KR20140066972A - 클로로실란 전환을 위한 반응기에서의 제트 튜브가 있는 연소기의 용도 - Google Patents

클로로실란 전환을 위한 반응기에서의 제트 튜브가 있는 연소기의 용도 Download PDF

Info

Publication number
KR20140066972A
KR20140066972A KR1020137024113A KR20137024113A KR20140066972A KR 20140066972 A KR20140066972 A KR 20140066972A KR 1020137024113 A KR1020137024113 A KR 1020137024113A KR 20137024113 A KR20137024113 A KR 20137024113A KR 20140066972 A KR20140066972 A KR 20140066972A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
jet tube
combustor
flame
conversion
Prior art date
Application number
KR1020137024113A
Other languages
English (en)
Inventor
베른트 베너
크리스토프 지퍼
귀도 스토히니올
잉고 파울리
노르베르트 슐라데르베크
Original Assignee
에보니크 데구사 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에보니크 데구사 게엠베하 filed Critical 에보니크 데구사 게엠베하
Publication of KR20140066972A publication Critical patent/KR20140066972A/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • C01B33/1071Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23DBURNERS
    • F23D14/00Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/12Radiant burners
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J12/00Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
    • B01J12/007Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor in the presence of catalytically active bodies, e.g. porous plates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/24Stationary reactors without moving elements inside
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J4/00Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
    • B01J4/001Feed or outlet devices as such, e.g. feeding tubes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/02Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
    • B01J8/06Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds in tube reactors; the solid particles being arranged in tubes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • C01B33/1071Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof
    • C01B33/10742Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof prepared by hydrochlorination of silicon or of a silicon-containing material
    • C01B33/10757Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof prepared by hydrochlorination of silicon or of a silicon-containing material with the preferential formation of trichlorosilane
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23CMETHODS OR APPARATUS FOR COMBUSTION USING FLUID FUEL OR SOLID FUEL SUSPENDED IN  A CARRIER GAS OR AIR 
    • F23C3/00Combustion apparatus characterised by the shape of the combustion chamber
    • F23C3/002Combustion apparatus characterised by the shape of the combustion chamber the chamber having an elongated tubular form, e.g. for a radiant tube
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/0016Chamber type furnaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0001Heating elements or systems
    • F27D99/0033Heating elements or systems using burners
    • F27D99/0035Heating indirectly through a radiant surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00049Controlling or regulating processes
    • B01J2219/00051Controlling the temperature
    • B01J2219/0015Controlling the temperature by thermal insulation means
    • B01J2219/00155Controlling the temperature by thermal insulation means using insulating materials or refractories
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00049Controlling or regulating processes
    • B01J2219/00051Controlling the temperature
    • B01J2219/00157Controlling the temperature by means of a burner

Abstract

본 발명은 연소기가 제트 튜브를 갖고 제트 튜브가 화염 및 화염 튜브를 기체 밀봉 방식으로 둘러싸며, 그 결과 연소 공기, 기체 및/또는 액체 연료 및 또한 연도 가스가 반응로 공간으로 들어갈 수 없는, 클로로실란 전환을 위한 반응기를 가열하기 위한 특별한 연소기 설계의 용도를 제공한다. 연도 가스의 반응로의 실제 내부로부터의 완전한 분리를 이점으로 하며, 이는 클로로실란을 수용하는 장치의 균열 시 연도 가스 수분과 클로로실란 사이의 위험한 상호작용을 방지한다. 이는 또한 기체 또는 액체 연료를 사용하여 이러한 반응로를 가열하는 것을 가능케 한다. 직접적인 화염 접촉으로 인한 지나친 국부적 열 투입이 방지되고, 열 투입은 균질화된다.

Description

클로로실란 전환을 위한 반응기에서의 제트 튜브가 있는 연소기의 용도 {USE OF BURNERS WITH A JET TUBE IN REACTORS FOR CONVERSION OF CHLOROSILANES}
본 발명은 클로로실란 전환을 위한 반응기를 가열하기 위한 제트 튜브(jet tube)가 있는 연소기의 용도에 관한 것이다.
선행 기술은 액체 또는 기체 연료를 사용하는 연소기에 의해 또는 전기적으로 가열되는 가열식 화학 반응기, 예를 들어 관형 반응기를 포함한다. 연소기는 반응의 화학 물질을 수용하기 위한 장비, 예를 들어 파이프 장치가 위치하는 반응 공간 내에 직접적으로 작용한다. 가열 결과, 요구되는 높은 반응 온도가 수득되고/되거나 공정의 흡열성으로 인한 열 손실이 보상된다.
이러한 화학 반응기에서 전환되는 물질은 전형적으로 금속 또는 기타 재료로 제조된 장치에서 수행된다. 높은 부식성 물질의 경우, 세라믹 재료를 이용할 수도 있다.
화학 물질을 수용하는 금속 또는 기타 재료로 제조된 장치가 불량인 경우, 상기 물질은 화염 기체와 접촉하게 되며, 이는 그 중 일부가 발열성인 원치 않는 반응을 야기할 수 있다.
따라서, 열 투입과 동시에 매질 분리가 일어나는 반응로를 가열하는 방법을 위한 설계가 필요하다. 상기 목적은 연소기, 화염 튜브 및 제트 튜브의 조합에 의해 달성되며, 여기서 화염 기체는 어떤 경우에도 연소 챔버의 내부와 접촉하지 않는다.
따라서, 본 발명은 연소기가 제트 튜브를 갖고 제트 튜브가 기체 밀봉 방식으로 화염 및 화염 튜브를 둘러싸며, 그 결과 연소 공기, 기체 및/또는 액체 연료 및 연도 가스가 반응로 공간에 들어갈 수 없는, 클로로실란 전환을 위한 반응기를 가열하기 위한 연소기의 용도를 제공한다.
본 발명의 문맥에서, 상기 기재된 연소기 장치는 "제트 튜브가 있는 연소기"로 지칭된다.
수용 장치 내의 결함으로 인해 반응 매질이 노 공간으로 누출되는 경우에, 클로로실란과 반응시, 예를 들어 클로로실란의 수소화 시, 반응로 내에서 연도 가스와 반응 기체의 접촉이 반드시 회피되어야 하기 때문에, 제트 튜브가 있는 연소기의 본 발명에 따른 용도는 작업상 신뢰가능한 클로로실란의 전환을 가능하게 하는 특별한 이점을 갖는다. 그렇지 않다면, 연도 가스의 수분이 클로로실란과 접촉하는 경우에, 강력한 발열성의 원치 않는 반응이 일어날 수 있다.
제트 튜브가 있는 연소기의 추가 이점은, 개괄한 단점을 허용하지 않으면서 전기보다 저렴한 에너지 캐리어를 이용하여 클로로실란 전환을 위한 반응로의 가열을 경제적으로 실행가능하게 할 수 있다는 것이다.
마찬가지로, 본 발명의 용도의 이점은 반응열이 반응로에 도입되고 그에 따라 반응 매질에 매우 실질적으로 열 방사 형태로 도입된다는 것이다. 이는 연소기 화염과의 직접 접촉을 방지함으로써 반응로 내부의 국지적인 과열을 방지한다. 가열은 또한 매우 균일하다.
반응로 내부에서 본 발명에 따라 사용되는 제트 튜브가 있는 연소기의 배열은 목적하는 바와 같고, 연소 챔버 위에서부터 매달리거나 연소 챔버 아래에서부터 또는 측면으로부터 역전된 방식으로 실장된 하나 이상을 포함할 수 있다.
본 발명의 용도는 클로로실란과 반응하는 경우에, 특히 트리클로로실란 및 염화수소를 제공하기 위한 수소를 이용한 사염화규소의 수소화의 경우에 특히 유리하다. 반응 온도는 1100℃ 이하의 값 및 50 bar 게이지 이하의 압력을 수득할 수 있고, 반응은 촉매가 있거나 없이 작용할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따라 사용되는 제트 튜브가 있는 연소기의 바람직한 실시양태를 개략도로 나타낸다.
참조 번호는 다음을 의미한다:
1 화학 반응물의 전도를 위한 장치
2 화염 튜브
3 제트 튜브
4 반응로
5 절연체
6 연소기
7 연소 공기
8 연료
9 연도 가스
Figure pct00001
열 유동

Claims (1)

  1. 연소기가 제트 튜브(jet tube)를 갖고
    제트 튜브가 화염 및 화염 튜브를 기체 밀봉 방식으로 둘러싸며,
    그 결과 연소 공기, 기체 및/또는 액체 연료 및 연도 가스가 반응로 공간으로 들어갈 수 없는,
    클로로실란 전환을 위한 반응기를 가열하기 위한 연소기의 용도.
KR1020137024113A 2011-03-25 2012-02-27 클로로실란 전환을 위한 반응기에서의 제트 튜브가 있는 연소기의 용도 KR20140066972A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011006116.9 2011-03-25
DE102011006116A DE102011006116A1 (de) 2011-03-25 2011-03-25 Verwendung von Brennern mit Strahlrohr in Reaktoren zur Umsetzung von Chlorsilanen
PCT/EP2012/053251 WO2012130543A1 (de) 2011-03-25 2012-02-27 Verwendung von brennern mit strahlrohr in reaktoren zur umsetzung von chlorsilanen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20140066972A true KR20140066972A (ko) 2014-06-03

Family

ID=45808818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137024113A KR20140066972A (ko) 2011-03-25 2012-02-27 클로로실란 전환을 위한 반응기에서의 제트 튜브가 있는 연소기의 용도

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20140086816A1 (ko)
EP (1) EP2689186A1 (ko)
JP (1) JP2014522354A (ko)
KR (1) KR20140066972A (ko)
CN (1) CN103620305A (ko)
DE (1) DE102011006116A1 (ko)
TW (1) TW201250191A (ko)
WO (1) WO2012130543A1 (ko)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5664216A (en) * 1979-10-29 1981-06-01 Kawasaki Steel Corp Combustion control of radiant tube burner
JPH02259322A (ja) * 1988-12-28 1990-10-22 Toshiba Ceramics Co Ltd ラジアントチューブ
US6423279B1 (en) * 2000-10-16 2002-07-23 Harvest Energy Technology, Inc. Compact endothermic catalytic reaction apparatus
US6773256B2 (en) * 2002-02-05 2004-08-10 Air Products And Chemicals, Inc. Ultra low NOx burner for process heating
JP5435188B2 (ja) * 2006-11-14 2014-03-05 三菱マテリアル株式会社 多結晶シリコンの製造方法および多結晶シリコン製造設備
CN101495408A (zh) * 2006-11-14 2009-07-29 三菱麻铁里亚尔株式会社 多晶硅的制备方法及多晶硅的制备设备
JP5316290B2 (ja) * 2008-08-05 2013-10-16 三菱マテリアル株式会社 トリクロロシラン製造装置及び製造方法
DE102008041974A1 (de) * 2008-09-10 2010-03-11 Evonik Degussa Gmbh Vorrichtung, deren Verwendung und ein Verfahren zur energieautarken Hydrierung von Chlorsilanen
JP5412447B2 (ja) * 2009-01-30 2014-02-12 電気化学工業株式会社 炭素含有材料からなる反応容器を備える反応装置、その反応装置の腐食防止方法およびその反応装置を用いたクロロシラン類の生産方法
DE102010007916B4 (de) * 2010-02-12 2013-11-28 Centrotherm Sitec Gmbh Verfahren zur Hydrierung von Chlorsilanen und Verwendung eines Konverters zur Durchführung des Verfahrens
US20110300050A1 (en) * 2010-06-08 2011-12-08 Memc Electronic Materials, Inc. Trichlorosilane Vaporization System

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012130543A1 (de) 2012-10-04
CN103620305A (zh) 2014-03-05
TW201250191A (en) 2012-12-16
DE102011006116A1 (de) 2012-09-27
US20140086816A1 (en) 2014-03-27
EP2689186A1 (de) 2014-01-29
JP2014522354A (ja) 2014-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7998428B2 (en) Apparatus for producing trichlorosilane
US7964155B2 (en) Apparatus for producing trichlorosilane
US20160304343A1 (en) System and combustion reaction holder configured to transfer heat from a combustion reaction to a fluid
US9416014B2 (en) Method for producing trichlorosilane
JP7389066B2 (ja) アンモニア分解装置
TWI620906B (zh) 加熱器及其相關方法
JP5119856B2 (ja) トリクロロシラン製造装置
KR102334819B1 (ko) 관 배열이 개선된 흡열 프로세스를 위한 장치
KR101545794B1 (ko) 사염화규소를 트리클로로실란으로 전환하기 위한 방법 및 장치
US9493359B2 (en) Apparatus for producing trichlorosilane
KR20120127413A (ko) 사염화규소를 트리클로로실란으로 전환시키기 위한 플랜트의 통합 부분으로서의 가압 세라믹 열 교환기의 용도
KR20140066972A (ko) 클로로실란 전환을 위한 반응기에서의 제트 튜브가 있는 연소기의 용도
US20110200511A1 (en) Process for the hydrogenation of chlorosilanes and converter for carrying out the process
RU2615768C1 (ru) Реактор для каталитической паровой и пароуглекислотной конверсии углеводородов
JP2011207746A (ja) トリクロロシラン製造装置
KR101034030B1 (ko) 폴리 실리콘 증착장치
WO2016097454A1 (es) Reformador de hidrocarburos y/o alcoholes y procedimiento de reformado de hidrocarburos y/o alcoholes
RU2173213C1 (ru) Устройство прямой термической конверсии метана
KR20120073658A (ko) 폴리 실리콘 제조장치
US20140086815A1 (en) Use of silicon carbide tubes with a flanged or flared end
UA83147U (uk) Реактор для піролізу газоподібних вуглеводнів
WO2010087003A1 (ja) 発熱装置
JP2018179461A (ja) 熱交換器
TWM453534U (zh) 排氣處理之加熱裝置
CN103245054A (zh) 一种高温气体燃烧喷射器

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid