TW201422952A - 蝶形閥及檢查其洩漏之方法 - Google Patents

Abstract

揭露一種蝶形閥。在一態樣中，蝶形閥包括管狀殼體、可旋轉地安置於管狀殼體內部的閥盤、沿著閥盤外圍形成的空間形成構件、以及提供於殼體內且配置以連接於空間形成構件與殼體之間的空間的洩漏檢測口。

Description

蝶形閥及檢查其洩漏之方法

相關申請案之交互參照

本申請書主張於2012年12月5日向韓國智慧財產局提出之韓國專利申請號10-2012-0140514之效益，其全部內容於此併入作為參考。

所述技術一般關於一種蝶形閥及一種檢測蝶形閥洩漏之方法。

一般來說，半導體、液晶顯示器(LCD)、有機發光二極體(OLED)顯示器等之製造過程是藉由重複地實施各種子製程而達成，例如顯影(developing)、蝕刻、擴散、化學氣相沈積、及金屬沈積。每一個子製程根據設計需要半導體特定的環境條件，且許多子製程是在真空狀態中實施。

一般來說，真空線路連接到製程腔室內，且在製程腔室處於真空狀態下時於製程腔室內實施製造過程。製程腔室連接到外部的排氣幫浦。除此之外，連接至用於維持真空狀態及移除微粒的幫浦之蝶形閥安裝於各腔室中，以開/關真空狀態之製程腔室的封口。

這樣的蝶形閥主要是以電力操作，而此蝶形閥包括用於壓力調整之管制操作的閥盤及旋轉閥盤的啟動器。除此之外，在製程腔室內實施製程時，此蝶形閥通常操作於製程腔室與幫浦之間。

除此之外，此蝶形閥位於幫浦管路與製程腔室之間以實施完整的隔離功能，並使製程於製程腔室內實施。亦即，蝶形閥本身不應有洩漏。然而唯有在蝶形閥組裝於設備後在所有條件完備下，蝶形閥才可能檢測得出洩漏。

一發明態樣是一種獨立檢測洩漏之蝶形閥。

另一態樣是一種蝶形閥，其包括：管狀殼體；可旋轉地安置於管狀殼體內之閥盤；沿著閥盤外圍形成的空間形成構件；及提供於管狀殼體內且通向介於空間形成構件與管狀殼體之間的空間的洩漏檢測口。

空間形成構件可包括二或多個O形環。空間形成構件可包括第一O形環與第二O形環。蝶形閥可藉由與洩漏檢測口耦合而進一步包括密封構件以密封洩漏檢測口。

蝶形閥可進一步包括連接至洩漏檢測口的洩漏檢測器。洩漏檢測器可包括氦氣洩漏檢測器。第一O形環與第二O形環可沿著閥盤外圍彼此平行地形成。

第一溝槽和第二溝槽可沿著閥盤外圍形成，第一O形環可嵌入第一溝槽，且第二O形環可嵌入第二溝槽。第一溝槽與第二溝槽可沿著閥盤外圍彼此平行地形成，且第一O形環與第二O形環可沿著閥盤外圍彼此平行地形成。

洩漏檢測口可在第一O形環和第二O形環與管狀殼體緊密接觸之狀態下通向藉由第一O形環、第二O形環、閥盤與管狀殼體所構成的空間。

另一態樣是一種對包含管狀殼體和可旋轉地安置於管狀殼體內之閥盤的蝶形閥檢測洩漏之方法，此方法包括：提供沿著閥盤外圍所形成的空間形成構件；提供洩漏檢測口在管狀殼體內以使得洩漏檢測口通向介於空間形成構件和管狀殼體之間的空間；藉由旋轉閥盤而關閉蝶形閥；連接洩漏檢測口的一端至洩漏檢測器；使用洩漏檢測器在空間形成構件和管狀殼體之間的空間內創造出真空；對著空間形成構件噴灑測試氣體；以及使用洩漏檢測器以檢測測試氣體。

空間形成構件可包含二或多個O形環。空間形成構件可包括第一O形環和第二O形環。洩漏檢測口的一端可經由管路連接到洩漏檢測器。此方法可進一步包括在洩漏檢測器從洩漏檢測口的一端分離以後密封洩漏檢測口。

洩漏檢測器可為氦氣洩漏檢測器，噴灑之測試氣體為氦氣，且藉由氦氣洩漏檢測器偵測氦氣。第一O形環和第二O形環可沿著閥盤外圍彼此平行地形成。第一溝槽和第二溝槽可沿著閥盤外圍形成，第一O形環可嵌入第一溝槽，且第二O形環可嵌入第二溝槽。

第一溝槽和第二溝槽可沿著閥盤外圍彼此平行地形成，且第一O形環和第二O形環可沿著閥盤外圍彼此平行地形成。洩漏檢測口可在第一O形環和第二O形環與管狀殼體緊密結合之狀態下通向藉由第一O形環、第二O形環、閥盤與管狀殼體所構成的空間。

1、2、3．．．蝶形閥

110．．．殼體

120．．．閥盤

130．．．空間形成構件

131．．．第一O形環

133．．．第二O形環

140．．．洩漏檢測口

150．．．空間

161．．．第一溝槽

163．．．第二溝槽

170．．．管路

180．．．洩漏檢測器

190．．．密封構件

D1、D2．．．方向

S10、S20、S30、S40、S50、S60、S70、S80．．．步驟

第1圖為根據一例示性實施例概略描述關閉狀態的蝶形閥之前視圖。
第2圖為根據一例示性實施例概略描述開啟狀態的蝶形閥之前視圖。
第3圖為概略描述沿著第1圖Ⅲ-Ⅲ所截取的截面之截面圖。
第4圖為概略描述第3圖所示之蝶形閥之一部份的放大截面圖。
第5圖為根據另一例示性實施例概略描述蝶形閥的一部分之放大截面圖。
第6圖為根據又另一例示性實施例概略描述蝶形閥的一部分之放大截面圖。
第7圖為根據一例示性實施例描述檢測蝶形閥洩漏之方法的流程圖。

所揭露的實施例可以許多方式修改。本發明並不侷限於所揭露的實施例，相反地，其涵蓋所揭露的實施例之所有修改、等效物、和替代物。

用語像是「第一」和「第二」可以用來描述各種元件，但元件不應受此類用語所限制。用語僅用於自另一元件區分一元件。

使用在本說明書之用語僅用於解釋某些實施例，且不用於限制本發明權利之範疇。除非清楚地另行描述或指示，單數的表述包括複數的表述。在本說明書中，用語像是「包括(include)」和「具有(have)」是用於指出本發明所揭露之特徵、數字、步驟、操作、元件、部分或其組合之存在，但這些用語並不排除一或多個其他的特徵、數字、步驟、操作、元件、部分、與其組合存在或增加之可能性。

以下將參照附圖詳細描述實施例。

第1圖為根據一例示性實施例概略描述關閉狀態的蝶形閥之前視圖。第2圖為根據一例示性實施例概略描述開啟狀態的蝶形閥之前視圖。第3圖為概略描述沿著第1圖之Ⅲ-Ⅲ所截取的截面之截面圖。

描述在第1圖、第2圖、和第3圖中的蝶形閥1可在蝶形閥1組裝入一部分設備之前檢測洩漏。

蝶形閥1可包含殼體110、閥盤120、空間形成構件130和洩漏檢測口140。

閥盤120可旋轉地安置於殼體110內部。空間形成構件130可沿著閥盤120外圍形成。洩漏檢測口140可提供於殼體110中。除此之外，洩漏檢測口140可通向(或可連接至)位於空間形成構件130和殼體110之間的空間。洩漏檢測口140可流體(例如氣體)連通位於空間形成構件130和殼體110之間的空間。

當在殼體110內部轉動時，閥盤120可開啟或關閉蝶形閥1。當蝶形閥1處於關閉狀態時，空間形成構件130可形成位於空間形成構件130和殼體110之間的空間150。洩漏檢測口140可通向位於空間形成構件130和殼體110之間的空間。因此，描述於第1圖、第2圖、和第3圖的蝶形閥1可在蝶形閥1組裝入設備之前檢測其洩漏。

殼體110可以是管狀。除此之外，殼體可由金屬材料所組成。閥盤120可具備圓盤形狀，也可由金屬材料所組成。

閥盤120可用許多方式在殼體110內轉動。例如，轉軸(未顯示)可耦合至閥盤120的其中一邊。轉軸可連接到驅動單位(未顯示)。因此，轉軸可以藉由驅動單位旋轉，而當轉軸旋轉時，與轉軸耦合的閥盤120可轉動。

如同第1圖所示，當閥盤120的表面實質上垂直於殼體110的垂直軸時，蝶形閥1是關閉的。反之，如第2圖所示，當閥盤120的表面並非實質上垂直於殼體110的垂直軸時，蝶形閥1是開啟的。也就是說，蝶形閥1可藉由閥盤120的旋轉而開/關真空封口。

空間形成構件130可沿著閥盤120外圍形成。空間形成構件130可包括第一O形環131和第二O形環133。

第一O形環131和第二O形環133可沿著閥盤120外圍實質上彼此平行地形成。除此之外，第一O形環131和第二O形環133的截面實質上為圓形和環形，且可由彈性材料所組成。第一O形環131和第二O形環133可填充位於閥盤120和殼體110之間的間隙。因此，當蝶形閥1處於關閉狀態時，第一O形環131和第二O形環133可與殼體110緊密接觸。

若第一O形環131和第二O形環133沿著閥盤120外圍形成，則當蝶形閥1處於關閉狀態時，第一O形環131、第二O形環133、殼體110與閥盤120之間可構成空間150。

洩漏檢測口140可提供於殼體110內。除此之外，當蝶形閥1處於關閉狀態時，洩漏檢測口140可通向由第一O形環131、第二O形環133、殼體110及閥盤120所構成的空間150，亦即，第一O形環131和第二O形環133與殼體110緊密接觸。因此，當蝶形閥1處於關閉狀態時，由第一O形環131、第二O形環133、殼體110與閥盤120所構成的空間150的狀態可經由洩漏檢測口140改變或檢測。

第4圖為概略描述第3圖所示之蝶形閥1的一部分之放大截面圖。此處，相同的參考符號代表圖中實施相同功能的相同元件。

參考第4圖，第一溝槽161和第二溝槽163可形成於閥盤120內。第一溝槽161和第二溝槽163可沿著閥盤120外圍形成。除此之外，第一溝槽161和第二溝槽163可沿著閥盤120外圍實質上彼此平行地形成。

第一O形環131可嵌入第一溝槽161，且第二O形環133可嵌入第二溝槽163。因此，當第一溝槽161和第二溝槽163沿著閥盤120外圍實質上彼此平行地形成時，第一O形環131和第二O形環133亦可沿著閥盤120外圍實質上彼此平行地形成。

如以上所述，洩漏檢測口140可通向由第一O形環131、第二O形環133、殼體110及閥盤120所構成的空間150。

除此之外，第4圖闡釋空間形成構件130包含第一O形環131與第二O形環133，且空間150形成於空間形成構件130和殼體110之間，但本發明並不侷限於本範例。空間形成構件130可依多種形狀而由多種材料所組成，而空間可形成於空間形成構件130和殼體110之間。

第5圖為根據另一例示性實施例概略描述蝶形閥2之一部分的放大截面圖。在此，相同的參考符號代表圖中實施相同功能的相同元件。以下，將著重在本實施例與第4圖之實施例之間的差異來描述本實施例。

洩漏檢測口140可連接至洩漏檢測器180。洩漏檢測口140和洩漏檢測器180可藉由管路170連接。管路170可包含風箱(bellows)。

洩漏檢測器180可連接到洩漏檢測口140，而當蝶形閥1處於關閉狀態時，洩漏檢測口140可連接至由第一O形環131、第二O形環133、殼體110與閥盤120所構成的空間150，亦即，第一O形環131和第二O形環133與殼體110緊密接觸。

洩漏檢測器180可連接至空間150，因此洩漏檢測器180可在空間150中創造出真空。藉由洩漏檢測器180在空間150中創造出真空以後，測試氣體(探針氣體)可沿方向D1朝第一O形環131噴灑或沿方向D2朝第二O形環133噴灑。

在測試氣體(探針氣體)沿方向D1朝第一O形環131或沿方向D2朝第二O形環133噴灑後，洩漏檢測器180可檢測測試氣體(探針氣體)。如果洩漏檢測器180檢測到測試氣體(探針氣體)，這表示測試氣體(探針氣體)存在於空間150。因此，如果洩漏檢測器180檢測到測試氣體(探針氣體)，這表示沿方向D1朝第一O形環131或是沿方向D2朝第二O形環133噴灑之測試氣體(探針氣體)流入了空間150。因此，這表示蝶形閥2內發生了洩漏。相反的，如果測試氣體(探針氣體)沒有被洩漏檢測器180所檢測到，這表示蝶形閥2內沒有發生洩漏。因此，基於是否有測試氣體(探針氣體)被洩漏檢測器180所檢測到，可檢測蝶形閥2內的洩漏，且因此在組裝蝶形閥2於設備之前，蝶形閥2內的洩漏即可檢測出來。因此，真空設備可有效率地維護與修理。

洩漏檢測器180可包括氦氣洩漏檢測器。在此例中，氦氣做為測試氣體(探針氣體)。在此例中，藉由檢測是否有氦氣被氦氣洩漏檢測器檢測到，可獨立地檢測蝶形閥2之洩漏。

第6圖為根據又另一例示性實施例概略描述蝶形閥3之一部分之放大截面圖。在此，相同的參考符號代表圖中實施相同功能的相同元件。以下，將著重在本實施例與第4圖之實施例之間的差異來描述本實施例。

蝶形閥3可更進一步包括密封構件190。密封構件190可與洩漏檢測口140耦合以封閉洩漏檢測口140。因此，由於藉由密封構件190封閉洩漏檢測口140，洩漏檢測口140與殼體110之外部隔絕。密封構件190可包括插梢。

第7圖為描述根據一例示性實施例檢測蝶形閥洩漏的方法之流程圖。參考第7圖，可經由提供沿著閥盤外圍所形成之空間形成構件的步驟(步驟S10)，在殼體提供洩漏檢測口以使得洩漏檢測口可通向介於空間形成構件與殼體之間的空間的步驟(步驟S20)，藉由旋轉閥盤關閉蝶形閥的步驟(步驟S30)，連接洩漏檢測口到洩漏檢測器的步驟(步驟S40)，使用洩漏檢測器在介於空間形成構件和殼體之間的空間創造出實質真空狀態的步驟(步驟S50)，朝向空間形成構件噴灑測試氣體的步驟(步驟S60)，藉由使用洩漏檢測器檢測測試氣體的步驟(步驟S70)，以及在洩漏檢測器與洩漏檢測口分離後密封洩漏檢測口的步驟(步驟S80)來檢測蝶形閥洩漏。在一實施例中，「實質真空狀態」包括真空狀態，如同或近乎為真空狀態的狀態，或是如同或大致為真空狀態的狀態。

如上所述，在藉由使用洩漏檢測器檢測測試氣體的步驟(步驟S70)中，蝶形閥根據是否有測試氣體被檢測到可獨立地檢測洩漏，且因此在組裝蝶形閥於設備之前，可檢測蝶形閥洩漏。因此，真空設備可有效地維護和修理。

根據所揭露的實施例，在蝶形閥組裝於設備以前即可對蝶形閥檢測洩漏。

雖然上述實施例已參照附圖而說明，其將為所屬技術領域具有通常知識者所了解的是，在不脫離本發明由申請專利範圍所定義之精神與範疇下，可對其進行形式及細節上的各種變更。

1．．．蝶形閥

110．．．殼體

120．．．閥盤

130．．．空間形成構件

131．．．第一O形環

133．．．第二O形環

140．．．洩漏檢測囗

150．．．空間

Claims (20)

1. 一種蝶形閥，其包含：
   一管狀殼體；
   一閥盤，可旋轉地安置於該管狀殼體內部；
   一空間形成構件，沿著該閥盤外圍形成；以及
   一洩漏檢測口，形成於該管狀殼體中，且配置以連接於該空間形成構件與該管狀殼體之間的一空間。
2. 如申請專利範圍第1項所述之蝶形閥，其中該空間形成構件包含複數個O形環。
3. 如申請專利範圍第1項所述之蝶形閥，其中該空間形成構件包含一第一O形環與一第二O形環。
4. 如申請專利範圍第3項所述之蝶形閥，其中該第一O形環與該第二O形環沿著該閥盤外圍實質上彼此平行地形成。
5. 如申請專利範圍第3項所述之蝶形閥，其中一第一溝槽和一第二溝槽沿著該閥盤外圍形成，其中該第一O形環嵌入該第一溝槽且該第二O形環嵌入該第二溝槽。
6. 如申請專利範圍第5項所述之蝶形閥，其中該第一溝槽和該第二溝槽沿著該閥盤外圍實質上彼此平行地形成，且其中該第一O形環與該第二O形環沿著該閥盤外圍實質上彼此平行地形成。
7. 如申請專利範圍第6項所述之蝶形閥，其中該洩漏檢測口係配置在該第一O形環及該第二O形環與該管狀殼體緊密接觸之狀態下連接於由該第一O形環、該第二O形環、該閥盤與該管狀殼體所建構之該空間。
8. 如申請專利範圍第1項所述之蝶形閥，更包含：
   一密封構件，配置以藉由與該洩漏檢測口耦合來密封該洩漏檢測口。
9. 如申請專利範圍第1項所述之蝶形閥，更包含：
   一洩漏檢測器，連接至該洩漏檢測口。
10. 如申請專利範圍第9項所述之蝶形閥，其中該洩漏檢測器包含一氦氣洩漏檢測器。
11. 一種檢測一蝶形閥洩漏的方法，該蝶形閥包含一管狀殼體和可旋轉地安置於該管狀殼體內部之一閥盤，該方法包含：
    提供沿著該閥盤外圍所形成之一空間形成構件；
    提供一洩漏檢測口於該管狀殼體中，以使得該洩漏檢測口連接至該空間形成構件與該管狀殼體之間的一空間；
    藉由旋轉該閥盤以關閉該蝶形閥；
    連接該洩漏檢測口之一端至一洩漏檢測器；
    藉由使用該洩漏檢測器於該空間形成構件與該管狀殼體之間之該空間創造出實質真空狀態；
    噴灑一測試氣體朝向該空間形成構件；以及
    藉由使用該洩漏檢測器檢測該測試氣體。
12. 如申請專利範圍第11項所述之方法，其中該空間形成構件包含複數個O形環。
13. 如申請專利範圍第11項所述之方法，其中該空間形成構件包含一第一O形環與一第二O形環。
14. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該第一O形環與該第二O形環沿著該閥盤外圍彼此平行地形成。
15. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中一第一溝槽與一第二溝槽沿著該閥盤外圍形成，其中該第一O形環嵌入該第一溝槽且該第二O形環嵌入該第二溝槽。
16. 如申請專利範圍第15項所述之方法，其中該第一溝槽和該第二溝槽沿著該閥盤外圍實質上彼此平行地形成，且其中該第一O形環與該第二O形環沿著該閥盤外圍實質上彼此平行地形成。
17. 如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該洩漏檢測口在該第一O形環和該第二O形環與該管狀殼體緊密接觸之狀態下連接到由該第一O形環、該第二O形環、該閥盤與該管狀殼體所建構之該空間。
18. 如申請專利範圍第11項所述之方法，其中該洩漏檢測口之該端經由一管路連接至該洩漏檢測器。
19. 如申請專利範圍第11項所述之方法，更包含：
    在該洩漏檢測器從該洩漏檢測口之該端分離後密封該洩漏檢測口。
20. 如申請專利範圍第11項所述之方法，其中該洩漏檢測器為一氦氣洩漏檢測器，噴灑之該測試氣體為一氦氣，且該氦氣由該氦氣洩漏檢測器所檢測。