KR20140065526A - Apparatus for transfering a substrate - Google Patents

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KR20140065526A
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김동선
박성진
정진일
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삼성전기주식회사
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Abstract

A substrate transfer device is disclosed. In accordance to an embodiment of the present invention, the substrate transfer device includes: a base; a first transfer magnet installed on the base; a table whereby a substrate is mounted on the upper surface and is arranged to be separated from the base upwards and installed to be able to move on the base; and a second transfer magnet moving the table using a magnetic force generated due to an interaction with the first transfer magnet by being installed on the table to correspond to the position of the first transfer magnet.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERING A SUBSTRATE}[0001] APPARATUS FOR TRANSFERING A SUBSTRATE [0002]

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate transfer apparatus.

반도체 웨이퍼, 인쇄회로기판, 반도체 모듈 등과 같은 부품은 최종 제품에 있어 주요한 기능을 하는 부품으로서 그 부품의 신뢰도가 중요하며, 따라서 부품 출하 이전에 엄격한 품질 검사를 거치게 된다.Components such as semiconductor wafers, printed circuit boards, semiconductor modules, etc., are important components in the final product, and reliability of the components is important.

한편 반도체 웨이퍼, 반도체 모듈뿐 아니라, 인쇄회로기판 역시 점점 고밀도화되어 두께가 얇아지고 내부에 다수의 칩이 내장되고 있으며, AFVI(Auto Final Visual Inspection)는 이러한 고밀도화된 반도체 웨이퍼, 반도체 모듈 및 인쇄회로기판의 외관을 검사하여 그 표면의 손상, 오염, 딤플, 변색 등의 불량을 검출하는 설비이다.In addition to semiconductor wafers and semiconductor modules, printed circuit boards are increasingly densified and thinned, and a large number of chips are built in. AFVI (Auto Final Visual Inspection) is used for such high density semiconductor wafers, semiconductor modules, To check for defects such as damage to the surface, contamination, dimple, discoloration, and the like.

이러한 AFVI 설비를 이용한 인쇄회로기판 등의 검사시 인쇄회로기판의 이송을 위해 다양한 이송 장치가 이용되고 있다. 예를 들어 진공 패드를 이용하여 인쇄회로기판을 직접 흡착하여 이송하는 장치, 레일을 이용하여 레일 상에서 인쇄회로기판을 직접 이송하는 장치 등이 이용되고 있다.A variety of transfer devices have been used to transfer printed circuit boards during inspection of printed circuit boards and the like using such AFVI equipment. For example, a device for directly transferring a printed circuit board by using a vacuum pad and transferring the same, and a device for directly transferring a printed circuit board on a rail using a rail.

그러나 이와 같이 진공 패드를 이용하는 장치에 따르면, 진공 패드가 유기물에 의해 오염되어 있는 경우 인쇄회로기판에도 오염을 가져올 우려가 있고, 진공 패드의 흡착력에 이상이 발생되는 경우 인쇄회로기판의 낙하로 인해 제품을 폐기해야 하는 문제가 있다.However, according to the apparatus using the vacuum pad, if the vacuum pad is contaminated by the organic substance, the printed circuit board may be contaminated. In the case where the vacuum pad sucks up the suction force, There is a problem in that it has to be discarded.

그리고 레일을 이용하는 장치에 따르면, 설비 이상으로 인쇄회로기판이 배출되지 않는 경우 수동 작업에 의할 수 밖에 없어 인쇄회로기판 표면에 스크래치가 발생될 우려가 있으며, 재작업이 필요한 경우에도 스크래치가 발생될 우려가 큰 문제가 있다.
According to the apparatus using the rail, if the printed circuit board is not ejected beyond the facility, it is necessary to perform the manual operation, and there is a possibility that scratches may be generated on the surface of the printed circuit board, and even if rework is required, Concern is a big problem.

대한민국 공개특허공보 제10-2008-0113711호(2008.12.31)Korean Patent Publication No. 10-2008-0113711 (December 31, 2008)

본 발명은 인쇄회로기판의 오염이나 손상을 최소화할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of minimizing contamination or damage to a printed circuit board.

본 발명의 일 측면에 따르면, 베이스, 베이스에 설치되는 제1 이송용 자석, 상면에 기판이 안착되며, 베이스로부터 상측으로 이격되어 배치되고 베이스에 대해 이동 가능하게 설치되는 테이블, 및 테이블에 제1 이송용 자석의 위치와 대응되도록 설치되어, 제1 이송용 자석과의 상호 작용에 의해 발생되는 자기력을 이용하여 테이블을 이동시키는 제2 이송용 자석을 포함하는 기판 이송 장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a magnetic bearing device comprising: a base; a first conveying magnet mounted on the base; a table on which an upper surface is seated, a table spaced upward from the base, There is provided a substrate transfer apparatus including a second transfer magnet provided so as to correspond to a position of a transferring magnet for transferring a table using a magnetic force generated by an interaction with a first transferring magnet.

기판 이송 장치는, 테이블의 상면에 안착되는 기판을 기준 위치로 정렬하기 위하여 테이블 상에서 기판의 위치를 조절하는 위치 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus may further comprise a positioning unit for adjusting the position of the substrate on the table so as to align the substrate placed on the upper surface of the table to the reference position.

위치 정렬 유닛은, 테이블에 이동 가능하게 설치되어 기판에 위치 조절을 위한 외력을 가하는 조절대, 및 조절대의 이동을 위한 구동력을 제공하는 구동기를 포함할 수 있다.The position alignment unit may include an adjuster movably installed on the table for applying an external force to adjust the position of the substrate, and a driver for providing a driving force for movement of the adjuster.

구동기는, 조절대 및 테이블에 각각 설치되어 상호 작용에 의해 자기력을 발생시키는 한 쌍의 정렬용 자석을 포함할 수 있다.The driver may include a pair of alignment magnets provided on the adjustable table and the table, respectively, for generating magnetic force by interaction.

한 쌍의 정렬용 자석 중 적어도 어느 하나는 전자석일 수 있다.At least one of the pair of alignment magnets may be an electromagnet.

조절대는, 기판의 횡방향 위치를 조절하기 위한 횡방향 조절대, 및 기판의 종방향 위치를 조절하기 위한 종방향 조절대를 포함할 수 있다.The adjuster may include a lateral adjuster for adjusting the lateral position of the substrate, and a longitudinal adjuster for adjusting the longitudinal position of the substrate.

기판 이송 장치는, 테이블 상면의 가장자리에 설치되어, 위치 정렬 유닛에 의해 위치 조절되는 기판에 기준 위치를 제공하는 기준대를 더 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus may further include a reference table provided at an edge of the upper surface of the table, for providing a reference position to a substrate that is positioned by the alignment unit.

기준대는, 기판의 횡방향 기준 위치를 제공하는 횡방향 기준바, 및 기판의 종방향 기준 위치를 제공하는 종방향 기준바를 포함할 수 있다.The reference bar may include a transverse reference bar providing a transverse reference position of the substrate and a longitudinal reference bar providing a longitudinal reference position of the substrate.

테이블의 상면에는 흡입력에 의해 기판을 지지하기 위한 복수의 흡입홀이 형성되고, 테이블 내부에는 복수의 흡입홀과 연통되는 흡입 공간이 형성되며, 기판 이송 장치는 흡입 공간에 흡입력을 제공하는 흡입기를 더 포함할 수 있다.A plurality of suction holes for supporting the substrate by the suction force are formed on the upper surface of the table, a suction space communicating with the plurality of suction holes is formed in the table, and the substrate transfer device further includes an inhaler for providing a suction force to the suction space .

제2 이송용 자석은 복수개이고, 복수의 제2 이송용 자석은 테이블의 양측 가장자리를 따라 배치되며, 제1 이송용 자석은 복수개이고, 복수의 제2 이송용 자석과 대향하도록 배치될 수 있다.The plurality of second conveying magnets may be arranged along both side edges of the table. The plurality of first conveying magnets may be arranged to face the plurality of second conveying magnets.

제1 이송용 자석 및 제2 이송용 자석 중 적어도 어느 하나는 전자석일 수 있다.
At least one of the first feeding magnet and the second feeding magnet may be an electromagnet.

본 발명에 따르면, 인쇄회로기판의 오염이나 손상을 최소화하면서 보다 안정적으로 기판을 이송할 수 있다.
According to the present invention, it is possible to transfer the substrate more stably while minimizing contamination or damage of the printed circuit board.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 테이블 하면을 나타낸 저면도.1 illustrates a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a bottom view of a table bottom of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;

본 발명에 따른 기판 이송 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to the accompanying drawings, an embodiment of a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, It will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)를 나타낸 도면이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)를 나타낸 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)의 테이블(130) 하면을 나타낸 저면도이다.1 is a view showing a substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. 2 is a plan view showing a substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. 2 is a bottom view showing a bottom surface of a table 130 of the substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

본 실시예에 따르면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, AFVI(Auto Final Visual Inspection) 설비 등과 같이 인쇄회로기판의 이송이 요구되는 설비에 장착되어 이용될 수 있는 기판 이송 장치(100)로서, 베이스(110), 제1 이송용 자석(120), 테이블(130), 제2 이송용 자석(140), 위치 정렬 유닛(150), 조절대(151), 구동기(154), 기준대(160) 및 흡입기(170)를 포함하는 기판 이송 장치(100)가 제시된다.According to the present embodiment, as shown in FIG. 1 to FIG. 3, a substrate transfer apparatus 100, such as an AFVI (Auto Final Visual Inspection) facility, which can be mounted on a facility requiring transfer of a printed circuit board A base 110, a first conveying magnet 120, a table 130, a second conveying magnet 140, a positioning unit 150, an adjusting unit 151, a driving unit 154, 160 and an inhaler 170 are shown.

이와 같은 본 실시예에 따르면, 기판(10)을 테이블(130) 상에 안착시킨 상태에서 테이블(130)을 자기력을 이용하여 이송함으로써, 기판(10)에 발생될 수 있는 오염이나 손상을 미연에 방지하면서 안정적으로 기판(10)을 이송할 수 있다.According to this embodiment, by transferring the table 130 using magnetic force in a state where the substrate 10 is placed on the table 130, contamination or damage that may occur in the substrate 10 can be prevented The substrate 10 can be transported stably.

이하 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)의 각 구성에 대해 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
Hereinafter, each configuration of the substrate transfer apparatus 100 according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIG. 1 to FIG.

베이스(110)는 본 기판 이송 장치(100)의 고정부에 해당되는 구성으로서, 도 1에 도시된 바와 같이 이러한 베이스(110)의 상면에는 제1 이송용 자석(120)이 설치될 수 있다.The base 110 has a configuration corresponding to a fixed portion of the substrate transfer apparatus 100. As shown in FIG. 1, a first transfer magnet 120 may be installed on the upper surface of the base 110. FIG.

테이블(130)은 본 기판 이송 장치(100)의 이동부에 해당되는 구성으로서, 도 1에 도시된 바와 같이 베이스(110)로부터 상측으로 이격되어 배치되며, 베이스(110)에 대해 전후 또는 상하로 이동 가능하게 설치될 수 있다.The table 130 corresponds to the moving part of the substrate transfer apparatus 100 and is spaced upward from the base 110 as shown in FIG. And can be installed movably.

도면에 도시되지는 않았으나 본 기판 이송 장치(100)는 이러한 테이블(130)의 이동을 위한 가이드를 구비할 수 있다. 예를 들어 기판 이송 장치(100)에는, 전후 방향의 이동을 가이드하는 수평 가이드 및 상하 방향의 이동을 가이드하는 수직 가이드가 설치될 수 있다.Although not shown in the drawings, the substrate transfer apparatus 100 may include a guide for moving the table 130. For example, the substrate transfer apparatus 100 may be provided with a horizontal guide for guiding the movement in the forward and backward direction and a vertical guide for guiding the movement in the vertical direction.

이러한 테이블(130)의 상면에는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(10)이 안착된다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 흡입홀(132)은 기판(10)이 안착되는 위치에 대응되는 안착 영역에 복수로 형성될 수 있으며, 테이블(130) 내부에는 복수의 흡입홀(132)과 연통되는 흡입 공간(134)이 형성될 수 있다.On the upper surface of the table 130, the substrate 10 is seated as shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of suction holes 132 may be formed in a seating area corresponding to a position where the substrate 10 is seated, and a plurality of suction holes 132 may be formed in the table 130, A suction space 134 communicating with the suction port 134 may be formed.

그리고 이러한 흡입 공간(134)에는 진공 펌프 등과 같이 공기를 흡입하여 음압을 제공하는 흡입기(170)가 연결되어 흡입 공간(134) 및 흡입홀(132)을 거쳐 기판(10)에 흡입력을 제공하게 된다.In the suction space 134, an aspirator 170 for sucking air and providing a negative pressure, such as a vacuum pump, is connected to provide a suction force to the substrate 10 via the suction space 134 and the suction hole 132 .

이와 같이 테이블(130)에 흡입홀(132) 및 흡입 공간(134)이 형성되고, 이와 연결되는 흡입기(170)가 설치됨으로써, 테이블(130)에 안착된 기판(10)은 흡입기(170)의 흡입력에 의해 테이블(130) 상에서 안정적으로 지지될 수 있다.Since the suction hole 132 and the suction space 134 are formed on the table 130 and the suction unit 170 connected to the suction hole 170 and the suction hole 170 is installed on the table 130, And can be stably supported on the table 130 by the suction force.

제2 이송용 자석(140)은 도 1에 도시된 바와 같이, 테이블(130)에 제1 이송용 자석(120)의 위치와 대응되도록 설치되어, 제1 이송용 자석(120)과의 상호 작용에 의해 발생되는 자기력, 즉 인력과 척력을 이용하여 테이블(130)을 이동시킨다.1, the second conveying magnet 140 is provided on the table 130 so as to correspond to the position of the first conveying magnet 120, so that the interaction with the first conveying magnet 120 The table 130 is moved using the magnetic force generated by the magnetic force, that is, the attraction force and the repulsive force.

즉, 제2 이송용 자석(140)은 제1 이송용 자석(120)과 상호 작용하여 제1 이송용 자석(120)과 함께 기판 이송 장치(100)의 구동부로서 기능하는 구성으로서, 플레밍의 왼손 법칙에 기초한 전기 모터의 구동 원리와 유사한 원리로 테이블(130)을 베이스(110) 상에서 전후 방향으로 이동시킬 수 있다.That is, the second conveying magnet 140 functions as a driving unit of the substrate conveying apparatus 100 together with the first conveying magnet 120 by interacting with the first conveying magnet 120, The table 130 can be moved in the forward and backward directions on the base 110 on the principle similar to the driving principle of the electric motor based on the law.

이 경우 제1 이송용 자석(120)으로는, 전류의 방향 및 크기에 따라 자성을 변화시킬 수 있는 전자석이 이용될 수 있다. 즉 전자석인 제1 이송용 자석(120)은 전류의 방향 변화에 따라 극성이 변화되거나 전류의 크기 변화에 따라 자기장의 크기가 변화될 수 있다.In this case, as the first transferring magnet 120, an electromagnet capable of changing the magnetism according to the direction and magnitude of the current can be used. That is, the magnitude of the magnetic field may change according to the change of the polarity or the magnitude of the current in the first transfer magnet 120 which is the electromagnet.

이와 같이 제1 이송용 자석(120)으로 전자석을 이용함으로써, 제1 이송용 자석(120)의 극성 방향을 반복적으로 변화시킬 수 있으므로, 이에 따라 제1 이송용 자석(120)과 상호 작용하는 제2 이송용 자석(140)에는 제1 이송용 자석(120)의 극성 변화에 따라 인력과 척력이 반복적으로 작용하게 되어 제2 이송용 자석(140)이 설치된 테이블(130)은 베이스(110)에 대해 전후 방향으로 이동 가능하게 된다.As described above, by using the electromagnet as the first conveying magnet 120, the polarity direction of the first conveying magnet 120 can be changed repeatedly, The attracting force and repulsive force are repeatedly applied to the second conveying magnet 140 according to the polarity change of the first conveying magnet 120 so that the table 130 provided with the second conveying magnet 140 is moved to the base 110 It is possible to move in the forward and backward directions.

또한 제1 이송용 자석(120)과 제2 이송용 자석(140)의 극성을 대응시킨 상태에서 제1 이송용 자석(120)에 공급되는 전류의 크기를 조절하는 경우 제1 이송용 자석(120)의 자기장 세기가 조절되어 제1 이송용 자석(120)과 제2 이송용 자석(140)의 상호 작용에 의해 발생되는 자기력의 크기가 변화될 수 있으므로, 제2 이송용 자석(140)이 설치된 테이블(130)은 베이스(110)에 대해 상하 방향으로 이동 가능하게 된다.When the magnitude of the current supplied to the first conveying magnet 120 is adjusted in a state in which the polarities of the first conveying magnet 120 and the second conveying magnet 140 are in correspondence with each other, Since the magnitude of the magnetic force generated by the interaction between the first conveying magnet 120 and the second conveying magnet 140 can be changed, the second conveying magnet 140 is installed The table 130 can be moved up and down with respect to the base 110.

한편, 제2 이송용 자석(140)으로는 영구 자석이 이용될 수 있으며, 그 밖에 전자석을 이용하여 제2 이송용 자석(140)을 구성할 수도 있음은 물론이다.It should be noted that a permanent magnet may be used for the second transfer magnet 140, and the second transfer magnet 140 may be formed using an electromagnet.

도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 제1 이송용 자석(120)과 제2 이송용 자석(140)은 복수개로 구성될 수 있으며, 복수의 제2 이송용 자석(140)은 테이블(130) 저면의 양측 가장자리를 따라 일렬로 배치될 수 있다. 그리고 제1 이송용 자석(120)은 베이스(110)의 상면에 제2 이송용 자석(140)과 대향하도록 설치될 수 있다.1 and 3, the first conveying magnet 120 and the second conveying magnet 140 may be constituted by a plurality of members, and the plurality of second conveying magnets 140 may be disposed on the table 130, And can be arranged in a line along both side edges of the bottom surface. The first conveying magnet 120 may be installed on the upper surface of the base 110 so as to face the second conveying magnet 140.

위치 정렬 유닛(150)은 도 2에 도시된 바와 같이, 테이블(130)의 상면에 안착되는 기판(10)을 기준 위치로 정렬하기 위하여 테이블(130) 상에서 기판(10)의 위치를 조절할 수 있다.The position alignment unit 150 can adjust the position of the substrate 10 on the table 130 to align the substrate 10 that is seated on the upper surface of the table 130 to the reference position, .

이와 같이 위치 정렬 유닛(150)을 테이블(130)에 설치함으로써, 외부 설비를 이용하여 기판(10)을 테이블(130) 상에 최초 안착시킬 때 필요 이상으로 정밀하게 기판(10)을 위치시킬 필요가 없게 되며, 나아가 외부 설비에 의해 의하는 경우에 비해 보다 정밀하게 기판(10)을 테이블(130) 상에 정렬할 수 있게 된다. 이러한 위치 정렬 유닛(150)은 조절대(151)와 구동기(154)로 구성될 수 있다.By thus positioning the position alignment unit 150 on the table 130, it is necessary to position the substrate 10 more precisely than necessary when the substrate 10 is initially placed on the table 130 using external equipment So that the substrate 10 can be more accurately aligned on the table 130 as compared with the case where the substrate 10 is mounted by the external equipment. The position aligning unit 150 may include an adjuster 151 and a driver 154.

조절대(151)는 도 2에 도시된 바와 같이 테이블(130)에 이동 가능하게 설치되어 기판(10)에 위치 조절을 위한 외력을 가할 수 있다. 즉 조절대(151)는 테이블(130) 상면에 직선 이동 가능하게 설치될 수 있으며, 그 이동에 따라 기판(10)을 그 이동 방향으로 위치 이동시킬 수 있다.The adjuster 151 may be movably installed on the table 130 as shown in FIG. 2 to exert an external force on the substrate 10 to adjust the position. That is, the control rod 151 can be installed on the upper surface of the table 130 so as to be linearly movable, and the substrate 10 can be moved in the moving direction in accordance with the movement.

구동기(154)는 이러한 조절대(151)의 이동을 위한 구동력을 조절대(151)에 제공할 수 있다. 예를 들어 구동기(154)는 도 2에 도시된 바와 같이 조절대(151) 및 테이블(130)에 각각 설치되어 상호 작용에 의해 자기력(인력, 척력)을 발생시키는 한 쌍의 정렬용 자석(155)으로 구성될 수 있다.The driver 154 may provide a driving force for the movement of the adjuster 151 to the adjuster 151. For example, the actuator 154 may include a pair of alignment magnets 155 (shown in FIG. 2) that are installed in the adjustment table 151 and the table 130, respectively, to generate a magnetic force ).

이 경우 한 쌍의 정렬용 자석(155) 중 적어도 어느 하나는 전자석으로 구성될 수 있으므로, 상술한 바와 같이 정렬용 자석(155)은 공급되는 전류를 조절함으로써 극성의 방향이나 크기가 조절될 수 있고, 이에 따라 조절대(151)는 테이블(130) 상에서 이동하면서 기판(10)의 위치를 조절할 수 있게 된다.In this case, since at least one of the pair of alignment magnets 155 can be composed of electromagnets, as described above, the alignment magnet 155 can adjust the direction or size of the polarity by adjusting the supplied current So that the adjustment table 151 can adjust the position of the substrate 10 while moving on the table 130.

조절대(151)는, 횡방향 조절대(152) 및 종방향 조절대(153)로 구성될 수 있다. 즉 도 2에 도시된 바와 같이 횡방향 조절대(152)는 기판(10)에 횡방향의 외력을 가하여 기판(10)을 횡방향으로 이동시킬 수 있으며, 종방향 조절대(153)는 기판(10)에 종방향의 외력을 가하여 기판(10)을 종방향으로 이동시킬 수 있다.The adjustment table 151 may be composed of a lateral adjustment table 152 and a longitudinal adjustment table 153. 2, the lateral adjuster 152 can move the substrate 10 in the lateral direction by exerting a lateral external force on the substrate 10, and the longitudinal adjuster 153 can move the substrate 10 10 to apply a longitudinal external force to move the substrate 10 in the longitudinal direction.

본 실시예의 경우 종방향 조절대(153)가 3개 설치된 경우를 일 예로서 제시하였으나, 횡방향 조절대(152) 및 종방향 조절대(153)는 그 설치 개수에 있어 한정이 있는 것은 아니다.In the present embodiment, three longitudinal adjustment tables 153 are provided as an example. However, the lateral adjustment tables 152 and the longitudinal adjustment tables 153 are not limited in their number of installation.

기준대(160)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 테이블(130) 상면의 가장자리에 설치되어, 위치 정렬 유닛(150)에 의해 위치 조절되는 기판(10)에 기준 위치를 제공할 수 있다. 이와 같이 기준대(160)를 이용하여 테이블(130) 상에 기판(10)의 정렬 위치를 미리 결정해 놓는 경우, 기판(10)의 정밀한 위치 조절을 위해 위치 정렬 유닛(150)을 필요 이상으로 미세하게 제어할 필요가 없게 되므로, 보다 용이하고 효과적으로 기판(10)을 정위치에 안착시킬 수 있게 된다.The reference table 160 may be provided at the edge of the top surface of the table 130 to provide a reference position to the substrate 10 that is positioned by the alignment unit 150, have. When the alignment position of the substrate 10 is previously determined on the table 130 using the reference table 160 as described above, the alignment unit 150 can be positioned more than necessary It is not necessary to finely control the substrate 10, so that it is possible to more easily and effectively place the substrate 10 in the correct position.

이러한 기준대(160)는, 기판(10)의 횡방향 기준 위치를 제공하는 횡방향 기준바(162)와, 기판(10)의 종방향 기준 위치를 제공하는 종방향 기준바(164)로 이루어질 수 있다.The reference bar 160 comprises a lateral reference bar 162 providing a lateral reference position of the substrate 10 and a longitudinal reference bar 164 providing a longitudinal reference position of the substrate 10. [ .

횡방향 조절대(152)를 이용하여 기판(10)을 횡방향(도면으로 기준으로 좌측)으로 이동시키는 경우, 횡방향 기준바(162)는 횡방향 스톱퍼로서 작용하여 기판(10)이 기준 위치를 벗어나 더 이상의 횡방향, 즉 좌측으로 이동하는 것을 방지하게 되며, 종방향 조절대(153)를 이용하여 기판(10)을 종방향(도면을 기준으로 하측)으로 이동시키는 경우, 종방향 기준바(164)는 종방향 스톱퍼로서 작용하여 기판(10)이 기준 위치를 벗어나 더 이상의 종방향, 즉 하측으로 이동하는 것을 방지하게 된다.
When the substrate 10 is moved in the lateral direction (left side in the figure) using the transverse adjustment table 152, the transverse direction reference bar 162 functions as a transverse direction stopper, I.e., to the left side, when the substrate 10 is moved in the longitudinal direction (downward with respect to the drawing) by using the longitudinal adjustment table 153, The stopper 164 acts as a longitudinal stopper to prevent the substrate 10 from moving beyond the reference position to the further longitudinal direction, i.e., downward.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention as set forth in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

100: 기판 이송 장치
10: 기판
110: 베이스
120: 제1 이송용 자석
130: 테이블
132: 흡입홀
134: 흡입 공간
140: 제2 이송용 자석
150: 위치 정렬 유닛
151: 조절대
152: 횡방향 조절대
153: 종방향 조절대
154: 구동기
155: 정렬용 자석
160: 기준대
162: 횡방향 기준바
164: 종방향 기준바
170: 흡입기100: substrate transfer device
10: substrate
110: Base
120: first feeding magnet
130: Table
132: suction hole
134: Suction space
140: Magnet for second feeding
150: Position alignment unit
151:
152: Lateral adjustable
153: longitudinal adjustable
154:
155: magnet for alignment
160: Baseline
162: lateral reference bar
164: longitudinal reference bar
170: inhaler

Claims (11)

베이스;
상기 베이스에 설치되는 제1 이송용 자석;
상면에 기판이 안착되며, 상기 베이스로부터 상측으로 이격되어 배치되고 상기 베이스에 대해 이동 가능하게 설치되는 테이블; 및
상기 테이블에 상기 제1 이송용 자석의 위치와 대응되도록 설치되어, 상기 제1 이송용 자석과의 상호 작용에 의해 발생되는 자기력을 이용하여 상기 테이블을 이동시키는 제2 이송용 자석을 포함하는 기판 이송 장치.
Base;
A first feeding magnet mounted on the base;
A table on which an upper surface is seated, a table disposed upwardly from the base and movably installed on the base; And
And a second conveying magnet provided on the table so as to correspond to a position of the first conveying magnet and moving the table using a magnetic force generated by an interaction with the first conveying magnet, Device.
제1항에 있어서,
상기 테이블의 상면에 안착되는 상기 기판을 기준 위치로 정렬하기 위하여 상기 테이블 상에서 상기 기판의 위치를 조절하는 위치 정렬 유닛을 더 포함하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a positioning unit for adjusting the position of the substrate on the table so as to align the substrate that is seated on the top surface of the table to a reference position.
제2항에 있어서,
상기 위치 정렬 유닛은,
상기 테이블에 이동 가능하게 설치되어 상기 기판에 위치 조절을 위한 외력을 가하는 조절대; 및
상기 조절대의 이동을 위한 구동력을 제공하는 구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the positioning unit comprises:
An adjuster movably installed on the table for applying an external force to adjust the position of the substrate; And
And a driver for providing a driving force for movement of the adjustable member.
제3항에 있어서,
상기 구동기는, 상기 조절대 및 상기 테이블에 각각 설치되어 상호 작용에 의해 자기력을 발생시키는 한 쌍의 정렬용 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method of claim 3,
Wherein the actuator comprises a pair of alignment magnets which are respectively installed on the adjustable table and the table and generate a magnetic force by mutual action.
제4항에 있어서,
상기 한 쌍의 정렬용 자석 중 적어도 어느 하나는 전자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. The method of claim 4,
Wherein at least one of the pair of alignment magnets is an electromagnet.
제3항에 있어서,
상기 조절대는,
상기 기판의 횡방향 위치를 조절하기 위한 횡방향 조절대; 및
상기 기판의 종방향 위치를 조절하기 위한 종방향 조절대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method of claim 3,
Preferably,
A lateral adjuster for adjusting a lateral position of the substrate; And
And a longitudinal adjustable band for adjusting the longitudinal position of the substrate.
제2항에 있어서,
상기 테이블 상면의 가장자리에 설치되어, 상기 위치 정렬 유닛에 의해 위치 조절되는 상기 기판에 상기 기준 위치를 제공하는 기준대를 더 포함하는 기판 이송 장치.
3. The method of claim 2,
And a reference table provided at an edge of the upper surface of the table for providing the reference position to the substrate that is positioned by the alignment unit.
제7항에 있어서,
상기 기준대는,
상기 기판의 횡방향 기준 위치를 제공하는 횡방향 기준바; 및
상기 기판의 종방향 기준 위치를 제공하는 종방향 기준바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. The method of claim 7,
[0027]
A lateral reference bar providing a lateral reference position of the substrate; And
And a longitudinal reference bar for providing a longitudinal reference position of the substrate.
제1항에 있어서,
상기 테이블의 상면에는 흡입력에 의해 상기 기판을 지지하기 위한 복수의 흡입홀이 형성되고,
상기 테이블 내부에는 상기 복수의 흡입홀과 연통되는 흡입 공간이 형성되며,
상기 흡입 공간에 상기 흡입력을 제공하는 흡입기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
A plurality of suction holes for supporting the substrate by a suction force are formed on the upper surface of the table,
A suction space communicating with the plurality of suction holes is formed in the table,
Further comprising an inhaler for providing the suction force to the suction space.
제1항에 있어서,
상기 제2 이송용 자석은 복수개이고,
복수의 상기 제2 이송용 자석은 상기 테이블의 양측 가장자리를 따라 배치되며,
상기 제1 이송용 자석은 복수개이고,
복수의 상기 제2 이송용 자석과 대향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
The second conveying magnets are plural,
Wherein the plurality of second conveying magnets are disposed along both side edges of the table,
A plurality of first magnets for transferring are provided,
And is disposed so as to face a plurality of the second conveying magnets.
제1항에 있어서,
상기 제1 이송용 자석 및 상기 제2 이송용 자석 중 적어도 어느 하나는 전자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first conveying magnet and the second conveying magnet is an electromagnet.
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