KR20140125162A - 진공흡착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 로봇암에 장착되며, 내부에는 공기유로가 형성된 바디부와 상기 바디부의 일측에 장착되며, 상기 공기유로와 외부의 공기흡입부를 연결토록 제공되는 유로연결부와 상기 바디부의 타측에서 상기 공기유로와 연결되며 장착되고, 물체를 흡착토록 제공되는 흡착부를 포함하되, 상기 흡착부는 상기 공기유로와 연결되는 중앙흡입관; 및 상기 중앙흡입관과 연결되고 물체에 접촉되어 진공영역을 형성토록 제공되는 원형의 제1 흡착패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 로봇암과 흡착패드간의 위치편차를 보상하고, 물체 접촉시 발생되는 충격을 완화하며, 로봇암의 정밀하지 못한 움직임에도 물체에 제대로 밀착되어 진공흡착할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

Description

진공흡착 장치{Apparatus for vacuum suction}

본 발명은 진공흡착 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 로봇암 등에 장착되어 물체를 진공흡착하는 장치에 관한 것이다.

진공식 흡착 그리퍼(Vacuum suction gripper)는 흡착되는 공기의 흐름을 이용하여 물체의 접촉면에서 진공현상을 발생시켜 흡입력을 만들어 내어 물체를 들어올리는 장치이다.

이는 사람의 힘으로 들어올리기 힘들거나 부피가 너무 커서 이동하기 힘든 물체에 적용되어 사용되어 왔다.

종래의 진공식 흡착 그리퍼의 구조는 도 1에 도시된 바와 같이 진공을 만들어내는 진공 발생장치(V), 공기의 흐름을 연결하는 호스(L), 로봇암 등에 장착되는 바디부(2), 호스(L)에 연결되는 연결부(3), 그리고 물체에 접촉하여 진공상태를 만들어 내는 흡착패드(5)로 이루어진다.

여기서 진공식 흡착 그리퍼의 파지력은 진공을 만들어내는 진공 발생장치(V)의 흡착 세기와 흡착패드(5)의 크기에 따라 결정된다. 예를 들어 물체에 접촉되는 흡착패드(5)의 면적이 넓을수록 흡착력이 강해져, 보다 무거운 물체를 파지할 수 있게 된다.

이러한 종래의 진공식 흡착 그리퍼는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 로봇암(7) 등에 장착되어 제철설비의 내화물 등의 고중량의 물체(M)를 이동시키는데 사용된다.

그런데 도 4를 참고하면, 종래의 진공식 흡착 그리퍼의 흡착패드(5)는 긴 바 형태를 하고 있어 로봇암(7) 등의 정밀하지 못한 동작으로 인해 물체(M)에 흡착패드(5)가 제대로 부착되지 않을 시에는 (A)부분에서와 같이 진공흡착이 일어나지 않거나, 또는 한 쌍으로 장착되는 경우에 어느 하나에만 진공흡착이 이뤄지게 되어 이동과정에서 탈착되어 물체(M)가 파손되기도 한다.

그리고 종래의 진공식 흡착 그리퍼는 흡착패드(5)와 바디부(2)가 곧바로 연결되어 있어, 흡착패드(5)가 물체(M)에 접촉될 때 발생될 수 있는 충격이 그대로 바디부(2)나 로봇암(7) 등으로 전달되어 바디부(2) 또는 로봇암(7) 등의 손상 또는 탑승형 로봇의 경우에는 작업자에게 진동파를 전달하여 작업피로도를 증가시키게 된다.

또한 바디부(2)와 흡착패드(5)간에 유동성이 없어 로봇암(7)이 형성하는 각도 등의 위치와 흡착패드(5)가 물체(M)에 부착될 시 형성하는 각도 등의 위치간에 편차가 있는 경우에 진공흡착이 제대로 이뤄지지 않는 문제도 발생된다.

본 발명은 상기와 같은 종래 문제점을 해소하기 위해서 제안된 것으로서, 로봇암 등과 흡착패드간의 위치편차를 보상하고, 물체 접촉시 발생되는 충격을 완화하며, 로봇암 등의 정밀하지 못한 움직임에도 물체에 제대로 밀착되어 진공흡착할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 실시예는 다음과 같은 진공흡착 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에서는 로봇암에 장착되며, 내부에는 공기유로가 형성된 바디부와 상기 바디부의 일측에 장착되며, 상기 공기유로와 외부의 공기흡입부를 연결토록 제공되는 유로연결부 및 상기 바디부의 타측에서 상기 공기유로와 연결되며 장착되고, 물체를 흡착토록 제공되는 흡착부를 포함하되, 상기 흡착부는 상기 공기유로와 연결되는 중앙흡입관 및 상기 중앙흡입관과 연결되고 물체에 접촉되어 진공영역을 형성토록 제공되는 원형의 제1 흡착패드를 포함할 수 있다.

일 실시예에서는 상기 중앙흡입관은 물체의 진공흡착시 상기 로봇암의 위치와 물체에 접촉된 상기 제1 흡착패드의 위치간에 발생되는 편차를 완화토록 유동형 관 형태로 제공될 수 있다.

일 실시예에서는 상기 흡착부는 2중 구조로 제공되되, 상기 흡착부는, 상기 제1 흡착패드의 외측 둘레를 따라 감싸며 배치되는 제2 흡착패드 및 상기 제2 흡착패드와 상기 공기유로간에 연결되며, 상기 제2 흡착패드내의 공기를 흡입하는 유동형 사이드흡입관를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서는 상기 중앙흡입관과 상기 공기유로 사이에 배치되며, 상기 사이드흡입관으로부터 유입되는 공기가 상기 중앙흡입관으로 역류되는 것을 방지토록 제공되는 역류방지 체크밸브를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서는 상기 바디부와 상기 흡착부 사이에 배치되며, 상기 흡착부가 물체 접촉시 상기 바디부에 인가되는 충격을 완충토록 제공되는 완충수단을 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서는 상기 흡착부는, 상기 중앙흡입관을 외부 충격으로부터 보호하며 상기 중앙흡입관의 유동에 대응토록, 상기 중앙흡입관의 외측 둘레를 따라 감싸며 배치되는 연성 재질의 탄성패드 및 상기 중앙흡입관의 길이방향을 따라 소정 간격을 두고 배치되며, 상기 탄성패드를 지지토록 제공되는 지지블록을 더 포함할 수 있다.

본 발명인 진공흡착 장치의 일 실시예는 로봇암 등의 위치와 흡착패드의 위치간의 편차, 즉 로봇암 등이 형성하는 각도 등과 흡착패드가 물체에 부착될 시 형성되는 각도 등의 사이에 편차가 있을 때도, 이를 보상하여 흡착패드가 간섭없이 물체에 원활히 부착되도록 한다.

또한, 흡착패드가 물체에 접촉될 때 발생될 수 있는 충격을 완화하여 로봇암 등으로의 전달을 최소화할 수 있다.

그리고, 2단의 흡착패드로 구성하여 로봇암 등의 정밀하지 못한 동작에도 물체를 진공흡착할 수 있다.

궁극적으로는 로봇 등을 이용한 작업의 효율 및 이와 관련된 공정 생산성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래 진공흡착 장치의 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 발명이 로봇암에 장착되어 물체를 진공흡착하는 작업상태도이다.
도 4는 종래 진공흡착 장치가 물체에 제대로 부착되지 않은 상태가 도시된 도이다.
도 5 및 도 6는 본 발명인 진공흡착 장치에 의한 첫번째 실시예의 사시도이다.
도 7은 도 5에 도시된 발명이 로봇암에 장착되어 물체를 진공흡착하는 작업상태도이다.
도 8은 도 5에 도시된 발명의 측단면도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명인 진공흡착 장치에 의한 두번째 실시예의 사시도이다.
도 11 및 도 12는 도 9에 도시된 발명이 물체에 제대로 부착되지 않은 경우에 공기흡입 흐름을 도시한 상태도이다.
도 13 및 도 14은 도 11에 도시된 발명이 로봇암에 장착되어 물체를 진공흡착하는 작업상태도이다.

상기와 같은 본 발명의 특징들에 대한 이해를 돕기 위하여, 이하 본 발명의 실시예와 관련된 진공흡착 장치에 대하여 보다 상세하게 설명하도록 하겠다.

이하 설명되는 실시예의 이해를 돕기 위하여 첨부된 도면에 기재된 부호에 있어서, 각 실시예에서 동일한 작용을 하게 되는 구성요소 중 관련된 구성요소는 동일 또는 연장 선상의 숫자로 표기하였다.

본 발명과 관련된 실시예들은 기본적으로, 로봇암과 흡착패드간의 위치편차를 보상하고, 물체 접촉시 발생되는 충격을 완화하며, 로봇암의 정밀하지 못한 움직임에도 물체에 제대로 밀착되어 진공흡착할 수 있도록 하는 것을 기초로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 설명하도록 한다.

도 5 및 도 6는 본 발명인 진공흡착 장치에 의한 일 실시예의 사시도이고, 도 7은 도 5에 도시된 발명이 로봇암에 장착되어 물체를 진공흡착하는 작업상태도이며, 도 8은 도 5에 도시된 발명의 측단면도이다.

도 5 내지 도 7를 참고하면 본 발명인 진공흡착 장치의 첫번째 실시예는 로봇암(90) 등에 장착되며, 내부에는 공기유로가 형성된 바디부(20)와 상기 바디부(20)의 일측에 장착되며, 상기 공기유로와 외부의 공기흡입부(V)를 연결토록 제공되는 유로연결부(30) 및 상기 바디부(20)의 타측에서 상기 공기유로와 연결되며 장착되고, 물체를 흡착토록 제공되는 흡착부(50)를 포함하되, 상기 흡착부(50)는 상기 공기유로와 연결되는 중앙흡입관(51); 및 상기 중앙흡입관(51)과 연결되고 물체에 접촉되어 진공영역을 형성토록 제공되는 원형의 제1 흡착패드(53)를 포함하여 구성될 수 있다.

구체적으로 상기 유로연결부(30)는 상기 바디부(20)의 상단에 배치될 수 있으며, 외부의 공기흡입부(V)와 연결되어 상기 흡착부(50)로부터 공기를 흡입하도록 제공될 수 있다.

상기 바디부(20)의 내부에는 도면으로 나타내지는 않았으나, 상기 유로연결부(30)와 연결되는 상기 공기유로가 형성될 수 있다. 물론 상기 공기유로의 하단은 상기 흡착부(50)와 연결되게 된다. 또한 상기 바디부(20)는 도면으로 나타내지는 않았으나, 별도의 볼트 등의 결합수단을 통해 로봇암(90) 등에 장착되어, 상기 흡착부(50)가 전로의 내화물 등의 물체를 진공흡착한 후 이를 로봇을 통해 원하는 장소로 옮길 수 있게끔 할 수 있다.

그리고 상기 흡착부(50)는 상기 바디부(20)의 하단에 배치될 수 있으며, 상기 중앙흡입관(51)과 상기 제1 흡착패드(53)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 중앙흡입관(51)은 상기 공기유로와 상기 제1 흡착패드(53)의 상단에 형성된 중앙노즐(52)간에 연결되어 배치될 수 있으며, 상기 제1 흡착패드(53)와 물체가 형성하는 공간의 공기가 흡입되면, 이를 상기 공기유로로 이동될 수 있게끔 제공될 수 있다.

여기서 상기 제1 흡착패드(53)는 종래 긴 바 형태와는 달리 원형으로 제공될 수 있으며, 이 경우 로봇암(90) 등에 장착되었을 때 로봇암(90) 등의 정밀하지 못한 동작에도 물체의 접촉표면상에 위치할 수 있도록 하는 효과를 기대할 수 있다.

그리고 상기 제1 흡착패드(53)의 하단 둘레를 따라 고무 등의 탄성재질로 된 밀착링(54)이 설치될 수 있으며, 이 경우 상기 밀착링(54)의 물체 표면에 대응하는 형상 변형을 통해 상기 제1 흡착패드(53)와 물체 표면간의 비접촉부위 발생을 차단할 수 있다. 물론 상기 제1 흡착패드(53) 자체가 고무 등의 탄성재질로 구현하는 것도 고려될 수 있을 것이다.

한편 본 발명의 첫번째 실시예에서 상기 중앙흡입관(51)은 상기 제1 흡착패드(53)가 물체를 진공흡착할 때, 상기 로봇암(90) 등의 위치와 물체에 접촉된 상기 제1 흡착패드(53)의 위치간에 발생되는 편차를 완화토록 유동형 관 형태로 제공될 수 있다.

구체적으로 예를 들면 옮기고자 하는 물체의 접촉표면이 수평하게 놓여 있다고 가정하면, 로봇암(90) 등이 이루는 각도가 물체의 접촉표면과 같이 항상 수평하게 배치되는 것은 아니며, 이때 물체를 제대로 진공흡착하기 위해서는 최소한 상기 제1 흡착패드(53)는 물체의 접촉표면과 나란하게 위치하여야 한다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 진공흡착 장치의 경우에는 바디부(2)와 흡착부(5)가 유동성 없이 결합되어 있어, 로봇암(90)이 물체의 접촉표면과 이루는 각도가 수평하지 않으면, 바디부(2)에 의해 로봇암(90)에 수직하게 장착되는 흡착부(5)도 역시 물체의 접촉표면과 이루는 각도가 수평하지 않게 된다. 이에 따라 흡착부(5)가 물체의 접촉표면에 제대로 부착되지 못하여 진공흡착이 원활하게 발생되지 않는다.

여기서 도 8를 참고하면, 본원발명인 진공흡착 장치의 경우에는 상기 공기유로와 상기 제1 흡착패드(53)를 연결하는 상기 중앙흡입관(51)이 유동형 관으로 제공됨에 따라, 상기 바디부(20)가 로봇암(90) 등에 수직하게 장착된다는 전제하여 로봇암(90) 등이 물체의 접촉표면에 수평하게 위치하지 않더라도, 상기 제1 흡착패드(53)가 상기 중앙흡입관(51)에 의해 유동성이 보장되어 로봇암(90) 등과 물체의 접촉표면간의 위치편차, 엄밀하게는 각도편차를 상기 제1 흡착패드(53)가 기울어지며 보상하게 되어 물체의 접촉표면에 밀착되게 되는 것이다.

이때 상기 중앙흡입관(51)은 일반 샤워기 등의 구조와 같이 유동이 가능하면서도 일정한 강도를 가지는 복수개의 스틸 재질의 연결블록들의 결합구조로 제공될 수 있다. 이는 고중량의 물체를 들어올릴 때 인가되는 부하를 견딜 수 있을 정도의 강도일 것이다.

한편 본 발명의 첫번째 실시예에서는 상기 바디부(20)와 상기 흡착부(50) 사이에 배치되며, 상기 흡착부(50)가 물체 접촉시 상기 바디부(20)에 인가되는 충격을 완충토록 제공되는 완충수단(70)을 더 포함하여 구성될 수 있다.

도 5를 참고하면, 상기 바디부(20)와 상기 흡착부(50) 사이에 완충수단(70)이 배치된 것을 확인할 수 있다. 상기 완충수단(70)은 도면에 도시된 바와 같이, 3 개의 원통형 블록(71)이 서로 겹치며 일직선상에 배치될 수 있으며, 내부에는 코일스프링(73)이 배치될 수 있다.

이는 상기 흡착부(50)의 제1 흡착패드(53)가 물체의 표면에 접촉될 때 상기 바디부(20) 방향으로 전달되는 충격을 상기 코일스프링(73)이 탄성력에 의해 완충하게 된다. 이때 상기 3 개의 원통형 블록(71)은 상기 바디부(20)와 상기 흡착부(50)를 서로 연결하며 상기 코일스프링(73)을 지지하는 역할을 하게 된다.

또한 본 발명의 첫번째 실시예에서 상기 흡착부(50)는 도 8에 도시된 바와 같이, 연성 재질의 탄성패드(58)와 지지블록(59)을 더 포함하여 구성될 수 있다.

상기 탄성패드(58)는 상기 중앙흡입관(51)의 외측 둘레를 따라 감싸며 배치되며, 상기 중앙흡입관(51)을 외부 충격으로부터 보호하고 연성 재질로 구현되어 상기 중앙흡입관(51)의 유동에 대응하도록 제공될 수 있다.

그리고 상기 지지블록(59)은 상기 중앙흡입관(51)의 길이방향을 따라 소정 간격을 두고 복수개로 배치되며 상기 탄성패드(58)를 지지하게 된다.

다음으로 도 9 및 도 10은 본 발명인 진공흡착 장치에 의한 두번째 실시예의 사시도이고, 도 11 및 도 12는 도 9에 도시된 발명이 물체에 제대로 부착되지 않은 경우에 공기흡입 흐름을 도시한 상태도이며, 도 13 및 도 14은 도 11에 도시된 발명이 로봇암에 장착되어 물체를 진공흡착하는 작업상태도이다.

도 9 내지 도 14를 참고하면, 본 발명의 두번째 실시예에서는 로봇암(90) 등에 장착되며, 내부에는 공기유로가 형성된 바디부(20)와 상기 바디부(20)의 일측에 장착되며, 상기 공기유로와 외부의 공기흡입부(V)를 연결토록 제공되는 유로연결부(30) 및 상기 바디부(20)의 타측에서 상기 공기유로와 연결되며 장착되고, 물체를 흡착토록 제공되는 흡착부(50)를 포함하되, 상기 흡착부(50)는 상기 공기유로와 연결되는 중앙흡입관(51) 및 상기 중앙흡입관(51)과 연결되고 물체에 접촉되어 진공영역을 형성토록 제공되는 원형의 제1 흡착패드(53)를 포함하여 구성될 수 있다.

이때 상기 바디부(20), 상기 유로연결부(30), 상기 흡착부(50) 및 상기 흡착부(50)를 구성하는 중앙흡입관(51) 및 상기 제1 흡착패드(53)는 본 발명의 첫번째 실시예와 동일한 구조를 가질 수 있다. 이에 따라 상기 중앙흡입관(51)은 유동형 관 형태로 제공될 수 있으며, 본 발명의 두번째 실시예에서는 상기 완충수단(70), 상기 탄성패드(58) 및 상기 지지블록(59)과 동일한 구성을 포함할 수 있다.

다만 본 발명의 두번째 실시예는 본 발명의 첫번째 실시예와는 달리 상기 흡착부(50)가 2단 구조로 제공될 수 있다.

구체적으로 상기 흡착부(50)는 상기 제1 흡착패드(53)의 외측 둘레를 따라 감싸며 배치되는 제2 흡착패드(57) 및 상기 제2 흡착패드(57)와 상기 공기유로간에 연결되며, 상기 제2 흡착패드(57)내의 공기를 흡입하는 유동형 사이드흡입관(55)을 더 포함하여 구성될 수 있다.

이는 로봇암(90) 등이 정밀하지 못한 동작으로 인해 도 14에 도시된 (B)부분처럼 상기 흡착부(50)의 일부가 물체의 표면에 제대로 접하지 못한 경우에도, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같은 공기 흐름을 통해 물체를 흡착할 수 있도록 하기 위함이다.

먼저 도 12를 참고하면 상기 제1,2 흡착패드(53,57)가 모두 물체의 표면에 접하지 못했더라도 상기 제1 흡착패드(53)만이 접함으로써, 상기 제1 흡착패드(53)와 물체의 표면이 형성하는 공간의 공기를 흡입하여 진공영역을 형성하는 것이다. 물론 상기 제1,2 흡착패드(53,57) 모두가 물체의 표면에 접한 경우에는 2중의 진공영역을 형성함으로써, 보다 강력하게 물체를 진공흡착할 수 있다.

이때 본 발명의 두번째 실시예는 상기 중앙흡입관(51)과 상기 바디부(20)의 공기유로 사이, 또는 상기 완충수단(70)이 구비되는 경우에는 상기 중앙흡입관(51)과 상기 바디부(20)의 공기유로 사이에 배치되며, 상기 사이드흡입관(55)으로부터 유입되는 공기가 상기 중앙흡입관(51)으로 역류되는 것을 방지하는 역류방지 체크밸브(60)를 더 포함하여 구성될 수 있다.

이 경우 상기 제1,2 흡착패드(53,57) 모두가 물체의 표면에 접한 경우뿐만 아니라, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제2 흡착패드(57)가 물체의 표면에 완전히 접하지 못하게 된 경우에도, 상기 제2 흡착패드(57)로부터 흡입되는 공기는 상기 역류방지 체크밸브(60)에 의해 상기 중앙흡입관(51)측으로는 흐르지 못하고 상기 공기유로방향으로만 흐르게 된다.

이는 상기 제2 흡착패드(57)가 물체의 표면에 완전히 접하지 못한 경우에 특히 기능을 발휘하는데, 물체의 표면에 완전히 접하지 못한 상기 제2 흡착패드(57) 부분으로는 계속해서 공기가 흡입될 것이고 이는 상기 역류방지 체크밸브(60)에 의해 상기 제1 흡착패드(53) 방향으로는 흐르지 못하므로 진공영역이 해제되는 것을 차단할 수 있게 된다.

만약 상기 사이드흡입관(55)이 연결된 장착부(55a)와 상기 중앙흡입관(51) 사이에 상기 역류방지 체크밸브(60)가 없게 된다면, 상기 제2 흡착패드(57)로부터 지속적으로 흡입된 공기는 일부라도 상기 제1 흡착패드(53)방향으로 흐르게 된다면 진공영역은 해제되어 물체의 흡착은 불가능하게 된다.

본 발명의 두번째 실시예는 상기와 같이 상기 흡착부(50)를 2중 구조로 구성함으로서, 로봇암(90) 등의 제어가 정밀하지 못한 상황에서도 보다 확실한 진공흡착을 구현할 수 있는 것이다.

상기와 같은 유기적 구성을 통해 본 발명의 일 실시예는 로봇암 등과 흡착패드간의 위치편차를 보상하고, 물체 접촉시 발생되는 충격을 완화하며, 로봇암 등의 정밀하지 못한 움직임에도 물체에 제대로 밀착되어 진공흡착할 수 있는 효과를 기대할 수 있는 것이다.

이상의 사항은 진공흡착 장치의 특정한 실시예를 나타낸 것에 불과하다.

따라서 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 본 발명이 다양한 형태로 치환, 변형될 수 있음을 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 파악할 수 있다는 점을 밝혀 두고자 한다.

20...바디부 30...유로연결부
50...흡착부 51...중앙흡입관
52...중앙노즐 53...제1 흡착패드
55...사이드흡입관 56...사이드노즐
57...제2 흡착패드 58...탄성패드
59...지지블록 60...역류방지 체크밸브
70...완충수단

Claims (6)

1. 로봇암에 장착되며, 내부에는 공기유로가 형성된 바디부;
   상기 바디부의 일측에 장착되며, 상기 공기유로와 외부의 공기흡입부를 연결토록 제공되는 유로연결부; 및
   상기 바디부의 타측에서 상기 공기유로와 연결되며 장착되고, 물체를 흡착토록 제공되는 흡착부;를 포함하되,
   상기 흡착부는 상기 공기유로와 연결되는 중앙흡입관; 및 상기 중앙흡입관과 연결되고 물체에 접촉되어 진공영역을 형성토록 제공되는 원형의 제1 흡착패드; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 중앙흡입관은 물체의 진공흡착시 상기 로봇암의 위치와 물체에 접촉된 상기 제1 흡착패드의 위치간에 발생되는 편차를 완화토록 유동형 관 형태로 제공되는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 흡착부는 2중 구조로 제공되되,
   상기 제1 흡착패드의 외측 둘레를 따라 감싸며 배치되는 제2 흡착패드; 및
   상기 제2 흡착패드와 상기 공기유로간에 연결되며, 상기 제2 흡착패드내의 공기를 흡입하는 유동형 사이드흡입관;
   를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 중앙흡입관과 상기 공기유로 사이에 배치되며, 상기 사이드흡입관으로부터 유입되는 공기가 상기 중앙흡입관으로 역류되는 것을 방지토록 제공되는 역류방지 체크밸브;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치.
   
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 바디부와 상기 흡착부 사이에 배치되며, 상기 흡착부가 물체 접촉시 상기 바디부에 인가되는 충격을 완충토록 제공되는 완충수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 흡착부는, 상기 중앙흡입관을 외부 충격으로부터 보호하며 상기 중앙흡입관의 유동에 대응토록, 상기 중앙흡입관의 외측 둘레를 따라 감싸며 배치되는 연성 재질의 탄성패드; 및
   상기 중앙흡입관의 길이방향을 따라 소정 간격을 두고 배치되며, 상기 탄성패드를 지지토록 제공되는 지지블록;
   을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착 장치.

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