KR20140092683A - 터치스크린 패널 및 그의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 터치스크린 패널 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 터치 스크린 패널은 감지영역 및 주변영역을 포함하는 기판, 상기 기판의 감지영역에 배치되며 일 방향으로 서로 분리되어 배열되고 제 1 밀도의 나노 와이어로 이루어진 복수의 제 1 감지패턴, 상기 제 1 감지패턴과 교차하는 방향으로 배열되며 연결부에 의해 서로 연결되고 상기 제 1 밀도의 나노 와이어로 이루어진 복수의 제 2 감지패턴, 상기 제 1 감지패턴, 상기 제 2 감지패턴 및 상기 연결부 상에 형성되며 상기 제 1 감지패턴의 양측이 노출되도록 패터닝된 절연층, 상기 절연층 상에 상기 연결부와 교차하도록 배치되며 상기 제 1 감지패턴의 노출된 부분을 연결하는 적어도 하나의 브리지, 및 상기 기판의 주변영역에 배치되며 상기 제 1 감지패턴 및 상기 제 2 감지패턴에 각각 연결되고 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어를 포함하는 복수의 배선을 포함하며, 나노 와이어의 밀도를 조절하여 투과도 및 면저항을 조절함으로써 감지전극과 배선을 같은 물질로 형성할 수 있고 동시에 패터닝할 수 있다.

Description

터치스크린 패널 및 그의 제조방법 {Touch screen panel and method for manufacturing the same}
본 발명은 터치스크린 패널 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제조 단계를 감소시킬 수 있는 터치스크린 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
근래에 들어 액정표시장치(LCD)나 유기전계발광 표시장치(OLED)에 터치스크린 패널이 적용되고 있다. 터치스크린 패널은 사용자의 손이나 펜과 같은 물체를 접촉하여 명령을 입력하는 장치로서, 두 전극 사이의 정전용량이나 전압 변화를 감지하여 접촉된 위치를 인식하고, 위치에 따른 사용자의 명령을 표시장치로 제공한다.
터치스크린 패널은 손이나 물체가 접촉되는 위치를 감지하기 위한 두 개의 감지전극과, 두 개의 감지전극에 각각 연결된 배선들을 포함한다. 일반적으로 터치스크린 패널의 감지전극은 투명한 도전물질로서, ITO(Indium Tin Oxide) 등으로 형성하고, 배선은 면저항이 낮은 금속으로 형성한다.
터치스크린 패널을 제조하기 위해서는 감지전극 및 배선을 형성하기 위한 마스크가 각각 필요하며, 상기 마스크를 사용한 사진(photolithography) 공정 및 식각(etching) 공정을 진행하게 된다. 사진 공정은 감광막을 형성하는 단계, 마스크를 이용하여 감광막을 노광하는 단계 및 노광된 감광막을 현상하는 단계를 포함한다.
한 번의 사진 공정은 여러 단계의 공정을 포함하기 때문에 사진 공정이 추가될 경우 전체 제조 단계가 복잡해지며, 감광막을 형성하고 제거하는 과정에서 오염이나 불량이 유발될 수 있다.
본 발명의 실시예의 목적은 마스크의 수를 감소시킬 수 있는 터치스크린 패널 및 그의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 실시예의 다른 목적은 제조 단계를 감소시킬 수 있는 터치스크린 패널 및 그의 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널은 감지영역 및 주변영역을 포함하는 기판, 상기 기판의 감지영역에 배치되며 일 방향으로 서로 분리되어 배열되고 제 1 밀도의 나노 와이어로 이루어진 복수의 제 1 감지패턴, 상기 제 1 감지패턴과 교차하는 방향으로 배열되며 연결부에 의해 서로 연결되고 상기 제 1 밀도의 나노 와이어로 이루어진 복수의 제 2 감지패턴, 상기 제 1 감지패턴, 상기 제 2 감지패턴 및 상기 연결부 상에 형성되며 상기 제 1 감지패턴의 양측이 노출되도록 패터닝된 절연층, 상기 절연층 상에 상기 연결부와 교차하도록 배치되며 상기 제 1 감지패턴의 노출된 부분을 연결하는 적어도 하나의 브리지, 및 상기 기판의 주변영역에 배치되며 상기 제 1 감지패턴 및 상기 제 2 감지패턴에 각각 연결되고 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어를 포함하는 복수의 배선을 포함한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법은 감지영역 및 주변영역을 포함하는 기판 상에 제 1 밀도의 나노 와이어층 및 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어층을 형성하는 단계, 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층 및 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층을 순차적으로 패터닝하여 상기 감지영역에는 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층으로 이루어진 감지전극을 형성하고, 상기 주변영역에는 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 포함하는 배선을 형성하는 단계, 상기 감지전극 및 상기 배선을 포함하는 상기 기판 상에 절연층을 형성한 후 패터닝하여 일 방향으로 배열된 상기 감지전극의 양측부를 노출시키는 단계, 및 상기 노출된 감지전극이 서로 연결되도록 상기 절연층 상에 브리지를 형성하는 단계를 포함한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법은 기판의 감지영역에 제 1 밀도의 나노 와이어층을 형성하고, 상기 기판의 주변영역에 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어층을 형성하는 단계, 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층 및 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 패터닝하여 상기 감지영역에는 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층으로 이루어진 감지전극을 형성하고, 상기 주변영역에는 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 포함하는 배선을 형성하는 단계, 상기 감지전극 및 상기 배선을 포함하는 상기 기판 상에 절연층을 형성한 후 패터닝하여 일 방향으로 배열된 상기 감지전극의 양측부를 노출시키는 단계, 및 상기 노출된 감지전극이 서로 연결되도록 상기 절연층 상에 브리지를 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예는 터치스크린 패널의 감지전극과 배선을 같은 물질로 형성한다. 나노 와이어의 밀도를 조절하여 투과도 및 면저항을 조절함으로써 감지전극과 배선을 같은 물질로 형성할 수 있으며 동시에 패터닝할 수 있다. 따라서 종래에 비해 마스크 및 공정 단계가 감소될 수 있고, 사진 공정시 발생할 수 있는 오염에 의한 불량이 감소되기 때문에 생산성이 향상되고 제조 원가를 절감할 수 있다. 또한, 연성의 나노 와이어를 사용함으로써 터치스크린 패널의 가요성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 실시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서, 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 기판(100)은 감지영역(12) 및 주변영역(14)을 포함한다.
기판(100)은 유리나 플라스틱과 같은 투명한 절연물로 이루어진 경성의 기판이나 연성(flexible)의 기판을 사용한다.
감지영역(12)은 손이나 물체의 접촉되는 위치를 감지하는 영역으로서, 예를 들어, 기판(100)의 중앙부에 배치될 수 있으며, 감지영역(12)의 기판(100) 상에는 복수의 감지전극(20)이 형성된다. 복수의 감지전극(20)은 일 방향(예를 들어, X 방향)으로 서로 연결되도록 배열되는 복수의 제 1 감지패턴(22)과, 제 1 감지패턴(22)과 교차하는 방향(예를 들어, Y 방향)으로 서로 연결되도록 배열되는 복수의 제 2 감지패턴(24)을 포함한다.
제 1 감지패턴(22) 및 제 2 감지패턴(24) 중 어느 하나는 서로 연결되지 않는 독립된 패턴으로 분리되어 형성되고 브리지를 통해 서로 연결된다. 예를 들어, 제 2 감지패턴(24)이 연결부(24a)에 의해 서로 연결된 상태로 형성된 경우, 제 1 감지패턴(22)은 서로 분리되어 형성되고 브리지(22a)에 의해 서로 연결된다. 브리지(22a)는 제 2 감지패턴(24)의 연결부(24a)와 교차하도록 배치되며 절연층(도시안됨)에 의해 제 2 감지패턴(24)의 연결부(24a)와 전기적으로 절연된다.
제 1 감지패턴(22), 제 2 감지패턴(24) 및 연결부(24a)는 투명한 도전성 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 투명한 도전성 물질로서, 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어를 포함하는 군에서 선택된 하나의 나노 와이어를 사용할 수 있다. 상기 나노 와이어는 50Ω/□ 내지 300Ω/□ 정도, 바람직하게는 100Ω/□ 내지 200Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 소정의 밀도, 예를 들어, 제 1 밀도로 도포되는 것이 바람직하다.
브리지(22a)는 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 합금, ITO, IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 투명한 도전물질 또는 도전성 폴리머 등으로 형성될 수 있다.
상기 절연층은 제 1 감지패턴(22), 제 2 감지패턴(24) 및 연결부(24a) 상에 형성되며, 제 1 감지패턴(22)의 양측이 노출되도록 패터닝된다. 브리지(22a)는 절연층 상에 연결부(24a)와 교차하도록 배치되며 인접하는 제 1 감지패턴(22)의 노출된 부분을 서로 연결한다.
주변영역(14)은 감지영역(12)의 주변부로서, 주변영역(14)의 기판(100) 상에는 복수의 감지전극(20)과 연결되는 복수의 배선(30) 및 복수의 배선(30)과 연결되는 패드부(40)가 형성된다. 예를 들어, 복수의 제 1 감지패턴(22)과 연결되도록 배선(32)이 형성되고, 복수의 제 2 감지패턴(24)과 연결되도록 배선(34)이 형성된다.
배선(30)은 감지전극(20)보다 저항값이 낮은 도전성 물질로 형성되는 것이 바람직하며, 불투명한 물질로 형성될 수 있다. 배선(30)은 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어를 포함하는 군에서 선택된 하나의 나노 와이어로 형성될 수 있다. 상기 나노 와이어는 0.1Ω/□ 내지 0.9Ω/□ 정도, 바람직하게는 0.1Ω/□ 내지 0.3Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 소정의 밀도, 예를 들어, 제 2 밀도로 도포되는 것이 바람직하다.
패드부(40)에는 터치스크린 패널을 구동하기 위한 구동회로기판(도시안됨)이 전기적으로 연결된다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이고, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 평면도이다. 설명의 편의를 위해 도 1에 도시된 I1 - I2 부분을 절취한 단면을 도시한다.
도 2a를 참조하면, 기판(100) 상에 제 1 밀도의 나노 와이어층(200) 및 상기 제 1 밀도 보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어층(300)을 형성한다.
기판(100)은 감지영역(12) 및 주변영역(14)을 포함하며, 나노 와이어층(200) 및 나노 와이어층(300)은 감지영역(12) 및 주변영역(14)을 포함하는 기판(100) 상에 형성한다.
기판(100)은 유리나 플라스틱과 같은 투명한 절연물로 이루어진 경성의 기판이나 연성의 기판을 사용한다.
나노 와이어층(200) 및 나노 와이어층(300)은 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 등으로 형성할 수 있다. 용매에 혼합된 나노 와이어를 50Ω/□ 내지 300Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 제 1 밀도로 도포하여 나노 와이어층(200)을 형성하고, 나노 와이어층(200) 상에 0.1Ω/□ 내지 0.9Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 제 2 밀도로 도포하여 나노 와이어층(300)을 형성할 수 있다.
나노 와이어는 바(bar) 코팅, 슬릿(slit) 코팅, 드롭(drop) 코팅 등의 방법으로 도포할 수 있다.
도 3a는 제 1 밀도로 도포된 나노 와이어층(200)의 평면도로서, 나노 와이어(200a)가 비교적 낮은 밀도로 도포되기 때문에 나노 와이어층(300)에 비해 면저항은 높지만, 높은 투과도 예를 들어, 가시광 영역에서 80% 이상의 광 투과도를 가질 수 있다.
도 3b는 제 2 밀도로 도포된 나노 와이어층(300)의 평면도로서, 나노 와이어(300a)가 비교적 높은 밀도로 도포되기 때문에 투과도는 낮지만, 나노 와이어층(200)에 비해 낮은 면저항을 가질 수 있다.
상기 제 1 밀도 및 제 2 밀도는 예를 들어, 나노 와이어의 개수의 차이에 의해 구분될 수 있다.
도 2b를 참조하면, 나노 와이어층(300) 및 나노 와이어층(200)을 순차적으로 패터닝하여 감지영역(12)에는 감지전극(20)을 형성하고, 주변영역(14)에는 배선(30)을 형성한다. 나노 와이어층(300) 및 나노 와이어층(200)은 감광막을 이용한 사진 및 식각 공정으로 패터닝하거나, 레이저를 이용하여 패터닝할 수 있다.
나노 와이어층(300)을 패터닝하는 과정에서 감지영역(12)의 나노 와이어층(300)을 제거함으로써 감지영역(12)에는 투명한 나노 와이어층(200)으로 이루어진 감지전극(20)이 형성되고, 주변영역(14)에는 면저항이 낮은 나노 와이어층(300)으로 이루어진 배선(30)이 형성된다.
감지전극(20)은 나노 와이어층(200)으로 이루어지며, 일 방향(예를 들어, X 방향)으로 서로 분리되어 배열되는 복수의 제 1 감지패턴(22)과, 제 1 감지패턴(22)과 교차하는 방향(예를 들어, Y 방향)으로 배열되며 연결부(24a)에 의해 서로 연결된 복수의 제 2 감지패턴(24)을 포함한다.
배선(30)은 나노 와이어층(300)과, 나노 와이어층(300)의 하부에 배치된 나노 와이어층(200)의 적층 구조로 이루어지며, 복수의 제 1 감지패턴(22)과 연결되는 배선(32) 및 복수의 제 2 감지패턴(24)과 연결되는 배선(34)을 포함한다. 배선(30)이 나노 와이어층(200)과 나노 와이어층(300)의 적층 구조로 형성되는 경우 나노 와이어층(300)의 단일 층 구조보다 저항값이 더 감소될 수 있다.
도 2c를 참조하면, 감지전극(20) 및 배선(30)을 포함하는 기판(100) 상에 절연층(400)을 형성하고, 절연층(400)을 패터닝하여 일 방향으로 배열된 감지전극(20)의 양측부, 예를 들어, 제 1 감지패턴(22)의 양측부를 소정 부분 노출시킨다.
도 2d를 참조하면, 절연층(400) 및 노출된 감지전극(20) 상에 도전층을 일정 두께로 형성한 후 패터닝하여 인접하는 감지전극(20)이 서로 연결되도록 브리지(22a)를 형성한다.
상기 도전층은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 합금, ITO, IZO 등의 투명한 도전물질 또는 도전성 폴리머 등으로 형성할 수 있다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널의 제조방법을 설명하기 위한 평면도이다. 설명의 편의를 위해 도 1에 도시된 I1 - I2 부분을 절취한 단면을 도시한다.
도 4a를 참조하면, 기판(100) 상에 제 2 밀도의 나노 와이어층(300)을 형성한다. 제 2 밀도의 나노 와이어층(300)은 도 2a에서 설명한 바와 같이 형성할 수 있다.
기판(100)은 감지영역(12) 및 주변영역(14)을 포함하며, 나노 와이어층(300)은 감지영역(12) 및 주변영역(14)을 포함하는 기판(100) 상에 형성한다.
기판(100)은 유리나 플라스틱과 같은 투명한 절연물로 이루어진 경성의 기판이나 연성의 기판을 사용한다.
도 4b를 참조하면, 감지영역(12)의 나노 와이어층(300)을 제거한 후 감지영역(12)의 기판(100) 상에 제 1 밀도의 나노 와이어층(200)을 형성한다. 나노 와이어층(200)은 도 2a에서 설명한 바와 같이 형성할 수 있으며, 드롭 코팅 방법을 이용하면 용이하게 형성할 수 있다.
상기 공정에 의해 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(100)의 감지영역(12)에는 제 1 밀도의 나노 와이어층(200)이 형성되고, 기판(100)의 주변영역(14)에는 제 2 밀도의 나노 와이어층(300)이 형성된다.
도 4c를 참조하면, 나노 와이어층(200) 및 나노 와이어층(300)을 패터닝하여 감지영역(12)에는 감지전극(20)을 형성하고, 주변영역(14)에는 배선(30)을 형성한다. 나노 와이어층(200) 및 나노 와이어층(300)은 감광막을 이용한 사진 및 식각 공정으로 패터닝하거나, 레이저를 이용하여 패터닝할 수 있다.
도 4d를 참조하면, 감지전극(20) 및 배선(30)을 포함하는 기판(100) 상에 절연층(400)을 형성하고, 절연층(400)을 패터닝하여 일 방향으로 배열된 감지전극(20)의 양측부, 예를 들어, 제 1 감지패턴(22)의 양측부를 소정 부분 노출시킨다.
도 4e를 참조하면, 절연층(400) 및 노출된 감지전극(20) 상에 도전층을 일정 두께로 형성한 후 패터닝하여 인접하는 감지전극(20)이 서로 연결되도록 브리지(22a)를 형성한다.
상기 도전층은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 합금, ITO, IZO 등의 투명한 도전물질 또는 도전성 폴리머 등으로 형성할 수 있다.
감지전극(20)과 배선(30)을 서로 다른 재료로 형성할 경우 각 재료 간의 접착력이 낮을 수 있고, 이 경우 배선의 저항이 증가하거나 단선이 발생될 수 있다. 또한, 각 재료를 패터닝하기 위한 마스크 및 제조 단계가 필요하다.
본 발명의 실시예는 감지전극(20)과 배선(30)을 같은 재료로 형성함으로써 상기 문제점을 해결할 수 있으며, 연성의 나노 와이어를 사용함으로써 터치 스크린 패널의 가요성을 향상시킬 수 있다.
이상에서와 같이 상세한 설명과 도면을 통해 본 발명의 최적의 실시예를 개시하였다. 용어들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 실시예의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
12: 감지영역
14: 주변영역
20: 감지전극
22: 제 1 감지패턴
22a: 브리지
24: 제 2 감지패턴
24a: 연결부
30, 32, 34: 배선
40: 패드부
100: 기판
200, 300: 나노 와이어층
200a, 300a: 나노 와이어
400: 절연층

Claims (23)

  1. 감지영역 및 주변영역을 포함하는 기판;
    상기 기판의 감지영역에 배치되며 일 방향으로 서로 분리되어 배열되고 제 1 밀도의 나노 와이어로 이루어진 복수의 제 1 감지패턴;
    상기 제 1 감지패턴과 교차하는 방향으로 배열되며 연결부에 의해 서로 연결되고 상기 제 1 밀도의 나노 와이어로 이루어진 복수의 제 2 감지패턴;
    상기 제 1 감지패턴, 상기 제 2 감지패턴 및 상기 연결부 상에 형성되며 상기 제 1 감지패턴의 양측이 노출되도록 패터닝된 절연층;
    상기 절연층 상에 상기 연결부와 교차하도록 배치되며 상기 제 1 감지패턴의 노출된 부분을 연결하는 적어도 하나의 브리지; 및
    상기 기판의 주변영역에 배치되며 상기 제 1 감지패턴 및 상기 제 2 감지패턴에 각각 연결되고 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어를 포함하는 복수의 배선을 포함하는 터치스크린 패널.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 연성의 기판인 터치스크린 패널.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 밀도의 나노 와이어는 상기 제 1 밀도의 나노 와이어보다 면저항이 낮은 터치스크린 패널.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 밀도의 나노 와이어의 면저항은 50Ω/□ 내지 300Ω/□이고, 상기 제 2 밀도의 나노 와이어의 면저항은 0.1Ω/□ 내지 0.9Ω/□인 터치스크린 패널.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 밀도의 나노 와이어는 상기 제 1 밀도의 나노 와이어보다 투과도가 낮은 터치스크린 패널.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 밀도의 나노 와이어는 투명하고, 상기 제 2 밀도의 나노 와이어는 불투명한 터치스크린 패널.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어를 포함하는 군에서 선택된 하나인 터치스크린 패널.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 배선은 상기 제 2 밀도의 나노 와이어 하부에 배치된 상기 제 1 밀도의 나노 와이어를 더 포함하는 터치스크린 패널.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 브리지는 금속, 투명한 도전물질 및 도전성 폴리머 중 어느 하나로 이루어진 터치스크린 패널.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 금속은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 합금인 터치스크린 패널.
  11. 감지영역 및 주변영역을 포함하는 기판 상에 제 1 밀도의 나노 와이어층 및 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어층을 형성하는 단계;
    상기 제 2 밀도의 나노 와이어층 및 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층을 순차적으로 패터닝하여 상기 감지영역에는 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층으로 이루어진 감지전극을 형성하고, 상기 주변영역에는 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 포함하는 배선을 형성하는 단계;
    상기 감지전극 및 상기 배선을 포함하는 상기 기판 상에 절연층을 형성한 후 패터닝하여 일 방향으로 배열된 상기 감지전극의 양측부를 노출시키는 단계; 및
    상기 노출된 감지전극이 서로 연결되도록 상기 절연층 상에 브리지를 형성하는 단계를 포함하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층은 나노 와이어를 용매에 혼합한 후 50Ω/□ 내지 300Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 제 1 밀도로 도포하여 형성하고,
    상기 제 2 밀도의 나노 와이어층은 상기 나노 와이어를 용매에 혼합한 후 0.1Ω/□ 내지 0.9Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 제 2 밀도로 도포하여 형성하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 패터닝하는 단계에서 상기 감지영역에 형성된 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 제거하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 감지전극은 일 방향으로 서로 분리되어 배열되는 복수의 제 1 감지패턴; 및
    상기 제 1 감지패턴과 교차하는 방향으로 배열되며 연결부에 의해 서로 연결되는 복수의 제 2 감지패턴을 포함하며,
    인접하는 상기 제 1 감지패턴의 양측부가 상기 브리지로 연결되도록 하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  15. 제 11 항에 있어서, 상기 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어를 포함하는 군에서 선택된 하나인 터치스크린 패널의 제조방법.
  16. 제 11 항에 있어서, 상기 브리지는 금속, 투명한 도전물질 및 도전성 폴리머 중 어느 하나로 형성하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 금속은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 합금인 터치스크린 패널의 제조방법.
  18. 기판의 감지영역에 제 1 밀도의 나노 와이어층을 형성하고, 상기 기판의 주변영역에 상기 제 1 밀도보다 높은 제 2 밀도의 나노 와이어층을 형성하는 단계;
    상기 제 1 밀도의 나노 와이어층 및 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 패터닝하여 상기 감지영역에는 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층으로 이루어진 감지전극을 형성하고, 상기 주변영역에는 상기 제 2 밀도의 나노 와이어층을 포함하는 배선을 형성하는 단계;
    상기 감지전극 및 상기 배선을 포함하는 상기 기판 상에 절연층을 형성한 후 패터닝하여 일 방향으로 배열된 상기 감지전극의 양측부를 노출시키는 단계; 및
    상기 노출된 감지전극이 서로 연결되도록 상기 절연층 상에 브리지를 형성하는 단계를 포함하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 제 1 밀도의 나노 와이어층은 나노 와이어를 용매에 혼합한 후 50Ω/□ 내지 300Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 제 1 밀도로 도포하여 형성하고,
    상기 제 2 밀도의 나노 와이어층은 상기 나노 와이어를 용매에 혼합한 후 0.1Ω/□ 내지 0.9Ω/□ 정도의 면저항을 가지도록 제 2 밀도로 도포하여 형성하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  20. 제 18 항에 있어서, 상기 감지전극은 일 방향으로 서로 분리되어 배열되는 복수의 제 1 감지패턴; 및
    상기 제 1 감지패턴과 교차하는 방향으로 배열되며 연결부에 의해 서로 연결되는 복수의 제 2 감지패턴을 포함하며,
    인접하는 상기 제 1 감지패턴의 양측부가 상기 브리지로 연결되도록 하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  21. 제 18 항에 있어서, 상기 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어를 포함하는 군에서 선택된 하나인 터치스크린 패널의 제조방법.
  22. 제 18 항에 있어서, 상기 브리지는 금속, 투명한 도전물질 및 도전성 폴리머 중 어느 하나로 형성하는 터치스크린 패널의 제조방법.
  23. 제 22 항에 있어서, 상기 금속은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 합금인 터치스크린 패널의 제조방법.
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