KR20150001090A - 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤러의 원주방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부가 구비되어 웨이퍼와의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러에 관한 것이다.
본 발명은 웨이퍼를 한 장씩 분리배출하기 위하여 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 있어서, 복수 개의 웨이퍼가 적층된 웨이퍼 다발의 상부에 배치되어 상기 웨이퍼를 한 장씩 분리배출할 수 있도록 원통형상으로 구비되는 롤러본체; 및 상기 롤러본체의 둘레방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 다수 개의 접촉부;를 포함하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러를 제공한다.

Description

웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러{A roller for separate apparatus of solar wafer splitter}

본 발명은 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤러의 원주방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부가 구비되어 웨이퍼와의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러에 관한 것이다.

웨이퍼는 반도체 기판 또는 태양전지 기판의 재료가 되는 얇은 원판으로 실리콘을 녹여 잉곳으로 제작한 후 소잉공정을 통하여 얇은 판으로 절단하여 제조된다. 이러한 웨이퍼는 소잉공정을 통하여 절단된 후 여러 장의 웨이퍼가 서로 적층된 블럭 단위의 웨이퍼 다발 상태로 양산된다.

이와 같이 서로 겹쳐져 적층된 웨이퍼 다발을 태양전지 또는 반도체 기판 등으로 제조하기 위해서는 웨이퍼 다발로부터 한 장씩 낱장으로 분리시키는 후공정이 필요하다.

그러나, 이러한 웨이퍼는 160~200㎛로 매우 얇고 부서지기 쉬운 성질을 가지고 있어 웨이퍼 다발을 낱장으로 분리하는 작업이 어렵고 까다롭다. 이에 따라, 이러한 웨이퍼 다발을 한 장씩 낱장으로 분리시키기 위하여 웨이퍼 스플리터의 분리장치(1)를 사용하고 있다.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼 다발(W)을 수조(A) 내에 침지시킨 후 수조(A)의 상부측에 배치되는 롤러(R)를 웨이퍼 다발(W)의 상부면에 접촉시켜 마찰력을 통해 웨이퍼 다발로부터 한 장씩 낱장으로 분리시킨 후 배출롤러를 통해 이송시키는 방식을 이용하고 있다.

그러나, 종래의 웨이퍼 스플리터의 분리장치(1)에 적용되는 롤러(R)는 외주면이 매끈한 원통형으로 형성되어 있어 웨이퍼가 낱장으로 원활하게 분리되지 못하고 롤러가 헛돌아가는 현상이 빈번하게 발생되었다. 더불어, 웨이퍼를 분리하더라도 한 장씩 분리하지 못하고 여러 장이 동시에 분리되어 배출되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 롤러의 원주방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부가 구비되어 웨이퍼와의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼를 한 장씩 분리배출하기 위하여 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 있어서, 복수 개의 웨이퍼가 적층된 웨이퍼 다발의 상부에 배치되어 상기 웨이퍼를 한 장씩 분리배출할 수 있도록 원통형상으로 구비되는 롤러본체; 및 상기 롤러본체의 둘레방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 다수 개의 접촉부;를 포함하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러를 제공한다.

바람직하게는, 상기 다수 개의 접촉부는 고무재질로 이루어질 수 있다.

바람직하게는, 상기 다수 개의 접촉부는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다.

바람직하게는, 상기 다수 개의 접촉부는 판상의 부재로 이루어지고, 끝단부와 상기 웨이퍼의 접촉면적을 넓힐 수 있도록 상기 롤러본체의 회전방향에 대하여 반대방향으로 휘어지는 곡선형으로 구비될 수 있다.

바람직하게는, 상기 다수 개의 접촉부는 판상의 부재로 이루어지고, 끝단부와 상기 웨이퍼의 접촉면적을 넓힐 수 있도록 끝단부가 상기 롤러본체의 회전방향에 대하여 반대방향 측으로 일정각도 경사지는 경사부가 구비될 수 있다.

바람직하게는, 상기 다수 개의 접촉부는 상기 롤러본체의 둘레방향을 따라 방사상으로 배치될 수 있다.

또한, 본 발명은 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러가 구비된 웨이퍼 스플리터의 분리장치를 제공한다.

본 발명에 의하면, 롤러의 원주방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부가 구비되어 웨이퍼와의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 스플리터의 분리장치를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러를 나타낸 개략도.
도 3은 도 2의 작동단면도.
도 4는 도 2의 제1변형예를 나타낸 단면도.
도 5는 도 2의 제2변형예를 나타낸 단면도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.

이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러(100,200,300)는 둘레방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부(120,220,320)가 구비되어 웨이퍼(W1)의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 데 기술적 특징이 있다.

이러한 본 발명에 따른 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러(100,200,300)는 롤러본체(110) 및 접촉부(120,220,320)를 포함한다.

상기 롤러본체(110)는 수조 내에 침지된 웨이퍼 다발(W)로부터 기계적인 접촉에 의한 마찰력으로 웨이퍼 다발(W) 중 최상단에 위치한 웨이퍼(W1)만을 한 장씩 순차적으로 배출하기 위한 것이다.

이러한 롤러본체(110)는 상기 수조(A)의 상부 측에 배치되며 구동벨트(10)를 통하여 상기 웨이퍼 스플리터의 분리장치(1)에 회전가능하게 결합된다. 이와 같은 롤러본체(110)는 일정두께를 갖는 원판형상으로 구비될 수도 있으며, 일정길이를 갖는 원기둥형상으로 구비될 수도 있음을 밝혀둔다.

상기 접촉부(120,220,320)는 상기 롤러본체(110)의 외주면에 배치되어 상기 웨이퍼(W1)와의 마찰력을 증대시켜 웨이퍼 다발(W) 중 최상단에 위치하는 웨이퍼(W1)만을 순차적으로 분리배출하기 위한 것이다.

이때, 상기 접촉부(120,220,320)는 실리콘과 같은 고무재질로 이루어져 웨이퍼(W1)와의 접촉시 웨이퍼(W1)의 파손을 방지하고 마찰력을 높일 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

이와 같은 상기 접촉부(120,220,320)는 상기 롤러본체(110)의 둘레방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출된다. 즉, 상기 접촉부(120,220,320)는 상기 롤러본체(110)의 외주면에 삽입되는 중공형의 링몸체(122)와 상기 링몸체(122)의 둘레방향을 따라 외측으로 돌출되는 다수 개의 접촉판(124,224,324)으로 구비될 수 있다. 여기서, 상기 다수 개의 접촉판은 끝단부와 웨이퍼와의 접촉면적을 넓힐 수 있도록 도 4에 도시된 바와 같이 롤러본체(110)의 회전방향에 대하여 반대방향으로 휘어지는 곡선형으로 구비될 수도 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이 끝단부가 상기 롤러본체(110)의 회전방향에 대하여 반대방향 측으로 일정각도 경사지는 경사부(324a)를 포함할 수도 있다.

이로 인해, 상기 접촉부(120,220,320)는 기존의 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러(R)에 상기 접촉부(120,220,320)만을 간단히 삽입함으로써 장치의 다른 구조를 변경할 필요없이 웨이퍼(W1)를 원활하게 분리배출할 수 있게 된다.

이를 통해, 본 발명에 따른 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러(100,200,300)는 상기 접촉부(120,220,320)-더욱, 자세하게는 접촉판의 끝단부와 웨이퍼(W1)와의 접촉면적이 늘어나 마찰력이 증대됨으로써 웨이퍼 다발(W) 중 최상단에 위치하는 웨이퍼(W1)만을 순차적으로 원활하게 분리배출할 수 있게 된다.

더불어, 다수 개의 접촉판(124,224,324)은 상기 링몸체(122)의 둘레방향을 따라 방사상으로 배치되어 웨이퍼(W1)와의 접촉시 균등한 힘을 전달할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 롤러의 원주방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부가 구비되어 웨이퍼와의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 장점이 있다.

상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나 이러한 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.

1: 웨이퍼 스플리터의 분리장치
A: 수조 10 : 구동벨트
100,200,300 : 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러
110 : 롤러본체 120,220,320 : 접촉부
122 : 링몸체 124,224,324 : 접촉판
324a : 경사부

Claims (7)

1. 웨이퍼를 한 장씩 분리배출하기 위하여 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 있어서,
   복수 개의 웨이퍼가 적층된 웨이퍼 다발의 상부에 배치되어 상기 웨이퍼를 한 장씩 분리배출할 수 있도록 원통형상으로 구비되는 롤러본체; 및
   상기 롤러본체의 둘레방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 다수 개의 접촉부;를 포함하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 다수 개의 접촉부는 고무재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러.
3. 제 2항에 있어서,
   상기 다수 개의 접촉부는 실리콘 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 다수 개의 접촉부는 판상의 부재로 이루어지고, 끝단부와 상기 웨이퍼의 접촉면적을 넓힐 수 있도록 상기 롤러본체의 회전방향에 대하여 반대방향으로 휘어지는 곡선형으로 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러.
5. 제 1항에 있어서,
   상기 다수 개의 접촉부는 판상의 부재로 이루어지고, 끝단부와 상기 웨이퍼의 접촉면적을 넓힐 수 있도록 끝단부가 상기 롤러본체의 회전방향에 대하여 반대방향 측으로 일정각도 경사지는 경사부가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러.
6. 제 1항에 있어서,
   상기 다수 개의 접촉부는 상기 롤러본체의 둘레방향을 따라 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러.
7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러가 구비된 웨이퍼 스플리터의 분리장치.
   
   

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