JP3808102B2 - 半導体ウエハ上へのパリレンａｆ４の蒸着方法 - Google Patents

Description

発明の背景及び概要
本発明は、広くは、蒸着（被着、積層、deposition）装置及び方法に関し、更に詳しくは、パリレン・ポリマの層を準備する際のこれらの装置及び方法の使用に関する。
パリレンは、次の構造を有する二量体（dimer）から誘導（derive）されたポリ-p-キシリレン（poly-p-xylylene）のクラスを称するのに用いられる一般的な用語である。ただし、以下の構造式［化１］において、Ｘは典型的には水素又はハロゲン元素である。
［化１］

パリレン二量体の最も通常に用いられる形態には、次のパリレンＮ、パリレンＣ及びパリレンＤ（［化２］）が含まれる。
［化２］

パリレン被覆（コーティング）は、二量体を蒸発させ、熱分解（pyrolize）すなわちモノマ蒸気形態に分割（cleave）して、蒸着箱に送り、モノマ分子がこの蒸着箱の中に配置された基板の上に蒸着し重合するという周知の蒸着（気相成長、vapordeposition）プロセスによって、関連の二量体から得られる。このプロセスは、次の反応に従って生じる。

パリレン・ポリマは、薄膜を提供することができ、更に、様々な幾何学的形状の基板に適合することができるので、例えば、電子、自動車、医療産業などの広範囲の分野における適合的な外部被覆（conformalexternalcoating）として用いるのに適している。
オクタフルオロ−［２，２］パラシクロファン（パリレンＡＦ４二量体）は、上述のパリレン二量体のフッ素置換バージョンであり、次に示す構造を有している。

蒸着によってＡＦ４二量体から誘導されたパリレン被覆が非常に高い融点（約５００℃）と非常に低い誘電定数（約２．３）とを有していることは公知である。これらの特性によって、パリレンＡＦ４は、潜在的に半導体チップの製造における層間誘電材料として、電子的な応用例を含む多くの高温応用例に理想的に適したものになっている。パリレンＣ、Ｄ及びＮと共に用いられる既存のパリレン被覆システムは、典型的には、蒸発チャンバと、蒸発チャンバに結合された熱分解チャンバと、この中でモノマの蒸気が基板上に蒸着して重合する蒸着チャンバとを含む。既存の被覆システムは、更に、複数の前記チャンバに結合されており準大気圧条件をチャンバ・システムを通じて生じさせる真空システムを含む。
既存のパリレン蒸着システムと既知の蒸着パラメータとはパリレンＣ、Ｄ及びＮを蒸着するのに非常に有効ではあるのだが、既存のパリレン被覆システムが、既存の半導体チップ製造要件、半導体チップのコスト構造及び半導体チップの製造時間的な制約と両立しうる（compatible）のに十分な程度の蒸着制御、層の厚さの一様性、材料効率及び被覆速度を提供することを妨げるＡＦ４分子の特別なプロセス特性が存在している。従って、パリレン・モノマの、特にはパリレンＡＦ４の蒸着に特に適したパリレン蒸着システムと、パリレンＡＦ４ポリマを半導体ウエハ上に蒸着する方法とに対する必要性が、現在、唱えられている。
本発明は、蒸着チャンバと、熱分解チャンバと、熱分解されていない二量体を蒸着チャンバに入る前に捕捉するポスト熱分解チャンバと、円錐台（frustoroconical）の形状を有する蒸着ベルト、蒸着チャンバの入口に配置されたフィルタ構造と、蒸着チャンバの中で半導体ウエハを支持（サポート）する加熱及び冷却されるプラテン・アセンブリと、プラテンと直接的な熱接触関係にあるウエハをクランプする静電クランプ装置と、水晶蒸着速度コントローラと、高伝導率の真空出口を用いてチャンバ・システムにおける圧力を急速に低下させ、低導電率の真空出口を用いて蒸着手順の間に蒸着チャンバを通る真空の流れを維持する真空バイパス・アセンブリと、を備えているパリレン蒸着システムを提供する。この装置は、更に、この装置を完全に包囲する雰囲気シュラウド（雰囲気囲み板、atomosphericshroud）と、この雰囲気シュラウドに不活性ガスを与える不活性ガス源とを含む。
蒸発チャンバと、熱分解チャンバと、ポスト熱分解チャンバと、真空システムとは、矩形のハウジング構造の中に位置している。プラテン構造は、好ましくは、ハウジングの上面上に位置することにより、このプラテン構造上へのウエハの配置及び取り出しを容易にしている。蒸着ベルは、プラテン・アセンブリの上で受け入れられて固定され、蒸着チャンバを形成する。
プラテン・アセンブリは、熱伝導性のあるプラテンと、プラテンを所定の温度まで加熱する複数の電気的ヒータ要素と、プラテンを所定の温度まで冷却する冷却サブアセンブリとを備えている。プラテン上に配置されたウエハの加熱及び冷却は、プラテンとの接触を介しての熱伝導によって達成される。冷却サブアセンブリは、プラテンの本体部分と直接的な熱接触関係を有するように配置された熱交換コイルを備えており、また更に、冷却された流体を熱交換コイルを通して循環させるのに有効な熱交換ポンプも備えている。動作の際は、冷却された流体は、熱交換コイルを通じて循環し、プラテンの表面上のウエハの温度を所望の温度まで低下させる。加熱要素は、ウエハを急速に加熱する、すなわち、ウエハが蒸着チャンバから取り出される前に、プラテンの温度を再び室温まで上昇させるのに有効である。
半導体ウエハを静電的にクランプする静電クランプ装置が、プラテンの表面上に配置され、ウエハをプラテンと直接的な熱接触関係に維持する。ウエハの温度は主にプラテンからの熱伝導によって制御されるので、ウエハをプラテン表面と直接的な熱接触関係に維持することが重要である。
動作の際には、ウエハは、プラテン上に置かれ、プラテンの表面上に配置された静電チャック（chuck）によって、正しい位置にクランプされる。蒸着ベルがプラテンの上に置かれて蒸着チャンバを形成し、次に、雰囲気シュラウドに不活性ガスを与えられ、装置の周囲に不活性の雰囲気を提供する。そして、ウエハを同時に所望の温度まで冷却しながら、システム全体が真空にされる。次に、パリレン・ポリマが、従来型のステップに従って、すなわち、二量体を蒸発させるステップと、気体状の二量体をモノマ形態に分解（cleave）するステップと、反応性のモノマをウエハの表面上に送るステップとに従って、ウエハ上に蒸着される。蒸着チャンバからウエハを取り出す前に、ウエハを再び室温まで加熱し、ウエハ上に凝縮が形成されないようにする。望む場合には、ウエハをアニーリング温度まで更に加熱し、蒸着されたパリレン・ポリマをアニーリングする。次に、ウエハを再び室温まで冷却し、蒸着チャンバから取り出す。
従って、本発明の目的は次の通りである。すなわち、半導体チップ製造において、シリコン・ウエハ上にパリレンＡＦ４を迅速かつ効率的に蒸着するのに有効なパリレン蒸着装置及び方法を提供すること；装置を包囲する雰囲気シュラウドと、ポンプ・ダウンと実際の蒸着プロセスとの間にシュラウドに与える不活性ガス源とを含むパリレン蒸着装置を提供すること；蒸着チャンバの中でウエハを支持し蒸着手順の間にウエハの温度を制御する加熱及び冷却されるプラテンを含むパリレン蒸着装置を提供すること；そして、シリコン・ウエハの表面上にパリレンＡＦ４を高速で効率的にコスト効率よく蒸着する方法を提供することである。
本発明のこれ以外の目的、特徴及び効果は、以下の説明を読み進むにつれて明らかになるはずである。
好適実施例の説明
本発明によるパリレン蒸着装置は、以下でより十分に説明されるが、本発明によるパリレン蒸着装置は、シリコン・ウエハの表面上にパリレンＡＦ４材料を迅速かつ効率的に蒸着するのに有効である。
パリレン蒸着装置は、一般的に、半導体ウエハを支持するプラテン・アセンブリと、蒸発チャンバと、熱分解チャンバと、ポスト熱分解チャンバと、蒸着ベルと、真空ポンプと、低温トラップと、を備えている。蒸発チャンバと、熱分解チャンバと、ポスト熱分解チャンバと、真空ポンプと、低温トラップとは、矩形のハウジング構造の内部に配置されている。パリレン蒸着装置は、更に、パリレン蒸着装置の全体を完全に包囲する雰囲気シュラウドと、適切なパイプ・アセンブリによってシュラウドの中に導かれる窒素ガスの源とを備えている。
プラテン・アセンブリは、好ましくは、ハウジングの上壁の上に配置され、ウエハのプラテン・アセンブリの上への配置及び除去を容易にしている。蒸着ベルは、プラテン・アセンブリの上に受け取られ固定されて、蒸着チャンバを形成する。蒸着ベルとそれに付随する入り口及び出口パイプとは、好ましくは単一の取り外し可能なユニットとして形成され、蒸着ベルがプラテン・アセンブリの頂部と一致して係合し、入口及び出口パイプがハウジングの上壁上の対応するフィッティングと一致して係合するように配列される。取り外し可能な蒸着ベルは、更に、ウエハの配置及び取り外しのために、プラテン・アセンブリへのアクセスを容易にしている。プラテン・アセンブリと取り外し可能な蒸着ベルとの特定の構成を示し説明しているが、これ以外の構成も発明の範囲に含まれることを理解すべきである。
プラテン・アセンブリは、被覆されるウエハを支持する支持表面を有する熱伝導性のプラテンと、プラテンを所定の温度まで加熱する複数の電気的ヒータ要素と、プラテンを所定の温度まで冷却する冷却サブアセンブリとを備えている。パリレンＡＦ４の蒸気は、室温より低い温度まで、より好ましくは約０℃より低温まで、更に好ましくは約−４５℃より低温まで、最も好ましくは−８０℃より低温まで冷却された表面上で、最もよく凝縮し重合することが見いだされている。本発明によるプラテンは、蒸着ベルの中で半導体ウエハを支持する有効な表面を提供し、更に、被覆プロセスの間に、ウエハを所望の温度まで加熱し冷却する有効な手段を提供する。更に詳しくは、ウエハの加熱及び冷却は、プラテンとの接触を介しての熱伝導によって達成される。プラテンは、好ましくは、非常に優れた熱伝導特性を有する金属材料で作成される。この点で、真鍮及び銅は、プラテンの作成に適した金属材料である。プラテンを加熱する加熱要素は、プラテンの本体部分に形成された半径方向に延長する開口の中に挿入される電気カートリッジ式加熱要素で構成される。冷却サブアセンブリは、プラテンの本体部分と直接的な熱接触関係を有するように配置された熱交換コイルを備え、更にまた、熱交換コイルを通して冷却された流体を循環させるように機能する熱交換ポンプも備えている。熱交換コイルの構成と熱交換ポンプとの詳細は、熱転送技術において周知であるから、これ以上の説明は省略する。動作の際には、冷却された流体は、熱交換コイルを通って循環し、プラテンの表面上のウエハの温度を所望の温度まで低下させる。いったんウエハが所望の温度になると、蒸着プロセスが進行することができる。しかし、この時点ではウエハは冷却されており、室温よりも低温であるから、ウエハをこの直後に蒸着チャンバから取り出すことはできない。空気中の湿気が冷却されたウエハ上で凝縮してしまうからである。この関係で、加熱要素は、ウエハを蒸着チャンバから取り出す前に、ウエハを急速に加熱する、すなわち、プラテンの温度を室温まで再び上昇させるのに有効である。この手順によって、ウエハ上で凝縮が生じるすべての可能性を有効に消去することができる。加熱要素は、ウエハの温度を、およそ室温よりも高い温度まで、更に好ましくは約１００℃よりも高い温度まで、更には、最も好ましくは、パリレン被覆を蒸着の後でアニーリングする目的で約１００℃から約４７０℃までの温度まで上昇させるのに有効であることが理解されよう。
プラテン・アセンブリは、更に、半導体ウエハをプラテン表面と直接的な熱接触関係を有するように静電的にクランプする静電クランプ装置を備えている。ウエハの温度は主にプラテンからの熱伝導によって制御されるので、ウエハとプラテン表面との直接的な熱接触関係を維持することが重要である。静電クランプ装置は、面倒な機械的なクランプ装置なしで直接的な熱接触を維持する極めて単純な方法を提供する。静電クランプ装置は、プラテンの表面上に配置され、熱伝導性の誘電材料から成る２つの層の間に挟まれたインターデジタル・プリント回路キャパシタで構成される。回路キャパシタは、プラテンを通過しキャパシタに接続する地点で絶縁されたリード線を有する従来型の電源によって、付勢される。代表的なタイプの静電クランプ装置の特定の詳細は、米国特許第４１８４１８８号に記載されているが、この内容は、本願において援用する。
蒸発チャンバは、入口端と出口端とを有する円柱状のハウジングから成る。ハウジングの入口端には、ハウジングのフランジに接着された蝶番によって取り付けられたドアが与えられている。蝶番式のドアは、開いた及び閉じた位置の間で移動可能であり、ハウジングの内部への選択的なアクセスを可能にし、パリレンＡＦ４二量体を蒸発チャンバの内部へ配置する。ドア開口部における真空密封を維持するために、ドアには、エラストマによる（elastomeric）ガスケットが提供される。蒸発チャンバの内部には、二量体の蒸発に有効な二量体加熱装置が配置されている。粉末化されたＡＦ４二量体が取り外し可能な二量体のるつぼの中に受け取られ、これが次に熱転送レセプタクルの中に受け取られる。あるいは、二量体が、レセプタクルの中へ直接に受け取られてもよい。二量体るつぼとレセプタクルとは、好ましくは、熱伝導性の材料で作られており、二量体るつぼは、レセプタクルと直接的な熱接触関係を有するようにレセプタクルの中へ適合するような寸法を有し、レセプタクルからの熱が接触を介して二量体るつぼに容易に伝導するようになっている。熱転送レセプタクルは、好ましくは、レセプタクルと直接的に熱接触関係にありレセプタクルの周囲に配置された複数の電気的な加熱要素によって加熱される。電気的加熱要素は、適切に絶縁されておりレセプタクルの周囲を包囲しているニクロム線構成からなっている。電気的加熱要素は、レセプタクルを、約７０℃から約１００℃の間である二量体の蒸発に適した温度まで急速に加熱するように機能する。従って、本発明による二量体加熱装置は、二量体を要求される蒸発温度まで急速かつ効率的に加熱することがわかる。
二量体加熱装置は、更に、熱転送レセプタクルを、二量体の蒸発温度よりも低い温度まで急速に冷却する冷却アセンブリを含む。冷却アセンブリは、熱転送レセプタクルと直接的な熱接触を有するように配置された熱交換コイルと、熱交換コイルを通してより温度の低い流体を循環させる熱交換ポンプとを備えている。熱交換コイルの構造と熱交換ポンプとの詳細は熱転送技術において広く知られているので、これ以上の説明は省略する。ウエハの上へのパリレンＡＦ４の蒸着速度を有効に制御するためには、蒸着システムの中への二量体の蒸発速度を制御することが必要である。この関係で、冷却アセンブリを用いて二量体を急速に冷却し蒸発を抑制する、すなわち、蒸発速度を減少させることが可能である。理想的には、循環する流体の温度は、蒸発温度よりも若干下に維持し、熱転送レセプタクルの温度が、蒸発を停止させるのに有効な地点までだけ低下するようにする。結果的には、温度は、数度だけ低下する。従って、この加熱及び冷却メカニズムによって、熱転動レセプタクルの温度が蒸発温度を上下して急速に循環し、二量体の蒸発を有効に制御することができることがわかる。
蒸発チャンバの出口端は、パイプによって、熱分解チャンバの入口開口に結合される。蒸発チャンバと熱分解チャンバとの間に延長するパイプは、好ましくは、熱交換チャンバの中への蒸発した二量体の流れを制御するスロットル弁を含む。被覆動作においては、スロットル弁を用いて熱分解チャンバの中への蒸発した二量体の流れを直ちに停止させ蒸着プロセスを停止させることが有効であることがわかっている。使用の際には、被覆プロセスを停止させることを望む場合、すなわち、所望の被覆厚が既に達成されたときには、スロットル弁を閉じて、システムを流れるそれ以上の蒸気の流れを防止する。次に、被覆された物を蒸着チャンバから取り出し、被覆を行うべき別のものと交換することができる。この関係では、スロットル弁が閉じられ流れを停止させるときには、蒸発チャンバの中での二量体のそれ以上の蒸発を停止することが望ましいが、その理由は、それ以上の蒸発は、蒸発チャンバ内の圧力を上昇させ、スロットル弁を再度開いたときに蒸気がシステムの中に急に侵入することの原因となるからである。従って、冷却アセンブリを用いて二量体を急速に冷却し、蒸発を停止させる。
熱分解チャンバは、蒸発チャンバから蒸発した二量体を受け取り、蒸発した二量体を、この蒸発した二量体がモノマ形態に分解する所定の熱分解温度まで急速に加熱するように機能する。熱分解チャンバの構成は、この技術分野での通常のものであり、その壁部が電気的チューブ・ヒータによって加熱されるチューブを備えている。チューブ・ヒータは、好ましくは、熱分解チャンバを約６５０℃から約７２０℃の間の温度に、更に好ましくは、約６９０℃の温度に維持するのに有効である。
熱分解チャンバの出口は、ポスト熱分解チャンバの入口に結合されている。ポスト熱分解チャンバは、内部に配置された複数のバフル（baffle）要素９６を有する円柱状のハウジングを備えている。熱分解チャンバから排出されたモノマは、蒸着チャンバへ移動する途中でポスト熱分解チャンバを通過するが、ポスト熱分解チャンバは、熱分解チャンバを通過するすべての熱分解されていない二量体を捕捉するのに有効である。更に詳しくは、ポスト熱分解チャンバは、約２２℃から約２８℃の間の温度に、更に好ましくは約２５℃の温度（室温程度）に維持される。ポスト熱分解チャンバは、外部のファンによって、所望の温度に維持される。熱分解されていない二量体の捕捉に関しては、ポスト熱分解チャンバが上述の温度に維持されているときには、反応性のモノマの２倍程度重い熱分解されていない二量体は、ポスト熱分解チャンバの中で優先的に凝縮又は蒸着することがわかっている。
蒸着の前に熱分解されていない二量体を除去することは、半導体ウエハの被覆の際に重要であるが、これは、熱分解されていない二量体は、ポリマ・チェーンにおいて不純物を構成し、これが、誘電定数とポリマの表面特性とに局所的に影響するからである。
ポスト熱分解チャンバの出口は、ハウジングの上壁上に位置するフィッティング（fitting）で終端しており、蒸着べルの入口パイプに結合している。この点で、入口パイプは、蒸着ベルがプラテン上に受け取られるときにフィッティングと一致して係合するように受け取られる相補的なフィッティングを含む。これらのフィッティングには、エラストマによるガスケットが与えられ、真空密着係合が得られる。
蒸着ベルはは、入口がより小さな直径を有し、出口がより大きな直径を有する円錐台の形状である。蒸着ベルのの出口端は、プラテンの支持表面と一致して係合するように受け取られ円錐台状の蒸着チャンバを定義（画定）するリムによって定義される。蒸着ベルのこの特定の形状によって、蒸着チャンバの体積が最小化され、チャンバの出口端に隣接するプラテン上に支持されるウエハの表面上の蒸気の流れが最大化される。ベルは円錐台とされているが、ベルはピラミッド形のような任意のほぼテーパ形の構成であれば、所望の、体積の最小化と蒸気の流れの最大化が得られる。蒸着ベルは、更に、入口端に隣接して配置されており蒸気の中の不純物をフィルタリングして除去するフィルタ・アセンブリを含む。フィルタ・アセンブリは、ベルの内部に配置され、ネジなどの適当な取り外し可能な固定手段を用いてベルの内壁に固定されている２つの対向する環状のリングの間に捕捉されたフィルタ要素を備えている。フィルタ要素は、好ましくは、ＰＴＦＥなどの微小フィルタ材料を備えており、それによって、十分な気体の流れが可能であり、０．１ミクロンよりも大きなサイズの浮遊している不純物を実質的にすべてフィルタリングすることができる。下側のリングは、フィルタ要素の周期的な交換のために容易に取り外し可能になっている。
入口端から出口端へ蒸着ベルを通過して真空の流れを与えるために、真空ポンプが、配分（distribution）マニフォルドによって、リムにおける複数の出口に結合している。配分マニフォルドは、リムの外側表面に固定された環状チャネルを備えている。出口開口は、マニフォルドの内部チャネルと連絡する。第１の半径の小さな方の出口パイプが、マニフォルドに所定の位置で接続され、複数の出口開口が、チャンバ全体での真空の流れを等しくするような配分パターンで、リムの周辺の回りに配分されている。更に詳しくは、出口パイプに近い部分よりも当該出口パイプの接続点から離れた部分に、より多くの出口開口が存在している。換言すると、真空源から離れれば離れるほど、流れの断面積は大きくなる。
既に述べた真空の流れ／マニフォルド配列は、蒸着プロセスの間にウエハの表面の上に一様な蒸気の流れを与える、すなわち、チャンバ・システムの内部の動作真空圧を維持するのに理想的であるが、第１の出口パイプの流れの断面積は、チャンバ・システムを動作圧力まで急速に真空化するのには十分でない。換言すると、第１の出口パイプ自体を用いてチャンバ・システムを動作圧力までポンプ・ダウンするには、かなりの長さの時間が要求される。従って、真空サイクルの時間を短縮するには、蒸着ベルには、真空バイパス構成が与えられる。この点で、蒸着ベルの入口は、当該蒸着ベルの入口に隣接してバイパス弁が提供されている第２のより大きな直径の出口パイプに接続されている。直径の小さな方の出口パイプは、直径の大きな方の出口パイプとフィッティングにおいて結合し、出口パイプは、真空ポンプに結合される。更に詳しくは、出口パイプは、ハウジングの上壁の上の真空フィッティングと係合するフィッティングにおいて終端する。フィッティングは、別のパイプ部分によって真空ポンプに結合される。出口パイプフィッティングは、蒸着ベルがプラテン上で受け取られるときに、ハウジング・フィッティングと一致して係合するように受け取られる。これらのフィッティングには、エラストマによるガスケットが提供され、真空密封係合が維持される。動作においては、バイパス弁が開き、チャンバ・システムの当初のポンプ・ダウンが、第１及び第２両方の出口パイプを介して達成される。所望の動作圧力が達成されるとすぐに、バイパス弁は閉じられ、配分マニフォルドに接続された第１の出口パイプによってのみ維持される。
パイプ部分は、真空ポンプの入口に結合され、好ましくは、チャンバ・システムに真空を選択的に提供する弁が提供される。この弁は、フィッティングの下流に位置し、それにより、この弁が閉じるときには、蒸着ベル・アセンブリをハウジングの上部から取り外すことができる。真空ポンプは、ALCATEL社の製造によるDRYTELSERIES乾式真空ポンプなどの、オイル・フリー、すなわち乾式の、真空ポンプから成る。
真空ポンプの出口は、開いた上部を有する円柱状のテューブを備えた低温トラップの入口に結合される。テューブは、ハウジングの上壁に設置され、その開いた上部におけるフィッティングを含む。上部に相補的なフランジを有する円柱状のフィンガ（finger）要素が、上部において係合するフィッティングを用いてテューブの中にスライド可能な態様に受け取られる。フィッティングには、真空密封係合のためのエラストマによるガスケットが提供されている。フィンガ要素は、好ましくは、このフィンガ要素の上部の円柱状の開口において受け取られる液体窒素によって冷却される。低温トラップの出口は、パイプによって、周囲の雰囲気に対して開いている。動作の際には、蒸着チャンバの中で蒸着しないすべてのフリー・モノマが、低温トラップ・チャンバに配置された低温フィンガの表面上に蒸着する。
オイル・フリーの乾式ポンプを用いることは、パリレンＡＦ４の蒸着装置と共に用いる観点において、重要である。従来技術によるパリレン蒸着装置では、典型的に、蒸着チャンバの出口に直接に接続された低温トラップと、低温トラップの下流の従来型の真空ポンプとが用いられる。低温トラップを蒸着チャンバと真空ポンプとの間に配置する主な目的は、すべての余分なモノマをトラップし、モノマが、その内部で蒸着してポンプの動作を妨害し及び／又はオイルを汚染するポンプを通過して流れることを防止する。先のパリレン材料（パリレンＣ、Ｄ及びＮ）は、偶然にそのようなポンプの通常の動作温度である約１５℃から４０℃の温度を有する表面上に蒸着された。低温トラップは、更に、オイルの蒸気が蒸着チャンバの中に逆に流れ込むことを防止するのに有効である。従って、低温トラップは、過剰なモノマが真空ポンプの内部表面上に蒸着するのを防ぎ、オイルの蒸気が蒸着チャンバの中に逆に流れ込むことを防止する。
しかし、蒸着チャンバと直接に連絡する低温トラップを配置することにより、少なくとも１つの短所が引き起こされることが知られている。低温トラップは、背景雰囲気が真空ポンプによってポンピングされるよりも急速に、システムを通してモノマを急速に引きつけることが示されているクライ（cryo-）ポンピング構成を生じさせる。結果的には、モノマが非常に急速に蒸着チャンバを通って引き寄せられ、重合するのに十分な時間が与えられない。この問題は、可能な二量体を用いることによって補償され、被覆サイクルの時間が増加する。これは、パリレンＣ、Ｄ及びＮのコストは余りに高価なわけではないという点で、それほど深刻な短所であるとは考えられなかった。
より新しいパリレンであるＡＦ４は１５から４０℃の範囲では加熱された基板上に蒸着せず、従って、ポンプ蒸着に関する従来の問題は除去された。しかし、オイル・ポンプの使用により、蒸着チャンバへの蒸気の逆流の問題は依然として残っている。装置の意図されている使用の中の１つは、非常に高感度の半導体ウエハの被覆においてであるから、どのような蒸気であってもその存在は望ましくない。オイル・フリーの真空ポンプという本構成は、上流の低温トラップの必要性を有効に除去し、従来技術による装置に関する既に述べた短所を除去している。更に、真空ポンプは蒸着チャンバの出口に直接に接続されているので、背景ガスとモノマ蒸気との両方が、蒸着チャンバを通って等しい速度で引き寄せられ、従って、所望の被膜厚を実現するのに必要な二量体の量を削減することができる。これはパリレンＡＦ４の高コストとそれぞれの蒸着サイクルに対して用いられる量を減少させようとしている観点とからは、非常な意義がある。
パリレン蒸着装置は、更に、温度及び圧力の調節を含む蒸着プロセスのすべての側面を電子的に制御するように動作する電子コントローラを備えている。このコントローラは、電子技術において広く知られている従来型のプログラミングの手法に従ってプログラムされた従来型のマイクロプロセッサ装置を備えている。温度調節に関しては、蒸発チャンバ、熱分解チャンバ、ポスト熱分解チャンバ及びプラテン・アセンブリの加熱及び冷却装置は、それぞれが、適切な電気的接続によって、上記コントローラに接続されている。更に、蒸発チャンバ、熱分解チャンバ、ポスト熱分解チャンバ及びプラテン・アセンブリのそれぞれには、熱電対又は温度を測定するそれ以外の適当な装置が提供される。これらの熱電対は、適切な電気的接続によってコントローラに接続され、種々のチャンバの所望の温度が、種々のセット・ポイント・コンパレータによってモニタされ、加熱及び冷却装置は、測定された温度に応用してコントローラによって制御され、所望のセット・ポイント温度が維持される。圧力調節に関しては、真空ポンプと関連する弁とがコントローラに接続され、真空システムの自動制御がなされる。蒸着ベルには、蒸着チャンバの中の圧力を測定するサーミスタ・ゲージが提供され、このサーミスタ・ゲージは、コントローラに接続され、真空ポンプと弁とは、測定された圧力に応用して制御される。更には、蒸発チャンバに隣接するスロットル弁もまた、当該弁の自動制御のためにコントローラに接続され、静電クランプ装置は、当該クランプ装置の自動制御のためにコントローラに接続される。
このパリレン蒸着装置は、更に、蒸着チャンバの内部に配置された水晶アセンブリを含む水晶厚／蒸発速度制御システムを含む。更に詳しくは、この水晶アセンブリが、プラテンの周辺エッジ上に位置する凹部（recess）の中に配置される。水晶アセンブリは、ディスク状の水晶と、当該水晶の対向する側面に取り付けられた２本の電気的リード線とを含む。動作の際には、パリレン・モノマの蒸気が、水晶の表面上に蒸着し、当該水晶の振動周波数を変動させる。周波数の変化率は、水晶の上への、従って、被覆される基板の上へのパリレン・モノマの蒸着速度と直接に相関する。水晶は、当該水晶上の被覆の厚さと共に変動する水晶の周波数を測定する発振器に電気的に接続される。発振器は、水晶の周波数変化を測定してパリレン・モノマ蒸気の蒸着速度を連続的に計算するマイクロコントローラに接続される。
更に、マイクロプロセッサが、計算された蒸着速度を設定した又は所望の蒸着速度と比較するセット・ポイント・コンパレータに接続される。マイクロプロセッサは、次に、蒸着チャンバの温度を上昇又は低下させるように動作して、スロットル弁を開閉し、より多くの又はそれよりも少ないパリレン二量体をシステムに提供する。換言すれば、コントローラは、パリレンが水晶上に蒸着される際の水晶の周波数の変化をモニタし、蒸発チャンバの温度を調整し、スロットル弁を制御することによって、システムに与えられるパリレン二量体の量を調整する。発振器とセット・ポイント・コンパレータとは、電子技術において広く知られたものであり、従って、これ以上の説明は省略する。
この装置の開発の際の主要な考慮は、パリレンＡＦ４材料の極めて高価なコストである。パリレンＡＦ４の被覆をコスト的に効率よくするためには、蒸着効率が比較的よいことが重要である。パリレンＡＦ４は低温の基板にだけ蒸着の親和性を有するので、装置の複数の領域の内壁を加熱して二量体及びモノマが装置の内壁上に蒸着することを防止することが望まれる。更に詳しくは、蒸発チャンバの内壁には、独立の加熱要素が提供されて、蒸発した二量体が蒸発の後でチャンバの壁に蒸着することを防止している。更に、蒸発チャンバのドアには、加熱要素が提供され、ドアの内側表面への蒸着を防止する。蒸着ベルの壁にもまた、加熱要素が提供され、モノマが、蒸着チャンバの内壁上に蒸着することを防止する。この関係で、蒸着ベル２０の壁は、約３０℃から約５０℃の間の温度まで加熱され、蒸着を効果的に防止すべきである。更にまた、蒸着ベルの入口に隣接するバイパス弁に熱要素が提供され、モノマが蒸着チャンバに到達する前に、弁表面の上に蒸着することを防止する。
既に述べたように、装置の全体は、雰囲気シュラウドの中に包囲され、不活性の窒素雰囲気が提供されている。シュラウドと窒素雰囲気との目的は、真空化及びその後の被覆サイクルの間に蒸着チャンバから酸素を排除し、従って、被覆プロセスが酸素フリーの環境で実行されることを可能にすることである。現在では、従来技術によるパリレン被覆装置は、通常の雰囲気条件で動作する。これによって、酸素が背景的な構成気体として、そして、被覆サイクルの間のチャンバの中への任意の雰囲気漏れの構成要素として、存在することが可能になる。
酸素は熱分解及びポスト熱分解領域それぞれにおいてパリレンの反応性モノマと化学的に結合し、従って、弱いポリマ結合を生じさせることがわかっている。従って、シュラウドは、被覆サイクルの間のポンプ・ダウンの前に、不活性の窒素雰囲気において装置を孤立させるのに有効である。予備的なテストの結果では、不活性雰囲気は、より純粋で濃度が高くより安定な被覆を提供することが示されている。ここでは好適な雰囲気元素として窒素が説明されているが、アルゴンなどのほかの不活性ガスもまた意図した目的に適していることを理解すべきである。
装置の代表的な使用を以下の例を用いて説明するが、ここでは、８インチのシリコン・ウエハ１３がパリレンＡＦ４の１ミクロンの層で被覆される。真空制御弁が閉じられると、蒸着ベル・アセンブリが取り除かれ、ウエハがプラテンの中央に配置される。電子クランプが付勢され、ウエハを所定の位置に保持し、蒸着ベルが交換される。チャンバを真空化するのに先立って、約１グラムのパリレンＡＦ４二量体が二量体るつぼの中に与えられ、当該るつぼは、蒸発チャンバの中の熱転送レセプタクルの中に置かれる。次に、シュラウドに、窒素が与えられ、装置の周囲に不活性雰囲気を提供する。真空制御弁と真空バイパス弁との両方が開けられ、チャンバ・システムの真空化が開始される。チャンバの圧力は、好ましくは、５ミクロン・マーキュリ（Ｈｇ）まで低下され、その後でバイパス弁が閉じられる。その後は、圧力は、より小さな真空マニフォルド出口だけによって、５ミクロンＨｇに維持される。熱転送レセプタクルが、次に、約９０℃の温度まで加熱され、二量体の蒸発が開始される。熱分解チャンバは、約６９０℃にまで予め加熱され、蒸発した二量体が熱分解チャンバを通過するときに、実質的にすべての二量体が、モノマ形態に熱分解され、ポスト熱分解チャンバを通過して排出される。ポスト熱分解チャンバは、約２５℃の温度（およそ室温）に維持されており、熱分解チャンバをどうにか逃れた熱分解されていない二量体をすべて捕捉する。ＡＦ４モノマの蒸気は、蒸着チャンバの中に引き込まれ、ウエハの表面の上に至り、配分マニフォルドを通過し、そこでモノマの蒸気は冷却されたウエハの上に蒸着する。既に述べたように、蒸着ベルの壁は加熱され、このチャンバの壁への蒸着を防止している。二量体のすべてのグラムが蒸発されることの結果として、ウエハ上には、パリレンＡＦ４の約１ミクロンの層が生じるはずである。しかし、水晶制御が、被覆の厚さをモニタし、二量体の蒸発を制御して、所望の１ミクロンの被覆厚を達成する。マニフォルドの出口を通過して引き寄せられた蒸着されなかった余分なモノマは、すべてが、低温トラップに捕捉される。被覆の所望の厚さが達成された後で、スロットル弁が閉じられ、それ以上のいかなる蒸着をも防止する。真空を維持するしている間に、次に、ウエハの温度が、プラテン加熱要素を付勢することにより、再び室温に戻される。一旦ウエハが所望の室温になると、真空弁が閉じられ、蒸着ベルが取り除かれ、静電クランプが消勢され、ウエハがプラテンから取り外される。
従って、本発明は、パリレンＡＦ４の蒸着にユニークに適しているユニークで効果的なパリレン蒸着装置を提供することがわかる。加熱され冷却されるプラテンが、蒸着されるウエハを支持し、処理の間のこのシリコン・ウエハの温度を制御する効果的な手段を提供する。静電クランプ装置は、デリケートなウエハ構造を物理的にクランプすることなく、ウエハをプラテンと直接的な熱接触関係を有するようにクランプする効果的な手段を提供する。蒸発チャンバは、二量体を急速かつ効率的に加熱及び冷却し、二量体の蒸発速度と、蒸着システムの中に蒸発した二量体を制御しながら与える機能を有する付随のスロットル弁とを効果的に制御するように機能する。バフルされたポスト熱分解チャンバは、熱分解チャンバから逃れた二量体を捕捉するのに有効である。ドーム形の蒸着ベルは、プラテンの表面上に蒸気の流れを最大にしながら蒸着チャンバの体積を最小にするというユニークな効果を有する。蒸着ベルに付属した真空マニフォルド構成は、プラテンの表面の上の蒸気の流れを直接的に強化し、真空バイパス構成は、蒸着の準備段階にあるチャンバ・システムを急速かつ効率的にポンプ・ダウンすることを容易にする。水晶速度コントローラもまた、ウエハ上への蒸着速度を正確に制御する効率的な手段を提供する。これらの理由により、本発明は、この技術において著しい進歩をもたらすものと考えられる。
以上では、本発明を実現するある特定の構造を示し説明したが、発明の精神と範囲とから逸脱することなく、部分に関しては種々の修正を行うことができ、また、本発明は、請求の範囲によって示される以外の、以上で示し説明した特定の形態に限定されることはないことは、当業者には明らかである。

Claims (1)

1. 基板上にパリレンＡＦ４の層を形成する方法であって、
   前記基板を１５℃よりも低い温度に冷却するステップと、
   パリレンＡＦ４・モノマを前記基板上に蒸着するステップと、
   前記基板を１００℃から４００℃の温度に加熱するステップと、を含むことを特徴とする方法。