JP6578268B2 - 流体制御弁 - Google Patents
流体制御弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6578268B2 JP6578268B2 JP2016227158A JP2016227158A JP6578268B2 JP 6578268 B2 JP6578268 B2 JP 6578268B2 JP 2016227158 A JP2016227158 A JP 2016227158A JP 2016227158 A JP2016227158 A JP 2016227158A JP 6578268 B2 JP6578268 B2 JP 6578268B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- valve body
- valve
- fluid control
- control valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Description
また、バルブを小型化すると、設置面積が限定され、バネの線径やバネの径の自由度がなくなる。その理由は、設置面積が限定されると、バネの線径を細くせざるをえず、また、バネの径が小さいものを用いるしかないためである。そのため、1つのバネに加わる応力が上がることになり、バネの耐久性に問題が生じる。特に、半導体製造プロセスでは、危険なガスを扱うため、半導体製造用の流体制御弁の閉弁に必要なシール力の確保や弁の性能、耐久性等は大きな課題である。
(1)操作流体の圧力によってピストンを摺動させ、弁体を弁座に当接または離間させる流体制御弁において、弁体を駆動する弁体ピストン、及び弁体ピストンを駆動するための2以上の駆動ピストンを同軸上に有すること、駆動ピストンの各々には、弁体が弁座に当接する方向に付勢する1つの圧縮バネが同軸上に取り付けられていること、弁体ピストンは、ピストン部と、弁体ロッドを一体的に成形したものであること、弁体ピストンのピストン部の下面の外周部には、弁体を弁座から離間する方向に付勢する復帰バネが圧縮バネと同軸上に取り付けられていること、弁体ピストンには、3個の摺動リングが取り付けられていること、復帰バネの付勢力と操作流体の圧力から受ける駆動力との合計は、3個の摺動リングの始動抵抗よりも大きな力であること、を特徴とする。
3個のOリングによる始動抵抗は、本実施例のようなアクチュエータ部の外径が28.5mm程度を有する流体制御弁では、12N程度であり、使用状態によっては、始動抵抗が上昇して、Oリングの始動抵抗は、70N程度になることを実験により確認している。
したがって、復帰バネのバネ力は、70Nより少し大きく設定している。
(3)(1)または(2)に記載の流体制御弁において、復帰バネの付勢力を、圧縮バネの各々に、均等に付加していること、を特徴とする。
(4)(1)乃至(3)に記載のいずれか1つの流体制御弁において、圧縮バネは、同一形状のものであること、を特徴とする。
(1)操作流体の圧力によってピストンを摺動させ、弁体を弁座に当接または離間させる流体制御弁において、弁体を駆動する弁体ピストン、及び弁体ピストンを駆動するための2以上の駆動ピストンを同軸上に有すること、駆動ピストンの各々には、弁体が弁座に当接する方向に付勢する1つの圧縮バネが同軸上に取り付けられていること、弁体ピストンには、弁体を弁座から離間する方向に付勢する復帰バネが圧縮バネと同軸上に取り付けられていること、を特徴とするので、弁体ピストンに対して、復帰バネが常に弁体が弁座から離間する方向に力を与えているので、流体制御弁が長時間停止され、Oリングの始動抵抗が上昇した状態で始動されても、弁体ピストンの始動が遅れることがなく、金属弁体やダイアフラム弁が開くのに遅れが生じることがない。
(流体制御弁の構成)
流体制御弁1は、流体を制御する弁部2と、弁部2に駆動力を与えるアクチュエータ部3を備える。流体制御弁1は、アクチュエータ部3を、アダプタ15を介してボディ14に連結する。流体制御弁1は、円柱状の外観を構成する。
ボディ14の上面は円筒形状であり、円筒形状の内周面には、雌ねじ部14aが形成されている。ボディ14の中央部には、弁座部材17が固設され、弁座部材17の上面には弁座17aが形成されている。弁座17a内の弁孔を介して入口流路14bと出口流路14cが連通している。ボディ14の上部の雌ねじ部14aには、アダプタ15の外周面に形成された雄ねじがねじ連結されている。
金属弁体19は、ステム24に押圧されることにより、弁座17aに対して当接する。また、ステム24の押圧が解除されることにより、薄板の金属弁体19の弾性力により、金属弁体19は、弁座17aから離間する。
金属弁体19が弁座17aに当接すると、入口流路14bと出口流路14cは遮断され、金属弁体19が弁座17aに離間すると、入口流路14bと出口流路14cは連通する。
内装部品23Aの下方内部には、外装部材22の内径寸法よりも小さな開口部が形成されている。外装部材22の上端には、キャップ20が取り付けられ、下端にはアダプタ15が取り付けられている。これにより、アダプタ15とキャップ20との間で、内装部品23A〜23Cが挟み込まれて保持されている。内装部品23A〜23Cは、外装部材22の内部において重ね合わされた状態で固定され、弁体ピストン10を収納する弁体ピストン室16、及び第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bを各々収納する第1〜第2駆動ピストン室13A〜13Bを形成する。
弁体ピストン10、及び第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bは、同軸上に保持されている。同軸上とは、軸心が同じであることをいう。
同様に、第2駆動ピストン11Bには、第2駆動圧縮バネ12Bの一端が当接されている。第2駆動圧縮バネ12Bの他端はキャップ20の下面に当接している。第2駆動ピストン11Bは、第2駆動圧縮バネ12Bにより、金属弁体19が弁座17aに当接する方向に付勢されている。
2個の第1、第2駆動圧縮バネ12A、12B(以下、12A〜12Bと記載。)は、同軸上に取り付けられている。第1〜第2駆動圧縮バネ12A〜12Bは、同一形状、かつ同一バネ力を有するものである。
第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bは、駆動ピストン室13に摺動可能に保持されると共に、第1〜第2駆動ピストン室13A〜13Bの各々を、加圧室13aと背圧室13bとに区画している。背圧室13bには、第1〜第2駆動圧縮バネ12A〜12Bが、第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bを弁座17aに近付く方向に付勢した状態で、第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bと同軸上に配置されている。
また、ピストン11の内部には、内部流路11dが形成されている。内部流路11dの下方には、加圧室13aと連通するための流路11fが形成されている。流路11fは、内部流路11dと連通している。すなわち、キャップ20の内周面に形成された給排気ポート20aは、ピストン11の内部流路11d、流路11fを介してピストン11の加圧室13aと連通する。
第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bは、図1に示すように、ピストンロッド11bの外周面にOリング32A、32Bが取り付けられ、装着溝11cにOリング31A、31Bが取り付けられている。
また、弁体ピストン10の内部には、内部流路10dが形成されている。内部流路10dの下方には、加圧室13aと連通するための流路10fが形成されている。流路10fは、内部流路10dと連通している。すなわち、キャップ20の内周面に形成された給排気ポート20aは、弁体ピストン10の内部流路10d、流路10fを介して弁体ピストン10の加圧室13aと連通している。
弁体ピストン10には、駆動圧縮バネ12は、取り付けられていない。弁体ピストン10の下面には、復帰圧縮バネ21の一端が当接している。復帰圧縮バネ21の他端は、内装部品23Aの上面に当接している。復帰圧縮バネ21により、弁体ピストン10は、金属弁体19が、弁座17aから離間する方向に付勢されている。
また、第1〜第2駆動圧縮バネ12A〜12Bは、同一形状であるため、同程度の付勢力を有する(F1=F2)。すなわち、1つのバネに必要な付勢力は、2個の駆動ピストンを重ねる場合、(F+FB)/2=F1=F2となる。よって、各々のバネの付勢力を下げることができる。すなわち、1つのバネに加わる応力を下げることができ、バネの耐久性が向上する。また、バネの設計の自由度が高まる。
次に、実施形態に係る流体制御弁1の動作を説明する。
流体制御弁1は、給排気ポート20aにエアが供給されないとき、第1〜第2駆動圧縮バネ12A〜12Bの弾性力によって、復帰圧縮バネ21の抗力に反して弁体ピストン10が弁座17a方向へ押下げられ、ステム24を介して金属弁体19を弁座17aに当接させる。そのため、入口流路14bに供給された制御流体は、弁座17aから出口流路14cへ流れない。
これにより、弁体ピストン10は上昇する。弁体ピストン10が上昇すると、金属弁体19の反発力により、ステム24は上昇し、金属弁体19が弁座17aから離間する。この状態で入口流路14bに制御流体を供給すると、制御流体が入口流路14bから弁座17a内の弁孔を介して出口流路14cへ流れる。
流体制御弁1の停止した状態が長時間続いた場合、シール部材であるOリングと壁面との間で始動抵抗が上昇する恐れがある。Oリングが取り付けられている箇所は摺動部であり、摺動抵抗を減らすために潤滑油が塗布されているが、長時間の停止状態が続くと滑りが悪くなり、ゴム製のOリングとの間で始動抵抗の上昇が発生するのである。なお、始動抵抗の上昇の原因の一例としては、固着の発生がある。
第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bには、各々2個のOリング31A〜31B、32A〜32Bが取り付けられている。弁体ピストン10には、3個のOリング33、34、35が取り付けられている。したがって、Oリングで始動抵抗が上昇した場合、駆動ピストン11で発生した場合に比較して、弁体ピストン10で始動抵抗が上昇した場合のほうが、始動抵抗は、1.4倍大きいと考えられる。
仮に復帰圧縮バネ21が取り付けられていない場合を想定すると、弁体ピストン10において、エア圧による駆動力が80%と低く、始動抵抗が1.4倍と大きいため、第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bと比較して、動きが遅れる恐れが大きい。特に、シリンダの内径が小さくなると、受圧面積により操作流体圧力から受ける駆動力に対し始動抵抗の影響度合いが大きくなる。
本出願人は、特許文献1では、6個の駆動ピストンにより流体制御弁を構成していた。これでは、上記問題があるため、始め図4に示すように、弁体ピストンに駆動圧縮バネも、復帰圧縮バネも取り付けない構成の流体制御弁50を考えた。
しかし、図4の流体制御弁50では、長時間停止した後では、弁体ピストンの動きに少し遅れが発生することが懸念された。それ故に、安定性を確保するため、図1の流体制御弁1を考え出したのである。
通常時の3個のOリングによる始動抵抗は、本実施例のようなアクチュエータ部3の外径が28.5mm程度を有する流体制御弁では、Oリング33は5N、Oリング34、35は3.3Nで合計11.6N程度であり、始動抵抗が上昇した場合には、3個のOリングの始動抵抗は、各6倍の70N程度になることを実験により確認している。したがって、復帰バネのバネ力は、70Nより少し大きく、100Nに設定している。
本実施形態では、復帰圧縮バネ21の付勢力FB=100Nを、第1〜第2駆動圧縮バネ12A〜12Bに均等に負担させている。すなわち、復帰圧縮バネ21がなかった場合に、第1〜第2駆動圧縮バネ12A〜12Bのバネ力は、150Nとしていたが、本実施例では、150N+100N/2=200Nとしている。
第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bを個別にみると、Oリング31、32に始動抵抗の上昇がない場合でも始動抵抗が8.3Nあると、エア圧による力210Nでは、駆動圧縮バネ力200Nと始動抵抗8.3Nの合力に対して余力が小さく駆動し難い状態となっている。しかし、第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bは、駆動時には、弁体ピストン10の推力をプラスで受けるため、動き出しに遅れが発生する恐れがない。
さらに、弁体ピストン10が動けば、第1駆動ピストン11Aを押すため、第1駆動ピストン11Aの動きに遅れが発生する可能性は低くなる。
同様に、第2駆動ピストン11Bには、弁体ピストン10と第1駆動ピストン11Aの押す力が加わるため、第2駆動ピストン11Bの動きに遅れが発生する可能性は低くなる。
本出願人は、数々の実験を行うことにより、駆動圧縮バネ12をそれぞれ1つずつ取り付けた場合、確実に一定のシール力を確保し、さらに駆動圧縮バネ12の耐久性を向上させることがわかった。
(1)操作流体の圧力によってピストンを摺動させ、金属弁体19を弁座17aに当接または離間させる流体制御弁1において、金属弁体19を駆動する弁体ピストン10、及び弁体ピストン10を駆動するための2以上の第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bを同軸上に有すること、第1〜第2駆動ピストン11A〜11Bの各々には、金属弁体19が弁座17aに当接する方向に付勢する1つの駆動圧縮バネ12A〜12Bが同軸上に取り付けられていること、弁体ピストン10には、金属弁体19を弁座17aから離間する方向に付勢する復帰圧縮バネ21が、駆動圧縮バネ12A〜12Bと同軸上に取り付けられていること、を特徴とするので、弁体ピストン10に対して、復帰圧縮バネ21が常に金属弁体19が弁座17aから離間する方向に力を与えているので、流体制御弁1が長時間停止され、3個のOリング33、34、35が始動抵抗が上昇した状態で始動されても、弁体ピストン10の始動が遅れることがなく、金属弁体19が開くのに遅れが生じることがない。
例えば、本実施形態では2つの駆動ピストン11を重ねたが、駆動ピストン11はいくつ重ねても良い。
例えば、本実施形態では操作流体としてエアを用いているが、操作流体は不活性ガスでも良い。
例えば、本実施形態では、操作流体圧力を0.4MPaに設定しているが、0.4〜0.6MPaであれば良い。
例えば、本実施形態では、入口流路は出口流路に、出口流路は入口流路になっても良い。
例えば、本実施形態では、アクチュエータ部3の外径が28.5mm程度と設定していたが、20mm以下、または1/2inch(12.7mm)以下、または10mm以下でも良い。
3 アクチュエータ部
10 弁体ピストン
11 駆動ピストン
11A〜11B 第1〜第2駆動ピストン
12 駆動圧縮バネ
12A〜12B 第1〜第2駆動圧縮バネ
13 ピストン室
15 アダプタ
17 弁座部材
17a 弁座
19 金属弁体
20 キャップ
21 復帰圧縮バネ
22 外装部材
23 内装部品
Claims (4)
- 操作流体の圧力によってピストンを摺動させ、弁体を弁座に当接または離間させる流体制御弁において、
前記弁体を駆動する弁体ピストン、及び前記弁体ピストンを駆動するための2以上の駆動ピストンを同軸上に有すること、
前記駆動ピストンの各々には、前記弁体が前記弁座に当接する方向に付勢する1つの圧縮バネが同軸上に取り付けられていること、
前記弁体ピストンは、ピストン部と、弁体ロッドを一体的に成形したものであること、
前記弁体ピストンの前記ピストン部の下面の外周部には、前記弁体を前記弁座から離間する方向に付勢する復帰バネが前記圧縮バネと同軸上に取り付けられていること、
前記弁体ピストンには、3個の摺動リングが取り付けられていること、
前記復帰バネの付勢力と操作流体の圧力から受ける駆動力との合計は、前記3個の摺動リングの始動抵抗よりも大きな力であること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1に記載の流体制御弁において、
前記弁体ピストンを摺動させるアクチュエータ部の外径が28.5mm以下であること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1または請求項2に記載の流体制御弁において、
前記復帰バネの付勢力を、前記圧縮バネの各々に、均等に付加していること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項3に記載のいずれか1つの流体制御弁において、
前記圧縮バネは、同一形状のものであること、
を特徴とする流体制御弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016227158A JP6578268B2 (ja) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 流体制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016227158A JP6578268B2 (ja) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 流体制御弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018084272A JP2018084272A (ja) | 2018-05-31 |
JP6578268B2 true JP6578268B2 (ja) | 2019-09-18 |
Family
ID=62238225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016227158A Active JP6578268B2 (ja) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 流体制御弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6578268B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5917112B2 (ja) * | 2011-11-30 | 2016-05-11 | 株式会社キッツエスシーティー | ダイヤフラムバルブ |
JP5982354B2 (ja) * | 2013-12-05 | 2016-08-31 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
JP6873991B2 (ja) * | 2016-06-21 | 2021-05-19 | Ckd株式会社 | 流体制御弁、及び流体制御弁製造方法 |
-
2016
- 2016-11-22 JP JP2016227158A patent/JP6578268B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018084272A (ja) | 2018-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109073099B (zh) | 流体控制阀 | |
JP2008002511A (ja) | エアオペレイトバルブ | |
US9995322B2 (en) | Multistage piston actuator | |
EP3658807B1 (en) | Fluid flow control apparatus for use with fluid valves | |
JP5973197B2 (ja) | ピストン式作動流体圧アクチュエータ、および制御弁 | |
US10036480B2 (en) | Clamped bonnet assembly for an axial flow valve and axial flow valve comprising same | |
US8813787B2 (en) | Single acting directional control valve | |
EP3008353B1 (en) | Actuator bushings having integral seals | |
JP4801375B2 (ja) | エアオペレイトバルブ | |
JP6578268B2 (ja) | 流体制御弁 | |
US20160091097A1 (en) | Pressure reducing valve | |
JP5982354B2 (ja) | 流体制御弁 | |
US10989317B2 (en) | Two-way valve | |
KR20170074350A (ko) | 피스톤 밸브 | |
EP3147548B1 (en) | Pneumatic valve | |
WO2015031730A1 (en) | Bellows valve with valve body cylinder adapter | |
JP6534842B2 (ja) | ダイアフラムバルブ、流体制御装置およびこれらを用いた半導体製造方法 | |
RU2461757C1 (ru) | Клапан управляемый | |
EP3680491A1 (en) | Control valve | |
JP2017089703A (ja) | ピストン機構 | |
JP2020034136A (ja) | アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180613 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190826 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6578268 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |