JP4145791B2 - 可溶性材料の堆積方法、表示装置の製造方法、及び電子装置、電子光学装置、光学装置、又はセンサー装置の製造方法 - Google Patents
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Description
上記の方法において、前記基板の前記第一の面と対向する他の面を介して、前記アライメントドットを検出するようにしてもよい。
上記の方法において、前記材料の前記アライメントドットが、前記第一の基板の前記第一の面に堆積したときに、前記材料の前記アライメントドットを検出するようにしてもよい。
上記の方法において、前記第1のアライメントマークを、前記基板の前記第一の領域外の領域に設けるようにしてもよい。
上記の方法において、さらに第2のアライメントマークを、前記基板の前記第一の領域内に設けるようにしてもよい。
上記の方法において、前記第1のアライメントマークは、交差形状を有するようにしてもよい。
上記の方法において、前記第1のアライメントマークは、半径方向に延在するとともに、円周方向に対称に配置された複数の脚部を有するようにしてもよい。
上記の方法において、前記第1のアライメントマークは、3乃至4の脚部を有するようにしてもよい。
上記の方法において、前記基板には、前記第1のアライメントマークを含むアライメントマークの直線状アレイが形成され、前記直線状アレイは前記基板の少なくとも一の端部に隙間を介して沿っているようにしてもよい。
上記の方法において、前記基板には、前記第1のアライメントマークを含むアライメントマークのマトリクスアレイが形成されていてもよい。
上記の方法において、前記基板には、アライメントマークの直線状アレイが形成され、前記直線状アレイは前記基板の少なくとも一の端部に隙間を介して沿っていてもよい。
上記の方法において、前記第1の工程の前に、前記基板の前記第一の領域に、前記材料を受容するウエルのアレイを含むパターン構造を設ける第3の工程をさらに有するようにしてもよい。
上記の方法において、前記インクジェットヘッドは複数のノズルを有するようにしてもよい。
上記の方法において、前記複数のノズルの間のピッチ間隔は、パターン構造のウエル間のピッチ間隔と対応するように選択されてなるようにしてもよい。
上記の方法において、前記基板の前記第一の領域には前記第1の工程において前記材料を受容する複数のウエルを含むアレイが形成されており、前記マトリクスアレイに含まれるアライメントマーク間のピッチ間隔が前記複数のウエル間のピッチ間隔のn倍(nは整数)となるように設定されていてもよい。
上記方法において、前記基板は、可撓性のプラスチック材料を有するようにしてもよい。
上記の方法において、前記材料は、共役高分子を含むようにしてもよい。
上記の方法において、前記第2の工程において、前記材料のアライメントドットを観察する際に、前記基板の前記表面を前記基板が実質的に透過する波長の光で照明するようにしてもよい。
上記の方法において、前記第2の工程において、前記アライメントドットが明視界画像として観察されるように、前記基板の前記表面を照明するようにしてもよい。
本発明に係る他の方法は、溶液状に溶解又は拡散した材料を、基板の第一の面の第一の領域上に、インクジェットヘッドを用いて選択的に堆積する方法であって、前記インクジェットヘッドが基板上に設けられた第1のアライメントマークと実質的に整合した場合に、前記材料を前記インクジェットヘッドから前記基板の前記第一の面に堆積することによって前記材料のアライメントドットを設ける第1の工程と、前記アライメントドットを前記前記第1のアライメントマークと対比して検出する第2の工程と、を含み、前記第2の工程において、前記アライメントドットが明視界画像として観察されるように前記基板の前記表面を照明することを特徴とする。
上記の方法において、前記第2の工程において、前記共役高分子の吸収端波長より長い波長を有する光で前記アライメントドットを観察するようにしてもよい。
上記の方法において、前記第1のアライメントマークが前記基板との関係において光学的コントラストを有し、前記アライメントマークが前記アライメントドットとの関係において濡れ性のコントラストを有さないようにすることが好ましい。
本発明に係る他の方法は、溶液状に溶解又は拡散した材料の液滴を、基板の第一の面の第一の領域上に、インクジェットヘッドを用いて選択的に堆積する方法であって、前記インクジェットヘッドが基板上に設けられた第1のアライメントマークと実質的に整合した場合に、前記材料を前記インクジェットヘッドから前記基板の前記第一の面に前記液滴を堆積する第1の工程と、前記第一の面に配置された前記液滴を前記前記第1のアライメントマークと対比して検出する第2の工程と、を含み、前記第2の工程において、前記液滴が湿潤状態から乾燥状態に変化する前に検出することを特徴とする。
上記の方法において、前記第2の工程において、画像認識技術を用いるようにしてもよい。
本発明に係る表示装置の製造方法は、上記の方法を用いて発光素子を製造することを含む。
上記の方法を電子装置、電子光学装置、光学装置、又はセンサー装置の製造方法に適用することができる。
本発明の第一の態様によれば、溶液状に溶解又は拡散した材料を基板の第一の面の第一の領域上にインクジェット印刷ヘッドを用いて選択的に堆積する方法であって、当該基板上にアライメントマークのアレイを設ける工程と、上記インクジェット印刷ヘッドが上記アライメントマークの一つと実質的に整合した場合に、上記材料をそのインクジェット印刷ヘッドから上記基板の上記第一の面に堆積することによって上記材料のアライメントドットを設ける工程と、当該アライメントドットを上記アライメントマークと対比して検出する工程とを更に有する方法が提供される。
上記の実施形態の一により製造されたディスプレイ装置を携帯型パーソナルコンピュータに適用した例を説明する。
次に、ディスプレイ装置を携帯電話機の表示部に適用した例を説明する。図23は携帯電話の構成を示す等角図である。図において、携帯電話1200は複数の操作キー1202、受話器1204、送話口1206、およびディスプレイパネル100を備えている。このディスプレイパネル100は本発明によって上記のように製造されたディスプレイパネルを用いて提供されている。
次に、OELディスプレイ装置をファインダーに用いたディジタル静止画カメラを説明する。図24はディジタル静止画カメラの構成および外部機器との接続を簡易に示す等角図である。
2 支持体
4 支柱
6 横梁
8 キャリア
10 インクジェットヘッド
12 プラテン
14 基板
16 電動支持部
18、22 CCD顕微鏡
20 鏡
24 ストロボスコープ
26 ウエル
Claims (25)
- 溶液状に溶解又は拡散した材料を、基板の第一の面の第一の領域上に、インクジェットヘッドを用いて選択的に堆積する方法であって、
前記インクジェットヘッドが基板上に設けられた第1のアライメントマークと実質的に整合した場合に、前記材料を前記インクジェットヘッドから前記基板の前記第一の面に堆積することによって前記材料のアライメントドットを設ける第1の工程と、
前記アライメントドットを前記前記第1のアライメントマークと対比して検出する第2の工程と、を含み、
前記第2の工程において、前記材料が湿潤状態から乾燥状態に変化する前に検出すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記基板の前記第一の面と対向する他の面を介して、前記アライメントドットを検出すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1又は2に記載の方法において、
前記材料の前記アライメントドットが、前記第一の基板の前記第一の面に堆積したときに、前記材料の前記アライメントドットを検出すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法において、
前記第1のアライメントマークを、前記基板の前記第一の領域外の領域に設けること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法において、さらに
第2のアライメントマークを、前記基板の前記第一の領域内に設けること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の方法において、
前記第1のアライメントマークは、交差形状を有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項6に記載の方法において、
前記第1のアライメントマークは、半径方向に延在するとともに、円周方向に対称に配置された複数の脚部を有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項6又は7記載の方法において、
前記第1のアライメントマークは、3乃至4の脚部を有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法において、
前記基板には、前記第1のアライメントマークを含むアライメントマークの直線状アレイが形成され、
前記直線状アレイは前記基板の少なくとも一の端部に隙間を介して沿っていること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法において、
前記基板には、前記第1のアライメントマークを含むアライメントマークのマトリクスアレイが形成されていること、
を特徴とする方法。 - 請求項10に記載の方法において、
前記基板には、アライメントマークの直線状アレイが形成され、
前記直線状アレイは前記基板の少なくとも一の端部に隙間を介して沿っていること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の方法において、
前記第1の工程の前に、前記基板の前記第一の領域に、前記材料を受容するウエルのアレイを含むパターン構造を設ける第3の工程をさらに有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項12記載の方法において、
前記インクジェットヘッドは複数のノズルを有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項13に記載の方法において、
前記複数のノズルの間のピッチ間隔は、パターン構造のウエル間のピッチ間隔と対応するように選択されてなること、
を特徴とする方法。 - 請求項10に記載の方法において、
前記基板の前記第一の領域には前記第1の工程において前記材料を受容する複数のウエルを含むアレイが形成されており、
前記マトリクスアレイに含まれるアライメントマーク間のピッチ間隔が前記複数のウエル間のピッチ間隔のn倍(nは整数)となるように設定されていること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至15のいずれか一項に記載の方法において、
前記基板は、可撓性のプラスチック材料を有すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至16のいずれか一項に記載の方法において、
前記材料は、共役高分子を含むこと、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至17のいずれか一項に記載の方法において、
前記第2の工程において、前記材料のアライメントドットを観察する際に、前記基板の前記表面を前記基板が実質的に透過する波長の光で照明すること、
を特徴とする方法。 - 請求項18記載の方法において、
前記第2の工程において、前記アライメントドットが明視界画像として観察されるように、前記基板の前記表面を照明すること、
を特徴とする方法。 - 請求項17に記載の方法において、
前記第2の工程において、前記共役高分子の吸収端波長より長い波長を有する光で前記アライメントドットを観察すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至20のいずれか一項に記載の方法において、
前記第1のアライメントマークが前記基板との関係において光学的コントラストを有し、
前記アライメントマークが前記アライメントドットとの関係において濡れ性のコントラストを有さないこと、
を特徴とする方法。 - 溶液状に溶解又は拡散した材料の液滴を、基板の第一の面の第一の領域上に、インクジェットヘッドを用いて選択的に堆積する方法であって、
前記インクジェットヘッドが基板上に設けられた第1のアライメントマークと実質的に整合した場合に、前記材料を前記インクジェットヘッドから前記基板の前記第一の面に前記液滴を堆積する第1の工程と、
前記第一の面に配置された前記液滴を前記前記第1のアライメントマークと対比して検出する第2の工程と、を含み、
前記第2の工程において、前記液滴が湿潤状態から乾燥状態に変化する前に検出すること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至22のいずれか一項に記載の方法において、
前記第2の工程において、画像認識技術を用いること、
を特徴とする方法。 - 請求項1乃至23のいずれか一項に記載の方法を用いて発光素子を製造することを含む、表示装置の製造方法。
- 請求項1乃至24のいずれか一項に記載の方法を用いること、
を特徴とする電子装置、電子光学装置、光学装置、又はセンサー装置の製造方法。
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