CN103851208A - 蝶阀和检查蝶阀中泄漏的方法 - Google Patents

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Abstract

公开一种蝶阀和一种检查蝶阀中的泄漏的方法。在一方面，蝶阀包括：管形壳体；能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘；沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；和泄漏检查端口，提供在所述管形壳体中并且被构造为连接到所述空间形成构件和所述壳体之间的空间。

Description

蝶阀和检查蝶阀中泄漏的方法
相关专利申请的交叉引用
本申请要求于2012年12月5日递交到韩国知识产权局的韩国专利申请第10-2012-0140514号的权益，其公开内容通过引用全部合并于此。
技术领域
描述的技术大体上涉及蝶阀。
背景技术
通常，半导体、液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）显示器等的制造工艺是通过重复执行诸如生长、蚀刻、扩散、化学蒸发沉积和金属沉积等各种子工艺而实现的。每个子工艺根据设计需要半导体专用环境条件，并且它们中的很多在真空中执行。
发明内容
一个创造性方面是用于单独检查泄漏的一种蝶阀。
另一方面是一种蝶阀，包括：管形壳体；能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘；沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；和泄漏检查端口，提供在所述管形壳体中并且通向所述空间形成构件和所述管形壳体之间的空间。
所述空间形成构件可包括两个或多个O形环。所述空间形成构件可包括第一O形环和第二O形环。所述蝶阀可进一步包括通过与所述泄漏检查端口联接而封闭所述泄漏检查端口的密封构件。
所述蝶阀可进一步包括连接到所述泄漏检查端口的泄漏检测器。所述泄漏检测器可包括氦泄漏检测器。所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行。
第一槽和第二槽可沿所述阀盘的外周界形成，所述第一O形环可被插入到所述第一槽中，并且所述第二O形环可被插入到所述第二槽中。所述第一槽和所述第二槽可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行，并且所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行。
在所述第一O形环和所述第二O形环与所述管形壳体紧密接触的状态下，所述泄漏检查端口可通向由所述第一O形环、所述第二O形环、所述阀盘和所述管形壳体形成的空间。
另一方面为一种用于检查蝶阀中的泄漏的方法，所述蝶阀包括管形壳体和能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘，所述方法包括：提供沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；在所述管形壳体中提供泄漏检查端口使得所述泄漏检查端口通向所述空间形成构件和所述管形壳体之间的空间；通过旋转所述阀盘关闭所述蝶阀；将所述泄漏检查端口的一端连接到所述泄漏检测器；使用所述泄漏检测器在所述空间形成构件与所述管形壳体之间的空间内建立真空；向所述空间形成构件喷射测试气体；和通过使用所述泄漏检测器检测所述测试气体。
所述空间形成构件可包括两个或多个O形环。所述空间形成构件可包括第一O形环和第二O形环。所述泄漏检查端口的所述一端可通过管道被连接到所述泄漏检测器。所述方法可进一步包括在将所述泄漏检测器从所述泄漏检查端口分离之后封闭所述泄漏检查端口。
所述泄漏检测器可为氦泄漏检测器，喷射的所述测试气体为氦气，并且所述氦气被所述氦泄漏检测器检测。所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行。第一槽和第二槽可沿所述阀盘的外周界形成，所述第一O形环可被插入到所述第一槽中，并且所述第二O形环可被插入到所述第二槽中。
所述第一槽和所述第二槽可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行，并且所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行。在所述第一O形环和所述第二O形环与所述管形壳体紧密接触的状态下，所述泄漏检查端口可通向由所述第一O形环、所述第二O形环、所述阀盘和所述管形壳体形成的空间。
附图说明
图1为示意性例示出根据示例性实施例的处于关闭状态的蝶阀的主视图。
图2为示意性例示出根据示例性实施例的处于打开状态的蝶阀的主视图。
图3为示意性例示出沿图1中的III-III截取的截面的剖视图。
图4为示意性例示出图3中例示的蝶阀的一部分的放大的剖视图。
图5为示意性例示出根据另一示例性实施例的蝶阀的一部分的放大的剖视图。
图6为示意性例示出根据又一示例性实施例的蝶阀的一部分的放大的剖视图。
图7为例示出根据示例性实施例的检查蝶阀中的泄漏的方法的流程图。
具体实施方式
通常，真空管线被连接到工艺室，并且制造工艺在工艺室中被执行，同时工艺室处于真空状态下。工艺室被连接到外部排放泵。进一步，连接到泵的用于保持真空状态并且去除颗粒的蝶阀安装在每个室中，从而打开/关闭在真空状态下的工艺室的密封件。
这种蝶阀主要通过电操作，并且蝶阀包括用于进行压力调节的调整操作的阀盘和用于旋转阀盘的致动器。进一步，当在工艺室中执行工艺时，蝶阀通常在工艺室和泵之间操作。
进一步，蝶阀位于泵浦管线和工艺室之间，以便执行完全隔离功能，因此使工艺能够在工艺室中执行。也就是，在蝶阀自身中应该没有泄漏。然而，只有在蝶阀已经被组装在设备中之后所有条件都满足时才可检查蝶阀的泄漏。
公开的实施例可以以各种方式被修改。本发明不限于公开的实施例，而是覆盖所有对公开的实施例的修改、等同及替换。
诸如“第一”和“第二”的用语可被用于描述各种部件，但部件不应被这样的用语限制。用语仅用于区分一个部件和其它部件。
用在本申请文件中的用语仅用于解释某些实施例，但不被用于限制本发明的权利范围。单数的表现方式包括多数的表述方式，除非清楚陈述或以其他方式隐含之外。在本申请文件中，诸如“包括”和“具有”的用语被用于表示本发明中公开的特性、数字、步骤、操作、部件、部分或其组合存在，但这些用语不排除存在或附加有一个或多个其它特性、数字、步骤、操作、部件、部分或其组合的可能性。
下文中，将参照附图详细描述实施例。
图1为示意性例示出根据示例性实施例的处于关闭状态的蝶阀的主视图。图2为示意性例示出根据示例性实施例的处于打开状态的蝶阀的主视图。图3为示意性例示出沿图1中的III-III截取的截面的剖视图。
图1、图2和图3中例示的蝶阀1可在将蝶阀1组装成一件设备之前进行泄漏检查。
蝶阀1可包括壳体110、阀盘120、空间形成构件130和泄漏检查端口140。
阀盘120可被可旋转地设置在壳体110中。空间形成构件130可沿阀盘120的外周界形成。泄漏检查端口140可提供在壳体110中。进一步，泄漏检查端口140可通向（或可连接到）空间形成构件130和壳体110之间的空间。泄漏检查端口140可与空间形成构件130和壳体110之间的空间流体（例如，气体）连通。
阀盘120在壳体110内旋转的同时可打开或关闭蝶阀1。当蝶阀1处于关闭状态时，空间形成构件130可在空间形成构件130与壳体110之间形成空间150。泄漏检查端口140可通向空间形成构件130与壳体110之间的空间。这样，图1、图2和图3中例示的蝶阀1可在将蝶阀1组装在设备中之前检查泄漏。
壳体110可为管形。进一步，壳体可由金属材料形成。阀盘120可为圆形板形状，并且可由金属材料形成。
阀盘120在壳体110内可以以各种方式旋转。例如，轴（未示出）可与阀盘120的一侧联接。轴可连接到驱动单元（未示出）。因此，轴可通过驱动单元旋转，并且当轴旋转时，与轴联接的阀盘120可旋转。
如图1中所示，当阀盘120的表面基本垂直于壳体110的竖直轴线时，蝶阀1关闭。相反，如图2中所示，当阀盘120的表面基本上不垂直于壳体110的竖直轴线时，蝶阀打开。也就是，蝶阀1可通过阀盘120的旋转打开/关闭真空密封件。
空间形成构件130可沿阀盘120的外周界形成。空间形成构件130可包括第一O形环131和第二O形环133。在一种实施方式中，空间形成构件可包括多个O形环。
第一O形环131和第二O形环133可沿阀盘120的外周界形成为彼此基本平行。进一步，O形环131和133的截面基本为圆形和环形并且可由弹性材料形成。O形环131和133可填充阀盘120与壳体110之间的间隙。因此，当蝶阀1处于关闭状态时，第一O形环131和第二O形环133可与壳体110紧密接触。
由于第一O形环131和第二O形环133沿阀盘120的外周界形成，则当蝶阀1处于关闭状态时，空间150可形成在第一O形环131、第二O形环133、壳体110和阀盘120之间。
泄漏检查端口140可提供在壳体110中。进一步，当蝶阀1处于关闭状态时，泄漏检查端口140可通向由第一O形环131、第二O形环133、壳体110和阀盘120形成的空间150，也就是，两个O形环131和133紧密接触壳体110。因此，当蝶阀1处于关闭状态时，由第一O形环131、第二O形环133、壳体110和阀盘120形成的空间150的状态可通过泄漏检查端口140被改变或检查。
图4为示意性例示出图3中例示的蝶阀1的一部分的放大的剖视图。这里，附图中相同的附图标记指代执行相同功能的相同元件。
参照图4，第一槽161和第二槽163可形成在阀盘120中。第一槽161和第二槽163可沿阀盘120的外周界形成。进一步，第一槽161和第二槽163可沿阀盘120的外周界形成为彼此基本平行。
第一O形环131可插入第一槽161中，并且第二O形环133可插入第二槽163中。因此，当两个槽161和163沿阀盘120的外周界形成为彼此基本平行时，第一O形环131和第二O形环133也可沿阀盘120的外周界形成为彼此基本平行。
泄漏检查端口140可通向由第一O形环131、第二O形环133、壳体110和阀盘120形成的空间150。
进一步，如在图4中所解释的，空间形成构件130包括第一O形环131和第二O形环133，并且空间150形成在空间形成构件130与壳体110之间，但本发明不限于该示例。空间形成构件130可形成为各种形状并且由各种材料形成，并且空间可形成在空间形成构件130与壳体110之间。
图5为示意性例示出根据另一示例性实施例的蝶阀2的一部分的放大的剖视图。这里，附图中相同的附图标记指代执行相同功能的相同元件。下文中，将描述本实施例，集中在本实施例与图4的实施例之间的不同之处上。
泄漏检查端口140可连接到泄漏检测器180。泄漏检查端口140和泄漏检测器180可通过管道170被连接。管道170可包括波纹管。
泄漏检测器180可连接到泄漏检查端口140，并且当蝶阀1处于关闭状态时，泄漏检查端口140可连接到由第一O形环131、第二O形环133、壳体110和阀盘120形成的空间150，也就是，O形环131和133与壳体110紧密接触。
泄漏检测器180可连接到空间150，并且因此泄漏检测器180可在空间150中建立真空。在泄漏检测器180在空间150中建立真空之后，测试气体（探测气体）可沿方向D1向第一O形环131喷射或者沿方向D2向第二O形环喷射133喷射。
在测试气体（探测气体）沿方向D1向第一O形环131喷射或者沿方向D2向第二O形环喷射133之后，泄漏检测器180可检测测试气体（探测气体）。如果泄漏检测器180检测到测试气体（探测气体），这意味着在空间150中存在测试气体（探测气体）。因此，如果泄漏检测器180检测到测试气体（探测气体），这意味着已经沿方向D1向第一O形环131喷射或者沿方向D2向第二O形环喷射133的测试气体（探测气体）流入空间150中。因此，这意味着在蝶阀2中发生泄漏。相反，如果泄漏检测器180中没有检测到测试气体（探测气体），这意味着在蝶阀2中没有发生泄漏。因此，基于泄漏检测器180中是否检测到测试气体（探测气体）可检查蝶阀中的泄漏，并且因此在将蝶阀2组装在设备中之前可检查蝶阀2中的泄漏。这样，真空设备可被有效地保持和维修。
泄漏检测器180可包括氦泄漏检测器。在此情况下，氦气被用作测试气体（探测气体）。在此情况下，通过检查氦气是否已经被氦泄漏检测器检查到，可对蝶阀2独立检查泄漏。
图6为示意性例示出根据又一示例性实施例的蝶阀3的一部分的放大的剖视图。这里，附图中相同的附图标记指代执行相同功能的相同元件。下文中，将描述本实施例，集中在本实施例与图4的实施例之间的不同之处上。
蝶阀3可进一步包括密封构件190。密封构件190可与泄漏检查端口140联接从而封闭泄漏检查端口140。结果是，由于泄漏检查端口140被密封构件190密封，泄漏检查端口140与壳体110外部隔离。密封构件190可包括螺栓。
图7为例示出根据示例性实施例的检查蝶阀中的泄漏的方法的流程图。参照图7，蝶阀中的泄漏可通过以下步骤被检查：提供沿阀盘的外周界形成的空间形成构件的步骤（S10）；在壳体中提供泄漏检查端口使得泄漏检查端口可通向空间形成构件和壳体之间的空间的步骤（S20）；通过旋转阀盘关闭蝶阀的步骤（S30）；将泄漏检查端口连接到泄漏检测器的步骤（S40）；使用泄漏检测器在空间形成构件与壳体之间的空间内建立基本真空状态的步骤（S50）；向空间形成构件喷射测试气体的步骤（S60）；通过使用泄漏检测器检测测试气体的步骤（S70），和在将泄漏检测器与泄漏检查端口分离之后封闭泄漏检查端口的步骤（S80）。在一个实施例中，“基本真空状态”包括真空状态、类似于或非常接近真空状态的状态或者类似或近似于真空的状态。
如上所述，根据在通过使用泄漏检测器检测测试气体的步骤（S70）中是否已经检测到测试气体，蝶阀可被单独进行泄漏检查，并且因此在蝶阀组装在设备中之前可对蝶阀进行泄漏检查。这样，真空设备可被有效地保养和维修。
根据至少一个公开的实施例，即使在蝶阀被组装在设备中之前，也可对蝶阀进行泄漏检测。
尽管已经参照附图描述了上述实施例，本领域普通技术人员将理解，在不脱离由下面的权利要求限定的本发明的精神和范围的情况下可对其中形式和细节进行各种改变。

Claims (20)

1.一种蝶阀，包括：
管形壳体；
能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘；
沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；和
泄漏检查端口，形成在所述管形壳体中并且被构造为连接到所述空间形成构件和所述管形壳体之间的空间。
2.如权利要求1所述的蝶阀，其中所述空间形成构件包括多个O形环。
3.如权利要求1所述的蝶阀，其中所述空间形成构件包括第一O形环和第二O形环。
4.如权利要求3所述的蝶阀，其中所述第一O形环和所述第二O形环沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行。
5.如权利要求3所述的蝶阀，其中第一槽和第二槽沿所述阀盘的外周界形成，其中所述第一O形环被插入到所述第一槽中，并且其中所述第二O形环被插入到所述第二槽中。
6.如权利要求5所述的蝶阀，其中所述第一槽和所述第二槽沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行，并且其中所述第一O形环和所述第二O形环沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行。
7.如权利要求6所述的蝶阀，其中所述泄漏检查端口被构造为，在所述第一O形环和所述第二O形环与所述管形壳体紧密接触的状态下，所述泄漏检查端口连接到由所述第一O形环、所述第二O形环、所述阀盘和所述管形壳体形成的空间。
8.如权利要求1所述的蝶阀，进一步包括：
被构造为通过与所述泄漏检查端口联接而封闭所述泄漏检查端口的密封构件。
9.如权利要求1所述的蝶阀，进一步包括：
连接到所述泄漏检查端口的泄漏检测器。
10.如权利要求9所述的蝶阀，其中所述泄漏检测器包括氦泄漏检测器。
11.一种检查蝶阀中的泄漏的方法，所述蝶阀包括管形壳体和能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘，所述方法包括：
提供沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；
在所述管形壳体中提供泄漏检查端口使得所述泄漏检查端口连接到所述空间形成构件和所述管形壳体之间的空间；
通过旋转所述阀盘关闭所述蝶阀；
将所述泄漏检查端口的一端连接到所述泄漏检测器；
通过使用所述泄漏检测器在所述空间形成构件与所述管形壳体之间的空间内建立真空状态；
向所述空间形成构件喷射测试气体；和
通过使用所述泄漏检测器检测所述测试气体。
12.如权利要求11所述的方法，其中所述空间形成构件包括多个O形环。
13.如权利要求11所述的方法，其中所述空间形成构件包括第一O形环和第二O形环。
14.如权利要求13所述的方法，其中所述第一O形环和所述第二O形环沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行。
15.如权利要求13所述的方法，其中第一槽和第二槽沿所述阀盘的外周界形成，其中所述第一O形环被插入到所述第一槽中，并且其中所述第二O形环被插入到所述第二槽中。
16.如权利要求15所述的方法，其中所述第一槽和所述第二槽沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行，并且其中所述第一O形环和所述第二O形环沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行。
17.如权利要求16所述的方法，其中在所述第一O形环和所述第二O形环与所述管形壳体紧密接触的状态下，所述泄漏检查端口被连接到由所述第一O形环、所述第二O形环、所述阀盘和所述管形壳体形成的空间。
18.如权利要求11所述的方法，其中所述泄漏检查端口的所述一端通过管道被连接到所述泄漏检测器。
19.如权利要求11所述的方法，进一步包括：
在将所述泄漏检测器从所述泄漏检查端口的所述一端分离之后封闭所述泄漏检查端口。
20.如权利要求11所述的方法，其中所述泄漏检测器为氦泄漏检测器，其中喷射的所述测试气体为氦气，并且其中所述氦气被所述氦泄漏检测器检测。
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