CN215183895U - 一种晶片载盘搬运用吸附机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片载盘搬运用吸附机械手，包括：夹爪、升降固定板、导柱和导杆，所述升降固定板底部一端通过螺钉固定连接有吸附固定板，所述吸附固定板底部中央通过螺钉固定连接有夹爪，所述夹爪底部卡接有晶片载盘，本实用新型通过晶片吸嘴对晶片进行吸附搬运，在晶片吸嘴与晶片接触过程中，通过导柱、弹簧以及导套的配合，使得晶片吸嘴自动缓冲，防止晶片吸嘴对晶片造成损伤，当需要对晶片载盘进行搬运时，通过吸附固定板的气动结构带动底部的夹爪伸缩，对晶片载盘进行夹取，通过两套机械手集成在一起，大大节省了空间的同时，两套机械手的定位原点一致，增加了定位的准确性。

Description

一种晶片载盘搬运用吸附机械手

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种晶片载盘搬运用吸附机械手。

背景技术

在半导体工业中，随着芯片生产向着高速,连续化方式发展，人工装夹的方式无法适应，半导体晶片加工设备一般使用自动的或机器人晶片搬运装置，使晶片移动至加工设备内部，在晶片搬运的过程中需要使用载盘吸附机械手。

但是，传统的晶片载盘搬运用吸附机械手在使用过程中存在一些弊端，比如：

传统的晶片载盘搬运用吸附机械手在使用过程中功能单一，只能搬运晶片载盘，在对晶片转移到晶片载盘上时，需要晶片吸附机械手，这样一台设备就需要两套机械手工作，占用空间的同时，定位容易出现偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片载盘搬运用吸附机械手，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片载盘搬运用吸附机械手，包括：夹爪、升降固定板、导柱和导杆，所述升降固定板底部一端通过螺钉固定连接有吸附固定板，所述吸附固定板底部中央通过螺钉固定连接有夹爪，所述夹爪底部卡接有晶片载盘，所述吸附固定板底部一侧通过螺钉固定连接有导套固定板，所述导套固定板远离吸附固定板一侧顶部卡接有导套，所述导套内部插接有导柱，所述导柱外壁与导套之间卡接有弹簧，所述导柱底部一端卡接有连接套，所述连接套底部中央卡接有晶片吸嘴，所述连接套顶部中央卡接有导杆。

进一步的，所述吸附固定板远离导套固定板一侧卡接有负压接头。

进一步的，所述夹爪底部胶粘有防护缓冲垫。

进一步的，所述导套固定板内部位于导杆上方开设有通孔。

进一步的，所述晶片吸嘴顶部通过卡接固定连接有负压吸管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置的夹爪、升降固定板以及导套固定板，实现了在晶片载盘搬运用吸附机械手使用时，通过导套固定板将晶片吸嘴与夹爪两套机械手系统集中在一起，在需要对晶片进行搬运时，通过三轴运动模块将晶片吸嘴移动至晶片上方，通过晶片吸嘴对晶片进行吸附搬运，在晶片吸嘴与晶片接触过程中，通过导柱、弹簧以及导套的配合，使得晶片吸嘴自动缓冲，防止晶片吸嘴对晶片造成损伤，当需要对晶片载盘进行搬运时，通过吸附固定板的气动结构带动底部的夹爪伸缩，对晶片载盘进行夹取，通过两套机械手集成在一起，大大节省了空间的同时，两套机械手的定位原点一致，增加了定位的准确性。

附图说明

图1为本实用新型整体轴测图；

图2为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图3为本实用新型整体主视结构示意图；

图4为本实用新型整体左视结构示意图；

图5为本实用新型整体俯视结构示意图。

图中：1-夹爪；2-吸附固定板；201-负压接头；3-升降固定板；4-晶片载盘；5-导套固定板；6-导套；7-弹簧；8-连接套；9-晶片吸嘴；10-导柱；11-导杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶片载盘搬运用吸附机械手，包括：夹爪1、升降固定板3、导柱10和导杆11，升降固定板3底部一端通过螺钉固定连接有吸附固定板2，吸附固定板2底部中央通过螺钉固定连接有夹爪1，夹爪1底部卡接有晶片载盘4，吸附固定板2底部一侧通过螺钉固定连接有导套固定板5，导套固定板5远离吸附固定板2一侧顶部卡接有导套6，导套6内部插接有导柱10，导柱10外壁与导套6之间卡接有弹簧7，导柱10底部一端卡接有连接套8，连接套8底部中央卡接有晶片吸嘴9，连接套8顶部中央卡接有导杆11，吸附固定板2远离导套固定板9一侧卡接有负压接头201，夹爪1底部胶粘有防护缓冲垫，导套固定板5内部位于导杆11上方开设有通孔，晶片吸嘴9顶部通过卡接固定连接有负压吸管。

工作原理：在晶片载盘搬运用吸附机械手使用时，通过导套固定板5将晶片吸嘴9与夹爪两套机械手系统集中在一起，在需要对晶片进行搬运时，通过三轴运动模块将晶片吸嘴9移动至晶片上方，通过晶片吸嘴9对晶片进行吸附搬运，在晶片吸嘴9与晶片接触过程中，通过导柱10、弹簧7以及导套6的配合，使得晶片吸嘴9自动缓冲，防止晶片吸嘴9对晶片造成损伤，当需要对晶片载盘进行搬运时，通过吸附固定板2的气动结构带动底部的夹爪1伸缩，对晶片载盘4进行夹取，通过两套机械手集成在一起，大大节省了空间的同时，两套机械手的定位原点一致，增加了定位的准确性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种晶片载盘搬运用吸附机械手，其特征在于，包括：

夹爪(1)；

升降固定板(3)；

导柱(10)；

导杆(11)，

其中，所述升降固定板(3)底部一端通过螺钉固定连接有吸附固定板(2)，所述吸附固定板(2)底部中央通过螺钉固定连接有夹爪(1)，所述夹爪(1)底部卡接有晶片载盘(4)，所述吸附固定板(2)底部一侧通过螺钉固定连接有导套固定板(5)，所述导套固定板(5)远离吸附固定板(2)一侧顶部卡接有导套(6)，所述导套(6)内部插接有导柱(10)，所述导柱(10)外壁与导套(6)之间卡接有弹簧(7)，所述导柱(10)底部一端卡接有连接套(8)，所述连接套(8)底部中央卡接有晶片吸嘴(9)，所述连接套(8)顶部中央卡接有导杆(11)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运用吸附机械手，其特征在于：所述吸附固定板(2)远离导套固定板(5)一侧卡接有负压接头(201)。

3.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运用吸附机械手，其特征在于：所述夹爪(1)底部胶粘有防护缓冲垫。

4.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运用吸附机械手，其特征在于：所述导套固定板(5)内部位于导杆(11)上方开设有通孔。

5.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运用吸附机械手，其特征在于：所述晶片吸嘴(9)顶部通过卡接固定连接有负压吸管。

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