KR20140072699A - 버터플라이 밸브 및 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법 - Google Patents

버터플라이 밸브 및 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 측면에 의하면, 관 형상의 하우징; 상기 하우징 내에 회전 가능하게 배치되는 밸브 디스크; 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 형성되는 공간 형성 부재; 및 상기 하우징에 구비되며, 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간과 연결되는 누설 확인 포트;를 포함하는 버터플라이 밸브를 제공한다.

Description

버터플라이 밸브 및 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법{Butterfly valve and method of checking leak of the same}
본 발명은 버터플라이 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD, OLED 등의 제조공정은 현상, 식각, 확산, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정을 반복 수행함으로써 이루어지게 된다.
이들 각 공정은 설계 상태에 적합하도록 반도체 특정 조건으로 설정되며, 다수의 공정은 진공상태에서 공정이 진행된다.
이렇게 진공상태로 공정이 수행되는 프로세스 챔버와 연결되어 외부배기 펌프와 연결된 진공 라인을 구비하고있다. 그리고, 이러한 각각의 챔버들에는 진공의 유지와 파티클 제거를 위한 펌프와 연결된 버터플라이 밸브가 설치되어 진공 챔버의 진공 개폐가 이루어지도록 되어 있다.
이와 같은 버터플라이 밸브는 주로 전기적 동작으로 작동하며, 압력 조절의 동작을 조절하는 밸브 디스크(valve disk), 이 밸브 디스크의 로테이션 동작을 시키기 위한 액추에이터 등을 포함한다. 그리고, 버터플라이 밸브는 공정 진행이 진행될 때 챔버와 펌프 사이에서 일반적으로 동작하게 된다.
또한 상기 버터플라이 밸브는 펌프 배관라인과 프로세스 챔버 사이에 위치하며, 프로세스 챔버의 공정을 진행하기 위하여 완벽한 격리(Isolation) 기능을 수행할 수 있어야 한다. 즉, 버터플라이 밸브 자체에 누설이 없어야 한다.
그러나, 종래의 버터플라이 밸브는 버터플라이 밸브를 설비에 조립 후에 모든 조건이 만족된 상태에서 누설 점검을 해야만 하는 문제점 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 자체적으로 누설 점검을 할 수 있는 버터플라이 밸브를 구현하는 것을 주된 과제로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 관 형상의 하우징; 상기 하우징 내에 회전 가능하게 배치되는 밸브 디스크; 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 형성되는 공간 형성 부재; 및 상기 하우징에 구비되며, 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간과 연결되는 누설 확인 포트;를 포함하는 버터플라이 밸브를 제공한다.
여기서, 상기 공간 형성 부재는 적어도 2개 이상의 오링(O-ring)을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 공간 형성 부재는 제 1 오링 및 제 2 오링을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 누설 확인 포트에 결합하여 상기 누설 확인 포트를 마감 처리하는 밀봉 부재를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 누설 확인 포트와 연결되는 누설 검출기를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 누설 검출기는 헬륨 누설 검출기를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링은 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성될 수 있다.
여기서, 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 제 1 홈 및 제 2 홈이 형성되고, 상기 제 1 오링은 상기 제 1 홈에 삽입되고, 상기 제 2 오링은 상기 제 2 홈에 삽입될 수 있다.
여기서, 상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈은 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성되고, 상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링은 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성될 수 있다.
여기서, 상기 누설 확인 포트는, 상기 제 1 오링 및 제 2 오링이 상기 하우징과 밀착된 상태에서, 상기 제 1 오링, 상기 제 2 오링, 상기 밸브 디스크 및 상기 하우징에 의해 형성되는 공간과 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 관 형상의 하우징 및 상기 하우징 내에 회전 가능하게 배치되는 밸브 디스크로 이루어지는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법에 있어서, (a) 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 형성되는 공간 형성 부재를 구비하는 단계; (b) 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간과 연결되도록, 상기 하우징에 누설 확인 포트를 구비하는 단계; (c) 상기 밸브 디스크를 회전시킴으로써 상기 버터플라이 밸브를 닫는 단계; (d) 상기 누설 확인 포트를 누설 검출기와 연결시키는 단계; (e) 상기 누설 검출기로 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간을 진공으로 만드는 단계; (f) 상기 공간 형성 부재에 시험 기체를 분사하는 단계; 및 (g) 상기 누설 검출기에서 시험 기체를 감지하는 단계;를 포함하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법을 제공한다.
여기서, 상기 (a) 단계에서, 상기 공간 형성 부재는 적어도 2개 이상의 오링(O-ring)을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 (a) 단계에서, 상기 공간 형성 부재는 제 1 오링 및 제 2 오링을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 (d) 단계에서, 관을 통해 상기 누설 확인 포트와 누설 검출기를 연결시킬 수 있다.
여기서, (h) 상기 누설 검출기를 누설 확인 포트와 분리시킨 후, 상기 누설 확인 포트를 마감 처리하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 누설 검출기는 헬륨 누설 검출기이며, (f) 단계에 있어서, 분사되는 시험 기체는 헬륨 기체이며, (g) 단계에 있어서, 헬륨 누설 검출기에서 헬륨 기체를 감지할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링을 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성할 수 있다.
여기서, 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 제 1 홈 및 제 2 홈을 형성하고, 상기 제 1 오링을 상기 제 1 홈에 삽입하고, 상기 제 2 오링을 상기 제 2 홈에 삽입할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈을 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성하고, 상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링을 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성할 수 있다.
여기서, 상기 누설 확인 포트는, 상기 제 1 오링 및 제 2 오링이 상기 하우징과 밀착된 상태에서, 상기 제 1 오링, 상기 제 2 오링, 상기 밸브 디스크 및 상기 하우징에 의해 형성되는 공간과 연결되도록 할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 버터플라이 밸브를 설비에 조립하기 전에 버터플라이 밸브의 누설 여부를 확인할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 닫힌 상태에서 버터플라이 밸브의 개략적인 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 열린 상태에서 버터플라이 밸브의 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ를 따라 취한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 버터플라이 밸브의 일부분을 확대하여 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 버터플라이 밸브의 일부분을 확대하여 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버터플라이 밸브의 일부분을 확대하여 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법의 순서도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 닫힌 상태에서 버터플라이 밸브(1)의 개략적인 정면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 열린 상태에서 버터플라이 밸브(1)의 개략적인 정면도이다. 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ를 따라 취한 개략적인 단면도이다.
도 1, 도 2 및 도 3에 도시된 버터플라이 밸브(1)는 버터플라이 밸브(1)를 설비에 조립하기 전에 버터플라이 밸브(1)의 누설 여부를 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 버터플라이 밸브(1)는 하우징(110), 밸브 디스크(120), 공간 형성 부재(130) 및 누설 확인 포트(140)를 구비할 수 있다.
밸브 디스크(120)는 하우징(110) 내에 회전 가능하게 배치될 수 있다. 공간 형성 부재(130)는 밸브 디스크(120)의 외주면에 둘레를 따라 형성될 수 있다. 누설 확인 포트(140)는 하우징(110)에 구비될 수 있다. 또한, 누설 확인 포트(140)는 공간 형성 부재(130)와 하우징(110) 사이의 공간(150)과 연결될 수 있다.
밸브 디스크(120)는 하우징(110) 내에서 회전하면서 버터플라이 밸브(1)를 개폐할 수 있다. 공간 형성 부재(130)는 버터플라이 밸브(1)가 닫힌 상태에서 공간 형성 부재(130)와 하우징(110) 사이에 공간(150)을 형성시킬 수 있다. 누설 확인 포트(140)는 공간 형성 부재(130)와 하우징(110) 사이에 공간(150)과 연결될 수 있다. 그리하여, 도 1, 도 2 및 도 3에 도시된 버터플라이 밸브(1)는 버터플라이 밸브(1)를 설비에 조립하기 전에 버터플라이 밸브(1)의 누설 여부를 확인할 수 있다.
하우징(110)은 관 형상을 가질 수 있다. 또한 하우징(110)은 금속 재질로 형성될 수 있다.
밸브 디스크(120)는 원판의 형상을 가질 수 있으며, 금속 재질로 형성될 수 있다. 밸브 디스크(120)는 하우징(110) 내에 회전 가능하게 배치될 수 있다.
다양한 방식으로 밸브 디스크(120)를 하우징(110) 내에서 회전시킬 수 있다. 일 예로서, 밸브 디스크(120)의 일면에 샤프트(미도시)가 결합될 수 있다. 샤프트는 구동부(미도시)와 연결될 수 있다. 따라서 구동부에 의해 샤프트가 회전할 수 있고, 샤프트가 회전함에 따라 샤프트에 결합된 밸브 디스크(120)가 회전할 수 있다.
도 1과 같이 밸브 디스크(120)의 면이 하우징(110)의 축과 수직을 이루는 경우에는 버터플라이 밸브(1)가 닫힌 상태가 된다. 반면에 도 2와 같이 밸브 디스크(120)의 면이 하우징(110)의 축과 수직을 이루지 않는 경우에는 버터플라이 밸브(1)가 열린 상태가 된다. 즉, 밸브 디스크(120)의 회전에 의해 버터플라이 밸브(1)가 진공 개폐될 수 있다.
공간 형성 부재(130)는 밸브 디스크(120)의 외주면에 둘레를 따라 형성될 수 있다.
공간 형성 부재(130)는 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(133)을 포함할 수 있다. 제 1 오링(131) 및 상기 제 2 오링(133)은 밸브 디스크(120)의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성될 수 있다. 또한 오링(131, 133)은 단면이 원형으로 되어 있는 링의 형태로서, 탄성재료로 형성될 수 있다. 오링(131, 133)은 밸브 디스크(120)와 하우징(110) 간의 간극을 막아줄 수 있다. 따라서, 버터플라이 밸브(1)가 닫힌 상태에서는, 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(132)이 하우징(110)과 밀착된 상태가 될 수 있다.
제 1 오링(131) 및 제 2 오링(133)이 밸브 디스크(120)의 외주면에 둘레를 따라 형성됨으로써, 버터플라이 밸브(1)가 닫힌 상태에서, 제 1 오링(131), 제 2 오링(132), 하우징(110) 및 밸브 디스크(120) 사이에 공간(150)이 형성될 수 있다.
누설 확인 포트(140)는 하우징(110)에 구비될 수 있다. 또한 누설 확인 포트(140)는, 버터플라이 밸브(1)가 닫힌 상태, 즉 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(132)이 하우징(110)과 밀착된 상태에서 제 1 오링(131), 제 2 오링(132), 하우징(110) 및 밸브 디스크(120)에 의해 형성되는 공간(150)과 연결될 수 있다. 결국, 누설 확인 포트(140)를 통해 버터플라이 밸브(1)가 닫힌 상태에서, 제 1 오링(131), 제 2 오링(132), 하우징(110) 및 밸브 디스크(120)에 의해 형성되는 공간(150)의 상태를 변경시키거나 확인할 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 버터플라이 밸브(1)의 일부분을 확대하여 개략적으로 도시한 단면도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도 4를 참조하면, 밸브 디스크(120)에는 제 1 홈(161) 및 제 2 홈(163)이 형성될 수 있다. 제 1 홈(161) 및 제 2 홈(163)은 밸브 디스크(120)의 외주면의 둘레를 따라 형성될 수 있다. 또한 제 1 홈(161) 및 제 2 홈(163)은 밸브 디스크(120)의 외주면의 둘레를 따라 서로 평행하게 형성될 수 있다.
제 1 오링(131)은 제 1 홈(161)에 삽입될 수 있고, 제 2 오링(133)은 제 2 홈(163)에 삽입될 수 있다. 따라서 제 1 홈(161) 및 제 2 홈(163)은 밸브 디스크(120)의 외주면의 둘레를 따라 서로 평행하게 형성되는 경우, 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(133) 또한 밸브 디스크(120)의 외주면의 둘레를 따라 서로 평행하게 형성될 수 있다.
누설 확인 포트(140)는, 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(132)이 하우징(110)과 밀착된 상태에서 제 1 오링(131), 제 2 오링(132), 하우징(110) 및 밸브 디스크(120)에 의해 형성되는 공간(150)과 연결될 수 있다.
덧붙여, 도 4에서 공간 형성 부재(130)가 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(132)을 포함하여, 공간 형성 부재(130)와 하우징(110) 사이에 공간(150)이 형성되는 것을 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 공간 형성 부재(130)가 다양한 형태 및 재질로 형성되어 공간 형성 부재(130)와 하우징(110) 사이에 공간이 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 버터플라이 밸브(2)의 일부분을 확대하여 개략적으로 도시한 단면도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
이하, 전술한 도 4의 실시예와의 차이점을 중심으로 본 실시예를 설명한다.
누설 확인 포트(140)는 누설 검출기(180)와 연결될 수 있다. 누설 확인 포트(140)와 누설 검출기(180)는 관(170)에 의해 연결될 수 있다. 관(170)은 주름잡힌 모양의 관(bellows)을 포함할 수 있다.
누설 검출기(180)는 누설 확인 포트(140)와 연결될 수 있고, 누설 확인 포트(140)는 제 1 오링(131) 및 제 2 오링(132)이 하우징(110)과 밀착된 상태, 즉 버터플라이 밸브(2)가 닫힌 상태에서 제 1 오링(131), 제 2 오링(132), 하우징(110) 및 밸브 디스크(120)에 의해 형성되는 공간(150)과 연결될 수 있다.
누설 검출기(180)가 상기 공간(150)과 연결될 수 있으므로, 누설 검출기(180)는 상기 공간(150)을 진공 상태로 만들 수 있다.
누설 검출기(180)로 상기 공간(150)을 진공 상태로 만든 후, 제 1 오링(131)을 향한 방향(D1) 또는 제 2 오링(133)을 향한 방향(D2)으로 시험 기체(프로브 가스)를 분사할 수 있다.
제 1 오링(131)을 향한 방향(D1) 또는 제 2 오링(133)을 향한 방향(D2)으로 시험 기체(프로브 가스)가 분사된 후, 누설 검출기(180)로 시험 기체(프로브 가스)를 감지할 수 있다. 만약 누설 검출기(180)에 시험 기체(프로브 가스)가 감지된다면, 이것은 상기 공간(150)에 시험 기체(프로브 가스)가 존재한다는 것을 의미한다. 결국 누설 검출기(180)에 시험 기체(프로브 가스)가 감지된다면, 이것은 제 1 오링(131)을 향한 방향(D1) 또는 제 2 오링(133)을 향한 방향(D2)으로 분사된 시험 기체(프로브 가스)가 상기 공간(150)으로 유입된다는 것을 의미하므로, 버터플라이 밸브(2)에 누설이 발생할 수 있다는 것을 의미한다. 반면에, 누설 검출기(180)에 시험 기체(프로브 가스)가 감지되지 않는다면, 버터플라이 밸브(2)에 누설이 발생하지 않는다는 것을 의미한다. 결국 누설 검출기(180)에서의 시험 기체(프로브 가스)의 감지 여부를 통해 자체적으로 버터플라이 밸브(2)의 누설 여부를 점검할 수 있게 되므로, 버터플라이 밸브(2)를 설비에 조립하기 전에 버터플라이 밸브(2)의 누설 여부를 확인할 수 있다. 이를 통해 진공 설비의 유지 및 보수가 효율적으로 이루어질 수 있다.
누설 검출기(180)는 헬륨 누설 검출기(helium leak detector)를 포함할 수 있다. 이 경우에, 시험 기체(프로브 가스)로서 헬륨 가스가 사용된다. 이 경우에, 헬륨 누설 검출기에서 헬륨 가스의 감지 여부를 통해 자체적으로 버터플라이 밸브(2)의 누설 여부를 점검할 수 있게 된다.
도 6는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버터플라이 밸브(3)의 일부분을 확대하여 개략적으로 도시한 단면도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
이하, 전술한 도 4의 실시예와의 차이점을 중심으로 본 실시예를 설명한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버터플라이 밸브(3)는 밀봉 부재(190)을 더 포함할 수 있다.
밀봉 부재(190)는 누설 확인 포트(140)에 결합하여, 누설 확인 포트(140)를 마감 처리할 수 있다. 결국 누설 확인 포트(140)가 밀봉 부재(190)에 의해 마감 처리됨에 따라, 누설 확인 포트(140)는 하우징(110)의 외부로부터 차단된다. 밀봉 부재(190)는 볼트(bolt)를 포함할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법의 순서도이다.
도 7을 참조하면, 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 형성되는 공간 형성 부재를 구비하는 단계(S10), 공간 형성 부재와 하우징 사이의 공간과 연결되도록, 하우징에 누설 확인 포트를 구비하는 단계(S20), 밸브 디스크를 회전시킴으로써 버터플라이 밸브를 닫는 단계(S30), 누설 확인 포트를 누설 검출기와 연결시키는 단계(S40), 누설 검출기로 공간 형성 부재와 하우징 사이의 공간을 진공으로 만드는 단계(S50), 공간 형성 부재에 시험 기체를 분사하는 단계(S60), 누설 검출기에서 시험 기체를 감지하는 단계(S70) 및 누설 검출기를 누설 확인 포트와 분리시킨 후, 누설 확인 포트를 마감 처리하는 단계(S80)를 포함하여 버터플라이 밸브의 누설을 확인할 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 누설 검출기에서 시험 기체를 감지하는 단계(S70)에서 시험 기체의 감지 여부에 따라 자체적으로 버터플라이 밸브의 누설 여부를 점검할 수 있게 되므로, 버터플라이 밸브를 설비에 조립하기 전에 버터플라이 밸브의 누설 여부를 확인할 수 있다. 이를 통해 진공 설비의 유지 및 보수가 효율적으로 이루어질 수 있다.
상기 도면들에 도시된 구성요소들은 설명의 편의상 확대 또는 축소되어 표시될 수 있으므로, 도면에 도시된 구성요소들의 크기나 형상에 본 발명이 구속되는 것은 아니며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
110: 하우징 120: 밸브 디스크
130: 공간 형성 부재 140: 누설 확인 포트
131: 제 1 오링 133: 제 2 오링
170: 관 180: 누설 검출기
190: 밀봉 부재

Claims (20)

  1. 관 형상의 하우징;
    상기 하우징 내에 회전 가능하게 배치되는 밸브 디스크;
    상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 형성되는 공간 형성 부재; 및
    상기 하우징에 구비되며, 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간과 연결되는 누설 확인 포트;를 포함하는 버터플라이 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공간 형성 부재는 적어도 2개 이상의 오링(O-ring)을 포함하는 버터플라이 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 공간 형성 부재는 제 1 오링 및 제 2 오링을 포함하는 버터플라이 밸브.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 누설 확인 포트에 결합하여 상기 누설 확인 포트를 마감 처리하는 밀봉 부재를 더 포함하는 버터플라이 밸브.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 누설 확인 포트와 연결되는 누설 검출기를 더 포함하는 버터플라이 밸브.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 누설 검출기는 헬륨 누설 검출기를 포함하는 버터플라이 밸브.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링은 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성되는 버터플라이 밸브.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 제 1 홈 및 제 2 홈이 형성되고,
    상기 제 1 오링은 상기 제 1 홈에 삽입되고,
    상기 제 2 오링은 상기 제 2 홈에 삽입되는 버터플라이 밸브.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈은 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성되고,
    상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링은 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성되는 버터플라이 밸브.
  10. 제 9 항에 있어서
    상기 누설 확인 포트는,
    상기 제 1 오링 및 제 2 오링이 상기 하우징과 밀착된 상태에서, 상기 제 1 오링, 상기 제 2 오링, 상기 밸브 디스크 및 상기 하우징에 의해 형성되는 공간과 연결되는 버터플라이 밸브.
  11. 관 형상의 하우징 및 상기 하우징 내에 회전 가능하게 배치되는 밸브 디스크로 이루어지는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법에 있어서,
    (a) 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 형성되는 공간 형성 부재를 구비하는 단계;
    (b) 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간과 연결되도록, 상기 하우징에 누설 확인 포트를 구비하는 단계;
    (c) 상기 밸브 디스크를 회전시킴으로써 상기 버터플라이 밸브를 닫는 단계;
    (d) 상기 누설 확인 포트를 누설 검출기와 연결시키는 단계;
    (e) 상기 누설 검출기로 상기 공간 형성 부재와 상기 하우징 사이의 공간을 진공으로 만드는 단계;
    (f) 상기 공간 형성 부재에 시험 기체를 분사하는 단계; 및
    (g) 상기 누설 검출기에서 시험 기체를 감지하는 단계;를 포함하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서,
    상기 공간 형성 부재는 적어도 2개 이상의 오링(O-ring)을 포함하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서,
    상기 공간 형성 부재는 제 1 오링 및 제 2 오링을 포함하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 (d) 단계에서,
    관을 통해 상기 누설 확인 포트와 누설 검출기를 연결시키는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    (h) 상기 누설 검출기를 누설 확인 포트와 분리시킨 후, 상기 누설 확인 포트를 마감 처리하는 단계;를 더 포함하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 누설 검출기는 헬륨 누설 검출기이며,
    (f) 단계에 있어서, 분사되는 시험 기체는 헬륨 기체이며,
    (g) 단계에 있어서, 헬륨 누설 검출기에서 헬륨 기체를 감지하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링을 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  18. 제 13 항에 있어서,
    상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 제 1 홈 및 제 2 홈을 형성하고,
    상기 제 1 오링을 상기 제 1 홈에 삽입하고,
    상기 제 2 오링을 상기 제 2 홈에 삽입하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈을 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성하고,
    상기 제 1 오링 및 상기 제 2 오링을 상기 밸브 디스크의 외주면에 둘레를 따라 서로 평행하게 형성하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 누설 확인 포트는,
    상기 제 1 오링 및 제 2 오링이 상기 하우징과 밀착된 상태에서, 상기 제 1 오링, 상기 제 2 오링, 상기 밸브 디스크 및 상기 하우징에 의해 형성되는 공간과 연결되도록 하는 버터플라이 밸브의 누설 확인 방법.
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