KR20140033669A - 파릴렌 코팅 장치 - Google Patents

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KR20140033669A
KR20140033669A KR1020120099775A KR20120099775A KR20140033669A KR 20140033669 A KR20140033669 A KR 20140033669A KR 1020120099775 A KR1020120099775 A KR 1020120099775A KR 20120099775 A KR20120099775 A KR 20120099775A KR 20140033669 A KR20140033669 A KR 20140033669A
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parylene
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coating apparatus
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KR1020120099775A
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문장원
이경수
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

파릴렌 코팅 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치는 기화부, 기화부와 연결된 열분해부, 열분해부와 연결된 증착부, 및 열분해부와 증착부를 연결시키는 유입구를 포함하되, 유입구의 단면적은 열분해부로부터 증착부 방향으로 갈수록 증가한다.

Description

파릴렌 코팅 장치 {Apparatus for coating with parylene}
본 발명은 파릴렌 코팅 장치에 관한 것이다.
파릴렌은 증착에 의한 코팅이 가능한 폴리머로서, 일반적으로 코팅에 사용되는 파릴렌은 p-자일렌 다이머를 지칭한다. 코팅된 파릴렌 박막은 투명하고, 절연성, 방수성, 내식성, 내화학성을 가지고 있으며, 오존층 파괴 물질이나 휘발성 유기 화합물질을 포함하지 않는 친환경적 물질로 알려져 있다. 이러한 특성들 때문에, 파릴렌 코팅은 광학적 투과성, 전기적 절연성, 방습성, 산화 방지성, 및 내약품성을 필요로 하는 제품의 표면 보호 코팅으로 응용되어 왔으며, 구체적으로 신용카드 등의 플라스틱 카드, 엑스레이 디텍터 등의 의료 장비, 및 컴퓨터 등의 전자 장비 등에 사용되어 왔고, 최근 고밀도 집적 회로칩 등의 층간 배리어 막으로도 사용되고 있다.
파릴렌 코팅은 진공 증착에 의한 코팅 방법이기 때문에 제품의 신뢰성을 확보하기 위해서는 코팅하고자 하는 모재의 표면 상에서 균일한 두께의 파릴렌 박막을 확보하는 것이 필요하다. 또한, 제품의 양산성을 확보하기 위하여 단시간에 파릴렌을 코팅하는 것이 필요하며, 재료적인 측면에서의 비용을 절감하기 위하여 증착부에서 배출된 파릴렌을 포집하는 것도 필요하다. 또한, 파릴렌 코팅 장치의 유지와 보수를 위하여 오염이 주로 발생되는 파릴렌 코팅 장치의 부속 부품들의 선별적인 탈착이 필요하다.
이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 균일한 두께의 파릴렌 박막을 단시간에 형성하고, 파릴렌의 재사용 비율이 높으며, 유지 및 보수가 용이한 파릴렌 코팅 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치는 기화부, 기화부와 연결된 열분해부, 열분해부와 연결된 증착부, 및 열분해부와 증착부를 연결시키는 유입구를 포함하되, 유입구의 단면적은 열분해부로부터 증착부 방향으로 갈수록 증가한다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치는 기화부, 기화부와 연결된 열분해부, 열분해부와 연결된 증착부, 및 열분해부를 통과하여 기화부와 증착부를 연결시키는 적어도 하나 이상의 유입관을 포함하되, 유입관의 단면적은 기화부부터 증착부 방향으로 갈수록 증가한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 모재의 표면 상에서 균일한 두께의 파릴렌 박막을 형성할 수 있어 제품의 신뢰성을 확보할 수 있다.
또한, 단시간에 파릴렌을 코팅할 수 있어 제품의 양산성을 확보할 수 있다.
또한, 증착부에서 배출된 파릴렌을 포집하여 재사용할 수 있어 재료적인 측면에서의 비용을 절감할 수 있다.
또한, 파릴렌 코팅 장치의 부속 부품들을 선별적으로 탈착할 수 있어 파릴렌 코팅 장치의 유지 및 보수가 용이할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 구동 관계를 도시한 블럭도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 유입구의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 유입구의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 배출구 및 콜드 트랩의 정단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치의 정면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형상으로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 구동 관계를 도시한 블럭도다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 정면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 평면도이다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 파릴렌 코팅 장치(200)는 기화부(10), 열분해부(20), 증착부(30), 및 유입구(110)를 포함한다.
기화부(10)는 파릴렌 다이머 분말을 기화시켜 기체상의 파릴렌 다이머를 생성할 수 있다. 구체적으로, 기화부(10)의 일단에서 파릴렌 다이머 분말이 기화부(10)로 투입되고, 파릴렌 다이머는 기화부(10) 내에서 10-2 ~ 10-3 torr 수준의 진공하에서 105℃ 이상, 바람직하게는 대략 150℃의 온도로 가열되어 파릴렌 다이머가 용융되지 않으면서 기체 상태로 승화될 수 있다.
열분해부(20)는 기화부(10)와 연결된다. 열분해부(20)는 기화부(10)로부터 유입되는 파릴렌 다이머를 열분해시켜 파릴렌 모노머를 생성할 수 있다. 구체적으로, 높은 파릴렌 모노머 수율을 얻기 위한 열분해 반응을 위하여 파릴렌 다이머를 대략 650℃ 이상으로 가열할 수 있다.
증착부(30)는 열분해부(20)와 연결된다. 증착부(30)는 열분해부(20)로부터 유입되는 파릴렌 모노머를 모재 상에 폴리머 상태로 증착하여 파릴렌 고분자막을 형성할 수 있다. 구체적으로, 증착부(30)는 진공 챔버일 수 있으며, 열분해된 파릴렌 모노머는 열분해부(20)로부터 증착 챔버 내로 유입되고, 모재의 표면에서 폴리머 상태의 파릴렌 박막으로 합성될 수 있다.
유입구(110)는 열분해부(20)와 증착부(30)를 연결시킨다. 유입구(110)의 단면적은 열분해부(20)로부터 증착부(30) 방향으로 갈수록 증가한다. 유입구(110)를 통하여 열분해된 파릴렌 모노머가 증착부(30)로 유입될 수 있다. 유입구(110)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.
파릴렌 코팅 장치(200)는 배출구(120, 도 6에 도시됨), 콜드 트랩(40), 냉각 수단(50), 진공 펌프(60), 및 제어부(70)를 더 포함할 수 있다.
배출구(120)는 증착부(30)와 연결될 수 있다. 배출구(120)를 통하여 모재에 증착되지 않은 파릴렌 모노머가 증착부(30)로부터 배출될 수 있다. 배출구(120)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.
콜드 트랩(40)은 배출구(120)와 연결될 수 있다. 콜드 트랩(40)은 증착부(30)로부터 배출되는 파릴렌 모노머를 냉각시켜 포집할 수 있다. 콜드 트랩(40)의 내부는 -70 ~ -100℃로 유지될 수 있다. 콜드 트랩(40)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.
냉각 수단(50)은 콜드 트랩(40)과 연결될 수 있다. 냉각 수단(50)은 콜드 트랩(40) 내부의 온도를 -70 ~ -100℃로 유지시킬 수 있는 어떠한 물질을 사용하여도 무방할 수 있다. 예컨대, 냉각 수단(50)은 냉각수 또는 액체 질소 등의 냉매를 콜드 트랩(40)에 공급할 수 있다.
진공 펌프(60)는 냉각 수단(50)과 별도로 콜드 트랩(40)과 연결될 수 있다. 진공 펌프(60)는 증착부(30) 내의 압력을 조절할 수 있다. 또한, 진공 펌프(60)는 증착부(30)로부터 파릴렌 모노머를 흡입하고, 콜드 트랩(40)을 통한 파릴렌 모노머의 포집을 가능하게 할 수 있다.
제어부(70)는 기화부(10), 열분해부(20), 증착부(30), 콜드 트랩(40), 냉각 수단(50), 및 진공 펌프(60)와 연결될 수 있다. 제어부(70)는 기화부(10), 열분해부(20), 증착부(30), 콜드 트랩(40), 냉각 수단(50), 및 진공 펌프(60)를 조절할 수 있다.
이하, 상술한 유입구(110)에 대한 보다 상세한 설명을 위하여 도 4 및 도 5를 참조한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 유입구(110)의 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 유입구(110)의 측면도이다.
유입구(110)는 연결부(111), 확장부(112), 및 밀착부(113)를 포함할 수 있다. 연결부(111)는 열분해부(20)와 직접적으로 연결될 수 있다. 연결부(111)의 단면은 동그라미 형상일 수 있다. 또한, 연결부(111)는 단면적이 일정한 도관 형상일 수 있다. 구체적으로, 연결부(111)는 열분해부(20)를 통과하여 기화부(10)와 증착부(30)를 연결시키는 도관과 직접적으로 연결될 수 있고, 연결부(111)의 단면적은 기화부(10)와 증착부(30)를 연결시키는 도관의 단면적과 같을 수 있다. 도 4 및 도 5는 연결부(111)의 단면이 동그라미 형상인 경우를 예시하지만, 다른 예시적인 실시예에서, 연결부(111)의 단면은 타원 또는 다각형 형상일 수도 있다.
확장부(112)는 연결부(111) 및 밀착부(113) 사이에 위치하고, 연결부(111) 및 밀착부(113)와 직접적으로 연결될 수 있다. 확장부(112)의 단면적은 열분해부(20)로부터 증착부(30) 방향으로 갈수록 증가할 수 있다. 도 5를 참조하면, 유입구(110)의 측면도에서 확장부(112)는 사다리꼴 형상일 수 있으며, 사다리꼴의 평행하는 두 변 중에서 길이가 짧은 윗변은 연결부(111) 방향에 위치할 수 있고, 길이가 긴 밑변은 밀착부(113) 방향에 위치할 수 있다. 또한, 윗변의 길이는 연결부(111)의 단면의 지름의 길이보다 크거나 같을 수 있고, 밑변의 길이는 후술하는 밀착부(113)의 단면의 장축의 길이보다 작거나 같을 수 있다. 도 5는 확장부(112)의 측면이 사다리꼴 형상인 경우를 예시하지만, 다른 예시적인 실시예에서, 확장부(112)의 측면은 반원 형상일 수도 있다. 한편, 확장부(112)의 단면은 직사각형 형상일 수 있고, 직사각형의 장축이 지면과 수직일 수 있다. 도 4는 확장부(112)의 단면이 직사각형 형상인 경우를 예시하지만, 다른 예시적인 실시예에서, 확장부(112)의 단면은 타원 또는 다각형 형상일 수도 있다.
밀착부(113)는 확장부(112)와 직접적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 밀착부(113)는 증착부(30) 방향의 확장부(112) 단부에서 증착부(30)의 측면과 평행한 방향으로 연장하여 형성될 수 있다. 또한, 밀착부(113)의 단면은 확장부(112)의 단면과 대응할 수 있으며, 구체적으로, 밀착부(113)의 단면은 직사각형 형상일 수 있고, 직사각형의 장축이 지면과 수직일 수 있다. 도 4는 밀착부(113)의 단면이 직사각형 형상인 경우를 예시하지만, 다른 예시적인 실시예에서, 밀착부(113)의 단면은 타원 또는 다각형 형상일 수도 있다.
유입구(110)와 증착부(30)와 연결 관계에 대한 보다 상세한 설명을 위하여 다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 유입구(110)는 증착부(30)의 측면의 중심부와 연결될 수 있다. 도 2 및 도 3은 유입구(110)가 하나인 것을 예시하지만, 다른 예시적인 실시예에서, 유입구(110)는 복수개일 수 있다. 또한, 유입구(110)는 증착부(30)로부터 탈착이 가능할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)에 따르면, 열분해부(20)를 통과하여 열분해된 파릴렌 모노머는 유입구(110)를 통과하면서 균일하게 확산될 수 있다. 균일하게 확산된 파릴렌 모노머는 증착부(30) 내로 유입되고, 증착부(30) 내에서 모재를 우회하지 않는 직접적인 파릴렌 모노머 기류를 형성함으로써 모재에 바로 증착될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)는 모재의 표면 상에서 균일한 두께의 파릴렌 박막을 형성할 수 있어 제품의 신뢰성을 확보할 수 있다. 특히, 파릴렌 모노머는 유입구(110)를 통과하면서 지면에 수직인 방향으로 더욱 확산될 수 있다. 따라서, 증착부(30) 내에 일면이 직사각형 형상인 플레이트 형상의 모재를 직사각형의 장축이 지면과 수직하고 일면이 유입구(110)의 단면과 대향되게 배치한다면, 모재의 일면 상에 파릴렌이 균일하게 코팅될 수 있다. 또한, 직접적인 파릴렌 모노머 기류에 의한 코팅으로 인하여, 단시간에 파릴렌을 코팅할 수 있어 제품의 양산성을 확보할 수 있다. 더 나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 부속 부품 중에서 오염이 주로 발생되는 유입구(110)를 선별적으로 탈착할 수 있어 파릴렌 코팅 장치(200)의 유지 및 보수가 용이할 수 있다.
이하, 상술한 배출구(120)에 대한 보다 상세한 설명을 위하여 도 6을 참조한다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 배출구(120) 및 콜드 트랩(40)의 정단면도이다.
배출구(120)는 증착부(30)와 연결되고, 유입구(110)와 대향되는 위치에 있을 수 있다. 도 6은 배출구(120)가 하나인 것을 예시하지만, 다른 예시적인 실시예에서, 배출구(120)는 복수개일 수 있다. 또한, 배출구(120)는 증착부(30)로부터 탈착이 가능할 수 있다.
배출구(120)는 유입구(110)와 마찬가지로 연결부(121), 확장부(122), 및 밀착부(123)를 포함할 수 있다. 연결부(121)는 콜드 트랩(40)과 직접적으로 연결될 수 있다. 확장부(122)는 연결부(121) 및 밀착부(123) 사이에 위치하고, 연결부(121) 및 밀착부(123)와 직접적으로 연결될 수 있다. 밀착부(123)는 확장부(122)와 직접적으로 연결될 수 있다. 또한, 배출구(120)의 형상은 유입구(110)의 형상과 대응할 수 있다. 구체적으로, 배출구(120)의 연결부(121), 확장부(122), 및 밀착부(123)는 상술한 유입구(110)의 연결부(111), 확장부(112), 및 밀착부(113)에 각각 대응될 수 있다. 더 나아가, 배출구(120)는 증착부(30)를 기준으로 유입구(110)와 대칭 구조일 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)에 따르면, 배출구(120)가 유입구(110)와 대향하는 위치에 유입구(110)의 형상과 대응되는 형상으로 형성될 수 있어, 증착부(30) 내에서 균일하고 일정한 파릴렌 모노머 기류가 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)는 모재의 표면 상에서 더욱 균일한 두께의 파릴렌 박막을 형성할 수 있다. 특히, 지면에 수직이 방향으로 넓게 파릴렌 모노머 기류가 형성될 수 있어, 증착부(30) 내에 일면이 직사각형 형상인 플레이트 형상의 모재를 직사각형의 장축이 지면과 수직하고 일면이 유입구(110) 및 배출구(120)의 단면과 대향되게 배치한다면, 모재의 일면 상에 파릴렌이 더욱 균일하게 코팅될 수 있다. 또한, 직접적인 파릴렌 모노머 기류에 의한 코팅으로 인하여, 단시간에 파릴렌을 코팅할 수 있으며, 오염이 주로 발생되는 배출구(120)를 선별적으로 탈착할 수 있어 파릴렌 코팅 장치(200)의 유지 및 보수가 용이할 수 있다.
이하, 상술한 콜드 트랩(40)에 대한 보다 상세한 설명을 위하여 다시 도 6을 참조한다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)의 배출구(120) 및 콜드 트랩(40)의 정단면도이다.
콜드 트랩(40)은 배출구(120)와 연결될 수 있고, 증착부(30)와 직접적으로 접속될 수 있다. 여기서, 증착부(30)와 직접적으로 접속된다는 것의 의미는 콜드 트랩(40)이 증착부(30)의 측면 상에 직접적으로 부착되어 형성될 수 있다는 의미일 수 있다. 또한, 콜드 트랩(40)은 배출구(120)를 감싸도록 형성되어, 배출구(120)가 외부로 노출되지 않게 할 수 있다.
콜드 트랩(40)은 콜드 패널(41), 케이스(42), 연결관(43), 및 진공관(44)을 포함할 수 있다.
콜드 패널(41)은 배출구(120)의 단면과 대향하게 배치될 수 있다. 구체적으로, 콜드 패널(41)은 콜드 플레이트(41a) 및 콜드 채널(41b)을 포함할 수 있다. 콜드 플레이트(41a)의 일면은 배출구(120)의 단면과 대향하게 배치될 수 있고, 배출구(120)의 단면의 형상에 대응할 수 있다. 즉, 배출구(120)의 단면이 직사각형 형상이라면, 콜드 플레이트(41a)의 일면도 직사각형 형상일 수 있다. 여기서, 배출구(120)의 단면은 배출구(120)의 연결부(121), 확장부(122), 또는 밀착부(123)의 단면 중 어느 하나 일 수 있다. 콜드 플레이트(41a)의 일면의 면적은 배출구(120)의 단면의 면적과 같거나 클 수 있다. 콜드 플레이트(41a)의 일면은 배출구(120)와 접촉할 수 있다. 콜드 채널(41b)은 콜드 플레이트(41a) 내부에 형성될 수 있다. 콜드 채널(41b)은 콜드 플레이트(41a) 내부로 냉매, 예컨대 냉각수 또는 액체 질소 등을 순환시킴으로써 콜드 플레이트(41a)의 온도를 -70 ~ -100℃로 유지시킬 수 있다.
케이스(42)는 콜드 패널(41) 및 후술하는 연결관(43) 및 진공관(44)의 일부를 수납할 수 있다. 케이스(42)의 일단은 증착부(30)와 직접적으로 접속될 수 있다. 도 6에 도시되지는 않았지만, 케이스(42)는 여닫이 부분을 포함하여 콜드 패널(41) 및 배출구(120)를 용이하게 탈착할 수 있다.
연결관(43)은 콜드 패널(41) 및 냉각 수단(50)을 연결시킬 수 있다. 연결관(43)은 급수관과 출수관을 포함할 수 있고, 급수관은 냉각 수단(50)으로부터 냉매를 콜드 패널(41)에 전달하고, 출수관은 콜드 패널(41)에 의하여 사용된 냉매를 다시 냉각 수단(50)으로 전달할 수 있다.
진공관(44)은 콜드 패널(41) 및 진공 펌프(60)를 연결시킬 수 있다. 진공관(44)은 진공 펌프(60)에 의하여 증착부(30) 및 콜드 패널(41)의 압력을 조절할 수 있으며, 모재에 증착되지 않고 콜드 패널(41)에 의하여 포집되지 않은 파릴렌 모노머를 흡입할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(200)에 따르면, 콜드 트랩(40)이 증착부(30)의 측면 상에 직접적으로 접속되고, 콜드 패널(41)이 배출구(120)의 단면에 대향되게 배치되며, 콜드 패널(41)의 형상이 넓은 플레이트 형상이기 때문에, 콜드 트랩(40)이 증착부(30)로부터 배출되는 파릴렌 모노머를 용이하게 포집할 수 있다. 또한, 콜드 트랩(40)으로부터 콜드 패널(41)을 용이하게 탈착할 수 있어, 콜드 패널(41)에 포집된 파릴렌 모노머를 용이하게 수집할 수 있으며, 파릴렌 코팅 장치(200)의 유지 및 보수가 용이할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(300)의 정면도이다. 설명의 편의 상, 도 2에 도시된 파릴렌 코팅 장치(200)의 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(300)는 열분해부(20)를 통과하여 기화부(10)와 증착부(30)를 연결시키는 적어도 하나 이상의 유입관(130)을 포함하되, 유입관(130)의 단면적은 기화부(10)부터 증착부(30) 방향으로 갈수록 증가한다. 구체적으로, 도 7의 정면도에서, 유입관(130)은 나팔 형상일 수 있다. 또한, 유입관(130)의 단면적이 기화부(10)부터 증착부(30) 방향으로 갈수록 증가하기 때문에, 파릴렌 다이머의 안정적인 열분해 및 파릴렌 모노머의 원활한 확산을 위하여 열분해부(20) 내에서의 온도가 기화부(10)부터 증착부(30) 방향으로 갈수록 증가할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 파릴렌 코팅 장치(300)에 따르면, 열분해부(20) 내에서의 온도 구배에 의하여 파릴렌 다이머가 파릴렌 모노머로 안정적인 열분해를 할 수 있고, 열분해된 파릴렌 모노머는 유입관(130)을 통하여 열분해부(20)를 통과하면서 균일하게 확산될 수 있다. 균일하게 확산된 파릴렌 모노머는 증착부(30) 내로 유입되고, 모재로의 직접적인 파릴렌 모노머 기류를 형성함으로써 모재에 바로 증착되어, 균일한 두께의 파릴렌 박막을 형성할 수 있다. 또한, 직접적인 파릴렌 모노머 기류에 의한 코팅으로 인하여, 단시간에 파릴렌을 코팅할 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형상으로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기화부
20: 열분해부
30: 증착부
40: 콜드 트랩
41: 콜드 패널
41a: 콜드 플레이트
41b: 콜드 채널
42: 케이스
43: 연결관
44: 진공관
50: 냉각 수단
60: 진공 펌프
70: 제어부
110: 유입구
120: 배출구
111, 121: 연결부
112, 122: 확장부
113, 123: 밀착부
130: 유입관
200, 300: 파릴렌 코팅 장치

Claims (16)

  1. 기화부;
    상기 기화부와 연결된 열분해부;
    상기 열분해부와 연결된 증착부; 및
    상기 열분해부와 상기 증착부를 연결시키는 유입구를 포함하되,
    상기 유입구의 단면적은 상기 열분해부로부터 상기 증착부 방향으로 갈수록 증가하는 파릴렌 코팅 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 기화부는 파릴렌 다이머 분말을 기화시켜 기체상의 파릴렌 다이머를 생성하고,
    상기 열분해부는 상기 기화부로부터 유입되는 상기 파릴렌 다이머를 열분해시켜 파릴렌 모노머를 생성하며,
    상기 증착부는 상기 열분해부로부터 유입되는 상기 파릴렌 모노머를 모재 상에 폴리머 상태로 증착하여 파릴렌 고분자막을 형성하는 파릴렌 코팅 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 증착부와 연결되고, 상기 유입구와 대향되는 위치에 있는 배출구를 더 포함하는 파릴렌 코팅 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 유입구와 상기 배출구의 단면은 직사각형 형상이되,
    상기 직사각형은 장축이 지면과 수직인 파릴렌 코팅 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 배출구는 상기 증착부 방향으로 갈수록 단면적이 증가하는 파릴렌 코팅 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 유입구와 상기 배출구는 상기 증착부를 기준으로 대칭 구조인 파릴렌 코팅 장치.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 유입구와 상기 배출구는 각각 복수개인 파릴렌 코팅 장치.
  8. 제 3항에 있어서,
    상기 유입구와 상기 배출구는 상기 증착부로부터 탈착이 가능한 파릴렌 코팅 장치.
  9. 제 3항에 있어서,
    상기 배출구와 연결된 콜드 트랩을 더 포함하되,
    상기 콜드 트랩은 상기 증착부와 직접적으로 접속되는 파릴렌 코팅 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 콜드 트랩은 플레이트 형상의 콜드 패널을 포함하되,
    상기 콜드 패널의 일면은 상기 배출구의 단면과 대향하게 배치되는 파릴렌 코팅 장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 콜드 트랩과 연결된 냉각 수단과 진공 펌프; 및
    상기 기화부, 상기 열분해부, 상기 증착부, 상기 콜드 트랩, 상기 냉각 수단, 및 상기 진공 펌프를 조절하는 제어부를 더 포함하는 파릴렌 코팅 장치.
  12. 기화부;
    상기 기화부와 연결된 열분해부;
    상기 열분해부와 연결된 증착부; 및
    상기 열분해부를 통과하여 상기 기화부와 상기 증착부를 연결시키는 적어도 하나 이상의 유입관을 포함하되,
    상기 유입관의 단면적은 상기 기화부부터 상기 증착부 방향으로 갈수록 증가하는 파릴렌 코팅 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 기화부는 파릴렌 다이머 분말을 기화시켜 기체상의 파릴렌 다이머를 생성하고,
    상기 열분해부는 상기 기화부로부터 유입되는 상기 파릴렌 다이머를 열분해시켜 파릴렌 모노머를 생성하며,
    상기 증착부는 상기 열분해부로부터 유입되는 상기 파릴렌 모노머를 모재 상에 폴리머 상태로 증착하여 파릴렌 고분자막을 형성하는 파릴렌 코팅 장치.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 증착부와 연결되고, 상기 유입관이 연결되는 부분과 대향하는 위치에 있는 적어도 하나 이상의 배출구를 더 포함하는 파릴렌 코팅 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 배출구와 연결된 콜드 트랩을 더 포함하되,
    상기 콜드 트랩은 상기 증착부와 직접적으로 접속되는 파릴렌 코팅 장치.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 콜드 트랩은 콜드 패널을 포함하되,
    상기 콜드 패널의 형상은 상기 배출구의 단면의 형상과 대응하는 파릴렌 코팅 장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150121895A (ko) * 2014-04-22 2015-10-30 한밭대학교 산학협력단 수직형 페럴린 성막 노즐장치
KR101649620B1 (ko) * 2016-03-18 2016-08-19 임아영 패럴린 코팅장치
KR20200095700A (ko) * 2019-02-01 2020-08-11 한밭대학교 산학협력단 저온 패럴린 성막장치
KR20200142892A (ko) * 2019-06-14 2020-12-23 한밭대학교 산학협력단 패럴린 코팅장치

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