KR20140073806A

KR20140073806A - 마킹시스템

Info

Publication number: KR20140073806A
Application number: KR1020120141696A
Authority: KR
Inventors: 박용범; 손수동
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-12-07
Filing date: 2012-12-07
Publication date: 2014-06-17
Also published as: KR101952199B1

Abstract

마킹시스템은 만년인, 만년인이동부, 현미경 및 현미경이동부를 포함한다. 상기 만년인은 기판 상에 배치되어 기판에 인영을 날인한다. 상기 만년인이동부는 상기 만년인에 결합되어 상기 기판에 대하여 상기 만년인의 상대적인 위치를 변경시킨다. 상기 현미경은 상기 만년인의 상기 기판 상에서의 위치에 관한 영상을 확대한다. 상기 현미경이동부는 상기 현미경과 결합되어 상기 기판 및 상기 만년인에 대하여 상기 현미경의 상대적인 위치를 변경시킨다. 따라서 마킹오류가 감소하고 공정시간이 단축된다.

Description

마킹시스템{MARKING SYSTEM}

본 발명은 마킹시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 투명기판의 원하는 위치에 자유로운 마킹이 가능하고 마킹시간이 단축되는 마킹시스템에 관한 것이다

평판표시장치는 적은 소비전력, 얇은 두께, 작은 크기 등으로 인하여 널리 사용되고 있다. 평판표시장치는 얇은 두께의 투명기판, 광학필름 등을 포함하고, 투명기판 상에 형성된 각종 소자를 포함한다.

투명기판 내에 결함이 존재하는 경우, 이후 소자형성공정에서 불량이 없더라도 투명기판 자체의 결함으로 인해 표시장치에 불량이 발생한다. 따라서 소자형성공정을 진행하기 전에 투명기판 내에 결함이 존재하는지 그 결함이 수용가능한 수준인 것인지 검사할 필요가 있다. 이러한 검사의 결과를 기판 상에 마킹할 필요가 있다.

또한 기판의 일련번호, 모델명, 제조사 등을 표시하기 위하여 기판 상에 마킹할 필요가 있다.

기판에 마킹하기 위해서는 포토레지스트공정을 통한 패터닝 또는 레이저(Laser) 조사를 이용하여 마킹작업을 수행한다.

포토레지스트공정을 통한 패터닝은 고가의 비용이 소요된다. 또한, 투명기판 내에 본래부터 결함이 존재하는 경우, 불필요한 공정을 진행함으로 인해 시간상 비용상 손실이 발생한다.

레이저 조사를 이용한 마킹작업은 투명기판, 광학필름 등과 같이 투과율이 높은 재질에는 적용하기 어렵다. 또한 육안으로 식별이 가능할 정도의 마킹을 하기 위해서는 장시간이 소요된다.

본 발명의 일 목적은 투명기판의 원하는 위치에 자유로운 마킹이 가능하고 마킹시간이 단축되는 마킹시스템를 제공하는 것이다.

상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마킹시스템은 만년인, 만년인이동부, 현미경 및 현미경이동부를 포함한다. 상기 만년인은 기판 상에 배치되어 기판에 인영을 날인한다. 상기 만년인이동부는 상기 만년인에 결합되어 상기 기판에 대하여 상기 만년인의 상대적인 위치를 변경시킨다. 상기 현미경은 상기 만년인의 상기 기판 상에서의 위치에 관한 영상을 확대한다. 상기 현미경이동부는 상기 현미경과 결합되어 상기 기판 및 상기 만년인에 대하여 상기 현미경의 상대적인 위치를 변경시킨다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 만년인이동부에 결합되고 상기 만년인의 하부를 개폐하여 상기 만년인의 잉크가 증발하는 것을 방지하는 만년인캡을 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 만년인은 인영의 형상을 갖는 인영부, 상기 인영부 상에 배치되어 복수회의 인영을 날인하는 양에 해당하는 잉크를 저장하는 잉크저장부, 및 상기 인영부 및 상기 잉크저장부를 수납하는 인장케이스를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 인영부는 복수개의 인영들을 갖는 복수개의 슬릿들을 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 만년인은 상기 잉크저장부와 상기 인영부 사이에 배치되어 회전에 따라 상기 슬릿들 중의 어느 하나의 위치로 이동하는 잉크토출부를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 만년인에 인접하게 배치되어 상기 만년인이 상기 기판에 접촉하는 것을 감지하는 감지센서를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 만년인은 인영의 형상을 갖는 인영부, 상기 인영부 상에 배치되어 복수회의 인영을 날인하는 양에 해당하는 잉크를 저장하는 잉크저장부, 상기 잉크저장부의 잉크가 토출될 수 있도록 상기 잉크의 압력을 조절하는 압력조절부 및 상기 인영부, 상기 잉크저장부 및 상기 압력조절부를 수납하는 인장케이스를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마킹시스템은 상기 현미경 상에 배치되어 상기 현미경에 의해 확대된 영상을 영상신호로 변경하는 영상신호생성부, 및 상기 영상신호를 표시하는 표시장치를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마킹시스템은 외부입력에 따라 입력신호를 생성하는 입력장치, 및 상기 입력신호를 인가받아 현미경이동신호 및 만년인이동신호를 생성하여 현미경이동부 및 만년인이동부로 각각 전송하는 정보처리장치를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정보처리장치는 상기 입력신호를 인가받아 날인신호를 더 생성하며, 상기 마킹시스템은 상기 만년인과 상기 만년인이동부의 사이에 배치되고 상기 날인신호를 인가받아 상기 만년인을 상하로 이동시키는 날인장치를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 유리기판, 투명기판, 광학필름, 무기막 등과 같이 투과율이 높은 재료에도 용이하게 마킹이 가능하다. 또한 한 번의 동작으로 원하는 위치에 마킹이 가능하기 때문에 마킹시간이 단축되고 수율이 향상된다. 더욱이 사용자가 원하는 형태로 만년인의 인영을 자유롭게 교체할 수 있기 때문에 비용이 감소된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마킹시스템을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마킹시스템을 나타내는 블록도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마킹시스템을 나타내는 부분단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 만년인을 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 만년인을 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 만년인을 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 만년인을 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마킹시스템을 나타내는 블록도이다.
도 9a 내지 도 11b는 도 5 및 도 6에 도시된 만년인을 이용한 인영을 나타내는 이미지이다.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 복합스위치, 이를 포함하는 플렉서블 표시장치 및 이를 이용한 입력신호 생성방법에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예들에 의해 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.

본 명세서에 있어서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이며, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접촉되어"있다고 기재된 경우, 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접촉되어 있을 수도 있지만, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접촉되어"있다고 기재된 경우에는, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 예를 들면, "~사이에"와 "직접 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는" 등도 마찬가지로 해석될 수 있다.

본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 예시적인 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지는 않는다.

제1, 제2 및 제3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들면, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제1 구성 요소가 제2 또는 제3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제2 또는 제3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마킹시스템을 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 마킹시스템을 나타내는 블록도이며, 도 3은 도 1에 도시된 마킹시스템을 나타내는 부분단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 만년인을 나타내는 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 마킹시스템은 현미경(100), 현미경이동부(110), 만년인(201), 만년인고정부(203), 감지센서(207), 만년인이동부(210), 만년인실린더(220), 만년인캡(230) 및 캡용실린더(232)를 포함한다.

현미경(100)은 기판(10)의 영상을 확대하여 기판(10) 상에 결함이 있는지 확인한다. 또한, 현미경(100)은 기판(10) 상에 인장을 날인할 위치 및 만년인(201)의 위치를 확인한다. 본 실시예에서 현미경(100)은 광학현미경을 포함한다. 광학현미경은 경통, 대물렌즈, 접안렌즈 등을 포함한다. 대물렌즈 상에 있는 물체의 가시광선 영상은 광학현미경에 의해 확대되어 접안렌즈 상에 있는 육안으로 보내진다. 다른 실시예로서 현미경(100)이 X레이주사현미경, 전자주사현미경 등을 포함할 수도 있다.

인영이 날인될 대상의 종류에는 제한이 없다. 본 실시예에서, 인영은 기판(10) 상에 날인된다. 예를 들어, 기판(10)은 투명한 유리기판, 석영기판, 플라스틱기판 등을 포함한다. 다른 실시예로서, 기판(10) 대신에 광학필름, 무기막, 유기막 등을 포함할 수도 있다. 광학필름은 보호필름, 확산판, 저반사필름, 프리즘시트 등을 포함할 수 있다. 무기막은 산화실리콘, 질화실리콘 등을 포함할 수 있다. 유기막은 패시베이션막, 평탄화막 등을 포함할 수 있다.

현미경이동부(110)는 현미경(100)과 연결되어 현미경(100)의 위치를 변경시킨다. 본 실시예에서, 현미경이동부(110)는 직교 좌표계(Cartesian coordinates)에 대응되는 X축이동부(111), Y축이동부(113) 및 Z축이동부(115)를 포함하여 자유로운 이동이 가능하다. X축이동부(111)는 현미경(100)을 X축방향으로 진입시키거나 퇴출시킨다. Y축이동부(113)는 현미경(100)을 Y축방향으로 진입시키거나 퇴출시킨다. Z축이동부(115)는 현미경(100)을 Z축방향으로 진입시키거나 퇴출시킨다. 다른 실시예로서 현미경이동부(110)가 X축, Y축 및 Z축 중에서 하나 또는 두 개의 축에 대응되는 이동부만을 포함할 수도 있다.

다른 실시예로서, 현미경이동부(110)가 실린더 좌표계에 대응되는 반지름방향이동부, 회전방향이동부 및 수직축방향이동부를 포함할 수도 있다. 현미경이동부(110)의 구성은 검사대상의 형상 및 위치에 따라 당업자에 의한 다양한 변형이 가능하다.

도 3 및 도 4를 참조하면 만년인(201)은 인영부(201a), 잉크저장부(201b) 및 인장케이스(201c)를 포함하여, 반영구적으로 인영을 날인하는 것이 가능하다.

본 실시예에서, 인영부(201a)는 인영에 대응되는 슬릿을 포함한다. 다른 실시예에서 인영부(201a)가 인영에 대응되는 돌출부를 포함할 수도 있다. 본 실시예에서, 인영부(201a)는 잉크저장부(201b)의 하부에 배치되어 잉크저장부(201b)로부터 중력 및 모세관현상에 의해 잉크를 공급받는다. 다른 실시예에서 인영부(201a)가 잉크저장부(201b)의 측면 또는 상면에 배치되어 잉크저장부(201b)로부터 모세관현상에 의해 잉크를 공급받을 수도 있다. 예를 들어, 인영부(201a)는 다양한 형상을 가진 인영부로 교체가 가능하여 다양한 형상의 인영을 날인하는 것이 가능하다.

잉크저장부(201b)는 잉크를 저장하며 인영부(201a)에 지속적으로 잉크를 공급한다. 본 실시예에서 잉크저장부(201b)는 스폰지 등과 같은 다공성매질(porous media)을 포함하여 잉크가 한꺼번에 쏟아지는 것을 방지한다. 잉크는 수용성잉크, 지용성잉크 등의 다양한 잉크가 사용될 수 있다. 다른 실시예에서, 잉크 대신에 안료, 염료, 분말착색제 등을 포함할 수도 있다.

인장케이스(201c)는 인영부(201a)와 결합하여 잉크저장부(201b)를 수납하는 공간을 형성한다.

만년인고정부(203)는 만년인(201)과 결합되어 만년인(201)의 위치를 고정하고 인영의 신뢰성을 향상시킨다. 다른 실시예로서, 만년인고정부(203)가 생략되고, 만년인(201)이 만년인실린더(220)에 직접 연결될 수도 있다.

만년인실린더(220)는 만년인고정부(203)와 결합되어 만년인(201)을 인영부(201a)에 수직한 방향으로 진입시키거나 퇴출시킨다. 기판(10)이 마킹시스템으로 진입하여 장착되는 동안 만년인실린터(220)는 후퇴된 상태를 유지하여 만년인(201)이 기판(10)에 접촉되지 않도록 한다. 기판(10)이 마킹시스템에 장착된 후에, 만년인실린더(220)가 하강하여 기판(10) 상에 만년인(201)의 인영부(201a)가 압날된다.

감지센서(207)는 만년인(201)에 인접하게 배치되어 만년인(201)과 기판(10) 사이의 접촉여부, 날인압력 등을 감지한다. 본 실시예에서, 감지센서(207)는 만년인고정부(203)와 결합된다. 다른 실시예로서, 감지센서(207)가 만년인(201)에 직접 연결되거나, 만연인실린더(220)에 직접 연결될 수도 있다.

본 실시예에서, 감지센서(207)는 압력에 따라 전기신호를 생성하는 압력센서를 포함한다. 다른 실시예에서, 감지센서(207)가 접촉에 따라 전기신호를 생성하는 첩촉센서를 포함할 수도 있다. 또 다른 실시예에서, 감지센서(207)가 광센서를 포함하여 기판(10)에 의해 반사되거나 흡수되는 광량의 변화를 감지할 수도 있다.

만년인캡(230)은 만년인(201)의 하부에 배치되어, 마킹시스템의 작업이 종료된 경우 만년인(201)의 인영부(201a)를 커버한다. 본 실시예에서, 만년인(201)은 액상잉크를 사용하고, 만년인캡(230)은 만년인(201)의 액상잉크가 증발되거나 만년인(201)의 인영부(201a)에 먼지 등의 이물질이 부착되는 것을 방지한다. 예를 들어, 만년인캡(230)은 수납홈(231)을 포함하고, 만년인(201)의 하부는 수납홈(231) 내에 수납된다.

캡용실린더(232)는 만년인캡(230)의 위치를 이동시켜서 만년인캡(230)을 만년인(201)에 결합시키거나 분리시킨다.

다른 실시예로서, 만년인캡(230) 및 캡용실린더(232)가 생략될 수도 있다. 예를 들어, 만년인(201)이 잉크젯헤드를 포함하거나, 액상잉크가 아닌 분말착색제를 포함하는 경우 만년인캡(230) 및 캡용실린더(232)를 생략하는 것이 가능하다. 또 다른 실시예로서, 만년인(201)이 잉크젯헤드를 포함하거나, 액상잉크가 아닌 분말착색제를 포함하는 경우라 하더라도, 먼지 등의 이물질의 유입을 방지하기 위하여 만년인캡(230) 및 캡용실린더(232)를 포함할 수도 있다.

도 1 및 도 2를 다시 참조하면, 만년인이동부(210)는 만년인실린더(220)에 결합되어, 만년인(201)을 원하는 위치로 이동시킨다. 본 실시예에서, 만년인이동부(210)는 Z축방향으로만 이동할 수 있다. 다른 실시예에서, 만년인이동부(210)가 Z축 방향 이외의 다른 방향으로 이동할 수 있는 이동부를 더 포함할 수도 있다.

본 실시예에서, 현미경이동부(110)는 만년인이동부(210)와 물리적으로 결합되어, 만년인(201)의 현미경이동부(110)에 대한 상대위치가 일정하게 유지된다.

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 마킹시스템이 현미경(100)과 만년인(201)을 포함하여, 유리기판, 투명기판, 광학필름, 무기막 등과 같이 투과율이 높은 재료에도 용이하게 마킹이 가능하다. 또한 현미경(100)을 통하여 정밀한 검사가 가능하기 때문에, 광학검사와 마킹작업을 인-시츄(In-situ)로 수행하는 것이 가능하다. 더욱이, 만년인(201)을 이용하여 한 번의 동작으로 원하는 위치에 마킹이 가능하기 때문에 마킹시간이 단축되고 수율이 향상된다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 만년인을 나타내는 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 만년인을 나타내는 단면도이다. 본 실시예는 만년인을 제외한 나머지 구성요소들은 도 1 내지 도 4의 실시예와 동일하므로, 동일한 구성요소에 대한 중복되는 설명은 생략한다.

도 1, 도 5 및 도 6을 참조하면, 마킹시스템은 현미경(100), 현미경이동부(110), 만년인(2201), 만년인고정부(203), 감지센서(207), 만년인이동부(210), 만년인실린더(220), 만년인캡(230) 및 캡용실린더(232)를 포함한다.

현미경(100)은 기판(10) 상에 인장을 날인할 위치 및 만년인(2201)의 위치를 확인한다.

도 5 및 도 6을 참조하면 만년인(2201)은 인영부(2201a), 잉크저장부(2201f), 인장케이스(2201c), 회전경통(2201d), 볼스크류(Ball screw, 2201e) 및 잉크토출부(2201b)를 포함하여, 반영구적으로 인영을 날인하는 것이 가능하다.

인영부(2201a)는 복수개의 인영들에 대응되는 복수개의 슬릿들을 포함한다. 본 실시예에서, 인영부(2201a)는 원반형상을 가지며 슬릿들은 원주를 따라서 배열된다. 인영부(2201a)는 잉크토출부(2201b)의 하부에 배치되어 잉크저장부(2201f)로부터 중력 및 모세관현상에 의해 잉크를 공급받는다.

잉크저장부(2201f)는 잉크를 저장하며 인영부(2201a)에 지속적으로 잉크를 공급한다. 본 실시예에서 잉크저장부(2201f)는 스폰지 등과 같은 다공성매질(porous media)을 포함하여 잉크가 한꺼번에 쏟아지는 것을 방지한다. 잉크는 수용성잉크, 지용성잉크 등의 다양한 잉크가 사용될 수 있다.

회전경통(2201d)은 인영부(2201a) 상에 배치되고 내부에 잉크저장부(2201f)를 수납하기 위한 공간을 포함한다. 회전경통(2201d)은 볼스크류(2201e)와 결합하여 볼스크류(2201e)를 회전축으로하여 회전한다. 회전경통(2201d)의 회전은 내부의 잉크저장부(2201f)와 하부의 잉크토출부(2201f)가 동일한 회전각으로 회전한다. 본 실시예에서, 회전경통(2201d)이 회전하더라도, 볼스크류(2201e), 인장케이스(2201c) 및 인영부(2201a)는 회전하지 않는다. 본 실시예에서, 인영부(2201a)가 고정되고, 회전경통(2201d)이 회전한다. 다른 실시예에서, 회전경통(2201d)에 해당하는 경통 또는 잉크수납부가 고정되고, 반대로 인영부(2201a)가 회전할 수도 있다.

잉크토출부(2201b)는 회전경통(2201d)의 하부와 결합하고, 인영부(2201a)와 잉크저장부(2201f)의 사이에 배치된다. 잉크토출부(2201b)는 잉크저장부(2201f)의 잉크가 인영부(2201a)로 흘러나가는 것을 조절한다. 잉크토출부(2201b)는 인영부(2201a)의 일부에만 대응되어, 인영부(2201a)의 나머지부분으로 잉크가 흘러나가는 것을 방지한다. 본 실시예에서, 잉크토출부(2201b)는 회전경통(2201d)의 회전에 따라 회전하여 인영부(2201a)의 원주를 따라서 회전한다.

인장케이스(2201c)는 인영부(2201a)와 결합하고 회전경통(2201d)의 외부를 둘러싼다.

만년인고정부(203)는 만년인(2201)과 결합되어 만년인(201)의 위치를 고정하고 인영의 신뢰성을 향상시킨다. 본 실시예에서, 만년인고정부(203)는 만년인(2201)의 볼스크류(2201e)와 결합된다.

만년인실린더(220)는 만년인고정부(203)와 결합되어 만년인(2201)을 인영부(2201a)에 수직한 방향으로 진입시키거나 퇴출시킨다. 기판(10)이 마킹시스템으로 진입하여 장착되는 동안 만년인실린터(220)는 후퇴된 상태를 유지하여 만년인(2201)이 기판(10)에 접촉되지 않도록 한다. 기판(10)이 마킹시스템에 장착된 후에, 만년인실린더(220)가 하강하여 기판(10) 상에 만년인(2201)의 인영부(2201a)가 압날된다.

감지센서(207)는 만년인(2201)에 인접하게 배치되어 만년인(2201)과 기판(10) 사이의 접촉여부, 날인압력 등을 감지한다. 본 실시예에서, 감지센서(207)는 만년인고정부(203)와 결합된다. 다른 실시예로서, 감지센서(207)가 만년인(2201)에 직접 연결되거나, 만연인실린더(220)에 직접 연결될 수도 있다.

만년인캡(230)은 만년인(2201)의 하부에 배치되어, 마킹시스템의 작업이 종료된 경우 만년인(2201)의 인영부(2201a)를 커버한다.

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 만년인(2201)이 회전경통(2201d)을 포함하고, 인영부(2201a)가 복수개의 인영들을 갖는 복수개의 슬릿들을 포함하여, 간편한 조작만으로 다양한 형상의 인영을 날인하는 것이 가능하다. 따라서 인영부(2201a)를 교체할 필요 없이 인영을 변경하는 것이 가능하여 공정시간이 단축된다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 만년인을 나타내는 단면도이다. 본 실시예에서 인영부를 제외한 나머지 구성요소들은 도 1 내지 도 4에 도시된 실시예와 동일하므로 동일한 구성요소에 대한 중복되는 설명은 생략된다.

도 1 및 도 7을 참조하면, 마킹시스템은 현미경(100), 현미경이동부(110), 만년인(3201), 만년인고정부(203), 감지센서(207), 만년인이동부(210), 만년인실린더(220), 만년인캡(230) 및 캡용실린더(232)를 포함한다.

현미경(100)은 기판(10) 상에 인장을 날인할 위치 및 만년인(3201)의 위치를 확인한다.

만년인(3201)은 인영부(3201a), 잉크저장부(3201b), 압력발생부(3201d) 및 인장케이스(3201c)를 포함하여, 반영구적으로 인영을 날인하는 것이 가능하다.

인영부(3201a)는 인영에 대응되는 슬릿을 포함한다. 다른 실시예에서, 인영부(3201a)는 전기신호에 의해 서로 다른 인영을 생성하는 잉크젯프린터용 헤드(head)를 포함할 수도 있다.

잉크저장부(3201b)는 잉크를 저장하며 인영부(3201a)에 지속적으로 잉크를 공급한다.

인장케이스(3201c)는 인영부(3201a) 상에 배치되고, 잉크저장부(3201b) 및 압력발생부(3201d)를 수납한다.

압력발생부(3201d)는 인장케이스(3201c) 내에 배치되고 잉크저장부(3201b) 내에 배치된 잉크의 압력을 조절하여 잉크가 인영부(3201a)로 공급되는 것을 조절한다. 압력발생부(3201d)는 전기 신호에 따라 열을 발생시켜서 잉크의 부피증가에 의한 토출압력을 생성하는 열압력발생기, 전기신호에 따라 물리력을 발생시켜서 잉크의 토출압력을 생성하는 물리력발생기 등의 다양한 형태를 포함할 수 있다.

감지센서(207)는 만년인(3201)에 인접하게 배치되어 만년인(3201)과 기판(10) 사이의 접촉여부를 감지한다.

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 만년인(3201)의 잉크토출 자체를 조절하여 만년인(3201)에 압력을 가하지 않더라도 기판(10) 상에 인영을 날인하는 것이 가능하다. 따라서 기판(10)의 두께가 얇아지더라도 날인과정에서 외력에 의해 파손되는 것이 방지된다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마킹시스템을 나타내는 블록도이다. 본 실시예에서, 정보처리장치, 입력장치 및 표시장치를 제외한 나머지 구성요소들은 도 1 내지 도 4에 도시된 실시예와 동일하므로 동일한 구성요소에 대한 중복되는 설명은 생략한다.

도 8을 참조하면, 마킹시스템은 현미경(1100), 영상신호생성부(1102), 현미경이동부(1110), 만년인(1201), 만년인고정부(1203), 감지센서(도 3의 207), 만년인이동부(1210), 날인장치(1220), 만년인캡(1230), 캡용실린더(1232), 정보처리장치(1310), 입력장치(1320) 및 표시장치(1330)를 포함한다.

현미경(1100)은 기판(1010)의 영상을 확대하여 기판(1010) 상에 결함이 있는지 확인한다.

영상신호생성부(1102)는 현미경(1100)에 결합되어, 현미경(1100)에서 감지된 영상을 이용하여 영상신호를 생성한다. 영상신호생성부(1102)에 의해 생성된 영상신호는 정보처리장치(1310)로 전송된다.

현미경이동부(1110)는 현미경(1100) 및 영상신호생성부(1102)와 연결되어 현미경(1100)의 위치를 변경시킨다. 본 실시예에서, 현미경이동부(1110)는 정보처리장치(1310)로부터 인가된 현미경이동신호에 따라 현미경(1100)의 위치를 변경시킨다.

만년인(1201)은 도 1 내지 도 7에 도시된 만년인 중의 하나가 사용될 수 있다. 그러나 이에 제한되지 않고 다양한 형태의 만년인이 사용될 수 있다.

날인장치(1220)는 만년인(1201)에 결합되어 만년인(1201)을 날인을 제어한다. 본 실시예에서, 날인장치(1220)는 정보처리장치(1310)로부터 인가된 날인신호에 따라 만년인(1201)을 상하로 이동시킨다.

감지센서(도 3의 207)는 만년인(1201)에 인접하게 배치되어 만년인(1201)과 기판(1010) 사이의 접촉여부, 날인압력 등을 감지한다.

만년인캡(1230)은 만년인(1201)의 하부에 배치되어, 마킹시스템의 작업이 종료된 경우 만년인(1201)의 인영부를 커버한다.

캡용실린더(1232)는 만년인캡(1230)의 위치를 이동시켜서 만년인캡(1230)을 만년인(1201)에 결합시키거나 분리시킨다.

만년인이동부(1210)는 날인장치(1220) 및 만년인(1201)에 결합되어, 만년인(1201)을 원하는 위치로 이동시킨다.

입력장치(1320)는 외부의 입력에 따라 입력신호를 생성하여 정보처리장치(1310)로 인가한다.

표시장치(1330)는 정보처리장치로(1310)부터 인가된 영상신호를 표시한다. 영상신호에는 만년인의 위치(S)에 관한 신호를 포함한다.

정보처리장치(1310)는 현미경이동부(1110), 영상신호생성부(1102), 만년인이동부(1210), 입력장치(1320) 및 표시장치(1330)에 연결된다.

정보처리장치(1310)는 영상신호생성부(1102)로부터 생성된 영상신호를 표시장치(1330)로 전송한다. 또한, 정보처리장치(1310)는 입력장치(1320)로부터 입력신호를 인가받아 현미경이동부(1110), 만년인이동부(1210) 및 날인장치(1220)로 현미경이동신호, 만년인이동신호 및 날인신호를 각각 전송한다.

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 마킹시스템의 자동화가 가능하여 인간의 손에 의한 조작으로 발생할 수 있는 오류가 감소하고, 마킹의 생성속도가 향상된다.

실험예

도 9a 내지 도 11b는 도 5 및 도 6에 도시된 만년인을 이용한 인영을 나타내는 이미지이다.

도 9a 및 도 10a는 도 5 및 도 6에 도시된 인영부(2201a)의 서로 다른 슬릿들의 형상을 나타내고, 도 9b 및 도 10b는 도 9a 및 도 10a에 도시된 슬릿들을 이용하여 날인한 인영들의 형상을 나타낸다.

도 9a 내지 도 10b를 참조하면, 도 5 및 도 6에 도시된 만년인(2201)을 이용한 인영의 시인성이 우수함을 알 수 있다.

대조실험예

도 11a는 엔디-야그(ND-YAG) 532 나노미터(nm) 녹색 레이저(Green Laser)를 이용하여 유리기판 상에 몰리브덴층 및 폴리이미드(polyimide)코팅을 적층한 후에 마킹한 이미지를 나타낸다. 도 11b는 엔디-야그(ND-YAG) 532 나노미터(nm) 녹색 레이저(Green Laser)를 이용하여 유리기판 상에 알루미늄층을 형성한 후에 마킹한 이미지를 나타낸다.

도 11a 및 도 11b를 참조하면, 동일한 사각형 형상의 레이저로 마킹했음에도 불구하고, 도 11a에서는 원형에 가까운 형상이 나타났고 도 11b에서만 사각형 형상이 나타났다. 종래의 레이저를 이용한 마킹은 마킹대상의 재질에 따라서 그 영상이 균일하지 않음을 알 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 마킹시스템이 현미경과 만년인을 포함하여, 유리기판, 투명기판, 광학필름, 무기막 등과 같이 투과율이 높은 재료에도 용이하게 마킹이 가능하다. 또한 현미경을 통하여 정밀한 검사가 가능하기 때문에, 광학검사와 마킹작업을 인-시츄(In-situ)로 수행하는 것이 가능하다. 더욱이, 만년인을 이용하여 한 번의 동작으로 원하는 위치에 마킹이 가능하기 때문에 마킹시간이 단축되고 수율이 향상된다.

또한, 만년인이 회전경통을 포함하고, 인영부가 복수개의 인영들을 갖는 복수개의 슬릿들을 포함하여, 간편한 조작만으로 다양한 형상의 인영을 날인하는 것이 가능하다. 따라서 인영부를 교체할 필요 없이 인영을 변경하는 것이 가능하여 공정시간이 단축된다.

더욱이, 만년인의 잉크토출 자체를 조절하여 만년인에 압력을 가하지 않더라도 기판 상에 인영을 날인하는 것이 가능하다. 따라서 기판의 두께가 얇아지더라도 날인과정에서 외력에 의해 파손되는 것이 방지된다.

또한, 마킹시스템의 자동화가 가능하여 인간의 손에 의한 조작으로 발생할 수 있는 오류가 감소하고, 마킹의 생성속도가 향상된다.

10 : 기판 100, 1100 : 현미경
1102 : 영상신호생성부 110, 1110 : 현미경이동부
111 : X축 이동부분 113 : Y축 이동부분
115 : Z축 이동부분 201, 1201 : 만년인
201a, 2201a, 3201a : 인영부 201b, 2201f, 3201b : 잉크저장부
201c, 2201c, 3201c : 인장케이스 3201d : 압력발생부
2201d : 회전경통 2201e : 볼스크류(Ball screw)
2201b : 잉크토출부 203 : 만년인고정부
210, 1210 : 만년인이동부 220 : 만년인실린더
1220 : 날인장치 230, 1230 : 만년인캡
231 : 수납홈 232, 1232 : 캡용실린더
1310 : 정보처리장치 1320 : 입력장치
1330 : 표시장치

Claims

기판 상에 배치되어 기판에 인영을 날인하는 만년인;
상기 만년인에 결합되어 상기 기판에 대하여 상기 만년인의 상대적인 위치를 변경시키는 만년인이동부;
상기 만년인의 상기 기판 상에서의 위치에 관한 영상을 확대하는 현미경; 및
상기 현미경과 결합되어 상기 기판 및 상기 만년인에 대하여 상기 현미경의 상대적인 위치를 변경시키는 현미경이동부를 포함하는 마킹시스템.
제1항에 있어서, 상기 만년인이동부에 결합되고 상기 만년인의 하부를 개폐하여 상기 만년인의 잉크가 증발하는 것을 방지하는 만년인캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제1항에 있어서, 상기 만년인은 인영의 형상을 갖는 인영부, 상기 인영부 상에 배치되어 복수회의 인영을 날인하는 양에 해당하는 잉크를 저장하는 잉크저장부, 및 상기 인영부 및 상기 잉크저장부를 수납하는 인장케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제3항에 있어서, 상기 인영부는 복수개의 인영들을 갖는 복수개의 슬릿들을 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제4항에 있어서, 상기 만년인은 상기 잉크저장부와 상기 인영부 사이에 배치되어 회전에 따라 상기 슬릿들 중의 어느 하나의 위치로 이동하는 잉크토출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제1항에 있어서, 상기 만년인에 인접하게 배치되어 상기 만년인이 상기 기판에 접촉하는 것을 감지하는 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제1항에 있어서, 상기 만년인은 인영의 형상을 갖는 인영부, 상기 인영부 상에 배치되어 복수회의 인영을 날인하는 양에 해당하는 잉크를 저장하는 잉크저장부, 상기 잉크저장부의 잉크가 토출될 수 있도록 상기 잉크의 압력을 조절하는 압력조절부 및 상기 인영부, 상기 잉크저장부 및 상기 압력조절부를 수납하는 인장케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제1항에 있어서, 상기 현미경 상에 배치되어 상기 현미경에 의해 확대된 영상을 영상신호로 변경하는 영상신호생성부; 및
상기 영상신호를 표시하는 표시장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제1항에 있어서, 외부입력에 따라 입력신호를 생성하는 입력장치; 및
상기 입력신호를 인가받아 현미경이동신호 및 만년인이동신호를 생성하여 현미경이동부 및 만년인이동부로 각각 전송하는 정보처리장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.
제9항에 있어서, 상기 정보처리장치는 상기 입력신호를 인가받아 날인신호를 더 생성하며,
상기 마킹시스템은 상기 만년인과 상기 만년인이동부의 사이에 배치되고 상기 날인신호를 인가받아 상기 만년인을 상하로 이동시키는 날인장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마킹시스템.