KR20140145841A - 이송가이드 및 이를 이용한 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착공정이 수행되는 챔버 내부로 파티클이 유입되는 것이 방지되고 기판으로 향하는 증착물질이 불필요하게 챔버 내부로 확산되는 것이 방지되도록 한 이송가이드 및 증착장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 이송가이드는 이송레일, 상기 이송레일의 측면에 구름접촉되는 이송롤러 및 상기 이송롤러가 상기 이송레일에 구름접촉되도록 상기 이송레일을 향하는 일면이 개방되며, 상기 이송레일과 상기 이송롤러의 사이에서 발생되는 파티클이 내부에 포집되도록 상기 이송롤러를 감싸는 포집부를 포함하여, 챔버 내부의 청정도가 유지되어 양질의 막을 형성할 수 있으며, 장비 유지관리의 편의를 제공할 수 있다.

Description

이송가이드 및 이를 이용한 증착장치{Transferring Guide And Evaporating Apparatus Using The Same}
본 발명은 이송가이드 및 이를 이용한 증착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 막을 증착하기 위해 챔버 내부에서 기판을 이송하는 데 사용되는 이송가이드 및 이를 이용한 증착장치에 관한 것이다.
유기발광소자(OLED;Organic Light Emitting Diodes)는 다른 평면 표시소자에 비해 발열 등이 제한적인 이상적인 구조를 가지고 있다. 또한 유기발광소자는 자체 냉발광형이라는 장점으로 인하여 산업계에서 그 수요가 증가하고 있다. 이러한 유기발광소자는 유기물을 기화시키고, 기화된 유기물이 기판에 박막의 형태로 증착되도록 하는 증착장치에 의해 제조된다.
한편, 최근에는 생산성의 향상을 위해 기판을 인라인 방식으로 이송하고, 이송되는 기판으로 증착물질이 공급되도록 구성되는 인라인 방식의 증착장치가 개발된 바 있다. 이러한 인라인 방식의 증착장치에 대해서는 이미 "대한민국 공개특허 제2013-0019630;인라인형 유기박막 제조장치"에 의해 개시된 바 있다.
상기 공개특허에 따르면, 선형 증발원이 챔버의 하부에 배치되고 기판이 챔버의 상부에서 인라인 방식으로 이송되면서 기판에 유기박막이 제조되도록 구성된다.
하지만, 상기 특허와 같이 기판이 챔버의 상부에서 이송되면서 증착공정이 수행되면 하기와 같은 문제점이 발생될 수 있다.
첫째, 기판을 이송하는데 사용되는 기구, 예를 들어 이송레일, 가이드롤러의 물리적인 마찰에 따른 파티클이 발생되고 이 파티클은 기판에 형성되는 막의 품질을 저하시키는 문제점이 있다.
둘째, 기판을 향해 공급되는 증착물질이 기판 이외에 챔버 내부로 확산되고, 이와 같이 불필요하게 확산된 증착물질은 증착공정 중에 파티클로 작용하여 기판에 형성되는 막의 품질을 저하시킬 뿐만 아니라, 챔버 내벽 등에 증착되어 장비의 유지관리에 번거로운 문제점이 있다.
셋째, 점차 기판이 대형화됨에 따라, 기판의 처짐 등의 이유로 기판을 챔버의 상부에서 이송하는 데에는 한계에 도달해 있는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제2013-00196303호 (2013. 02. 27. 공개)
본 발명의 목적은 기판을 안정적으로 이송하며, 증착공정이 수행되는 챔버 내부로 파티클이 유입되는 것이 방지되고 기판으로 향하는 증착물질이 불필요하게 챔버 내부로 확산되는 것이 방지되도록 한 이송가이드 및 이를 이용한 증착장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 이송가이드는 이송레일, 상기 이송레일의 측면에 구름접촉되는 이송롤러 및 상기 이송롤러가 상기 이송레일에 구름접촉되도록 상기 이송레일을 향하는 일면이 개방되며, 상기 이송레일과 상기 이송롤러의 사이에서 발생되는 파티클이 내부에 포집되도록 상기 이송롤러를 감싸는 포집부를 포함할 수 있다.
상기 이송가이드는 상기 포집부의 내측에 설치되는 자성체를 더 포함할 수 있다.
상기 이송레일은 양측면에 '<' 형태의 제 1레일돌기와, '>' 형태의 제 2레일돌기가 각각 형성되며, 상기 이송롤러는 '<' 형태의 제 1롤러홈과, '>' 형태의 제 2롤러홈이 형성되어 상기 제 1레일돌기와 상기 제 2레일돌기에 구름접촉되도록 한쌍으로 마련될 수 있다.
상기 한쌍의 제 2이송롤러는 하측으로 단면적이 점차 축소되는 상부롤러 및 상기 상부롤러와 동심을 가지고 상측으로 단면적이 점차 축소되는 하부롤러를 각각 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 증착장치는 내부로 반입된 기판이 이송되는 챔버, 상기 챔버의 상부에 배치되어 상기 챔버 내부로 증착물질을 분사하는 소스부, 상기 기판을 지지하고 상기 기판의 이송을 가이드하는 기판이송 가이드를 포함하며, 상기 기판이송 가이드는 기판이송레일, 상기 기판이송레일의 측면에 구름접촉되는 기판이송롤러 및 상기 기판이송롤러가 상기 기판이송레일에 구름접촉되도록 상기 기판이송레일을 향하는 일면이 개방되며, 상기 기판이송레일과 상기 기판이송롤러의 사이에서 발생되는 파티클이 내부에 포집되도록 상기 기판이송롤러를 감싸는 포집부를 포함할 수 있다.
상기 기판이송 가이드는 상기 포집부의 내측에 설치되는 자성체를 더 포함할 수 있다.
상기 기판이송레일은 양측면에 '<' 형태의 제 1레일돌기와, '>' 형태의 제 2레일돌기가 각각 형성되며, 상기 기판이송롤러는 '<' 형태의 제 1롤러홈과, '>' 형태의 제 2롤러홈이 형성되어 상기 제 1레일돌기와 상기 제 2레일돌기에 구름접촉되도록 한쌍으로 마련될 수 있다.
상기 한쌍의 이송롤러는 하측으로 단면적이 점차 축소되는 상부롤러 및 상기 상부롤러와 동심을 가지고 상측으로 단면적이 점차 축소되는 하부롤러를 각각 포함할 수 있다.
상기 기판이송 가이드는 상기 증착챔버 내부에서 상기 기판을 지지하는 기판트레이에 연결되어 상기 기판트레이의 이송을 가이드할 수 있다.
상기 챔버는 상기 기판에 대한 증착공정이 수행되는 증착챔버, 상기 증착챔버의 하측에 배치되며, 상기 기판이송 가이드가 수용되는 가이드 수용챔버 및 상기 증착챔버와 상기 가이드 수용챔버의 사이에 설치되는 격벽을 포함하며, 상기 증착챔버와 상기 가이드 수용챔버는 개별 진공배기될 수 있다.
상기 소스부의 하측에 배치되며, 상기 기판으로 향하는 상기 증착물질의 경로가 확보되도록 개구부가 형성되는 차폐커버 및 상기 기판이 상기 개구부로 도달하기 이전에 상기 개구부를 폐쇄시키고, 상기 기판이 하측에 도달함에 따라 상기 기판과 함께 이송되어 상기 개구부를 개방하는 가동셔터 및 상기 가이드 수용챔버에 수용되어 상기 가동셔터의 이송을 가이드하는 셔터이송 가이드를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 이송가이드 및 이를 이용한 증착장치는 기판 이송에 따라 발생될 수 있는 파티클이 증착공간으로 유입되는 것이 방지되고, 기판으로 향하는 증착물질이 불필요하게 챔버 내부로 확산되는 것이 방지되므로, 챔버 내부의 청정도가 유지되어 양질의 막을 형성할 수 있으며, 장비 유지관리의 편의를 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 증착장치를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅱ-Ⅱ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 4는 본 실시예에 따른 증착장치 중 도 3에 표기된 Ⅲ부를 나타낸 확대도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 발명에 따른 이송가이드 및 이를 이용한 증착장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 실시예에 따른 증착장치를 나타낸 평면도이며, 도 2는 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이며, 도 3은 본 실시예에 따른 증착장치를 도 1에 표기된 Ⅱ-Ⅱ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착장치는 공정챔버(100)를 포함한다. 공정챔버(100)의 내부에는 격벽(110)이 설치된다. 공정챔버(100)는 격벽(110)에 의해 증착챔버(130)와 가이드 수용챔버(150)로 분리될 수 있다. 증착챔버(130)는 가이드 수용챔버(150)의 상부에 배치될 수 있다. 증착챔버(130) 내부의 청정도 유지를 위해, 증착챔버(130)와 가이드 수용챔버(150)는 각각 개별 진공배기될 수 있다.
이와 같이 증착챔버(130)와 가이드 수용챔버(150)는 서로 공간적으로 분리되어 있다. 그렇다 하더라도, 증착챔버(130)와 가이드 수용챔버(150)는 완전히 분리되어 있지는 않고, 후술될 가이드들의 설치를 위해 격벽(110)에 형성된 복수개의 슬릿(미도시)에 의하여 실질적으로는 연통되어 있다. 그러나 이 슬릿(미도시)은 최소 폭으로 형성되어 증착챔버(130)와 가이드 수용챔버(150)상호간의 이물질 교류가 발생하는 것이 방지되도록 구성된다. 슬릿(미도시)의 폭은 가이드 수용챔버(150) 내부에서 발생하는 입자의 평균자유행로(mean free path)보다 작게 형성할 수 있다. 자유행로는 파티클이 다른 입자 또는 가이드 수용챔버(150)의 내벽에 부딪쳐서 다음 충돌이 일어날 때까지 움직이는 거리를 말하고, 평균자유행로는 입자 전체에 대하여 평균한 것을 말한다.
따라서 가이드 수용챔버(150) 내부의 파티클의 크기가 지름 "d"일 때 단위부피 속에 존재하는 "nv"개의 파티클을 포함하는 경우 평균자유행로 "λ"는 다음의 수학식 1과 같이 구할 수 있다.
Figure pat00001
본 실시예에서, 파티클의 평균자유행로는 가이드 수용챔버(150)의 진공도와 가이드 수용챔버(150) 내부에 존재하는 파티클의 크기와 숫자에 따라 달라질 수 있지만 대략 1 ~ 3cm 정도로 슬릿(미도시)의 폭을 형성하면 증착챔버(130)와 가이드 수용챔버(150) 사이의 파티클 이동을 차단할 수 있다.
한편, 증착챔버(130)의 외측에는 로드락챔버(200)가 배치될 수 있다. 증착챔버(130)와 로드락챔버(200)의 사이에는 기판(10)의 출입을 위한 게이트밸브(170)가 설치될 수 있다. 기판(10)은 로드락챔버(200)에서 기판트레이(11)에 지지되며, 기판트레이(11)에 지지된 기판(10)은 증착챔버(130) 내부로 반입될 수 있다. 증착챔버(130) 내부로 반입된 기판(10)은 기판이송부(300)에 의해 증착챔버(130)의 내부에서 이송될 수 있다.
기판이송부(300)는 기판트레이(11)에 지지되는 기판이송 영구자석(310)과, 격벽(110)에 지지되는 기판이송 전자석(330)을 포함할 수 있다. 기판이송 전자석(330)은 게이트밸브(170)에 접하는 증착챔버(130)의 내측벽으로부터 직선으로 연장되는 레일 형태로 마련될 수 있다. 기판이송 영구자석(310)은 기판트레이(11)에 결합되고 기판이송 전자석(330)에 레일 결합될 수 있다. 따라서 기판트레이(11)는 기판이송 전자석(330)을 따라 직선 이송될 수 있다.
그리고 가이드 수용챔버(150)의 내부에는 기판트레이(11)의 이송을 가이드하는 기판이송 가이드(350)가 배치될 수 있다.
도 4는 본 실시예에 따른 증착장치 중 도 3에 표기된 Ⅲ부를 나타낸 확대도이다.
도 4를 참조하면, 기판이송 가이드(350)는 가이드 수용챔버(150)의 내부에 설치되는 기판이송레일(351) 및 기판트레이(11)로부터 가이드 수용챔버(150)로 연장되는 기판트레이 레그(Leg;301)에 지지되는 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)를 포함할 수 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 증착장치는 가이드 수용챔버(150)가 격벽(110)에 의해 증착챔버(130)와 분리되고, 기판이송 가이드(350)가 가이드 수용챔버(150)에 설치된다. 따라서 본 실시예에 따른 증착장치는 기판이송레일(351)과 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 구동, 기판이송레일(351)과 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 마찰 등에 의해 발생될 수 있는 파티클이 증착챔버(130)의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
기판이송레일(351)의 좌, 우 측면에는 '<' 형태와 '>' 형태의 제 1, 2레일돌기(351a, 351b)가 각각 형성될 수 있다. 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)에는 기판이송레일(351)의 제 1, 2레일돌기(351a, 351b)에 각각 구름 접촉되도록 '<' 형태와 '>' 형태의 제 1, 2롤러홈(353a, 354a)이 형성될 수 있다. 즉, 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)는 하측으로 단면적이 점차 축소되는 상부롤러(355)와, 상부롤러(355)와 동심을 가지고 상측으로 단면적이 점차 축소되는 하부롤러(356)를 각각 포함할 수 있다.
따라서 기판이송레일(351)과 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 접촉면적이 감소되고 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 상, 하부롤러(355, 356)가 개별 구름동작되므로, 기판이송레일(351)과 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 구동, 기판이송레일(351)과 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 마찰 등에 의해 발생될 수 있는 파티클의 양이 감소될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 증착장치는 기판이송레일(351)과 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)의 사이에서 발생되는 파티클을 포집하는 포집부(357)를 더 포함할 수 있다. 포집부(357)는 각각의 기판이송롤러(353, 354)가 기판이송레일(351)에 구름접촉되도록 일면이 개방되고, 각각의 기판이송롤러(353, 354)를 감싸고 형태로 마련될 수 있다.
이에 따라 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)와 기판이송레일(351)의 사이에서 발생될 수 있는 파티클은 포집부(357)에 포집될 수 있다. 이때, 포집부(357)의 내측에는 자성체(358)가 설치될 수 있다. 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)와 기판이송레일(351)은 통상적으로 금속으로 이루어지는 바, 한쌍의 기판이송롤러(353, 354)와 기판이송레일(351)의 사이에서 발생되는 파티클 또한 대부분 금속성분이므로, 자성체(358)는 파티클이 포집부(357)의 내부에 원활하게 포집되고 포집된 파티클들이 포집부의 내부에서 이탈되는 것을 방지한다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 증착챔버(130)의 상부에는 소스부(400)가 배치된다. 소스부(400)는 증착물질을 기화시키고, 기화된 증착물질을 증착챔버(130) 내부로 분사한다. 도시되지 않았지만, 소스부(400)는 내부에 증착물질이 수용된 도가니, 내부에 도가니가 수용되는 하우징, 하우징에 설치되어 도가니를 가열하는 히터로 구성될 수 있다.
또한, 소스부(400)는 복수의 분사노즐(410)을 포함한다. 복수의 분사노즐(410)은 도가니에 연통되어 기화된 증착물질이 소정의 토출압력을 가지고 증착챔버(130) 내부로 분사되도록 한다. 이러한 복수의 분사노즐(410)은 기판(10)이 이송되는 방향에 교차되는 방향으로 배치될 수 있다. 따라서 소스부(400)로부터 분사되는 증착물질은 기판(10)이 이송되는 방향에 교차되는 방향으로 선형 분사될 수 있다.
소스부(400)의 하측에는 차폐커버(500)가 배치된다. 차폐커버(500)는 제 1커버(530)와 제 2커버(550)를 포함한다. 제 1커버(530)는 평판 형태로 마련되어 소스부(400)의 하측으로 이송된 기판(10)에 대면되도록 배치된다. 제 1커버(530)에는 개구부(510)가 형성된다. 개구부(510)는 기판(10)으로 향하는 증착물질의 경로가 확보되도록 한다. 제 1커버(530)는 증착물질이 기판(10) 이외의 공정챔버(100)의 내부로 확산되는 것을 방지한다. 제 2커버(550)는 제 1커버(530)의 테두리로부터 상측으로 절곡된다. 제 2커버(550)는 제 1커버(530)의 측방으로 분산되는 증착물질을 차폐한다.
이와 같이 본 실시예에 따른 증착장치는 소스부(400)로부터 분사되는 증착물질 중, 기판(10)으로 향하는 증착물질 이외의 나머지 증착물질이 증착챔버(130) 내부로 확산되는 것이 방지되어 증착챔버(130)의 청정도가 유지될 수 있다.
여기서, 소스부(400)로부터 증착물질이 분사되고 개구부(510)가 개방된 상태에서 기판(10)이 개구부(510)에 도달하면, 기판(10)이 위치하지 않는 개구부(510)의 나머지 영역으로 분사되는 증착물질은 증착챔버(130) 내부로 확산될 수 있으며, 증착챔버(130) 내부로 확산된 증착물질은 증착 공정 중에 파티클로 작용할 수 있다.
따라서 본 실시예에 따른 증착장치는 차폐커버(500)의 하측에 가동셔터(600)가 배치되며, 가동셔터(600)에 의해 개구부(510)의 개방 영역 및 개방 속도가 조절되어 증착챔버(130) 내부로 증착물질이 확산되는 것이 방지될 수 있다. 즉, 가동셔터(600)는 이송되는 기판(10)이 개구부(510)로 도달하기 이전에 개구부(510)를 폐쇄한다. 그리고 기판(10)이 가동셔터(600)의 하측에 도달하면, 가동셔터(600)는 셔터이송부(700)에 의해 기판(10)과 함께 이송된다.
특히, 기판(10)과 함께 이송되는 가동셔터(600)는 기판(10)이 이송되는 속도보다 개구부(510)가 더 빠르게 개방되는 것을 방지하기 위해, 기판(10)과 동일한 속도로 이송되는 것이 바람직하다.
셔터이송부(700)는 셔터이송 영구자석(710), 셔터이송 전자석(730)를 포함하며, 가이드 수용챔버(150)의 내부에는 셔터이송 가이드(750)가 설치될 수 있다. 이러한 셔터이송부(700) 및 셔터이송 가이드(750)는 상술된 기판이송부(300) 및 기판이송 가이드(350)와 이송대상과 그 설치 위치에서 다소 차이를 가질 뿐, 그 구성 및 작용효과가 대동소이하다. 따라서 셔터이송부(700) 및 셔터이송 가이드(750)에 대한 설명은 생략하도록 하며, 상술된 기판이송부(300)의 설명을 참조하여 이해할 수 있을 것이다.
상술된 바와 같이, 본 실시예에 따른 증착장치는 증착챔버와 가이드 수용챔버가 분리되고, 기판 이송 및 가동셔터 이송에 따라 발생되는 파티클이 포집되어 증착챔버의 청정도가 유지된 상태에서 기판 증착공정이 이루어지므로, 양질의 증착기판을 생산할 수 있으며, 장비의 유지관리에 효율적이다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재
된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
10 : 기판 11 : 기판트레이
100 : 공정챔버 110 : 격벽
130 : 증착챔버 150 : 가이드 수용챔버
170 : 게이트밸브 200 : 로드락챔버
300 : 기판이송부 301 : 기판트레이 레그
310 : 영구자석 330 : 전자석
350 : 기판이송 가이드 351 : 기판이송레일
351a : 제 1레일돌기 351b : 제 2레일돌기
353, 354 : 기판이송롤러 353a : 제 1롤러홈
354a : 제 2롤러홈 355 : 상부롤러
356 : 하부롤러 357 : 포집부
358 : 자성체 400 : 소스부
410 : 분사노즐 500 : 차폐커버
510 : 개구부 530 : 제 1커버
550 : 제 2커버 600 : 가동셔터
601 : 셔터 레그 700 : 셔터이송부
710 : 셔터이송 영구자석 730 : 셔터이송 전자석
750 : 셔터이송 가이드

Claims (11)

  1. 이송레일;
    상기 이송레일의 측면에 구름접촉되는 이송롤러;및
    상기 이송롤러가 상기 이송레일에 구름접촉되도록 상기 이송레일을 향하는 일면이 개방되며, 상기 이송레일과 상기 이송롤러의 사이에서 발생되는 파티클이 내부에 포집되도록 상기 이송롤러를 감싸는 포집부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송가이드.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 포집부의 내측에 설치되는 자성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송가이드.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이송레일은 양측면에 '<' 형태의 제 1레일돌기와, '>' 형태의 제 2레일돌기가 각각 형성되며,
    상기 이송롤러는 '<' 형태의 제 1롤러홈과, '>' 형태의 제 2롤러홈이 형성되어 상기 제 1레일돌기와 상기 제 2레일돌기에 구름접촉되도록 한쌍으로 마련되는 것을 특징으로 하는 이송가이드.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 한쌍의 제 2이송롤러는
    하측으로 단면적이 점차 축소되는 상부롤러;및
    상기 상부롤러와 동심을 가지고 상측으로 단면적이 점차 축소되는 하부롤러를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 이송가이드.
  5. 내부로 반입된 기판이 이송되는 챔버;
    상기 챔버의 상부에 배치되어 상기 챔버 내부로 증착물질을 분사하는 소스부;
    상기 기판을 지지하고 상기 기판의 이송을 가이드하는 기판이송 가이드;를 포함하며,
    상기 기판이송 가이드는
    기판이송레일;
    상기 기판이송레일의 측면에 구름접촉되는 기판이송롤러;및
    상기 기판이송롤러가 상기 기판이송레일에 구름접촉되도록 상기 기판이송레일을 향하는 일면이 개방되며, 상기 기판이송레일과 상기 기판이송롤러의 사이에서 발생되는 파티클이 내부에 포집되도록 상기 기판이송롤러를 감싸는 포집부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 기판이송 가이드는 상기 포집부의 내측에 설치되는 자성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 기판이송레일은 양측면에 '<' 형태의 제 1레일돌기와, '>' 형태의 제 2레일돌기가 각각 형성되며,
    상기 기판이송롤러는 '<' 형태의 제 1롤러홈과, '>' 형태의 제 2롤러홈이 형성되어 상기 제 1레일돌기와 상기 제 2레일돌기에 구름접촉되도록 한쌍으로 마련되는 것 특징으로 하는 증착장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 한쌍의 이송롤러는
    하측으로 단면적이 점차 축소되는 상부롤러;및
    상기 상부롤러와 동심을 가지고 상측으로 단면적이 점차 축소되는 하부롤러를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  9. 제 5항에 있어서, 상기 기판이송 가이드는 상기 증착챔버 내부에서 상기 기판을 지지하는 기판트레이에 연결되어 상기 기판트레이의 이송을 가이드하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  10. 제 5항에 있어서, 상기 챔버는
    상기 기판에 대한 증착공정이 수행되는 증착챔버;
    상기 증착챔버의 하측에 배치되며, 상기 기판이송 가이드가 수용되는 가이드 수용챔버;및
    상기 증착챔버와 상기 가이드 수용챔버의 사이에 설치되는 격벽;을 포함하며,
    상기 증착챔버와 상기 가이드 수용챔버는 개별 진공배기되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 소스부의 하측에 배치되며, 상기 기판으로 향하는 상기 증착물질의 경로가 확보되도록 개구부가 형성되는 차폐커버;
    상기 기판이 상기 개구부로 도달하기 이전에 상기 개구부를 폐쇄시키고, 상기 기판이 하측에 도달함에 따라 상기 기판과 함께 이송되어 상기 개구부를 개방하는 가동셔터;및
    상기 가이드 수용챔버에 수용되어 상기 가동셔터의 이송을 가이드하는 셔터이송 가이드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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