CN214934006U - 一种晶片载盘搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片载盘搬运装置，包括：支架、X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨和晶片载盘，所述支架底部通过螺钉固定连接有支架底板，所述支架顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨，所述X轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨，所述Z轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板，本实用新型在Z轴运动滑轨带动夹爪升降的过程中，在夹爪与晶片载盘接触之前，晶片吸嘴首先与晶片载盘相接触，此时Z轴运动滑轨带动夹爪继续下降，此时导柱导套组件内部的弹簧受压缩，进行缓冲，保护了晶片载盘不受夹爪的碰撞，大大提高了整个搬运装置的运行稳定性与安全可靠性，保证了搬运效率。

Description

一种晶片载盘搬运装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种晶片载盘搬运装置。

背景技术

在半导体工业中，随着芯片生产向着高速,连续化方式发展，人工装夹的方式无法适应，半导体晶片加工设备一般使用自动的或机器人晶片搬运装置，使晶片移动至加工设备内部。

但是，传统的晶片载盘搬运装置在使用过程中存在一些弊端，比如：

传统的晶片载盘搬运装置在夹爪移动过程，装载过程可靠性和稳定性差，特别是在夹爪升降过程中容易对载盘产生碰撞，对载盘造成损伤，同时影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片载盘搬运装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片载盘搬运装置，包括：支架、X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨和晶片载盘，所述支架底部通过螺钉固定连接有支架底板，所述支架顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨，所述X轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨，所述Z轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板，所述夹爪固定板一侧底部通过螺钉固定连接有夹爪，所述夹爪底部之间卡接有晶片载盘，所述夹爪顶部一侧通过螺钉固定连接有导柱固定板，所述导柱固定板一侧内部卡接有导柱导套组件，所述导柱导套组件底部一端卡接有晶片吸嘴。

进一步的，所述X轴运动滑轨一侧与支架连接处通过螺钉固定连接有X轴联接板。

进一步的，所述Z轴运动滑轨一侧与X轴运动滑轨连接处通过螺钉固定连接有Z轴联接板。

进一步的，所述导柱导套组件的导柱与导套之间卡接有弹簧。

进一步的，所述夹爪为四爪气动夹爪。

进一步的，所述X轴运动滑轨与Z轴运动滑轨两端卡接有限位块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置的X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨以及夹爪，实现了在晶片载盘搬运装置使用时，通过X轴运动滑轨带动Z轴运动滑轨、夹爪固定板、夹爪及其组件进行X轴方向的移动，通过Z轴运动滑轨带动夹爪固定板、夹爪及其组件进行Z轴方向的移动，在Z轴运动滑轨带动夹爪升降的过程中，在夹爪与晶片载盘接触之前，晶片吸嘴首先与晶片载盘相接触，此时Z轴运动滑轨带动夹爪继续下降，此时导柱导套组件内部的弹簧受压缩，进行缓冲，便于夹爪与晶片载盘接触时的缓冲，当夹爪与晶片载盘接触以后，Z轴运动滑轨停止，此时夹爪上气缸带动夹爪夹取晶片载盘，通过导柱导套组件以及晶片吸嘴的缓冲，保护了晶片载盘不受夹爪的碰撞，大大提高了整个搬运装置的运行稳定性与安全可靠性，保证了搬运效率。

附图说明

图1为本实用新型整体主视结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图3为本实用新型整体左视结构示意图；

图4为本实用新型图3中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型整体俯视结构示意图；

图6为本实用新型整体轴测图。

图中：1-支架底板；2-支架；3-X轴运动滑轨；301-X轴联接板；4-Z轴运动滑轨；401-Z轴联接板；5-夹爪固定板；6-夹爪；7-导柱固定板；8-晶片载盘；9-晶片吸嘴；10-导柱导套组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种晶片载盘搬运装置，包括：支架2、X轴运动滑轨3、Z轴运动滑轨4和晶片载盘8，支架2底部通过螺钉固定连接有支架底板1，支架2顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨3，X轴运动滑轨3一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨4，Z轴运动滑轨4一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板5，夹爪固定板5一侧底部通过螺钉固定连接有夹爪6，夹爪6底部之间卡接有晶片载盘8，夹爪6顶部一侧通过螺钉固定连接有导柱固定板7，导柱固定板7一侧内部卡接有导柱导套组件10，导柱导套组件10底部一端卡接有晶片吸嘴9，X轴运动滑轨3一侧与支架2连接处通过螺钉固定连接有X轴联接板301，Z轴运动滑轨4一侧与X轴运动滑轨3连接处通过螺钉固定连接有Z轴联接板401，导柱导套组件10的导柱与导套之间卡接有弹簧，夹爪6为四爪气动夹爪，X轴运动滑轨3与Z轴运动滑轨4两端卡接有限位块。

工作原理：在晶片载盘搬运装置使用时，通过X轴运动滑轨3带动Z轴运动滑轨4、夹爪固定板5、夹爪6及其组件进行X轴方向的移动，通过Z轴运动滑轨4带动夹爪固定板5、夹爪6及其组件进行Z轴方向的移动，在Z轴运动滑轨4带动夹爪6升降的过程中，在夹爪6与晶片载盘8接触之前，晶片吸嘴9首先与晶片载盘8相接触，此时Z轴运动滑轨4带动夹爪6继续下降，此时导柱导套组件10内部的弹簧受压缩，进行缓冲，便于夹爪6与晶片载盘8接触时的缓冲，当夹爪6与晶片载盘8接触以后，Z轴运动滑轨4停止，此时夹爪6上气缸带动夹爪6夹取晶片载盘8，通过导柱导套组件10以及晶片吸嘴9的缓冲，保护了晶片载盘8不受夹爪6的碰撞，大大提高了整个搬运装置的运行稳定性与安全可靠性，保证了搬运效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶片载盘搬运装置，其特征在于，包括：

支架(2)；

X轴运动滑轨(3)；

Z轴运动滑轨(4)；

晶片载盘(8)，

其中，所述支架(2)底部通过螺钉固定连接有支架底板(1)，所述支架(2)顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨(3)，所述X轴运动滑轨(3)一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨(4)，所述Z轴运动滑轨(4)一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板(5)，所述夹爪固定板(5)一侧底部通过螺钉固定连接有夹爪(6)，所述夹爪(6)底部之间卡接有晶片载盘(8)，所述夹爪(6)顶部一侧通过螺钉固定连接有导柱固定板(7)，所述导柱固定板(7)一侧内部卡接有导柱导套组件(10)，所述导柱导套组件(10)底部一端卡接有晶片吸嘴(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述X轴运动滑轨(3)一侧与支架(2)连接处通过螺钉固定连接有X轴联接板(301)。

3.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述Z轴运动滑轨(4)一侧与X轴运动滑轨(3)连接处通过螺钉固定连接有Z轴联接板(401)。

4.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述导柱导套组件(10)的导柱与导套之间卡接有弹簧。

5.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述夹爪(6)为四爪气动夹爪。

6.根据权利要求1所述的一种晶片载盘搬运装置，其特征在于：所述X轴运动滑轨(3)与Z轴运动滑轨(4)两端卡接有限位块。

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