KR20150003587A

KR20150003587A - 표시 장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20150003587A
Application number: KR1020130076640A
Authority: KR
Inventors: 이순우; 정진희
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-07-01
Filing date: 2013-07-01
Publication date: 2015-01-09
Also published as: US20150002491A1

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 사진 식각 공정을 추가하지 않으면서도, 구동 패드부 위에 위치하는 도전체의 측면을 덮고, 도전체의 표면보다 높이가 높은 절연 측벽을 형성함으로써, 표시판과 구동 회로부 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있고, 표시 장치의 해상도가 높아짐에 따라, 서로 인접한 두 개의 도전체 사이의 간격이 좁아지더라도, 서로 인접한 두 개의 도전체가 서로 단락되는 것을 방지할 수 있다.

Description

표시 장치 및 그 제조 방법 {DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 절연체로 이루어진 측벽을 가지는 범프 구조에 의해 연결되어 있는 구동부를 포함하는 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

표시 장치에 게이트 신호 및 데이터 신호 등의 신호를 전달하기 위하여, 표시 영역에 구동 회로가 연결된다. 구동 회로의 배선과 표시 영역의 신호선을 서로 연결하기 위하여, 도전성 범프가 이용된다.

도전성 범프와 표시 장치의 신호선의 패드부는 도전 볼(conductive ball)에 의해 전기적으로 연결된다.

이 때, 도전성 범프와 도전 볼을 접촉하기 위해 압력을 가하게 되는데, 도전성 범프의 중앙 부분과 도전성 범프의 가장 자리에 가해지는 하중의 크기가 달라지고, 이에 따라 구동 회로와 대응하는 기판 사이의 간격이 위치에 따라 서로 다르게 형성될 수 있다.

한편, 표시 장치의 해상도가 높아지면서, 구동 회로의 신호선의 수가 많아지게 되고, 이에 따라 도전성 범프 사이의 간격이 좁아지게 된다. 이 경우, 인접한 도전성 범프 사이에 위치하는 도전 볼에 의해, 인접한 도전성 범프가 서로 단락되어, 신호 간섭이 일어난다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 도전성 범프와 표시 장치의 신호선의 패드부를 전기적으로 연결할 때, 구동 회로와 대응하는 기판 사이의 간격이 위치에 따라 서로 다르게 형성되지 않고, 고해상도 표시 장치에서, 인접한 도전성 범프 사이의 단락을 방지할 수 있는 범프 구조에 의해 연결되어 있는 구동부를 포함하는 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 화소 영역을 포함하는 표시판, 상기 표시판과 마주보며 서로 결합되어 있는 구동 회로부를 포함하고, 상기 구동 회로부는 회로 기판, 상기 회로 기판 위에 위치하는 구동 패드부, 상기 구동 패드부 위에 위치하며, 상기 구동 패드부를 드러내는 접촉 구멍을 가지는 보호막, 상기 보호막의 상기 접촉 구멍에 의해 드러나는 상기 구동 패드부 위에 위치하는 도전체, 그리고 상기 도전체의 측면을 덮고 있는 절연 측벽을 포함한다.

상기 절연 측벽의 높이는 상기 도전체의 상부 표면의 높이보다 높을 수 있다.

상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉할 수 있다.

상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 더 포함할 수 있다.

상기 표시판은 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 더 포함하고, 상기 구동 패드부는 상기 제1 도전체, 상기 제2 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속할 수 있다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 복수의 화소 영역을 포함하는 표시판을 형성하는 단계, 상기 표시판에 구동 신호를 전달하는 구동 회로부를 형성하는 단계, 그리고 상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계를 포함하고, 상기 구동 회로부를 형성하는 단계는 회로 기판 위에 구동 패드부를 형성하는 단계, 상기 구동 패드부 위에, 상기 구동 패드부를 드러내는 접촉 구멍을 가지는 보호막을 형성하는 단계, 그리고 상기 보호막의 상기 접촉 구멍에 의해 드러나는 상기 구동 패드부 위에 위치하는 도전체, 그리고 상기 도전체의 측면을 덮고 있는 절연 측벽을 포함하는 범프 구조를 형성하는 단계를 포함한다.

상기 범프 구조를 형성하는 단계는 상기 보호막의 상기 접촉 구멍에 의해 드러나는 상기 구동 패드부 위에 도전막을 적층하는 단계, 상기 도전막 위에 감광막 패턴을 형성하는 단계, 상기 감광막 패턴을 마스크로 하여, 상기 도전막을 식각하여, 상기 도전체를 형성하는 단계, 상기 감광막 패턴과 상기 도전체의 측면을 덮도록 절연막을 적층하는 단계, 그리고 상기 감광막 패턴과 상기 감광막 패턴의 상부 표면에 위치하는 상기 절연막을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 절연 측벽의 높이는 상기 도전체의 상부 표면의 높이보다 높도록 형성할 수 있다.

상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계에서, 상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉할 수 있다.

상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는 상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 위치하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 표시판을 형성하는 단계는 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는 상기 구동 패드부를 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 표시 장치 및 그 제조 방법에 따르면, 도전성 범프와 표시 장치의 신호선의 패드부를 전기적으로 연결할 때, 구동 회로와 대응하는 기판 사이의 간격이 위치에 따라 서로 다르게 형성되지 않고, 고해상도 표시 장치에서, 인접한 도전성 범프 사이의 단락을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 도시한 단면도이다.
도 2 내지 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 순서대로 도시한 단면도이다.

그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

이제 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.

먼저, 도 1을 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 도시한 단면도이다.

도 1을 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 화소 영역을 포함하는 표시판(300), 표시판(300)에 형성되어 있는 복수의 패드부(11), 표시판(300)의 패드부(11)와 연결되어 있는 구동 회로부(400)를 포함한다.

복수의 화소 영역을 포함하는 표시판(300)은 서로 결합되어 있는 제1 표시판(100) 및 제2 표시판(200)을 포함한다.

표시 장치가 액정 표시 장치인 경우, 제1 표시판(100)에는 게이트선과 데이터선, 게이트선과 데이터선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터와 같은 스위칭 소자, 스위칭 소자에 연결된 화소 전극이 형성되어 있고, 제2 표시판(200)에는 공통 전극이 형성되어 있다. 그러나, 공통 전극은 제1 표시판(100)에 형성될 수도 있다. 또한, 제1 표시판(100) 또는 제2 표시판(200)에는 색필터가 형성되어 있다. 도시하지는 않았지만, 제1 표시판(100)과 제2 표시판(200) 사이에는 액정층이 위치할 수 있다.

표시 장치가 유기 발광 표시 장치인 경우, 표시판(300)에는 게이트선과 데이터선, 게이트선과 데이터선에 연결되어 있는 박막 트랜지스터와 같은 스위칭 소자, 스위칭 소자에 연결된 화소 전극, 화소 전극과 중첩하는 공통 전극, 화소 전극과 공통 전극 사이에 위치하는 유기 발광부가 형성되어 있다.

구동 회로부(400)에 대하여 설명한다.

회로 기판(410) 위에는 구동 신호부에 연결되어 있는 복수의 구동 패드부(41)가 형성되어 있다. 구동 신호부와 구동 패드부(41)는 알루미늄 또는 은과 같은 비저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다.

복수의 구동 패드부(41) 위에는 보호막(passivation layer)(420)이 형성되어 있다. 보호막(420)은 산화 규소 또는 질화 규소 등의 절연물을 포함할 수 있다.

보호막(420)에는 복수의 구동 패드부(41)를 드러내는 복수의 접촉 구멍(41a)이 형성되어 있다.

접촉 구멍(41a)에 의해 드러나 있는 복수의 구동 패드부(41) 위에는 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)가 형성되어 있다. 그러나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 경우, 하나의 도전체 또는 3개 이상의 도전체를 포함할 수도 있다.

제1 도전체(430)는 티타늄(Ti)을 포함할 수 있고, 제2 도전체(440)는 금(Au)을 포함할 수 있다.

제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)의 측면은 절연 측벽(450)에 의해 덮여 있다. 절연 측벽(450)은 산화 규소 또는 질화 규소 등의 절연물을 포함할 수 있다.

절연 측벽(450)은 보호막(420)과 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)의 측면 위에 위치한다.

제1 도전체(430), 제2 도전체(440) 그리고 절연 측벽(450)은 구동 회로부(400)와 표시판(300) 사이의 연결을 위한 범프 구조를 이룬다.

절연 측벽(450)의 높이는 제2 도전체(440)의 높이보다 높다. 따라서, 구동 회로부(400)와 표시판(300) 사이의 연결을 위한 범프 구조의 높이는 절연 측벽(450)의 높이와 같다.

절연 측벽(450)은 대응하는 표시판(300)의 제1 표시판(100)과 구동 회로부(400)의 간격을 유지하는 역할을 한다. 따라서, 표시판(300)과 구동 회로부(400) 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다. 그러므로, 표시판(300)과 구동 회로부(400) 사이의 간격이 위치에 따라 달라지는 것을 방지할 수 있다.

접촉 구멍(41a)에 의해 드러나 있는 복수의 구동 패드부(41) 위에 위치하는 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)는 절연 측벽(450) 내에 위치하는 제1 도전 볼(51)에 의하여, 표시판(300)의 패드부(11)와 전기적으로 연결된다. 이에 의하여, 구동 회로부(400)의 구동 패드부(41)로부터 표시판(100)의 패드부(11)로 구동 신호가 전달된다.

이 때, 구동 패드부(41) 위에 위치하는 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)의 측면은 절연 측벽(450)에 의해 덮여 있기 때문에, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440) 사이에 위치하는 제2 도전 볼(52)은 제1 도전체(430) 또는 제2 도전체(440)과 접촉하지 않는다. 그러므로, 표시 장치의 해상도가 높아짐에 따라, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440) 사이의 간격이 좁아지더라도, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440)가 서로 단락되는 것을 방지할 수 있다.

이처럼, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치에 의하면, 구동 패드부(41) 위에 위치하는 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)의 측면을 덮고 있으며, 제2 도전체(440)의 표면보다 높이가 높은 절연 측벽(450)을 포함함으로써, 표시판(300)과 구동 회로부(400) 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있고, 표시 장치의 해상도가 높아짐에 따라, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440) 사이의 간격이 좁아지더라도, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440)가 서로 단락되는 것을 방지할 수 있다.

그러면, 도 1과 함께, 도 2 내지 도 9를 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다. 도 2 내지 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 순서대로 도시한 단면도이다.

먼저, 도 2를 참고하면, 회로 기판(410) 위에 복수의 구동 패드부(41)를 형성한다. 구동 패드부(41)는 알루미늄 또는 은과 같은 비저항이 낮은 금속으로 형성할 수 있다.

다음으로, 도 3에 도시한 바와 같이, 복수의 구동 패드부(41) 위에 보호막(420)을 적층하고, 구동 패드부(41)의 일부를 드러내는 접촉 구멍(41a)을 형성한다. 보호막(420)은 산화 규소 또는 질화 규소 등의 절연물로 형성할 수 있다.

도 4를 참고하면, 보호막(420)의 접촉 구멍(41a)에 의해 드러나 있는 구동 패드부(41) 위에 제1 도전막(10)과 제2 도전막(20)을 차례로 적층한다. 제1 도전막(10)은 티타늄(Ti)을 포함할 수 있고, 제2 도전막(20)은 금(Au)을 포함할 수 있다. 도시한 실시예에서는 서로 다른 제1 도전막(10)과 제2 도전막(20)을 적층하였으나, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 경우, 단일막으로 이루어진 도전막을 적층할 수도 있고, 3중막 이상의 도전막을 적층할 수도 있다.

도 5를 참고하면, 제2 도전막(20) 위에 감광막(500)을 적층한다.

그 후, 감광막(500)을 노광 및 현상하여, 도 6에 도시한 바와 같이, 감광막 패턴(500a)을 형성한다.

다음으로, 도 6을 참고하면, 감광막 패턴(500a)을 식각 마스크로 하여, 제2 도전막(20)과 제1 도전막(10)을 식각하여, 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)를 형성한다.

도 8을 참고하면, 감광막 패턴(500a)과 제1 도전체(430) 및 제2 도전체(440)의 측면을 덮는 절연층(30)을 적층한다. 절연층(30)은 산화 규소 또는 질화 규소 등의 절연물을 포함할 수 있다.

그 후, 도 9에 도시한 바와 같이, 감광막 패턴(500a)을 제거한다. 감광막 패턴(500a)을 제거하면, 감광막 패턴(500a)의 위에 위치하는 절연층(30)도 함께 제거되고, 남아있는 절연층(30)은 절연 격벽(450)이 된다.

도 2 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 구동 회로부(400)를 형성한 후, 도 1에 도시한 바와 같이, 표시판(300)의 제1 표시판(100) 위에 복수의 도전 볼(51, 52)을 도포 한 후, 표시판(300)과 구동 회로부(400)를 서로 마주보게 한 후, 압력을 가하여, 페이스 다운 접합(face down bonding)한다. 이 때, 도전 볼(51, 52)은 접착 물질층 내에 산포되어 있을 수 있고, 구동 회로부와 표시판(300)은 접착 물질층에 의해 서로 접착될 수도 있다.

이처럼, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 사진 식각 공정을 추가하지 않으면서도, 구동 패드부(41) 위에 위치하는 제1 도전체(430)와 제2 도전체(440)의 측면을 덮고, 제2 도전체(440)의 표면보다 높이가 높은 절연 측벽(450)을 형성함으로써, 표시판(300)과 구동 회로부(400) 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있고, 표시 장치의 해상도가 높아짐에 따라, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440) 사이의 간격이 좁아지더라도, 서로 인접한 두 개의 제1 도전체(430) 또는 서로 인접한 두 개의 제2 도전체(440)가 서로 단락되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 표시 장치는 액정 표시 장치 또는 유기 발광 표시 장치뿐만 아니라, 표시판과 표시판 외부의 구동 회로부가 서로 연결되는 다른 여러 평판 표시 장치에 모두 적용될 수 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims

복수의 화소 영역을 포함하는 표시판,
상기 표시판과 마주보며 서로 결합되어 있는 구동 회로부를 포함하고,
상기 구동 회로부는
회로 기판,
상기 회로 기판 위에 위치하는 구동 패드부
상기 구동 패드부 위에 위치하며, 상기 구동 패드부를 드러내는 접촉 구멍을 가지는 보호막,
상기 보호막의 상기 접촉 구멍에 의해 드러나는 상기 구동 패드부 위에 위치하는 도전체, 그리고
상기 도전체의 측면을 덮고 있는 절연 측벽을 포함하는 표시 장치.
제1항에서,
상기 절연 측벽의 높이는 상기 도전체의 상부 표면의 높이보다 높은 표시 장치.
제2항에서,
상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉하는 표시 장치.
제3항에서,
상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 더 포함하는 표시 장치.
제4항에서,
상기 표시판은 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 더 포함하고,
상기 구동 패드부는 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치.
제1항에서,
상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉하는 표시 장치.
제6항에서,
상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 더 포함하는 표시 장치.
제7항에서,
상기 표시판은 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 더 포함하고,
상기 구동 패드부는 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치.
제1항에서,
상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 더 포함하는 표시 장치.
제9항에서,
상기 표시판은 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 더 포함하고,
상기 구동 패드부는 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치.
복수의 화소 영역을 포함하는 표시판을 형성하는 단계,
상기 표시판에 구동 신호를 전달하는 구동 회로부를 형성하는 단계, 그리고
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계를 포함하고,
상기 구동 회로부를 형성하는 단계는
회로 기판 위에 구동 패드부를 형성하는 단계,
상기 구동 패드부 위에, 상기 구동 패드부를 드러내는 접촉 구멍을 가지는 보호막을 형성하는 단계, 그리고
상기 보호막의 상기 접촉 구멍에 의해 드러나는 상기 구동 패드부 위에 위치하는 도전체, 그리고 상기 도전체의 측면을 덮고 있는 절연 측벽을 포함하는 범프 구조를 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
제11항에서,
상기 범프 구조를 형성하는 단계는
상기 보호막의 상기 접촉 구멍에 의해 드러나는 상기 구동 패드부 위에 도전막을 적층하는 단계,
상기 도전막 위에 감광막 패턴을 형성하는 단계,
상기 감광막 패턴을 마스크로 하여, 상기 도전막을 식각하여, 상기 도전체를 형성하는 단계,
상기 감광막 패턴과 상기 도전체의 측면을 덮도록 절연막을 적층하는 단계, 그리고
상기 감광막 패턴과 상기 감광막 패턴의 상부 표면에 위치하는 상기 절연막을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
제12항에서,
상기 절연 측벽의 높이는 상기 도전체의 상부 표면의 높이보다 높도록 형성하는 표시 장치의 제조 방법.
제13항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계에서, 상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉하는 표시 장치의 제조 방법.
제14항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는 상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 위치하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
제15항에서,
상기 표시판을 형성하는 단계는 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는
상기 구동 패드부를 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치의 제조 방법.
제11항에서,
상기 절연 측벽의 높이는 상기 도전체의 상부 표면의 높이보다 높도록 형성하는 표시 장치의 제조 방법.
제17항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계에서, 상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉하는 표시 장치의 제조 방법.
제18항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는 상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 위치하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
제19항에서,
상기 표시판을 형성하는 단계는 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는
상기 구동 패드부를 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치의 제조 방법.
제11항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계에서, 상기 절연 측벽의 상부 표면은 상기 표시판과 접촉하는 표시 장치의 제조 방법.
제21항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는 상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 위치하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
제22항에서,
상기 표시판을 형성하는 단계는 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는
상기 구동 패드부를 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치의 제조 방법.
제11항에서,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는 상기 절연 측벽 사이에 위치하며, 상기 도전체와 상기 표시판과 접촉하는 도전 볼을 위치하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
제24항에서,
상기 표시판을 형성하는 단계는 상기 복수의 화소에 연결되어 있는 신호선의 패드부를 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 표시판과 상기 구동 회로부를 서로 결합하는 단계는
상기 구동 패드부를 상기 도전체, 그리고 상기 도전 볼에 의해 상기 표시판의 상기 패드부와 전기적으로 접속하는 표시 장치의 제조 방법.