KR20140025055A - Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 184
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 65
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 58
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 44
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 14
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Nitride compound Chemical class 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/075—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
- H01L25/0753—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
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- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
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- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
- G09F9/33—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being semiconductor devices, e.g. diodes
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- G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
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- H01L33/483—Containers
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- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L33/507—Wavelength conversion elements the elements being in intimate contact with parts other than the semiconductor body or integrated with parts other than the semiconductor body
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
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- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
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- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10106—Light emitting diode [LED]
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- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10128—Display
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
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Abstract
Description
본 발명은 디스플레이 장치에 관한 것으로 특히, 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device, and more particularly, to a display device using a semiconductor light emitting device.
발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 전류를 빛으로 변환시키는 잘 알려진 반도체 발광 소자로서, 1962년 GaAsP 화합물 반도체를 이용한 적색 LED가 상품화된 것을 시작으로 GaP:N 계열의 녹색 LED와 함께 정보 통신기기를 비롯한 전자장치의 표시 화상용 광원으로 이용되어 왔다.Light emitting diodes (LEDs) are well-known semiconductor light emitting devices that convert current into light. In 1962, red LEDs using GaAsP compound semiconductors were commercialized. GaP: N series green LEDs and information communication devices As a light source for a display image of an electronic device.
질화 갈륨(GaN)으로 대표되는 질화물계 화합물 반도체(Nitride Compound Semiconductor)는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭(0.8 ~ 6.2 eV)을 가지고 있어, LED를 포함한 고출력 전자부품 소자 개발 분야에서 많은 주목을 받아왔다. Nitride compound semiconductors, represented by gallium nitride (GaN), have high thermal stability and wide bandgap (0.8 to 6.2 eV), attracting much attention in the field of high-power electronic component development including LEDs. come.
이에 대한 이유 중 하나는 GaN이 타 원소들(인듐(In), 알루미늄(Al) 등)과 조합되어 녹색, 청색 및 백색광을 방출하는 반도체 층들을 제조할 수 있기 때문이다.One reason for this is that GaN can be combined with other elements (indium (In), aluminum (Al), etc.) to produce semiconductor layers that emit green, blue and white light.
이와 같이 방출 파장을 조절할 수 있기 때문에 특정 장치 특성에 맞추어 재료의 특징들을 맞출 수 있다. 예를 들어, GaN를 이용하여 광 기록에 유익한 청색 LED와 백열등을 대치할 수 있는 백색 LED를 만들 수 있다.Since the emission wavelength can be controlled in this manner, the characteristics of the material can be tailored to the specific device characteristics. For example, GaN can be used to create a white LED that can replace the blue LEDs and incandescent lamps that are beneficial for optical recording.
따라서, 현재 질화물계 반도체는 청색/녹색 레이저 다이오드와 발광 다이오드(LED)의 제작에 기본물질로 사용되고 있다.Therefore, nitride-based semiconductors are currently used as a base material in the fabrication of blue / green laser diodes and light emitting diodes (LEDs).
한편, 종래의 평면형 디스플레이 시장에서 주요 디스플레이는 LCD(Liguid Crystal Display)와 AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes)로 대표되고 있다. 다만, LCD의 경우 빠르지 않는 반응 시간과 LED BLU(Back Light Unit)의 높은 효율을 저하시켜 전력 소모에 큰 유발을 하고 있다는 점과 AMOLED의 경우 유기물이 가지고 있는 신뢰성에 취약하여 수명이 2년 이상을 보장하지 못하고, 양산 수율 또한 좋지 않은 문제점이 있다.Meanwhile, the major displays in the conventional planar display market are represented by LCD (Liguid Crystal Display) and AMOLED (Active Matrix Organic Light Emitting Diodes). However, in the case of LCD, it is difficult to respond quickly and the high efficiency of LED BLU (Back Light Unit) is lowered, which causes a large power consumption and AMOLED is vulnerable to the reliability of organic materials. There is a problem that the mass production yield is not good.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 반도체 발광 소자를 단위 화소로 구현함으로써 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a display device using a semiconductor light emitting device by realizing a semiconductor light emitting device as a unit pixel.
상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 제공한다. 상기 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치는 기판, 상기 기판 상에 위치하는 다수의 제1 전극, 상기 제1 전극이 위치하는 기판 상에 배치된 이방성 전도성 필름층, 상기 이방성 전도성 필름층 상에 위치하고, 상기 제1 전극과 전기적으로 연결된 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자 및 상기 반도체 발광 소자들 사이에 위치하고, 상기 반도체 발광 소자들과 전기적으로 연결된 다수의 제2 전극을 포함할 수 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a display device using a semiconductor light emitting device. A display device using the semiconductor light emitting device includes a substrate, a plurality of first electrodes disposed on the substrate, an anisotropic conductive film layer disposed on the substrate on which the first electrode is disposed, A plurality of semiconductor light emitting devices constituting individual pixels electrically connected to the first electrode, and a plurality of second electrodes located between the semiconductor light emitting devices and electrically connected to the semiconductor light emitting devices.
상기 반도체 발광 소자들은 다수의 열로 배치되고, 상기 제2 전극은 상기 반도체 발광 소자들의 열들 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.The semiconductor light emitting devices are arranged in a plurality of rows and the second electrode is located between the columns of the semiconductor light emitting devices.
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 바 형태인 것을 특징으로 한다.The first electrode and the second electrode are bar-shaped.
상기 제2 전극과 상기 반도체 발광 소자는 상기 제2 전극으로부터 돌출된 연결 전극에 의해 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.And the second electrode and the semiconductor light emitting element are electrically connected to each other by a connection electrode projected from the second electrode.
상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 상호 수직한 방향으로 배치된 것을 특징으로 한다.And the first electrode and the second electrode are arranged in a direction perpendicular to each other.
상기 반도체 발광 소자의 크기는 한 변의 길이가 50㎛ 이하인 것을 특징으로 한다.The size of the semiconductor light emitting device is characterized in that the length of one side is 50 탆 or less.
상기 각각의 반도체 발광 소자 사이에는 격벽을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And a barrier rib between the semiconductor light emitting devices.
상기 격벽은 블랙 또는 화이트 절연체를 포함하는 것을 특징으로 한다.And the barrier ribs include black or white insulators.
상기 반도체 발광 소자 상에 위치하는 형광체층을 더 포함할 수 있다.And a phosphor layer disposed on the semiconductor light emitting device.
상기 반도체 발광 소자는 청색 발광 소자이고, 상기 형광체층은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체 및 녹색 형광체인 것을 특징으로 한다.The semiconductor light emitting element is a blue light emitting element, and the phosphor layer is a red phosphor and a green phosphor constituting individual pixels.
상기 형광체층은 각각의 형광체 사이에 위치하는 블랙 매트릭스를 더 포함할 수 있다.The phosphor layer may further include a black matrix disposed between the respective phosphors.
상기 반도체 발광 소자는 청색 발광 소자이고, 상기 형광체층은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체, 녹색 형광체 및 황색 형광체인 것을 특징으로 한다.The semiconductor light emitting element is a blue light emitting element, and the phosphor layer is a red phosphor, a green phosphor and a yellow phosphor constituting individual pixels.
상기 반도체 발광 소자는 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자일 수 있다.The semiconductor light emitting device may be a red, green, and blue semiconductor light emitting device.
상기 기판과 상기 제1 전극 사이에는, 소스 및 드레인 영역, 상기 소스 및 드레인 영역 사이에 위치한 게이트 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And a thin film transistor including a source and a drain region and a gate electrode interposed between the source and the drain region, between the substrate and the first electrode.
상기 박막 트랜지스터를 피복하도록 상기 기판 상에 위치하는 층간 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And an interlayer insulating film located on the substrate so as to cover the thin film transistor.
상기 제1 전극은 상기 층간 절연막을 관통하는 관통 전극에 의하여 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.And the first electrode is electrically connected to the thin film transistor by a penetrating electrode passing through the interlayer insulating film.
적색, 녹색 및 청색의 단위 화소가 하나의 화소를 이루거나, 적색, 녹색, 청색 및 흰색의 단위 화소가 하나의 화소를 이루는 것을 특징으로 한다.Red, green and blue unit pixels constitute one pixel, or red, green, blue and white unit pixels constitute one pixel.
상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 제공한다. 상기 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법은 다수의 제1 전극이 위치된 제1 기판 상에 이방성 전도성 필름을 도포하는 단계, 상기 제1 전극의 위치에 대응하고, 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자가 위치된 제2 기판을 상기 제1 전극과 상기 반도체 발광 소자가 대향하도록 배치하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 열압착하는 단계, 상기 제2 기판을 제거하는 단계 및 상기 제2 기판을 제거하여 노출된 반도체 발광 소자들 사이에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a display using a semiconductor light emitting device. A method of manufacturing a display device using the semiconductor light emitting device includes the steps of applying an anisotropic conductive film on a first substrate on which a plurality of first electrodes are disposed, Placing a second substrate on which the semiconductor light emitting device is positioned so that the first electrode and the semiconductor light emitting device face each other; thermocompressing the first substrate and the second substrate; removing the second substrate; And removing the second substrate to form a second electrode between the exposed semiconductor light emitting devices.
본 발명에 따르면, 반도체 발광 소자는 휘도가 우수하므로, 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있고, 반도체 발광 소자의 거리가 상대적으로 충분히 크게 되어 플렉시블 디스플레이 장치를 구현할 수 있는 효과가 있게 된다.According to the present invention, since the semiconductor light emitting device has excellent brightness, individual unit pixels can be formed even with a small size, and the distance of the semiconductor light emitting device is relatively large enough to realize a flexible display device.
또한, 이방성 도전성 필름을 활용하여 반도체 발광소자 어레이 배치 구조를 단순화할 수 있다.Further, the arrangement structure of the semiconductor light emitting element array can be simplified by utilizing the anisotropic conductive film.
또한, 개별 화소를 이루는 반도체 발광 소자 사이의 거리가 충분히 크기 때문에 제2 전극을 반도체 발광 소자 사이에 위치시킬 수 있다.Further, since the distance between the semiconductor light emitting elements constituting the individual pixels is sufficiently large, the second electrode can be positioned between the semiconductor light emitting elements.
본 발명의 기술적 효과들은 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other technical effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 도 1의 절단선 A-A에 따라 취해진 단면도이다.
도 3은 디스플레이 장치에 이용되는 반도체 발광 소자의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이다.
도 5는 도 4의 절단선 B-B에 따라 취해진 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이다.
도 7은 도 6의 절단선 C-C에 따라 취해진 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
도 10은 디스플레이 장치를 구현하기 위한 반도체 발광 소자가 형성된 웨이퍼를 나타내는 평면도이다.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 단면도들이다.1 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
3 is a cross-sectional view showing an example of a semiconductor light emitting element used in a display device.
4 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along the cutting line BB in Fig.
6 is a schematic view illustrating a display device using a semiconductor light emitting device according to a third embodiment of the present invention.
7 is a sectional view taken along the cutting line CC of Fig.
8 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a fourth embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a display device using a semiconductor light emitting device according to a fifth embodiment of the present invention.
10 is a plan view showing a wafer on which a semiconductor light emitting element for realizing a display device is formed.
11 is a cross-sectional view illustrating a display device using a semiconductor light emitting device according to a sixth embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. Rather, the intention is not to limit the invention to the particular forms disclosed, but rather, the invention includes all modifications, equivalents and substitutions that are consistent with the spirit of the invention as defined by the claims.
층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. It will be appreciated that when an element such as a layer, region or substrate is referred to as being present on another element "on," it may be directly on the other element or there may be an intermediate element in between .
비록 제1, 제2 등의 용어가 여러 가지 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들을 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이러한 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들은 이러한 용어에 의해 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할 것이다.Although the terms first, second, etc. may be used to describe various elements, components, regions, layers and / or regions, such elements, components, regions, layers and / And should not be limited by these terms.
제1 1st 실시예Example
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 절단선 A-A에 따라 취해진 단면도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along a line A-A in FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면, 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치는 패시브 매트릭스(Passive Matrix, PM) 방식의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 보여준다.1 and 2, a display device using a semiconductor light emitting device is a display device using a passive matrix (PM) type semiconductor light emitting device.
반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치는 기판(100), 제1 전극(200), 이방성 전도성 필름층(300), 반도체 발광 소자(400) 및 제2 전극(600)을 포함한다.A display device using a semiconductor light emitting device includes a
기판(100)은 제1 전극(200)이 배치되는 배선기판으로서, 플렉시블(flexible) 디스플레이 장치를 구현하기 위하여 유리 또는 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다. 이외에도 절연성이 있고, 유연성 있는 재질이면 어느 것이라도 사용 가능할 것이다.The
제1 전극(200)은 데이터 전극의 역할을 하며, 기판(100) 상에 위치한다. 예컨대, 다수의 제1 전극(200)이 기판(100) 상에 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 제1 전극(200)은 바(bar) 형태의 전극일 수 있다.The
이방성 전도성 필름층(300)은 제1 전극(200)이 위치하는 기판(100) 상에 형성된다. 이방성 전도성 필름(anistropy conductive film, ACF)은 전도성 물질의 코어가 절연막에 의하여 피복된 다수의 입자로 이루어진 상태이다. 이러한 이방성 전도성 필름은 압력 또는 열이 가해지면 가해진 부분만 절연막이 파괴되면서 코어에 의하여 전기적으로 연결되는 것이다. 이 때, 코어의 형태는 변형되어 서로 접촉하는 층을 이룰 수 있다.The anisotropic
예컨대, 기판(100) 상에 제1 전극(200)이 위치하는 상태에서 이방성 전도성 필름층(300)을 위치시킨 후에, 후술할 반도체 발광 소자(400)를 열 또는 압력을 가하여 접속시키면, 이러한 열 또는 압력이 가해진 부분인 반도체 발광 소자(400)와 제1 전극(200) 사이의 부분만 전도성을 갖는 이방성 전도성 필름(302)이 되고, 열 또는 압력이 가해지지 않는 부분의 이방성 전도성 필름(301)은 전도성을 갖지 않는다. 따라서, 반도체 발광 소자(400)와 제1 전극(200) 사이에 상호 결합시켜줄 뿐만 아니라 전기적 연결까지 이루어질 수 있다.For example, when the anisotropic
반도체 발광 소자(400)는 개별 화소를 구성하며, 이방성 전도성 필름층(300) 상에 위치한다. 또한, 반도체 발광 소자(400)는 제1 전극(200)과 전기적으로 연결된다. 예컨대, 제1 전극(200)과 반도체 발광 소자(400) 사이에 위치하는 이방성 전도성 필름(302) 영역이 전도성을 갖기 때문에 전기적으로 연결될 수 있다. 이 때, 상기 반도체 발광 소자(400)는 제1 전극(200) 상에 위치되도록 배치되는 것이 바람직하다.The semiconductor
반도체 발광 소자(400)는 휘도가 우수하므로, 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있다. 이와 같은 개별 반도체 발광 소자(400)의 크기는 한 변의 길이가 50㎛ 이하일 수 있고, 직사각형 또는 정사각형 소자일 수 있다. 예를 들어, 한 변의 길이가 10㎛인 정사각형의 반도체 발광 소자(400)를 개별 화소로 이용하여도 디스플레이 장치를 이루기 위한 충분한 밝기가 나타난다. 따라서, 단위 픽셀의 크기가 한 변이 600㎛, 나머지 한변이 300㎛인 직사각형 픽셀인 경우를 예로 들면, 반도체 발광 소자의 거리가 상대적으로 충분히 크게 된다. 따라서, 이러한 경우, 플렉시블 디스플레이 장치를 구현할 수 있는 효과가 있게 된다.Since the semiconductor
도 3은 디스플레이 장치에 이용되는 반도체 발광 소자(400)의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 3을 참조하면, 반도체 발광 소자(400)는 수직형 구조이다. 이러한 수직형 반도체 발광 소자는 p형 전극(414), p형 전극(414) 상에 형성된 p형 반도체층(413), p형 반도체층(413) 상에 형성된 활성층(412), 활성층(412) 상에 형성된 n형 반도체층(411) 및 n형 반도체층(411) 상에 형성된 n형 전극(415)을 포함한다. 이 경우, 하부에 위치한 p형 전극(414)은 제1 전극(200)과 이방성 전도성 필름((302)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있고, 상부에 위치한 n형 전극(415)은 후술하는 제2 전극(600)과 전기적으로 연결될 수 있다.3 is a cross-sectional view showing an example of a semiconductor
이러한 수직형 반도체 발광 소자(400)는 전극을 상/하로 배치할 수 있으므로, 칩 사이즈를 줄일 수 있다는 큰 강점을 가지고 있다.Since the vertical semiconductor
한편, 반도체 발광 소자(400)는 질화물계 반도체 발광 소자가 이용될 수 있다. 이러한 질화물계 반도체 발광 소자는 질화 갈륨(GaN)을 주로 하여, 인듐(In) 및/또는 알루미늄(Al)이 함께 첨가되어 청색을 비롯한 다양한 빛을 발광하는 고출력의 발광 소자를 구현할 수 있다.On the other hand, the semiconductor
제2 전극(600)은 반도체 발광 소자들(400) 사이에 위치하고, 반도체 발광 소자들(400)과 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 반도체 발광 소자들(400)은 다수의 열로 배치되고, 제2 전극(600)은 반도체 발광 소자들(400)의 열들 사이에 위치할 수 있다. 이는 개별 화소를 이루는 반도체 발광 소자(400) 사이의 거리가 충분히 크기 때문에 제2 전극(600)을 반도체 발광 소자들(400) 사이에 위치시킬 수 있다.The
제 2 전극(600)은 바 형태의 전극일 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(200)과 제2 전극(600)은 상호 수직한 방향으로 배치될 수 있다. 따라서, PM 방식의 구조가 된다.The
또한, 제2 전극(600)과 반도체 발광 소자(400)는 제2 전극(600)으로부터 돌출된 연결 전극(610)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 반도체 발광 소자(400)가 수직형 구조인 경우, 제2 전극(600)과 반도체 발광 소자(400)의 n형 전극이 연결 전극(610)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The
이러한 제2 전극(600)은 이방성 전도성 필름층(300) 상에 바로 위치될 수 있다. 경우에 따라, 반도체 발광 소자(400)가 형성된 기판(100) 상에 실리콘 옥사이드(SiOx) 등을 포함하는 투명 절연층(미도시)이 형성될 수 있고, 그 다음에 제2 전극(600)을 위치시킬 경우, 제2 전극(600)은 투명 절연층 상에 위치할 것이다. 또한, 제2 전극(600)은 이방성 전도성 필름층(300) 또는 투명 절연층에 이격되어 형성될 수도 있다.This
한편, 만일 반도체 발광 소자(400) 상에 제2 전극(600)을 위치시키기 위하여는 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명 전극을 사용해야 하는데, ITO 물질은 n형 반도체층과는 접착성이 좋지 않은 문제가 있다. 따라서, 본 발명은 반도체 발광 소자(400) 사이에 수평 전극(600)을 위치시킴으로써, ITO와 같은 투명 전극을 사용하지 않아도 되는 이점이 있다. 따라서, 투명한 재료 선택에 구속되지 않고, n형 반도체층과 접착성이 좋은 전도성 물질을 수평 전극으로 사용하여 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.On the other hand, in order to position the
개별 화소를 이루는 반도체 발광 소자(400)를 격리시키기 위하여 수직형 반도체 발광 소자(400) 사이에는 격벽(500)을 더 포함할 수 있다.In order to isolate the semiconductor
이 경우, 격벽(500)은 개별 단위 화소를 서로 분리하는 역할을 할 수 있으며, 이 격벽(500)은 반사성 격벽이 이용될 수 있다. 격벽(500)은 디스플레이 장치의 목적에 따라 블랙(Black) 또는 화이트(White) 절연체를 포함할 수 있다. 화이트 절연체의 격벽을 이용할 경우 고 반사성 효과가 있을 수 있고, 블랙 절연체의 격벽을 이용할 경우, 반사 특성을 가지는 동시에 대비비(contrast)를 증가시킬 수 있다.In this case, the
한편, 만일 제2 전극(600)이 반도체 발광 소자(400) 사이의 이방성 전도성 필름층(300) 상에 바로 위치된 경우, 격벽(500)은 수직형 반도체 발광 소자(400) 및 제2 전극(600)의 사이사이에 위치될 것이다.If the
따라서, 반도체 발광 소자(400)를 이용하여 작은 크기로도 개별 단위 픽셀을 구성할 수 있고, 반도체 발광 소자(400)의 거리가 상대적으로 충분히 크게 되어 제2 전극(600)을 반도체 발광 소자(400) 사이에 위치시킬 수 있고, 플렉시블 디스플레이 장치를 구현할 수 있는 효과가 있게 된다.Accordingly, individual unit pixels can be formed with a small size by using the semiconductor
또한, 이방성 도전성 필름을 활용하여 반도체 발광소자 어레이 배치 구조를 단순화할 수 있다. 특히, 수직형 반도체 발광소자의 경우 배치 설계가 보다 단순하다.Further, the arrangement structure of the semiconductor light emitting element array can be simplified by utilizing the anisotropic conductive film. Particularly, in the case of the vertical semiconductor light emitting device, the layout design is simpler.
제2 Second 실시예Example
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이고, 도 5는 도 4의 절단선 B-B에 따라 취해진 단면도이다.FIG. 4 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along a line B-B in FIG.
도 4 및 도 5를 참조하면, PM 방식의 반도체 발광소자 어레이를 적용한 풀 칼라(Full Color) 디스플레이의 설계를 보여준다.4 and 5, there is shown a design of a full color display employing a PM type semiconductor light emitting device array.
반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치는 기판(100), 제1 전극(200), 이방성 전도성 필름층(300), 반도체 발광 소자(400), 격벽(500) 및 제2 전극 (600)을 포함한다.A display device using a semiconductor light emitting device includes a
즉, 기판(100) 상에 다수의 제1 전극(200)이 위치하고 있고, 그 위에 이방성 전도성 필름층(300)이 위치되어 있다.That is, a plurality of
그리고, 이방성 전도성 필름층(300) 상에 제1 전극(200)과 전기적으로 연결된 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자(400)가 위치하고 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자는 수직형 구조일 수 있다.A plurality of semiconductor
그리고, 반도체 발광 소자들(400) 사이에, 제1 전극(200)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배치되고, 수직형 반도체 발광 소자들(400)과 전기적으로 연결된 다수의 제2 전극(600)이 위치하고 있다.A plurality of
반도체 발광 소자(400) 사이에는 격벽(500)이 형성되어 있다.A
이 경우, 반도체 발광 소자(400)는 각각 단위 화소(sub-pixel)를 이루기 위하여 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(401, 402, 403)일 수 있다. 예컨대, 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(401, 402, 403)가 교대로 배치되고, 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(401, 402, 403)에 의하여 3색의 단위 화소가 하나의 화소(pixel)를 이루는 풀 칼라 디스플레이를 설계할 수 있다.In this case, the semiconductor
제3 Third 실시예Example
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이고, 도 7은 도 6의 절단선 C-C에 따라 취해진 단면도이다.FIG. 6 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a sectional view taken along a line C-C in FIG.
도 6 및 도 7을 참조하면, PM 방식의 반도체 발광소자 어레이 상에 형광체층을 적용한 풀 칼라 디스플레이의 설계를 보여준다.6 and 7, there is shown a design of a full-color display in which a phosphor layer is applied on a PM type semiconductor light-emitting device array.
반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치는 기판(100), 제1 전극(200), 이방성 전도성 필름층(300), 반도체 발광 소자(400), 격벽(500), 제2 전극(600) 및 형광체층(700)을 포함한다.A display device using a semiconductor light emitting device includes a
즉, 기판(100) 상에 다수의 제1 전극(200)이 위치하고 있고, 그 위에 이방성 전도성 필름층(300)이 형성되어 있다.That is, a plurality of
그리고, 이방성 전도성 필름층(300) 상에 제1 전극(200)과 전기적으로 연결된 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자(400)가 위치하고 있다. 예를 들어, 반도체 발광 소자는 수직형 구조일 수 있다.A plurality of semiconductor
그리고, 반도체 발광 소자들(400) 사이에, 제1 전극(200)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배치되고, 수직형 반도체 발광 소자(400)와 전기적으로 연결된 다수의 제2 전극(600)이 위치하고 있다.A plurality of
또한, 반도체 발광 소자(400) 사이에는 격벽(500)이 위치한다.Further, a
또한, 형광체층(700)은 반도체 발광 소자(400) 상에 위치한다. In addition, the
예를 들어, 반도체 발광 소자(400)는 청색(B) 광을 발광하는 청색 반도체 발광 소자(403)이고, 이러한 청색(B) 광을 단위 화소의 색상으로 변환시키기 위한 형광체층(400)이 구비될 수 있다. 이 때, 형광체층(400)은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체(701) 및 녹색 형광체(702) 일 수 있다.For example, the semiconductor
즉, 적색의 단위 화소를 이루는 위치에서, 청색 반도체 발광 소자(403) 상에는 청색 광을 적색(R) 광으로 변환시킬 수 있는 적색 형광체(701)가 구비될 수 있고, 녹색의 단위 화소를 이루는 위치에서는, 청색 반도체 발광 소자(403) 상에 청색 광을 녹색(G) 광으로 변환시킬 수 있는 녹색 형광체(702)가 구비될 수 있다. 또한, 청색의 단위 화소를 이루는 부분에는 청색 발광 소자(403)만 단독으로 이용될 수 있다. 이 경우, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소가 하나의 화소를 이룰 수 있다.That is, a
한편, 경우에 따라, 반도체 발광 소자는 황색 형광체층이 개별 소자마다 구비된 백색 발광 소자가 구비될 수도 있음은 물론이며, 이러한 경우에는, 단위 화소를 이루기 위하여, 백색 발광 소자 상에 적색 형광체, 녹색 형광체, 및 청색 형광체가 구비될 수 있다. 또한, 이러한 백색 발광 소자 상에 적색, 녹색, 및 청색이 반복되는 컬러 필터를 이용하여 단위 화소를 이룰 수 있다.Meanwhile, in some cases, the semiconductor light emitting device may include a white light emitting device in which a yellow phosphor layer is provided for each individual device. In this case, in order to form a unit pixel, a red phosphor, A phosphor, and a blue phosphor may be provided. Further, a unit pixel can be formed by using a color filter in which red, green, and blue are repeated on the white light emitting element.
이때, 대비비(contrast) 향상을 위하여 각각의 형광체 사이에는 블랙 매트릭스(710)가 구비될 수 있다. 즉, 이러한 블랙 매트릭스(710)는 명암의 대조를 극대화시킬 수 있다.At this time, a
따라서, 청색 반도체 발광 소자(403) 상에 적색 및 녹색 형광체를 적용하여 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 단위 화소가 하나의 화소를 이루는 풀 칼라 디스플레이를 설계할 수 있다.Therefore, a full-color display in which unit pixels of red (R), green (G), and blue (B) form one pixel by applying red and green phosphors on the blue semiconductor
제4 Fourth 실시예Example
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 개략도이다.8 is a schematic view showing a display device using a semiconductor light emitting device according to a fourth embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, PM 방식의 반도체 발광소자 어레이 상에 형광체층을 적용한 풀 칼라 디스플레이의 설계를 보여준다.Referring to FIG. 8, there is shown a design of a full color display in which a phosphor layer is applied on a PMOS semiconductor light emitting device array.
도 8의 풀 칼라 디스플레이 장치는 제3 실시예와 비교하여 청색 반도체 발광 소자(403) 상에 적색 형광체(701), 녹색 형광체(702) 및 황색 형광체(703)를 적용하여 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 흰색(W)의 단위 화소를 하나의 화소로 하는 풀 칼라 디스플레이를 설계한 것을 제외하고 동일한 구성이다.The full color display device of FIG. 8 is different from the third embodiment in that a
또한, 각각의 형광체의 사이에 블랙 매트릭스(710)를 구비할 뿐만 아니라, 발광 소자의 발광 영역을 각각 구별시키도록 형광체층(700) 상에 블랙 매트릭스(711)를 더 구비하여 명암의 대조를 더욱 극대화시킬 수 있다.The
따라서, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 흰색(W)의 단위 화소가 하나의 화소를 이루는 풀 칼라 디스플레이 구조는 풀 화이트(Full White)시 청색 반도체 발광소자와 황색 형광체의 높은 효율을 극대화하여 저 전력을 추구할 수 있다.Therefore, a full-color display structure in which unit pixels of red (R), green (G), blue (B) and white (W) form one pixel is characterized in that a full- It is possible to pursue low power by maximizing high efficiency.
제5 Fifth 실시예Example
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.9 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a display device using a semiconductor light emitting device according to a fifth embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 먼저, 다수의 제1 전극(200)이 위치된 제1 기판(110) 상에 이방성 전도성 필름을 도포하여 이방성 전도성 필름층(300)을 형성한다.Referring to FIG. 9, an anisotropic conductive film is coated on a
제1 기판(110)은 제1 전극(200)이 배치되는 배선기판으로서, 플렉시블(flexible) 디스플레이 장치를 구현하기 위하여 유리 또는 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다.The
다음에, 제1 전극(200)의 위치에 대응하고, 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자(400)가 위치된 제2 기판(120)을 제1 전극(200)과 반도체 발광 소자(400)가 대향하도록 배치한다.A
제2 기판(120)은 수직형 반도체 발광 소자(400)를 성장시키는 성장 기판으로서, 사파이어 기판 또는 실리콘 기판일 수 있다.The
그 다음에, 제1 기판(110)과 제2 기판(120)을 열압착한다. 따라서, 제1 기판(110)과 제2 기판(120)은 본딩(bonding)된다. 이와 더불어, 열압착되는 부분만 전도성을 갖는 이방성 전도성 필름의 특성에 의해 제1 전극(200)과 반도체 발광 소자(400)의 사이의 부분만 전도성을 갖게 되어 제1 전극(200)과 반도체 발광 소자(400)를 전기적으로 연결할 수 있다.Next, the
예를 들어, 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(120)을 ACF press head를 적용하여 열압착할 수 있다.For example, the
그 다음에, 상기 제2 기판(120)을 제거한다. 예를 들어, 제2 기판(120)은 레이저 리프트 오프법(Laser Lift-off, LLO) 또는 화학적 리프트 오프법(Chemical Lift-off, CLO)을 이용하여 제거할 수 있다.Then, the
그 다음에, 상기 제2 기판(120)을 제거하여 노출된 반도체 발광 소자들(400) 사이에 제2 전극(600)을 형성한다. 이 때, 반도체 발광 소자들(400)과 제2 전극(600)은 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 반도체 발광 소자들(400)은 다수의 열로 배치되고, 제2 전극은 이러한 반도체 발광 소자들(400)의 열들 사이에 형성할 수 있다.Then, the
또한, 제2 전극(600)과 반도체 발광 소자(400)는 제2 전극(600)으로부터 돌출된 연결 전극(610)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The
또한, 제1 전극(200)과 제2 전극(600)은 상호 직교 방향으로 배치될 수 있다.In addition, the
그 다음에, 필요에 따라, 반도체 발광 소자(400)와 제2 전극(600)이 위치된 기판(110) 상을 실리콘 옥사이드(SiOx) 등을 코팅하여 투명 절연층(미도시)을 형성할 수 있다. 경우에 따라, 이러한 투명 절연층은 제2 전극(600)을 형성하기 전에 반도체 발광 소자(400)가 형성된 기판(110) 상에 코팅될 수 있다. 이 경우, 제2 전극(600)은 투명 절연층 상에 위치될 것이다.Next, a transparent insulating layer (not shown) may be formed by coating silicon oxide (SiOx) or the like on the
또한, 수직형 반도체 발광 소자(400) 사이에 격벽(미도시)을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.Further, the method may further include the step of forming barrier ribs (not shown) between the vertical semiconductor
일 예로, 격벽은 반도체 발광 소자(400) 사이를 채우는 방식으로 형성할 수 있다. 또 다른 예로, 라미네이션법(lamination)과 마스크를 이용한 에칭법을 이용하여 원하는 형태로 격벽을 형성할 수 있다.For example, the barrier ribs may be formed by filling the spaces between the semiconductor
한편, 디스플레이 장치를 이루기 위한 반도체 발광 소자는 웨이퍼 단위로 형성될 때, 디스플레이 장치를 이룰 수 있는 간격 및 크기를 가지도록 함으로써, 디스플레이 장치에 효과적으로 이용될 수 있다.On the other hand, when the semiconductor light emitting device for forming a display device is formed on a wafer-by-wafer basis, the semiconductor light emitting device can be effectively used in a display device by having an interval and a size to form a display device.
도 10은 디스플레이 장치를 구현하기 위한 반도체 발광 소자가 형성된 웨이퍼를 나타내는 평면도이다. 도 10에서 도시하는 바와 같이, 개별 반도체 발광 소자가 구현된 웨이퍼에서 a 선, b 선 및 b' 선으로 구획된 영역을 디스플레이 장치에 그대로 이용할 수 있다. 이때, 디스플레이 장치의 면적은 웨이퍼 크기에 비례하도록 할 수 있다. 즉, 웨이퍼의 크기가 커질수록 작은 크기의 디스플레이를 구현하는 경우는 다면취로도 구현이 가능할 것이다.10 is a plan view showing a wafer on which a semiconductor light emitting element for realizing a display device is formed. As shown in Fig. 10, the area partitioned by the a line, the b line and the b 'line in the wafer on which the individual semiconductor light emitting device is implemented can be used as it is in the display device. At this time, the area of the display device can be made proportional to the wafer size. In other words, if the size of the wafer is increased and the display of a small size is realized, it is possible to realize a multi-sided job.
제6 6th 실시예Example
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 나타낸 단면도들이다.11 is a cross-sectional view illustrating a display device using a semiconductor light emitting device according to a sixth embodiment of the present invention.
도 11을 참조하면, 액티브 매트릭스(Active Matrix, AM) 방식의 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치를 보여준다.Referring to FIG. 11, there is shown a display device using an active matrix (AM) semiconductor light emitting device.
반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치는 기판(100), 박막 트랜지스터(800), 층간 절연막(920), 제1 전극(201), 이방성 전도성 필름층(300), 반도체 발광 소자(400) 및 제2 전극(601)을 포함한다.A display device using a semiconductor light emitting device includes a
기판(100)은 배선 기판일 수 있다. 예를 들어, 스캔 라인과 데이터 라인이 형성된 배선 기판일 수 있다.The
박막 트랜지스터(800)는 기판(100) 상에 위치한다. 박막 트랜지스터(800)는 소스 영역(801), 드레인 영역(802) 및 게이트 전극(803)을 포함하고, 소스 영역(801) 및 드레인 영역(802) 사이에는 채널 영역(804)이 위치한다. 예를 들어, 박막 트랜지스터(800)의 소스 영역(801)에 데이터 라인이 연결되고, 게이트 전극(803)에 스캔 라인이 연결되고, 드레인 영역(802)에 화소 전극(201)이 연결될 수 있다. 따라서, 이러한 박막 트랜지스터(800)의 구동에 의하여 발광될 화소 및 이 화소의 색상을 능동적으로 구동할 수 있는 것이다.The
층간 절연막(920)은 박막 트랜지스터(800)를 피복하기 위해 박막 트랜지스터(800)가 위치된 기판(100) 상에 위치된다.An interlayer insulating
제1 전극(201)은 화소 전극의 역할을 하는 전극으로서, 층간 절연막(920) 상에 위치하고, 박막 트랜지스터(800)의 위치에 대응하여 배치된다. 예를 들어, 제1 전극(201)은 닷(dot) 형태일 수 있다. 여기서, 제1 전극(201)은 층간 절연막(920)을 관통하는 관통 전극(910)에 의하여 박막 트랜지스터(800)의 소스 영역(801)과 전기적으로 연결될 수 있다.The
이방성 전도성 필름층(300)은 제1 전극(201)이 형성된 기판(100) 상에 위치된다.The anisotropic
반도체 발광 소자(400)는 이방성 전도성 필름층(300) 상에 위치되고, 제1 전극(201) 상에 대응되도록 배치된다. 예를 들어, 반도체 발광 소자(400)는 수직형 구조일 수 있다.The semiconductor
제2 전극(601)은 공통 전극의 역할을 하는 전극으로서, 반도체 발광 소자(400) 사이에 위치하고, 반도체 발광 소자(400)와 전기적으로 연결된다.The
또한, 반도체 발광 소자(400) 사이에 격벽을 더 포함할 수 있다.Further, the semiconductor
이 경우, 반도체 발광 소자(400)는 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(401, 402, 403)로서, 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(401, 402, 403)가 교대로 배치되고, 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자(401, 402, 403)에 의하여 적색, 녹색 및 청색의 단위 화소를 이루고, 이러한 3색의 단위 화소가 하나의 화소를 이루는 풀 칼라 디스플레이를 설계할 수 있다.In this case, the semiconductor
또한, 반도체 발광 소자(400)가 전부 청색 발광 소자(403)일 경우, 청색 발광 소자(403) 상에 적색 형광체 및 녹색 형광체인 형광체층을 더 구비하여 풀 칼라 디스플레이를 구현할 수 있다.Further, when the semiconductor
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.It should be noted that the embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are only illustrative of specific examples for the purpose of understanding and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.
100: 기판 110: 제1 기판
120: 제2 기판 200, 201: 제1 전극
300, 301, 302: 이방성 전도성 필름층
400: 반도체 발광 소자 401: 적색 반도체 발광 소자
402: 녹색 반도체 발광 소자 403: 청색 반도체 발광 소자
411: n형 반도체층 412: 활성층
413: p형 반도체층 414: p형 전극
415: n형 전극 500: 격벽
600, 601: 제2 전극 610: 연결 전극
700: 형광체층 701: 적색 형광체
702: 녹색 형광체 703: 황색 형광체
710, 711: 블랙 매트릭스 800: 트랜지스터
801: 소스 영역 802: 드레인 영역
803: 게이트 전극 804: 채널 영역
910: 관통 전극 920: 층간 절연막100: substrate 110: first substrate
120:
300, 301, 302: Anisotropic conductive film layer
400: Semiconductor light emitting device 401: Red semiconductor light emitting device
402: green semiconductor light emitting element 403: blue semiconductor light emitting element
411: n-type semiconductor layer 412: active layer
413: p-type semiconductor layer 414: p-type electrode
415: n-type electrode 500: partition wall
600, 601: second electrode 610: connecting electrode
700: phosphor layer 701: red phosphor
702: green phosphor 703: yellow phosphor
710, 711: black matrix 800: transistor
801: source region 802: drain region
803: gate electrode 804: channel region
910: penetrating electrode 920: interlayer insulating film
Claims (18)
상기 기판 상에 위치하는 다수의 제1 전극;
상기 제1 전극이 위치하는 기판 상에 배치된 이방성 전도성 필름층;
상기 이방성 전도성 필름층 상에 위치하고, 상기 제1 전극과 전기적으로 연결된 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자; 및
상기 반도체 발광 소자들 사이에 위치하고, 상기 반도체 발광 소자들과 전기적으로 연결된 다수의 제2 전극을 포함하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.Board;
A plurality of first electrodes located on the substrate;
An anisotropic conductive film layer disposed on the substrate on which the first electrode is disposed;
A plurality of semiconductor light emitting elements located on the anisotropic conductive film layer and constituting individual pixels electrically connected to the first electrode; And
And a plurality of second electrodes disposed between the semiconductor light emitting devices and electrically connected to the semiconductor light emitting devices.
상기 반도체 발광 소자들은 다수의 열로 배치되고,
상기 제2 전극은 상기 반도체 발광 소자들의 열들 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
The semiconductor light emitting devices are arranged in a plurality of rows,
And the second electrode is located between the columns of the semiconductor light emitting devices.
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 바 형태인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the first electrode and the second electrode are bar-shaped.
상기 제2 전극과 상기 반도체 발광 소자는 상기 제2 전극으로부터 돌출된 연결 전극에 의해 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
And the second electrode and the semiconductor light emitting element are electrically connected to each other by a connection electrode protruding from the second electrode.
상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 상호 수직한 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
Wherein the first electrode and the second electrode are arranged in a direction perpendicular to each other.
상기 반도체 발광 소자의 크기는 한 변의 길이가 50㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
Wherein a size of the semiconductor light emitting device is 50 mu m or less on one side.
상기 각각의 반도체 발광 소자 사이에는 격벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
And a barrier rib between each of the semiconductor light emitting devices.
상기 격벽은 블랙 또는 화이트 절연체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the barrier rib includes a black or white insulator.
상기 반도체 발광 소자 상에 위치하는 형광체층을 더 포함하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
And a phosphor layer disposed on the semiconductor light emitting device.
상기 반도체 발광 소자는 청색 발광 소자이고,
상기 형광체층은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체 및 녹색 형광체인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the semiconductor light emitting element is a blue light emitting element,
Wherein the phosphor layer is a red phosphor and a green phosphor constituting individual pixels.
상기 형광체층은 각각의 형광체 사이에 위치하는 블랙 매트릭스를 더 포함하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the phosphor layer further comprises a black matrix disposed between the respective phosphors.
상기 반도체 발광 소자는 청색 발광 소자이고,
상기 형광체층은 개별 화소를 구성하는 적색 형광체, 녹색 형광체 및 황색 형광체인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the semiconductor light emitting element is a blue light emitting element,
Wherein the phosphor layer is a red phosphor, a green phosphor, and a yellow phosphor constituting individual pixels.
상기 반도체 발광 소자는 적색, 녹색 및 청색 반도체 발광 소자인 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
Wherein the semiconductor light emitting device is a red, green, and blue semiconductor light emitting device.
상기 기판과 상기 제1 전극 사이에는,
소스 및 드레인 영역, 상기 소스 및 드레인 영역 사이에 위치한 게이트 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
Between the substrate and the first electrode,
And a gate electrode disposed between the source and drain regions and between the source and drain regions.
상기 박막 트랜지스터를 피복하도록 상기 기판 상에 위치하는 층간 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.15. The method of claim 14,
Further comprising an interlayer insulating film disposed on the substrate so as to cover the thin film transistor.
상기 제1 전극은 상기 층간 절연막을 관통하는 관통 전극에 의하여 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.16. The method of claim 15,
Wherein the first electrode is electrically connected to the thin film transistor by a penetrating electrode passing through the interlayer insulating film.
적색, 녹색 및 청색의 단위 화소가 하나의 화소를 이루거나, 적색, 녹색, 청색 및 흰색의 단위 화소가 하나의 화소를 이루는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치.The method of claim 1,
Wherein the red, green, and blue unit pixels form one pixel, or red, green, blue, and white unit pixels form one pixel.
상기 제1 전극의 위치에 대응하고, 개별 화소를 구성하는 다수의 반도체 발광 소자가 위치된 제2 기판을 상기 제1 전극과 상기 반도체 발광 소자가 대향하도록 배치하는 단계;
상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 열압착하는 단계;
상기 제2 기판을 제거하는 단계; 및
상기 제2 기판을 제거하여 노출된 반도체 발광 소자들 사이에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법.Applying an anisotropic conductive film on a first substrate having a plurality of first electrodes;
Disposing a second substrate corresponding to a position of the first electrode and having a plurality of semiconductor light emitting elements constituting individual pixels so that the first electrode and the semiconductor light emitting element face each other;
Thermocompressing the first substrate and the second substrate;
Removing the second substrate; And
And forming a second electrode between the exposed semiconductor light emitting devices by removing the second substrate.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120091112A KR101452768B1 (en) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
EP13831405.9A EP2888729B1 (en) | 2012-08-21 | 2013-06-11 | Display device using semiconductor light emitting devices |
PCT/KR2013/005126 WO2014030830A1 (en) | 2012-08-21 | 2013-06-11 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
US14/417,691 US9391051B2 (en) | 2012-08-21 | 2013-06-11 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
US15/653,147 USRE46985E1 (en) | 2012-08-21 | 2013-06-11 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
CN201380044195.3A CN104584110B (en) | 2012-08-21 | 2013-06-11 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120091112A KR101452768B1 (en) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140025055A true KR20140025055A (en) | 2014-03-04 |
KR101452768B1 KR101452768B1 (en) | 2014-10-21 |
Family
ID=50150104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120091112A KR101452768B1 (en) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9391051B2 (en) |
EP (1) | EP2888729B1 (en) |
KR (1) | KR101452768B1 (en) |
CN (1) | CN104584110B (en) |
WO (1) | WO2014030830A1 (en) |
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CN104584110A (en) | 2015-04-29 |
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KR101452768B1 (en) | 2014-10-21 |
EP2888729B1 (en) | 2018-09-19 |
EP2888729A4 (en) | 2015-12-30 |
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CN104584110B (en) | 2017-05-03 |
EP2888729A1 (en) | 2015-07-01 |
WO2014030830A1 (en) | 2014-02-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170922 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180921 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190924 Year of fee payment: 6 |