１を握った手の
指先でロックプレート３３を押し下げるだけでロックを解除することができ、開閉位置ではロックバネ３５によってロックプレート３３が押し上げられてロック状態になる。従って、特別な工具を用いることなく、しかも片手でできる非常に操作性の良いものである。

続いて、本発明に係る誤動作防止手動弁の第４実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。図１５は、本実施形態の誤動作防止手動弁４を示した断面図である。誤動作防止手動弁４は、ロック機構を除く弁構造などは前記第３実施形態のものと同様に構成されているため、同じ構成については同一の符号付して詳細な説明は省略する。
誤動作防止手動弁４のロック機構は、先ず、ロックプレート４１がハウジング２２にネジ止めされて固定されている。ロックプレート４１にはロック孔４２が穿設され、そこにハンドル４３に差し込まれたロックピン４４が挿入されるようになっている。

ロックピン４４は、ハンドル４３を貫通し、そのハンドル４３内に装填されたロックバネ４５によって下方に付勢されている。従って、ロックピン４４は、ハンドル４３の下端面から突き出し、ロックプレート４１のロック孔４２内に差し込まれているため、ハンドル４３は、通常、回転が禁止された状態に構成されている。
そこで、本実施形態の誤動作防止手動弁４の場合、弁を開閉させるにはロックピン４４を引っ張り上げてロックプレート４１のロック孔４２から抜く。これによりハンドル４３の回転が自由になる。そのため、前述したようにハンドル４３を回転すれば、カム２５によってラジアルベアリング２６，２６の位置が上下するのに合わせてセンターロッド２１が上下し、これによりダイアフラム１３が弁座１５に対して当接・離間して弁の開閉が行われる。

よって、本実施形態の誤動作防止手動弁４によれば、ロックプレート４１のロック孔４２にロックピン４４を差し込む構成のロック機構を備えるので、前記第３実施形態と同様、オペレータがロック解除動作を行わなければ、誤動作によって開閉することがなくなった。従って、誤動作防止手動弁４を積弁の一部として搭載した場合に、誤ってこの弁を開閉させてしまうことがなくなった。
そして、本実施形態の誤動作防止手動弁４は、オペレータがハンドル４３を握った手の指先でロックピン４４を摘んで引っ張り上げてロックを解除することができ、開閉位置ではロックバネ４５によってロックプレート３３が押し上げられてロック状態になる。従って、特別な工具を用いることなく、しかも片手でできる非常に操作性の良いものとなった。

続いて、本発明に係る誤動作防止手動弁の第５実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。図１６は、本実施形態の誤動作防止手動弁５を示した外観図であり、（ａ）〜（ｄ）にかけて開閉操作状態を示している。ただし、本実施形態の誤動作防止手動弁５は、前記第１乃至第４実施形態の誤動作防止手動弁と同様に誤作動を防止することを目的としたものであるが、回転を禁止するロック機構を備えるものではない。
この誤動作防止手動弁５は、その開閉機構が前記第５実施形態のものと同様に構成され、上方に突き出たサブロッド９１を回転させると、その回転が中の螺設されたロッドにも伝えられる。そして、そのロッドが上下することによりステムを介してダイアフラムを押圧又は解放することによって弁の開閉が行われる。

サブロッド９１には、径方向に貫いたピン９２によって、図１６（ｂ）に示すような半円形状のハンドル９３がピン結合され、そのハンドル９３は、図１６（ｂ）（ｃ）に示すように起立した状態と、図１６（ａ）（ｄ）に示すように倒伏した状態とに切り換えられるようになっている。特に、ハンドル９３には、不図示のバネによって倒伏方向に付勢力が作用しており、弁の開閉操作時以外には倒伏した状態になるように構成されている。
一方、ハウジング９５には、その上端面にハンドル９３の回転を禁止する突起部９５ａが形成されている。突起部９５ａは、サブロッド９１を中心とした９０度の角度の範囲に設けられており、ハウジング９５の上端面においてハンドル９３の回転領域は９０度になっている。つまり、誤動作防止手動弁４は、ハンドル９３をサブロッド９１を中心に９０度回転させることにより弁の開閉が行われる。

そこで、この誤動作防止手動弁５を集積弁の一部として搭載した場合、通常、ハンドル９３は図１６（ａ）に示すように倒れた状態になっているので、他の弁の開閉を操作する際に誤ってハンドル９３が回ってしまうようなことはない。一方、誤動作防止手動弁４を開弁状態から閉弁状態へ切り換える場合には、図１６（ａ）に示すように倒れた状態のハンドル９３を図１６（ｂ）に示すように立てる。そして、そのハンドル９３を摘んで図１６（ｃ）に示すように９０度回転させる。このときハンドル９３は突起部９５ａによってそれ以上回転しない。サブロッド９１が回転すれば、その回転がハウジング９５内のロッドに伝達されて弁が閉じられる。そして、オペレータが手を離せば、図１６（ｄ）に示すように、ハンドル９３がバネによって自動的に倒され、他の弁の開閉を操作する際に誤ってハンドル
９３を回してしまうようなことはない。

よって、本実施形態の誤動作防止手動弁５によれば、倒伏可能なハンドル９３によってサブロッド９１を回転させる構成にしたので、この誤動作防止手動弁５を積弁の一部として搭載した場合に、他の弁の開閉を操作する際にでも誤ってこの誤動作防止手動弁２を開閉させることがなくなった。
そして、本実施形態の誤動作防止手動弁５は、オペレータが立てたハンドル９３を摘んで弁の開閉を操作するので、特別な工具を用いることなく、しかも片手でできる非常に操作性の良いものとなった。
また、ハンドル９３は、倒伏可能であり、常時倒れた状態になっているので、弁の全体高さを低くしてコンパクトなものとすることができた。

以上、本発明の誤動作防止手動弁について、第１乃至第５実施形態を図面を示して説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

第１実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図である。第１実施形態の誤動作防止手動弁を構成するサブハンドルを示した斜視図である。第２実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に開弁時のロック状態を示した図である。第２実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に開弁時のロック解除状態を示した図である。第２実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に閉弁時のロック解除状態を示した図である。第２実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に閉弁時のロック状態を示した図である。第２実施形態の誤動作防止手動弁の上面図である。第２実施形態のロック機構の概要図である。第２実施形態のハンドルの側面図である。第３実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に開弁時のロック状態を示した図である。第３実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に開弁時のロック解除状態を示した図である。第３実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に閉弁時のロック状態を示した図である。第３実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図であり、特に閉弁時のロック解除状態を示した図である。第３実施形態の誤動作防止手動弁のハンドル部分を示した斜視図である。第４実施形態の誤動作防止手動弁を示した断面図である。第５実施形態の誤動作防止手動弁を示した外観図である。集積弁を構成する従来の手動弁を示した閉弁時の断面図である。集積弁を構成する従来の手動弁を示した開弁時の断面図である。手動弁のロッドを上下させるカムを示した平面図である。手動弁のロッドを上下させるカムを示した断面図である。手動弁のロッドを上下させるカムを示した展開図である。従来のロック機構付きの手動弁を示した図である。

符号の説明

１〜５誤動作防止手動弁
５０、１５０バルブボディ
５１、１５１入力側流路
５２、１５２出力側流路
５３、１５３ダイアフラム弁体
５５、１５５弁座
６１、１６１ステム
６４、１６４ロッド
７１，１７１ハウジング
７２、１７２ハンドル
７３，１７３サブハンドル
６６回転伝達ピン
７５平行ピン
１５８ベース
１６２ロッドガイド
１６６ハンドルロッド
１７５スプリングピン

Claims

弁の開閉を操作するための回転可能なハンドルと、ハウジング側に螺設されて前記ハンドルの回転軸に沿って上下方向に移動可能なロッドと、前記ハンドルから前記ロッドにかけて回転を伝達して螺進するロッドを上下方向に運動させる動力伝達機構と、前記ロッドの上下運動によって弁体が弁座に対して当接離間する弁部と、前記ハンドルの回転を禁止するロック機構とを有する誤動作防止手動弁において、
ハウジングに固定された回転止部材と、
前記ハンドルに設けられ前記回転止部材が挿入されるカム溝と、
前記ハンドルと一体であって付勢部材によって付勢される前記動力伝達機構と、
からなる前記ロック機構を有することを特徴とする誤動作防止手動弁。
請求項１に記載する誤動作防止手動弁において、
前記回転止部材は、前記ハウジングの径方向に対をなして前記ハウジングに固定された平行ピンであり、前記カム溝は下方に開口する略コの字型で形成され、前記動力伝達機構は前記ロッドと上下方向においては遊離できるものであることを特徴とする誤動作防止手動弁。
請求項１に記載する誤動作防止手動弁において、
前記ロッドは第１ロッドと第２ロッドから構成され、
前記第１ロッドと前記第２ロッドは軸方向に嵌合および遊離するものであることを特徴とする誤動作防止手動弁。