KR20140091059A

KR20140091059A - 제한기 및 공기 정압 베어링용의 유체 누설 제한기의 생산 프로세스

Info

Publication number: KR20140091059A
Application number: KR1020147015920A
Authority: KR
Inventors: 에히크 브루그만 뮐레; 디트마르 에리히 베른하르트 릴리
Original assignee: 월풀 에쎄.아.
Priority date: 2011-11-16
Filing date: 2012-11-14
Publication date: 2014-07-18
Also published as: MX2014005836A; EP2780595A1; SG11201402371YA; US20140318365A1; JP2015505925A; CN104040176A; WO2013071385A1; BRPI1105471A2; EP2780595B1; WO2013071385A8; ES2578156T3

Abstract

본 발명은 가스 흐름이 그들의 내부 단면의 변형에 의해 조정되도록 그들의 크기와 치수 허용오차에 관계없이 일정한 흐름을 보장할 수 있는 공기 정압 베어링용의 제한기(16, 17)에 관한 것이다. 추가적으로, 또한 원하는 가스 흐름 값의 보장에 대하여 공기 정압 베어링용의 제한기(16, 17)의 생산을 보장할 수 있는 프로세스가 제공된다.

Description

제한기 및 공기 정압 베어링용의 유체 누설 제한기의 생산 프로세스 {RESTRICTOR AND PRODUCTION PROCESS OF A FLUID LEAKAGE RESTRICTOR FOR AEROSTATIC BEARINGS}

본 발명은 냉각용 선형 압축기에 의해 구비되는 실린더 내의 피스톤의 공기 정압 베어링용의 제한기에 관한 것이다.

일반적인 관점에서, 냉각 회로의 기본 구조는 네 가지 컴포넌트, 즉 압축기, 응축기, 팽창 장치 및 증발기를 포함한다. 이들 요소는, 그로부터 열을 회수하고, 이것을 냉각 회로를 구성하는 요소를 경유해서 외부 환경으로 변위시키도록, 내부 환경의 온도를 감소시키기 위해 유체가 순환하는 냉각회로를 특징짓는다.

냉각 회로 내에서 순환하는 유체는, 일반적으로 압축기, 응축기, 팽창 밸브, 증발기 및 다시 압축기, 이로써 닫힌 사이클을 특징짓는 통로 시퀀스를 따른다. 순환 중에, 유체는 유체의 상태를 변화시키는데 책임이 있는 압력 및 온도의 변화를 받아 가스 또는 액체 상태로 될 수 있다.

냉각 회로에 있어서, 압축기는 그 시스템 컴포넌트를 따라 냉각 유체의 흐름을 만드는 냉각 시스템의 심장(heart)으로서 작용한다. 압축기는 그 내부에 제공되는 압력을 증가시킴으로써 냉각 유체의 온도를 올리고, 그 회로 내에서 이러한 유체의 순환을 강요한다.

따라서, 냉각 회로 내에서의 압축기의 중요성은 명백하다. 이 냉각 시스템에 적용되는 다양한 종류의 압축기가 있으며, 현재의 발명의 분야에서는 주의가 선형 압축기에 집중될 것이다.

피스톤과 실린더 사이의 상대적인 이동으로 인해, 피스톤의 베어링 형성(bearing formation)이 필요하다. 이 베어링 형성은, 그들 사이의 접촉과 피스톤 및/또는 실린더의 필연적인 조기 마모(마손)를 방지하는, 피스톤의 외부 직경과 실린더의 내부 직경 사이의 간극(gap) 내에서의 유체의 존재(presence)로 이루어진다. 2개의 컴포넌트 사이의 유체의 존재는 또한, 압축기의 기계적 손실이 작은 것을 의미하는 그들 사이의 마찰을 감소시키는 역할을 하는 것으로 언급되었다.

피스톤 베어링 형성의 형태 중의 하나는, 본질적으로 이들 2개의 컴포넌트 사이의 마모를 회피하도록 피스톤과 실린더 사이의 가스 쿠션(gas cushion)을 생성하는 것으로 이루어진 공기 정압 베어링을 통해서이다. 이러한 유형(type)의 베어링 형성을 사용하는 이유 중의 하나는, 가스가 오일보다 훨씬 더 낮은 점성 마찰 계수를 가짐으로써, 공기 정압 베어링 형성 시스템에서 소모되는 에너지가 오일에 의한 윤활(lubrication)보다 훨씬 낮게 되도록 기여하고, 이로써 압축기의 향상된 수율을 달성한다는 사실에 의해 정당화되고 있다는 점이다.

가스 압축 매커니즘은 실린더 내부의 피스톤의 축 방향 및 진동 이동에 의해 동작한다. 실린더의 상단(top)에는, 피스톤 및 실린더와 공동으로 압축 챔버를 형성하는 헤드(head)가 있다. 헤드에는, 배출 및 흡입 밸브가 위치되어 있다. 이들 밸브는 실린더 내에서의 가스의 유입 및 유출을 조절한다. 결국, 피스톤은 압축기의 선형 모터에 접속되어 있는 액츄에이터에 의해 구동된다.

선형 모터에 의해 구동되는 압축기의 피스톤은, 실린더 내부의 피스톤의 이동이 배출 밸브를 경유해서 고압 측으로 배출될 수 있는 포인트(point)까지 흡입 밸브에 의해 유입되는 가스의 압축 작용을 가하는 것을 의미하는, 교대의 선형 이동을 진전시키는 기능을 갖는다.

공기 정압 베어링 형성의 정확한 작업을 위해서는, 외부적으로 실린더를 포함하는 고압 영역과, 피스톤과 실린더 사이의 간극 사이에 흐름 제한기(flow restrictor)를 사용하는 것이 필요하다. 이러한 제한은 베어링 형성 영역에서의 압력을 제어하고 가스 흐름을 제한하는 역할을 한다.

여러 가지 가능한 해결책(solution) 중에서, 피스톤의 공기 정압 베어링 형성을 위한 냉각 회로의 가스만을 사용하는 것이 일반적이다. 그러므로, 가스가 냉각 시스템의 증발기 내에서 냉기를 발생시키도록 되어 있는 그 원래의 기능으로부터 전환되기 때문에, 베어링의 형성에 사용되는 모든 가스는 압축기의 효율의 손실을 나타낸다. 따라서, 압축기의 효율을 손상시키지 않도록 하기 위해 베어링 형성의 가스 흐름은 가능한 한 낮은 것이 바람직하다.

본질적으로, 기체 흐름을 제한하는 것은 제한기의 내부 직경의 길이와 크기에 의존한다. 특정 크기의 경우, 가스 흐름에 대한 단면적이 커질수록, 즉 내부 직경이 커질수록, 가스 흐름에 부과되는 제한이 더 작아진다. 이들 2개의 변수(흐름에 대한 단면적과 길이)에 기초해서, 압축기의 임의의 베어링 제한에 필요한 부하의 손실을 얻는 것이 가능하게 된다.

상업적으로 시장에서 구할 수 있는 마이크로 튜브(microtube)는 명목상의 내부 직경(nominal internal diameter)과 관련하여 매우 큰 허용오차(tolerance)를 나타낸다. 내부 직경의 이러한 변화는, 가스 흐름의 제한, 결과로서 하나의 제한기와 다른 제한기 사이의 흐름의 제한에 매우 큰 변화를 일으킬 수 있다. 이러한 유형의 발생은, 이러한 변화가 실린더의 동일한 단면에 존재하는 제한기들 사이에 주로 발생하면, 베어링에 있어서 불균형을 초래한다.

동일한 단면에서의 제한기들 사이의 흐름 변화는 바람직하지 않더라도, 실린더의 하부에 존재하는 제한기들보다 실린더의 상단 영역에 존재하는 제한기들이 더 큰 흐름을 갖게 할 필요가 있다. 이것은, 압축 챔버에 존재하는 고압으로 인해 피스톤이 상사점(top dead center)에 있을 때 피스톤이 지지(support)의 손실을 받기 때문이다. 따라서, 제한기들이 실린더의 이들 두 영역으로의 가스 흐름에 다른 제한을 제공하도록 할 필요가 있다.

어떠한 경우에도, 일정 흐름 마이크로 튜브에 기초를 둔 제한기의 생산을 보장하는 해결책은 아직 발견되지 않았다. 지금까지, 그 생산에 적용되는 기술 및 존재하는 각각의 허용 오차가 다른 제한기들 사이에 동일한 흐름을 보장하지 못하기 때문에, 생산 프로세스에서 평가된 특성은 이미 설명된 바와 같은 내부 직경값이다.

따라서, 그 제한 능력의 힘에 의해서가 아니라 그 치수(dimension)로 인해서 품질 제어가 이루어지는 제한기들은 현재는 없다. 다시 말해서, 본 발명은 그들의 치수의 관점에서 서로 다를 수 있지만 동일한 흐름을 보장하는 제한기의 생산을 달성하도록 관리한다.

따라서, 본 발명의 목적은, 그 크기 및 치수 허용 오차에 관계없이, 일정한 흐름을 보장할 수 있는 공기 정압 베어링용의 제한기를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 흐름이 그 내부 단면의 변형에 의해 조정되는 공기 정압 베어링용의 제한기를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은, 원하는 흐름 값을 보장하는 것에 대하여 공기 정압 베어링용의 제한기의 생산을 보장할 수 있는 프로세스(process)를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기 튜브를 제공함으로써 달성되고, 제한기는 그 내부 단면의 적어도 일부분의 변형 프로세스를 통해 얻어진다.

본 발명의 목적은 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기를 제공함으로써 달성되고, 제한기는 변형되는 그 내부 단면의 적어도 일부분을 가진다.

마지막으로, 본 발명의 목적은,

i) 제한기의 적어도 일부분에서 제한기의 내부 단면을 변형하는 단계;

ii) 제한기에서 유체의 흐름을 측정하는 단계;

iii) 측정된 유체의 흐름 값을 이전에 지정된 값과 비교하는 단계;

iv) 유체의 흐름 값이 사양 밖의 값이면 단계 i)로 되돌아가는 단계

를 구비하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기의 생산 프로세스를 통해 달성된다.

이제 본 발명은 도면에 나타낸 실시예에 기초하여 더욱 상세히 설명될 것이다. 도면은:
도 1은 선형 압축기의 단면도이다.
도 2는 종래 기술의 제한기의 단면도이다.
도 3a는 촘촘한 수축(punctual constriction)이 부여된 본 발명의 제한기의 단면도이다.
도 3b는 부분적인 수축(partial constriction)이 부여된 본 발명의 제한기의 단면도이다.
도 3c는 전체적인 수축(total constriction)이 부여된 본 발명의 제한기의 단면도이다.
도 3d는 접힘 수축(fold constriction)이 부여된 본 발명의 제한기의 단면도이다.
도 4는 수축 또는 혼련의 단면도이다.
도 5는 혼련/수축 및 접힘의 유형의 조합을 갖는 본 발명의 제한기의 단면도이다.
도 6은 제한기를 움직이지 않게 조절하는 시스템의 일례의 도면이다.
도 7은 작용하여 제한기를 조절하는 시스템의 일례의 도면이다.
를 나타낸다.

본 발명은, (제한기 튜브/마이크로 튜브로서 당업자에게 더 잘 알려진) 제한기뿐만 아니라, 원하는 유체 흐름 특성을 갖는 제한기를 생산할 수 있는 생산 프로세스의 양쪽의 레벨에서 기술적인 진보를 제안한다.

도 1에 나타낸 바와 같은 냉각 회로의 작동의 원리에 따르면, 바람직하게는 가스 압축 매커니즘은 실린더(2) 내부의 피스톤(1)의 축 방향 및 진동 이동에 의해 발생한다. 실린더(2)의 상단에는, 피스톤(1) 및 실린더(2)와 공동으로 압축 챔버(4)를 형성하는 헤드(head; 3)가 있다. 헤드(3)에는, 실린더(2) 내에서의 가스의 유입 및 유출을 조절하는 배출 밸브(5) 및 흡입 밸브(6)가 위치되어 있다. 피스톤(1)은 압축기의 선형 모터에 연결된 액츄에이터(7)에 의해 구동된다는 점에 주목해야 한다. 이 문서에서는 이 모터에 더 이상의 설명은 제공되고 있지 않다.

선형 모터에 의해 구동될 때, 압축기의 피스톤(1)은, 가스가 배출 밸브(5)를 경유해서 고압 측으로 배출될 수 있는 포인트(point)까지 흡입 밸브(6)에 의해 유입되는 가스의 압축 작용을 가하는 실린더(2) 내부의 피스톤(1)의 이동을 촉진시키는, 교대의 선형 이동을 진전시키는 기능을 갖는다.

실린더(2)는 블록(8)의 내부에 장착되어 있고, 헤드(3)에는 시스템의 나머지 부분에 압축기를 연결하는 배수 밸브(10) 및 흡입 밸브(11)를 갖는 덮개(lid; 9)가 장착되어 있다.

피스톤(1)과 실린더(2) 사이의 상대적인 이동에 대해 언급한 바와 같이, 피스톤(1)의 베어링 형성은 이동 중에 그것들을 분리할 목적으로 두 부분 사이의 간극(12) 내의 유체의 존재로 이루어지는 것이 필요하다.

윤활 유체로서 가스 자체를 이용하는 이점은, 오일 펌핑 시스템의 부재이다.

바람직하게는, 베어링의 형성에 사용되는 가스는 그 자체가 압축기에 의해 펌핑되고 냉각 시스템에서 사용되는 가스일 수 있다. 일단 압축되면, 이 가스는 채널(14)을 통해 덮개(9)로부터 실린더(2) 주변의 고압 영역(15)으로, 배출 챔버(13)로부터 전환되고, 고압 영역(15)은 실린더(2)의 외부 직경 및 블록(8)의 내부 직경에 의해 형성된다.

고압 영역(15)로부터, 가스는 피스톤(1)과 실린더(2) 사이의 접촉을 방지하는 가스의 쿠션을 형성하는, 피스톤(1)과 실린더(2) 사이에 존재하는 간극(12)을 향하여 실린더(2)의 벽에 삽입된 제한기(16, 17)를 통과한다.

전술한 바와 같이, 고압 영역(15)과 간극(12) 사이의 가스 흐름을 제한하는 것을 목적으로, 제한기(16, 17)를 이용하는 것이 필요하다. 가스의 기본적인 기능이 냉각 시스템으로 보내져 냉기를 발생시키는 것이기 때문에, 베어링의 형성에 사용되는 모든 가스가 압축기의 효율의 손실을 나타내므로, 이러한 제한은 베어링 형성 영역에서의 압력을 제어하고 가스 흐름을 제한하는 역할을 한다. 따라서, 압축기의 효율을 손상시키지 않도록 하기 위해 베어링 형성으로 전환되는 가스가 가능한 한 최소로 되어야 한다는 것을 강조할 필요가 있다.

실린더(2) 내부의 피스톤(1)의 균형을 유지하기 위해서, 바람직하게는 적어도 3개의 제한기(16, 17)가 실린더(2)의 주어진 단면에 필요하고, 제한기(16, 17)의 적어도 2개의 단면이 실린더(2)에 필요하게 된다. 제한기는, 피스톤(1)의 진동 이동이 있어도 제한기(16, 17)가 결코 발견되지 않도록, 즉 피스톤(1)이 제한기(16, 17)의 작동 영역을 떠나지 않도록 그와 같이 반대로 되어 있어야 한다.

제한기(16, 17)의 흐름을 제어하고, 실린더(2)의 동일한 단면의 모든 제한기(16, 17)가 동일한 가스 흐름을 제공하는 것을 보장할 목적으로, 지정된 흐름을 약간 상회하는 흐름을 갖는 제한기, 즉 지정된 값보다 높은 내부 단면 값으로 시작하고, 수축 또는 혼련(소성 변형)이 흐름을 감소시킬 목적으로 제한기(16, 17) 자체에서 발생되는 동시에 흐름을 측정하는 것이 가능하다. 따라서, 예를 들어 그 중에서도 전기 부식(electroerosion) 공구(tool)용의 피하 주사 바늘을 제조하기 위해 사용되는 것과 같은 튜브/마이크로 튜브을 사용하는 것이 가능하다.

일단 지정된 흐름이 달성되면, 소성 변형(plastic deformation)은 중단된다. 따라서, 각 제한기(16, 17)의 흐름이 조절되고, 또한 동일한 제한기(16, 17)로부터 (예를 들어 실린더(2)의 상단 영역에서) 이러한 필요가 발생할 때 일부러 다른 흐름을 갖는 제한기(16, 17)를 생성할 수도 있다.

그에 따라, 가스 흐름에 대한 단면적을 감소시킴으로써 부하의 손실을 증가시키는 원리에 의해 동일한 흐름 또는 최소한의 차이를 갖도록 제한기(16, 17)를 보증하는 것이 가능하게 된다. 이러한 효과는, 제한기(16, 17)의 내부 직경을 감소시키는 수축(constriction)에 의해 또는 단순히 혼련(kneading; 도 3 참조)에 의해 얻어질 수 있다. 원형상 단면을 초래하는 것이 아니라 평탄화된 단면의 혼련의 경우에는, 부하의 손실을 증가시키는 효과, 결과적으로 흐름의 감소가 달성된다(도 4 참조). 예를 들어 접힘(fold)과 같은 내부 단면적을 감소시키는 다른 방법도 또한 사용될 수 있다.

도 3은 소성 변형을 어떻게 적용하는지 몇 가지 예를 나타낸다. 이것은, 제한기의 단일 포인트에 위치될 수 있고(도 3a 참조), 뿐만 아니라 제한기의 특정 길이를 점유할 수 있으며(도 3b 참조), 또는 제한기의 모든 길이 또는 거의 모든 길이를 따라 행해질 수 있다(도 3c 참조). 언급된 바와 같이, 접힘의 형성(도 3d 참조)도 또한 가스 흐름을 감소시키는 제한을 발생시킬 수 있다.

이러한 기술의 가능성은 변화되고, 가스 흐름은 가장 변화되는 수단에 의해 제한될 수 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이 재료에 부과되는 변형은 평탄화 및 그 임의의 조합에 의해 접힘과 더불어 촘촘하거나 부분적이거나 또는 전체적인 방법으로 수행될 수 있다. 부분적인 변형의 경우에는, 유체의 통로를 위해 서로로부터 적어도 2개의 다른 내부 단면이 있을 것이다. 바람직하나 강제적이지 않게, 사용되는 재료는 금속이고 변형 전의 원형 단면이다. 어떠한 경우에는, 재료는 원형 이외의 임의의 단면을 나타낼 수 있다. 이들 특성은 각 프로젝트의 특정 요구에 의존할 뿐이다. 추가적으로, 사용되는 재료는 고분자 또는 유리 세라믹으로 될 수 있다.

각각의 제한기에서 원하는 흐름 값을 달성하기 위해서, 상기 특이성(specificity)을 보장할 수 있는 프로세스가 개발되어 있다. 제한기들 사이에서 적당한 흐름 변동의 유지 보수를 보장할 목적으로, 소성 변형의 프로세스는 그 프로세스 중에 측정되는 흐름만에 의해 제어되는 것이 바람직하다.

이 시스템은, 일단 지정된 흐름에 도달하면, 시스템이 자동으로 소성 변형의 프로세스를 중단하도록 폐회로로 작동할 수 있다. 따라서, 제한기(16, 17)의 내부 직경의 변화에 관계없이, 제한기(16, 17)는 변화가 흐름 측정 시스템뿐만 아니라 소성 변형을 발생시키는 시스템의 정확도에 의존하는 제어된 흐름을 가지도록 얻어진다. 그 프로세스의 예가 도 6 및 도 7에 도시되어 있다.

도 6은 소성 변형(100)을 부과할 수 있는 시스템(100) 내에 배치되되 그 단면이 변화하지 않는 제한기(16, 17)가 발견된 프로세스의 초기 단계를 나타낸다. 제한기(16, 17)의 왼쪽이 압력 아래의 가스의 소스(source; 즉, 가스원)이다. 특히, 소성 변형(100)을 부과할 수 있는 시스템은 흐름 측정 시스템(102)에 의해 제어된다.

도 7은 그 변형 단계에서의 프로세스의 작업을 나타낸다. 제한기(16, 17)는 소성 변형을 받고, 제한기(16, 17)에 연결된 압력(101) 아래의 가스원은 제한기(16, 17)의 흐름 값의 판독을 수행하기 위해 유량 측정 시스템(102)에 연결되어 있는 제한기(16, 17)을 통해 가스 흐름을 보낸다. 이 값은 이전에 규정된 값과 비교될 것이고, 결과를 비교한 후에 흐름 값이 규정된 값 이상이면, 신호는 새로운 소성 변형을 진행하기 위해 소성 변형(100)을 발생시키는 시스템으로 전송된다. 이 프로세스는 이전에 규정된 흐름 값이 달성될 때까지 연속적으로 그리고 반복적으로 발생한다. 따라서, 작업에 착수할 때, 상기 제한기(16, 17)는 시스템의 정확한 작업을 위해 필요한 가스 흐름을 제공하는 것을 보장한다.

제한기(16, 17)에 부과되는 변형이 탄성 복귀의 발생을 일으키고 결과적으로 가스 흐름이 원하는 값 이상인 탄성 컴포넌트를 제시할 수 있기 때문에, 즉 그 시스템이 선택된 변형을 만들고, 그것을 복귀시키기에 적당한 일정의 기간 동안 변형된 영역을 탄성적으로 복귀시킨 후 가스 흐름을 측정하는 제한기(16, 17)를 해방시키도록, 그것을 반복하게 만드는 단지 하나의 단계 이상의 프로세스를 수행하는 것이 가능하다. 흐름이 여전히 사양을 따르고 있지 않은 경우에는, 시스템은 제한기(16, 17)에서 새로운 변형을 발생시키고, 그 후 지정된 흐름 값이 달성될 때까지 연속적으로 신선한 판독을 수행한다.

이 프로세스는 금속 및 폴리머 재료의 양쪽으로 수행될 수 있다. 추가적으로 그리고 진정한 목적이 재료의 내부 단면의 변형을 보증하는 것임을 명심하고, 제한기(16, 17)의 제어된 변형을 일으킬 수 있는 취입(blowing)에 의한 변형의 프로세스를 채용하는 것이 가능하다.

또는, 그 내부 단면이 바람직한 값으로 성형되도록 하는 재료의 연화점(유리 전이 온도 - Tg)까지 제한기에 열을 공급하는 프로세스에 의해 변형가능한 유리-세라믹 재료를 사용하는 것도 가능하다.

혼련, 수축, 접힘, 취입에 의한 플라스틱 성형(plastic shaping)의 기술 외에, 정당화할 수 있는 액압 성형 또는 임의의 다른 성형의 기술을 사용하는 것도 가능하다. 또한 액압 성형과 같은 기술에 의해, 절대적으로 제어된 방식으로 제한기(16, 17)에 부과되는 초과 변형을 반전(역전)시키는 것이 가능하다. 이러한 플라스틱 성형의 공정은 또한 반전 상황이 재료에 압축력을 부과하는 대신 내측으로부터 외측으로 사전에 이것을 변형시킴으로써 수행되도록 한다.

바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위, 거기에 포함되는 잠재적인 등가물의 내용에 의해서만 한정되는 다른 가능한 변형을 포함하고 있음을 이해하여야 한다.

Claims

선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17)로서,
제한기(16, 17)가 그 내부 단면의 적어도 일부분의 변형 프로세스를 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 흐름 제한기(16, 17).
제1항에 있어서, 상기 변형이 평탄화에 의한 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 변형이 접힘에 의한 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 변형이 취입에 의한 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 변형이 촘촘하거나 부분적이거나 전체적인 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 변형이 동시에 부분적이고 촘촘한 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 금속 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 폴리머 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 유리-세라믹 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 마이크로 튜브인 것을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17)로서,
제한기(16, 17)가 변형된 그 내부 단면의 적어도 일부분을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 흐름 제한기(16, 17).
제11항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 금속 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 제한기(16, 17)가 부여된 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 폴리머 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 제한기(16, 17)가 부여된 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 유리-세라믹 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 제한기(16, 17)가 부여된 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제한기(16, 17)가 마이크로 튜브인 것을 특징으로 하는 제한기(16, 17)가 부여된 선형 압축기의 공기 정압 베어링을 위한 유체의 흐름 제한기(16, 17).
선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스로서,
i) 상기 제한기(16, 17)의 적어도 일부분에서 상기 제한기(16, 17)의 내부 단면을 변형하는 단계;
ii) 상기 제한기(16, 17) 내에서 유체의 흐름을 측정하는 단계;
iii) 측정된 유체의 흐름 값을 이전에 지정된 값과 비교하는 단계;
iv) 유체의 흐름 값이 사양 밖의 값이면 단계 i)로 되돌아가는 단계
를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)과 단계 ii) 사이에, 그 변형된 부분의 탄성 복귀를 위한 대기시간을 제공하는 중간 단계가 있는 것을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 플라스틱 성형의 프로세스의 임의의 유형에 의해 수행되는 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 평탄화에 의해 수행되는 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 접힘에 의해 수행되는 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 취입에 의해 수행되는 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 전체적인 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 부분적인 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 촘촘한 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 동시에 부분적이고 촘촘한 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
제16항에 있어서, 단계 i)에서 변형이 평탄화에 의해 수행되는 것임을 특징으로 하는 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)의 생산 프로세스.
적어도 청구항 제11항 내지 제15항에서 정의된 바와 같은 선형 압축기의 공기 정압 베어링용의 유체 흐름 제한기(16, 17)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압축기.