KR20140098986A - 펠리클 프레임 가공용 고정지그 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 펠리클 프레임 가공용 고정 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공하고자 하는 알루미늄 소재의 펠리클 프레임 박판을 머시닝 센터의 작업대에 고정되게 고정하는 고정판에 고정하여 펠리클 프레임 박판의 외측면(외경)을 먼저 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻음에 있어서 페리클 프레임 박판을 고정하는 고정지그의 착탈시 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생 가능한 스크래치 등을 방지하기 위해서 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 관한 것으로서,
본 발명의 구체적인 해결적 수단은,
"사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판(100)을 안착할 수 있는 안착부(210)가 다수개 존재하며 상기 안착부(210)의 중앙지점(C)을 기준으로 내주에 볼트홈(211)이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부(210)의 외주 끝단에는 고정지그(300)를 착탈 결합하기 위한 결합홈(212)이 형성되어 있는 고정판(200)과 상기 결합홈(212)과 일치되는 결합공(310)이 외곽 프레임(320)에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판(100)이 삽입되도록 삽입공(330)이 형성된 고정지그(300)와 상기 볼트홈(211)과 일치하는 볼트공(110)이 천공된 펠리클 프레임 박판(100)을 상기 고정판(200)의 안착부(210)에 각각 착탈 가능하게 결합하도록 형성된 통상의 것에 있어서, 상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성되어 있는 것과,
상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성한 것"을 구성적 특징 함으로서, 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임에 고정지그를 착탈하는 과정에서 발생할 우려가 있는 스크래치를 미연에 방지하기 위해 고정지그의 프레임 전후에 가이드핀을 고정판의 핀홈에 결합토록 함으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생가능한 스크래치를 미연에 방지하여 작업의 간편성 및 신속성과 더불어 불량율의 최소화를 이룰 수 있도록 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 구체적인 해결적 수단은,
"사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판(100)을 안착할 수 있는 안착부(210)가 다수개 존재하며 상기 안착부(210)의 중앙지점(C)을 기준으로 내주에 볼트홈(211)이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부(210)의 외주 끝단에는 고정지그(300)를 착탈 결합하기 위한 결합홈(212)이 형성되어 있는 고정판(200)과 상기 결합홈(212)과 일치되는 결합공(310)이 외곽 프레임(320)에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판(100)이 삽입되도록 삽입공(330)이 형성된 고정지그(300)와 상기 볼트홈(211)과 일치하는 볼트공(110)이 천공된 펠리클 프레임 박판(100)을 상기 고정판(200)의 안착부(210)에 각각 착탈 가능하게 결합하도록 형성된 통상의 것에 있어서, 상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성되어 있는 것과,
상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성한 것"을 구성적 특징 함으로서, 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임에 고정지그를 착탈하는 과정에서 발생할 우려가 있는 스크래치를 미연에 방지하기 위해 고정지그의 프레임 전후에 가이드핀을 고정판의 핀홈에 결합토록 함으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생가능한 스크래치를 미연에 방지하여 작업의 간편성 및 신속성과 더불어 불량율의 최소화를 이룰 수 있도록 하는 효과를 발휘할 수 있다.
Description
본 발명은 펠리클 프레임 가공용 고정 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공하고자 하는 알루미늄 소재의 펠리클 프레임 박판을 머시닝 센터의 작업대에 고정되게 고정하는 고정판에 고정하여 펠리클 프레임 박판의 외측면(외경)을 먼저 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻음에 있어서 페리클 프레임 박판을 고정하는 고정지그의 착탈시 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생 가능한 스크래치 등을 방지하기 위해서 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 관한 것이다.
일반적으로 IC, LSI 등의 직접회로의 제조 및 액정 표시판의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정 표시용 원판에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 포토마스크와 레티클에는 노광되는 패턴 상에 분진 등의 이물질이 부착되거나, 포토마스크와 레티클 상에 이물질이 부착되어 노광 시에 이물질의 그림자가 투영되는 것을 방지하기 위해 펠리클을 장착하여 노광한다.
즉, 펠리클 프레임에 부착된 펠리클막은 일정한 회로 패턴이 형성된 포토마스크의 상하에 부착되어 포토마스크에 형성된 회로 패턴을 보호하며, 먼지 등의 불순물이 부착되어 패턴을 형성할 때 불량을 줄이기 위하여 사용되는 것으로서, 상세하게는 감광성 기판 또는 웨이퍼(wafer) 상에 영상을 형성하는 투시 인쇄 시스템(Projection Printing Systems)은 특히 집적회로의 제조에 있어서 포토레지스트-피복 반도체 웨이퍼를 노출시키는데 적합하다.
이러한 시스템은 통상적으로 표면에 형성되는 불투명 및 투명 영역의 패턴(pattern)이 있는 투명기판을 갖는 포토마스크 또는 초점판(이후, 마스크라 함), 마스크를 통하여 웨이퍼에 가시 광선 또는 UV와 같은 방사에너지의 비임(beam)을 접속시키기 위한 조사(illuminating)장치, 웨이퍼 상 또는 LCD회로나 PDP 회로 상에 마스크 패턴의 초점이 맞은 영상을 형성하는 광학장치 및 마스크의 표면상에 초점이 맞지 않도록 먼지 입자의 영상을 유지시키는 작용을 하는 것이다.
펠리클 막은 펠리클 프레임(frame) 상에 지지가 된 얇고, 빛의 투과성이 높은 필름으로서, 통상적으로, 펠리클 프레임은 마스크에 부착되어 있고, 광학 필름은 마스크 표면으로부터 일정거리로 떨어져 펠리클 프레임의 타단에 부착되어 있어, 마스크 상에 부착되어 웨이퍼 상에 투시될 수 있는 먼지 입자 대신에 펠리클 막 상에 부착되어 먼지의 형상이 패턴을 형성시키는 표면상에서 분산될 것이다.
결과적으로 펠리클막을 통상적인 투시 인쇄 시스템에 사용하는 경우에, 하나 이상의 먼지 입자는 주어진 웨이퍼, LCD 회로 패턴, 컬러필터의 패턴 또는 PDP 회로 등의 패턴형성에 영향을 주지 못하게 하는 역할을 하는 것이다.
상기와 같은 페리클의 프레임은 알루미늄 소재의 박판을 소정 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 밀링 머신에서 일정크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀가공하며, 외경을 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것이다.
상기 내경가공에 있어서, 펠리클 프레임 박판을 작업대의 고정판에 고정하고, 상기 박판의 외부 모서리 등 외측면을 고정한 후 가공되는데, 이때 펠리클 프레임 박판을 작업대에 고정하는 부재를 필요로 한다.
이와 같이 펠리클 프레임 박판을 고정하기 위한 고정지그는 일반적으로 공지된 기술이나, 종래의 고정지그는 단순히 작업대의 고정판에 펠리클 프레임 박판에 구비된 볼트공에 볼트로 고정한 다음 상기 펠리클 프레임 박판의 외주에 상기 박판의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 숙련된 숙련공에 의해 상기 고정지그를 안착한 후 고정지그를 볼트등으로 고정하고 가공한 후 상기 고정지그를 고정한 볼트를 해지하여 고정지그를 제거하도록 하는 것으로서 종래에는 고정지그의 착탈시 부주의 또는 미숙련으로 인해 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 스크래치를 발생하는 경우가 비일비재하고 이로 인해 상기 스크래치를 제거하는 공정을 추가로 하여야 하거나 또는 불량율이 증가하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 고정지그를 착탈시 스크래치 발생을 방지하기 위해 고정지그 저면 전후에 각각 복수개의 가이드핀을 형성하고 고정판에 상기 가이드핀이 삽입 가능한 핀홈을 형성하여 고정지그 착탈시 펠리클 프레임 박판 및 펠리클 프레임의 외측면에 고정지그가 충돌 등으로 인한 스크래치를 미연에 방지하여 불량율을 최소화하기 위한 펠리클 프레임 가공용 고정지그를 제공하고자 함에 본 발명의 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 구체적인 해결적 수단은,
"사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판을 안착할 수 있는 안착부가 다수개 존재하며 상기 안착부의 중앙지점을 기준으로 내주에 볼트홈이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부의 외주 끝단에는 고정지그를 착탈 결합하기 위한 결합홈이 형성되어 있는 고정판과 상기 결합홈과 일치되는 결합공이 외곽 프레임에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판이 삽입되도록 삽입공이 형성된 고정지그와 상기 볼트홈과 일치하는 볼트공이 천공된 펠리클 프레임 박판을 상기 고정판의 안착부에 각각 착탈 가능하게 결합하도록 형성된 통상의 것에 있어서,
상기 고정판의 안착부 외주 끝단에 형성된 결합홈에서 전후 결합홈과 일직선상에서 결합홈과 교호로 별도의 핀홈을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈과 일치되도록 고정지그의 프레임 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀이 형성되어 있는 것과,
상기 고정지그의 내측면과 펠리클 프레임 박판의 외측면사이에 갭을 형성한 것"을 구성적 특징으로 함으로서 상기의 목적을 달성할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그는 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임에 고정지그를 착탈하는 과정에서 발생할 우려가 있는 스크래치를 미연에 방지하기 위해 고정지그의 프레임 전후에 가이드핀을 고정판의 핀홈에 결합토록 함으로서 펠리클 프레임 박판 및 가공된 펠리클 프레임의 외측면에 발생가능한 스크래치를 미연에 방지하여 작업의 간편성 및 신속성과 더불어 불량율의 최소화를 이룰 수 있도록 하는 효과를 발휘할 수 있다.
이상에서 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 사시도,
도 2는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 저면 사시도,
도 3은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 적용되는 고정판의 사시도 및 일부 확대 단면도,
도 4는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합하는 상태를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 7은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합한 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 8은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 의해 제조된 가공된 펠리클 프레임의 사시도이다.
도 2는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 저면 사시도,
도 3은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 적용되는 고정판의 사시도 및 일부 확대 단면도,
도 4는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합하는 상태를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 7은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합한 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 8은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 의해 제조된 가공된 펠리클 프레임의 사시도이다.
이하, 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 대하여 도면과 함께 구체적인 구성 및 작용에 대하여 상세히 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 사시도이며, 도 2는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그의 저면 사시도이고, 도 3은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 적용되는 고정판의 사시도 및 일부 확대 단면도이며, 도 4는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합하는 상태를 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합하는 상태를 나타낸 요부 단면도이고, 도 7은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 있어서 펠리클 프레임 박판을 고정판에 고정 결합한 후 고정지그를 결합한 상태를 나타낸 요부 단면도이며, 도 8은 본 발명인 펠리클 프레임 가공용 고정지그에 의해 제조된 가공된 펠리클 프레임의 사시도이다.
이하, 본 발명의 구성에 대하여 설명하면,
우선, 본 발명의 구체적인 구성을 설명하기 전에 일반적인 기술내용을 설명하면,
페리클의 프레임은 알루미늄 소재의 박판을 소정 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 밀링 머신에서 일정크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀가공하며, 외경을 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것으로서 안착부(210)가 다수개 존재하며 상기 안착부(210)의 중앙지점(C)을 기준으로 내주에 볼트홈(211)이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부(210)의 외주 끝단에는 고정지그(300)를 착탈 결합하기 위한 결합홈(212)이 형성되어 있는 고정판(200)의 상기 안착부(210)에 상기 볼트홈(211)과 일치하는 볼트공(110)이 천공된 사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판(100)을 상기 고정판(200)의 안착부(210)에 안착 고정하고 상기 결합홈(212)과 일치되는 결합공(310)이 외곽 프레임(320)에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판(100)이 삽입되도록 삽입공(330)이 형성된 고정지그(300)를 고정판(200)에 고정한 후 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면과 내측면을 가공하도록 구성된 것이다.
상기와 같은 종래기술에서 상기 고정지그(300)의 삽입홈(330) 내측으로 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 정확하게 상기 고정지그(300)를 결합하고 가공인 끝난 상태의 가공된 펠리클 프레임(P)으로 부터 고정지그(300)를 탈거함에 있어 가공된 펠리클 프레임(P)의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 정확하게 탈거하기 위해서 본 발명은, 상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성토록 하는 구성으로서 구체적으로 말하면 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 결합홈(212)과 결합공(310)의 일부를 핀홈(213)과 가이드핀(340)으로 대체하여 구성함으로서 펠리클 프레임 박판(100) 및 가공된 펠리클 프레임(P)의 외측면에 스크래치가 발생치 아니하도록 고정지그(300)을 고정판(200)에서 착탈시 우선 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 가이드핀(340)과 핀홈(213)을 일치시켜 결합하면 자연스럽게 결합공(310)과 결합홈(212)이 일치되며 이로서 상기 결합홈(212)에 일치된 결합공(310)에 도 5에 도시된 바와 같이 볼트(B)로 고정하면 펠리클 프레임 박판(100) 및 가공된 펠리클 프레임(P) 외측면에 스크래치를 발생치 아니하면서 안전하게 고정지그(300)을 착탈 가능하도록 할 수 있는 것이다.
바람직하게는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성토록 함으로서 펠리클 프레임 박판(100) 및 가공된 펠리클 프레임(P)의 외측면과 고정지그(300)가 맞닿지 아니하므로 외측면의 스크래치를 더욱 발생치 아니할 수 있도록 한 것이다.
100 : 펠리클 프레임 박판 110 : 볼트공
200 : 고정판 210 : 안착부
211 : 볼트홈 212 : 결합홈
213 : 핀홈 300 : 고정지그
310 : 결합공 320 : 프레임
330 : 삽입공 340 : 가이드핀
400 : 갭 B : 볼트
C : 중앙지점 F : 가공된 펠리클 프레임
200 : 고정판 210 : 안착부
211 : 볼트홈 212 : 결합홈
213 : 핀홈 300 : 고정지그
310 : 결합공 320 : 프레임
330 : 삽입공 340 : 가이드핀
400 : 갭 B : 볼트
C : 중앙지점 F : 가공된 펠리클 프레임
Claims (2)
- 사각형상의 적층된 복수개 이상의 펠리클 프레임 박판(100)을 안착할 수 있는 안착부(210)가 다수개 존재하며 상기 안착부(210)의 중앙지점(C)을 기준으로 내주에 볼트홈(211)이 사각으로 형성되어 있고 상기 안착부(210)의 외주 끝단에는 고정지그(300)를 착탈 결합하기 위한 결합홈(212)이 형성되어 있는 고정판(200)과 상기 결합홈(212)과 일치되는 결합공(310)이 외곽 프레임(320)에 천공되어 있고 중앙에는 상기 펠리클 프레임 박판(100)이 삽입되도록 삽입공(330)이 형성된 고정지그(300)와 상기 볼트홈(211)과 일치하는 볼트공(110)이 천공된 펠리클 프레임 박판(100)을 상기 고정판(200)의 안착부(210)에 각각 착탈 가능하게 결합하도록 형성된 통상의 것에 있어서,
상기 고정판(200)의 안착부(210) 외주 끝단에 형성된 결합홈(212)에서 전후 결합홈(212)과 일직선상에서 결합홈(212)과 교호로 별도의 핀홈(213)을 전후에 각각 복수개 형성하고 상기 핀홈(213)과 일치되도록 고정지그(300)의 프레임(320) 전후 저면에 각각 복수개의 가이드핀(340)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 가공용 고정지그.
- 제 1 항에 있어서,
상기 고정지그(300)의 내측면과 펠리클 프레임 박판(100)의 외측면사이에 갭(400)을 형성한 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 가공용 고정지그.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020130011611A KR101434550B1 (ko) | 2013-02-01 | 2013-02-01 | 펠리클 프레임 가공용 고정지그 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130011611A KR101434550B1 (ko) | 2013-02-01 | 2013-02-01 | 펠리클 프레임 가공용 고정지그 |
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| KR101434550B1 KR101434550B1 (ko) | 2014-08-26 |
Family
ID=51745531
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-
2013
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