KR20140085053A - 방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법 - Google Patents

방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법 Download PDF

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KR20140085053A
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Abstract

본 발명은 방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열전도성 나노 자성입자의 스프레딩법 및 자력을 이용한 입자 분산으로 방열 접착테이프 내 열전도성 입자의 분산성을 쉽게 확보할 수 있고, 또한 나노 크기의 입자를 포함하여 접착제 층에 열전도성 입자의 함량이 증가하더라도 가공성과 취급성이 우수하며 높은 방열 특성을 갖는 방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 방열 접착테이프 조성물은 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 열전도성 나노 자성입자를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법{HEAT-TRANSFERRING ADHESIVE TAPE COMPOSITION AND HEAT-TRANSFERRING ADHESIVE TAPE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열전도성 나노 자성입자의 스프레딩법 및 자력을 이용한 입자 분산으로 방열 접착테이프 내 열전도성 입자의 분산성을 쉽게 확보할 수 있고, 또한 나노 크기의 입자를 포함하여 접착제 층에 열전도성 입자의 함량이 증가하더라도 가공성과 취급성이 우수하며 높은 방열 특성을 갖는 방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 차세대 전자소자의 개발을 위한 반도체 기술은 경박단소화 및 다기능화를 위한 고집적 기술로 발전하고 있다. 이들 고집적화된 소자의 구동은 소자 내부의 열 방출을 야기하고, 소자의 소형화에 따른 소자 내의 높은 열 밀도는 소자의 신뢰성 및 수명을 단축시키는 결과를 초래한다. 또한 처리 속도의 고속화와 안전성을 위해 방열성 전자 부품에 대한 요구가 점점 높아지고 있다.
한편, 반도체 소자 내에서 발생되는 열을 외부로 방출시키기 위한 방법으로는 "열 계면 재료(TIM)"를 부착함으로써 열의 전달을 돕는 방법이 제시되고 있다. "열 계면 재료(TIM)"란 반도체 칩 내부 및 소자의 발열 부위에 부착되어 열을 밖으로 방출시키는 재료이며, 열 소산 재료, 예컨대 열 싱크(heat sink), 열 소산 핀 및 금속성 열 소산 플레이트 등과 반도체 칩을 연결시키는 접착제 역할을 하기도 한다. 또한 "열 계면 재료(TIM)"은 방열 그리스, 상전이 물질, 방열 시트, 방열 접착테이프 등의 형태로 존재하며 우수한 접착력 및 열전도 특성을 가진다.
또한 고분자 수지를 기본으로 하는 접착제 조성의 열전도율은 매우 낮으며 이는 반도체 소자에서 발생하는 열을 효율적으로 방출시키는 열전도 재료로 사용되기에는 어렵다. 이에 접착제의 열전도도를 높이기 위해 접착제 수지 내에 열전도도가 높은 열전도성 입자를 첨가시켜 열전도도의 향상을 기대할 수 있다. 접착제에 첨가된 열전도 입자의 종류, 형상, 충진률 및 분산도에 따라 방열 접착제의 열전도 및 접착 특성에 영향을 미친다. 특히 열전도 입자의 분산 정도에 따라 열 이동 경로의 차이를 가지게 되며 이는 접착제의 열전도도에 영향을 미치게 된다. 열전도성 입자로 사용되는 물질로는 알루미나, 수산화알루미늄, 질화붕소, 산화아연, 탄화규소, 산화마그네슘 등의 무기입자와 알루미늄, 백금, 철, 등의 금속입자 및 유기입자가 있다.
상기 열전도성 입자는 무정형, 구형, 판상형 등 다양하게 존재하게 되며, 구형의 경우 충진률을 높일 수 있다는 것이 한국 공개특허공보 제2010-0038115호에 기술되어 있다. 또한 입자의 크기가 다른 여러 개의 열전도성 입자를 첨가함으로써 입자의 충진률을 높여 열 이동 경로를 확보하여 열전도성이 높은 그리스를 제작하는 것에 대해 한국 공개특허공보 제2008-0033336호에 제시되어 있다. 그러나 열전도성을 높이기 위하여 열전도성 입자의 함량을 증가시키면 가공성 및 취급성 등에 취약한 단점이 있다.
상기와 같이 열전도성 입자를 충전시킨 접착제를 이용하여 반도체 소자 내의 열을 외부로 방출시키기 위해 사용되는 열 전도성 시트의 제조 방법이 한국 공개특허공보 제2001-0037279호에 개시되어 있다. 이에 의하면 열전도성 입자를 결합제 수지의 시트 표면에 수직방향으로 배향하는 방법을 통해 8.4℃·cm2/W의 열저항값을 가지는 열전도 시트를 제작한다. 그러나 열전도 입자의 배향을 위해 다수의 주요 시트를 적층 시킨 후, 적층면에 수직인 방향으로 슬라이싱하여 제작하므로 제작 프로세스의 재현성을 보장하기 어려우며, 시트 내의 열전도성 입자의 분산성을 확보하는데 어려움이 있고, 또한 50㎛이하의 얇은 시트로 제작하는 데에 어려움이 있다.
한국 공개특허공보 제2010-0038115호 한국 공개특허공보 제2008-0033336호 한국 공개특허공보 제2001-0037279호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 열전도성 나노 자성입자의 스프레딩법 및 자력을 이용한 입자 분산으로 방열 접착테이프 내 열전도성 입자의 분산성을 쉽게 확보할 수 있고, 또한 나노 크기의 입자를 포함하여 접착제 층에 열전도성 입자의 함량이 증가하더라도 가공성과 취급성이 우수하며 높은 방열 특성을 갖는 방열 접착테이프 조성물과 방열 접착테이프 및 이를 제조하는 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 상기 및 다른 목적과 이점은 바람직한 실시예를 설명한 하기의 설명으로부터 보다 분명해 질 것이다.
상기 목적은, 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 열전도성 나노 자성입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 접착테이프 조성물에 의해 달성된다.
여기서, 상기 열전도성 나노 자성입자는 산화철, 페라이트, 철-귀금속 합금으로 구성된 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 입자인 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 열전도성 나노 자성입자는 높은 열전도도를 갖는 Fe3O4 산화철인 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 열전도성 나노 자성입자는 액체에 분산되어 있는 액체 자석(ferrofluid) 형태인 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 열전도성 나노 자성입자의 크기는 5 ~ 1,000nm인 것을 특징으로 한다.
또한 상기 목적은, 열전도성 나노 자성입자를 포함하는 방열 접착테이프로서, 상기 열전도성 나노 자성입자는 분사 노즐을 이용한 스프레딩법을 통해 접착제 층에 분사된 후 전자석 혹은 영구자석에 의해 접착제 층에 분산된 것을 특징으로 하는 방열 접착테이프에 의해 달성된다.
여기서, 상기 전자석 또는 영구자석의 자력은 1,000 ~ 20,000Gauss인 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 접착제 층은 에폭시 수지, 경화제 및 경화촉진제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 목적은, 이형지로서 고분자 기재 시트를 일정 방향으로 주행시키는 제1단계와, 상기 주행되는 고분자 기재 시트 상에 에폭시 수지, 경화제 및 경화촉진제를 포함하는 접착제 층을 도포하는 제2단계와, 상기 접착체 층에 분사 노즐을 이용하여 열전도성 나노 자성입자를 분사하는 제3단계와, 상기 분산된 열전도성 나노 자성입자를 전자석 혹은 영구자석에 의해 접착제 층에 분산시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 방열 접착테이프의 제조방법에 의해 달성된다.
여기서, 상기 열전도성 나노 자성입자는 산화철, 페라이트, 철-귀금속 합금으로 구성된 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 입자인 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 전자석 또는 영구자석의 자력은 1,000 ~ 20,000Gauss인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 열전도성 나노 자성입자를 접착제 표면에 스프레딩법을 이용하여 균일하게 도포할 수 있으며, 자력을 이용하여 접착제 층에 열전도성 나노 자성입자를 균일하게 침투시킴으로써 효율적인 열 전달 패스를 형성할 수 있다.
또한 나노 크기의 열전도 입자를 사용하여 높은 충진률에서도 가공성 및 취급성 등이 우수한 방열 접착테이프의 제작이 가능하며 입자의 고른 분산을 통하여 높은 열전도율을 확보할 수 있어 우수한 방열 특성을 갖는 등의 효과를 가진다.
도 1은 본 발명에 따른 방열 접착테이프의 제조 공정도이다.
도 2는 본 발명에 따른 방열 접착테이프의 개념도이다.
이하, 본 발명의 실시예와 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 이들 실시예는 오로지 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위해 예시적으로 제시한 것일 뿐, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되지 않는다는 것은 당업계에서 통상의 지식을 가지는 자에 있어서 자명할 것이다.
본 발명에 따른 방열 접착테이프 조성물은 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 열전도성 나노 자성입자(자성을 가지는 열전도성 나노 입자)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 즉 본 발명에 따른 방열 접착테이프 조성물은 열전도성 나노 자성입자를 스프레딩법으로 접착제 표면에 분사한 후, 자력을 이용하여 접착제 층으로 투입시켜 나노 입자의 우수한 분산성을 확보하고, 또한 나노 크기의 열전도성 입자를 사용하여 접착제 층에 열전도성 입자의 함량을 높임으로써 발생할 수 있는 가공성과 취급성 등의 문제를 해결함과 동시에 우수한 열전도성을 갖는 방열 접착테이프 조성물에 관한 것이다.
상기 에폭시 수지는 1 분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 것이 바람직하며, 구체적으로는 비스페놀 A형, F형, AD형 또는 S형 등의 비스페놀계 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 지환족 쇄상 에폭시 수지, 지방족 에폭시 수지, 나프탈렌계 에폭시 수지, 플로렌계 에폭시 수지, 이미드계 에폭시 수지, 글리시딜 에스테르형 에폭시 수지 등이 있다. 상기 에폭시 수지는 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
또한 상기 경화제는 에폭시 수지를 경화시킬 수 있는 통상적인 에폭시 경화제 중 어느 것을 사용해도 무방하며, 언하이드라이드계 (anhydride), 페놀계 및 아민계 경화제 등을 예로 들 수 있다. 상기 경화제는 상기 전체 에폭시 수지 100 중량부에 대하여 20 내지 150 중량부를 사용하는 것이 바람직하다. 전체 에폭시 수지와 경화제의 함량이 상기 범위 내에서 조절되지 않을 경우, 에폭시 수지 또는 경화제의 미반응물이 전체 접착제 조성물에 남게 되어 가교 밀도가 낮아지거나 접착제 조성물에 의도하는 경화반응 및 분해 반응 이외에 다른 반응이 일어날 우려가 높기 때문이다.
또한 에폭시 수지와 에폭시 수지의 경화제의 반응을 촉진시키기 위해서 경화촉진제를 배합할 수 있다. 경화촉진제로는 예를 들면, 1,8-디아자비스클로(5,4,0)운데센-7, 트리페닐포스핀, 벤질디메틸아민, 2-메틸 이미다졸 등이 있다.
또한 본 발명에 따른 상기 열전도성 나노 자성입자는 강자성을 띠는 입자로 수nm~ 수십nm의 크기를 가진 입자를 지칭한다. 강자성이란, 외부 자기장이 없는 상태에서도 자화되는 물질의 자기적 성질을 가리키며 물질을 이루는 전자의 스핀이 모두 같은 방향으로 정렬되어 있기 때문에 생기는 것이다. 이는 외부 자기장을 이용해 전자의 스핀을 바꾸면 자성이 사라지거나 재배치되는 성질을 가진다. 상기의 열전도성 나노 자성입자는 코발트, 산화철, 구체적으로 Fe2O3, Fe3O4의 산화철, Fe3O4에서 Fe 하나가 다른 자성관련 원자로 바뀐 형태인 CoFe2O4, MnFe2O4의 페라이트(ferrite) 및 자성원자들로 인해 나타나는 산화문제, 전도성 및 안정성을 높이기 위해 귀금속과 합금시킨 철-귀금속 합금인 FePt, CoPt 등의 군으로부터 선택된 하나 이상인 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 방열 접착테이프 조성물에서는 Fe3O4 산화철이 가장 바람직한데, 이는 Fe3O4 산화철이 높은 열전도도를 가지고 있기 때문이다.
상기 열전도성 나노 자성입자의 합성법으로는 이온들이 결합으로 인하여 침전으로 합성되는 공침법(co-precipitation method)과 고분자 전구체를 이용한 콜로이드 화학 방법 등이 있다. 본 발명에서는 FeCl2와 FeCl3를 기반으로 공침법을 이용해 합성된 Fe3O4의 나노 입자(반응식 1 참조)가 열전도성 입자로 가장 바람직하다.
[반응식 1]
Fe2++2Fe3++8OH-→ Fe3O4+4H2O
또한 본 발명에 따른 열전도성 나노 자성입자의 크기는 5nm 에서 1,000nm, 바람직하게는 20nm 에서 500nm인 것이 바람직하다. 나노 입자의 크기가 5nm 미만인 경우에는 너무 높은 표면에너지로 인하여 입자들 간의 뭉침이 일어나기 쉬우며, 접착제 층에 첨가되어 열전달 패스를 이루는 것이 어렵고, 또한 1,000nm를 초과하면 입자의 함량이 증가하는 것과 마찬가지로 접착제 층의 가공성 및 취급성이 매우 좋지 않게 되기 때문이다.
또한 본 발명에 따른 방열 접착테이프 조성물의 상기 열전도성 나노 자성입자는 액체에 분산되어 있는 액체 자석(ferrofluid) 형태인 것을 특징으로 한다. 즉 열전도성 나노 자성입자를 액체에 분산시킨 형태를 액체 자석(ferrofluid) 형태라고 한다. 액체 자석의 액체 내에서 나노 입자들이 서로 엉기지 않고 잘 분산되게 하기 위하여 적절한 계면활성제 및 입자 표면에 탄화수소 체인을 붙임으로써 골고루 분산시킬 수 있다. 이러한 액체 자석 형태로 된 열전도성 나노 자성입자는 접착제 층에 손쉽게 도포될 수 있다.
또한 본 발명에 따른 방열 접착테이프의 제조방법은, 본 발명에 따른 방열 접착테이프의 제조 공정도인 도 1로부터, 이형지로서 고분자 기재 시트(3)를 일정 방향으로 주행시키는(4) 제1단계와, 상기 주행되는 고분자 기재 시트 상에 에폭시 수지, 경화제 및 경화촉진제를 포함하는 접착제 층을 도포하는 제2단계와, 상기 접착체 층에 분사 노즐(1)을 이용하여 열전도성 나노 자성입자(2)를 분사하는 제3단계와, 상기 분산된 열전도성 나노 자성입자(3)를 전자석 혹은 영구자석(5)에 의해 접착제 층에 분산시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이러한 제조방법을 거쳐, 도 2에 도시된 바와 같은 본 발명에 따른 방열 접착테이프(6)가 제조되는데, 하기에서 보다 구체적으로 설명한다.
상기 열전도성 나노 자성입자(2) 또는 액체 자석을 접착제에 분산시키는 방법은 블렌딩법, 초음파 분산법, 가압 분산법, 분사 노즐을 이용한 스프레딩법으로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상인 것이 바람직하다. 이중 블렌딩법과 초음파 분산법으로 분산된 액체 자석을 에폭시 수지 접착제 조성물에 직접 첨가시키는 경우, 수지 내 분산을 위하여 열전도성 나노 자성입자 표면에 수지와 호환이 가능한 물질의 코팅 처리 등이 필요하며, 대용량의 경우 수지 내에 고르게 분산시키는 것이 어렵다. 그리고 분사 노즐을 이용한 스프레딩법을 이용한 분산 방법은 접착제 조성물을 시트 상태로 제작한 후 드라이어 공정을 통해 완전히 경화되기 전에 액체 자석을 시트 표면에 분사시킴으로써 균일한 양의 열전도성 나노 자성입자의 분사가 가능하며, 분사 후 자력을 이용하여 시트 내로 침투시킴으로써 매우 균일한 입자 분산이 가능하다. 또한 액체 자석의 분사량 조절에 따라 열전도성 나노 자성입자의 충진률을 조절하는 데도 용이하다. 따라서 본 발명에 따른 방열 접착테이프의 상기 열전도성 나노 자성입자는 분사 노즐을 이용한 스프레딩법을 통해 첨가하는 것이 바람직하다.
상기 분사 노즐을 이용한 스프레딩법에 이용되는 분사 노즐(1)은 접착제 시트 표면에 균일하게 열전도성 나노 자성입자를 분산시킬 수 있으면 그 형태가 제한되지 않는다. 분사 노즐은 단일 혹은 다수의 노즐이 붙어 있는 모양으로 형성될 수 있으며, 분사 노즐이 접착제 시트 위를 주행하거나 고정되어 있을 수 있다. 본 발명에서는 다수의 분사 노즐이 고정되어 있는 형태가 보다 바람직하다.
다음으로 본 발명에 따른 접착제 시트(접착제 층) 표면에 스프레딩법으로 분사된 열전도성 나노 자성입자를 접착제 시트 내로 침투시키기 위한 방법은 자력을 이용하는 방법이 있으며 이로 제한되지 않는다. 그러나 본 발명에서는 전자석 혹은 영구자석을 사용하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 자력이 1,000Gauss에서 20,000Gauss 사이인 전자석 혹은 영구자석을 사용하는 것이다. 여기서 1,000gauss 미만의 자력의 경우 점도를 갖는 접착제층 내로 열전도성 나노 자성입자의 침투에 충분하지 않으며, 20,000Gauss 초과의 자력은 자력이 존재하는 면 쪽으로의 입자가 뭉쳐지므로 입자의 고른 분산을 방해하여 부적절하다.
따라서 본 발명에 따른 방열 접착테이프는 열전도성 나노 자성입자를 스프레딩법을 통해 충진시킴으로써 열전도성 나노 자성입자의 충진을 용이하게 할 수 있으며, 나노 입자를 사용하여 높은 함량의 입자 충진에도 방열 테이프의 가공성 및 취급성이 우수한 방열 접착테이프의 조성물을 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 스프레딩법과 자력을 이용한 열전도성 나노 자성입자의 분산 방법은 방열 접착테이프의 제조 공정을 벗어나 자성을 가지는 나노 입자의 분산이 요구되는 공정에 적용하여 다양한 제품에 응용이 가능하다.
또한 열전도성 나노 자성입자의 방열 접착테이프로의 첨가는 종래의 무기물 열전도성 입자를 충진시킨 방열 접착테이프, 방열 시트, 방열 그리스, 상전이 물질 등에 추가로 적용하여 더 높은 열전도성을 갖는 제품의 제작을 가능하게 하며, 나노 크기 입자의 충진을 통하여 상기 제품들에 입자의 충진률이 높아짐에 따라 생기는 문제점을 쉽게 해결하게 할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 반도체소자, 모바일기기, PC 등의 전자 소자 구동에 있어서 발생되는 열을 효율적으로 발산시키기 위한 높은 방열 특성 및 가공성, 취급성을 갖는 방열 접착테이프 조성물을 제공할 수 있는 효과가 있으며, 특히 스프레딩법과 자력을 이용한 열전도성 나노 자성입자의 분산은 방열 접착테이프의 제조 공정을 벗어나 다양한 응용을 가능하게 한다.
본 명세서에서는 본 발명자들이 수행한 다양한 실시예 가운데 몇 개의 예만을 들어 설명하는 것이나 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고, 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
1 : 분사(스프레딩) 노즐
2 : 열전도성 나노 자성입자
3 : 고분자 기재 시트
4 : 시트 진행 방향
5 : 전자석 혹은 영구자석
6 : 열전도성 나노 자성입자가 포함된 방열 접착테이프

Claims (11)

  1. 방열 접착테이프 조성물에 있어서,
    에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 열전도성 나노 자성입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프 조성물.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 열전도성 나노 자성입자는 산화철, 페라이트, 철-귀금속 합금으로 구성된 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 입자인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프 조성물.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 열전도성 나노 자성입자는 높은 열전도도를 갖는 Fe3O4 산화철인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프 조성물.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 열전도성 나노 자성입자는 액체에 분산되어 있는 액체 자석(ferrofluid) 형태인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프 조성물.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 열전도성 나노 자성입자의 크기는 5 ~ 1,000nm인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프 조성물.
  6. 열전도성 나노 자성입자를 포함하는 방열 접착테이프로서,
    상기 열전도성 나노 자성입자는 분사 노즐을 이용한 스프레딩법을 통해 접착제 층에 분사된 후 전자석 혹은 영구자석에 의해 접착제 층에 분산된 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 전자석 또는 영구자석의 자력은 1,000 ~ 20,000Gauss인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 접착제 층은 에폭시 수지, 경화제 및 경화촉진제를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프.
  9. 방열 접착테이프의 제조방법으로서,
    이형지로서 고분자 기재 시트를 일정 방향으로 주행시키는 제1단계와,
    상기 주행되는 고분자 기재 시트 상에 에폭시 수지, 경화제 및 경화촉진제를 포함하는 접착제 층을 도포하는 제2단계와,
    상기 접착체 층에 분사 노즐을 이용하여 열전도성 나노 자성입자를 분사하는 제3단계와,
    상기 분산된 열전도성 나노 자성입자를 전자석 혹은 영구자석에 의해 접착제 층에 분산시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 전자석 또는 영구자석의 자력은 1,000 ~ 20,000Gauss인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프의 제조방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 열전도성 나노 자성입자는 산화철, 페라이트, 철-귀금속 합금으로 구성된 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 입자인 것을 특징으로 하는, 방열 접착테이프의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107828344A (zh) * 2017-11-21 2018-03-23 桂林电子科技大学 一种沿z向排列的一维微纳米粒子/环氧树脂复合胶膜及其制备方法
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