KR20140019490A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치는 기판이 배출되는 출구 및 상기 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 공정 챔버 및 상기 공정 챔버 각각에 구비되어 회전에 의해 상기 기판을 이송시키는 샤프트를 구비하는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 기판이 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이를 지나갈 때 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이의 거리를 보상하기 위하여 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이에 상기 기판 이면을 지지하도록 구비되고, 상기 기판 이면을 지지할 때 상기 기판 이면에 손상을 가하지 않도록 브러쉬 구조의 롤러로 이루어지는 거리 보상부를 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 적어도 두 개의 공정 챔버가 연속적으로 배치되는 집적회로 소자의 제조에서의 기판을 이송하기 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 대면적 기판을 대상으로 공정이 진행된다. 이에, 언급한 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서의 기판 이송은 기판의 이면에 접촉하여 회전하는 롤러가 결합되는 샤프트를 구비하는 기판 이송 장치를 사용한다.
아울러, 평판 디스플레이 소자 등의 제조에서는 서로 이웃하게 배치되는 두 개의 공정 챔버를 사용하는 연속 공정을 수행하기도 한다. 이와 같이, 두 개의 공정 챔버가 서로 이웃하게 배치되어도 두 개의 공정 챔버 사이에 샤프트를 구비하는 것이 용이하지 않다. 이에, 두 개의 공정 챔버가 서로 이웃하게 배치될 경우 두 개의 공정 챔버 사이는 거리가 다소 멀기 때문에 기판의 이송에 영향을 끼칠 수 있다. 따라서 종래에는 두 개의 공정 챔버 사이에 피구동 방식의 베어링 구조의 롤러를 구비하여 두 개의 공정 챔버 사이에서 이송이 이루어지는 기판의 이면을 회전 지지함으로써 기판의 이송에 따른 영향을 최소화하고 있다.
그러나 언급한 베어링 구조의 롤러는 파손이 발생할 경우 회전 구동하지 못할 수 있다. 이와 같이, 언급한 베어링 구조의 롤러가 회전 구동하지 못할 경우 이를 경유하는 기판의 이면에 스크레치 등을 발생시킬 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 서로 이웃하게 배치되는 공정 챔버 사이에서의 기판의 이송시 피구동 구조의 롤러에 손상이 발생하여 회전 구동하지 못하여도 기판 이면에 스크레치 등과 같은 손상을 최소화할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판이 배출되는 출구 및 상기 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 공정 챔버 및 상기 공정 챔버 각각에 구비되어 회전에 의해 상기 기판을 이송시키는 샤프트를 구비하는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 기판이 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이를 지나갈 때 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이의 거리를 보상하기 위하여 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이에 상기 기판 이면을 지지하도록 구비되고, 상기 기판 이면을 지지할 때 상기 기판 이면에 손상을 가하지 않도록 브러쉬 구조의 롤러로 이루어지는 거리 보상부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 거리 보상부는 무동력 방식으로 구동하는 피구동 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 서로 이웃하게 배치되는 공정 챔버 사이에 브러쉬 구조의 롤러를 구비한다. 이에, 언급한 롤러에 손상이 발생하여 회전 구동하지 못하여도 롤러가 브러쉬 구조를 갖기 때문에 브러쉬가 갖는 탄성력으로 이를 경유하는 기판의 이면에 가해지는 손상을 최소화할 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 기판 이송 장치는 서로 이웃하게 배치되는 공정 챔버를 사용하는 집적회로 소자의 제조에 따른 연속 공정에서 보다 안정적인 기판의 이송을 달성할 수 있다. 이에, 본 발명의 기판 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 따른 신뢰도가 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 구비되는 샤프트와 롤러를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1에 구비되는 거리 보상부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 구비되는 샤프트와 롤러를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 1에 구비되는 거리 보상부를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 사용되는 대면적 기판(15)을 이송하는 것으로써, 특히 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 공정 챔버(11, 13)를 사용한 연속 공정에 적용되는 것으로 이해할 수 있다. 여기서, 언급한 연속 공정의 예로서는 세정 공정, 식각 공정 등을 들 수 있다. 그리고 언급한 적어도 두 개의 공정 챔버(11, 13)는 기판(15)의 이송 경로를 기준으로 기판(15)이 배출되는 출구(11a) 및 기판(15)이 유입되는 입구(13a)가 서로 이웃하게 배치될 수 있다. 즉, 적어도 두 개의 공정 챔버(11, 13)는 평면을 기준으로 계속적으로 나열되게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
아울러, 본 발명에서의 기판 이송 장치(100)는 언급한 공정 챔버(11, 13) 내에 기판(15)의 이송 경로를 따라 일정 간격으로 배치되는 이송부(17)를 구비할 수 있다. 여기서, 언급한 이송부(17)는 샤프트(17a) 및 롤러(17b)를 구비할 수 있다. 언급한 샤프트(17a)는 기판(15) 이면에 구비될 수 있다. 그리고 샤프트(17a) 각각에는 기판(15) 이면과 접촉하는 롤러(17b)가 구비될 수 있다. 이때, 언급한 롤러(17b)는 샤프트(17a) 각각에 일정 간격 마다 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 샤프트(17a)가 회전함에 따라 롤러(17b)로 함께 회전함으로써 롤러(17a)와 접촉하는 기판(15)이 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다.
또한, 도시하지는 않았지만 언급한 샤프트(17a)는 샤프트(17a)에 회전 구동력을 제공할 수 있는 구동부와 연결될 수 있다. 이때, 구동부는 샤프트(17a) 각각에 연결되도록 구비될 수도 있지만, 주로 어느 하나의 샤프트(17a)에만 연결되도록 구비될 수도 있다. 특히, 어느 하나의 샤프트(17a)에만 구동부가 연결되도록 구비될 경우에는 샤프트(17a) 각각을 풀리, 아이들 기어 등을 사용하여 연결함으로써 어느 하나의 샤프트(17a)의 구동으로도 나머지 샤프트(17a) 모두가 함께 구동할 수 있다. 여기서, 언급한 샤프트(17a)는 적어도 두 개의 공정 챔버(11, 13) 각각에 별도 구동하도록 구비되는 것으로 이해할 수 있다.
그리고 언급한 적어도 두 개의 공정 챔버(11, 13)가 서로 이웃하게 연속적으로 배치될 경우 기판(15)의 이송 경로를 기준으로 적어도 두 개의 공정 챔버(11, 13) 중 어느 하나의 공정 챔버(11)의 출구(11a) 부분 및 다른 하나의 공정 챔버(13)의 입구(13a) 부분 사이에는 샤프트(17a)를 구비하는 것이 용이하지 않다. 이는, 언급한 출구(11a) 부분 및 입구(13a) 부분 각각에 개폐 도어 등이 구비되기 때문이다. 이에, 언급한 바와 같이 어느 하나의 공정 챔버(11)의 출구(11a) 부분 및 다른 하나의 공정 챔버(13)의 입구(13a) 부분 사이에는 샤프트(17a)를 구비되지 않기 때문에 어느 하나의 공정 챔버(11)의 출구(11a) 부분 및 다른 하나의 공정 챔버(13)의 입구(13a) 부분 사이에서의 이송 경로에 따른 이송 거리가 다소 먼 구조를 갖는다. 따라서 본 발명에서의 기판 이송 장치(100)는 기판(15)이 언급한 출구(11a) 부분 및 입구(13a) 부분 사이를 지날 때 출구(11a) 부분 및 입구(13a) 부분에서의 이송 경로에 따른 거리를 보상하기 위하여 출구(11a) 부분 및 입구(13a) 부분 사이에 기판(15)의 이면을 지지하는 거리 보상부(19)를 구비할 수 있다. 여기서, 언급한 거리 보상부(19)가 구비되지 않을 경우에는 출구(11a) 부분 및 입구(13a) 부분 사이의 거리로 인하여 이송이 이루어지는 기판(15)이 아래로 쳐지는 상황이 발생하고, 그 결과 기판(15)의 이송에 영향을 끼칠 수 있기 때문에 언급한 바와 같이 거리 보상부(19)를 구비하는 것이다. 특히, 본 발명에서의 거리 보상부(19)는 브러쉬 구조의 롤러를 구비할 수 있다. 이와 같이, 브러쉬 구조의 롤러를 구비하는 것은 기판(15) 이면에 가해지는 손상을 최소화하기 위함이다. 또한, 언급한 거리 보상부(19)는 구동을 위한 구동 부재가 구비되는 것이 아니라 무동력 방식으로 구동하는 피구동 구조를 가질 수 있다. 이와 같이, 거리 보상부(19)를 피구동 구조를 갖도록 구비하는 것은 언급한 바와 같이 어느 하나의 공정 챔버(11)의 출구(11a) 부분 및 다른 하나의 공정 챔버(13)의 입구(13a) 부분 각각에 개폐 도어 등이 구비됨으로써 구동 부재 등을 설치하는 것이 용이하지 않기 때문이다.
이에, 본 발명의 기판 이송 장치(100)를 사용한 기판(15)의 이송에서는 거리 보상부(19)가 브러쉬 구조의 롤러로 구비되기 때문에 기판(15) 이면에 가해지는 손상을 최소화할 수 있고, 특히 피구동 구조를 갖는 브러쉬 구조의 롤러로 이루어지는 거리 보상부(19)에 손상이 가해져 회전하지 않을 경우에도 브러쉬 구조가 갖는 탄성력으로 인해 기판(15)의 이면에 가해지는 손상을 최소화할 수 있다. 이는, 고무 타입의 롤러로 이루어져 회전하지 않을 경우 기판(15) 이면이 그냥 쓸려지게 고무 타입의 롤러를 지나감으로써 기판(15) 이면에 스크레치 등과 같은 손상을 가할 수 있기 때문인 것으로, 본 발명에서의 거리 보상부(19)와 같이 브러쉬 구조의 롤러로 이루어져 회전하지 않을 경우에는 브러쉬 구조의 롤러 자체가 탄성력을 제공하기 때문에 언급한 바와 같이 기판(15) 이면에 가해지는 손상을 최소화할 수 있는 것이다. 그리고 언급한 거리 보상부(19)의 브러쉬는 나일론 재질로 이루어질 수 있다.
언급한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 서로 이웃하게 배치되는 공정 챔버를 사용하는 집적회로 소자의 제조에 따른 연속 공정에서 보다 안정적인 기판의 이송을 달성할 수 있다. 이에, 본 발명의 기판 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 따른 신뢰도의 향상을 기대할 수 있고, 그러므로 집적회로 소자 등의 산업 현장에 보다 적극적으로 사용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11, 13 : 공정 챔버 15 : 기판
17 : 이송부 17a : 샤프트
17b : 롤러 19 : 거리 보상부
100 : 기판 이송 장치

Claims (2)

  1. 기판이 배출되는 출구 및 상기 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 공정 챔버 및 상기 공정 챔버 각각에 구비되어 회전에 의해 상기 기판을 이송시키는 샤프트를 구비하는 기판 이송 장치에 있어서,
    상기 기판이 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이를 지나갈 때 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이의 거리를 보상하기 위하여 상기 출구 부분 및 상기 입구 부분 사이에 상기 기판 이면을 지지하도록 구비되고, 상기 기판 이면을 지지할 때 상기 기판 이면에 손상을 가하지 않도록 브러쉬 구조의 롤러로 이루어지는 거리 보상부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 거리 보상부는 무동력 방식으로 구동하는 피구동 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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