KR20150009138A - 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 검사 시 검사 중인 칩의 위치를 측정하여 모니터에 표시하기 위한 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 웨이퍼에 인접 배치되는 센서 및 스케일을 통해 검출되는 X, Y축 좌표 및 Z축의 회전 각도를 이용해 웨이퍼의 칩 위치 및 좌표를 판독하여 디스플레이하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법{Wafer Chip Navigation Apparatus and Method of the Same}
본 발명은 웨이퍼 검사 시 검사 중인 칩의 위치를 측정하여 모니터에 표시하기 위한 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 웨이퍼에 인접 배치되는 센서 및 스케일을 통해 검출되는 X, Y축 좌표 및 Z축의 회전 각도를 이용해 웨이퍼의 칩 위치 및 좌표를 판독하여 디스플레이하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 분야에서 웨이퍼는 반도체의 재료가 되는 얇은 원판으로, 실리콘(Si)이나 갈륨비소(GaAs), 사파이어(α-Al2O3) 등과 같은 단결정체를 슬라이싱 하여 둥근 판상으로 가공하여 제조된다. 기판(substrate)이라고도 불리는 웨이퍼는, 반도체 칩(Chip) 또는 LED 제조에 사용되기 때문에 표면의 결함이나 오염이 없어야 함은 물론, 고도의 평탄도가 요구된다. 이는 회로의 정밀도에 영향을 미치기 때문이다.
일반적으로 웨이퍼는 블레이드(Blade)나 레이저 커팅(Laser Cutting)을 이용하는 소윙(Sawing) 장비를 통해 절단되어 다수개의 반도체 칩이 된다. 웨이퍼 절단을 통해 반도체 칩이 되는 부분을 유효 칩이라고 하며, 웨이퍼를 절단하기 전에 상기 유효 칩 표면의 결합이나 오염 및 평단도를 측정하는 과정을 거치게 된다.
즉, 작업자가 현미경을 사용하여 웨이퍼의 칩 불량유무를 판정하기 위한 품질검사를 하는데, 현재는 검사 중인 칩의 위치를 육안으로 카운터 하여 칩의 위치를 파악해야 하기 때문에 불량 위치의 정확한 카운팅이 용이하지 않고, 불량 위치가 복수 개 발생할 경우 카운터 실수가 발생할 수 있는 문제점이 있었다.
따라서 이를 방지하기 위해 웨이퍼의 칩 위치를 자동으로 파악하여 디스플레이 함으로써 작업자가 웨이퍼 칩의 위치 파악을 용이하게 할 수 있는 기술의 개발이 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, XY면에 배치되며, 웨이퍼가 거치되는 스테이지의 X축 및 Y축에 센서와 스케일을 장착하고, Z축 방향 스테이지의 회전중심축(R축)에 센서와 스케일을 장착하여 웨이퍼의 위치 및 칩의 좌표를 디스플레이하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치는, 상면에 웨이퍼가 거치되며, X축과 상기 X축에 직교하는 Y축 상의 XY평면에 배치되는 스테이지; 상기 스테이지의 하면에 결합되며, 상기 X축 및 Y축에 직교하는 Z축 방향으로 회전 가능한 회전축; 상기 웨이퍼의 상면 상측에 배치되어 상기 웨이퍼의 X축 및 Y축 좌표를 검출하는 센서부; 를 포함한다.
이때, 상기 센서부는, 상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 마크; 상기 웨이퍼의 X축 거리 및 Y축 거리를 표시하는 스케일; 상기 마크와 상기 스케일을 인식하여 상기 기준점의 X축 및 Y축 좌표와 상기 기준점으로부터 이동된 거리를 검출하는 센서; 를 포함한다.
다른 실시 예로 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치는, 상기 상면에 웨이퍼가 거치되며, X축과 상기 X축에 직교하는 Y축 상의 XY평면에 배치되는 스테이지; 상기 스테이지의 하면에 결합되며, 상기 X축 및 Y축에 직교하는 Z축 방향으로 회전 가능한 회전축; 상기 웨이퍼의 측면에 배치되어 상기 웨이퍼의 X축 좌표를 검출하는 제1 센서부; 상기 웨이퍼의 측면에 배치되어 상기 웨이퍼의 Y축 좌표를 검출하는 제2 센서부; 상기 회전축에 배치되어 상기 웨이퍼의 회전 각도를 검출하는 제3 센서부; 를 포함한다.
특히, 상기 제1 센서부는, 상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 제1 마크; 상기 웨이퍼의 X축 거리를 표시하는 제1 스케일; 상기 제1 마크와 상기 제1 스케일을 인식하여 상기 기준점의 X축 좌표와 상기 기준점으로부터 이동된 거리를 검출하는 제1 센서; 를 포함하며, 상기 제2 센서부는, 상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 제2 마크; 상기 웨이퍼의 Y축 거리를 표시하는 제2 스케일; 상기 제2 마크와 상기 제2 스케일을 인식하여 상기 기준점의 Y축 좌표와 상기 기준점으로부터 이동된 거리를 검출하는 제2 센서; 를 포함하며,
상기 제3 센서부는, 상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 제3 마크; 상기 웨이퍼의 회전 각도를 표시하는 제3 스케일; 상기 제3 마크와 상기 제3 스케일을 인식하여 상기 웨이퍼의 회전 각도를 검출하는 제3 센서; 를 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법은, 웨이퍼의 상면 중 어느 한 포인트를 기준점으로 설정하여 상기 기준점의 제1 좌표(A)를 검출하는 단계; 상기 웨이퍼를 Z축 방향으로 소정 각도 회전 시킨 후 상기 기준점의 제2 좌표(B)를 검출하는 단계; 상기 웨이퍼를 Z축 방향으로 소정 각도 추가 회전 시킨 후 상기 기준점의 제3 좌표(C)를 검출하는 단계; 및 상기 제1 내지 제3 좌표(A, B, C)를 통해 상기 웨이퍼의 좌표 중심(O)을 산출하는 단계; 를 포함한다.
다른 실시 예로 본 발명의 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법은, 웨이퍼의 상면 중 어느 한 포인트를 기준점으로 설정하여 상기 기준점의 제1 좌표(a)를 검출하는 단계; 상기 웨이퍼를 Z축 방향으로 소정 각도(θ) 회전 시킨 후 상기 기준점의 제2 좌표(b)를 검출하는 단계; 및 상기 제1 좌표(a), 상기 제2 좌표(b) 및 상기 소정 각도(θ)를 통해 상기 웨이퍼의 좌표 중심(O)을 산출하는 단계; 를 포함한다.
또 다른 실시 예로 본 발명의 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법은, 웨이퍼의 상면 중 어느 한 포인트를 제1 기준점으로 설정하여 상기 제1 기준점의 제1 좌표(P1)를 검출하는 단계; 상기 웨이퍼 상면 중 다른 한 포인트를 제2 기준점으로 설정하여 상기 제2 기준점의 제2 좌표(P2)를 검출하는 단계; 및 상기 제1 좌표(P1)와 상기 회전축의 회전중심축과의 제1 거리(d1)를 검출하는 단계; 상기 제2 좌표(P2)와 상기 회전축의 회전중심축과의 제2 거리(d2)를 검출하는 단계; 및 상기 제1 좌표(P1), 제2 좌표(P2), 제1 거리(d1) 및 제2 거리(d2)를 통해 좌표 중심(O)을 산출하는 단계; 를 포함한다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치 및 방법은, 웨이퍼의 칩 위치 및 좌표를 파악하여 모니터 상에 디스플레이하기 때문에 웨이퍼 품질 검사 시 작업자가 웨이퍼의 불량 칩 위치 파악이 용이하여 웨이퍼 품질 검사 시간이 줄어드는 장점이 있다. 또한, 웨이퍼의 불량 칩 카운터 오류를 최소화할 수 있어 웨이퍼 품질 검사 시간이 줄어들고, 품질 검사 정확도가 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 좌표 설정 장치 개략사시도
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 개략평면도
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 개념도
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 개략평면도
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 개념도
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 좌표 설정 장치 개략사시도 및 처리부 블록도
도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 개략평면도
도 8은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 부분평면도 (P1 포인트 맞춤 시)
도 9는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 좌표 설정 방법 부분평면도 (P2 포인트 맞춤 시)
웨이퍼에 형성된 칩의 위치 또는 좌표를 측정하기 위해서는 웨이퍼의 좌표 중심을 산출하고, 상기 좌표 중심을 기준으로 좌표를 설정하는 것이 보편적이다. 따라서 본 발명의 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치는 상기 좌표 중심을 산출함에 그 특징이 있으며, 웨이퍼의 좌표 중심을 산출하는 장치 및 방법에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 이하, 상기와 같은 본 발명의 일실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
- 장치 실시 예 1
도 1에는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 좌표 설정 장치(100)의 개략사시도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 본 발명의 좌표 설정 장치(100)는 스테이지(110), 회전축(120) 및 센서부(130)를 포함하여 이루어진다. 이하 편의 상 공간을 X축과 상기 X축에 직교하는 Y축과 상기 X축 및 Y축에 직교하는 Z축으로 정의하여 설명하기로 한다.
스테이지(110)는 상면에 웨이퍼(W)가 거치되는 판상으로 이루어지며, XY평면상에 배치된다. 스테이지(110)는 사각의 판상으로 도시되어 있으나, 웨이퍼(W)가 거치될 수 있는 형상이면 어떠한 형상으로도 이루어질 수 있음은 자명하다.
회전축(120)은 스테이지(110)의 하면에 형성되며, Z방향을 따라 형성되는 원기둥 형상으로 이루어진다. 회전축(120)은 구동 수단에 의해 스테이지(110)를 방향을 회전축으로 하여 회전시키도록 구성된다.
센서부(130)는 웨이퍼의 좌표 중심을 설정하기 위한 핵심 구성으로, 웨이퍼(W)가 거치되는 스테이지(110)의 상면 상측에 구비된다. 센서부(130)는 마크, 스케일 및 센서로 구성된다. 마크는 웨이퍼 상에 기준점을 표시하기 위한 구성이며, 스케일은 웨이퍼 상의 상기 기준점으로부터 X축 및 Y축 이동 거리를 표시하기 위해 구성된다. 센서는 상기 마크 및 스케일을 인식하여 기준점의 좌표 검출 및 상기 기준점으로부터의 이동거리를 검출하기 위해 구성된다. 이하 상기와 같은 구성의 좌표 설정 장치(100)를 이용한 좌표 설정 방법의 세부 실시 예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
- 방법 실시 예 1
도 2에는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 좌표 설정 방법의 개략평면도가 도시되어 있다. 도 2a 에 도시된 바와 같이 우선 웨이퍼(W)의 X축 방향 일측과 Y축 방향 일측의 어느 한 점을 기준점으로 마킹한다. 일예로 도면상의 웨이퍼(W) 최하측 최좌측에 위치한 유효 칩의 하단 좌측 모서리부를 기준점으로 마킹할 수 있다. 마킹된 기준점의 좌표를 제1 좌표(A)로 정의하고 이를 검출한다. 다음으로 도 2b 에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)를 Z축 방향으로 소정 각도 회전 시킨 후 상기 기준점의 좌표를 제2 좌표(B)로 정의하고 이를 검출한다. 다음으로 도 2c 에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)를 Z축 방향으로 소정 각도 추가 회전 시킨 후 상기 기준점의 좌표를 제3 좌표(C)로 정의하고 이를 검출한다.
도 3에는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 좌표 설정 방법의 개념도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 검출된 제1 내지 제3 좌표(A, B, C)를 이용하여 제1 내지 제3 좌표(A, B, C)를 모두 포함하는 원을 통해 웨이퍼(W)의 좌표 중심(O)을 산출한다.
- 방법 실시 예 2
도 4에는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 좌표 설정 방법의 개략평면도가 도시되어 있다. 도 4a 에 도시된 바와 같이 우선 웨이퍼(W)의 X축 방향 일측과 Y축 방향 일측의 어느 한 점을 기준점으로 마킹한다. 마킹된 기준점의 좌표를 제1 좌표(a)로 정의하고 이를 검출한다. 다음으로 도 4b 에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)를 Z축 방향으로 소정 각도(θ) 회전 시킨 후 상기 기준점의 좌표를 제2 좌표(B)로 정의하고 이를 검출한다.
도 5에는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 좌표 설정 방법의 개념도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 검출된 제1 및 제2 좌표(a, b)와, 웨이퍼(W)의 회전각도(θ)를 이용하여 웨이퍼(W)의 좌표 중심(O)을 산출한다.
- 장치 실시 예 2
도 6에는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 좌표 설정 장치(200)의 개략사시도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 본 발명의 좌표 설정 장치(200)는 스테이지(210), 회전축(220), 제1 내지 제3 센서부(230, 240, 250) 및 처리부(300)를 포함하여 이루어진다. 이하 편의 상 공간을 X축과 상기 X축에 직교하는 Y축과 상기 X축 및 Y축에 직교하는 Z축으로 정의하여 설명하기로 한다.
스테이지(210)는 상면에 웨이퍼(W)가 거치되는 판상으로 이루어지며, XY평면상에 배치된다. 스테이지(210)는 사각의 판상으로 도시되어 있으나, 웨이퍼(W)가 거치될 수 있는 형상이면 어떠한 형상으로도 이루어질 수 있음은 자명하다.
회전축(220)은 스테이지(210)의 하면에 형성되며, Z방향을 따라 형성되는 원기둥 형상으로 이루어진다. 회전축(220)은 구동 수단에 의해 스테이지(210)를 방향을 회전축으로 하여 회전시키도록 구성된다.
제1 내지 제3 센서부(230, 240, 250)는 웨이퍼의 좌표 중심을 설정하기 위한 핵심 구성으로, 제1 및 제2 센서부(230, 240)는 웨이퍼(W)가 거치되는 스테이지(210)의 측면 외측에 구비된다.
제1 센서부(230)는 웨이퍼의 X축 좌표를 검출하기 위한 구성으로, 제1 센서부(230)는 제1 마크, 제1 스케일 및 제1 센서로 구성된다. 제1 마크는 웨이퍼 상에 기준점을 표시하기 위한 구성이며, 제1 스케일은 웨이퍼의 X축 거리를 표시하기 위해 구성된다. 제1 센서는 상기 제1 마크 및 제1 스케일을 인식하여 기준점의 좌표 검출 및 이동거리를 검출하기 위해 구성된다.
제2 센서부(240)는 웨이퍼의 Y축 좌표를 검출하기 위한 구성으로, 제2 센서부(240)는 제2 마크, 제2 스케일 및 제2 센서로 구성된다. 제2 마크는 웨이퍼 상에 기준점을 표시하기 위한 구성이며, 제2 스케일은 웨이퍼의 Y축 거리를 표시하기 위해 구성된다. 제2 센서는 상기 제2 마크 및 제2 스케일을 인식하여 기준점의 좌표 검출 및 이동거리를 검출하기 위해 구성된다.
제3 센서부(250)는 회전축(220)의 외면에 구비된다. 제3 센서부(250)는 웨이퍼의 회전 각도를 검출하기 위한 구성으로, 제3 센서부(250)는 제3 마크, 제3 스케일 및 제3 센서로 구성된다. 제3 마크는 웨이퍼 상에 회전 기준점을 표시하기 위해 구성된다. 제3 스케일은 웨이퍼의 회전 각도를 표시하기 위한 구성으로 회전축(220)의 둘레를 따라 환형으로 형성될 수 있다. 제3 센서는 상기 제3 마크 및 제3 스케일을 인식하여 회전 기준점의 좌표 검출 및 회전 각도를 검출하기 위해 구성된다.
처리부(300)는 제1 내지 제3 센서부(250)를 제어하고, 제1 내지 제3 센서부(250)로부터 검출된 신호를 판독하는 제어부(310)와, 작업자로부터 제어부(310)에 명령을 전달하도록 스위치부로 이루어진 유저인터페이스(320)와, 제어부(310)에서 판독된 좌표 값을 모니터에 디스플레이하는 디스플레이부(330)로 구성될 수 있다.
- 방법 실시 예 3
도 7 내지 도 9에는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 좌표 설정 방법의 개략평면도가 도시되어 있다. 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 우선 웨이퍼(W)의 X축 방향 일측과 Y축 방향 일측의 어느 한 점을 제1 기준점으로 마킹한다. 일예로 도면상의 웨이퍼(W) 최하측 최좌측에 위치한 유효 칩(C1)의 하단 좌측 모서리부를 기준점으로 마킹할 수 있다. 마킹된 기준점의 좌표를 제1 좌표(P1)로 정의하고 이를 검출한다. 다음으로, 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이 우선 웨이퍼(W)의 X축 방향 타측과 Y축 방향 일측의 어느 한 점을 제2 기준점으로 마킹한다. 일예로 도면상의 웨이퍼(W) 최하측 최우측에 위치한 유효 칩(C2)의 하단 우측 모서리부를 제2 기준점으로 마킹할 수 있다. 마킹된 기준점의 좌표를 제2 좌표(P2)로 정의하고 이를 검출한다. 다음으로 제1 좌표(P1)와 제3 센서부를 통해 검출된 회전 중심점과의 제1 거리(d1)를 검출하고, 제2 좌표(P2)와 상기 회전 중심점과의 제2 거리(d2)를 검출한다.
따라서 검출된 제1 및 제2 좌표(P1, P2)와, 제1 및 제2 거리(d1, d2)를 이용하여 웨이퍼(W)의 좌표 중심(O)을 산출한다. 웨이퍼 검사시 웨이퍼가 거치되는 스테이지는 X축 및 Y축으로 이동하여 검사할 뿐만 아니라 Z축 방향 Wafer Chuck의 회전축에 따라 회전하면서 검사하기 때문에, 회전시에 회전각에 따른 Chip 위치 변동을 인식할 수 있도록 하기 위해 회전각도의 검출이 필요하다.
본 발명에 따른 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 상기 매체는 프로그램 명령, 데이터 구조 등을 지정하는 신호를 전송하는 반송파를 포함하는 광 또는 금속선, 도파관 등의 전송 매체일 수도 있다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 본 발명의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
W: 웨이퍼
100, 200: 좌표 설정 장치
110, 210: 스테이지
120, 220: 회전축
130: 센서부
230: 제1 센서부 240: 제2 센서부
250: 제3 센서부

Claims (9)

  1. 상면에 웨이퍼가 거치되며, X축과 상기 X축에 직교하는 Y축 상의 XY평면에 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지의 하면에 결합되며, 상기 X축 및 Y축에 직교하는 Z축 방향으로 회전 가능한 회전축; 및
    상기 웨이퍼의 상면 상측에 배치되어 상기 웨이퍼의 X축 및 Y축 좌표를 검출하는 센서부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센서부는,
    상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 마크;
    상기 웨이퍼의 X축 거리 및 Y축 거리를 표시하는 스케일; 및
    상기 마크와 상기 스케일을 인식하여 상기 기준점의 X축 및 Y축 좌표와 상기 기준점으로부터 이동된 거리를 검출하는 센서
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치.
  3. 상면에 웨이퍼가 거치되며, X축과 상기 X축에 직교하는 Y축 상의 XY평면에 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지의 하면에 결합되며, 상기 X축 및 Y축에 직교하는 Z축 방향으로 회전 가능한 회전축;
    상기 웨이퍼의 측면에 배치되어 상기 웨이퍼의 X축 좌표를 검출하는 제1 센서부;
    상기 웨이퍼의 측면에 배치되어 상기 웨이퍼의 Y축 좌표를 검출하는 제2 센서부; 및
    상기 회전축에 배치되어 상기 웨이퍼의 회전 각도를 검출하는 제3 센서부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 센서부는,
    상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 제1 마크;
    상기 웨이퍼의 X축 거리를 표시하는 제1 스케일; 및
    상기 제1 마크와 상기 제1 스케일을 인식하여 상기 기준점의 X축 좌표와 상기 기준점으로부터 이동된 거리를 검출하는 제1 센서를 포함하고,
    상기 제2 센서부는,
    상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 제2 마크;
    상기 웨이퍼의 Y축 거리를 표시하는 제2 스케일; 및
    상기 제2 마크와 상기 제2 스케일을 인식하여 상기 기준점의 Y축 좌표와 상기 기준점으로부터 이동된 거리를 검출하는 제2 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제3 센서부는,
    상기 웨이퍼의 기준점을 표시하는 제3 마크;
    상기 웨이퍼의 회전 각도를 표시하는 제3 스케일; 및
    상기 제3 마크와 상기 제3 스케일을 인식하여 상기 웨이퍼의 회전 각도를 검출하는 제3 센서
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치.
  6. 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치를 이용한 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법에 있어서,
    웨이퍼의 상면 중 어느 한 포인트를 기준점으로 설정하여 상기 기준점의 제1 좌표(A)를 검출하는 단계;
    상기 웨이퍼를 Z축 방향으로 소정 각도 회전 시킨 후 상기 기준점의 제2 좌표(B)를 검출하는 단계;
    상기 웨이퍼를 Z축 방향으로 소정 각도 추가 회전 시킨 후 상기 기준점의 제3 좌표(C)를 검출하는 단계; 및
    상기 제1 내지 제3 좌표(A, B, C)를 통해 상기 웨이퍼의 좌표 중심(O)을 산출하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치를 이용한 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법.
  7. 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치를 이용한 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법에 있어서,
    웨이퍼의 상면 중 어느 한 포인트를 기준점으로 설정하여 상기 기준점의 제1 좌표(a)를 검출하는 단계;
    상기 웨이퍼를 Z축 방향으로 소정 각도(θ) 회전 시킨 후 상기 기준점의 제2 좌표(b)를 검출하는 단계; 및
    상기 제1 좌표(a), 상기 제2 좌표(b) 및 상기 소정 각도(θ)를 통해 상기 웨이퍼의 좌표 중심(O)을 산출하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치를 이용한 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법.
  8. 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치를 이용한 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법에 있어서,
    웨이퍼의 상면 중 어느 한 포인트를 제1 기준점으로 설정하여 상기 제1 기준점의 제1 좌표(P1)를 검출하는 단계;
    상기 웨이퍼 상면 중 다른 한 포인트를 제2 기준점으로 설정하여 상기 제2 기준점의 제2 좌표(P2)를 검출하는 단계;
    상기 제1 좌표(P1)와 상기 회전축의 회전중심축과의 제1 거리(d1)를 검출하는 단계;
    상기 제2 좌표(P2)와 상기 회전축의 회전중심축과의 제2 거리(d2)를 검출하는 단계; 및
    상기 제1 좌표(P1), 제2 좌표(P2), 제1 거리(d1) 및 제2 거리(d2)를 통해 좌표 중심(O)을 산출하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 칩 좌표 설정 장치를 이용한 웨이퍼 칩 좌표 설정 방법.
  9. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항의 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110992319A (zh) * 2019-11-21 2020-04-10 昂纳信息技术（深圳）有限公司 一种图像识别方法、贴片方法及系统

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